WO2011048061A3 - Appareil et procédés de détection de particules chargées, et spectromètre de masse - Google Patents
Appareil et procédés de détection de particules chargées, et spectromètre de masse Download PDFInfo
- Publication number
- WO2011048061A3 WO2011048061A3 PCT/EP2010/065659 EP2010065659W WO2011048061A3 WO 2011048061 A3 WO2011048061 A3 WO 2011048061A3 EP 2010065659 W EP2010065659 W EP 2010065659W WO 2011048061 A3 WO2011048061 A3 WO 2011048061A3
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- charged particles
- detection apparatus
- detecting charged
- mass spectrometer
- detecting
- Prior art date
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title abstract 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title abstract 5
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract 2
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 abstract 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/025—Detectors specially adapted to particle spectrometers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/2444—Electron Multiplier
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201080049080.XA CN102782800B (zh) | 2009-10-23 | 2010-10-18 | 检测带电粒子的检测装置、检测带电粒子的方法以及质谱仪 |
EP10771410.7A EP2491573B1 (fr) | 2009-10-23 | 2010-10-18 | Appareil et procédés de détection de particules chargées, et spectromètre de masse |
JP2012534655A JP5684274B2 (ja) | 2009-10-23 | 2010-10-18 | 荷電粒子を検出する検出装置、荷電粒子を検出する方法および質量分析計 |
CA2777810A CA2777810C (fr) | 2009-10-23 | 2010-10-18 | Appareil et procedes de detection de particules chargees, et spectrometre de masse |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GBGB0918630.5A GB0918630D0 (en) | 2009-10-23 | 2009-10-23 | Detection apparatus for detecting charged particles, methods for detecting charged particles and mass spectrometer |
GB0918630.5 | 2009-10-23 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2011048061A2 WO2011048061A2 (fr) | 2011-04-28 |
WO2011048061A3 true WO2011048061A3 (fr) | 2011-06-16 |
Family
ID=41426621
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/EP2010/065659 WO2011048061A2 (fr) | 2009-10-23 | 2010-10-18 | Appareil et procédés de détection de particules chargées, et spectromètre de masse |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8642973B2 (fr) |
EP (1) | EP2491573B1 (fr) |
JP (1) | JP5684274B2 (fr) |
CN (1) | CN102782800B (fr) |
CA (1) | CA2777810C (fr) |
GB (1) | GB0918630D0 (fr) |
WO (1) | WO2011048061A2 (fr) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2486484B (en) * | 2010-12-17 | 2013-02-20 | Thermo Fisher Scient Bremen | Ion detection system and method |
JP5597572B2 (ja) * | 2011-02-16 | 2014-10-01 | 株式会社神戸製鋼所 | 荷電粒子検出器,飛行時間型質量分析装置 |
JP2012243667A (ja) * | 2011-05-23 | 2012-12-10 | Jeol Ltd | 飛行時間質量分析装置及び飛行時間質量分析方法 |
EP2732311A1 (fr) * | 2011-07-12 | 2014-05-21 | Isis Innovation Limited | Détecteur d'ions |
JP6215202B2 (ja) * | 2011-08-05 | 2017-10-18 | パルセータ, エルエルシーPulsetor, Llc | 密接に結合したシンチレータ−光電子増倍管の1又は複数の組合体を含む電子検出器及びそれを使用した電子顕微鏡 |
JP5662393B2 (ja) * | 2012-08-30 | 2015-01-28 | 株式会社アドバンテスト | 電子ビーム検出器、電子ビーム処理装置及び電子ビーム検出器の製造方法 |
GB2515061A (en) * | 2013-06-12 | 2014-12-17 | Isis Innovation | Scintillator |
GB2585814B (en) | 2014-03-31 | 2021-07-07 | Leco Corp | Right angle time-of-flight detector with an extended life time |
US9355828B1 (en) * | 2014-12-04 | 2016-05-31 | Thermo Finnigan Llc | Recording spatial and temporal properties of ions emitted from a quadrupole mass filter |
US9524855B2 (en) * | 2014-12-11 | 2016-12-20 | Thermo Finnigan Llc | Cascaded-signal-intensifier-based ion imaging detector for mass spectrometer |
US11307314B2 (en) | 2015-12-21 | 2022-04-19 | University Of Iowa Research Foundation | Apparatus, system, and method for radiation hardened plastic and flexible elastomer scintillator |
JP6831006B2 (ja) * | 2016-05-10 | 2021-02-17 | 譜光儀器股▲ふん▼有限公司Acromass Technologies,Inc. | 荷電粒子を検出するためのデバイス及び、それを組み込んだ質量分析用の装置 |
US9899201B1 (en) * | 2016-11-09 | 2018-02-20 | Bruker Daltonics, Inc. | High dynamic range ion detector for mass spectrometers |
JP7277550B2 (ja) * | 2017-05-12 | 2023-05-19 | ノヴァ メジャリング インスツルメンツ インコーポレイテッド | 二次イオン質量分析計 |
KR102431096B1 (ko) * | 2017-05-12 | 2022-08-09 | 노바 메주어링 인스트루먼트 인크. | 질량 분석계 검출기 및 이를 이용한 시스템 및 방법 |
US10197441B1 (en) * | 2018-01-30 | 2019-02-05 | Applied Materials Israel Ltd. | Light detector and a method for detecting light |
JP7304461B2 (ja) * | 2018-04-13 | 2023-07-06 | 株式会社ホロン | 電子検出装置 |
WO2020008526A1 (fr) * | 2018-07-03 | 2020-01-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Détecteur de faisceau de particules chargées, microscope électronique, spectroscope de pertes d'énergie des électrons et dispositif d'imagerie |
US10490397B1 (en) * | 2018-07-18 | 2019-11-26 | Thermo Finnigan Llc | Methods and systems for detection of ion spatial distribution |
JP7174663B2 (ja) * | 2019-04-01 | 2022-11-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | イオン検出器 |
US11268849B2 (en) | 2019-04-22 | 2022-03-08 | Applied Materials Israel Ltd. | Sensing unit having photon to electron converter and a method |
CN110444458A (zh) * | 2019-08-09 | 2019-11-12 | 德淮半导体有限公司 | 一种检测装置、离子植入设备及离子束剖面的离子浓度分布的可视化方法 |
KR102103577B1 (ko) * | 2019-08-09 | 2020-04-22 | 경북대학교 산학협력단 | 광 센서 |
JP2021144887A (ja) * | 2020-03-13 | 2021-09-24 | キオクシア株式会社 | 飛行時間型質量分析装置、及び、飛行時間型質量分析方法 |
EP4421845A1 (fr) * | 2023-02-22 | 2024-08-28 | ASOCIACIÓN CENTRO DE INVESTIGACIÓN COOPERATIVA EN NANOCIENCIAS "CIC nanoGUNE" | Unité d'accélération pour ions à masse élevée et détecteur d'ions à masse élevée |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5969361A (en) * | 1996-07-16 | 1999-10-19 | Centre National De La Recherche Scientifique | Transparent position-sensitive particle detector |
US20040227070A1 (en) * | 2003-02-13 | 2004-11-18 | Micromass Uk Limited | Ion detector |
WO2009027252A2 (fr) * | 2007-08-30 | 2009-03-05 | Inficon Gmbh | Dispositif de mesure d'un flux de particules |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2353573C2 (de) | 1973-10-25 | 1975-10-09 | Max-Planck-Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschaften E.V., 3400 Goettingen | Schaltungsanordnung für Sekundärelektronenvervielfacher |
US3898456A (en) | 1974-07-25 | 1975-08-05 | Us Energy | Electron multiplier-ion detector system |
JPS60121657A (ja) | 1983-11-11 | 1985-06-29 | Anelva Corp | 測定装置 |
JPS6244946A (ja) | 1985-08-22 | 1987-02-26 | Shimadzu Corp | 荷電粒子等の検出器 |
US4766312A (en) * | 1987-05-15 | 1988-08-23 | Vestec Corporation | Methods and apparatus for detecting negative ions from a mass spectrometer |
US5367222A (en) | 1993-06-01 | 1994-11-22 | Cti Pet Systems, Inc. | Remote gain control circuit for photomultiplier tubes |
US5440115A (en) | 1994-04-05 | 1995-08-08 | Galileo Electro-Optics Corporation | Zener diode biased electron multiplier with stable gain characteristic |
US5990483A (en) | 1997-10-06 | 1999-11-23 | El-Mul Technologies Ltd. | Particle detection and particle detector devices |
CA2284825C (fr) | 1998-01-23 | 2003-08-05 | Micromass Limited | Spectrometre de masse a temps de vol et detecteur associe |
US6646252B1 (en) | 1998-06-22 | 2003-11-11 | Marc Gonin | Multi-anode detector with increased dynamic range for time-of-flight mass spectrometers with counting data acquisition |
JP3665823B2 (ja) | 1999-04-28 | 2005-06-29 | 日本電子株式会社 | 飛行時間型質量分析装置及び飛行時間型質量分析方法 |
US6355921B1 (en) * | 1999-05-17 | 2002-03-12 | Agilent Technologies, Inc. | Large dynamic range light detection |
US6614019B2 (en) * | 2000-01-20 | 2003-09-02 | W. Bruce Feller | Mass spectrometry detector |
US6828729B1 (en) * | 2000-03-16 | 2004-12-07 | Burle Technologies, Inc. | Bipolar time-of-flight detector, cartridge and detection method |
US6958474B2 (en) * | 2000-03-16 | 2005-10-25 | Burle Technologies, Inc. | Detector for a bipolar time-of-flight mass spectrometer |
GB2382921B (en) | 2000-11-29 | 2003-10-29 | Micromass Ltd | Mass spectrometer and methods of mass spectrometry |
CA2448332C (fr) | 2001-05-25 | 2009-04-14 | Analytica Of Branford, Inc. | Systeme de detectton multiples |
GB2381373B (en) | 2001-05-29 | 2005-03-23 | Thermo Masslab Ltd | Time of flight mass spectrometer and multiple detector therefor |
US6906318B2 (en) * | 2003-02-13 | 2005-06-14 | Micromass Uk Limited | Ion detector |
US6841936B2 (en) | 2003-05-19 | 2005-01-11 | Ciphergen Biosystems, Inc. | Fast recovery electron multiplier |
EP1661156A2 (fr) * | 2003-07-29 | 2006-05-31 | El-Mul Technologies Ltd | Detecteur d'ion e x b pour spectrometres de masse de temps de vol a haute efficacite |
US7220970B2 (en) * | 2004-12-17 | 2007-05-22 | Thermo Electron (Bremen) Gmbh | Process and device for measuring ions |
-
2009
- 2009-10-23 GB GBGB0918630.5A patent/GB0918630D0/en not_active Ceased
-
2010
- 2010-10-18 EP EP10771410.7A patent/EP2491573B1/fr active Active
- 2010-10-18 CA CA2777810A patent/CA2777810C/fr active Active
- 2010-10-18 JP JP2012534655A patent/JP5684274B2/ja active Active
- 2010-10-18 CN CN201080049080.XA patent/CN102782800B/zh active Active
- 2010-10-18 WO PCT/EP2010/065659 patent/WO2011048061A2/fr active Application Filing
- 2010-10-21 US US12/909,720 patent/US8642973B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5969361A (en) * | 1996-07-16 | 1999-10-19 | Centre National De La Recherche Scientifique | Transparent position-sensitive particle detector |
US20040227070A1 (en) * | 2003-02-13 | 2004-11-18 | Micromass Uk Limited | Ion detector |
WO2009027252A2 (fr) * | 2007-08-30 | 2009-03-05 | Inficon Gmbh | Dispositif de mesure d'un flux de particules |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
DUBOIS, F., KOCHENMUSS, R., ZENOBI, R.: "Optimization of an Ion-to-Photon Detector for Large Molecules in Mass Spectrometry", RAPID COMMUNICATIONS IN MASS SPECTROMETRY, vol. 13, 1999, pages 1958 - 1967, XP002631053 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2491573B1 (fr) | 2016-12-07 |
EP2491573A2 (fr) | 2012-08-29 |
WO2011048061A2 (fr) | 2011-04-28 |
US20110095178A1 (en) | 2011-04-28 |
JP2013508905A (ja) | 2013-03-07 |
GB0918630D0 (en) | 2009-12-09 |
CA2777810A1 (fr) | 2011-04-28 |
CA2777810C (fr) | 2015-12-01 |
CN102782800A (zh) | 2012-11-14 |
CN102782800B (zh) | 2016-03-02 |
JP5684274B2 (ja) | 2015-03-11 |
US8642973B2 (en) | 2014-02-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2011048061A3 (fr) | Appareil et procédés de détection de particules chargées, et spectromètre de masse | |
WO2011048060A3 (fr) | Appareil et procédés de détection de particules chargées, et spectromètre de masse | |
GB2498505A (en) | Data acquisition system and method for mass spectrometry | |
WO2011009065A3 (fr) | Analyseur d'énergie de particules chargées | |
WO2013033572A3 (fr) | Technologie de tri de matières | |
WO2008046594A3 (fr) | Détection multicanal | |
WO2012048308A3 (fr) | Détecteur de particule d'émission d'étincelle | |
EP2389568A4 (fr) | Procédés, dispositifs et systèmes interférométriques à corrélation pour spectroscopie robuste et à bas coût | |
WO2012168938A9 (fr) | Méthode et système d'analyse quantitative d'échantillons par plasma induit par laser (lip) | |
WO2012058564A3 (fr) | Détecteur de rayonnement segmenté, appareil et procédé d'utilisation associés | |
WO2011051299A3 (fr) | Détecteur, procédé de fabrication d'un détecteur et appareil d'imagerie | |
WO2011132162A3 (fr) | Système de détecteur de rayonnement gamma directionnel | |
EP2565905A3 (fr) | Analyse par spectrométrie de masse pour plasma-renin | |
WO2013148181A3 (fr) | Procédé et appareil pour permettre l'acquisition parallèle de spectrométrie de masse/données de spectrométrie de masse | |
EP3146364A4 (fr) | Détecteurs, système et procédé de détection de rayonnement ionisant à l'aide de courant à haute énergie | |
WO2013171177A9 (fr) | Procédé de détermination de position de petit faisceau et procédé de détermination d'une distance séparant deux petits faisceaux dans un appareil d'exposition à multiples petits faisceaux | |
WO2011144127A3 (fr) | Procédé de mise en veille pour point d'accès et point d'accès | |
WO2014059260A3 (fr) | Compositions et procédés pour détecter l'acide nucléique de papillomavirus humain | |
WO2012066350A3 (fr) | Détection de rayonnement | |
WO2012177682A3 (fr) | Procédé pour calculer des caractéristiques d'une formation | |
GB202210155D0 (en) | Charged particle detection for spectroscopic techniques | |
GB2485079A (en) | Improved metal detector target discrimination in mineralised soils | |
WO2014163941A3 (fr) | Suppression du bruit dans un spectre de masse par alternance de radiofréquences synchrones inversées | |
WO2012168057A3 (fr) | Détecteur de rayonnement et système d'imagerie | |
WO2012170217A3 (fr) | Convertisseur analogique-numérique (can) comprenant un détecteur de résolution et vibration variable |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 201080049080.X Country of ref document: CN |
|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 10771410 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 2777810 Country of ref document: CA |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 2012534655 Country of ref document: JP Ref document number: 3630/CHENP/2012 Country of ref document: IN |
|
REEP | Request for entry into the european phase |
Ref document number: 2010771410 Country of ref document: EP |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 2010771410 Country of ref document: EP |