CN112004781A - 玻璃膜的制造方法 - Google Patents

Abstract

在由支承部件(2)从背面侧支承的玻璃膜(G)的宽度方向中央部(Ga)和宽度方向中央部(Ga)的边界存在的割断预定线(V)上形成初期裂纹(Sa)后，通过基于激光(L)的加热以及随后的基于制冷剂(W)的冷却，使初期裂纹(Sa)沿着割断预定线(V)进展，将玻璃膜(G)割断。该割断时，在宽度方向中央部(Ga)与支承部件(2)之间、以及宽度方向端部(Gb)与支承部件(2)之间，分别在除了割断预定线(V)的正下方以外的位置配置沿着割断预定线(V)延伸的支承杆(3)，从而成为使玻璃膜(G)的包含割断预定线(V)的部分从支承部件(2)浮起的状态。

Description

玻璃膜的制造方法

技术领域

本发明涉及玻璃膜的制造方法。

背景技术

玻璃膜是具有例如200μm以下的厚度的薄板玻璃，在其制造工序中，通常包括将玻璃膜割断成所期望的尺寸的工序。

作为用于将玻璃膜割断的方法之一，有激光割断(参照例如专利文献1)。该方法中，首先，在玻璃膜的一端部上的割断预定线(假想存在的线)上、即在割断预定线的一端形成初期裂纹。其后，对于通过激光加热的加热区域和随后的通过制冷剂冷却的冷却区域，从玻璃膜的割断预定线的一端部向另一端部依次扫描过去。由此，通过因加热区域与冷却区域的温度差而产生的热应力，初期裂纹沿着割断预定线进展，玻璃膜被割断(整体切断)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-144092号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，如图9所示，将玻璃膜100激光割断的情况下，在成为通过初期裂纹的进展而形成的割断部(完成割断的部分)101的终点的割断预定线102的另一端102a附近，难以确保用于同时形成加热区域103和冷却区域104的空间(参照虚线所示的区域103、104)。其结果是，如图10所示，在割断预定线102的另一端102a附近，不能起到用于使初期裂纹进展的所期望的热应力的作用，存在割断部101在到达割断预定线102的另一端102a之前停止，而形成切剩部105的问题。并且，像这样之后将切剩部105折断的情况下，有时割断部弯曲而偏离割断预定线，而得不到充分的尺寸精度。

本发明的课题在于，按照不产生切剩部的方式，将玻璃膜沿着割断预定线激光割断。

用于解决问题的手段

为了解决上述课题而创造的本发明的特征在于，是具备在由支承部件从背面侧支承的玻璃膜的割断预定线上形成初期裂纹后，通过基于激光的加热以及随后的基于制冷剂的冷却，使初期裂纹沿着割断预定线进展，将玻璃膜割断的割断工序的玻璃膜的制造方法，在割断工序中，通过在以玻璃膜的割断预定线为边界的该玻璃膜的至少一侧区域与支承部件之间，在除了割断预定线的正下方以外的位置配置沿着割断预定线延伸的支承杆，从而在使玻璃膜的包含割断预定线的部分从支承部件浮起的状态下，将玻璃膜割断。根据这样的构成，即使在割断预定线的另一端附近使初期裂纹进展的热应力变得不充分，也能防止形成切剩部的情况。

产生这样的现象的原因尚未阐明，但考虑如下。即，由于成为玻璃膜的包含割断预定线的部分从支承部件浮起的状态，因此，若沿着割断预定线将玻璃膜激光割断，则以割断预定线上的割断部(完成割断的部分)为边界的一侧区域和另一区域各自独立地想要回到更稳定的状态(例如呈平面的状态)。想要回到这样的稳定状态时作用的力的方向和/或大小在以割断部为边界的一侧区域与另一区域彼此不同。其结果可以认为，在割断预定线上的未割断部(未完成割断的部分)，除了基于激光割断的热应力，例如撕裂力、剪切力等促进初期裂纹的进展的辅助性的力发生作用。因此认为，即使使初期裂纹进展的热应力变得不充分，也由于这样的辅助性的力而初期裂纹的进展得以持续，防止切剩部的产生。

上述构成中，以玻璃膜的割断预定线为边界的该玻璃膜的一侧区域为玻璃膜的端部，通过仅在该端部与支承部件之间配置支承杆，可以在使玻璃膜的包含割断预定线的部分在支承杆的一侧的侧方从支承部件浮起的状态下，将玻璃膜割断。这样的割断方法在玻璃膜的端部的宽度(与割断预定线正交的方向上的尺寸)小的情况下有效。

像这样仅在割断预定线的单侧配置支承杆的情况下，端部优选在除了与支承杆的接触部以外的位置从支承部件浮起。认为如此一来，在割断预定线上的未割断部，促进初期裂纹的进展的辅助性的力更强地发生作用。

按照上述方式仅在割断预定线的单侧配置支承杆的情况下，玻璃膜的包含割断预定线的部分具备与支承杆接触的第一接触部、和与支承部件接触的第二接触部，割断预定线优选在第一接触部与第二接触部之间位于偏向第一接触部侧的位置。确认了如此一来，能够沿着割断预定线更准确地实施激光割断。

上述构成中，在以玻璃膜的割断预定线为边界的该玻璃膜的一侧区域与支承部件之间、以及以玻璃膜的割断预定线为边界的该玻璃膜的另一侧区域与支承部件之间分别配置支承杆，从而可以在使玻璃膜的包含割断预定线的部分在两条支承杆之间从支承部件浮起的状态下，将玻璃膜割断。这样的割断方法在以玻璃膜的割断预定线为边界的该玻璃膜的一侧区域和另一侧区域的各自的宽度(与割断预定线正交的方向上的尺寸)大的情况下有效。

像这样在割断预定线的两侧配置支承杆的情况下，以玻璃膜的割断预定线为边界的该玻璃膜的一侧区域为玻璃膜的端部，端部可以在除了与支承杆的接触部以外的位置从支承部件浮起。或者，也可以是端部的端缘与支承部件线接触，端部的其余部分在除了与支承杆的接触部以外的位置从支承部件浮起。认为如此一来，在割断预定线上的未割断部，促进初期裂纹的进展的辅助性的力更强地发生作用。

上述构成中，优选支承杆被连续地配置在沿着割断预定线的方向上的玻璃膜的全长范围。即，若支承杆在沿着割断预定线的方向上断续地配置，则玻璃膜在途中骑在支承杆上等，而玻璃膜像波浪一样弯曲。若像这样玻璃膜像波浪一样弯曲，则阻碍初期裂纹沿着割断预定线进展那样的应力有可能发生作用。与此相对，若支承杆被连续地配置在沿着割断预定线的方向上的玻璃膜的全长范围，则沿着割断预定线的方向上的玻璃膜的全长被支承杆支承。因此，能够防止玻璃膜像波浪一样弯曲的情况。因此，阻碍初期裂纹沿着割断预定线进展那样的应力难以发生作用，容易实现沿着割断预定线的准确的激光割断。

上述构成中，优选支承杆由平板构成。如此一来，容易使支承杆相对于支承部件的姿态、玻璃膜相对于支承杆的姿态稳定。

上述构成中，优选玻璃膜从背面侧隔着隔热片被支承部件和支承杆支承。如此一来，凭借隔热片，能够防止基于激光的加热的热量、基于制冷剂的冷却的热量向支承部件和支承杆传导而散逸。因此，能够充分确保基于激光的加热与基于制冷剂的冷却的温度差，能够提高热效率并实现玻璃膜的准确的激光割断。这样的割断方法在玻璃膜薄的情况下(例如厚度为200μm以下的情况下)特别有效。另外，从支承部件浮起的玻璃膜的包含割断预定线的部分也被隔热片支承，因此还有玻璃膜的姿态更稳定的优点。

发明效果

根据本发明，能够不产生切剩部地将玻璃膜激光割断。

附图说明

图1是表示第一实施方式涉及的玻璃膜的制造方法中包括的割断工序以及用于实施其的割断装置的俯视图。

图2是图1的A-A截面图，是表示在割断预定线的一端形成初期裂纹的状况的图。

图3是图1的B-B截面图，是表示刚形成割断部后的状况(第一状态)的一例的图。

图4是图1的B-B截面图，是表示刚形成割断部后的状况(第一状态之后的第二状态)的一例的图。

图5是表示第一实施方式涉及的玻璃膜的制造方法中包括的割断工序以及用于实施其的割断装置的变形例的截面图。

图6是表示第一实施方式涉及的玻璃膜的制造方法中包括的割断工序以及用于实施其的割断装置的变形例的截面图。

图7是表示第二实施方式涉及的玻璃膜的制造方法中包括的割断工序以及用于实施其的割断装置的截面图，是表示刚形成割断部后的状况(第一状态)的一例的图。

图8是表示第二实施方式涉及的玻璃膜的制造方法中包括的割断工序以及用于实施其的割断装置的截面图，是表示刚形成割断部后的状况(第一状态之后的第二状态)的一例的图。

图9是表示以往的玻璃膜的割断方法的俯视图。

图10是表示以往的玻璃膜的割断方法的俯视图。

具体实施方式

以下，对本发明的实施方式涉及的玻璃膜的制造方法参照附图进行说明。需要说明的是，图中的XYZ是正交坐标系。X方向和Y方向是水平方向，X方向设为宽度方向。Z方向为铅直方向。

<第一实施方式>

如图1和图2所示，第一实施方式涉及的玻璃膜的制造方法中使用的割断装置1将玻璃膜G沿着割断预定线V激光割断，具备支承部件2、支承杆3、激光振荡器4、制冷剂喷射喷嘴5和支承台6。

玻璃膜G为矩形形状的片状。玻璃膜G的一边的大小优选为300mm～3000mm，厚度优选为5μm～300μm，更优选为30μm～200μm。

割断预定线V是，跨越沿着与玻璃膜G的宽度方向正交的方向对置的二边之间的直线状的假想线。该实施方式中，割断预定线V在玻璃膜G中的宽度方向中央部Ga与各个宽度方向端部Gb的边界存在共两条。因此，若沿着两条割断预定线V进行激光割断，则两侧的宽度方向端部Gb分别从宽度方向中央部Ga分离。在此，宽度方向端部Gb包括例如因成形过程的收缩等的影响而厚度比宽度方向中央部Ga大的部分(也称耳部)。当然，宽度方向端部Gb不限于具有耳部的情况，可以是与宽度方向中央部Ga实质上相同的厚度。

玻璃膜G隔着隔热片T配置在支承部件2和支承杆3上。隔热片T抑制通过激光L的照射而形成的加热区域H的热量、通过制冷剂W的喷射而形成的冷却区域C的热量向支承部件2、支承杆3传热而散逸。优选隔热片T比支承部件2和支承杆3的热导率低。作为隔热片T，可以使用例如发泡树脂、无纺布等树脂片。隔热片T优选为弹性片。需要说明的是，也可以不配置隔热片T。

支承部件2从背面侧支承玻璃膜G，该实施方式中由平台构成。支承部件2的上表面优选为水平的单一平面。

支承杆3从背面侧支承玻璃膜G的各割断预定线V附近，该实施方式中，由沿着与割断预定线V平行的方向长条的平板构成。支承杆3的上表面优选为水平的平面。

该实施方式中，支承杆3在各割断预定线V附近中的除了各割断预定线V的正下方以外的位置，在宽度方向端部Gb与支承部件2之间、以及宽度方向中央部Ga与支承部件2之间，与割断预定线V平行地并列配置两条。割断预定线V存在共两条，因此支承杆3在支承部件2上配置共四条。由此，玻璃膜G的包含各割断预定线V的部分在被并列配置的两条支承杆3抬起、并且在该两条支承杆3之间从支承部件2浮起的状态下保持。需要说明的是，玻璃膜G的包含割断预定线V的部分在两条支承杆3之间可以呈水平的平面状，也可以呈向上方凸的凸曲面状，还可以呈向下方凸的凹曲面状。

像这样在割断预定线V的两侧并列配置两条支承杆3的情况下，优选宽度方向端部Gb的宽度相对较大。但是，宽度方向中央部Ga的宽度设为大于宽度方向端部Gb的宽度。在此，作为宽度方向端部Gb的宽度相对较大的情况，可以例示出以下的值。即，玻璃膜G的厚度为200μm时，宽度方向端部Gb的宽度为46mm以上，玻璃膜G的厚度为100μm时，宽度方向端部Gb的宽度为70mm以上。需要说明的是，上述的宽度方向端部Gb的宽度是将玻璃膜G载置于水平的平面上测定的值。另外，宽度方向端部Gb的宽度的适宜的范围根据玻璃膜G的厚度、支承杆3的厚度和宽度等诸多条件而变动，因此不限于例示的数值。

两条支承杆3的间隔D1优选例如5～50mm(该实施方式中为15mm)。

支承杆3的厚度优选例如0.5～5mm(该实施方式中为2mm)。各支承杆3的厚度优选相同。

支承杆3的宽度优选例如5～30mm(该实施方式中为10mm)。各支承杆3的宽度优选相同。

支承杆3被固定于支承部件2。作为支承杆3的固定方法，可以举出基于螺栓等的紧固固定、基于粘接带等的粘接固定等。支承杆3可以相对于支承部件2可拆装，也可以与支承部件2一体化。

作为支承杆3的材质，例如可以举出金属、树脂等。在支承杆3为金属的情况下，优选将支承杆3的背面整体粘接固定于支承部件2，在支承杆3为树脂的情况下，优选仅将支承杆3的长度方向的两端部粘接固定于支承部件2。当然，支承杆3的固定方法、固定位置没有特别限定。

支承杆3被连续地配置在与割断预定线V平行的方向上的玻璃膜G的全长范围。需要说明的是，支承杆3在与割断预定线V平行的方向上的玻璃膜G的全长中可以断续地配置也可以仅配置于一部分。该情况下，支承杆3优选至少在割断预定线V的另一端(与形成初期裂纹Sa的割断预定线V的一端Va相反侧的一端)Vb的附近配置。

支承部件2的支承面积(支承部件2与玻璃膜G的接触面积)大于支承杆3的支承面积(支承杆3与玻璃膜G的接触面积)。详细而言，支承部件2的支承面积优选为支承杆3的支承面积的5倍以上。由此，玻璃膜G的大部分被支承部件2支承，因此激光割断时玻璃膜G的姿态也稳定。

激光振荡器4在玻璃膜G的上方以能够沿着割断预定线V移动的状态配置。激光振荡器4向割断预定线V照射激光L而形成加热区域H，并且伴随其移动在割断预定线V上扫描加热区域H。

制冷剂喷射喷嘴5与激光振荡器4同样在玻璃膜G的上方以能够沿着割断预定线V移动的状态配置。制冷剂喷射喷嘴5对割断预定线V中的完成激光L照射的部位喷射制冷剂(例如雾状的水)W而形成冷却区域C，并且伴随其移动在割断预定线V上扫描冷却区域C。由此，如图1所示，加热区域H和随后的冷却区域C从割断预定线V的一端Va侧向另一端Vb侧依次扫描过去。

激光振荡器4和制冷剂喷射喷嘴5在与割断预定线V平行的方向上移动的速度优选在20～200mm/s的范围内。

支承台6从背面侧支承玻璃膜G的割断预定线V的一端Va附近，在割断预定线V的一端Va形成初期裂纹Sa时使用。支承台6由以金属、树脂等规定材质形成的平板构成。支承台6的上表面优选为水平的平面。支承台6与支承杆3同样通过任意的固定方法固定于支承部件2。需要说明的是，也可以不配置支承台6。

接着，对第一实施方式涉及的玻璃膜的制造方法进行说明。该制造方法包括使用按照以上方式构成的割断装置1的割断工序。需要说明的是，以下，对于在割断工序中沿着在玻璃膜G的宽度方向上对置的一对边进行激光割断的情况进行说明，沿着剩下的一对边也利用同样的方法实施激光割断。

割断工序中，首先，如图2所示，一边将玻璃膜G的割断预定线V的一端Va附近凭借支承台6以平坦的状态支承，一边使轮式切割机7在玻璃膜G的表面侧滚动，在割断预定线V的一端Va形成初期裂纹Sa。在此，使轮式切割机7滚动的方向优选设为沿着割断预定线V从玻璃膜G的内侧朝向端部侧的方向。另外，使轮式切割机7滚动的距离优选设为5～10mm的范围内。需要说明的是，形成初期裂纹Sa的单元不限于轮式切割机7，可以是例如金刚石划线工具、激光器等。另外，也可以在割断工序之前的工序中，在玻璃膜G的割断预定线V的一端Va事先形成初期裂纹Sa。

像这样形成初期裂纹Sa后，如图3和图4所示，以初期裂纹Sa为起点，进行沿着割断预定线V照射激光L、和随后的喷射制冷剂W。由此，通过因加热区域H与冷却区域C的温度差而产生的热应力，使初期裂纹Sa沿着割断预定线V向另一端Vb进展(参照图1)。

此时，玻璃膜G的包含割断预定线V的部分由并列配置在割断预定线V的全长范围的两条支承杆3抬起，并且在该两条支承杆3之间从支承部件2浮起。若以这样的支承形态将玻璃膜G激光割断，则即使在割断预定线V的另一端Vb附近使初期裂纹Sa进展的热应力变得不充分，也能防止形成切剩部的情况。

发生这样的现象的原因尚未阐明，但考虑如下。即，玻璃膜G的包含割断预定线V的部分在两条支承杆3之间从支承部件2浮起，因此以割断预定线V上的割断部(完成割断的部分)S为边界的宽度方向端部Gb和宽度方向中央部Ga分别独立地想要回到更稳定的状态(例如呈平面的状态)。想要回到这样的稳定状态时作用的力的方向和/或大小在以割断部S为边界的宽度方向端部Gb与宽度方向中央部Ga彼此不同。其结果可以认为，在割断预定线V上的未割断部(未完成割断的部分)，除了基于激光割断的热应力，例如撕裂力、剪切力等这样的促进初期裂纹Sa的进展的辅助性的力(例如图4的箭头F1所示的力)发生作用。因此认为，即使在割断预定线V的另一端Vb附近使初期裂纹Sa进展的热应力变得不充分，也因这样的辅助性的力而初期裂纹Sa的进展持续，防止切剩部的产生。

第一实施方式涉及的玻璃膜的制造方法在割断工序之前具备例如成形工序、退火工序、采板工序。另外，第一实施方式涉及的玻璃膜的制造方法在割断工序之后具备例如清洗工序(包括干燥工序)、检查工序、包装工序。需要说明的是，可以在采板工序之后实施热处理工序。另外，可以在割断工序之后实施端面加工工序。当然，也可以仅单独实施割断工序。

成形工序中，通过溢流下拉法、浮法等公知的方法，由熔融玻璃成形玻璃带。

退火工序中，为了减少成形的玻璃带的翘曲和内部应变，对经成形的玻璃带进行退火。

采板工序中，将经退火的玻璃带每隔规定的长度切断，得到多片玻璃膜。或者，将经退火的玻璃带暂时采集成卷状后，每隔规定的长度切断，得到多片玻璃膜。

热处理工序中，例如在热处理炉中，对玻璃膜进行热处理。

端面加工工序中，对上述割断工序中切断成规定尺寸的玻璃膜进行包括端面的磨削、研磨和切角的端面加工。

清洗工序中，将玻璃膜一边以倾斜姿态搬送一边清洗后进行干燥。当然，也可以对水平姿态的玻璃膜实施清洗工序。

检查工序中，对经清洗的玻璃膜检查表面有无伤痕、灰尘、污物等、和/或有无气泡、异物等内部缺陷。检查使用相机等光学检查装置进行。

包装工序中，将检查的结果是满足所期望的品质的玻璃膜包装。包装通过对于规定的托板将多张玻璃膜平放而层叠，或纵放而层叠来进行。该情况下，优选使衬纸或由发泡树脂等形成的保护片介于玻璃膜的层叠方向的相互之间。

需要说明的是，该实施方式中，在割断工序中，以玻璃膜G的宽度方向端部Gb在除了支承杆3以外的位置从支承部件2浮起的状态下实施激光割断，但不限于此。例如，可以如图5所示，宽度方向端部Gb的端缘Gc隔着隔热片T与支承部件2线接触，宽度方向端部Gb的其余部分在除了隔着隔热片T的与支承杆3的接触部以外的位置从支承部件2浮起。或者可以如图6所示，宽度方向端部Gb的包括端缘Gc的部分隔着隔热片T与支承部件2面接触，宽度方向端部Gb的其余部分在除了隔着隔热片T的与支承杆3的接触部以外的位置从支承部件2浮起。

另外，该实施方式中，对沿着在玻璃膜G的宽度方向端部Gb与宽度方向中央部Ga的边界设置的割断预定线V进行激光割断的情况进行了说明，但上述的基于两条支承杆3的玻璃膜G的支承形态在沿着设置于宽度方向中央部Ga的规定位置的割断预定线进行激光割断的情况下也能利用。即，这样的支承形态不限于通过激光割断从宽度方向中央部Ga分离宽度方向端部Gb的情况。

<第二实施方式>

第二实施方式涉及的玻璃膜的制造方法与第一实施方式涉及的玻璃膜的制造方法不同的点是，割断工序中的玻璃膜G的支承形态。以下，对该不同点进行说明。需要说明的是，对于共通的构成赋予相同符号而省略详细说明。

如图7和图8所示，在第二实施方式涉及的玻璃膜的制造方法中包括的割断工序中，支承杆3在各割断预定线V附近中的除了各割断预定线V的正下方以外的位置，仅在宽度方向端部Gb与支承部件2之间与割断预定线V平行地配置一条。换言之，支承杆3不在宽度方向中央部Ga与支承部件2之间配置。由于割断预定线V存在共两条，因此支承杆3在支承部件2上配置有共两条。由此，玻璃膜G的包含各割断预定线V的部分，在由一条支承杆3抬起并且在该一条支承杆3的一侧的侧方、即宽度方向中央部Ga侧从支承部件2浮起的状态下保持。需要说明的是，玻璃膜G的包含割断预定线V的部分在支承杆3的一侧的侧方可以是倾斜的平面状，也可以是向上方凸的凸曲面状，还可以是向下方凸的凹曲面状。另外，该实施方式中，宽度方向端部Gb整体在除了隔着隔热片T的与支承杆3的接触部以外的位置从支承部件2浮起的状态下保持，但宽度方向端部Gb的包括端缘的部分可以隔着隔热片T与支承部件2接触(线接触或面接触)。

像这样仅在割断预定线V的单侧配置一条支承杆3的情况下，优选宽度方向端部Gb的宽度相对较小。在此，作为宽度方向端部Gb的宽度相对较小的情况，可例示以下的值。即，玻璃膜G的厚度为200μm时，宽度方向端部Gb的宽度小于46mm(优选为45mm以下)，玻璃膜G的厚度为100μm时，宽度方向端部Gb的宽度小于70mm(优选为50mm以下)。需要说明的是，上述的宽度方向端部Gb的宽度是将玻璃膜G放置于水平的平面上测定的值。另外，宽度方向端部Gb的宽度的适宜的范围根据玻璃膜G的厚度、支承杆3的厚度、宽度等诸多条件而变动，因此不限于例示的数值。

支承杆3的厚度优选例如0.5～5mm(该实施方式中为2mm)。

支承杆3的宽度优选例如5～30mm(该实施方式中为10mm)。

玻璃膜G的包含割断预定线V的部分具有隔着隔热片T与支承杆3接触的第一接触部P1、和隔着隔热片与T支承部件2接触的第二接触部P2。第一接触部P1与第二接触部P2之间的间隔D2优选例如30～200mm(该实施方式中为140mm)。

割断预定线V在第一接触部P1与第二接触部P2之间优选位于偏向第一接触部P1侧的位置。换言之，优选第二接触部P2与割断预定线V之间的间隔D3大于第一接触部P1与割断预定线V之间的间隔D4。间隔D3优选为间隔D4的2倍以上。

即使是以上那样的仅在割断预定线V的单侧配置一条支承杆3的支承形态，认为也与第一实施方式的割断工序同样地，在割断预定线V上的未割断部(未完成割断的部分)，除了基于激光割断的热应力，例如撕裂力、剪切力等这样的促进初期裂纹Sa的进展的辅助性的力(例如图8的箭头F2所示的力)发生作用。因此，即使在割断预定线V的另一端Vb附近使初期裂纹Sa进展的热应力变得不充分，也能防止形成切剩部的情况。特别是在割断预定线V位于偏向第一接触部P1侧的位置的情况下，容易享有这样的效果。

本发明不受上述的实施方式任何限定，在不脱离本发明的主旨的范围内，还能以各种各样的形态实施。

上述的实施方式中，对支承杆是在与割断预定线平行的方向上为长条的平板的情况进行了说明，但支承杆的形状不限于此。若支承杆在与割断预定线平行的方向上为长条，则可以是例如圆柱(包括椭圆柱)、多棱柱(包括三角形、五边形以上的多棱柱)、半圆柱(包括半椭圆柱)等。需要说明的是，对于支承台的形状也同样。

上述的实施方式中，可以将激光振荡器和制冷剂喷射喷嘴保持在固定位置，使玻璃膜侧与支承部件一起移动。该情况下，作为支承部件，可以使用移动台或带式输送机等。

上述的实施方式中，对于在支承部件上沿着两条割断预定线将玻璃膜激光割断的情况进行了说明，也可以沿着三条以上的割断预定线将玻璃膜激光割断，还可以沿着一条割断预定线将玻璃膜激光割断。

上述的实施方式中，对于仅将层叠于隔热片的玻璃膜进行激光割断的情况进行了说明，隔热片也可以通过激光的加热而沿着割断预定线切断(熔断)。

附图标记说明

1 割断装置

2 支承部件

3 支承杆

4 激光振荡器

5 制冷剂喷射喷嘴

6 支承台

7 轮式切割机

G 玻璃膜

Ga 宽度方向中央部

Gb 宽度方向端部

T 隔热片

L 激光

W 制冷剂

C 冷却区域

H 加热区域

V 割断预定线

S 割断部

Sa 初期裂纹

Claims (10)

1.一种玻璃膜的制造方法，其特征在于，

具备割断工序：在由支承部件从背面侧支承的玻璃膜的割断预定线上形成初期裂纹后，通过基于激光的加热以及随后的基于制冷剂的冷却，使所述初期裂纹沿着所述割断预定线进展，将所述玻璃膜割断，

在所述割断工序中，通过在以所述玻璃膜的所述割断预定线为边界的该玻璃膜的至少一侧区域与所述支承部件之间，在除了所述割断预定线的正下方以外的位置配置沿着所述割断预定线延伸的支承杆，从而在使所述玻璃膜的包含所述割断预定线的部分从所述支承部件浮起的状态下，将所述玻璃膜割断。

2.根据权利要求1所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

以所述玻璃膜的所述割断预定线为边界的该玻璃膜的一侧区域是所述玻璃膜的端部，

通过仅在所述端部与所述支承部件之间配置所述支承杆，从而在使所述玻璃膜的包含所述割断预定线的部分在所述支承杆的一侧的侧方从所述支承部件浮起的状态下，将所述玻璃膜割断。

3.根据权利要求2所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

所述端部在除了与所述支承杆的接触部以外的位置从所述支承部件浮起。

4.根据权利要求2或3所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

所述玻璃膜的包含所述割断预定线的部分具备与所述支承杆接触的第一接触部、和与所述支承部件接触的第二接触部，

所述割断预定线在所述第一接触部与所述第二接触部之间位于偏向所述第一接触部侧的位置。

5.根据权利要求1所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

通过在以所述玻璃膜的所述割断预定线为边界的该玻璃膜的一侧区域与所述支承部件之间、以及以所述玻璃膜的所述割断预定线为边界的该玻璃膜的另一侧区域与所述支承部件之间分别配置所述支承杆，从而在使所述玻璃膜的包含所述割断预定线的部分在两条所述支承杆之间从所述支承部件浮起的状态下，将所述玻璃膜割断。

6.根据权利要求5所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

以所述玻璃膜的所述割断预定线为边界的该玻璃膜的一侧区域是所述玻璃膜的端部，

所述端部在除了与所述支承杆的接触部以外的位置从所述支承部件浮起。

7.根据权利要求5所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

以所述玻璃膜的所述割断预定线为边界的该玻璃膜的一侧区域是所述玻璃膜的端部，

所述端部的端缘与所述支承部件线接触，所述端部的其余部分在除了与所述支承杆的接触部以外的位置从所述支承部件浮起。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

所述支承杆被连续地配置在沿着所述割断预定线的方向上的所述玻璃膜的全长范围。

9.根据权利要求1～8的任一项所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

所述支承杆由平板构成。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

所述玻璃膜从背面侧隔着隔热片由所述支承部件和所述支承杆支承。

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