WO2011048060A3 - Appareil et procédés de détection de particules chargées, et spectromètre de masse - Google Patents

Appareil et procédés de détection de particules chargées, et spectromètre de masse Download PDF

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Abstract

L'invention concerne un appareil de détection de particules chargées, qui comprend: un générateur de particules secondaires pour générer des particules chargées secondaires en réponse à la réception de particules chargées entrantes; un détecteur de particules chargées pour recevoir et détecter des particules chargées secondaires générées par le générateur de particules secondaires; un générateur de photons pour générer des photons en réponse à la réception des particules chargées secondaires générées par le générateur de particules secondaires; et un détecteur de photons pour détecter les photons générés par le générateur de photons. Par ailleurs, l'invention concerne un spectromètre de masse comprenant l'appareil de détection, l'utilisation de l'appareil de détection en spectrométrie de masse TOF, ainsi qu'un procédé d'amélioration de la plage de détection dynamique pour un spectromètre de masse TOF.
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Families Citing this family (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10532228B2 (en) * 2010-04-16 2020-01-14 Maureen Petterson Multi-color charged particle detector apparatus and method of use thereof
US10898732B2 (en) * 2010-04-16 2021-01-26 Maureen Petterson Multi-color charged particle detector apparatus and method of use thereof
GB2486484B (en) * 2010-12-17 2013-02-20 Thermo Fisher Scient Bremen Ion detection system and method
EP2732311A1 (fr) * 2011-07-12 2014-05-21 Isis Innovation Limited Détecteur d'ions
GB201116845D0 (en) * 2011-09-30 2011-11-09 Micromass Ltd Multiple channel detection for time of flight mass spectrometer
WO2013061466A1 (fr) * 2011-10-28 2013-05-02 株式会社島津製作所 Procédé d'analyse quantitative utilisant un spectromètre de masse et spectromètre de masse
WO2014078774A2 (fr) * 2012-11-19 2014-05-22 Perkinelmer Health Sciences, Inc. Détecteurs optiques et leurs procédés d'utilisation
JP6292565B2 (ja) * 2013-05-16 2018-03-14 国立研究開発法人産業技術総合研究所 粒子分析方法および粒子分析装置
US9418819B2 (en) 2013-09-06 2016-08-16 Kla-Tencor Corporation Asymmetrical detector design and methodology
ITUD20130118A1 (it) 2013-09-11 2015-03-12 Elettra Sincrotrone Trieste S C P A Dispositivo di rilevazione di particelle e relativo metodo di rilevazione
EP3075001A4 (fr) * 2013-11-26 2017-02-15 PerkinElmer Health Sciences, Inc. Détecteurs et procédés d'utilisation
US9355828B1 (en) * 2014-12-04 2016-05-31 Thermo Finnigan Llc Recording spatial and temporal properties of ions emitted from a quadrupole mass filter
EP2966856B1 (fr) 2014-07-08 2020-04-15 Sony Depthsensing Solutions N.V. Pixel à plage dynamique élevée et son procédé de fonctionnement
US9905407B2 (en) 2014-10-02 2018-02-27 908 Devices Inc. Mass spectrometry by detecting positively and negatively charged particles
GB2540730B (en) 2015-05-11 2017-09-13 Thermo Fisher Scient (Bremen) Gmbh Time interval measurement
US10186406B2 (en) * 2016-03-29 2019-01-22 KLA—Tencor Corporation Multi-channel photomultiplier tube assembly
GB201613988D0 (en) 2016-08-16 2016-09-28 Micromass Uk Ltd And Leco Corp Mass analyser having extended flight path
US10784098B2 (en) 2017-03-13 2020-09-22 Dh Technologies Development Pte. Ltd. Two-and-a-half channel detection system for time-of-flight (TOF) mass spectrometer
GB2567794B (en) 2017-05-05 2023-03-08 Micromass Ltd Multi-reflecting time-of-flight mass spectrometers
US11183377B2 (en) * 2017-05-12 2021-11-23 Nova Measuring Instruments, Inc. Mass spectrometer detector and system and method using the same
GB2563571B (en) 2017-05-26 2023-05-24 Micromass Ltd Time of flight mass analyser with spatial focussing
EP3662502A1 (fr) 2017-08-06 2020-06-10 Micromass UK Limited Miroir ionique à circuit imprimé avec compensation
WO2019030476A1 (fr) 2017-08-06 2019-02-14 Anatoly Verenchikov Injection d'ions dans des spectromètres de masse à passages multiples
US11239067B2 (en) 2017-08-06 2022-02-01 Micromass Uk Limited Ion mirror for multi-reflecting mass spectrometers
WO2019030471A1 (fr) 2017-08-06 2019-02-14 Anatoly Verenchikov Guide d'ions à l'intérieur de convertisseurs pulsés
US11049712B2 (en) 2017-08-06 2021-06-29 Micromass Uk Limited Fields for multi-reflecting TOF MS
WO2019030475A1 (fr) 2017-08-06 2019-02-14 Anatoly Verenchikov Spectromètre de masse à multipassage
WO2019030477A1 (fr) 2017-08-06 2019-02-14 Anatoly Verenchikov Accélérateur pour spectromètres de masse à passages multiples
US11175590B2 (en) 2017-10-10 2021-11-16 Asml Netherlands B.V. Low dose charged particle metrology system
GB201806507D0 (en) 2018-04-20 2018-06-06 Verenchikov Anatoly Gridless ion mirrors with smooth fields
GB201807626D0 (en) 2018-05-10 2018-06-27 Micromass Ltd Multi-reflecting time of flight mass analyser
GB201807605D0 (en) 2018-05-10 2018-06-27 Micromass Ltd Multi-reflecting time of flight mass analyser
CN108445024A (zh) * 2018-05-17 2018-08-24 南京航空航天大学 一种高速物体x射线实时成像系统及系统的成像方法
GB201808530D0 (en) 2018-05-24 2018-07-11 Verenchikov Anatoly TOF MS detection system with improved dynamic range
GB201810573D0 (en) 2018-06-28 2018-08-15 Verenchikov Anatoly Multi-pass mass spectrometer with improved duty cycle
US10672597B2 (en) 2018-07-11 2020-06-02 Thermo Finnigan Llc Calibrating electron multiplier gain using the photoelectric effect
CN109143320A (zh) * 2018-07-12 2019-01-04 北京大学深圳研究生院 地下溢出带电粒子监测装置、系统和监测数据处理方法
US10490397B1 (en) * 2018-07-18 2019-11-26 Thermo Finnigan Llc Methods and systems for detection of ion spatial distribution
IL260956B (en) * 2018-08-02 2022-01-01 Applied Materials Israel Ltd Electron detection sensor
GB201901411D0 (en) 2019-02-01 2019-03-20 Micromass Ltd Electrode assembly for mass spectrometer
US11493383B2 (en) 2019-02-17 2022-11-08 .El-Mul Technologies Ltd Magnetic photomultiplier tube system
US11587776B1 (en) * 2019-05-30 2023-02-21 El-Mul Technologies Ltd Ion detection systems
SG11202112997QA (en) 2019-06-07 2021-12-30 Adaptas Solutions Pty Ltd Detector comprising transmission secondary electron emmission means
JP6734449B1 (ja) * 2019-08-02 2020-08-05 浜松ホトニクス株式会社 イオン検出器、測定装置および質量分析装置
US11656371B1 (en) 2020-06-09 2023-05-23 El-Mul Technologies Ltd High dynamic range detector with controllable photon flux functionality
US11640005B2 (en) * 2020-09-29 2023-05-02 Thermo Finnigan Llc Daly detector operable in negative ion and positive ion detection modes
US11835769B2 (en) * 2021-08-17 2023-12-05 Applied Materials Israel Ltd. Adjustable attenuation optical unit
WO2024068397A1 (fr) * 2022-09-27 2024-04-04 Thermo Fisher Scientific Messtechnik Gmbh Détecteur de rayonnement et procédé de formation d'un détecteur de rayonnement

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5969361A (en) * 1996-07-16 1999-10-19 Centre National De La Recherche Scientifique Transparent position-sensitive particle detector
US20040227070A1 (en) * 2003-02-13 2004-11-18 Micromass Uk Limited Ion detector
WO2009027252A2 (fr) * 2007-08-30 2009-03-05 Inficon Gmbh Dispositif de mesure d'un flux de particules

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2353573C2 (de) 1973-10-25 1975-10-09 Max-Planck-Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschaften E.V., 3400 Goettingen Schaltungsanordnung für Sekundärelektronenvervielfacher
US3898456A (en) 1974-07-25 1975-08-05 Us Energy Electron multiplier-ion detector system
JPS60121657A (ja) 1983-11-11 1985-06-29 Anelva Corp 測定装置
JPS6244946A (ja) 1985-08-22 1987-02-26 Shimadzu Corp 荷電粒子等の検出器
US4766312A (en) * 1987-05-15 1988-08-23 Vestec Corporation Methods and apparatus for detecting negative ions from a mass spectrometer
US5367222A (en) 1993-06-01 1994-11-22 Cti Pet Systems, Inc. Remote gain control circuit for photomultiplier tubes
US5440115A (en) 1994-04-05 1995-08-08 Galileo Electro-Optics Corporation Zener diode biased electron multiplier with stable gain characteristic
US5990483A (en) 1997-10-06 1999-11-23 El-Mul Technologies Ltd. Particle detection and particle detector devices
EP0970505B1 (fr) 1998-01-23 2003-07-23 Micromass Limited Spectrometre de masse a temps de vol et detecteur associe et procede spectrometrique
US6646252B1 (en) 1998-06-22 2003-11-11 Marc Gonin Multi-anode detector with increased dynamic range for time-of-flight mass spectrometers with counting data acquisition
JP3665823B2 (ja) 1999-04-28 2005-06-29 日本電子株式会社 飛行時間型質量分析装置及び飛行時間型質量分析方法
US6355921B1 (en) * 1999-05-17 2002-03-12 Agilent Technologies, Inc. Large dynamic range light detection
US6614019B2 (en) * 2000-01-20 2003-09-02 W. Bruce Feller Mass spectrometry detector
US6828729B1 (en) 2000-03-16 2004-12-07 Burle Technologies, Inc. Bipolar time-of-flight detector, cartridge and detection method
US6958474B2 (en) * 2000-03-16 2005-10-25 Burle Technologies, Inc. Detector for a bipolar time-of-flight mass spectrometer
GB2382921B (en) 2000-11-29 2003-10-29 Micromass Ltd Mass spectrometer and methods of mass spectrometry
US6717146B2 (en) * 2001-05-24 2004-04-06 Applied Materials, Inc. Tandem microchannel plate and solid state electron detector
EP1405055A4 (fr) 2001-05-25 2007-05-23 Analytica Of Branford Inc Systeme de detectton multiples
GB2381373B (en) 2001-05-29 2005-03-23 Thermo Masslab Ltd Time of flight mass spectrometer and multiple detector therefor
US6906318B2 (en) * 2003-02-13 2005-06-14 Micromass Uk Limited Ion detector
US6841936B2 (en) 2003-05-19 2005-01-11 Ciphergen Biosystems, Inc. Fast recovery electron multiplier
CN1830057B (zh) * 2003-07-29 2010-06-23 El-Mul科技有限公司 用于高效飞行时间质谱仪的ExB离子检测器
US7220970B2 (en) * 2004-12-17 2007-05-22 Thermo Electron (Bremen) Gmbh Process and device for measuring ions

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5969361A (en) * 1996-07-16 1999-10-19 Centre National De La Recherche Scientifique Transparent position-sensitive particle detector
US20040227070A1 (en) * 2003-02-13 2004-11-18 Micromass Uk Limited Ion detector
WO2009027252A2 (fr) * 2007-08-30 2009-03-05 Inficon Gmbh Dispositif de mesure d'un flux de particules

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DUBOIS, F., KOCHENMUSS, R., ZENOBI, R.: "Optimization of an Ion-to-Photon Detector for Large Molecules in Mass Spectrometry", RAPID COMMUNICATIONS IN MASS SPECTROMETRY, vol. 13, 1999, pages 1958 - 1967, XP002631053 *

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