WO2011155040A1 - 搬送システム及び搬送システム内での通信方法 - Google Patents

搬送システム及び搬送システム内での通信方法 Download PDF

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WO2011155040A1
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光哉 徳本
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ムラテックオートメーション株式会社
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    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • the present invention relates to a transport system, and more particularly to communication within the transport system.
  • FIG. 6 shows a transfer system using an automatic warehouse in front of the apparatus.
  • reference numeral 4 denotes a traveling rail
  • 6 an overhead traveling vehicle, which includes a communication unit 7 and communicates with a communication terminal 36 provided around the traveling rail 4 above the load port 12.
  • a processing apparatus 8 processes a semiconductor wafer and includes one or more load ports 12.
  • Reference numeral 10 denotes an automatic warehouse in front of the apparatus, which includes a plurality of shelves 16 and an in-warehouse transfer device 18.
  • the overhead traveling vehicle 6 transfers articles such as the FOUP 14 to and from the shelf 16 of the automatic warehouse 10 in front of the apparatus, and the articles are transferred between the shelf 16 and the load port 12 by the in-warehouse transfer device 18.
  • the overhead traveling vehicle 6 needs to communicate with the controllers 20 and 22 on the ground side before transferring articles to or from the shelf 16 or the load port 12. Therefore, a communication terminal 36 is provided around the traveling rail 4 above the load port 12 and communicates with the communication unit 7 of the overhead traveling vehicle 6 by optical communication.
  • the communication terminal 36 is provided for each load port 12, and the overhead traveling vehicle 6 is provided for each shelf 16 on which an article can be transferred. In FIG. 6, there are four load ports 12 and two shelves 16 on which the overhead traveling vehicle 6 can transfer articles. Further, since the overhead traveling vehicle 6 does not directly transfer the article to the load port 12, the connector 41 is removed from the wiring to the controller 20. Then, the controller 20 of the processing device 8 is connected to the controller 22 of the pre-device automatic warehouse 10 via connectors 40 and 42. Further, the controller 22 of the pre-device automatic warehouse 10 is connected to the communication terminal 36 via the connector 43.
  • FIG. 7 shows the result of the inventor's examination, and does not show a known system.
  • the pre-automatic automatic warehouse 10 is removed from the processing device 8, it is necessary to remove the connector 42 and connect the connector 41 to the controller 20. For these reasons, it is necessary to perform a large number of wirings between the ground side and the ceiling side, and it is necessary to switch wirings such as attachment / detachment of the connector 41 with the attachment / detachment of the automatic warehouse 10 in front of the apparatus.
  • a basic object of the present invention is to enable the automatic warehouse in front of the apparatus to be attached and detached without changing the wiring.
  • a secondary problem of the present invention is to simplify wiring between the ceiling side and the ground side.
  • the present invention is a transport system for loading and unloading articles with respect to a processing apparatus including a first load port and a first controller.
  • An article carrier An automatic warehouse in front of the apparatus, comprising a second load port capable of delivering articles to and from the transport vehicle, and a second controller, and detachable from the processing apparatus;
  • a communication terminal arranged within a range capable of communicating with the transport vehicle;
  • a communication device connected to the communication terminal, The communication device includes a switch that can switch a connection destination of the first controller between the second controller and the communication terminal.
  • the present invention is also a method for communicating within a transport system for carrying in and out articles to a processing apparatus including a first load port and a first controller
  • the transport system includes: An article carrier, An automatic warehouse in front of the apparatus, comprising a second load port capable of delivering articles to and from the transport vehicle, and a second controller, and detachable from the processing apparatus; A communication terminal arranged within a range capable of communicating with the transport vehicle; A communication device connected to the communication terminal, The switch in the communication device connects the first controller to the second controller when the pre-device automatic warehouse is set in the processing device, and the pre-device automatic warehouse is connected to the processing device.
  • the communication method in the transport system is characterized in that the communication terminal is connected to the communication system when it is removed from the transport system.
  • the switch connects the first controller to the second controller when the pre-device automatic warehouse is set in the processing device, and the pre-device automatic warehouse is connected to the processing device. When it is removed, it connects to the communication terminal. In this way, it is not necessary to reconnect the wiring when attaching / detaching the automatic warehouse in front of the apparatus.
  • the communication terminal is provided with a plurality of communication terminals of at least one communication terminal of the automatic warehouse in front of the apparatus and at least one communication terminal of the processing apparatus, and the plurality of communication terminals are connected in series,
  • the communication data is transferred in series, and only one of the base end side is connected to the communication device, and one of the plurality of communication terminals communicates with the transport vehicle, and the base end side communication terminal is Via the communication device.
  • the wiring between the communication device and the communication terminal can be combined into one, and there is no need to provide separate wiring for each automatic warehouse in front of the device and each device, and for each load port thereof.
  • the present invention further relates to a transport system for carrying an article in and out of a processing apparatus including a first load port and a first controller.
  • An article carrier An automatic warehouse in front of the apparatus, comprising a second load port capable of delivering articles to and from the transport vehicle, and a second controller, and detachable from the processing apparatus;
  • a communication device wirelessly communicating with the carrier vehicle, The communication device includes a switch capable of switching a connection destination of the first controller between the second controller and the transport vehicle.
  • the present invention is also a method for communicating within a transport system for carrying in and out an article to a processing apparatus including a first load port and a first controller
  • the transport system includes: An article carrier, An automatic warehouse in front of the apparatus, comprising a second load port capable of delivering articles to and from the transport vehicle, and a second controller, and detachable from the processing apparatus;
  • a communication device wirelessly communicating with the carrier vehicle, The switch in the communication device connects the first controller to the second controller when the pre-device automatic warehouse is set in the processing device, and the pre-device automatic warehouse is connected to the processing device. When it is removed from the vehicle, it is connected to the transport vehicle.
  • the transport vehicle since it is only necessary to switch the switch when activating either the first load port or the second load port. Furthermore, no communication terminal is required, and wiring with the communication terminal is also unnecessary. In addition, since the transport vehicle can communicate before it arrives in the vicinity of the first and second load ports, the transport vehicle does not stop when goods cannot be delivered to the first or second load port. Can be transported to improve transport efficiency.
  • the present invention further relates to a transport system for transporting articles to and from an apparatus including a first load port and a first controller, An article carrier, An automatic warehouse in front of the apparatus, comprising a second load port capable of delivering articles to and from the transport vehicle, and a second controller, and detachable from the processing apparatus; A communication terminal arranged within a range capable of communicating with the transport vehicle; A communication device connected to the communication terminal, The communication device uses the second controller as a connection destination of communication from the communication terminal to the communication device when the pre-device automatic warehouse is set in the processing device. Is removed from the processing apparatus, the switch is provided as the first controller.
  • the present invention is also a transport system for carrying an article in and out of an apparatus including a first load port and a first controller, An article carrier, An automatic warehouse in front of the apparatus, comprising a second load port capable of delivering articles to and from the transport vehicle, and a second controller, and detachable from the processing apparatus;
  • a communication device wirelessly communicating with the carrier vehicle, The communication device uses the second controller as a connection destination of communication from the transport vehicle to the communication device when the pre-device automatic warehouse is set in the processing device, and the pre-device automatic warehouse. Is removed from the processing apparatus, the switch is provided as the first controller.
  • the figure which shows the communication environment with a processing apparatus, the automatic warehouse in front of an apparatus, and an overhead traveling vehicle in the conveyance system of an Example The figure which shows the communication environment when the automatic warehouse in front of the device is removed from the embodiment The principal part top view of the conveyance system of an Example.
  • FIGS. 1 to 5 show the first and second embodiments, and the description will focus on the differences from the conventional example of FIGS. Note that items that are not described here are well-known items in the field of semiconductor transportation in a clean room.
  • 1 to 3 show a first embodiment
  • 2 is a transport system, transports semiconductor wafers and the like in a clean room
  • 4 is a travel rail provided in a ceiling space
  • 6 is an overhead travel vehicle that travels on the ground.
  • a transport vehicle may be used.
  • Reference numeral 8 denotes a processing apparatus for processing a semiconductor wafer and the like.
  • the processing apparatus 8 includes one to a plurality of, for example, four load ports 12 in the figure, and the controller 20 controls the processing apparatus 8 including the load port 12.
  • Reference numeral 10 denotes an automatic warehouse in front of the apparatus, which is detachable from the processing apparatus 8.
  • the automatic warehouse 10 in front of the apparatus is provided with a plurality of shelves 16 and a transport device 18 in the warehouse, and the articles such as the FOUP 14 are transferred between the shelves 16 and the load port 12.
  • One or more of the shelves 16, for example, two shelves 16 in the figure, can deliver the article to and from the overhead traveling vehicle 6.
  • the load port 12 of the processing device 8 is called a first load port
  • the shelf 16 of the automatic warehouse 10 is called a second load port.
  • the overhead traveling vehicle 6 communicates with the communication terminals 36a to 36c in the surroundings, that is, within the communicable range, by the communication unit 7 using radio, light, infrared, or the like.
  • the plurality of communication terminals 36a to 36c are connected in series by a daisy chain, and the communication terminal 36a serving as the base end of the daisy chain is connected to the communication device 30 by wire.
  • Reference numeral 36b denotes a communication terminal that becomes the end of the daisy chain
  • reference numeral 36c denotes a communication terminal that becomes a relay.
  • the communication terminals 36 a to 36 c are arranged on the upper portions of the load port 12 and the shelf 16 and do not constitute a LAN extending along the traveling rail 4.
  • FIG. 3 shows the transfer system viewed from the ceiling side.
  • the processing device 8 includes, for example, four load ports 12 immediately below the traveling rail 4, and communication terminals 36 c corresponding to the vicinity of the load ports 12 are provided.
  • the automatic warehouse 10 in front of the apparatus includes, for example, two shelves 16 on which articles can be transferred to and from the overhead traveling vehicle 6, and one in the vicinity of each shelf 16, two communication terminals 36 a, b in total. It has.
  • the communication terminals 36a to 36c are connected in series by a daisy chain, and only the base communication terminal 36a is connected to the communication unit 34 of the communication device 30.
  • the ground side communication device 30 includes a distributor 32 and a communication unit 34, and the distributor 32 switches the connection destination of the wiring connected from the controller 20 via the connector 40 between the controller 22 and the communication unit 34.
  • the distributor 32 is an example of a switch, and the switch may be an electrical switch such as a relay or an electronic switch using a semiconductor.
  • the communication unit 34 communicates with the communication unit 36a that is the base end of the daisy chain.
  • the wiring connected from the controller 20 to the communication device 30 is connected to the controller 22 by the distributor 32.
  • the controllers 20 and 22 communicate with each other and can exchange data relating to transfer between the automatic warehouse 10 before the apparatus and the load port 12.
  • the distributor 32 connects the wiring from the controller 20 to the communication unit 34.
  • the controller 20 and the communication terminals 36a to 36c can be connected to exchange data related to transfer between the load port 12 and the overhead traveling vehicle 6.
  • the communication unit 7 of the overhead traveling vehicle 6 communicates by distinguishing the individual communication terminals 36a to 36c, communication is performed by adding the ID to the communication data with the port number or the like as the ID of the communication terminal. Further, the communication unit 34 adds an ID such as a port number to the communication data and transmits it to the communication terminals 36a to 36c according to which wiring in the communication device 30 the signal is received. In the daisy chain formed by the communication terminals 36a to 36c, data is transferred with the IDs of the communication terminals 36a to 36c as the source address or the destination address.
  • the communication terminals 36a to 36c of the destination address receive and transfer signals to the base end side of the daisy chain.
  • the communication terminals 36a to 36c form a daisy chain means that each communication terminal is connected in series from the base communication terminal 36a to the terminal communication terminal 36b, and the intermediate communication terminal 36c becomes a relay terminal. .
  • the intermediate communication terminal 36c has the base end side and the terminal end side of the daisy chain connected to the adjacent communication terminals 36a to 36c by the same type of connector.
  • the base and terminal communication terminals 36a and 36b are connected by the same type of connector as the relay communication terminal 36c.
  • the communication method itself is arbitrary such as full duplex or half duplex.
  • the overhead traveling vehicle 6 communicates with appropriate communication terminals 36a to 36c via the communication unit 7, and the communication result via the daisy chain. Is input to the communication unit 34 and transmitted to the controller 22. Communication from the controller 22 is transmitted from the communication terminals 36a to 36c to the communication unit 7 via the reverse path. The controller 20 and the controller 22 communicate with each other via the distributor 32.
  • the communication apparatus 30 includes a communication unit 35 that performs wireless communication, optical communication, infrared communication, and the like in place of the wired communication unit 34, except for the points that have been particularly pointed out. .
  • the communication terminals 36a to 36c are not necessary, it is assumed that the communication terminals 36a to 36c are virtually present in order to specify which load port 12 or which shelf 16 is related to transfer. Use that ID.
  • the communication unit 7 of the overhead traveling vehicle 6 designates the IDs of the virtual communication terminals 36 a to 36 c and communicates toward the communication unit 35.
  • the communication unit 35 also communicates with the communication unit 7 by adding the IDs of the virtual communication terminals 36a to 36c. Communication between the communication unit 35 and the communication unit 7 is performed by adding the IDs of the communication terminals 36a to 36c. Therefore, from the overhead traveling vehicle 6, communication is performed in the same environment as in FIGS. Become. Further, communication from the controllers 20 and 22 is performed in the same procedure as in FIGS. The difference is that the communication unit 35 on the ground side communicates directly with the communication unit 6 on the overhead traveling vehicle side using the IDs of the individual communication terminals 36a to 36c.
  • FIG. 4 shows a state in which the pre-device automatic warehouse 10 is set in the processing device 8, and the controller 22 communicates with the overhead traveling vehicle 6 through the communication unit 35 and also communicates with the controller 22 through the distributor 32.
  • FIG. 5 shows a state where the pre-device automatic warehouse 10 is removed from the processing device 8.
  • the distributor 32 changes the connection destination of the controller 20 from the controller 22 to the communication unit 35, and the controller 20 communicates with the overhead traveling vehicle 6 via the distributor 32 and the communication unit 35.
  • the overhead traveling vehicle 6 can communicate with the communication unit 35 before reaching the overhead automatic warehouse 10 or the load port 12 in front of the apparatus. Therefore, the data related to the transfer of the article can be exchanged before the overhead traveling vehicle 6 arrives at the destination. For example, when the article cannot be delivered, the overhead traveling vehicle 6 does not stop, and preferably does not decelerate. It can pass through the port 12 and the upper part of the automatic warehouse 10 before the apparatus. Therefore, useless stops of the overhead traveling vehicle 6 can be reduced, and traffic congestion can be alleviated.
  • the controller 22 is always connected to the communication units 34 and 35, but when the pre-automatic warehouse 10 is removed from the processing device 8, the distributor 32 connects the controller 22 and the communication units 34 and 35. You may cancel.
  • the distributor 32 may detect whether or not the pre-device automatic warehouse 10 has been attached to or detached from the processing device 8 and switch automatically or manually.
  • the processing apparatus 8 is shown as an apparatus including the load port 12, but other apparatuses such as an inspection apparatus may be used.
  • the article to be conveyed may be another article such as a reticle.
  • the automatic warehouse 10 in front of the apparatus uses the shelf 16 to transfer the overhead traveling vehicle 6 and the article, but a load port other than the shelf may be used.
  • the wiring from the communication device 30 and the controller 22 is effective even when the pre-device automatic warehouse 10 is removed from the processing device 8. However, if the pre-device automatic warehouse 10 is removed from the processing device 8 so that the wiring between the communication units 34 and 35 and the controller 22 also passes through the distributor 32, the communication between the communication units 34 and 35 and the controller 22 is interrupted. Also good.
  • the signal flow in the embodiment of FIGS. 1 to 3 will be described again.
  • the overhead traveling vehicle 6 stops near the load port 12 or the shelf 16 to be transferred, adds the ID of the load port 12 or the shelf 16, and transmits a signal for transferring the article to the communication terminals 36a to 36c.
  • the communication terminals 36a to 36c are connected in a daisy chain, and a signal is transmitted from the communication terminal 36a on the base end side to the communication unit 34 of the communication device 30.
  • the pre-device automatic warehouse 10 is set in the processing device 8 as shown in FIG. 1, the signal added with the ID corresponding to the load port 12 of the communication terminals 36a to 36c is sent from the communication device 30 to the controller 22. For example, no response occurs and an error occurs.
  • Such a signal may be transferred to the controller 22, and a signal may be returned from the controller 22 indicating that it cannot be transferred to the load port 12 but can be transferred to the shelf 16.
  • the signal with the ID corresponding to the shelf 16 is transferred to the controller 22 and a transfer approval signal or the like is returned through the reverse route.
  • the signal added with the ID of the load port 12 is transferred from the communication device 30 to the controller 20, and the reply from the controller 20 is The information is returned to the communication terminals 36a to 36c determined by the ID via the distributor 30, the communication unit 34, and the communication terminal 36a.
  • the signal to which the ID corresponding to the shelf 16 is added is transferred from the communication unit 34 to the controller 22 and the automatic warehouse 10 in front of the apparatus cannot transfer the article. Therefore, an error signal is returned or an error occurs when there is no response. .
  • the communication unit 34 may ignore the signal added with the ID corresponding to the shelves 1 and 6 without transferring the signal to the controller 22.
  • the communication terminals 36a to 36c do not actually exist, and the overhead traveling vehicle 6 communicates a signal related to transfer from the communication unit 7 without stopping from the upstream side of the load port 12 or the shelf 16. Transmit to unit 35.
  • the signal to which the ID corresponding to the load port 12 is added is not processed by the communication unit 35, for example, on the overhead traveling vehicle 6 side. An error occurs when time is over. Such a signal may be transferred to the controller 22 and processed on the controller 22 side.
  • the overhead traveling vehicle 6 starts communication without stopping and does not succeed in exchanging signals related to transfer, the overhead traveling vehicle 6 does not stop even if it decelerates.
  • a signal to which an ID corresponding to the shelf 16 is added is transferred to the controller 22 and returned from the controller 22 side to the communication unit 7 of the overhead traveling vehicle 6 via the communication unit 35.

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Abstract

　着脱自在な装置前自動倉庫（１０）を設けると共に、装置前自動倉庫（１０）の着脱に伴う第１のコントローラ（２０）の配線の変更を不要にする。第１のロードポート（１２）と第１のコントローラ（２０）とを備えた装置に対し、搬送車（６）との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポート（１６）と、第２のコントローラ（２２）とを備えた装置前自動倉庫（１０）を着脱自在に設ける。また物品の搬送車と通信可能な範囲内に配置された通信端末と、通信端末に接続された通信装置（３０）とを設ける。通信装置（３０）は、第１のコントローラ（２０）の接続先を、記第２のコントローラ（２２）と通信端末（３０）との間でスイッチにより切り換える。

Description

搬送システム及び搬送システム内での通信方法
　この発明は搬送システムに関し、特に搬送システム内での通信に関する。
　クリーンルーム内での半導体の搬送などで、処理装置のロードポートを覆うように、装置前自動倉庫を取り付け、搬送車とロードポートとの間の物品の移載を、装置前自動倉庫で中継することが知られている（例えば特許文献１：JP2001-298069A）。図６に、装置前自動倉庫を用いた搬送システムを示す。図において４は走行レール、６は天井走行車で、通信ユニット７を備え、ロードポート１２の上部で走行レール４の周囲に設けられた通信端末３６と通信する。８は処理装置で、半導体ウェハーなどを処理し、ロードポート１２を１個～複数個備えている。１０は装置前自動倉庫で、複数の棚１６と、倉庫内搬送装置１８とを備えている。天井走行車６は装置前自動倉庫１０の棚１６との間で、FOUP１４などの物品を移載し、倉庫内搬送装置１８により棚１６とロードポート１２との間で物品を移載する。
　天井走行車６は、棚１６もしくはロードポート１２との間で物品を移載する前に、地上側のコントローラ２０，２２と通信する必要がある。このため通信端末３６をロードポート１２の上部で走行レール４の周囲に設け、光通信により天井走行車６の通信ユニット７と通信する。通信端末３６はロードポート１２毎に設けられ、また天井走行車６が物品を移載可能な棚１６毎に設けられている。図６では、ロードポート１２が４個有り、天井走行車６が物品を移載可能な棚１６が２個有るものとしている。またロードポート１２へ天井走行車６が直接に物品を移載することはないので、コネクタ４１をコントローラ２０への配線から外す。そして処理装置８のコントローラ２０を装置前自動倉庫１０のコントローラ２２へ、コネクタ４０，４２を介して、接続する。また装置前自動倉庫１０のコントローラ２２を、コネクタ４３を介して、通信端末３６に接続する。
　発明者はここで、図７に示すように、装置前自動倉庫１０を装置８に対し着脱自在にする可能性を検討した。なお図７は、発明者の検討結果を示すもので、公知のシステムを示すものではない。図７のように、装置前自動倉庫１０を処理装置８から取り外すと、コネクタ４２を外して、コネクタ４１をコントローラ２０に接続する必要がある。これらのため、地上側と天井側との間で多数本の配線を行う必要があり、装置前自動倉庫１０の着脱に伴い、コネクタ４１の着脱等の配線の切換を行う必要がある。
JP2001-298069A
　この発明の基本的課題は、配線の変更なしで、装置前自動倉庫を着脱できるようにすることにある。
　この発明の副次的課題は、天井側と地上側との配線を簡単にすることにある。
　この発明は、第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた処理装置に対し、物品を搬出入するための搬送システムであって、
　物品の搬送車と、
　前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
　前記搬送車と通信可能な範囲内に配置された通信端末と、
　前記通信端末に接続された通信装置とを備え、
　前記通信装置は、前記第１のコントローラの接続先を、前記第２のコントローラと前記通信端末との間で切換自在なスイッチを備えていることを特徴とする。
　またこの発明は、第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた処理装置に対し、物品を搬出入するための搬送システム内で通信する方法であって、
　前記搬送システムは、
　　物品の搬送車と、
　　前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
　　前記搬送車と通信可能な範囲内に配置された通信端末と、
　　前記通信端末に接続された通信装置とを備え、
　前記通信装置内のスイッチにより、前記第１のコントローラを、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には前記第２のコントローラに接続し、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には前記通信端末に接続することを特徴とする、搬送システム内での通信方法にある。
　この発明では、第１のロードポートと第２のロードポートのいずれを有効にするかに際して、スイッチを切り換えるだけで良く、装置のコントローラと装置前自動倉庫のコントローラとの接続を外し、装置のコントローラを通信端末へ接続し直す作業が不要になる。
　好ましくは、前記スイッチは、前記第１のコントローラを、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には前記第２のコントローラに接続し、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には前記通信端末に接続する。このようにすると、装置前自動倉庫の着脱時に、配線を接続し直す作業が不要になる。
　好ましくは、前記通信端末は、前記装置前自動倉庫の通信端末を少なくとも１個、前記処理装置の通信端末を少なくとも１個、合計で複数個設けられ、複数の通信端末は直列に接続されて、直列に通信データを転送し、その基端側の１個のみが前記通信装置に接続され、かつ複数の通信端末中の１個が前記搬送車と通信すると共に、前記基端側の通信端末を介して前記通信装置と通信するように構成されている。このようにすると、通信装置と通信端末との配線を１本にまとめることができ、装置前自動倉庫と装置毎に、またそれらの各ロードポート毎に別々の配線を施す必要がない。
　この発明はさらに、第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた処理装置に対し、物品を搬出入するための搬送システムであって、
　物品の搬送車と、
　前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
　前記搬送車とワイヤレスで通信する通信装置とを備え、
　前記通信装置は、前記第１のコントローラの接続先を、前記第２のコントローラと前記搬送車との間で切換自在なスイッチを備えていることを特徴とする。
　この発明はまた、　第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた処理装置に対し、物品を搬出入するための搬送システム内で通信する方法であって、
　前記搬送システムは、
　　物品の搬送車と、
　　前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
　　前記搬送車とワイヤレスで通信する通信装置とを備え、
　前記通信装置内のスイッチにより、前記第１のコントローラを、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には前記第２のコントローラに接続し、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には前記搬送車に接続することを特徴とする。
　このようにすると、第１のロードポートと第２のロードポートのいずれを有効にするかに際して、スイッチを切り換えるだけで良くなる。さらに通信端末が不要で、通信端末との配線も不要になる。また搬送車が第１及び第２のロードポートの付近に到着する前から通信できるので、第１あるいは第２のロードポートとの間で物品を受け渡すことができない場合、搬送車は停止せずに通過でき、搬送効率が向上する。
　この発明はさらに、第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた装置に対し、物品を搬出入するための搬送システムであって、
　物品の搬送車と、
　前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
　前記搬送車と通信可能な範囲内に配置された通信端末と、
　前記通信端末に接続された通信装置とを備え、
　前記通信装置は、前記通信端末から前記通信装置への通信の接続先を、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には、前記第２のコントローラとし、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には、前記第１のコントローラとするスイッチを備えていることを特徴とする。
　このようにすると、装置前自動倉庫の着脱に従って、通信端末からの通信先をスイッチで変更するので、配線の変更が不要になる。
　この発明はまた、第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた装置に対し、物品を搬出入するための搬送システムであって、
　物品の搬送車と、
　前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
　前記搬送車とワイヤレスで通信する通信装置とを備え、
　前記通信装置は、前記搬送車から前記通信装置への通信の接続先を、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には、前記第２のコントローラとし、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には、前記第１のコントローラとするスイッチを備えていることを特徴とする。
　このようにすると、装置前自動倉庫の着脱に従って、搬送車からの通信先をスイッチで変更するので、配線の変更が不要になる。また通信装置と搬送車はワイヤレスに通信するので、通信端末を搬送車の走行経路の付近に設ける必要が無くなる。さらに第１あるいは第２のロードポートとの間で物品を受け渡すことができない場合、搬送車は停止せずに通過でき、搬送効率が向上する。
　
実施例の搬送システムでの、処理装置と装置前自動倉庫と、天井走行車との通信環境を示す図 実施例から装置前自動倉庫を取り外した際の通信環境を示す図 実施例の搬送システムの要部平面図 第２の施例の搬送システムでの、処理装置と装置前自動倉庫と、天井走行車との通信環境を示す図 図４の実施例から装置前自動倉庫を取り外した際の通信環境を示す図 従来例の搬送システムでの、処理装置と装置前自動倉庫と、天井走行車との通信環境を示す図 装置前自動倉庫を着脱自在にする際の参考例を示す図
　以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。
　図１～図５に第１及び第２の実施例を示し、図６，図７の従来例との相違点を中心に説明する。なお説明を省略する事項は、クリーンルーム内での半導体搬送の分野において周知の事項である。図１～図３は第１の実施例を示し、２は搬送システムで、クリーンルーム内で半導体ウェハーなどを搬送し、４は天井空間に設けられた走行レール、６は天井走行車で地上走行の搬送車でもよい。８は処理装置で半導体ウェハーなどを処理し、１個～複数個、図では例えば４個のロードポート１２を備え、コントローラ２０によりロードポート１２を含む処理装置８を制御する。なお半導体ウェハーなどの検査装置も処理装置８に含めるものとする。１０は装置前自動倉庫で、処理装置８に対し着脱自在である。また装置前自動倉庫１０は複数個の棚１６と倉庫内搬送装置１８を備え、棚１６とロードポート１２との間で,FOUP１４などの物品を移載する。そして棚１６の内の１～複数個、図では例えば２個の棚１６が天井走行車６と物品を受け渡しできる。処理装置８のロードポート１２を第１のロードポート、自動倉庫１０の棚１６を第２のロードポートと呼ぶ。
　天井走行車６は、無線、光、赤外線等を用いた通信ユニット７により、周囲の即ち通信可能範囲内の、通信端末３６ａ～ｃと通信する。複数個の通信端末３６ａ～ｃはデイジーチェーンにより直列に接続され、デイジーチェーンの基端となる通信端末３６ａは通信装置３０と有線で接続されている。３６ｂはデイジーチェーンの終端となる通信端末、３６ｃは中継となる通信端末である。また通信端末３６ａ～ｃは、図３に示すように、ロードポート１２及び棚１６のの上部に配置され、走行レール４に沿って延びるＬＡＮを構成するのではない。
　図３は天井側から見た搬送システムを示し、処理装置８は走行レール４の直下に例えば４個のロードポート１２を備え、各々のロードポート１２の付近に対応する通信端末３６ｃが設けられている。また装置前自動倉庫１０は、天井走行車６との間で物品を移載自在な棚１６を例えば２個備え、各々の棚１６の付近に１個ずつ、合計２個の通信端末３６ａ，bを備えている。そして通信端末３６ａ～ｃはデイジーチェーンにより直列に接続され、基端側の通信端末３６ａのみが通信装置３０の通信ユニット３４と接続されている。
　地上側の通信装置３０はディストリビュータ３２と通信ユニット３４とを備え、ディストリビュータ３２は、コントローラ２０からコネクタ４０を介して接続された配線の接続先を、コントローラ２２と通信ユニット３４との間で切り換える。ディストリビュータ３２はスイッチの例で、スイッチはリレー等の電気的スイッチでも、半導体を用いた電子的スイッチでも良い。また通信ユニット３４はデイジーチェーンの基端となる通信ユニット３６ａとの通信を行う。
　装置前自動倉庫１０が処理装置８に取り付けられている場合、ディストリビュータ３２により、コントローラ２０から通信装置３０へ接続された配線は、コントローラ２２へ接続される。これによってコントローラ２０，２２が通信し、装置前自動倉庫１０とロードポート１２間の移載に関するデータを交換できる。図２のように、装置前自動倉庫１０を処理装置８から取り外すと、ディストリビュータ３２はコントローラ２０からの配線を通信ユニット３４へ接続する。これによってコントローラ２０と通信端末３６ａ～ｃを接続し、ロードポート１２と天井走行車６との間の移載に関するデータを交換できる。
　天井走行車６の通信ユニット７は個々の通信端末３６ａ～ｃを区別して通信するため、ポート番号等を通信端末のIDとして、通信データにIDを付加して通信する。また通信ユニット３４は通信装置３０内のどの配線から受け取った信号であるかに応じて、通信データにポート番号などのIDを付加して通信端末３６ａ～ｃへ送信する。そして通信端末３６ａ～ｃが構成するデイジーチェーンでは、通信端末３６ａ～ｃのIDを発信元のアドレスもしくは宛先のアドレスとし、データを転送する。通信ユニット３４からの通信では、宛先アドレス以外の通信端末３６ａ～ｃは終端側へ信号を転送し、宛先アドレスの通信端末３６ａ～ｃは終端側へ転送せずに、通信ユニット７へ送信する。通信ユニット７からの通信では、宛先アドレスの通信端末３６ａ～ｃが受信して、デイジーチェーンの基端側へ信号を転送する。ここで通信端末３６ａ～ｃがデイジーチェーンを成すとは、基端の通信端末３６ａから終端の通信端末３６ｂまで各通信端末が直列に接続され、中間の通信端末３６ｃが中継端末となることを言う。また物理的には、中間の通信端末３６ｃはデイジーチェーンの基端側と終端側とを隣接する通信端末３６ａ～ｃと同種のコネクタで接続されている。基端及び終端の通信端末３６ａ，ｂは中継の通信端末３６ｃと同種のコネクタで接続されている。また通信の方式自体は全２重、半２重など任意である。
　図１のように、装置前自動倉庫１０を処理装置８に取り付けた状態では、天井走行車６は通信ユニット７を介して適宜の通信端末３６ａ～ｃと通信し、デイジーチェーンを介して通信結果は通信ユニット３４へ入力され、コントローラ２２へ伝えられる。コントローラ２２からの通信は、逆の経路を介して、通信端末３６ａ～ｃから通信ユニット７へ伝えられる。そしてコントローラ２０とコントローラ２２とは、ディストリビュータ３２を介して互いに通信する。
　これに対して図２のように、装置前自動倉庫１０を取り外すと、コントローラ２０からの配線の接続先が、ディストリビュータ３２で通信ユニット３４へと切り換えられ、コントローラ２０は天井走行車６と通信できる。このため装置前自動倉庫１０を取り外しても、ディストリビュータ３２の接続先を切り換えるだけで、ロードポート１２と天井走行車６との間で物品の移載ができる。これらの結果、以下の効果が得られる。天井側と地上側とを結ぶ配線は１本で良く、配線作業が簡単である。装置前自動倉庫１０の着脱に際して必要なのは、ディストリビュータ３２の切換のみで、図６，図７の従来例のように、コネクタ４０～４２の切換は不要である。
　図１，図２の実施例では、通信端末３６ａ～３６ｃと天井走行車６との間で通信したが、天井走行車６が地上側の通信装置３０との間で、直接通信することも可能である。このような実施例を図４，図５に示す。特に指摘した点以外は図１，図２の実施例と同様で、通信装置３０は、有線の通信ユニット３４に代えて、無線通信、光通信、赤外線通信等を行う通信ユニット３５を備えている。このため通信端末３６ａ～ｃが不要になるが、どのロードポート１２あるいはどの棚１６との間の移載に関する通信であるかを指定するため、通信端末３６ａ～３６ｃが仮想的に存在するものとして、そのIDを用いる。天井走行車６の通信ユニット７は、仮想的な通信端末３６ａ～３６ｃのIDを指定して、通信ユニット３５へ向けて通信する。通信ユニット３５も、仮想的な通信端末３６ａ～３６ｃのIDを付加して、通信ユニット７と通信する。通信ユニット３５と通信ユニット７との通信は、通信端末３６ａ～３６ｃのIDを付加して行われるので、天井走行車６からすると、図１，図２と同じ環境で同じ手順により通信することになる。またコントローラ２０，２２からしても、図１，図２と同じ手順で通信することになる。相違点は、地上側の通信ユニット３５が個々の通信端末３６ａ～ｃのIDを用いて、天井走行車側の通信ユニット６と直接に通信することである。
　図４は装置前自動倉庫１０が処理装置８にセットされた状態を示し、コントローラ２２は、通信ユニット３５を介して天井走行車６と通信し、またディストリビュータ３２を介してコントローラ２２と通信する。図５は装置前自動倉庫１０を処理装置８から取り外した状態を示す。ディストリビュータ３２により、コントローラ２０の接続先をコントローラ２２から通信ユニット３５に変更し、コントローラ２０はディストリビュータ３２と通信ユニット３５を介して、天井走行車６と通信する。
　図４，図５の実施例では、天井空間と地上側の配線が不要である。さらに天井走行車６は装置前自動倉庫１０あるいはロードポート１２の直上に達する前に、通信ユニット３５と通信できる。従って物品の移載に関するデータを、天井走行車６が目的地に到着する前に交換でき、例えば物品の受け渡しができない場合、天井走行車６は停止せずに、好ましくは減速せずに、ロードポート１２及び装置前自動倉庫１０の上部を通過できる。従って、天井走行車６の無駄な停止を減らし、渋滞を緩和できる。
　各実施例では、コントローラ２２を常時通信ユニット３４，３５と接続するが、装置前自動倉庫１０を処理装置８から取り外した際に、ディストリビュータ３２により、コントローラ２２と通信ユニット３４，３５との接続を解除しても良い。ディストリビュータ３２は、装置前自動倉庫１０が処理装置８に着脱されたことを検出して自動的に切り換えても、マニュアルで切り換えても良い。実施例ではロードポート１２を備えた装置として処理装置８を示すが、検査装置などの他の装置でも良い。また搬送する物品は半導体ウェハーの他に、レチクル等の他の物品でも良い。装置前自動倉庫１０は棚１６を用いて天井走行車６と物品を受け渡すが、棚以外のロードポートを用いても良い。
　なお各実施例では、装置前自動倉庫１０を処理装置８から取り外した時でも、通信装置３０とコントローラ２２からの配線は有効である。しかし通信ユニット３４，３５とコントローラ２２との配線もディストリビュータ３２を経由するようにして、装置前自動倉庫１０を処理装置８から取り外すと、通信ユニット３４，３５とコントローラ２２との通信を遮断しても良い。
　図１～図３の実施例での、信号の流れを再度説明する。天井走行車６は移載しようとするロードポート１２もしくは棚１６の付近で停止し、ロードポート１２もしくは棚１６のIDを付加して、物品の移載用の信号を通信端末３６ａ～ｃへ送信する。通信端末３６ａ～ｃはデイジーチェーンで接続され、信号は基端側の通信端末３６ａから通信装置３０の通信ユニット３４へ送信される。図１のように装置前自動倉庫１０が処理装置８にセットされている場合、通信端末３６ａ～ｃのIDでロードポート１２に対応するものを付加された信号は、通信装置３０からコントローラ２２へ転送されず、例えば無応答でエラーとなる。なおこのような信号をコントローラ２２へ転送し、コントローラ２２から、ロードポート１２とは移載できないが、棚１６とは移載できる等の信号を返信しても良い。また棚１６に対応するIDを付加された信号はコントローラ２２へ転送され、逆の経路で移載の承認信号等が返信される。
　図２のように、装置前自動倉庫１０が処理装置８から外されている場合、ロードポート１２のIDを付加された信号は、通信装置３０からコントローラ２０へ転送され、コントローラ２０からの返信はディストリビュータ３０，通信ユニット３４、通信端末３６ａを介して、前記のIDで定まる通信端末３６ａ～ｃへ返信される。棚１６に対応するIDを付加された信号は、通信ユニット３４からコントローラ２２へ転送され、装置前自動倉庫１０は物品を移載できない状態なので、エラー信号が返信されるか無応答でエラーとなる。この時、通信ユニット３４は棚１、６に対応するIDが付加された信号を、コントローラ２２へ転送せずに無視しても良い。
　図４，図５の実施例では、通信端末３６ａ～ｃが実在せず、天井走行車６はロードポート１２あるいは棚１６の上流側から停止せずに、通信ユニット７から移載に関する信号を通信ユニット３５へ送信する。図４のように装置前自動倉庫１０が処理装置８にセットされた状態では、ロードポート１２に対応するIDが付加された信号は、例えば通信ユニット３５では処理されず、天井走行車６側ではタイムオーバーでエラーとなる。なおこのような信号をコントローラ２２へ転送し、コントローラ２２側で処理しても良い。さらに天井走行車６は停止せずに通信を開始し、移載に関する信号の交換に成功しない場合、減速することはあっても、停止することはない。また棚１６に対応するIDが付加された信号はコントローラ２２へ転送され、コントローラ２２側から通信ユニット３５を介して天井走行車６の通信ユニット７へ返信する。
　図５のように、装置前自動倉庫１０が処理装置８から取り外されている状態では、天井走行車６の通信ユニット７からの通信は、付加されたIDに従い、通信ユニット３５でコントローラ２０，２２へ分配される。コントローラ２２への通信は、例えば無応答でエラーとなり、コントローラ２０は通信に対して、ロードポート１２への移載に関する信号を返信する。この場合も、天井走行車６は停止せずに移載に関する信号を交換する。　
　
２　　　　　搬送システム
４　　　　　走行レール
６　　　　　天井走行車
７　　　　　通信ユニット
８　　　　　処理装置
１０　　　　装置前自動倉庫
１２　　　　ロードポート
１４　　　　FOUP
１６　　　　棚
１８　　　　倉庫内搬送装置
２０，２２　コントローラ
３０　　　　通信装置
３２　　　　ディストリビュータ
３４，３５　通信ユニット
３６　　　　通信端末
４０～４３　コネクタ　　

Claims (8)

  1. 　第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた処理装置に対し、物品を搬出入するための搬送システムであって、
    　物品の搬送車と、
    　前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
    　前記搬送車と通信可能な範囲内に配置された通信端末と、
    　前記通信端末に接続された通信装置とを備え、
    　前記通信装置は、前記第１のコントローラの接続先を、前記第２のコントローラと前記通信端末との間で切換自在なスイッチを備えていることを特徴とする、搬送システム。
  2. 　前記スイッチは、前記第１のコントローラを、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には前記第２のコントローラに接続し、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には前記通信端末に接続することを特徴とする、請求項１の搬送システム。
  3. 　前記通信端末は、前記装置前自動倉庫の通信端末を少なくとも１個、前記処理装置の通信端末を少なくとも１個、合計で複数個設けられ、複数の通信端末は直列に接続されて、直列に通信データを転送し、その基端側の１個のみが前記通信装置に接続され、
    　かつ複数の通信端末中の１個が前記搬送車と通信すると共に、前記基端側の通信端末を介して前記通信装置と通信するように構成されていることを特徴とする、請求項２の搬送システム。
  4. 　第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた処理装置に対し、物品を搬出入するための搬送システムであって、
    　物品の搬送車と、
    　前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
    　前記搬送車とワイヤレスで通信する通信装置とを備え、
    　前記通信装置は、前記第１のコントローラの接続先を、前記第２のコントローラと前記搬送車との間で切換自在なスイッチを備えていることを特徴とする、搬送システム。
  5. 　第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた処理装置に対し、物品を搬出入するための搬送システム内で通信する方法であって、
    　前記搬送システムは、
    　　物品の搬送車と、
    　　前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
    　　前記搬送車と通信可能な範囲内に配置された通信端末と、
    　　前記通信端末に接続された通信装置とを備え、
    　前記通信装置内のスイッチにより、前記第１のコントローラを、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には前記第２のコントローラに接続し、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には前記通信端末に接続することを特徴とする、搬送システム内での通信方法。
  6. 　第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた処理装置に対し、物品を搬出入するための搬送システム内で通信する方法であって、
    　前記搬送システムは、
    　　物品の搬送車と、
    　　前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
    　　前記搬送車とワイヤレスで通信する通信装置とを備え、
    　前記通信装置内のスイッチにより、前記第１のコントローラを、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には前記第２のコントローラに接続し、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には前記搬送車に接続することを特徴とする、搬送システム内での通信方法。
  7. 　第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた装置に対し、物品を搬出入するための搬送システムであって、
    　物品の搬送車と、
    　前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
    　前記搬送車と通信可能な範囲内に配置された通信端末と、
    　前記通信端末に接続された通信装置とを備え、
    　前記通信装置は、前記通信端末から前記通信装置への通信の接続先を、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には、前記第２のコントローラとし、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には、前記第１のコントローラとするスイッチを備えていることを特徴とする、搬送システム。
  8. 　第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた装置に対し、物品を搬出入するための搬送システムであって、
    　物品の搬送車と、
    　前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
    　前記搬送車とワイヤレスで通信する通信装置とを備え、
    　前記通信装置は、前記搬送車から前記通信装置への通信の接続先を、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には、前記第２のコントローラとし、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には、前記第１のコントローラとするスイッチを備えていることを特徴とする、搬送システム。
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