WO2011138914A1 - 発光デバイス検査装置、および発光デバイス検査方法 - Google Patents

発光デバイス検査装置、および発光デバイス検査方法 Download PDF

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WO2011138914A1
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light
current
inspection
luminance
emitting device
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浩次 藤原
邦明 上澤
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コニカミノルタホールディングス株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to an apparatus and method for inspecting a light emitting device.
  • organic EL also referred to as organic EL devices
  • surface light-emitting devices have attracted attention as devices that emit surface light with low power consumption (also referred to as surface light-emitting devices).
  • Application is underway.
  • An organic EL device has a structure in which two electrodes (an anode electrode and a cathode electrode) sandwich a light emitting layer. For this reason, in the organic EL device, if there is a defect due to the inclusion of a foreign substance in the light emitting layer, a leakage current is generated in a region near the foreign substance. Leakage current does not contribute to light emission, and causes a decrease in light emission efficiency (an index indicating the degree of brightening by light emission according to a certain energy). Therefore, an organic EL device having a large leakage current needs to be detected as a defective product.
  • first and second inspection techniques are known as techniques for inspecting leakage current in an organic EL device.
  • a voltage is applied between two electrodes in the direction opposite to the direction of the voltage applied during light emission (also referred to as the forward direction), and leakage current is detected by detecting a weak current flowing at that time.
  • Existence is inspected (for example, Patent Document 1).
  • the first inspection technique requires a high-performance measuring device (for example, a source meter) that measures a weak current.
  • a high-performance measuring device for example, a source meter
  • a measurement apparatus for example, a high resolution and sensitivity
  • both the first and second inspection techniques cause problems such as complication of the inspection apparatus and an increase in manufacturing cost.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a technique capable of inspecting a leakage current of a light emitting device with a simple configuration.
  • a light-emitting device inspection apparatus includes a power supply unit that supplies an inspection current that flows in a forward direction to one or more light-emitting devices, and light emission according to the inspection current.
  • a measurement unit that acquires information related to the luminance of each of the light emitting devices, a first condition that the evaluation value related to the luminance is less than or equal to a first threshold value for each of the light emitting devices, and an estimation based on the luminance It is determined that a leakage current exceeding an allowable value can occur when one or more of the second conditions in which the lower limit value of the current required for light emission of each of the light emitting devices is equal to or greater than the second threshold is satisfied.
  • a determination unit that determines a leakage current exceeding an allowable value can occur when one or more of the second conditions in which the lower limit value of the current required for light emission of each of the light emitting devices is equal to or greater than the second threshold is satisfied.
  • a light-emitting device inspection apparatus is the light-emitting device inspection apparatus according to the first aspect, wherein the inspection current has a luminance that can be detected by the measurement unit in the light-emitting device in which leakage current does not occur.
  • the current is equal to or higher than the first current for realizing the lower limit value, and is smaller than the second current obtained by adding the allowable value to the first current.
  • a light-emitting device inspection apparatus is the light-emitting device inspection apparatus according to the first or second aspect, wherein the one or more light-emitting devices are electrically connected in series to the power feeding unit.
  • the measurement unit acquires information on the luminance of the plurality of light emitting devices emitting light according to the inspection current at the same time.
  • the light emitting device inspection apparatus is the light emitting device inspection apparatus according to any one of the first to third aspects, wherein each of the measuring units emits light according to the inspection current. It includes an imaging unit that acquires information relating to the luminance of each light emitting device by acquiring an inspection image that captures the light-emitting area of the light emitting device.
  • the light-emitting device inspection apparatus is the light-emitting device inspection apparatus according to the fourth aspect, wherein the evaluation value relating to the luminance includes an average value of luminance relating to the light-emitting area.
  • the light-emitting device inspection apparatus is the light-emitting device inspection apparatus according to the fourth aspect, wherein the evaluation value related to the luminance is occupied by a region having a luminance equal to or higher than a third threshold in the light-emitting area. Includes percentage.
  • a light emitting device inspection apparatus is the light emitting device inspection apparatus according to any one of the fourth to sixth aspects, wherein the inspection is performed based on an adjustment image acquired by the imaging unit.
  • Each of the light emission units further includes a specifying unit that specifies a position occupied by an image area in which the light-emitted area is captured in the image, and the adjustment image emits light according to an adjustment current larger than the inspection current. It is an image that captures the device.
  • the light-emitting device inspection apparatus is the light-emitting device inspection apparatus according to any one of the first to third aspects, wherein each of the measuring units emits light according to the inspection current.
  • a light emitting device inspection apparatus is the light emitting device inspection apparatus according to the first aspect, wherein the inspection current includes a first inspection current, a second inspection current, and a third inspection current.
  • the inspection current includes a first inspection current, a second inspection current, and a third inspection current.
  • the lower limit value for each of the light emitting devices Curve approximation using a set of the first inspection current and the first luminance, a set of the second inspection current and the second luminance, and a set of the third inspection current and the third luminance It is estimated by the operation of
  • each of the light-emitting devices emitting light in accordance with the inspection current is supplied with a feeding current supplied to the one or more light-emitting devices by the power feeding unit.
  • the light emitting device inspection apparatus can inspect the leakage current of the light emitting device with a simple configuration.
  • the light emitting device inspection apparatus does not emit light when the leakage current exceeding the allowable value is generated, so that the inspection accuracy can be improved.
  • the light emitting device inspection apparatus can speed up the inspection.
  • the light emitting device inspection apparatus for example, it is possible to perform a quick inspection with a simple configuration using a general-purpose imaging unit or the like.
  • the inspection can be speeded up.
  • the light-emitting device inspection apparatus by specifying the position of the image area where the light-emitting area of the light-emitting device is captured, it is possible to inspect based on the luminance of the wider light-emitting area. It becomes.
  • the configuration can be further simplified.
  • the configuration of the measurement unit can be simplified by using the inspection current that generates the luminance that can be stably detected using the measurement unit.
  • the light emitting device inspection method it is possible to inspect the leakage current of the light emitting device with a simple configuration.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating the relationship between drive current and light emission luminance in an organic EL device.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating variation in characteristics between devices.
  • FIG. 3 is a diagram in which information related to the lower limit value of the light emission luminance that can be detected is added to FIG.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a schematic configuration of a light emitting device inspection apparatus according to an embodiment.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating the configuration of the measurement unit.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of the information processing unit.
  • FIG. 7 is a block diagram showing a functional configuration of the light emitting device inspection apparatus.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating a data example of the area specifying information.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a data example of the light emission evaluation information.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating an example of data of determination result information.
  • FIG. 11 is a flowchart illustrating an operation flow of the light-emitting device inspection apparatus.
  • FIG. 12 is a diagram for explaining a method of calculating a light emission evaluation value according to a modification.
  • FIG. 13 is a diagram illustrating a functional configuration of a light emitting device inspection apparatus according to a modification.
  • FIG. 14 is a diagram for explaining a method of estimating the light emission start current according to a modification.
  • FIG. 15 is a diagram illustrating a schematic configuration of a measurement unit according to a modification.
  • FIG. 16 is a diagram illustrating a functional configuration of a light emitting device inspection apparatus according to a modification.
  • a light-emitting device using organic EL (also referred to as an organic EL device) has a structure in which two electrodes (an anode electrode and a cathode electrode) sandwich a light-emitting layer. About this organic EL device, it manufactures so that a foreign material etc. may not mix in a light emitting layer as much as possible.
  • an organic EL device in which leakage current does not occur also referred to as a leakage current non-generating device
  • an organic EL device in which leakage current occurs also referred to as a leakage current generating device
  • the current (also referred to as drive current) flowing through the capacitor is not set high enough to compensate for the leakage current, desired light emission cannot occur.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a relationship between a driving current in an organic EL device and luminance (also referred to as light emission luminance) of a region (also referred to as a light emitting region) that can emit light according to the driving current.
  • luminance also referred to as light emission luminance
  • region also referred to as a light emitting region
  • the leakage current non-generating device starts to emit light when the driving current exceeds the current I 0 .
  • This current I 0 is also called an ideal light emission start current.
  • the leakage current generating device starts to emit light when the drive current exceeds a current (I 0 + I L ) obtained by adding a current (also referred to as a compensation current) I L to compensate the leakage current to the ideal light emission start current I 0 .
  • This current (I 0 + I L ) is also referred to as a leakage compensation light emission start current.
  • the leakage current non-generating device emits light when a current I C between the ideal light emission start current I 0 and the leakage compensation light emission start current (I 0 + I L ) is given as a drive current. At this time, the light emission luminance of the leakage current non-generating device is the luminance L C0 . On the other hand, the leakage current generating device does not emit light even when the current I C is applied as the drive current.
  • a certain compensation current I L is set as an allowable value of leakage current
  • the current I C is set as an inspection current (also referred to as an inspection current). Then, the test current I C is based on the emission luminance of the organic EL device is detected when it is the drive current, whether the leakage current exceeding the allowable value I L is an organic EL device that can occur determination Is done.
  • the allowable value I L can be determined based on, for example, the standard of luminous efficiency required for the organic EL device.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating variations in characteristics between devices that occur in a device that does not generate a leakage current.
  • Figure 2 of the leakage current non-generation devices, and a minimum value I 0min and the maximum value I 0max in the range of variation of the ideal light emission starting current I 0 that is assumed it is shown.
  • the relationship between the drive current ideal emission starting current I 0 is related to the leakage current non-generation device as the minimum value I 0min and emission luminance is shown by dashed curve CV Smin
  • ideal light emission starting current I 0 is the maximum value I
  • the relationship between the drive current and the light emission luminance related to the non-leakage current generating device that becomes 0max is shown by a dashed line curve CV Smax .
  • the inspection current I C is set to a value exceeding the maximum value I 0max of the ideal light emission start current I 0 .
  • the leakage current non-generating device in which the ideal light emission start current I 0 becomes the minimum value I 0min realizes the light emission luminance L C0 by light emission according to the inspection current I C, and the light emission start current I 0 has the maximum value I.
  • the non-leakage current generating device having 0 max realizes the light emission luminance L C1 by light emission corresponding to the inspection current I C. That is, a difference L V between the light emission luminance L C1 and the light emission luminance L C0 occurs.
  • the inspection current I C is set to a value equal to or less than the maximum value I 0max of the ideal light emission start current I 0 .
  • leakage current nonoccurrence devices ideal emission starting current I 0 is the minimum value I 0min is emits light in response to the test current I C
  • the leakage current ideal emission starting current I 0 is the maximum value I 0max
  • the non-generating device does not emit light according to the inspection current I C.
  • the inspection current I C is set in consideration of variations in characteristics between devices as shown in FIG. Specifically, as the leakage current non-generation device can reliably emit light when the test current I C is the drive current, maximum value I 0max Ideally emission starting current as representative of the ideal light emission starting current I 0 is a I 0, in the range between the compensation light emission starting current leakage between the ideal light emission starting current I 0 (I 0 + I L ), the test current I C is set.
  • FIG. 3 is a diagram in which information relating to the lower limit value LLL is added to FIG.
  • a current (also referred to as an offset current) I 0 OFFSET corresponding to the light emission luminance L LL becomes the ideal light emission start current I 0 .
  • the added value (I 0 + I 0 OFFSET ) may be set as the drive current.
  • the current (I 0 + I 0 OFFSET ) as the first current is a drive current in which the lower limit value of the light emission luminance that can be detected by the sensor is realized in the device that does not generate a leakage current.
  • the current (I 0 + I L + I 0OFFSET ) as the second current is a drive current in which the lower limit of the light emission luminance that can be detected by the sensor is realized in the leakage current generating device. Therefore, the inspection current I C is, is the current (I 0 + I 0OFFSET) above, are preferably and current (I 0 + I L + I 0OFFSET) set to be less than the current.
  • the thickness of the light emitting layer may vary depending on the conditions when a solution containing an organic material or the like for forming the light emitting layer is applied. For this reason, unevenness of light emission luminance occurs in the light emitting area in one organic EL device, and the whole light emitting area may not emit light uniformly. Specifically, a region that emits light (also referred to as a light-emitting region) and a region that does not emit light (also referred to as a non-light-emitting region) can occur in the light-emitting region.
  • the inspection apparatus and the inspection method according to the present embodiment it is possible to determine whether or not there is a leakage current exceeding the allowable value, and the leakage current of the organic EL device with a simple configuration. It becomes possible to inspect.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a schematic configuration of the light-emitting device inspection apparatus 1 according to an embodiment.
  • the light emitting device inspection apparatus 1 includes a measurement unit 2 and an information processing unit 3.
  • the measurement unit 2 and the information processing unit 3 will be described sequentially.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating the configuration of the measurement unit 2 according to an embodiment. As shown in FIG. 5, the measurement unit 2 includes a transport system 21, a shielding box unit 22, an imaging unit 23, and a tray 24.
  • the conveyance system 21 is a portion on which the tray 24 is placed, and is a portion that moves the tray 24 in a predetermined direction (here, the horizontal direction).
  • the shielding box portion 22 has a box shape having an opening below, and is a portion that shields visible light.
  • the first wiring FW P and the second wiring FW M that supply power are respectively connected to portions located near the lowermost portion of the outer wall surface at one end and the other end. Yes.
  • the first wiring FW P is provided so as to penetrate the shielding box 22 up to the inner wall from the outer wall surface of the shielding box 22, provided on the inner wall surface side of the shielding box 22 It is electrically connected to the first connection terminal CN P.
  • the second wiring FW M is provided so as to penetrate the shielding box portion 22 from the outer wall surface to the inner wall surface of the shielding box portion 22, and is provided on the inner wall surface side of the shielding box portion 22. It is electrically connected to the second connection terminal CN M.
  • the shielding box portion 22 can be moved up and down by a box driving portion 22 MT (see FIG. 7).
  • FIG. 5 shows a state where the shielding box portion 22 has moved to the lowest position. In this state, the shielding box 22 and the tray 24 and the like are brought into close contact with each other so that the inner space of the shielding box 22 is sealed, and the inner space of the shielding box 22 from the outside of the shielding box 22 is sealed. Visible light penetration into the screen is blocked.
  • the tray 24 can be transported by the transport system 21, and a certain tray 24 is moved from an area immediately below the shielding box portion 22 to shield other trays 24. It is possible to move to a region directly below the box portion 22.
  • the imaging unit 23 is provided on the upper part of the shielding box part 22 and can photograph the internal space of the shielding box part 22.
  • the imaging unit 23 includes, for example, an imaging sensor composed of a CCD or the like in which pixels are arranged in a matrix, and image data indicating a two-dimensional distribution of pixel values corresponding to the luminance of a subject (here, a monochrome image) Any data can be obtained.
  • image data and the image indicated by the image data are simply referred to as an image.
  • the outer edge of the range that can be imaged by the imaging unit 23 is indicated by a one-dot chain line.
  • the shielding box portion 22 moves to the lowest position and is in close contact with the tray 24 or the like, the four organic EL devices ED1 to ED4 disposed on the tray 24 emit light by the imaging portion 23. The situation can be imaged.
  • the tray 24 has four recesses, and the four organic EL devices ED1 in a state where the four organic EL devices ED1 to ED4 whose light-emitting areas are directed upward are fitted in the four recesses, respectively. ED4 can be transported. Further, the tray 24 includes conductive portions CL1 to CL5 that electrically connect the four organic EL devices ED1 to ED4 in series in a state where the four organic EL devices ED1 to ED4 are arranged on the tray 24. Yes.
  • the organic EL device ED1 has a negative terminal 1T M to be connected to the positive terminal 1T P and cathode electrode connected to the anode electrode
  • an organic EL device ED2 is, the positive terminal 2T P a cathode connected to the anode electrode and a negative electrode terminal 2T M to be connected to the electrode
  • the organic EL device ED3 has a negative terminal 3T M to be connected to the positive terminal 3T P and cathode electrode connected to the anode electrode
  • an organic EL device ED4 is, the positive terminal 4T P and cathode electrode connected to the anode electrode and a negative terminal 4T M to be connected to.
  • the conductive portion CL1 is electrically connected to the positive terminal 1T P
  • conductive portion CL2 is electrically connected to the negative terminal 1T M and the positive terminal 2T P
  • conductive portion CL3 is the negative terminal 2T M and the positive terminal 3T electrically connecting the P
  • conductive portion CL4 is electrically connected to the negative terminal 3T M and the positive terminal 4T P
  • the positive electrode terminal 4T P is electrically connected to the conductive portion CL5.
  • the second connection a state where the terminal CN M and the conductive portion CL5 electrically connected in contact. Accordingly, a desired current can be passed between the first wiring FW P and the second wiring FW M by the power feeding unit 25 (see FIG. 7).
  • the organic EL devices ED1 to ED4 arranged on the tray 24 may be in a state in which, for example, an anode electrode, a light emitting layer, and a cathode electrode are stacked on a substrate and a sealing film is provided.
  • a laminated state using a resin or the like so as to enhance the sealing effect may be used.
  • an inert gas may be introduced into the internal space of the shielding box 22 for the purpose of preventing the deterioration of the organic EL devices ED1 to ED4.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating the configuration of the information processing unit 3 according to an embodiment.
  • the information processing unit 3 is configured by a personal computer (PC), for example, and includes an operation unit 31, a display unit 32, an interface (I / F) unit 33, a storage unit 34, an input / output unit 35, And a control unit 36.
  • PC personal computer
  • the operation unit 31 includes a mouse and a keyboard.
  • the display unit 32 includes a liquid crystal display and the like.
  • the I / F unit 33 transmits and receives various signals to and from the measurement unit 2 via a communication line.
  • the storage unit 34 is composed of, for example, a hard disk and stores information related to the measurement result obtained by the measurement unit 2.
  • the storage unit 34 stores a program PG and the like for executing processing for inspecting an organic EL device (also referred to as device inspection processing).
  • the input / output unit 35 includes, for example, a disk drive, receives the storage medium 9 such as an optical disk, and exchanges various data with the control unit 36.
  • the control unit 36 includes a CPU 36a that functions as a processor and a memory 36b that temporarily stores information, and comprehensively controls each unit of the information processing unit 3.
  • the control unit 36 reads and executes the program PG in the storage unit 34, thereby realizing various functions related to device inspection processing, various information processing, and the like.
  • the program and data stored in the storage medium 9 can be stored in the memory 36b or the like via the input / output unit 35.
  • FIG. 7 is a block diagram illustrating a functional configuration of the light-emitting device inspection apparatus 1 according to an embodiment.
  • the functional configuration of the control unit 36 is described as being realized by execution of the program PG, but may be realized by dedicated hardware.
  • the measurement unit 2 includes a transport system 21, a box drive unit 22 MT , an imaging unit 23, an identification information acquisition unit 24 OB , and a power feeding unit 25.
  • the information processing unit 3 includes a transport control unit 361, a current control unit 362, an imaging control unit 363, an area specifying unit 364, an image correction unit 365, an evaluation value calculation unit 366, a determination unit 367, and a result output unit 368. ing.
  • the transport system 21 is a portion on which the tray 24 is placed, and the tray 24 can be moved in the horizontal direction.
  • the movement of the tray 24 by the transport system 21 can be realized by a configuration using, for example, a belt conveyor or a robot arm.
  • the box drive unit 22 MT moves the shielding box unit 22 up and down.
  • the box drive unit 22MT can be realized by using, for example, a cylinder that moves a shaft connected to the shielding box unit 22 up and down.
  • the imaging unit 23 images the state in which the four organic EL devices ED1 to ED4 emit light according to a desired current supplied from the power supply unit 25.
  • the desired current includes an inspection current I C and an adjustment current (also referred to as an adjustment current) I AD (see FIGS. 1 and 3) that can sufficiently emit light from the leakage current generating device.
  • the adjustment current I AD corresponds to, for example, a drive current in which the light emission possible region of the device that does not generate a leakage current can generate light emission luminance as normal illumination, and is considerably larger than the inspection current I C.
  • the imaging unit 23 acquires an image (also referred to as an adjustment image) that captures the light-emitting area of each of the organic EL devices ED1 to ED4 to which the adjustment current I AD is applied.
  • the imaging unit 23 acquires an image captured with the light emitting area of the organic EL device ED1 ⁇ ED4 the test current I C is applied (also referred to as test image).
  • Both the adjustment image and the inspection image are information relating to the light emission luminance of each of the organic EL devices ED1 to ED4.
  • the adjustment image and the inspection image are monochrome images indicating a two-dimensional distribution of pixel values corresponding to the light emission luminance.
  • the in-focus state and the aperture state of the imaging unit 23 are in a state suitable for imaging of the four organic EL devices ED1 to ED4 mounted on the tray 24.
  • the pixel value of each pixel constituting the image acquired by the imaging unit 23 does not indicate the absolute value of the luminance of the subject itself, but the luminance of the subject.
  • the signal level corresponding to is shown.
  • a digital camera also referred to as a luminance measurement camera
  • a digital camera applied to the imaging unit 23 The same chart (for example, Macbeth color chart) is imaged.
  • the relationship between the output (each pixel value) of the digital camera applied to the imaging unit 23 and the luminance is obtained.
  • Information indicating this relationship is stored in advance in the storage unit 34, and in the imaging control unit 363 or the like, the two-dimensional distribution of luminance related to the subject is appropriately determined from the two-dimensional distribution of pixel values obtained by the imaging unit 23. If it asks for.
  • the identification information acquisition unit 24 OB acquires the identification information of the tray 24 existing immediately below the shielding box unit 22.
  • Examples of the identification information acquisition unit 24 OB include an IC tag reader that reads identification information (for example, a tray ID) from an IC tag attached to the tray 24. Any one of the shielding box unit 22 and the transport system 21 can be used. It may be provided on either side.
  • a bar code may be used instead of the IC tag, and a bar code reader may be used instead of the IC tag reader.
  • the power feeding unit 25 is a constant current source that can stably supply a constant current to the four organic EL devices ED1 to ED4 via the first wiring FW P and the second wiring FW M.
  • the constant current includes an inspection current I C and an adjustment current I AD . Note that these currents I C and I AD are currents that flow in directions (also referred to as forward directions) in which the organic EL devices ED1 to ED4 can emit light.
  • the transport controller 361 moves the tray 24 by controlling the transport system 21. Further, the conveyance control unit 361 controls the box driving unit 22 MT in synchronization with the movement of the tray 24 to move the shielding box unit 22 up and down.
  • the current control unit 362 controls the power supply unit 25 to supply the inspection current I C or the adjustment current I AD to the four organic EL devices ED1 to ED4 arranged on the tray 24.
  • the imaging control unit 363 controls the imaging unit 23 in synchronization with the control of the power supply unit 25 by the current control unit 362 so that the four organic EL devices ED1 to ED4 arranged on the tray 24 emit light.
  • the captured adjustment image and inspection image are sequentially acquired.
  • the imaging control unit 363 acquires the identification information (here, the tray ID) of the tray 24 that exists immediately below the shielding box unit 22 by controlling the identification information acquisition unit 24OB .
  • the region specifying unit 364 specifies the position where the image region in which the light-emissible region is captured occupies the inspection image. Specifically, in the adjustment image, a region composed of a plurality of pixels each representing a pixel value corresponding to a light emission luminance equal to or higher than the lower limit value L LL of the light emission luminance detectable by the imaging unit 23 is one organic EL.
  • the light emitting area of the device is specified as an image area that can be captured.
  • the position of the image area where the light-emitting area corresponding to each of the organic EL devices ED1 to ED4 is captured is specified.
  • the four image regions specified by the region specifying unit 364 are image regions (also referred to as evaluation areas) that are used to calculate an evaluation value (also referred to as a light emission evaluation value) related to light emission luminance in the evaluation value calculation unit 366. .
  • an image obtained by the imaging unit 23 extends along the horizontal direction (X direction) and faces two sides, and extends along the vertical direction (Y direction) and faces each other 2. It is assumed that the image is a rectangular image whose outer edge is constituted by the sides. Then, a rectangular outer edge consisting of two sides extending in two sides in the Y direction and extending in a direction X, the inner in the region consisting of multiple pixels a mass of a pixel value corresponding to the light emission luminance L LL or more light emitting luminance An area that is in contact (also referred to as a rectangular area) is an evaluation area. Note that the rectangular area has a similar relationship with the light-emitting area obtained by design.
  • the order in which the four evaluation areas are arranged specifies which of the four organic EL devices ED1 to ED4 corresponds to the evaluation area related to each of the four organic EL devices ED1 to ED4. It ’s fine.
  • pixels P1 to P4 that are predicted to capture four light-emitting regions in the adjustment image are preset, and based on the pixels P1 to P4, the four evaluation areas correspond to the four organic EL devices ED1 to ED4. Which of the organic EL devices corresponds to each of the evaluation areas may be specified.
  • an evaluation area including the pixel P1 is an evaluation area related to the organic EL device ED1
  • an evaluation area including the pixel P2 is an evaluation area related to the organic EL device ED2.
  • An evaluation area including the pixel P3 is an evaluation area related to the organic EL device ED3
  • an evaluation area including the pixel P4 is an evaluation area related to the organic EL device ED4.
  • the information indicating the four evaluation areas specified in this way (also referred to as area specifying information) is output to the evaluation value calculation unit 366 in the form shown in FIG.
  • area specifying information the XY coordinates of the upper left pixel and the XY coordinates of the lower right pixel in the evaluation area are associated with the tray ID for each arrangement order of the organic EL devices. It is a thing. Note that the upper left coordinate of each image is the origin.
  • the image correction unit 365 performs so-called shading correction on the inspection image acquired by the imaging unit 23.
  • Evaluation value calculation unit 366 calculates an evaluation value (emission evaluation value) related to the emission luminance for each evaluation area based on the inspection image after shading correction.
  • Each light emission evaluation value may be, for example, an average value of light emission luminance in the evaluation area.
  • the average value may be, for example, a so-called arithmetic average value, and is any average value among various averages such as a geometric average, a square average, and an arithmetic average after excluding a significantly deviated value. There may be.
  • the light emission evaluation value may be any one of various representative values such as the maximum value, the mode value, and the median value of the light emission luminance in the evaluation area.
  • the evaluation value calculation unit 366 generates information (also referred to as light emission evaluation information) in which the calculated light emission evaluation value relating to each organic EL device is added to the region specifying information input from the region specifying unit 364. .
  • information also referred to as light emission evaluation information
  • FIG. 9 shows an example in which the light emission evaluation values of the organic EL devices ED1 to ED4 are 1.5, 1.2, 1.6, and 0.01, respectively.
  • the determination unit 367 determines, for each organic EL device, that leakage current exceeding the allowable value can occur when the condition that the light emission evaluation value is equal to or less than the threshold value T 1 is satisfied.
  • the threshold value T 1 is clearly smaller than a light emission evaluation value (also referred to as a reference light emission evaluation value) calculated from light emission luminance that can be realized in a device that does not generate a leakage current in design (for example, a reference light emission evaluation value). It is sufficient that the value is an order of magnitude less than one-tenth of the value).
  • the inspection current I C is, if the current (I 0 + I 0OFFSET) more than is and current (I 0 + I L + I 0OFFSET) less than the current, for example, thresholds T 1 is set to a value close to 0 May be.
  • the threshold T 1 is set to 0.1
  • the fourth organic EL device ED4 has a light emission evaluation value equal to or less than the threshold T 1. Therefore, it is determined that the device is an unqualified device that may cause a leakage current exceeding the allowable value. Meanwhile, first to third organic EL devices ED1 ⁇ ED3 is leakage current exceeding the allowable value is determined to be eligible device not occur for light emission evaluation value exceeds the threshold value T 1.
  • determination unit 367 information (determination result) in which information indicating qualification (OK) and disqualification (NG) as a determination result is added to the light emission evaluation information input from the evaluation value calculation unit 366. Also referred to as information).
  • information information indicating qualification (OK) and disqualification (NG) as a determination result is added to the light emission evaluation information input from the evaluation value calculation unit 366.
  • An example of data of the determination result information is as shown in FIG. In FIG. 10, the determination result of qualifying (OK) is described for the first to third organic EL devices ED1 to ED3, respectively, and the determination result of ineligible (NG) is described for the fourth organic EL device ED4. An example is shown.
  • the determination part 367 makes the storage part 34 memorize
  • the form of the determination result information that is visually output on the display unit 32 may be the form of the table shown in FIG.
  • the result output unit 368 transmits the determination result information transferred from the determination unit 367 to the aggregation server 500 or the like installed outside the light emitting device inspection apparatus 1 via the communication line.
  • FIG. 11 is a flowchart showing an operation flow of the light emitting device inspection apparatus 1. This operation flow is realized by the control unit 36 reading and executing the program PG. The operation flow is started in response to an instruction from the operation unit 31, for example, and proceeds to step S1 in FIG.
  • step S1 under the control of the conveyance control unit 361, together with the tray 24 is transported to immediately below the shielding box portion 22 by the transport system 21, and lowered shielding box portion 22 by the box drive unit 22 MT, shielding The internal space of the box portion 22 is sealed.
  • step S2 the supply of the adjustment current I AD to the four organic EL devices ED1 to ED4 from the power supply unit 25 is started under the control of the current control unit 362. At this time, starts to emit light, each organic EL device ED1 ⁇ ED4 is in accordance with the adjustment current I AD.
  • step S3 an image for adjustment is acquired by the imaging unit 23 under the control of the imaging control unit 363.
  • step S4 under the control of the current control unit 362, the supply of the adjustment current I AD from the power supply unit 25 to the four organic EL devices ED1 to ED4 is terminated. In this case, it terminates the light emission by each organic EL device ED1 ⁇ ED4 is in accordance with the adjustment current I AD.
  • step S5 the area specifying unit 364 specifies the position of the evaluation area corresponding to the light emitting area of each of the organic EL devices ED1 to ED4 based on the adjustment image acquired in step S3, and the position of each evaluation area.
  • the area specifying information indicating each is generated.
  • step S6 under the control of the current control unit 362, the supply of the inspection current I C to the four organic EL devices ED1 to ED4 from the power supply unit 25 is started. At this time, each of the organic EL devices ED1 to ED4 starts light emission according to the inspection current I C.
  • step S7 an image for inspection is acquired by the imaging unit 23 under the control of the imaging control unit 363.
  • step S8 the supply of the inspection current I C to the four organic EL devices ED1 to ED4 from the power supply unit 25 is terminated under the control of the current control unit 362. At this time, each of the organic EL devices ED1 to ED4 ends the light emission according to the inspection current I C.
  • step S9 the evaluation value calculation unit 366 calculates emission evaluation values for the evaluation areas related to the organic EL devices ED1 to ED4 based on the inspection image acquired in step S7.
  • step S10 the determination unit 367 determines whether each organic EL device ED1 to ED4 is qualified or not based on the light emission evaluation value relating to each organic EL device ED1 to ED4 calculated in step S9. Determined.
  • step S11 the determination unit 367 causes the display unit 32 to visually output determination result information indicating the determination result obtained in step S10, and causes the storage unit 34 to store the determination result information. Further, the result output unit 368 transmits the determination result information to the aggregation server 500 or the like via a communication line.
  • step S ⁇ b> 12 under the control of the conveyance control unit 361, the shielding box unit 22 is raised by the box driving unit 22 MT , and the tray 24 is carried out from directly below the shielding box unit 22 by the conveyance system 21.
  • step S13 the control unit 36 determines whether there is a next tray 24 or not. If there is a next tray 24, the process returns to step S1, and if there is no next tray 24, the operation flow ends.
  • the imaging unit 23 captures an image of light emission according to the inspection current I C in a state where the plurality of organic EL devices are electrically connected in series. At this time, the leakage current in a certain organic EL device among the plurality of organic EL devices does not affect the light emission luminance in other organic EL devices. As a result, since a plurality of organic EL devices can be inspected at the same time, the inspection can be speeded up.
  • the imaging unit 23 acquires information related to the light emission luminance of the organic EL device that emits light according to the inspection current I C. For this reason, for example, quick inspection can be performed with a simple configuration such as a general-purpose digital camera. Further, for example, since the light emission luminance of the plurality of organic EL devices is measured by the single imaging unit 23, it can be quickly inspected with a simple configuration.
  • the light emission evaluation value obtained from the light emission luminance of the organic EL device that emits light according to the inspection current I C is an average value of the light emission luminance related to the region to be evaluated, light emission is performed in one organic EL device. Even if the lower limit value of the current required for the measurement varies, stable inspection can be performed.
  • an image for adjustment that captures an organic EL device that emits light in accordance with the adjustment current I AD is acquired by imaging, and an image area in which the light-emitting area of each organic EL device is captured based on the image for adjustment The position where the image occupies the inspection image is specified. For this reason, the inspection based on the light emission luminance related to a wider area of the organic EL device that can emit light becomes possible.
  • the light emission evaluation value is an average value of the light emission luminance related to the evaluation area, but is not limited thereto.
  • the light emission evaluation value may be a ratio of an image area including one or more pixels indicating a pixel value corresponding to the light emission luminance equal to or higher than the threshold T 2 in the evaluation area corresponding to the light emission possible area.
  • the evaluation area is an image area AR1 of the threshold T 2 or more light-emitting luminance, a case composed of an image area AR2 according to the light emission luminance less than the threshold T 2.
  • the light emission evaluation value is derived by dividing the area of the image area AR1 by the sum of the area of the image area AR1 and the area of the image area AR2.
  • the four organic EL devices ED1 to ED4 are electrically connected in series.
  • a current may be individually applied to each of the organic EL devices ED1 to ED4, or an arbitrary number of organic EL devices of two or more may be electrically connected in series.
  • the number of organic EL devices that can be captured by one imaging may be an arbitrary number of 1 or more.
  • one or more organic EL devices to be inspected are a plurality of organic EL devices electrically connected in series to the power supply unit 25.
  • information related to the light emission luminances of a plurality of organic EL devices that emit light in response to the supply of the inspection current I C can be acquired in parallel.
  • the organic EL device is determined to be qualified or unqualified based on the light emission evaluation value related to the light emission luminance, but is not limited thereto. For example, it for the organic EL devices, current emission when gradually increasing the drive current is started (also referred to as light emission start current) is estimated, the condition under which the light emission starting current is equal to or higher than the threshold value I T is satisfied For example, it may be determined that it is ineligible.
  • the emission start current can be estimated by sequentially performing the following steps (A) and (B).
  • a plurality of different inspection currents are sequentially supplied, and information relating to the light emission luminance of the organic EL device emitting light according to each inspection current is acquired by the imaging unit 23. .
  • the imaging unit 23 acquires information relating to the light emission luminance of the organic EL device emitting light according to each inspection current.
  • FIG. 13 is a diagram illustrating a functional configuration of the light-emitting device inspection apparatus 1 according to a modification.
  • the functional configuration shown in FIG. 13 is based on the functional configuration of the light emitting device inspection apparatus 1 according to the embodiment shown in FIG. 7, and the evaluation value calculation unit 366 is replaced with the estimation unit 369. It is a thing.
  • FIG. 14 is a diagram for explaining a method of estimating the light emission start current according to a modification.
  • the relationship between the drive current in the leakage current non-generating device and the light-emitting luminance is shown by the curve CV S one-dot chain line
  • the relationship between the drive current in the leakage current generating device and the light emitting luminance There has been shown by the curve CV L of the two-dot chain line.
  • the imaging unit 23 acquires an image (also referred to as a first inspection image) in which the first inspection current I 1 is applied to the four organic EL devices ED1 to ED4.
  • the imaging unit 23 acquires an image (also referred to as a second inspection image) in which the second inspection current I 2 is applied to the four organic EL devices ED1 to ED4.
  • the imaging unit 23 obtains an image (also referred to as a third inspection image) in which a state where the third inspection current I 3 is applied to the four organic EL devices ED1 to ED4.
  • information related to the light emission luminance (also referred to as first light emission luminance) L 1 of each of the organic EL devices ED1 to ED4 that emits light according to the first inspection current I 1 is acquired.
  • information related to the light emission luminance (also referred to as second light emission luminance) L 2 of each of the organic EL devices ED1 to ED4 that emits light according to the second inspection current I 2 is acquired.
  • Information related to the emission luminance (also referred to as third emission luminance) L 3 of each of the organic EL devices ED1 to ED4 that emits light according to the third inspection current I 3 is acquired.
  • the estimation unit 369 sets, for each of the organic EL devices ED1 to ED4, a set of the first inspection current I 1 and the first emission luminance L 1, and the second inspection current I 2 and the second emission luminance L 2 .
  • the emission start current is estimated by the calculation of the curve approximation using the set and the set of the third inspection current I 3 and the third emission luminance L 3 .
  • a first expression obtained by substituting I 1 for I and L 1 for L, and obtained by substituting I 2 for I and L 2 for L.
  • the constants a, b, and c are obtained from the second equation obtained and the third equation obtained by substituting I 3 for I and L 3 for L.
  • two emission luminances corresponding to two different drive currents are obtained by imaging, for example, a process (curve fitting) in which parallel movement and deformation of a curve model are performed. ) Is executed to obtain a curve indicating the relationship between the drive current and the light emission luminance. Further, it is more preferable that three light emission luminances corresponding to the three different drive currents described above are obtained by imaging, and a curve indicating the relationship between the drive current and the light emission luminance is obtained using the above polynomial.
  • an inspection current that generates light emission luminance that can be stably detected by the imaging unit 23 can be used. For this reason, it is not necessary to increase the sensitivity of the imaging unit 23, and the configuration of the imaging unit 23 can be simplified.
  • the inspection current I C is, has been set in the range of less than the current (I 0 + I 0OFFSET) more than is and current (I 0 + I L + I 0OFFSET), limited to Absent.
  • the inspection current I C may be set to a value equal to or greater than the current (I 0 + I L + I 0OFFSET ).
  • test current I C is, if it is set in the range of less than the current (I 0 + I 0OFFSET) more than is and current (I 0 + I L + I 0OFFSET), leakage current exceeding the allowable value has occurred Does not detect the light emission of the organic EL device. That is, the emission luminance of the unsuitable organic EL device is detected as 0. For this reason, the qualified organic EL device and the unqualified organic EL device are clearly distinguished, and the inspection accuracy is improved.
  • the inspection current I C is, is the current (I 0 + I 0OFFSET) or more and a current (I 0 + I L + I 0OFFSET) of less than It is preferable to set within the range.
  • the information relating to the light emission luminance of each of the organic EL devices ED1 to ED4 is obtained by the imaging unit 23, but is not limited thereto.
  • information relating to light emission luminance of each organic EL device ED1 ⁇ ED4 that emits light in response to the test current I C may be obtained respectively by detection by a photodiode or the like. According to such a configuration, it is possible to inspect the leakage current of the organic EL device with a very simple configuration.
  • FIG. 15 is a diagram illustrating a schematic configuration of a measurement unit 2A constituting the light emitting device inspection apparatus 1A according to the present modification.
  • the measurement unit 2A according to the present modification is based on the measurement unit 2 according to the above-described embodiment, the shielding box portion 22 is added, and the shielding plates W1 to W3 are added.
  • the imaging box 23 is replaced with four sensor units 231 to 234 each having a photodiode.
  • the sensor unit 231 is positioned directly above the organic EL device ED1, and the sensor unit 232 is positioned directly above the organic EL device ED2.
  • the sensor part 233 is located immediately above the organic EL device ED3, and the sensor part 234 is located immediately above the organic EL device ED4. According to this configuration, the process for specifying the evaluation area related to each of the organic EL devices ED1 to ED4 becomes unnecessary, which contributes to the simplification of the configuration and the process.
  • FIG. 16 is a block diagram showing a functional configuration of the light emitting device inspection apparatus 1A according to the present modification.
  • the light emitting device inspection apparatus 1A according to the present modification is based on the light emitting device inspection apparatus 1 according to the above-described embodiment.
  • the imaging unit 23 is replaced with four sensor units 231 to 234, and a current control unit 362 is used.
  • the imaging control unit 363 and the determination unit 367 are replaced with a current control unit 362A, a detection control unit 363A, and a determination unit 367A, respectively, and an area specifying unit 364, an image correction unit 365, and an evaluation value calculation unit 366. It has been removed.
  • the current control unit 362A supplies the inspection current I C to each of the organic EL devices ED1 to ED4 by the power supply unit 25.
  • the detection control unit 363A obtains information related to detection by the four sensor units 231 to 234 and light emission luminance as a result of the detection.
  • the determination unit 367A uses a light emission luminance acquired by using each of the sensor units 231 to 234 as a light emission evaluation value, and when a condition that the light emission evaluation value is equal to or lower than the threshold value T 1 is satisfied, Judge that it is likely to occur.
  • the four sensor units 231 to 234 are imaging units.
  • the influence of the dark current in the imaging unit is suppressed, and the inspection accuracy can be improved.
  • the two-dimensional distribution of light emission luminance acquired using the imaging unit 23 is used.
  • the present invention is not limited to this.
  • the light emission luminance related to one pixel included in each evaluation area may be used as the light emission evaluation value.
  • the inspection target is an organic EL device, but is not limited thereto.
  • the inspection target may be another surface emitting device such as an EL device (also referred to as an inorganic EL device) configured using an inorganic material.

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Abstract

　簡単な構成で発光デバイスの漏れ電流に関する検査が可能な技術を提供することを図る。この目的を達成するために、給電部によって１以上の発光デバイスに対して順方向に流れる検査用電流が供給され、この検査用電流に応じて発光している各発光デバイスの輝度に係る情報が測定部によって取得される。そして、各発光デバイスについて、輝度に係る評価値が第１閾値以下となる第１条件、および輝度に基づいて推定される発光デバイスの発光に必要な電流の下限値が第２閾値以上となる第２条件、のうちの１以上の条件が満たされる場合に、判定部によって許容値を超える漏れ電流が生じ得るものと判定される。

Description

発光デバイス検査装置、および発光デバイス検査方法
　本発明は、発光デバイスを検査する装置および方法に関する。
　近年、電力の消費量が低い面発光を行うデバイス（面発光デバイスとも言う）として、有機ＥＬを利用した発光デバイス（有機ＥＬデバイスとも言う）が注目されており、照明装置および表示装置等への応用が進められている。
　有機ＥＬデバイスは、２つの電極（アノード電極とカソード電極）が発光層を挟む構造を有している。このため、有機ＥＬデバイスでは、発光層において異物の混入による欠陥があれば、その異物の近傍の領域で漏れ電流が生じる。漏れ電流は、発光に寄与せず、発光効率（一定のエネルギーに応じた発光で明るく出来る度合いを示す指標）の低下を招く。従って、漏れ電流が大きな有機ＥＬデバイスは、欠陥品として検出される必要がある。
　ところで、従来から、有機ＥＬデバイスにおける漏れ電流について検査する技術として、次の第１および第２の検査技術が知られている。
　第１の検査技術では、２つの電極間に、発光時に印加される電圧の方向（順方向とも言う）とは逆方向に電圧が印加され、その際に流れる微弱な電流の検出によって漏れ電流の有無が検査される（例えば、特許文献１等）。
　第２の検査技術では、２つの電極間において順方向または逆方向に微小な電流が流され、その際に発光層の微弱なリーク発光が検出されることで漏れ電流の有無が検査される（例えば、特許文献２，３等）。
特開２００８－１１２６４９号公報 特開２００９－２６６８７号公報 特開２００９－２７７５２８号公報
　しかしながら、上記第１の検査技術では、微弱な電流を計測する高性能な計測装置（例えば、ソースメータ等）が必要である。また、上記第２の検査技術では、通常の発光時よりも低い電圧の印加によって生じる微弱な発光現象が捉えられるため、発光レベルおよび発光領域が微小となり、解像度および感度が高い測定装置（例えば、エミッション顕微鏡等）が必要である。従って、第１および第２の検査技術の何れの技術であっても、検査装置の複雑化と製造コストの上昇等といった問題が生じる。
　また、仮に複数の有機ＥＬデバイスを同時期に並行して検査することでタクトタイムの削減を図ろうとすれば、更なる検査装置の複雑化と製造コストの上昇とを招く。
　なお、上記問題は、有機ＥＬデバイスにおいてのみ生じるものではなく、発光デバイス一般に共通する。
　本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、簡単な構成で発光デバイスの漏れ電流に関する検査が可能な技術を提供することを目的とする。
　上記課題を解決するために、第１の態様に係る発光デバイス検査装置は、１以上の発光デバイスに対して順方向に流れる検査用電流を供給する給電部と、前記検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの輝度に係る情報を取得する測定部と、各前記発光デバイスについて、前記輝度に係る評価値が第１閾値以下となる第１条件、および前記輝度に基づいて推定される各前記発光デバイスの発光に必要な電流の下限値が第２閾値以上となる第２条件、のうちの１以上の条件が満たされる場合に、許容値を超える漏れ電流が生じ得るものと判定する判定部と、を備える。
　第２の態様に係る発光デバイス検査装置は、第１の態様に係る発光デバイス検査装置であって、前記検査用電流が、漏れ電流が生じない前記発光デバイスにおいて前記測定部によって検出可能な輝度の下限値を実現するための第１電流以上の電流であり、且つ該第１電流に前記許容値を加えた第２電流よりも小さな電流である。
　第３の態様に係る発光デバイス検査装置は、第１または第２の態様に係る発光デバイス検査装置であって、前記１以上の発光デバイスが、前記給電部に対して電気的に直列に接続されている複数の発光デバイスを含み、前記測定部が、前記検査用電流に応じて発光している前記複数の発光デバイスの輝度に係る情報を同時期に取得する。
　第４の態様に係る発光デバイス検査装置は、第１から第３の何れか１つの態様に係る発光デバイス検査装置であって、前記測定部が、前記検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの発光可能領域を捉えた検査用画像を取得することで、各前記発光デバイスの輝度に係る情報を取得する撮像部を含む。
　第５の態様に係る発光デバイス検査装置は、第４の態様に係る発光デバイス検査装置であって、前記輝度に係る評価値が、前記発光可能領域に係る輝度の平均値を含む。
　第６の態様に係る発光デバイス検査装置は、第４の態様に係る発光デバイス検査装置であって、前記輝度に係る評価値が、前記発光可能領域において第３閾値以上の輝度を有する領域が占める割合を含む。
　第７の態様に係る発光デバイス検査装置は、第４から第６の何れか１つの態様に係る発光デバイス検査装置であって、前記撮像部によって取得される調整用画像に基づいて、前記検査用画像において前記発光可能領域が捉えられる画像領域が占める位置を特定する特定部、を更に備え、前記調整用画像が、前記検査用電流よりも大きな調整用電流に応じて発光している各前記発光デバイスを捉えた画像である。
　第８の態様に係る発光デバイス検査装置は、第１から第３の何れか１つの態様に係る発光デバイス検査装置であって、前記測定部が、前記検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの輝度に係る情報を取得するフォトダイオードを含む。
　第９の態様に係る発光デバイス検査装置は、第１の態様に係る発光デバイス検査装置であって、前記検査用電流が、第１検査用電流と第２検査用電流と第３検査用電流とを含み、前記測定部が、前記第１検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの第１輝度に係る情報、前記第２検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの第２輝度に係る情報、および前記第３検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの第３輝度に係る情報を順次に取得し、前記下限値が、各前記発光デバイスについて、前記第１検査用電流と前記第１輝度との組、前記第２検査用電流と前記第２輝度との組、および前記第３検査用電流と前記第３輝度との組を用いた曲線近似の演算によって推定される。
　第１０の態様に係る発光デバイス検査方法は、給電部によって１以上の発光デバイスに対して順方向に流れる検査用電流を供給し、該検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの輝度に係る情報を測定部によって取得するステップと、各前記発光デバイスについて、前記輝度に係る評価値が第１閾値以下となる第１条件、および前記輝度に基づいて推定される前記発光デバイスの発光に必要な電流の下限値が第２閾値以上となる第２条件、のうちの１以上の条件が満たされる場合に、判定部によって許容値を超える漏れ電流が生じ得るものと判定するステップと、を備える。
　第１から第９の何れの態様に係る発光デバイス検査装置によっても、簡単な構成で発光デバイスの漏れ電流に関する検査が可能となる。
　第２の態様に係る発光デバイス検査装置によれば、許容値を超える漏れ電流が生じている場合には発光デバイスが発光しないため、検査の精度が高まり得る。
　第３の態様に係る発光デバイス検査装置によれば、検査の迅速化が図られ得る。
　第４から第７の何れの態様に係る発光デバイス検査装置によっても、例えば、汎用の撮像部等を用いた簡単な構成で迅速な検査が可能となる。また、例えば、複数の発光デバイスの輝度に係る情報が単一の撮像部によって取得されれば、検査の迅速化が図られ得る。
　第５および第６の何れの態様に係る発光デバイス検査装置によっても、１つの発光デバイス内において発光に必要な電流の下限値がばらついても、安定した検査が可能となる。
　第７の態様に係る発光デバイス検査装置によれば、発光デバイスの発光可能領域が捉えられる画像領域の位置が特定されることで、発光可能領域のより広い領域に係る輝度に基づいた検査が可能となる。
　第８の態様に係る発光デバイス検査装置によれば、更に構成の簡略化が図られ得る。
　第９の態様に係る発光デバイス検査装置によれば、測定部を用いて安定して検出可能な輝度を生じさせる検査用電流が用いられることで、測定部の構成の簡略化が図られ得る。
　第１０の態様に係る発光デバイス検査方法によれば、簡単な構成で発光デバイスの漏れ電流に関する検査が可能となる。
図１は、有機ＥＬデバイスにおける駆動電流と発光輝度との関係を例示する図である。 図２は、デバイス間の特性のばらつきを例示する図である。 図３は、図１に検出可能な発光輝度の下限値に係る情報等を加えた図である。 図４は、一実施形態に係る発光デバイス検査装置の概略的な構成を例示する図である。 図５は、測定部の構成を例示する図である。 図６は、情報処理部の構成を例示する図である。 図７は、発光デバイス検査装置の機能的な構成を示すブロック図である。 図８は、領域特定情報のデータ例を示す図である。 図９は、発光評価情報のデータ例を示す図である。 図１０は、判定結果情報のデータ例を示す図である。 図１１は、発光デバイス検査装置の動作フローを例示するフローチャートである。 図１２は、一変形例に係る発光評価値の算出方法を説明するための図である。 図１３は、一変形例に係る発光デバイス検査装置の機能的な構成を例示する図である。 図１４は、一変形例に係る発光開始電流の推定方法を説明するための図である。 図１５は、一変形例に係る測定部の概略的な構成を例示する図である。 図１６は、一変形例に係る発光デバイス検査装置の機能的な構成を例示する図である。
　以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。なお、図面においては同様な構成および機能を有する部分については同じ符号が付されており、下記説明では重複説明が省略される。また、図面は模式的に示されたものであり、各図における各種構造のサイズおよび位置関係等は正確に図示されたものではない。
　＜(1)許容値を超える漏れ電流の有無に係る検査原理＞
　有機ＥＬを利用した発光デバイス（有機ＥＬデバイスとも言う）は、２つの電極（アノード電極とカソード電極）が発光層を挟む構造を有している。この有機ＥＬデバイスについては、発光層に異物等が極力混入しないように製造される。しかし、仮に発光層に異物等が混入すれば、異物等とその周辺部分との界面近傍における電気抵抗が低下し、異物等の近傍で電流（漏れ電流とも言う）が相対的に流れ易くなり、発光を生じるために発光層で本来流れるべき経路に電流が相対的に流れ難くなり得る。
　このため、漏れ電流が生じない有機ＥＬデバイス（漏れ電流非発生デバイスとも言う）と比較して、漏れ電流が生じる有機ＥＬデバイス（漏れ電流発生デバイスとも言う）では、発光層を介して両電極間に流れる電流（駆動電流とも言う）が、漏れ電流を補う程度に高く設定されなければ、所望の発光が生じ得ない。
　図１は、有機ＥＬデバイスにおける駆動電流とこの駆動電流に応じて発光し得る領域（発光可能領域とも言う）の輝度（発光輝度とも言う）との関係を示す図である。図１では、漏れ電流非発生デバイスにおける駆動電流と発光輝度との関係が一点鎖線の曲線ＣＶSで示され、漏れ電流発生デバイスにおける駆動電流と発光輝度との関係が二点鎖線の曲線ＣＶLで示されている。
　図１で示されるように、漏れ電流非発生デバイスは、駆動電流が電流Ｉ0を超えると発光し始める。この電流Ｉ0を理想発光開始電流とも言う。一方、漏れ電流発生デバイスは、漏れ電流を補う電流（補償電流とも言う）ＩLを理想発光開始電流Ｉ0に加えた電流（Ｉ0＋ＩL）を駆動電流が超えると発光し始める。この電流（Ｉ0＋ＩL）を漏れ補償発光開始電流とも言う。
　ここでは、漏れ電流非発生デバイスは、理想発光開始電流Ｉ0と漏れ補償発光開始電流（Ｉ0＋ＩL）との間の電流ＩCが駆動電流として与えられると発光する。このとき、漏れ電流非発生デバイスの発光輝度が輝度ＬC0となる。その一方で、漏れ電流発生デバイスは、電流ＩCが駆動電流として与えられても発光しない。
　そこで、本実施形態では、ある補償電流ＩLが漏れ電流の許容値とされるとともに、電流ＩCが検査用の電流（検査用電流とも言う）とされる。そして、この検査用電流ＩCが駆動電流とされる際に検出される有機ＥＬデバイスの発光輝度に基づいて、許容値ＩLを超える漏れ電流が生じ得る有機ＥＬデバイスであるか否かが判定される。なお、許容値ＩLは、例えば、有機ＥＬデバイスに要求される発光効率の規格に基づいて決定され得る。
　ところで、実際に製造される漏れ電流非発生デバイスについては、デバイス間の特性のばらつきによって、理想発光開始電流Ｉ0に若干のずれが生じる。
　図２は、漏れ電流非発生デバイスにおいて生じるデバイス間の特性のばらつきを例示する図である。図２では、漏れ電流非発生デバイスのうち、想定される理想発光開始電流Ｉ0のばらつきの範囲における最小値Ｉ0minと最大値Ｉ0maxとが示されている。そして、理想発光開始電流Ｉ0が最小値Ｉ0minとなる漏れ電流非発生デバイスに係る駆動電流と発光輝度との関係が破線の曲線ＣＶSminで示され、理想発光開始電流Ｉ0が最大値Ｉ0maxとなる漏れ電流非発生デバイスに係る駆動電流と発光輝度との関係が一点鎖線の曲線ＣＶSmaxで示されている。
　例えば、検査用電流ＩCが理想発光開始電流Ｉ0の最大値Ｉ0maxを超える値に設定される場合が想定される。このとき、理想発光開始電流Ｉ0が最小値Ｉ0minとなる漏れ電流非発生デバイスが検査用電流ＩCに応じた発光によって発光輝度ＬC0を実現し、想発光開始電流Ｉ0が最大値Ｉ0maxとなる漏れ電流非発生デバイスが検査用電流ＩCに応じた発光によって発光輝度ＬC1を実現する。つまり、発光輝度ＬC1と発光輝度ＬC0との差ＬVが生じる。
　また、検査用電流ＩCが理想発光開始電流Ｉ0の最大値Ｉ0max以下の値に設定される場合も想定される。このとき、理想発光開始電流Ｉ0が最小値Ｉ0minとなる漏れ電流非発生デバイスは、検査用電流ＩCに応じて発光するが、理想発光開始電流Ｉ0が最大値Ｉ0maxとなる漏れ電流非発生デバイスは、検査用電流ＩCに応じて発光しない。
　そこで、本実施形態では、図２で示されるようなデバイス間の特性のばらつきが考慮されて、検査用電流ＩCが設定される。具体的には、検査用電流ＩCが駆動電流とされる場合に漏れ電流非発生デバイスが確実に発光し得るように、理想発光開始電流Ｉ0の最大値Ｉ0maxが代表として理想発光開始電流Ｉ0とされ、この理想発光開始電流Ｉ0と漏れ補償発光開始電流（Ｉ0＋ＩL）との間の範囲内で、検査用電流ＩCが設定される。
　また、有機ＥＬデバイスの発光輝度を検出するセンサの感度によって、検出可能な発光輝度の下限値ＬLLが存在する。図３は、図１に下限値ＬLLに係る情報を加えた図である。
　図３で示されるように、漏れ電流非発生デバイスにおいて発光輝度ＬLLが実現されるためには、発光輝度ＬLLに対応する電流（オフセット電流とも言う）Ｉ0OFFSETが理想発光開始電流Ｉ0に加えられた値（Ｉ0＋Ｉ0OFFSET）が、駆動電流として設定されれば良い。また、漏れ電流発生デバイスにおいて発光輝度ＬLLが実現されるためには、オフセット電流Ｉ0OFFSETが漏れ補償発光開始電流（Ｉ0＋ＩL）に加えられた値（Ｉ0＋ＩL＋Ｉ0OFFSET）が、駆動電流として設定されれば良い。
　換言すれば、第１電流としての電流（Ｉ0＋Ｉ0OFFSET）は、センサによって検出可能な発光輝度の下限値が漏れ電流非発生デバイスにおいて実現される駆動電流である。また、第２電流としての電流（Ｉ0＋ＩL＋Ｉ0OFFSET）は、センサによって検出可能な発光輝度の下限値が漏れ電流発生デバイスにおいて実現される駆動電流である。従って、検査用電流ＩCが、電流（Ｉ0＋Ｉ0OFFSET）以上であり、且つ電流（Ｉ0＋ＩL＋Ｉ0OFFSET）未満の電流となるように設定されることが好ましい。
　なお、例えば、発光層の作製工程において、発光層を形成するための有機材料等を含む溶液が塗布される際の条件により、発光層の厚み等がばらつき得る。このため、１つの有機ＥＬデバイスにおける発光可能領域で発光輝度のムラが生じ、発光可能領域の全体が一様に発光しない場合が生じ得る。具体的には、発光可能領域において、発光している領域（発光領域とも言う）と発光していない領域（非発光領域とも言う）とが生じ得る。このような現象が生じる場合であっても、本実施形態に係る検査装置および検査方法によれば、許容値を超える漏れ電流の有無の判定が可能となり、簡単な構成で有機ＥＬデバイスの漏れ電流に関する検査が可能となる。
　以下、本実施形態に係る検査装置および検査方法について、具体的に説明する。
　＜(2)発光デバイス検査装置の概略構成＞
　図４は、一実施形態に係る発光デバイス検査装置１の概略的な構成を示す図である。図４で示されるように、発光デバイス検査装置１は、測定部２と情報処理部３とを備えている。ここで、測定部２と情報処理部３とについて順次に説明する。
　　＜(2-1)測定部の構成＞
　図５は、一実施形態に係る測定部２の構成を例示する図である。図５で示されるように、測定部２は、搬送系２１、遮蔽用箱部２２、撮像部２３、およびトレイ２４を備えている。
　搬送系２１は、トレイ２４が載置される部分であり、このトレイ２４を所定方向（ここでは、水平方向）に移動させる部分である。
　遮蔽用箱部２２は、下方に開口を有する箱状の形状を有し、可視光線を遮蔽する部分である。遮蔽用箱部２２では、一端部および他端部における外壁面の最下部の近傍にそれぞれ位置する部分に対して、電力を供給する第１配線ＦＷPおよび第２配線ＦＷMがそれぞれ接続されている。
　ここで、第１配線ＦＷPは、遮蔽用箱部２２の外壁面から内壁面に至るまで遮蔽用箱部２２を貫通するように設けられ、遮蔽用箱部２２の内壁面側に設けられた第１接続端子ＣＮPに対して電気的に接続されている。一方、第２配線ＦＷMは、遮蔽用箱部２２の外壁面から内壁面に至るまで遮蔽用箱部２２を貫通するように設けられ、遮蔽用箱部２２の内壁面側に設けられた第２接続端子ＣＮMに対して電気的に接続されている。
　また、遮蔽用箱部２２は、箱駆動部２２MT（図７参照）によって上下に移動可能である。図５では、遮蔽用箱部２２が最も下方まで移動した状態が示されている。この状態では、遮蔽用箱部２２とトレイ２４等とが密着することで遮蔽用箱部２２の内部空間が密閉された状態となり、遮蔽用箱部２２の外部から遮蔽用箱部２２の内部空間への可視光線の浸入が遮蔽される。一方、遮蔽用箱部２２が上方に移動した状態では、搬送系２１によってトレイ２４の搬送が可能となり、あるトレイ２４を遮蔽用箱部２２の直下の領域から移動させ、他のトレイ２４を遮蔽用箱部２２の直下の領域に移動させることが可能となる。
　撮像部２３は、遮蔽用箱部２２の上部に設けられ、遮蔽用箱部２２の内部空間の撮影が可能である。この撮像部２３は、例えば、画素がマトリックス状に配列されたＣＣＤ等からなる撮像センサを有し、被写体の輝度に対応する画素値の２次元的な分布を示す画像データ（ここでは、モノクロ画像データ）を得るものであれば良い。以下では、画像データおよびこの画像データで示される画像を単に画像と総称する。
　なお、図５では、撮像部２３によって撮影可能な範囲の外縁が一点鎖線で示されている。そして、遮蔽用箱部２２が最も下方まで移動してトレイ２４等と密着している際には、撮像部２３によってトレイ２４上に配置された４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４が発光している様子が撮像可能となる。
　トレイ２４は、４箇所の凹み部を有し、発光可能領域が上方に向けられた４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４が４箇所の凹み部にそれぞれ嵌め込まれた状態で、４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４の搬送を可能とするものである。また、トレイ２４は、トレイ２４上に４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４が配置された状態で、４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４を電気的に直列に接続する導電部ＣＬ１～ＣＬ５を有している。
　ここでは、有機ＥＬデバイスＥＤ１が、アノード電極に接続する正極端子１ＴPとカソード電極に接続する負極端子１ＴMとを有し、有機ＥＬデバイスＥＤ２が、アノード電極に接続する正極端子２ＴPとカソード電極に接続する負極端子２ＴMとを有している。また、有機ＥＬデバイスＥＤ３が、アノード電極に接続する正極端子３ＴPとカソード電極に接続する負極端子３ＴMとを有し、有機ＥＬデバイスＥＤ４が、アノード電極に接続する正極端子４ＴPとカソード電極に接続する負極端子４ＴMとを有している。
　そして、導電部ＣＬ１が正極端子１ＴPに電気的に接続し、導電部ＣＬ２が負極端子１ＴMと正極端子２ＴPとを電気的に接続し、導電部ＣＬ３が負極端子２ＴMと正極端子３ＴPとを電気的に接続し、導電部ＣＬ４が負極端子３ＴMと正極端子４ＴPとを電気的に接続し、正極端子４ＴPが導電部ＣＬ５に電気的に接続する。
　また、遮蔽用箱部２２が最も下方まで移動してトレイ２４等と密着している際には、第１接続端子ＣＮPと導電部ＣＬ１とが接触して電気的に接続され、第２接続端子ＣＮMと導電部ＣＬ５とが接触して電気的に接続された状態となる。これにより、給電部２５（図７参照）によって第１配線ＦＷPと第２配線ＦＷMとの間に所望の電流を流すことが可能となる。
　なお、トレイ２４上に配置される各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４については、例えば、基板上にアノード電極と発光層とカソード電極とが積層されて封止膜が設けられた状態であっても良いし、更に、封止の効果が高まるように樹脂等が用いられてラミネートされた状態であっても良い。なお、各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４の劣化を防ぐ目的で、遮蔽用箱部２２の内部空間に不活性ガスが導入されても良い。
　　＜(2-2)情報処理部の構成＞
　図６は、一実施形態に係る情報処理部３の構成を例示する図である。図６で示されるように、情報処理部３は、例えばパーソナルコンピュータ（ＰＣ）で構成され、操作部３１、表示部３２、インターフェース(Ｉ／Ｆ)部３３、記憶部３４、入出力部３５、および制御部３６を備える。
　操作部３１は、マウスやキーボード等を含む。表示部３２は、液晶ディスプレイ等を備えて構成されている。Ｉ／Ｆ部３３は、通信回線を介して測定部２との間で各種信号の送受信を行う。
　記憶部３４は、例えばハードディスク等で構成され、測定部２で得られる測定結果に係る情報を記憶する。また、記憶部３４は、有機ＥＬデバイスの検査を行う処理（デバイス検査処理とも言う）を実行するためのプログラムＰＧ等が格納される。
　入出力部３５は、例えばディスクドライブを備えて構成され、光ディスク等の記憶媒体９を受け付け、制御部３６との間で各種データの授受を行う。
　制御部３６は、プロセッサーとして働くＣＰＵ３６ａと、情報を一時的に記憶するメモリ３６ｂとを有し、情報処理部３の各部を統括的に制御する。制御部３６では、記憶部３４内のプログラムＰＧが読み込まれて実行されることで、デバイス検査処理に係る各種機能および各種情報処理等が実現される。なお、記憶媒体９に記憶されているプログラムおよびデータを、入出力部３５を介してメモリ３６ｂ等に格納させることも可能である。
　＜(3)発光デバイス検査装置の機能的な構成＞
　図７は、一実施形態に係る発光デバイス検査装置１の機能的な構成を示すブロック図である。ここでは、制御部３６の機能的な構成が、プログラムＰＧの実行によって実現されるものとして説明されているが、専用のハードウエアによって実現されても良い。
　図７で示されるように、測定部２は、搬送系２１、箱駆動部２２MT、撮像部２３、識別情報取得部２４OB、および給電部２５を備えている。また、情報処理部３は、搬送制御部３６１、電流制御部３６２、撮像制御部３６３、領域特定部３６４、画像補正部３６５、評価値算出部３６６、判定部３６７、および結果出力部３６８を備えている。
　搬送系２１は、上述したように、トレイ２４が載置される部分であり、このトレイ２４を水平方向に移動させることが可能である。搬送系２１によるトレイ２４の移動は、例えば、ベルトコンベアまたはロボットアーム等を用いた構成によって実現され得る。
　箱駆動部２２MTは、遮蔽用箱部２２を上下に移動させるものである。この箱駆動部２２MTは、例えば、遮蔽用箱部２２に対して連結されるシャフトを上下に移動させるシリンダー等が用いられて実現され得る。
　撮像部２３は、給電部２５から供給される所望の電流に応じて４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４が発光している様子を撮像する。ここで、所望の電流には、検査用電流ＩCと、漏れ電流発生デバイスも十分発光し得る調整用の電流（調整用電流とも言う）ＩAD（図１および図３参照）とが含まれる。なお、調整用電流ＩADは、例えば、漏れ電流非発生デバイスの発光可能領域が通常の照明としての発光輝度を生じ得る駆動電流に相当し、検査用電流ＩCよりもかなり大きい電流となる。
　そして、撮像部２３は、調整用電流ＩADが印加されている各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４の発光可能領域を捉えた画像（調整用画像とも言う）を取得する。また、撮像部２３は、検査用電流ＩCが印加されている各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４の発光可能領域を捉えた画像（検査用画像とも言う）を取得する。調整用画像および検査用画像は、ともに各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４の発光輝度に係る情報であり、ここでは、発光輝度に対応する画素値の２次元的な分布を示すモノクロ画像である。なお、ここでは、撮像部２３の合焦状態と絞りの状態とが、トレイ２４に装着された４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４の撮像に適した状態となっているものとする。
　ところで、例えば、撮像部２３に単純なデジタルカメラが適用される場合、撮像部２３によって取得される画像を構成する各画素の画素値は、被写体の輝度そのものの絶対値を示さず、被写体の輝度に対応する信号レベルを示す。
　この場合、例えば、まず、被写体の輝度に相当する多数の画素値からなる画像を直接的に取得可能なデジタルカメラ（輝度測定カメラとも言う）と、撮像部２３に適用されたデジタルカメラとによって、同一のチャート（例えば、マクベスのカラーチャート）が撮像される。次に、得られる２つの画像の比較によって、撮像部２３に適用されたデジタルカメラの出力（各画素値）と輝度との関係が求められる。そして、この関係を示す情報が、予め記憶部３４に格納され、撮像制御部３６３等において、撮像部２３で得られた画素値の２次元的な分布から被写体に係る輝度の２次元分布が適時に求められれば良い。
　識別情報取得部２４OBは、遮蔽用箱部２２の直下に存在するトレイ２４の識別情報を取得する。識別情報取得部２４OBとしては、例えば、トレイ２４に貼り付けられているＩＣタグから識別情報（例えばトレイＩＤ等）を読み出すＩＣタグリーダ等が挙げられ、遮蔽用箱部２２および搬送系２１の何れか一方に設けられれば良い。ＩＣタグの代わりにバーコードが用いられ、ＩＣタグリーダの代わりにバーコードリーダが用いられても良い。
　給電部２５は、第１配線ＦＷPおよび第２配線ＦＷMを介して、４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４に一定の電流を安定して供給可能な定電流源である。一定の電流には、検査用電流ＩCと調整用電流ＩADとが含まれる。なお、これらの電流ＩC，ＩADは、各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４を発光させ得る方向（順方向とも言う）に流れる電流である。
　搬送制御部３６１は、搬送系２１を制御することで、トレイ２４を移動させる。また、搬送制御部３６１は、トレイ２４の移動と同期させて、箱駆動部２２MTを制御することで、遮蔽用箱部２２を上下に移動させる。
　電流制御部３６２は、給電部２５を制御することで、トレイ２４上に配置された４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４に検査用電流ＩCまたは調整用電流ＩADを供給する。
　撮像制御部３６３は、電流制御部３６２による給電部２５の制御と同期して、撮像部２３を制御することで、トレイ２４上に配置された４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４が発光する様子をそれぞれ捉えた調整用画像および検査用画像を順次に取得する。また、撮像制御部３６３は、識別情報取得部２４OBを制御することで、遮蔽用箱部２２の直下に存在するトレイ２４の識別情報（ここではトレイＩＤ）を取得する。
　領域特定部３６４は、撮像部２３によって取得された調整用画像に基づいて、発光可能領域が捉えられる画像領域が検査用画像を占める位置を特定する。具体的には、調整用画像のうち、撮像部２３で検出可能な発光輝度の下限値ＬLL以上の発光輝度に対応する画素値を示す一塊の複数の画素からなる領域が、１つの有機ＥＬデバイスの発光可能領域が捉えられる画像領域として特定される。
　領域特定部３６４では、各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４にそれぞれ対応する発光可能領域が捉えられる画像領域の位置がそれぞれ特定される。また、領域特定部３６４で特定される４つの画像領域は、評価値算出部３６６において発光輝度に係る評価値（発光評価値とも言う）の算出に用いられる画像領域（評価エリアとも言う）となる。
　具体的には、例えば、撮像部２３によって得られる画像が、横方向（Ｘ方向）に沿って伸び且つ相互に対向する２辺と縦方向（Ｙ方向）に沿って伸び且つ相互に対向する２辺とによって外縁が構成される矩形の画像であるものとされる。そして、外縁がＸ方向に伸びる２辺とＹ方向に伸びる２辺とからなる矩形であって、発光輝度ＬLL以上の発光輝度に対応する画素値を示す一塊の多数の画素からなる領域に内接する領域（矩形領域とも言う）が、評価エリアとされる。なお、矩形領域は、設計上で得られる発光可能領域に対して相似の関係を有する。
　また、例えば、４つの評価エリアが並んでいる順番によって、４つの評価エリアが、４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４のうちの何れの有機ＥＬデバイスに係る評価エリアにそれぞれ相当するのかが特定されれば良い。
　なお、調整用画像において４つの発光可能領域がそれぞれ捉えられると予測される画素Ｐ１～Ｐ４が予め設定され、画素Ｐ１～Ｐ４に基づいて、４つの評価エリアが、４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４のうちの何れの有機ＥＬデバイスに係る評価エリアにそれぞれ相当するのかが特定されても良い。この場合、例えば、画素Ｐ１を含む評価エリアが、有機ＥＬデバイスＥＤ１に係る評価エリアとされ、画素Ｐ２を含む評価エリアが、有機ＥＬデバイスＥＤ２に係る評価エリアとされる。また、画素Ｐ３を含む評価エリアが、有機ＥＬデバイスＥＤ３に係る評価エリアとされ、画素Ｐ４を含む評価エリアが、有機ＥＬデバイスＥＤ４に係る評価エリアとされる。
　このようにして特定された４つの評価エリアを示す情報（領域特定情報とも言う）は、図８で示すような態様とされて、評価値算出部３６６に対して出力される。図８で示されるように、領域特定情報は、トレイＩＤに対して、有機ＥＬデバイスの配置順毎に、評価エリアにおける左上の画素のＸＹ座標と、右下の画素のＸＹ座標とが関連付けられたものである。なお、各画像の左上の座標が原点とされる。
　画像補正部３６５は、撮像部２３によって取得された検査用画像に対して、いわゆるシェーディング補正を行う。
　評価値算出部３６６は、シェーディング補正後の検査用画像に基づいて、各評価エリアについて発光輝度に係る評価値（発光評価値）をそれぞれ算出する。各発光評価値は、例えば、評価エリアにおける発光輝度の平均値等であれば良い。この平均値は、例えば、いわゆる算術平均の値であれば良く、幾何平均、２乗平均、および大きく外れた値を除いた上での算術平均等といった各種平均のうちの何れの平均の値であっても良い。更に、発光評価値は、評価エリアにおける発光輝度の最大値、最頻値、および中央値等といった各種代表値のうちの何れの値であっても良い。
　また、評価値算出部３６６では、算出された各有機ＥＬデバイスに係る発光評価値が、領域特定部３６４から入力される領域特定情報に追記された情報（発光評価情報とも言う）が生成される。なお、発光評価情報のデータ例は、図９で示されるようなものとなる。図９では、有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４の発光評価値がそれぞれ１．５，１．２，１．６，０．０１である例が示されている。
　判定部３６７は、各有機ＥＬデバイスを対象として、発光評価値が閾値Ｔ1以下となる条件が満たされる場合に、許容値を超える漏れ電流が生じ得るものと判定する。閾値Ｔ1は、例えば、設計上において、漏れ電流非発生デバイスにおいて実現され得る発光輝度から算出される発光評価値（基準発光評価値とも言う）よりも明らかに小さな値（例えば、基準発光評価値の１０分の１程度の値等といった１桁小さな値）等であれば良い。また、検査用電流ＩCが、電流（Ｉ0＋Ｉ0OFFSET）以上であり且つ電流（Ｉ0＋ＩL＋Ｉ0OFFSET）未満の電流であれば、例えば、閾値Ｔ1は、０に近い値に設定されても良い。
　例えば、閾値Ｔ1が０．１と設定されると、発光評価情報が図９で示されるようなものであれば、４番目の有機ＥＬデバイスＥＤ４は、発光評価値が閾値Ｔ1以下であるために許容値を超える漏れ電流が生じ得る不適格なデバイスであると判定される。一方、１～３番目の有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ３は、発光評価値が閾値Ｔ1を超えているために許容値を超える漏れ電流が生じ得ない適格なデバイスであると判定される。
　また、判定部３６７では、評価値算出部３６６から入力される発光評価情報に対して、判定結果としての適格（ＯＫ）および不適格（ＮＧ）である旨の情報が追記された情報（判定結果情報とも言う）が生成される。なお、判定結果情報のデータ例は、図１０で示されるようなものとなる。図１０では、１～３番目の有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ３には適格（ＯＫ）との判定結果がそれぞれ記され、４番目の有機ＥＬデバイスＥＤ４には不適格（ＮＧ）との判定結果が記された例が示されている。
　そして、判定部３６７は、判定結果情報を、表示部３２において可視的に出力させるとともに、記憶部３４に記憶させる。なお、表示部３２において可視的に出力される判定結果情報の態様としては、図１０で示されるテーブルの態様等であれば良い。
　結果出力部３６８は、通信回線を介して、判定部３６７から転送されてきた判定結果情報を、発光デバイス検査装置１の外部に設置される集計サーバ５００等に送信する。
　＜(4)発光デバイス検査装置の動作フロー＞
　図１１は、発光デバイス検査装置１の動作フローを示すフローチャートである。本動作フローは、制御部３６がプログラムＰＧを読み込んで実行することで実現される。なお、本動作フローは、例えば、操作部３１からの指示に応じて開始されて、図１１のステップＳ１に進む。
　ステップＳ１では、搬送制御部３６１の制御下で、搬送系２１によってトレイ２４が遮蔽用箱部２２の直下まで搬送されるとともに、箱駆動部２２MTによって遮蔽用箱部２２が下降して、遮蔽用箱部２２の内部空間が密閉された状態とされる。
　ステップＳ２では、電流制御部３６２の制御下で、給電部２５から４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４に対する調整用電流ＩADの供給が開始される。このとき、各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４が調整用電流ＩADに応じた発光を開始する。
　ステップＳ３では、撮像制御部３６３の制御下で、撮像部２３によって調整用画像が取得される。
　ステップＳ４では、電流制御部３６２の制御下で、給電部２５から４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４に対する調整用電流ＩADの供給が終了される。このとき、各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４が調整用電流ＩADに応じた発光を終了する。
　ステップＳ５では、領域特定部３６４によって、ステップＳ３で取得された調整用画像に基づいて、各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４の発光可能領域に対応する評価エリアの位置が特定され、各評価エリアの位置をそれぞれ示す領域特定情報が生成される。
　ステップＳ６では、電流制御部３６２の制御下で、給電部２５から４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４に対する検査用電流ＩCの供給が開始される。このとき、各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４が検査用電流ＩCに応じた発光を開始する。
　ステップＳ７では、撮像制御部３６３の制御下で、撮像部２３によって検査用画像が取得される。
　ステップＳ８では、電流制御部３６２の制御下で、給電部２５から４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４に対する検査用電流ＩCの供給が終了される。このとき、各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４が検査用電流ＩCに応じた発光を終了する。
　ステップＳ９では、評価値算出部３６６によって、ステップＳ７で取得された検査用画像に基づいて、各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４に係る評価エリアについて発光評価値がそれぞれ算出される。
　ステップＳ１０では、判定部３６７によって、ステップＳ９で算出された各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４に係る発光評価値に基づいて、各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４が適格であるかまたは不適格であるかが判定される。
　ステップＳ１１では、判定部３６７によって、ステップＳ１０で得られた判定結果を示す判定結果情報を、表示部３２において可視的に出力させるとともに、記憶部３４に記憶させる。また、結果出力部３６８によって、判定結果情報が、通信回線を介して集計サーバ５００等に送信される。
　ステップＳ１２では、搬送制御部３６１の制御下で、箱駆動部２２MTによって遮蔽用箱部２２が上昇するとともに、搬送系２１によってトレイ２４が遮蔽用箱部２２の直下から搬出される。
　ステップＳ１３では、制御部３６によって、次のトレイ２４があるか否かが判定される。ここで、次のトレイ２４があれば、ステップＳ１に戻り、次のトレイ２４がなければ、本動作フローが終了する。
　＜(5)一実施形態のまとめ＞
　以上のように、一実施形態に係る発光デバイス検査装置１では、検査用電流ＩCに応じて発光する有機ＥＬデバイスの発光輝度に係る情報が取得され、この発光輝度から算出される評価値に基づいて許容値を超える漏れ電流が生じ得るか否かが判定される。このため、簡単な構成によって有機ＥＬデバイスの漏れ電流に関する検査が可能となる。
　また、複数の有機ＥＬデバイスが電気的に直列に接続された状態で検査用電流ＩCに応じて発光する様子が撮像部２３によって撮像される。このとき、複数の有機ＥＬデバイスのうちの或る有機ＥＬデバイスにおける漏れ電流が、他の有機ＥＬデバイスにおける発光輝度に影響を及ばさない。その結果、複数の有機ＥＬデバイスの検査が同時期に可能となるため、検査の迅速化が図られ得る。
　また、撮像部２３によって、検査用電流ＩCに応じて発光する有機ＥＬデバイスの発光輝度に係る情報が取得される。このため、例えば、汎用のデジタルカメラ等の簡単な構成によって迅速な検査が可能となる。また、例えば、複数の有機ＥＬデバイスの発光輝度が単一の撮像部２３によって測定されるため、簡単な構成によって迅速に検査され得る。
　また、検査用電流ＩCに応じて発光している有機ＥＬデバイスの発光輝度から求まる発光評価値が、評価対象の領域に係る発光輝度の平均値であれば、１つの有機ＥＬデバイス内において発光に必要な電流の下限値がばらついても、安定した検査が可能となる。
　また、調整用電流ＩADに応じて発光している有機ＥＬデバイスを捉えた調整用画像が撮像によって取得され、この調整用画像に基づいて、各有機ＥＬデバイスの発光可能領域が捉えられる画像領域が検査用画像を占める位置が特定される。このため、有機ＥＬデバイスの発光可能領域のより広い領域に係る発光輝度に基づいた検査が可能となる。
　＜(6)変形例＞
　なお、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
　◎例えば、上記一実施形態では、発光評価値が、評価エリアに係る発光輝度の平均値等であったが、これに限られない。例えば、発光評価値が、発光可能領域に対応する評価エリアにおいて、閾値Ｔ2以上の発光輝度に対応する画素値を示す１以上の画素からなる画像領域が占める割合であっても良い。
　例えば、図１２で示されるように、評価エリアが、閾値Ｔ2以上の発光輝度に係る画像領域ＡＲ１と、閾値Ｔ2未満の発光輝度に係る画像領域ＡＲ２とによって構成される場合を想定する。このとき、画像領域ＡＲ１の面積が、画像領域ＡＲ１の面積と画像領域ＡＲ２の面積との合算値で除されることで、発光評価値が導出される。
　このような構成によれば、１つの有機ＥＬデバイス内において発光に必要な電流の下限値がばらついても、安定した検査が可能となる。
　◎また、上記一実施形態では、４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４が電気的に直列に接続されていたが、これに限られない。例えば、各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４に対して個別に電流が付与されても良いし、２以上の任意の個数の有機ＥＬデバイスが電気的に直列に接続されていても良い。そして、１回の撮像で捉えられる有機ＥＬデバイスの個数は、１以上の任意の個数であれば良い。
　但し、検査の迅速化が図られる観点から言えば、検査対象の１以上の有機ＥＬデバイスが、給電部２５に対して電気的に直列に接続された複数の有機ＥＬデバイスであることが好ましい。このような態様では、検査用電流ＩCの供給に応じて発光する複数の有機ＥＬデバイスの発光輝度に係る情報が同時期に並行して取得され得る。
　◎また、上記一実施形態では、発光輝度に係る発光評価値に基づいて、有機ＥＬデバイスが適格または不適格であるとの判定がなされたが、これに限られない。例えば、各有機ＥＬデバイスについて、駆動電流を徐々に上昇させていく際に発光が開始する電流（発光開始電流とも言う）が推定され、この発光開始電流が閾値ＩT以上となる条件が満たされれば、不適格であるとの判定がなされても良い。
　なお、発光開始電流は、次の工程(Ａ)，(Ｂ)が順次に行われることで推定され得る。
　(Ａ)複数の異なる検査用の電流（検査用電流）が順次に供給されつつ、各検査用電流に応じて発光している有機ＥＬデバイスの発光輝度に係る情報が撮像部２３によって取得される。このとき、例えば、各有機ＥＬデバイスについて、撮像部２３で得られる発光輝度に係る２次元的な分布を示す情報から発光輝度の平均値が求められて、有機ＥＬデバイスの発光輝度とされれば良い。
　(Ｂ)複数の異なる検査用電流の値と、各検査用電流にそれぞれ対応する発光輝度の値とが用いられて、駆動電流と発光輝度との関係を示す曲線が近似的に算出される演算（曲線近似の演算とも言う）が行われることで、有機ＥＬデバイスの発光開始電流が推定される。なお、別の観点から言えば、発光開始電流は、測定結果としての発光輝度に基づいて推定される有機ＥＬデバイスの発光に必要な駆動電流の下限値に相当する。
　ここで、発光開始電流の推定について具体例を挙げて説明する。
　図１３は、一変形例に係る発光デバイス検査装置１の機能的な構成を示す図である。図１３で示される機能的な構成は、図７で示された一実施形態に係る発光デバイス検査装置１の機能的な構成がベースとされて、評価値算出部３６６が推定部３６９に置換されたものである。
　図１４は、一変形例に係る発光開始電流の推定方法を説明するための図である。なお、図１４では、図１と同様に、漏れ電流非発生デバイスにおける駆動電流と発光輝度との関係が一点鎖線の曲線ＣＶSで示され、漏れ電流発生デバイスにおける駆動電流と発光輝度との関係が二点鎖線の曲線ＣＶLで示されている。
　例えば、電流制御部３６２の制御下で、給電部２５から４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４に対して、３つの異なる第１～第３検査用電流Ｉ1～Ｉ3が順次に印加される。このとき、撮像部２３によって、第１検査用電流Ｉ1が４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４に印加されている状態が捉えられた画像（第１検査用画像とも言う）が取得される。また、撮像部２３によって、第２検査用電流Ｉ2が４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４に印加されている状態が捉えられた画像（第２検査用画像とも言う）が取得される。更に、撮像部２３によって、第３検査用電流Ｉ3が４つの有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４に印加されている状態が捉えられた画像（第３検査用画像とも言う）が取得される。
　これにより、第１検査用電流Ｉ1に応じて発光している各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４の発光輝度（第１発光輝度とも言う）Ｌ1に係る情報が取得される。また、第２検査用電流Ｉ2に応じて発光している各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４の発光輝度（第２発光輝度とも言う）Ｌ2に係る情報が取得される。第３検査用電流Ｉ3に応じて発光している各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４の発光輝度（第３発光輝度とも言う）Ｌ3に係る情報が取得される。
　そして、推定部３６９により、各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４について、第１検査用電流Ｉ1と第１発光輝度Ｌ1との組、第２検査用電流Ｉ2と第２発光輝度Ｌ2との組、および第３検査用電流Ｉ3と第３発光輝度Ｌ3との組が用いられた曲線近似の演算によって、発光開始電流が推定される。
　より具体的には、例えば、駆動電流Ｉと発光輝度Ｌとの関係が、定数ａ，ｂ，ｃが用いられた多項式であるＬ＝ａ×Ｉ2＋ｂ×Ｉ＋ｃの関係式で示されるものとする。ここで、この関係式に対し、ＩにＩ1が代入され且つＬにＬ1が代入されて得られる第１の式と、ＩにＩ2が代入され且つＬにＬ2が代入されて得られる第２の式と、ＩにＩ3が代入され且つＬにＬ3が代入されて得られる第３の式とから、定数ａ，ｂ，ｃが求められる。そして、求められた定数ａ，ｂ，ｃが上記関係式に代入されることで、駆動電流と発光輝度との関係を示す曲線が近似的に算出され、Ｌ＝０となる際の電流Ｉが発光開始電流として推定される。
　なお、ここでは、３つの異なる駆動電流にそれぞれ対応する３つの発光輝度が撮像によって求められたが、これに限られず、設計上で求まる曲線のモデル（曲線モデルとも言う）が予め設定され、１つの駆動電流に対する発光輝度が撮像によって求められれば、曲線モデルの平行移動によって駆動電流と発光輝度との関係を示す曲線が近似的に算出されるような態様も考えられる。但し、この態様では、検査対象としての有機ＥＬデバイスの間で、駆動電流と発光輝度との関係を示す曲線の傾きが異なれば、検査精度が低下し得る。
　このため、検査精度が維持され得る観点から言えば、２つの異なる駆動電流にそれぞれ対応する２つの発光輝度が撮像によって得られ、例えば、曲線モデルの平行移動と変形とが行われる処理（カーブフィッティング）が実行されて、駆動電流と発光輝度との関係を示す曲線が求められる方が好ましい。更に、上述した３つの異なる駆動電流にそれぞれ対応する３つの発光輝度が撮像によって求められ、上記多項式が用いられて、駆動電流と発光輝度との関係を示す曲線が求められる方がより好ましい。
　本変形例に係る態様によれば、撮像部２３によって安定して検出可能な発光輝度を生じさせる検査用電流が用いられ得る。このため、撮像部２３の高感度化等が不要となり、撮像部２３の構成の簡略化が図られ得る。
　◎また、上記一実施形態では、検査用電流ＩCが、電流（Ｉ0＋Ｉ0OFFSET）以上であり且つ電流（Ｉ0＋ＩL＋Ｉ0OFFSET）未満の範囲内で設定されたが、これに限られない。例えば、判定部３６７における判定の基準となる閾値Ｔ1が適宜調整されるのであれば、検査用電流ＩCが、電流（Ｉ0＋ＩL＋Ｉ0OFFSET）以上の値に設定されても良い。
　但し、検査用電流ＩCが、電流（Ｉ0＋Ｉ0OFFSET）以上であり且つ電流（Ｉ0＋ＩL＋Ｉ0OFFSET）未満の範囲内で設定されれば、許容値を超える漏れ電流が生じている場合は有機ＥＬデバイスの発光が検出されない。つまり、不適格な有機ＥＬデバイスの発光輝度が０として検出される。このため、適格な有機ＥＬデバイスと不適格な有機ＥＬデバイスとが明確に区別されて、検査精度の向上が図られる。従って、検査の精度が高められる観点から言えば、上記一実施形態のように、検査用電流ＩCが、電流（Ｉ0＋Ｉ0OFFSET）以上であり且つ電流（Ｉ0＋ＩL＋Ｉ0OFFSET）未満の範囲内で設定されることが好ましい。
　◎また、上記一実施形態では、撮像部２３によって各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４の発光輝度に係る情報が得られたが、これに限られない。例えば、検査用電流ＩCに応じて発光している各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４の発光輝度に係る情報が、フォトダイオード等による検出によってそれぞれ取得されても良い。このような構成によれば、極めて単純な構成で有機ＥＬデバイスの漏れ電流に関する検査が可能となる。
　図１５は、本変形例に係る発光デバイス検査装置１Ａを構成する測定部２Ａの概略的な構成を例示する図である。
　フォトダイオードが採用される場合には、１つの有機ＥＬデバイスの発光輝度が、他の有機ＥＬデバイスの発光輝度の影響から分離されつつ取得され得るような構成が必要となる。このため、図１５で示されるように、本変形例に係る測定部２Ａは、上記一実施形態に係る測定部２がベースとされて、遮蔽用箱部２２が、遮蔽板Ｗ１～Ｗ３が追加された遮蔽用箱部２２Ａに置換されるとともに、撮像部２３が、フォトダイオードをそれぞれ有する４つのセンサ部２３１～２３４に置換されたものとなっている。
　測定部２Ａでは、遮蔽用箱部２２Ａが下降してトレイ２４に密着する場合には、センサ部２３１が有機ＥＬデバイスＥＤ１の直上に位置し、センサ部２３２が有機ＥＬデバイスＥＤ２の直上に位置し、センサ部２３３が有機ＥＬデバイスＥＤ３の直上に位置し、センサ部２３４が有機ＥＬデバイスＥＤ４の直上に位置する。この構成によれば、各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４に係る評価エリアが特定される処理が不要となり、構成および処理の簡素化に資する。
　図１６は、本変形例に係る発光デバイス検査装置１Ａの機能的な構成を示すブロック図である。本変形例に係る発光デバイス検査装置１Ａは、上記一実施形態に係る発光デバイス検査装置１がベースとされて、撮像部２３が４つのセンサ部２３１～２３４に置換されるとともに、電流制御部３６２と撮像制御部３６３と判定部３６７とが、それぞれ電流制御部３６２Ａと検出制御部３６３Ａと判定部３６７Ａとに置換され、更に、領域特定部３６４と画像補正部３６５と評価値算出部３６６とが取り除かれたものとなっている。
　電流制御部３６２Ａは、給電部２５によって各有機ＥＬデバイスＥＤ１～ＥＤ４に検査用電流ＩCを供給する。検出制御部３６３Ａは、４つのセンサ部２３１～２３４による検出とその検出結果としての発光輝度に係る情報を取得する。判定部３６７Ａは、各センサ部２３１～２３４が用いられて取得された発光輝度を発光評価値として、発光評価値が閾値Ｔ1以下となる条件が満たされる場合に、許容値を超える漏れ電流が生じ得る不適格なものと判定する。
　なお、４つのセンサ部２３１～２３４が、それぞれ撮像部とされる態様も考えられる。この態様では、撮像部における暗電流の影響が抑制され、検査精度の向上が図られ得る。
　◎また、上記一実施形態では、撮像部２３が用いられて取得された発光輝度の２次元的な分布が用いられたが、これに限られない。例えば、各評価エリアにそれぞれ含まれている１点の画素に係る発光輝度が、発光評価値として使用されても良い。
　◎また、上記一実施形態では、検査対象が有機ＥＬデバイスであったが、これに限られない。例えば、検査対象は、無機材料が用いられて構成されているＥＬデバイス（無機ＥＬデバイスとも言う）等といったその他の面発光デバイスであっても良い。
　◎なお、上記一実施形態および各種変形例をそれぞれ構成する全部または一部を、適宜、矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。
　１，１Ａ　発光デバイス検査装置
　２，２Ａ　測定部
　２２，２２Ａ　遮蔽用箱部
　３４　記憶部
　３６　制御部
　２３１～２３４　センサ部
　３６２，３６２Ａ　電流制御部
　３６３　撮像制御部
　３６３Ａ　検出制御部
　３６４　領域特定部
　３６５　画像補正部
　３６６　評価値算出部
　３６７，３６７Ａ　判定部
　３６８　結果出力部
　３６９　推定部
　ＥＤ１～ＥＤ４　有機ＥＬデバイス

Claims (10)

  1. 　１以上の発光デバイスに対して順方向に流れる検査用電流を供給する給電部と、
    　前記検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの輝度に係る情報を取得する測定部と、
    　各前記発光デバイスについて、前記輝度に係る評価値が第１閾値以下となる第１条件、および前記輝度に基づいて推定される各前記発光デバイスの発光に必要な電流の下限値が第２閾値以上となる第２条件、のうちの１以上の条件が満たされる場合に、許容値を超える漏れ電流が生じ得るものと判定する判定部と、
    を備えることを特徴とする発光デバイス検査装置。
  2. 　請求項１に記載の発光デバイス検査装置であって、
    　前記検査用電流が、
    　漏れ電流が生じない前記発光デバイスにおいて前記測定部によって検出可能な輝度の下限値を実現するための第１電流以上の電流であり、且つ該第１電流に前記許容値を加えた第２電流よりも小さな電流であることを特徴とする発光デバイス検査装置。
  3. 　請求項１または請求項２に記載の発光デバイス検査装置であって、
    　前記１以上の発光デバイスが、
    　前記給電部に対して電気的に直列に接続されている複数の発光デバイスを含み、
    　前記測定部が、
    　前記検査用電流に応じて発光している前記複数の発光デバイスの輝度に係る情報を同時期に取得することを特徴とする発光デバイス検査装置。
  4. 　請求項１から請求項３の何れか１つの請求項に記載の発光デバイス検査装置であって、
    　前記測定部が、
    　前記検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの発光可能領域を捉えた検査用画像を取得することで、各前記発光デバイスの輝度に係る情報を取得する撮像部を含むことを特徴とする発光デバイス検査装置。
  5. 　請求項４に記載の発光デバイス検査装置であって、
    　前記輝度に係る評価値が、
    　前記発光可能領域に係る輝度の平均値を含むことを特徴とする発光デバイス検査装置。
  6. 　請求項４に記載の発光デバイス検査装置であって、
    　前記輝度に係る評価値が、
    　前記発光可能領域において第３閾値以上の輝度を有する領域が占める割合を含むことを特徴とする発光デバイス検査装置。
  7. 　請求項４から請求項６の何れか１つの請求項に記載の発光デバイス検査装置であって、
    　前記撮像部によって取得される調整用画像に基づいて、前記検査用画像において前記発光可能領域が捉えられる画像領域が占める位置を特定する特定部、
    を更に備え、
    　前記調整用画像が、
    　前記検査用電流よりも大きな調整用電流に応じて発光している各前記発光デバイスを捉えた画像であることを特徴とする発光デバイス検査装置。
  8. 　請求項１から請求項３の何れか１つの請求項に記載の発光デバイス検査装置であって、
    　前記測定部が、
    　前記検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの輝度に係る情報を取得するフォトダイオードを含むことを特徴とする発光デバイス検査装置。
  9. 　請求項１に記載の発光デバイス検査装置であって、
    　前記検査用電流が、
    　第１検査用電流と第２検査用電流と第３検査用電流とを含み、
    　前記測定部が、
    　前記第１検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの第１輝度に係る情報、前記第２検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの第２輝度に係る情報、および前記第３検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの第３輝度に係る情報を順次に取得し、
    　前記下限値が、
    　各前記発光デバイスについて、前記第１検査用電流と前記第１輝度との組、前記第２検査用電流と前記第２輝度との組、および前記第３検査用電流と前記第３輝度との組を用いた曲線近似の演算によって推定されることを特徴とする発光デバイス検査装置。
  10. 　給電部によって１以上の発光デバイスに対して順方向に流れる検査用電流を供給し、該検査用電流に応じて発光している各前記発光デバイスの輝度に係る情報を測定部によって取得するステップと、
    　各前記発光デバイスについて、前記輝度に係る評価値が第１閾値以下となる第１条件、および前記輝度に基づいて推定される前記発光デバイスの発光に必要な電流の下限値が第２閾値以上となる第２条件、のうちの１以上の条件が満たされる場合に、判定部によって許容値を超える漏れ電流が生じ得るものと判定するステップと、
    を備えることを特徴とする発光デバイス検査方法。
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