JP7022389B2 - ガラスフィルムの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ガラスフィルムの製造方法に関する。

ガラスフィルムは、例えば２００μｍ以下の厚みを有する薄板ガラスであり、その製造工程には、ガラスフィルムを所望のサイズに割断する工程が含まれるのが通例である。

ガラスフィルムを割断するための方法の一つとして、レーザー割断がある（例えば特許文献１を参照）。この方法では、まず、ガラスフィルムの一端部における割断予定線（仮想的に存在する線）上、すなわち、割断予定線の一方端に初期クラックが形成される。その後、レーザーにより加熱された加熱領域とこれに追随する冷媒により冷却された冷却領域とを、ガラスフィルムの割断予定線の一端部から他端部に向けて順次に走査していく。これにより、加熱領域と冷却領域との温度差に起因して発生する熱応力によって初期クラックが割断予定線に沿って進展し、ガラスフィルムが割断（フルボディ切断）される。

特開２０１１－１４４０９２号公報

しかしながら、図９に示すように、ガラスフィルム１００をレーザー割断する場合、初期クラックの進展により形成される割断部（割断が完了している部分）１０１の終点となる割断予定線１０２の他方端１０２ａ近傍において、加熱領域１０３と冷却領域１０４とを同時に形成するためのスペースを確保することが難しい（鎖線で示す領域１０３、１０４を参照）。その結果、図１０に示すように、割断予定線１０２の他方端１０２ａ近傍では、初期クラックを進展させるための所望の熱応力を作用させることができず、割断部１０１が割断予定線１０２の他方端１０２ａに至る前に停止し、切れ残り部１０５が形成されるという問題がある。そして、このように切れ残り部１０５を後から折り割った場合には、割断部が曲がって割断予定線から外れ、充分な寸法精度が得られないことがある。

本発明は、切り残り部が生じないように、ガラスフィルムを割断予定線に沿ってレーザー割断することを課題とする。

上記の課題を解決するために創案された本発明は、支持部材によって裏面側から支持されたガラスフィルムの割断予定線上に初期クラックを形成した後、レーザーによる加熱及びこれに追随する冷媒による冷却により、初期クラックを割断予定線に沿って進展させて、ガラスフィルムを割断する割断工程を備えたガラスフィルムの製造方法であって、割断工程では、ガラスフィルムの割断予定線を境界とする少なくとも一方の領域と支持部材との間に、割断予定線の直下を除外した位置で割断予定線に沿って延びる支持バーを配置することにより、ガラスフィルムの割断予定線を含む部分を支持部材から浮かせた状態で、ガラスフィルムを割断することを特徴とする。このような構成によれば、割断予定線の他方端近傍で初期クラックを進展させる熱応力が不充分になっても、切り残り部が形成される事態を防止することができる。

このような事象が生じる原因は解明されていないが、次のように考えられる。すなわち、ガラスフィルムの割断予定線を含む部分が支持部材から浮いた状態となるため、割断予定線に沿ってガラスフィルムをレーザー割断すると、割断予定線上の割断部（割断が完了している部分）を境界とする一方の領域及び他方の領域が、それぞれ独立してより安定した状態（例えば平面をなす状態）に戻ろうとする。このような安定状態に戻ろうとする際に作用する力の方向及び／又は大きさは、割断部を境界とする一方の領域と他方の領域とで互いに異なる。その結果、割断予定線上の未割断部（割断が完了していない部分）に、レーザー割断による熱応力とは別に、例えば引き裂き力やせん断力などの初期クラックの進展を促進する補助的な力が作用すると考えられる。従って、初期クラックを進展させる熱応力が不充分になっても、このような補助的な力によって初期クラックの進展が持続され、切り残り部の発生が防止されると考えられる。

上記の構成において、ガラスフィルムの割断予定線を境界とする一方の領域が、ガラスフィルムの端部であり、この端部と支持部材との間にのみ支持バーを配置することにより、ガラスフィルムの割断予定線を含む部分を支持バーの一方の側方で支持部材から浮かせた状態で、ガラスフィルムを割断するようにしてもよい。このような割断方法は、ガラスフィルムの端部の幅（割断予定線と直交する方向における寸法）が小さい場合に有効である。

このように割断予定線の片側のみに支持バーを配置する場合、端部が、支持バーとの接触部を除く位置で支持部材から浮いていることが好ましい。このようにすれば、割断予定線上の未割断部に、初期クラックの進展を促進する補助的な力がより強く作用すると考えられる。

上記のように割断予定線の片側のみに支持バーを配置する場合、ガラスフィルムの割断予定線を含む部分は、支持バーに接触する第一接触部と、支持部材に接触する第二接触部とを備え、割断予定線は、第一接触部と第二接触部との間で、第一接触部側に偏って位置していることが好ましい。このようにすれば、割断予定線に沿ってより正確にレーザー割断を実施できることが確認されている。

上記の構成において、ガラスフィルムの割断予定線を境界とする一方の領域と支持部材との間、及び、ガラスフィルムの割断予定線を境界とする他方の領域と支持部材との間のそれぞれに支持バーを配置することにより、ガラスフィルムの割断予定線を含む部分を二本の支持バーの間で支持部材から浮かせた状態で、ガラスフィルムを割断するようにしてもよい。このような割断方法は、ガラスフィルムの割断予定線を境界とする一方の領域及び他方の領域のそれぞれの幅（割断予定線と直交する方向における寸法）が大きい場合に有効である。

このように割断予定線の両側に支持バーを配置する場合、ガラスフィルムの割断予定線を境界とする一方の領域が、ガラスフィルムの端部であり、端部が、支持バーとの接触部を除く位置で支持部材から浮いていてもよい。あるいは、端部の端縁が、支持部材に線接触しており、端部の残りの部分が、支持バーとの接触部を除く位置で支持部材か浮いていてもよい。このようにすれば、割断予定線上の未割断部に、初期クラックの進展を促進する補助的な力がより強く作用すると考えられる。

上記の構成において、支持バーが、割断予定線に沿う方向におけるガラスフィルムの全長に亘って連続的に配置されていることが好ましい。すなわち、支持バーが割断予定線に沿う方向で断続的に配置されていると、ガラスフィルムが途中で支持バーに乗り上げるなどして、ガラスフィルムが波打ったように湾曲してしまう。このようにガラスフィルムが波打ったように湾曲すると、初期クラックが割断予定線に沿って進展するのを阻害するような応力が作用するおそれがある。これに対し、支持バーが、割断予定線に沿う方向におけるガラスフィルムの全長に亘って連続的に配置されていると、割断予定線に沿う方向におけるガラスフィルムの全長が支持バーによって支持される。そのため、ガラスフィルムが波打ったように湾曲するという事態を防止することができる。従って、初期クラックが割断予定線に沿って進展するのを阻害するような応力が作用し難く、割断予定線に沿った正確なレーザー割断を実現し易くなる。

上記の構成において、支持バーが、平板からなることが好ましい。このようにすれば、支持部材に対する支持バーの姿勢や、支持バーに対するガラスフィルムの姿勢を安定させ易くなる。

上記の構成において、ガラスフィルムが、裏面側から断熱シートを介して支持部材及び支持バーにより支持されていることが好ましい。このようにすれば、断熱シートによって、レーザーの加熱による熱量や冷媒の冷却による熱量が支持部材及び支持バーに伝導されて逃げるのを抑制することができる。そのため、レーザーによる加熱と冷媒による冷却との温度差を充分に確保することが可能となり、熱効率を高めつつ、ガラスフィルムの正確なレーザー割断を実現することができる。このような割断方法は、ガラスフィルムが薄い場合（例えば厚みが２００μｍ以下の場合）に特に有効である。また、支持部材から浮いているガラスフィルムの割断予定線を含む部分も断熱シートによって支持されるため、ガラスフィルムの姿勢がより安定するという利点もある。

本発明によれば、切り残り部が生じないように、ガラスフィルムをレーザー割断することができる。

第一実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる割断工程及びそれを実施するための割断装置を示す平面図である。 図１のＡ－Ａ断面図であって、割断予定線の一方端に初期クラックを形成する状況を示す図である。 図１のＢ－Ｂ断面図であって、割断部が形成された直後の状況（第一状態）の一例を示す図である。 図１のＢ－Ｂ断面図であって、割断部が形成された直後の状況（第一状態の後の第二状態）の一例を示す図である。 第一実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる割断工程及びそれを実施するための割断装置の変形例を示す断面図である。 第一実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる割断工程及びそれを実施するための割断装置の変形例を示す断面図である。 第二実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる割断工程及びそれを実施するための割断装置を示す断面図であって、割断部が形成された直後の状況（第一状態）の一例を示す図である。 第二実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる割断工程及びそれを実施するための割断装置を示す断面図であって、割断部が形成された直後の状況（第一状態の後の第二状態）の一例を示す図である。 従来におけるガラスフィルムの割断方法を示す平面図である。 従来におけるガラスフィルムの割断方法を示す平面図である。

以下、本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法について添付図面を参照して説明する。なお、図中のＸＹＺは直交座標系である。Ｘ方向及びＹ方向は水平方向であり、Ｘ方向は幅方向とする。Ｚ方向は鉛直方向である。

＜第一実施形態＞
図１及び図２に示すように、第一実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に用いられる割断装置１は、ガラスフィルムＧを割断予定線Ｖに沿ってレーザー割断するものであって、支持部材２と、支持バー３と、レーザー発振器４と、冷媒噴射ノズル５と、支持台６とを備えている。

ガラスフィルムＧは矩形形状の枚様状である。ガラスフィルムＧの一辺の大きさは３００ｍｍ～３０００ｍｍであることが好ましく、厚みは５μｍ～３００μｍであることが好ましく、３０μｍ～２００μｍであることがより好ましい。

割断予定線Ｖは、ガラスフィルムＧの幅方向と直交する方向に対向する二辺の間に跨る直線状の仮想線である。この実施形態では、割断予定線Ｖは、ガラスフィルムＧのうち、幅方向中央部Ｇａとそれぞれの幅方向端部Ｇｂとの境界に計二本存在する。そのため、二本の割断予定線Ｖに沿ってレーザー割断すると、幅方向中央部Ｇａから両側の幅方向端部Ｇｂがそれぞれ分離される。ここで、幅方向端部Ｇｂは、例えば、成形過程の収縮等の影響により、幅方向中央部Ｇａに比べて厚みが大きい部分（耳部ともいう）を含む。もちろん、幅方向端部Ｇｂは、耳部を有する場合に限定されず、幅方向中央部Ｇａと実質的に同じ厚みであってもよい。

ガラスフィルムＧは、断熱シートＴを介して支持部材２及び支持バー３の上に配置されている。断熱シートＴは、レーザーＬの照射により形成された加熱領域Ｈの熱量や冷媒Ｗの噴射により形成された冷却領域Ｃの熱量が支持部材２や支持バー３に伝熱して逃げるのを抑制する。断熱シートＴは、支持部材２及び支持バー３よりも熱伝導率が低いことが好ましい。断熱シートＴとしては、例えば発泡樹脂や不織布などの樹脂シートを用いることができる。断熱シートＴは弾性シートであることが好ましい。なお、断熱シートＴは配置しなくてもよい。

支持部材２は、ガラスフィルムＧを裏面側から支持するものであって、この実施形態では定盤で構成されている。支持部材２の上面は、水平な単一平面であることが好ましい。

支持バー３は、ガラスフィルムＧの各割断予定線Ｖ近傍を裏面側から支持するものであって、この実施形態では、割断予定線Ｖと平行な方向に長尺な平板で構成されている。支持バー３の上面は、水平な平面であることが好ましい。

この実施形態では、支持バー３は、各割断予定線Ｖ近傍のうちの各割断予定線Ｖの直下を除外した位置で、幅方向端部Ｇｂと支持部材２との間、及び、幅方向中央部Ｇａと支持部材２との間に、割断予定線Ｖと平行に並列に二本配置されている。割断予定線Ｖは計二本存在するため、支持バー３は支持部材２の上に計四本配置されている。これにより、ガラスフィルムＧの各割断予定線Ｖを含む部分は、並列に配置された二本の支持バー３によって持ち上げられると共に、その二本の支持バー３の間で支持部材２から浮いた状態で保持される。なお、ガラスフィルムＧの割断予定線Ｖを含む部分は、二本の支持バー３の間で、水平な平面状となっていてもよいし、上方に凸となる凸曲面状となっていてもよいし、下方に凸となる凹曲面状となっていてもよい。

このように割断予定線Ｖの両側に二本の支持バー３を並列に配置する場合、幅方向端部Ｇｂの幅は相対的に大きいことが好ましい。ただし、幅方向中央部Ｇａの幅は幅方向端部Ｇｂの幅よりも大きいものとする。ここで、幅方向端部Ｇｂの幅が相対的に大きい場合としては、次の値を例示することができる。すなわち、ガラスフィルムＧの厚みが２００μｍのときは幅方向端部Ｇｂの幅が４６ｍｍ以上、ガラスフィルムＧの厚みが１００μｍのときは幅方向端部Ｇｂの幅が７０ｍｍ以上である。なお、上記の幅方向端部Ｇｂの幅は、ガラスフィルムＧを水平な平面の上に載置して測定した値とする。また、幅方向端部Ｇｂの幅の好適な範囲は、ガラスフィルムＧの厚みや、支持バー３の厚みや幅などの諸条件によって変動するため、例示したものに限定されない。

二本の支持バー３の間隔Ｄ１は、例えば５～５０ｍｍ（この実施形態では１５ｍｍ）が好ましい。

支持バー３の厚みは、例えば０．５～５ｍｍ（この実施形態では２ｍｍ）が好ましい。各支持バー３の厚みは、同じであることが好ましい。

支持バー３の幅は、例えば５～３０ｍｍ（この実施形態では１０ｍｍ）が好ましい。各支持バー３の幅は、同じであることが好ましい。

支持バー３は、支持部材２に固定されている。支持バー３の固定方法としては、ネジなどによる締結固定や、接着テープなどによる接着固定などが挙げられる。支持バー３は、支持部材２に対して着脱可能であってもよいし、支持部材２と一体化されていてもよい。

支持バー３の材質としては、例えば、金属や樹脂などが挙げられる。支持バー３が金属の場合は支持バー３の裏面全体を支持部材２に接着固定することが好ましく、支持バー３が樹脂の場合は支持バー３の長手方向の両端部のみを支持部材２に接着固定することが好ましい。もちろん、支持バー３の固定方法や固定位置は特に限定されない。

支持バー３は、割断予定線Ｖと平行な方向におけるガラスフィルムＧの全長に亘って連続的に配置されている。なお、支持バー３は、割断予定線Ｖと平行な方向におけるガラスフィルムＧの全長において、断続的に配置されていたり一部のみに配置されていたりしてもよい。この場合、支持バー３は、少なくとも割断予定線Ｖの他方端（初期クラックＳａが形成される割断予定線Ｖの一方端Ｖａと反対側の端）Ｖｂの近傍に配置されていることが好ましい。

支持部材２の支持面積（支持部材２とガラスフィルムＧとの接触面積）は、支持バー３の支持面積（支持バー３とガラスフィルムＧとの接触面積）よりも大きい。詳細には、支持部材２の支持面積は、支持バー３の支持面積の５倍以上であることが好ましい。これにより、ガラスフィルムＧの大部分が支持部材２によって支持されるため、レーザー割断時もガラスフィルムＧの姿勢が安定する。

レーザー発振器４は、ガラスフィルムＧの上方で、割断予定線Ｖに沿って移動可能な状態で配置されている。レーザー発振器４は、割断予定線ＶにレーザーＬを照射して加熱領域Ｈを形成すると共に、その移動に伴って加熱領域Ｈを割断予定線Ｖ上に走査する。

冷媒噴射ノズル５は、レーザー発振器４と同様にガラスフィルムＧの上方で、割断予定線Ｖに沿って移動可能な状態で配置されている。冷媒噴射ノズル５は、割断予定線ＶにおけるレーザーＬを照射済みの箇所に対し、冷媒（例えば霧状の水）Ｗを噴射して冷却領域Ｃを形成すると共に、その移動に伴って冷却領域Ｃを割断予定線Ｖ上に走査する。これにより、図１に示すように、加熱領域Ｈとこれに追随する冷却領域Ｃとが、割断予定線Ｖの一方端Ｖａ側から他方端Ｖｂ側に向かって順次に走査されていく。

レーザー発振器４及び冷媒噴射ノズル５が割断予定線Ｖと平行な方向に移動する速度は、２０～２００ｍｍ／ｓの範囲内であることが好ましい。

支持台６は、ガラスフィルムＧの割断予定線Ｖの一方端Ｖａ近傍を裏面側から支持するものであって、割断予定線Ｖの一方端Ｖａに初期クラックＳａを形成する際に用いられる。支持台６は、金属や樹脂などの所定の材質で形成された平板で構成されている。支持台６の上面は水平な平面であることが好ましい。支持台６は、支持バー３と同様に任意の固定方法により支持部材２に固定されている。なお、支持台６は配置しなくてもよい。

次に、第一実施形態に係るガラスフィルムの製造方法を説明する。この製造方法は、以上のように構成された割断装置１を用いた割断工程を含む。なお、以下では、割断工程において、ガラスフィルムＧの幅方向に対向する一対の辺に沿ってレーザー割断する場合を説明するが、残り一対の辺に沿っても同様の方法でレーザー割断が実施される。

割断工程では、まず、図２に示すように、ガラスフィルムＧの割断予定線Ｖの一方端Ｖａ近傍を支持台６によって平坦な状態で支持しつつ、ガラスフィルムＧの表面側でホイールカッター７を転動させ、割断予定線Ｖの一方端Ｖａに初期クラックＳａを形成する。ここで、ホイールカッター７を転動させる方向は、割断予定線Ｖに沿ってガラスフィルムＧの内側から端部側に向かう方向とすることが好ましい。また、ホイールカッター７を転動する距離は５～１０ｍｍの範囲内とすることが好ましい。なお、初期クラックＳａを形成する手段は、ホイールカッター７に限定されず、例えばダイヤモンドスクライブツールやレーザーなどであってもよい。また、割断工程の前工程で、ガラスフィルムＧの割断予定線Ｖの一方端Ｖａに初期クラックＳａを予め形成しておいてもよい。

このように初期クラックＳａを形成した後、図３及び図４に示すように、初期クラックＳａを始点に、割断予定線Ｖに沿ったレーザーＬの照射と、これに追随する冷媒Ｗの噴射とを行う。これにより、加熱領域Ｈと冷却領域Ｃとの温度差に起因して発生する熱応力で、初期クラックＳａを割断予定線Ｖに沿って他方端Ｖｂに向かって進展させる（図１を参照）。

この際、ガラスフィルムＧの割断予定線Ｖを含む部分は、割断予定線Ｖの全長に亘って並列に配置された二本の支持バー３によって持ち上げられると共に、その二本の支持バー３の間で支持部材２から浮いている。このような支持態様でガラスフィルムＧをレーザー割断すると、割断予定線Ｖの他方端Ｖｂ近傍で初期クラックＳａを進展させる熱応力が不充分になっても、切り残り部が形成される事態を防止することができる。

このような事象が生じる原因は解明されていないが、次のように考えられる。すわなち、ガラスフィルムＧの割断予定線Ｖを含む部分は、二本の支持バー３の間で支持部材２から浮いているため、割断予定線Ｖ上の割断部（割断が完了している部分）Ｓを境界とする幅方向端部Ｇｂと幅方向中央部Ｇａが、それぞれ独立してより安定した状態（例えば平面をなす状態）に戻ろうとする。このような安定状態に戻ろうとする際に作用する力の方向及び／又は大きさは、割断部Ｓを境界とする幅方向端部Ｇｂと幅方向中央部Ｇａとで互いに異なる。その結果、割断予定線Ｖ上の未割断部（割断が完了していない部分）に、レーザー割断による熱応力とは別に、例えば引き裂き力やせん断力などといった、初期クラックＳａの進展を促進する補助的な力（例えば、図４の矢印Ｆ１で示す力）が作用すると考えられる。従って、割断予定線Ｖの他方端Ｖｂ近傍で初期クラックＳａを進展させる熱応力が不充分になっても、このような補助的な力によって初期クラックＳａの進展が持続し、切り残り部の発生が防止されると考えられる。

第一実施形態に係るガラスフィルムの製造方法は、割断工程の前に、例えば、成形工程と、徐冷工程と、採板工程とを備えている。また、第一実施形態に係るガラスフィルムの製造方法は、割断工程の後に、例えば、洗浄工程（乾燥工程を含む）と、検査工程と、梱包工程とを備えている。なお、採板工程の後に熱処理工程を実施してもよい。また、割断工程の後に端面加工工程を実施してもよい。もちろん、割断工程のみを単独で実施してもよい。

成形工程では、オーバーフローダウンドロー法やフロート法等の公知の方法によって、溶融ガラスからガラスリボンを成形する。

徐冷工程では、成形されたガラスリボンの反り及び内部歪を低減するために、成形されたガラスリボンを徐冷する。

採板工程では、徐冷されたガラスリボンを所定の長さごとに切断し、複数枚のガラスフィルムを得る。または、徐冷されたガラスリボンを一旦ロール形状に採取した後、所定の長さごとに切断し、複数枚のガラスフィルムを得る。

熱処理工程では、例えば熱処理炉において、ガラスフィルムに対して熱処理を行う。

端面加工工程では、上記の割断工程において所定サイズに切断されたガラスフィルムに対して端面の研削、研磨及びコーナーカットを含む端面加工を行う。

洗浄工程では、ガラスフィルムを傾斜姿勢で搬送しながら洗浄した後に乾燥させる。もちろん、水平姿勢のガラスフィルムに対して洗浄工程を実施してもよい。

検査工程では、洗浄されたガラスフィルムに対して表面に傷、塵、汚れ等がないか、及び／又は、気泡、異物等の内部欠陥がないかを検査する。検査は、カメラ等の光学検査装置を用いて行う。

梱包工程では、検査の結果、所望の品質を満たすガラスフィルムを梱包する。梱包は、所定のパレットに対して、複数枚のガラスフィルムを平置きで積層したり、縦置きで積層したりすることによって行う。この場合、ガラスフィルムの積層方向の相互間には、合紙や発泡樹脂等からなる保護シートを介在させることが好ましい。

なお、この実施形態では、割断工程において、ガラスフィルムＧの幅方向端部Ｇｂが支持バー３を除く位置で支持部材２から浮いた状態でレーザー割断を実施しているが、これに限定されない。例えば、図５に示すように、幅方向端部Ｇｂの端縁Ｇｃが、断熱シートＴを介して支持部材２と線接触しており、幅方向端部Ｇｂの残りの部分が、断熱シートＴを介した支持バー３との接触部を除く位置で支持部材２から浮いていてもよい。あるいは、図６に示すように、幅方向端部Ｇｂの端縁Ｇｃを含む部分が、断熱シートＴを介して支持部材２と面接触しており、幅方向端部Ｇｂの残りの部分が、断熱シートＴを介した支持バー３との接触部を除く位置で支持部材２から浮いていてもよい。

また、この実施形態では、ガラスフィルムＧの幅方向端部Ｇｂと幅方向中央部Ｇａの境界に設けられた割断予定線Ｖに沿ってレーザー割断する場合を説明したが、上記の二本の支持バー３によるガラスフィルムＧの支持態様は、幅方向中央部Ｇａの所定位置に設けられた割断予定線に沿ってレーザー割断する場合にも利用できる。すなわち、このような支持態様は、レーザー割断により幅方向中央部Ｇａから幅方向端部Ｇｂを分離する場合に限定されない。

＜第二実施形態＞
第二実施形態に係るガラスフィルムの製造方法が、第一実施形態に係るガラスフィルムの製造方法と相違する点は、割断工程におけるガラスフィルムＧの支持態様である。以下では、この相違点について説明する。なお、共通する構成については同一符号を付して詳しい説明を省略する。

図７及び図８に示すように、第二実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる割断工程では、支持バー３は、各割断予定線Ｖ近傍のうちの各割断予定線Ｖの直下を除外した位置で、幅方向端部Ｇｂと支持部材２との間のみに、割断予定線Ｖと平行に一本配置されている。換言すれば、支持バー３は、幅方向中央部Ｇａと支持部材２との間には配置されていない。割断予定線Ｖは計二本存在するため、支持バー３は支持部材２の上に計二本配置されている。これにより、ガラスフィルムＧの各割断予定線Ｖを含む部分は、一本の支持バー３によって持ち上げられると共に、その一本の支持バー３の一方の側方、すなわち、幅方向中央部Ｇａ側で支持部材２から浮いた状態で保持される。なお、ガラスフィルムＧの割断予定線Ｖを含む部分は、支持バー３の一方の側方で、傾斜した平面状となっていてもよいし、上方に凸となる凸曲面状となっていてもよいし、下方に凸となる凹曲面状となっていてもよい。また、この実施形態では、幅方向端部Ｇｂ全体が、断熱シートＴを介した支持バー３との接触部を除く位置で、支持部材２から浮いた状態で保持されているが、幅方向端部Ｇｂの端縁を含む部分が、断熱シートＴを介して支持部材２と接触（線接触又は面接触）していてもよい。

このように割断予定線Ｖの片側にのみ一本の支持バー３を配置する場合には、幅方向端部Ｇｂの幅は相対的に小さいことが好ましい。ここで、幅方向端部Ｇｂの幅が相対的に小さい場合としては、次の値を例示することができる。すなわち、ガラスフィルムＧの厚みが２００μｍのときは幅方向端部Ｇｂの幅が４６ｍｍ未満（好ましくは４５ｍｍ以下）、ガラスフィルムＧの厚みが１００μｍのときは幅方向端部Ｇｂの幅が７０ｍｍ未満（好ましくは、５０ｍｍ以下）である。なお、上記の幅方向端部Ｇｂの幅は、ガラスフィルムＧを水平な平面の上に載置して測定した値とする。また、幅方向端部Ｇｂの幅の好適な範囲は、ガラスフィルムＧの厚みや、支持バー３の厚みや幅などの諸条件によって変動するため、例示したものに限定されない。

支持バー３の厚みは、例えば０．５～５ｍｍ（この実施形態では２ｍｍ）が好ましい。

支持バー３の幅は、例えば５～３０ｍｍ（この実施形態では１０ｍｍ）が好ましい。

ガラスフィルムＧの割断予定線Ｖを含む部分は、断熱シートＴを介して支持バー３に接触する第一接触部Ｐ１と、断熱シートＴを介して支持部材２に接触する第二接触部Ｐ２とを有する。第一接触部Ｐ１と第二接触部Ｐ２との間の間隔Ｄ２は、例えば３０～２００ｍｍ（この実施形態では１４０ｍｍ）が好ましい。

割断予定線Ｖは、第一接触部Ｐ１と第二接触部Ｐ２との間で、第一接触部Ｐ１側に偏って位置していることが好ましい。換言すれば、第二接触部Ｐ２と割断予定線Ｖとの間の間隔Ｄ３は、第一接触部Ｐ１と割断予定線Ｖとの間の間隔Ｄ４よりも大きいことが好ましい。間隔Ｄ３は、間隔Ｄ４の２倍以上であることが好ましい。

以上のような割断予定線Ｖの片側にのみ一本の支持バー３を配置した支持態様であっても、第一実施形態の割断工程と同様に、割断予定線Ｖ上の未割断部（割断が完了していない部分）に、レーザー割断による熱応力とは別に、例えば引き裂き力やせん断力などといった、初期クラックＳａの進展を促進する補助的な力（例えば、図８の矢印Ｆ２で示す力）が作用すると考えられる。従って、割断予定線Ｖの他方端Ｖｂ近傍で初期クラックＳａを進展させる熱応力が不充分になっても、切り残り部が形成される事態を防止することができる。特に、割断予定線Ｖが、第一接触部Ｐ１側に偏って位置している場合に、このような効果を享受し易い。

本発明は上記の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、更に種々なる形態で実施し得る。

上記の実施形態では、支持バーが割断予定線と平行な方向に長尺な平板である場合を説明したが、支持バーの形状はこれに限定されない。支持バーは、割断予定線と平行な方向に長尺であれば、例えば、円柱（楕円柱を含む）、多角柱（三角形や五角形以上の多角柱を含む）、半円柱（半楕円柱を含む）などであってもよい。なお、支持台の形状についても同様とする。

上記の実施形態において、レーザー発振器と冷媒噴射ノズルを定位置に保持し、支持部材と共にガラスフィルム側を移動させてもよい。この場合、支持部材としては、移動台やベルトコンベアなどを用いることができる。

上記の実施形態では、支持部材上で、二本の割断予定線に沿ってガラスフィルムをレーザー割断する場合を説明したが、三本以上の割断予定線に沿ってガラスフィルムをレーザー割断してもよいし、一本の割断予定線に沿ってガラスフィルムをレーザー割断してもよい。

上記の実施形態では、断熱シートに重ねられたガラスフィルムのみをレーザー割断する場合を説明したが、断熱シートもレーザーの加熱により割断予定線に沿って切断（溶断）してもよい。

１ 割断装置
２ 支持部材
３ 支持バー
４ レーザー発振器
５ 冷媒噴射ノズル
６ 支持台
７ ホイールカッター
Ｇ ガラスフィルム
Ｇａ 幅方向中央部
Ｇｂ 幅方向端部
Ｔ 断熱シート
Ｌ レーザー
Ｗ 冷媒
Ｃ 冷却領域
Ｈ 加熱領域
Ｖ 割断予定線
Ｓ 割断部
Ｓａ 初期クラック

Claims (10)

1. 支持部材によって裏面側から支持されたガラスフィルムの割断予定線上に初期クラックを形成した後、レーザーによる加熱及びこれに追随する冷媒による冷却により、前記初期クラックを前記割断予定線に沿って進展させて、前記ガラスフィルムを割断する割断工程を備えたガラスフィルムの製造方法であって、
   前記割断工程では、前記ガラスフィルムの前記割断予定線を境界とする少なくとも一方の領域と前記支持部材との間に、前記割断予定線の直下を除いた位置で前記割断予定線に沿って延びる支持バーを配置し、前記ガラスフィルムを前記支持バーで支持する第一部分と、前記支持バーを除外した位置で前記ガラスフィルムを前記支持部材で支持する第二部分とをそれぞれ形成すると共に、前記支持バーで支持する前記第一部分を前記支持部材で支持する前記第二部分よりも高位に位置させることにより、前記ガラスフィルムの前記割断予定線を含む部分を前記支持部材から浮かせた状態で、前記ガラスフィルムを割断することを特徴とするガラスフィルムの製造方法。
2. 前記ガラスフィルムの前記割断予定線を境界とする一方の領域が、前記ガラスフィルムの端部であり、
   前記端部と前記支持部材との間にのみ前記支持バーを配置することにより、前記ガラスフィルムの前記割断予定線を含む部分を前記支持バーの一方の側方で前記支持部材から浮かせた状態で、前記ガラスフィルムを割断することを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。
3. 前記端部が、前記支持バーとの接触部を除く位置で前記支持部材から浮いていることを特徴とする請求項２に記載のガラスフィルムの製造方法。
4. 前記ガラスフィルムの前記割断予定線を含む部分は、前記支持バーに接触する第一接触部と、前記支持部材に接触する第二接触部とを備え、
   前記割断予定線は、前記第一接触部と前記第二接触部との間で、前記第一接触部側に偏って位置していることを特徴とする請求項２又は３に記載のガラスフィルムの製造方法。
5. 前記ガラスフィルムの前記割断予定線を境界とする一方の領域と前記支持部材との間、及び、前記ガラスフィルムの前記割断予定線を境界とする他方の領域と前記支持部材との間のそれぞれに前記支持バーを配置することにより、前記ガラスフィルムの前記割断予定線を含む部分を二本の前記支持バーの間で前記支持部材から浮かせた状態で、前記ガラスフィルムを割断することを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。
6. 前記ガラスフィルムの前記割断予定線を境界とする一方の領域が、前記ガラスフィルムの端部であり、
   前記端部が、前記支持バーとの接触部を除く位置で前記支持部材から浮いていることを特徴とする請求項５に記載のガラスフィルムの製造方法。
7. 前記ガラスフィルムの前記割断予定線を境界とする一方の領域が、前記ガラスフィルムの端部であり、
   前記端部の端縁が、前記支持部材に線接触しており、前記端部の残りの部分が、前記支持バーとの接触部を除く位置で前記支持部材から浮いていることを特徴とする請求項５に記載のガラスフィルムの製造方法。
8. 前記支持バーが、前記割断予定線に沿う方向における前記ガラスフィルムの全長に亘って連続的に配置されていることを特徴とする請求項１～７のいずれか１項に記載のガラスフィルムの製造方法。
9. 前記支持バーが、平板からなることを特徴とする請求項１～８のいずれか1項に記載のガラスフィルムの製造方法。
10. 前記ガラスフィルムが、裏面側から断熱シートを介して前記支持部材及び前記支持バーにより支持されていることを特徴とする請求項１～９のいずれか１項に記載のガラスフィルムの製造方法。

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