WO2011048061A3 - Appareil et procédés de détection de particules chargées, et spectromètre de masse - Google Patents

Appareil et procédés de détection de particules chargées, et spectromètre de masse Download PDF

Info

Publication number
WO2011048061A3
WO2011048061A3 PCT/EP2010/065659 EP2010065659W WO2011048061A3 WO 2011048061 A3 WO2011048061 A3 WO 2011048061A3 EP 2010065659 W EP2010065659 W EP 2010065659W WO 2011048061 A3 WO2011048061 A3 WO 2011048061A3
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
charged particles
detection apparatus
detecting charged
mass spectrometer
detecting
Prior art date
Application number
PCT/EP2010/065659
Other languages
English (en)
Other versions
WO2011048061A2 (fr
Inventor
Alexander Makarov
Anastassios Giannakopulos
Original Assignee
Thermo Fisher Scientific (Bremen) Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thermo Fisher Scientific (Bremen) Gmbh filed Critical Thermo Fisher Scientific (Bremen) Gmbh
Priority to CN201080049080.XA priority Critical patent/CN102782800B/zh
Priority to EP10771410.7A priority patent/EP2491573B1/fr
Priority to JP2012534655A priority patent/JP5684274B2/ja
Priority to CA2777810A priority patent/CA2777810C/fr
Publication of WO2011048061A2 publication Critical patent/WO2011048061A2/fr
Publication of WO2011048061A3 publication Critical patent/WO2011048061A3/fr

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/244Detectors; Associated components or circuits therefor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02Details
    • H01J49/025Detectors specially adapted to particle spectrometers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/244Detection characterized by the detecting means
    • H01J2237/2444Electron Multiplier

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)

Abstract

L'invention concerne un appareil de détection de particules chargées, qui comprend: un détecteur de particules chargées pour recevoir et détecter soit des particules chargées entrantes soit des particules chargées secondaires générées par les particules chargées entrantes; un générateur de photons pour générer des photons en réponse à la réception d'au moins certaines des mêmes particules chargées entrantes ou des particules chargées secondaires générées par les particules chargées entrantes une fois qu'elles sont reçues et détectées par le détecteur de particules chargées; et un détecteur de photons pour détecter les photons générés par le générateur de photons. Par ailleurs, l'invention concerne un spectromètre de masse comprenant l'appareil de détection, l'utilisation de l'appareil de détection en spectrométrie de masse TOF, ainsi qu'un procédé d'amélioration de la plage de détection dynamique pour un spectromètre de masse TOF.
PCT/EP2010/065659 2009-10-23 2010-10-18 Appareil et procédés de détection de particules chargées, et spectromètre de masse WO2011048061A2 (fr)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201080049080.XA CN102782800B (zh) 2009-10-23 2010-10-18 检测带电粒子的检测装置、检测带电粒子的方法以及质谱仪
EP10771410.7A EP2491573B1 (fr) 2009-10-23 2010-10-18 Appareil et procédés de détection de particules chargées, et spectromètre de masse
JP2012534655A JP5684274B2 (ja) 2009-10-23 2010-10-18 荷電粒子を検出する検出装置、荷電粒子を検出する方法および質量分析計
CA2777810A CA2777810C (fr) 2009-10-23 2010-10-18 Appareil et procedes de detection de particules chargees, et spectrometre de masse

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GBGB0918630.5A GB0918630D0 (en) 2009-10-23 2009-10-23 Detection apparatus for detecting charged particles, methods for detecting charged particles and mass spectrometer
GB0918630.5 2009-10-23

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2011048061A2 WO2011048061A2 (fr) 2011-04-28
WO2011048061A3 true WO2011048061A3 (fr) 2011-06-16

Family

ID=41426621

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2010/065659 WO2011048061A2 (fr) 2009-10-23 2010-10-18 Appareil et procédés de détection de particules chargées, et spectromètre de masse

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8642973B2 (fr)
EP (1) EP2491573B1 (fr)
JP (1) JP5684274B2 (fr)
CN (1) CN102782800B (fr)
CA (1) CA2777810C (fr)
GB (1) GB0918630D0 (fr)
WO (1) WO2011048061A2 (fr)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2486484B (en) * 2010-12-17 2013-02-20 Thermo Fisher Scient Bremen Ion detection system and method
JP5597572B2 (ja) * 2011-02-16 2014-10-01 株式会社神戸製鋼所 荷電粒子検出器,飛行時間型質量分析装置
JP2012243667A (ja) * 2011-05-23 2012-12-10 Jeol Ltd 飛行時間質量分析装置及び飛行時間質量分析方法
EP2732311A1 (fr) * 2011-07-12 2014-05-21 Isis Innovation Limited Détecteur d'ions
JP6215202B2 (ja) * 2011-08-05 2017-10-18 パルセータ, エルエルシーPulsetor, Llc 密接に結合したシンチレータ−光電子増倍管の1又は複数の組合体を含む電子検出器及びそれを使用した電子顕微鏡
JP5662393B2 (ja) * 2012-08-30 2015-01-28 株式会社アドバンテスト 電子ビーム検出器、電子ビーム処理装置及び電子ビーム検出器の製造方法
GB2515061A (en) * 2013-06-12 2014-12-17 Isis Innovation Scintillator
GB2585814B (en) 2014-03-31 2021-07-07 Leco Corp Right angle time-of-flight detector with an extended life time
US9355828B1 (en) * 2014-12-04 2016-05-31 Thermo Finnigan Llc Recording spatial and temporal properties of ions emitted from a quadrupole mass filter
US9524855B2 (en) * 2014-12-11 2016-12-20 Thermo Finnigan Llc Cascaded-signal-intensifier-based ion imaging detector for mass spectrometer
US11307314B2 (en) 2015-12-21 2022-04-19 University Of Iowa Research Foundation Apparatus, system, and method for radiation hardened plastic and flexible elastomer scintillator
JP6831006B2 (ja) * 2016-05-10 2021-02-17 譜光儀器股▲ふん▼有限公司Acromass Technologies,Inc. 荷電粒子を検出するためのデバイス及び、それを組み込んだ質量分析用の装置
US9899201B1 (en) * 2016-11-09 2018-02-20 Bruker Daltonics, Inc. High dynamic range ion detector for mass spectrometers
JP7277550B2 (ja) * 2017-05-12 2023-05-19 ノヴァ メジャリング インスツルメンツ インコーポレイテッド 二次イオン質量分析計
KR102431096B1 (ko) * 2017-05-12 2022-08-09 노바 메주어링 인스트루먼트 인크. 질량 분석계 검출기 및 이를 이용한 시스템 및 방법
US10197441B1 (en) * 2018-01-30 2019-02-05 Applied Materials Israel Ltd. Light detector and a method for detecting light
JP7304461B2 (ja) * 2018-04-13 2023-07-06 株式会社ホロン 電子検出装置
WO2020008526A1 (fr) * 2018-07-03 2020-01-09 株式会社日立ハイテクノロジーズ Détecteur de faisceau de particules chargées, microscope électronique, spectroscope de pertes d'énergie des électrons et dispositif d'imagerie
US10490397B1 (en) * 2018-07-18 2019-11-26 Thermo Finnigan Llc Methods and systems for detection of ion spatial distribution
JP7174663B2 (ja) * 2019-04-01 2022-11-17 浜松ホトニクス株式会社 イオン検出器
US11268849B2 (en) 2019-04-22 2022-03-08 Applied Materials Israel Ltd. Sensing unit having photon to electron converter and a method
CN110444458A (zh) * 2019-08-09 2019-11-12 德淮半导体有限公司 一种检测装置、离子植入设备及离子束剖面的离子浓度分布的可视化方法
KR102103577B1 (ko) * 2019-08-09 2020-04-22 경북대학교 산학협력단 광 센서
JP2021144887A (ja) * 2020-03-13 2021-09-24 キオクシア株式会社 飛行時間型質量分析装置、及び、飛行時間型質量分析方法
EP4421845A1 (fr) * 2023-02-22 2024-08-28 ASOCIACIÓN CENTRO DE INVESTIGACIÓN COOPERATIVA EN NANOCIENCIAS "CIC nanoGUNE" Unité d'accélération pour ions à masse élevée et détecteur d'ions à masse élevée

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5969361A (en) * 1996-07-16 1999-10-19 Centre National De La Recherche Scientifique Transparent position-sensitive particle detector
US20040227070A1 (en) * 2003-02-13 2004-11-18 Micromass Uk Limited Ion detector
WO2009027252A2 (fr) * 2007-08-30 2009-03-05 Inficon Gmbh Dispositif de mesure d'un flux de particules

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2353573C2 (de) 1973-10-25 1975-10-09 Max-Planck-Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschaften E.V., 3400 Goettingen Schaltungsanordnung für Sekundärelektronenvervielfacher
US3898456A (en) 1974-07-25 1975-08-05 Us Energy Electron multiplier-ion detector system
JPS60121657A (ja) 1983-11-11 1985-06-29 Anelva Corp 測定装置
JPS6244946A (ja) 1985-08-22 1987-02-26 Shimadzu Corp 荷電粒子等の検出器
US4766312A (en) * 1987-05-15 1988-08-23 Vestec Corporation Methods and apparatus for detecting negative ions from a mass spectrometer
US5367222A (en) 1993-06-01 1994-11-22 Cti Pet Systems, Inc. Remote gain control circuit for photomultiplier tubes
US5440115A (en) 1994-04-05 1995-08-08 Galileo Electro-Optics Corporation Zener diode biased electron multiplier with stable gain characteristic
US5990483A (en) 1997-10-06 1999-11-23 El-Mul Technologies Ltd. Particle detection and particle detector devices
CA2284825C (fr) 1998-01-23 2003-08-05 Micromass Limited Spectrometre de masse a temps de vol et detecteur associe
US6646252B1 (en) 1998-06-22 2003-11-11 Marc Gonin Multi-anode detector with increased dynamic range for time-of-flight mass spectrometers with counting data acquisition
JP3665823B2 (ja) 1999-04-28 2005-06-29 日本電子株式会社 飛行時間型質量分析装置及び飛行時間型質量分析方法
US6355921B1 (en) * 1999-05-17 2002-03-12 Agilent Technologies, Inc. Large dynamic range light detection
US6614019B2 (en) * 2000-01-20 2003-09-02 W. Bruce Feller Mass spectrometry detector
US6828729B1 (en) * 2000-03-16 2004-12-07 Burle Technologies, Inc. Bipolar time-of-flight detector, cartridge and detection method
US6958474B2 (en) * 2000-03-16 2005-10-25 Burle Technologies, Inc. Detector for a bipolar time-of-flight mass spectrometer
GB2382921B (en) 2000-11-29 2003-10-29 Micromass Ltd Mass spectrometer and methods of mass spectrometry
CA2448332C (fr) 2001-05-25 2009-04-14 Analytica Of Branford, Inc. Systeme de detectton multiples
GB2381373B (en) 2001-05-29 2005-03-23 Thermo Masslab Ltd Time of flight mass spectrometer and multiple detector therefor
US6906318B2 (en) * 2003-02-13 2005-06-14 Micromass Uk Limited Ion detector
US6841936B2 (en) 2003-05-19 2005-01-11 Ciphergen Biosystems, Inc. Fast recovery electron multiplier
EP1661156A2 (fr) * 2003-07-29 2006-05-31 El-Mul Technologies Ltd Detecteur d'ion e x b pour spectrometres de masse de temps de vol a haute efficacite
US7220970B2 (en) * 2004-12-17 2007-05-22 Thermo Electron (Bremen) Gmbh Process and device for measuring ions

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5969361A (en) * 1996-07-16 1999-10-19 Centre National De La Recherche Scientifique Transparent position-sensitive particle detector
US20040227070A1 (en) * 2003-02-13 2004-11-18 Micromass Uk Limited Ion detector
WO2009027252A2 (fr) * 2007-08-30 2009-03-05 Inficon Gmbh Dispositif de mesure d'un flux de particules

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DUBOIS, F., KOCHENMUSS, R., ZENOBI, R.: "Optimization of an Ion-to-Photon Detector for Large Molecules in Mass Spectrometry", RAPID COMMUNICATIONS IN MASS SPECTROMETRY, vol. 13, 1999, pages 1958 - 1967, XP002631053 *

Also Published As

Publication number Publication date
EP2491573B1 (fr) 2016-12-07
EP2491573A2 (fr) 2012-08-29
WO2011048061A2 (fr) 2011-04-28
US20110095178A1 (en) 2011-04-28
JP2013508905A (ja) 2013-03-07
GB0918630D0 (en) 2009-12-09
CA2777810A1 (fr) 2011-04-28
CA2777810C (fr) 2015-12-01
CN102782800A (zh) 2012-11-14
CN102782800B (zh) 2016-03-02
JP5684274B2 (ja) 2015-03-11
US8642973B2 (en) 2014-02-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2011048061A3 (fr) Appareil et procédés de détection de particules chargées, et spectromètre de masse
WO2011048060A3 (fr) Appareil et procédés de détection de particules chargées, et spectromètre de masse
GB2498505A (en) Data acquisition system and method for mass spectrometry
WO2011009065A3 (fr) Analyseur d'énergie de particules chargées
WO2013033572A3 (fr) Technologie de tri de matières
WO2008046594A3 (fr) Détection multicanal
WO2012048308A3 (fr) Détecteur de particule d'émission d'étincelle
EP2389568A4 (fr) Procédés, dispositifs et systèmes interférométriques à corrélation pour spectroscopie robuste et à bas coût
WO2012168938A9 (fr) Méthode et système d'analyse quantitative d'échantillons par plasma induit par laser (lip)
WO2012058564A3 (fr) Détecteur de rayonnement segmenté, appareil et procédé d'utilisation associés
WO2011051299A3 (fr) Détecteur, procédé de fabrication d'un détecteur et appareil d'imagerie
WO2011132162A3 (fr) Système de détecteur de rayonnement gamma directionnel
EP2565905A3 (fr) Analyse par spectrométrie de masse pour plasma-renin
WO2013148181A3 (fr) Procédé et appareil pour permettre l'acquisition parallèle de spectrométrie de masse/données de spectrométrie de masse
EP3146364A4 (fr) Détecteurs, système et procédé de détection de rayonnement ionisant à l'aide de courant à haute énergie
WO2013171177A9 (fr) Procédé de détermination de position de petit faisceau et procédé de détermination d'une distance séparant deux petits faisceaux dans un appareil d'exposition à multiples petits faisceaux
WO2011144127A3 (fr) Procédé de mise en veille pour point d'accès et point d'accès
WO2014059260A3 (fr) Compositions et procédés pour détecter l'acide nucléique de papillomavirus humain
WO2012066350A3 (fr) Détection de rayonnement
WO2012177682A3 (fr) Procédé pour calculer des caractéristiques d'une formation
GB202210155D0 (en) Charged particle detection for spectroscopic techniques
GB2485079A (en) Improved metal detector target discrimination in mineralised soils
WO2014163941A3 (fr) Suppression du bruit dans un spectre de masse par alternance de radiofréquences synchrones inversées
WO2012168057A3 (fr) Détecteur de rayonnement et système d'imagerie
WO2012170217A3 (fr) Convertisseur analogique-numérique (can) comprenant un détecteur de résolution et vibration variable

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 201080049080.X

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 10771410

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2777810

Country of ref document: CA

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2012534655

Country of ref document: JP

Ref document number: 3630/CHENP/2012

Country of ref document: IN

REEP Request for entry into the european phase

Ref document number: 2010771410

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2010771410

Country of ref document: EP