WO2010084662A1 - 荷重測定装置 - Google Patents

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WO2010084662A1
WO2010084662A1 PCT/JP2009/069612 JP2009069612W WO2010084662A1 WO 2010084662 A1 WO2010084662 A1 WO 2010084662A1 JP 2009069612 W JP2009069612 W JP 2009069612W WO 2010084662 A1 WO2010084662 A1 WO 2010084662A1
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WO
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load
beam member
displacement
plate
leg
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PCT/JP2009/069612
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French (fr)
Inventor
泰成 燈明
モハマド アブドゥス サラム アカンダ
Original Assignee
国立大学法人東北大学
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q20/00—Monitoring the movement or position of the probe
    • G01Q20/02—Monitoring the movement or position of the probe by optical means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y35/00—Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/04—Measuring force or stress, in general by measuring elastic deformation of gauges, e.g. of springs
    • G01L1/044—Measuring force or stress, in general by measuring elastic deformation of gauges, e.g. of springs of leaf springs
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/14—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
    • G01L1/142—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators using capacitors

Definitions

  • the present invention relates to a load measuring device.
  • MEMS Micro Electro Mechanical Systems
  • transducers such as piezo elements, strain gauges, piezo resistors, capacitance and optical force sensors.
  • Piezo element sensors are suitable for detecting dynamic forces, but are not suitable for detecting static forces in structure.
  • a capacitance sensor is superior in sensitivity and stability as compared to a piezo element sensor (see, for example, Patent Document 1).
  • the optical force sensor has a large configuration and is expensive, but at present, the most sensitive force measurement can be realized.
  • Some conventional MEMS transducers have a cantilever (cantilever) and a laser displacement meter (see, for example, Patent Document 2).
  • This MEMS transducer is used in atomic force microscopes (AFM), etc., and when the tip fixed to the tip of the cantilever comes into contact with the measurement object, the cantilever bends and the deflection is detected by a laser displacement meter. The micro force is obtained based on the detected displacement amount.
  • AFM atomic force microscopes
  • Patent Document 1 and Patent Document 2 have a problem that the measurement range is fixed and cannot be changed, and is narrow. Further, in the MEMS transducer described in Patent Document 2, each time the deflection of the cantilever increases, the tip causes a swinging rotational movement with respect to the surface of the measurement object, so that the amount of displacement of the tip and the force applied to the tip There is also a problem that the measurement range is reduced and the measurement accuracy is reduced due to the nonlinear relationship.
  • the present invention has been made paying attention to such a problem, and an object thereof is to provide a highly accurate load measuring device capable of expanding the measurement range.
  • the present inventors have made it possible to change the distance between the support position and the load part (chip) in response to the problem that the measurement range in the conventional measuring apparatus is narrow, so that the load part against the force applied to the load part can be changed.
  • the amount of displacement can be adjusted, so that the amount of displacement of the load section can be adjusted to be within the displacement range that can be measured by the displacement sensor according to the magnitude of the force applied to the load section. I found out that I can.
  • the present inventors have supported the problem that the amount of displacement of the chip and the force applied to the chip have a non-linear relationship in the conventional measuring apparatus, resulting in a reduction in the measurement range and a decrease in measurement accuracy. It has been found that measurement can be performed with high accuracy by always maintaining a linear relationship between the displacement of the load portion and the force applied to the load portion regardless of the distance between the position and the load portion. Thus, the inventors have reached the present invention.
  • the load measuring device is an elongated beam member provided with a load portion at one end, a support member that supports the beam member on the other end side from the load portion of the beam member, and the load portion.
  • a displacement sensor provided so as to be able to measure the displacement of the beam member, and the beam member includes a pair of elongated plate-like leg portions arranged parallel to each other at intervals in the thickness direction, and the load portion side It has a connection part which connects the edge part of each plate-like leg part, and is supported by the support member so that change of the distance of the support position by the support member and the load part is possible, It is characterized by the above-mentioned.
  • the load measuring device is used as follows. First, when the object to be measured comes into contact with the load portion at one end of the beam member and a force is applied in the thickness direction of each plate-like leg portion, each plate-like leg portion of the beam member bends and the load portion becomes each plate. It moves in the thickness direction of the leg. At this time, since the ends of the pair of elongated plate-like leg portions arranged in parallel with each other in the thickness direction are connected by the connecting portion, each plate-like leg at the load portion is connected. The load portion moves while the surface of the portion is maintained perpendicular to the thickness direction of each plate-like leg portion before displacement. Thereby, it can prevent that a load part raise
  • the displacement of the load portion is detected by a displacement sensor, and the force applied to the load portion is obtained based on the detected displacement amount.
  • the force applied to the load portion can be obtained with higher accuracy than in the case of the non-linear relationship. Since the load portion does not cause a rotational movement with respect to the measurement object, the measurement range can be kept wider than the case where the load sensor and the plate-like member are arranged to move depending on the arrangement of the displacement sensor.
  • the load measuring device can adjust the amount of displacement of the load portion relative to the force applied to the load portion by changing the distance between the support position by the support member and the load portion. For this reason, according to the magnitude
  • the beam member consists of a single plate-like member
  • the load portion to which force is applied rotates with respect to the measurement object with a curvature corresponding to the distance.
  • the shorter the distance between the support position by the support member and the load part the greater the curvature of the rotational movement of the load part, and the higher the nonlinearity between the displacement of the load part and the force applied to the load part. Decreases.
  • the end of the pair of elongated plate-like leg portions, in which the beam members are arranged parallel to each other at intervals in the thickness direction is connected to the connecting portion.
  • the beam members connect the ends of the pair of elongated plate-like leg portions arranged in parallel with each other in the thickness direction at the load portion side by the connecting portions, the width direction of each plate-like member It is difficult to bend and twist. For this reason, the force of the thickness direction of each plate-shaped member among the forces applied to the load portion can be measured with high accuracy.
  • the displacement sensor is a capacitance sensor.
  • the capacitance sensor can easily and accurately measure the change in the distance from the surface of each plate leg. For this reason, even if it does not use the displacement meter using a large-scale and expensive laser, it can measure with sufficient accuracy. Compared to the case of using a displacement meter using a laser, it can be manufactured in a small size and inexpensively with a simple configuration. It is also easy to integrate the entire apparatus.
  • each plate-like leg portion may have a slot formed of an elongated hole provided along the length direction at the center portion in the width direction.
  • the width of each plate-like leg portion can be increased by the slot without changing the cross-sectional secondary moment and the spring constant of the beam member.
  • the torsional rigidity in the width direction of the beam member can be increased, the torsion of the beam member can be further suppressed.
  • the rigidity of the beam member can be reduced, the beam member can be easily bent and the sensitivity to the load can be increased.
  • the beam member is bent at both ends of the elongated plate-like member perpendicularly in the same direction with respect to the center portion so that the center portion forms a connecting portion and is bent.
  • the load portion is composed of a needle-like tip
  • the beam member can be easily formed from a single elongated plate-like member.
  • it is easy to adjust the distance between the support position of the beam member by the support member and the load portion. The force in the thickness direction of each plate-like member applied to the tip of the tip of the load portion can be measured with higher accuracy.
  • the beam member is composed of a plurality of members, and the rigidity of the beam members is different from each other.
  • the beam member having the greatest rigidity can be calibrated by an existing load sensor.
  • the displacement sensor may be calibrated by a beam member, and another beam member may be calibrated by the calibrated beam member and the displacement sensor.
  • each beam member and the displacement sensor are calibrated with high accuracy even if it is a grandchild calibration. be able to. For this reason, even a beam member having a low rigidity and cannot be calibrated by an existing load sensor can be calibrated with high accuracy.
  • the load measuring device may have a photographing means provided so as to photograph the load portion before and after the displacement from the width direction of the plate-like leg portion.
  • a photographing means provided so as to photograph the load portion before and after the displacement from the width direction of the plate-like leg portion.
  • FIG. 3A It is a side view which shows the load measuring apparatus of embodiment of this invention. It is a top view which shows the plate-shaped member which forms the beam member of the load measuring apparatus shown in FIG. (A) The side view which shows the structure (single beam structure cantilever) of the conventional load measuring device, (b) The side view which shows the structure (double beam structure cantilever) of the load measuring apparatus shown in FIG. 3A is a graph showing the relationship between the length of a single beam cantilever shown in FIG. 3A (Cantileverlength; L) and the available displacement range, and (b) various lengths (L ) Is a graph showing the relationship between specific capacitance (C / C p ) and displacement (Deflection; ⁇ y, s ).
  • FIG. 6 It is a block diagram which shows the calibration method of the beam member of the load measuring apparatus shown in FIG. It is a graph which shows the relationship between the given displacement (Piezo
  • FIG. 5 is a graph showing a relationship between a given displacement (Piezo displacement; ⁇ PZT ) and an output of a capacitance sensor (CS output, ⁇ V) in the second stage (step II) of the calibration method shown in FIG. 5;
  • B It is a graph which shows the relationship between the displacement (Deflection) and load (Force) of Cant.-1 and Cant.-2.
  • ⁇ y, d maximum detection displacements
  • FIG. 11 is a graph showing the relationship between force (Force; F) and displacement ( ⁇ ) as a result of a micro force measurement experiment using the pendulum shown in FIG. 10 of the load measuring device shown in FIG. 1.
  • the load measuring device 10 includes a support member 11, a beam member 12, a load portion 13, and a displacement sensor 14.
  • the support member 11 includes an XYZ stage 21, a piezo stage 22, a length adjustment jig 23, and a sensor holder 24.
  • the XYZ stage 21 can adjust the positions in the horizontal biaxial (XY) direction and the height (Z) direction.
  • the piezo stage 22 can be moved minutely in the two horizontal axes (XY) directions with high positional accuracy by computer control.
  • the piezo stage 22 is placed on the XYZ stage 21.
  • the length adjusting jig 23 has an L-shaped side shape, and the other arm portion 23b is horizontally placed on the piezo stage 22 so that one arm portion 23a hangs vertically downward from the piezo stage 22. It is attached.
  • the sensor holder 24 is attached on the other arm portion 23 b of the length adjustment jig 23.
  • the sensor holder 24 extends horizontally in the direction of the one arm portion 23 a of the length adjustment jig 23.
  • the beam member (double-beam cantilever) 12 is formed of a long and thin plate member made of stainless steel.
  • the beam member 12 has a central rectangular connecting portion 25 and a pair of elongated plate-like leg portions 26 on both ends thereof.
  • the beam member 12 is formed by bending the plate-like leg portions 26 at both ends thereof perpendicularly in the same direction at the dotted line portion in FIG. Thereby, each plate-shaped leg part 26 is arrange
  • the beam member 12 has a pair of circular chip fixing portions 27 at the end of each plate-like leg portion 26 on the connecting portion 25 side.
  • a through hole 27 a is formed in the center of one tip fixing portion 27.
  • the beam member 12 has a slot 28 formed of an elongated hole provided along the length direction of each plate-like leg portion 26 at the center in the width direction of each plate-like leg portion 26.
  • the beam member 12 is formed from a member extracted by etching from a thin stainless plate having a thickness of 100 ⁇ m and 80 ⁇ 50 ⁇ m.
  • the connecting portion 25 has a length of about 4 mm and a width of 2 mm.
  • Each plate-like leg portion 26 has a length of about 41 mm and a width of 2 mm.
  • the diameter of the chip fixing portion 27 is 2.5 mm, and the diameter of the through hole 27a is 1 mm.
  • the beam member 12 is attached to the lower end portion of one arm portion 23 a of the length adjustment jig 23 of the support member 11 with each plate-like leg portion 26.
  • the beam member 12 is attached so that each plate-like leg portion 26 is vertical with the connecting portion 25 facing upward.
  • the beam member 12 is attached so that the thickness direction of each plate-like leg portion 26 is along the extending direction of the sensor holder 24.
  • the beam member 12 includes spacers 29 (Spacers) sandwiched between the plate-like leg portions 26 on the length adjusting jig 23 side and the length adjusting jig 23 and between the plate-like leg portions 26, and nuts 30 ( Nut-screw) is attached to the length adjusting jig 23.
  • the beam member 12 is supported by the support member 11 so as to be slidable along the length direction of each plate-like leg portion 26 by loosening or tightening the nut 30.
  • the loading portion (Loading Probe) 13 is composed of a needle-like tip, and is fixed by penetrating through the through hole 27 a of the tip fixing portion 27 at the upper end of the beam member 12.
  • the load portion 13 is fixed by filling a resin between the chip fixing portions 27 so as to protrude vertically from the surface of the plate-like leg portion 26 on the side opposite to the length adjusting jig 23.
  • the load portion 13 is formed, for example, by subjecting the tip of a tungsten wire having a diameter of 20 ⁇ m to FIB processing, and is fixed to the beam member 12 using an ultraviolet light curable polyester resin (Polyester resin).
  • the beam member 12 is supported by the support member 11 so that the distance between the support position by the support member 11, that is, the fixed position by the nut 30, and the load portion 13 can be changed.
  • the beam member 12 is supported by the support member 11 on the lower end side of the load portion 13.
  • the displacement sensor 14 includes a capacitance sensor, and is attached to the tip of the sensor holder 24 of the support member 11.
  • the displacement sensor 14 is attached so as to face the surface with a gap (Sensor gap) between the surface of the upper end portion of the plate-like leg portion 26 on the length adjustment jig 23 side, and the distance of the displacement sensor 14 is adjusted. Changes can be measured. Thereby, the displacement sensor 14 can measure the displacement in the protruding direction of the load portion 13 attached to the opposite side of the surface thereof, that is, the thickness direction of each plate-like leg portion 26.
  • the displacement sensor 14 can change the initial gap with the beam member 12 by the piezo stage 22 by measuring either or both of the pressing force and the attractive force.
  • the load measuring device 10 is used as follows. First, when the measurement object comes into contact with the tip of the load portion 13 and a force is applied in the thickness direction of each plate-like leg portion 26, each plate-like leg portion 26 of the beam member 12 is bent, and the load portion 13 is It moves in the thickness direction of each plate-like leg portion 26. At this time, since the end portion of each plate-like leg portion 26 on the load portion 13 side is rigidly connected by the connecting portion 25 using resin, the load portion 13 is moved to each plate-like leg portion 26 before displacement. It moves while maintaining the state parallel to the thickness direction.
  • the displacement of the load portion 13 is detected by the displacement sensor 14, and the force applied to the load portion 13 is obtained based on the detected displacement amount.
  • the force applied to the load portion 13 can be obtained with higher accuracy than in the case of the non-linear relationship. Since the load part 13 does not cause a rotational movement with respect to the measurement object, the measurement range can be kept wider than in the case of the rotational movement.
  • FIG. 3A The structure of a conventional load measuring device (hereinafter referred to as “single beam structure cantilever”) is shown in FIG. 3A, and the structure of the load measuring device 10 according to the embodiment of the present invention (hereinafter referred to as “double beam structure cantilever”). 3) is shown in FIG.
  • the key is that the beam support portion at the free end on the side of the connecting portion 25 is rigid (Rigid joint).
  • the load F is applied in the y direction.
  • the displacement in the y direction of the single beam structure cantilever and the double beam structure cantilever of length L is given by the equations (1) and (2), respectively.
  • the x-direction displacement at the tip of the tip (corresponding to the load portion 13 of the double beam structure cantilever) attached to the conventional single beam structure cantilever is It is. From equation (5), ⁇ x, s / ⁇ y, s is 1.5 times l / L. Usually, the test area is very small, and the tip at the tip of the cantilever (corresponding to the beam member 12 of the double beam structure cantilever) requires a certain length from the viewpoint of observation and accessibility. However, the lateral movement of the tip should be avoided because the force observation point changes. On the other hand, the displacement in the x direction at the tip of the load portion 13 of the double beam structure cantilever is on the order of ⁇ y, d ⁇ 10 ⁇ 3 and can be ignored.
  • Capacitance sensor has a measurable gap range, but when the cantilever with a single beam is bent, the parallelism between the cantilever and the sensor is not maintained. Reduction and measurement accuracy decrease.
  • the possible displacement ( ⁇ m ) of the single beam structure cantilever is given by equation (6).
  • FIG. 4 (a) An example of the available deflection range ( ⁇ m / ⁇ g ) ⁇ 100 for a single beam cantilever is shown in FIG. 4 (a) as a function of the cantilever length L.
  • L the cantilever length
  • d 2.36 and 2.84 mm
  • ⁇ g 25 and 50 ⁇ m.
  • FIG. 4A it can be seen that the smaller the L, the smaller the available sensor range.
  • the available sensor range is always 100% regardless of L.
  • a gap is measured by using a change in capacitance between a sensor and a conductor arranged in parallel.
  • the degree of parallelism between the sensor and the conductor is reduced, the proportional relationship between the gap and the capacitance change is shifted, and this nonlinear behavior leads to a gap measurement error, that is, a force measurement error.
  • the change in capacitance in the system separating the two conductors can be approximated by equation (7).
  • FIG. 4B shows the relationship between C / C p of a single beam structure cantilever and a displacement ⁇ y, s , which is theoretically obtained.
  • C / C p the more [delta] y, s is increased, also, it can be seen that L increases as decreases.
  • C / C p is not proportional to ⁇ y, s , the gap is erroneously measured, and the force measurement accuracy decreases.
  • C / Cp is always kept in parallel, C / Cp is always 1, and the force measurement accuracy with respect to the measurement range does not deteriorate.
  • the load portion 13 is not affected by the distance between the plate-like leg portions 26 before the displacement. It moves while maintaining a state that is always parallel to the thickness direction. For this reason, regardless of the distance between the support position by the support member 11 and the load portion 13, the displacement amount of the load portion 13 and the force applied to the load portion 13 can always be kept in a linear relationship, and measurement can be performed with high accuracy. It can be carried out.
  • the load portion 13 does not cause a rotational movement with respect to the measurement object and moves while maintaining a state parallel to the thickness direction of each plate-like leg portion 26 before displacement. Therefore, the displacement of the load portion 13 can be easily and highly accurately measured by the capacitance sensor as a change in the distance from the surface of each plate-like leg portion 26. For this reason, even if it does not use the displacement meter using a large-scale and expensive laser, it can measure with sufficient accuracy. Compared to the case of using a displacement meter using a laser, it can be manufactured in a small size and inexpensively with a simple configuration. It is also easy to integrate the entire apparatus.
  • the load measuring device 10 can easily and freely change the distance between the support position by the support member 11 and the load portion 13 by a simple screw mechanism using the nut 30. For this reason, the displacement amount of the load portion 13 with respect to the force applied to the load portion 13 can be adjusted without replacing the beam member 12. For this reason, according to the magnitude
  • the amount of displacement of the load portion 13 with respect to a predetermined amount of force applied to the load portion 13 can be changed.
  • the measurement range can be further expanded and the measurement range can be adjusted flexibly.
  • each plate-like leg portion 26 can be widened by changing the second moment of section and the spring constant of the beam member 12 by the slot 28 of the beam member 12.
  • the stiffness k of the beam member 12 is given by equation (8). Since k depends on L from the equation (8), the beam member 12 having a desired k can be easily obtained using this.
  • the load measuring device 10 may have a photographing means provided so as to be able to photograph the load portion 13 before and after the displacement from the width direction of the plate-like leg portion 26. In this case, it is possible to perform the measurement while looking at the displacement of the load portion 13, and it is easy to confirm the measurement implementation state. For this reason, it is particularly effective when mounted and used in an apparatus that performs measurement while confirming the displacement state, such as a testing apparatus for fine materials.
  • the displacement sensor 14 two types of capacitance sensors having a measurement range of 25 ⁇ m and 50 ⁇ m were used.
  • the output voltages were 0.4 V / ⁇ m and 0.2 V / ⁇ m, respectively.
  • the measurement force range can be changed by exchanging these two types of capacitance sensors.
  • a cantilever having rigidity (k value) of 10 ⁇ N / ⁇ m hereinafter referred to as “Cant.-1”
  • a cantilever having 1 ⁇ N / ⁇ m hereinafter referred to as “Cant.-2” are used.
  • the calibration of the cantilever was performed in two stages.
  • step I using a commercially available load sensor (large minimum detection load), measure k of Cant.-1 with large k, and then use this Cant.-1 to measure capacitance. Calibrate the sensor.
  • step II Cant.-2 with smaller k is calibrated using calibrated Cant.-1.
  • FIG. 6 shows the reaction force (Force) of the beam detected by the capacitance sensor when a piezo stage 22 applies a forced displacement (piezo displacement) to the tip of the cantilever up to 50 ⁇ m in 1 ⁇ m steps.
  • a reaction force of 0.5 mN was generated for a displacement of 50 ⁇ m, which is only 2.5% of the measurement range of the capacitive sensor used.
  • the slope of the approximate curve obtained by least square approximation of the obtained data was 9.87 ⁇ N / ⁇ m.
  • FIG. 7 shows the relationship between the change in the capacitance sensor output (Change in CS output) and the displacement of the cantilever (Cantilever deflection) when forced displacement is applied to Cant.-1 by the piezo stage 22.
  • Fig. 8 (b) shows the relationship between the displacement (Deflection) and load (Force) of Cant.-1 and Cant.-2 obtained from the experimental results. Both cantilevers have a good linear relationship. From this, the k of Cant.-2 was determined to be 1.10 ⁇ N / ⁇ m. Table 1 shows the predicted value of k for both cantilevers, and the measured values and the predicted values are in good agreement.
  • each cantilever and the capacitance sensor can be calibrated with high accuracy. For this reason, even a cantilever that has low rigidity and cannot be calibrated with an existing load sensor can be calibrated with high accuracy.
  • the force measurement sensitivity is 2.75 ⁇ N / V
  • the force measurement range for 0-10V capacitance sensor output is 0-27.5 ⁇ N.
  • the minimum measurement force realized by this experimental arrangement and Cant-2 is estimated to be about 100 nN.
  • FIG. 9 shows F max in the case of using Cant.-1 and Cant.-2 as a function of the distance (Length) L between the support position by the support member 11 and the load portion 13.
  • F max varies from 10 ⁇ N to 0.1 N in the range L shown in FIG.
  • the measurable force range is 0 to F max
  • the minimum detection force with respect to the minimum detection displacement of the capacitance sensor is smaller as F max is smaller and the force resolution is improved.
  • the pendulum is made of metal, has a length of 66 mm, a width of 1.5 mm, and a thickness of 100 ⁇ m.
  • the pendulum is suspended on a fixture by a thin polyethylene film. Gravity acts on this pendulum, but its point of action (center of gravity c.g) is the center of the pendulum.
  • Cant.-2 was used, and the reaction force was measured when a forced displacement was applied in a 1.0 ⁇ m step from the top end of the pendulum to the position a by the piezo stage 22.
  • There are three types of a, 5.8 mm, 10.3 mm, and 19.8 mm, and when a 19.8 mm, the process of giving a reverse displacement was also measured.
  • FIG. 11 shows a relationship (F- ⁇ relationship) between a force (Force; F) and a displacement (Displacement; ⁇ ) obtained by an experiment.
  • F Force
  • ⁇ displacement
  • a bending test was performed on four human hair samples having different diameters. Each sample is fixed to the tip of the needle tip with a photo-curing resin. The (diameter D, fixed length L) of each sample is (89.9 ⁇ m, 2078 ⁇ m), (52.4 ⁇ m, 1000 ⁇ m), (37.6 ⁇ m, 1000 ⁇ m), (52.9 ⁇ m, 900 ⁇ m), respectively. Cant.-1 was used for the experiment. The relationship between the obtained displacement ( ⁇ ) and load (F) is shown in FIG. As shown in FIG. 12 (a), it was confirmed that the bending behavior of the human hair sample was linear and showed an elastic behavior.
  • the elastic modulus of human hair is given by the slope of the FL 3 / (3I) ⁇ relationship.
  • an I ⁇ D 4/64.
  • FIG. 12 (b) it was confirmed that the relationship between four different human hairs can be approximated by a single straight line and the elastic modulus is 2.6 ⁇ 0.1 GPa.
  • the load measuring apparatus 10 can measure the force in the ⁇ N range with high accuracy and easily, and is the most suitable for measuring the force in the ⁇ N range. Type of measuring device.

Abstract

【課題】測定範囲を拡げることができる高精度な荷重測定装置を提供する。 【解決手段】細長い梁部材１２の一端に、荷重部１３が設けられている。支持部材１１が、梁部材１２の荷重部１３より他端側で梁部材１２を支持している。変位センサ１４が、静電容量センサから成り、荷重部１３の変位を測定可能に設けられている。梁部材１２は、厚さ方向に間隔を開けて互いに平行に配置された細長い１対の板状脚部２６と、荷重部１３側の各板状脚部２６の端部を連結する連結部２５とを有している。梁部材１２は、支持部材１１による支持位置と荷重部１３との距離を変更可能に、支持部材１１に支持されている。各板状脚部２６は、幅方向の中央部に長さ方向に沿って設けられた細長い穴から成るスロット２８を有している。

Description

荷重測定装置
　本発明は、荷重測定装置に関する。
　従来、マイクロやナノ領域における力の測定は、ピエゾ素子、ひずみゲージやピエゾ抵抗、静電容量や光学力センサのようなMEMS（Micro Electro Mechanical Systems；微小・電気機械システム）トランスデューサ（変換器）を用いて行われている。ピエゾ素子センサは、動的な力の検出に適しているが、構造上静的な力を検出することには適していない。これに対し、静電容量センサは、ピエゾ素子センサと比較して感度や安定性に優れている（例えば、特許文献１参照）。また、光学力センサは、その構成が大掛かりで高価であるが、現状において最も高感度な力の測定を実現できている。
　従来のMEMSトランスデューサとして、カンチレバー（片持ち梁）とレーザ変位計とを有するものがある（例えば、特許文献２参照）。このMEMSトランスデューサは、原子間力顕微鏡（Atomic Force Microscope；AFM）等で利用されており、カンチレバー先端に固定されたチップが測定対象物に接触するとカンチレバーがたわみ、そのたわみをレーザ変位計で検出し、検出した変位量に基づいて微小力を求めるよう構成されている。
特許第３２４０３９０号公報 特開２００４－２０５３８１号公報
　しかしながら、特許文献１や特許文献２に記載のような従来の測定装置では、測定範囲が固定されて変更できず、狭いという課題があった。また、特許文献２に記載のMEMSトランスデューサでは、カンチレバーのたわみが増すごとに、チップが測定対象物の表面に対して首振りの回転運動を起こすため、チップの変位量とチップに加わった力とが非線形関係になり、測定範囲の縮小や測定精度の低下が生じるという課題もあった。
　本発明は、このような課題に着目してなされたもので、測定範囲を拡げることができる高精度な荷重測定装置を提供することを目的としている。
　本発明者等は、従来の測定装置での測定範囲が狭いという課題に対して、支持位置と荷重部（チップ）との距離を変更可能にすることにより、荷重部に加わる力に対する荷重部の変位量を調整可能にし、これにより、荷重部に加わる力の大きさに応じて、荷重部の変位量が、変位センサが測定可能な変位範囲内になるよう調整して、測定範囲を拡げることができることを見出した。また、本発明者等は、従来の測定装置での、チップの変位量とチップに加わった力とが非線形関係になり、測定範囲の縮小や測定精度の低下が生じるという課題に対して、支持位置と荷重部との距離に関係なく、荷重部の変位量と荷重部に加わった力とを常に線形関係に保つことにより、高精度に測定を行うことができることを見出した。こうして、本発明者等は、本発明に至った。
　すなわち、本発明に係る荷重測定装置は、細長く、一端に荷重部が設けられた梁部材と、前記梁部材の前記荷重部より他端側で前記梁部材を支持する支持部材と、前記荷重部の変位を測定可能に設けられた変位センサとを有し、前記梁部材は、厚さ方向に間隔を開けて互いに平行に配置された細長い１対の板状脚部と、前記荷重部側の各板状脚部の端部を連結する連結部とを有し、前記支持部材による支持位置と前記荷重部との距離を変更可能に前記支持部材に支持されていることを、特徴とする。
　本発明に係る荷重測定装置は、以下のようにして使用される。まず、梁部材の一端の荷重部に測定対象物が接触して、各板状脚部の厚さ方向に力が加わると、梁部材の各板状脚部がたわんで、荷重部が各板状脚部の厚さ方向に移動する。このとき、厚さ方向に間隔を開けて互いに平行に配置された細長い１対の板状脚部の荷重部側の端部を連結部で連結しているため、荷重部での各板状脚部の表面が、変位前の各板状脚部の厚さ方向に対して垂直の状態を維持したまま荷重部が移動する。これにより、荷重部が測定対象物に対して回転運動を起こすのを防ぐことができ、荷重部の変位量と荷重部に加わった力とを線形関係に保つことができる。
　次に、荷重部の変位を変位センサで検出し、検出した変位量に基づいて荷重部に加わった力を求める。このとき、荷重部の変位量と荷重部に加わった力とが線形関係であるため、非線形関係の場合と比べて、高精度で荷重部に加わった力を求めることができる。荷重部が測定対象物に対して回転運動を起こさないため、荷重部や各板状部材に対する変位センサの配置によっては、回転運動する場合に比べて、測定範囲を広く保つことができる。
　本発明に係る荷重測定装置は、支持部材による支持位置と荷重部との距離を変更することにより、荷重部に加わる力に対する荷重部の変位量を調整することができる。このため、荷重部に加わる力の大きさに応じて、荷重部の変位量が、変位センサが測定可能な変位範囲内になるよう調整することができ、測定範囲を拡げることができる。また、剛性が異なる梁部材をあらかじめ複数準備しておき、各梁部材を適宜交換することにより、荷重部に加わる所定の大きさの力に対する荷重部の変位量を変えることができ、測定範囲をさらに拡げることができるとともに、測定範囲を柔軟に調整することができる。
　梁部材が一枚の板状部材から成る場合、支持部材による支持位置と荷重部との距離を変更すると、その距離に応じた曲率で、力が加わった荷重部が測定対象物に対して回転運動を起こす。すなわち、支持部材による支持位置と荷重部との距離が短いほど、荷重部の回転運動の曲率が大きくなり、荷重部の変位量と荷重部に加わった力との非線形性が高くなって測定精度が低下する。これに対し、本発明に係る荷重測定装置は、梁部材が、厚さ方向に間隔を開けて互いに平行に配置された細長い１対の板状脚部の荷重部側の端部を連結部で連結しているため、支持部材による支持位置と荷重部との距離を変更しても、その距離に関係なく、荷重部での各板状脚部の表面が、変位前の各板状脚部の厚さ方向に対して常に垂直の状態を維持したまま荷重部が移動する。このため、支持部材による支持位置と荷重部との距離に関係なく、荷重部の変位量と荷重部に加わった力とを常に線形関係に保つことができ、高精度に測定を行うことができる。
　梁部材が、厚さ方向に間隔を開けて互いに平行に配置された細長い１対の板状脚部の荷重部側の端部を連結部で連結しているため、各板状部材の幅方向にはたわみにくく、ねじれにくい。このため、荷重部に加わる力の内、各板状部材の厚さ方向の力を高精度で測定することができる。
　本発明に係る荷重測定装置で、前記変位センサは静電容量センサから成ることが好ましい。この場合、荷重部での各板状脚部の表面が、変位前の各板状脚部の厚さ方向に対して垂直の状態を維持したまま荷重部が移動するため、荷重部の変位を、各板状脚部の表面との距離の変化として静電容量センサで容易かつ高精度に測定することができる。このため、構成が大掛かりで高価なレーザを利用した変位計を使用しなくとも、十分な精度で測定を行うことができる。レーザを利用した変位計を使用する場合と比べ、簡単な構成で、小型かつ安価に製造することができる。また、装置全体を一体化するのも容易である。
　本発明に係る荷重測定装置で、各板状脚部は幅方向の中央部に長さ方向に沿って設けられた細長い穴から成るスロットを有していてもよい。この場合、スロットにより、梁部材の断面２次モーメントやばね定数を変更することなく、各板状脚部の幅を広くすることができる。これにより、梁部材の幅方向に対するねじり剛性を高くすることができるため、梁部材のねじりをさらに抑制することができる。また、スロットを設けることにより、梁部材の剛性を小さくすることができ、梁部材をたわみやすくして荷重に対する感度を高めることができる。スロットの長さや幅を変えることにより、任意の剛性を有する梁部材を形成することができる。
　本発明に係る荷重測定装置で、前記梁部材は、細長い板状の部材の両端部を中央部に対して同じ方向に垂直に折り曲げることにより、中央部が連結部を成し、折り曲げられた両端部が各板状脚部を成すよう形成され、各板状脚部の長さ方向に沿ってスライド可能に前記支持部材に支持されており、前記荷重部は針状のチップから成り、一方の板状脚部の表面から垂直に突出するよう前記梁部材の一端に固定され、前記変位センサは前記荷重部の突出方向の変位を測定可能であってもよい。この場合、梁部材を、一枚の細長い板状部材から容易に形成することができる。また、梁部材の支持部材による支持位置と荷重部との距離を調整しやすい。荷重部のチップの先端に加わる、各板状部材の厚さ方向の力を、より高精度に測定することができる。
　本発明に係る荷重測定装置で、前記梁部材は複数から成り、互いに剛性が異なっており、各梁部材の内、最も剛性が大きい梁部材を既存の荷重センサにより校正可能であり、校正された梁部材により前記変位センサを校正可能であり、さらに校正された梁部材および前記変位センサにより他の梁部材を校正可能であってもよい。この場合、各梁部材の荷重部の変位量と荷重部に加わった力とが線形関係であるため、孫校正となるものであっても、各梁部材および変位センサの校正を高精度で行うことができる。このため、剛性が小さく、既存の荷重センサでは校正できない梁部材であっても、高精度で校正することができる。
　本発明に係る荷重測定装置は、前記板状脚部の幅方向から、変位前後の前記荷重部を撮影可能に設けられた撮影手段を有していてもよい。この場合、荷重部の変位を見ながら、測定を行うことができ、測定の実施状態の確認が容易である。このため、微細な材料の試験装置など、変位状態を確認しながら測定を行う装置に搭載して使用されると、特に効果的である。
　本発明によれば、測定範囲を拡げることができる高精度な荷重測定装置を提供することができる。
本発明の実施の形態の荷重測定装置を示す側面図である。 図１に示す荷重測定装置の梁部材を形成する板状の部材を示す平面図である。 （ａ）従来の荷重測定器の構造（一重はり構造カンチレバー）を示す側面図、（ｂ）図１に示す荷重測定装置の構造（二重はり構造カンチレバー）を示す側面図である。 図３（ａ）に示す一重はり構造カンチレバーの（ａ）はりの長さ（Cantileverlength；L）と利用可能な変位範囲（Deflection range）との関係を示すグラフ、（ｂ）様々な長さ（L）のはりにおける、比静電容量（C／Cp）と変位（Deflection；δy,s）との関係を示すグラフである。 図１に示す荷重測定装置の梁部材の校正方法を示すブロック図である。 図５に示す校正方法の第一段階（step I）での、与えた変位（Piezo displacement）と梁部材の反力（Force）との関係を示すグラフである。 図５に示す校正方法の第一段階（step I）での、カンチレバーの変位（Cantilever deflection）と静電容量センサの出力の変化（Change in CS output）との関係を示すグラフである。 図５に示す校正方法の第二段階（step II）での、（ａ）与えた変位（Piezo displacement；δPZT）と静電容量センサの出力（CS output, ΔV）との関係を示すグラフ、（ｂ）Cant.-1およびCant.-2の変位（Deflection）と荷重（Force）との関係を示すグラフである。 図１に示す荷重測定装置の梁部材であるCant.-1およびCant.-2の、検出最大変位（δy,d）が異なる２種類の静電容量センサを用いたときの、支持部材による支持位置と荷重部との距離（Length；L）と測定可能な最大の力（Maximum force；Fmax）との関係を示すグラフである。 図１に示す荷重測定装置の微小力測定実験に用いた振り子の（ａ）吊り下げ状態（Free hanging）を示す側面図、（ｂ）変位（δ）を与えたときの状態（Under loading）を示す側面図である。 図１に示す荷重測定装置の、図１０に示す振り子を用いた微小力測定実験の結果の、力（Force；F）と変位（Displacement；δ）との関係を示すグラフである。 図１に示す荷重測定装置の、人毛を用いた曲げ試験の結果の（ａ）梁部材の変位（δ）と荷重（F）との関係を示すグラフ、（ｂ）梁部材の変位（δ）とFL3/(3I)との関係を示すグラフである。
　以下、図面に基づき本発明の実施の形態について説明する。
　図１乃至図１２は、本発明の実施の形態の荷重測定装置を示している。
　図１および図２に示すように、荷重測定装置１０は、支持部材１１と梁部材１２と荷重部１３と変位センサ１４とを有している。
　図１に示すように、支持部材１１は、ＸＹＺステージ（XYZ stage）２１とピエゾステージ（Piezo stage）２２と長さ調整ジグ（Length adjustable jig-fixture）２３とセンサホルダ（Sensor holder）２４とを有している。ＸＹＺステージ２１は、水平２軸（ＸＹ）方向および高さ（Ｚ）方向の位置を調整可能になっている。ピエゾステージ２２は、コンピュータ制御により、高い位置精度で水平２軸（ＸＹ）方向に微小移動可能になっている。ピエゾステージ２２は、ＸＹＺステージ２１の上に載置されている。
　長さ調整ジグ２３は、Ｌ型の側面形状を成し、一方の腕部分２３ａがピエゾステージ２２より鉛直下方に垂れ下がるよう、他方の腕部分２３ｂをピエゾステージ２２の上に水平に載置して取り付けられている。センサホルダ２４は、長さ調整ジグ２３の他方の腕部分２３ｂの上に取り付けられている。センサホルダ２４は、長さ調整ジグ２３の一方の腕部分２３ａの方向に向かって水平に伸びている。
　図２に示すように、梁部材（カンチレバー；Double-beam cantilever）１２は、ステンレス製の細長い板状の部材から形成されている。梁部材１２は、中央の矩形状の連結部２５と、その両端側の細長い１対の板状脚部２６とを有している。梁部材１２は、中央の連結部２５に対して、図２中の点線部で、その両端側の各板状脚部２６を同じ方向に垂直に折り曲げて形成されている。これにより、各板状脚部２６は、厚さ方向に間隔を開けて互いに平行に配置され、連結部２５は、各板状脚部２６の一端部を連結するよう構成されている。
　梁部材１２は、各板状脚部２６の連結部２５側の端部に、１対の円形のチップ固定部２７を有している。梁部材１２は、一方のチップ固定部２７の中央に貫通孔２７ａが形成されている。梁部材１２は、各板状脚部２６の幅方向の中央部に、各板状脚部２６の長さ方向に沿って設けられた細長い穴から成るスロット（slot）２８を有している。なお、図２に示す具体的な一例では、梁部材１２は、厚さ100μm、80×50μmのステンレス薄板から、エッチングにより抜き出した部材から形成されている。また、連結部２５は、長さが約4mm、幅が2mmである。各板状脚部２６は、長さが約41mm、幅が2mmである。チップ固定部２７の径は2.5mm、貫通孔２７ａの径は1mmである。
　図１に示すように、梁部材１２は、支持部材１１の長さ調整ジグ２３の一方の腕部分２３ａの下端部に、各板状脚部２６で取り付けられている。梁部材１２は、連結部２５を上にした状態で、各板状脚部２６が鉛直になるよう取り付けられている。また、梁部材１２は、各板状脚部２６の厚さ方向が、センサホルダ２４の伸び方向に沿うよう取り付けられている。梁部材１２は、長さ調整ジグ２３側の板状脚部２６と長さ調整ジグ２３との間、および、各板状脚部２６の間にそれぞれスペーサ２９（Spacers）を挟み、ナット３０（Nut-screw）により長さ調整ジグ２３に取り付けられている。梁部材１２は、ナット３０を緩めたり締めたりすることにより、各板状脚部２６の長さ方向に沿ってスライド可能に、支持部材１１に支持されている。
　図１に示すように、荷重部（Loading Probe）１３は、針状のチップから成り、梁部材１２の上端の、チップ固定部２７の貫通孔２７ａに貫通させて固定されている。荷重部１３は、長さ調整ジグ２３とは反対側の板状脚部２６の表面から垂直に突出するよう、各チップ固定部２７の間に樹脂を充填して固定されている。荷重部１３は、例えば、直径20μmのタングステンワイヤの先端をFIB加工して成り、紫外光硬化性のポリエステル樹脂（Polyester resin）を用いて梁部材１２に固定されている。
　なお、梁部材１２は、支持部材１１による支持位置、すなわちナット３０による固定位置と、荷重部１３との距離を変更可能に、支持部材１１に支持されている。また、梁部材１２は、荷重部１３よりも下端側で、支持部材１１に支持されている。
　図１に示すように、変位センサ１４は、静電容量センサ（Capacitive sensor）から成り、支持部材１１のセンサホルダ２４の先端に取り付けられている。変位センサ１４は、長さ調整ジグ２３側の板状脚部２６の上端部の表面との間に隙間（Sensor gap）をあけて、その表面に対向するよう取り付けられ、その表面との距離の変化を測定可能になっている。これにより、変位センサ１４は、その表面とは反対側に取り付けられた荷重部１３の突出方向、すなわち各板状脚部２６の厚さ方向の変位を測定可能になっている。なお、変位センサ１４は、押し付け力、引き付け力のどちらか、または両方を測定するかで、梁部材１２との初期隙間をピエゾステージ２２により変更可能になっている。
　次に、作用について説明する。
　荷重測定装置１０は、以下のようにして使用される。まず、荷重部１３の先端に測定対象物が接触して、各板状脚部２６の厚さ方向に力が加わると、梁部材１２の各板状脚部２６がたわんで、荷重部１３が各板状脚部２６の厚さ方向に移動する。このとき、各板状脚部２６の荷重部１３側の端部を、樹脂を使用して連結部２５で剛に連結しているため、荷重部１３が、変位前の各板状脚部２６の厚さ方向に平行な状態を維持したまま移動する。これにより、荷重部１３が測定対象物に対して回転運動を起こすのを防ぐことができ、荷重部１３の変位量と荷重部１３に加わった力とを線形関係に保つことができる。また、荷重部１３と測定対象物の表面との間に摩擦が発生するのを防ぐこともできる。
　次に、荷重部１３の変位を変位センサ１４で検出し、検出した変位量に基づいて荷重部１３に加わった力を求める。このとき、荷重部１３の変位量と荷重部１３に加わった力とが線形関係であるため、非線形関係の場合と比べて、高精度で荷重部１３に加わった力を求めることができる。荷重部１３が測定対象物に対して回転運動を起こさないため、回転運動する場合に比べて、測定範囲を広く保つことができる。
　これらのことを、従来のAFM等で利用される荷重測定器と比較して検討を行う。従来の荷重測定器の構造（以下、「一重はり構造カンチレバー」と呼ぶ）を図３（ａ）に、本発明の実施の形態の荷重測定装置１０の構造（以下、「二重はり構造カンチレバー」と呼ぶ）を図３（ｂ）に示す。ここで、二重はり構造カンチレバーでは、連結部２５の側の自由端におけるはり支持部が剛（Rigid joint）であることが鍵である。
　図３に示した直交座標系において、荷重Fはy方向に加わる。この場合、長さLの一重はり構造カンチレバーおよび二重はり構造カンチレバーのy方向の変位は、それぞれ（１）式および（２）式で与えられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
　従来の一重はり構造カンチレバーおよび二重はり構造カンチレバーの中立軸におけるたわみ角は、それぞれ（３）式および（４）式で与えられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
　（３）式より、従来の一重はり構造カンチレバーでは、自由端（x=0）における回転が最大で（θs = 1.5δy,s／L）となるのに対し、（４）式に示す二重はり構造カンチレバーではゼロであり、梁部材１２の先端付近に取り付けられる荷重部１３に回転運動を生じない。
　従来の一重はり構造カンチレバーに取り付けたチップ（二重はり構造カンチレバーの荷重部１３に対応）の先端におけるx方向変位は、
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
 である。（５）式より、δx,s／δy,sはl／Lの1.5倍である。通常、試験領域は非常に小さく、カンチレバー（二重はり構造カンチレバーの梁部材１２に対応）の先端のチップは、観察およびアクセス性の観点からそれなりの長さが要求される。しかしながら、チップの横方向の動きは、力観察点が変更することになるので避けたい。これに対し、二重はり構造カンチレバーの荷重部１３の先端におけるx方向変位はδy,d×10-3のオーダであり、無視できる。
　静電容量センサ（ＣＳ）には測定可能な隙間範囲が存在するが、一重はり構造カンチレバーがたわんだ場合にカンチレバー（Cantilever）とセンサとの並行度が保たれず、これにより、力測定範囲の減少と測定精度の低下とが生じる。静電容量センサの直径をdとした場合、一重はり構造カンチレバーの可能な変位(δm)は（６）式で与えられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
　一重はり構造カンチレバーの利用可能な変位範囲（Deflection range）(δm／δg)×100の例を、カンチレバーの長さ（Cantilever length）Lの関数として図４（ａ）に示す。ここではd=2.36と2.84mm、δg=25と50μmについて計算した。図４（ａ）に示すように、Lを小さくするほど、利用可能なセンサ範囲が小さくなることがわかる。一方、二重はり構造カンチレバーでは、利用可能なセンサ範囲は、Lに依らず常に100%である。
　静電容量センサでは、センサと並行に配置した導体との間の静電容量変化を利用して隙間を測る。ここで、センサと導体との並行度が低下した場合、隙間と静電容量変化との比例関係がずれ、この非線形挙動は隙間測定誤差、すなわち力測定誤差につながる。二枚の導体を隔てた系における静電容量変化は、（７）式で近似できる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
　図４（ｂ）に、理論的に求めた、一重はり構造カンチレバーのC／Cpと変位（Deflection）δy,sとの関係を示す。ここでは、R = 0.535mm、δg = 25μmを仮定した。図４（ｂ）に示すように、C／Cpは、δy,sが増加するほど、また、Lが小さくなるほど大きくなることがわかる。また、C／Cpがδy,sと比例関係にないところにおいては、隙間が誤って測定されることとなり、力測定精度が低下することがわかる。一方、二重はり構造カンチレバーでは、常に梁部材１２と静電容量センサとが並行に保たれるので、C／Cpは常に１であり、測定範囲に対する力測定精度の低下は生じない。
　一重はり構造カンチレバーの場合、図４（ｂ）に示すように、カンチレバーの支持位置とチップとの距離、すなわちカンチレバーの長さＬを変更すると、その距離に応じた曲率で、力が加わったチップが測定対象物に対して回転運動を起こす。すなわち、カンチレバーの支持位置とチップとの距離が短いほど、チップの回転運動の曲率が大きくなり、チップの変位量とチップに加わった力との非線形性が高くなって測定精度が低下する。これに対し、二重はり構造カンチレバーでは、支持部材１１による支持位置と荷重部１３との距離を変更しても、その距離に関係なく、荷重部１３が、変位前の各板状脚部２６の厚さ方向に対して常に平行な状態を維持したまま移動する。このため、支持部材１１による支持位置と荷重部１３との距離に関係なく、荷重部１３の変位量と荷重部１３に加わった力とを常に線形関係に保つことができ、高精度に測定を行うことができる。
　このように、荷重測定装置１０では、荷重部１３が、測定対象物に対して回転運動を起こさず、変位前の各板状脚部２６の厚さ方向に平行な状態を維持したまま移動するため、荷重部１３の変位を、各板状脚部２６の表面との距離の変化として静電容量センサで容易かつ高精度に測定することができる。このため、構成が大掛かりで高価なレーザを利用した変位計を使用しなくとも、十分な精度で測定を行うことができる。レーザを利用した変位計を使用する場合と比べ、簡単な構成で、小型かつ安価に製造することができる。また、装置全体を一体化するのも容易である。
　荷重測定装置１０は、ナット３０を利用したシンプルなねじ機構により、支持部材１１による支持位置と荷重部１３との距離を容易かつ自在に変更することができる。このため、梁部材１２を交換することなく、荷重部１３に加わる力に対する荷重部１３の変位量を調整することができる。このため、荷重部１３に加わる力の大きさに応じて、荷重部１３の変位量が、変位センサ１４が測定可能な変位範囲内になるよう調整することができ、測定範囲を拡げることができる。
　なお、剛性が異なる梁部材１２をあらかじめ複数準備しておき、各梁部材１２を適宜交換することにより、荷重部１３に加わる所定の大きさの力に対する荷重部１３の変位量を変えることができ、測定範囲をさらに拡げることができるとともに、測定範囲を柔軟に調整することができる。
　荷重測定装置１０では、梁部材１２のスロット２８により、梁部材１２の断面２次モーメントやばね定数を変更することなく、各板状脚部２６の幅を広くすることができる。これにより、梁部材１２の幅方向に対するねじり剛性を高くすることができるため、梁部材１２のねじりをさらに抑制することができ、変位センサ１４の静電容量センサと板状脚部２６との間の並行度を保つことができる。このため、荷重部１３に加わる力を、高精度で測定することができる。また、スロット２８を設けることにより、梁部材１２の剛性を小さくすることができ、梁部材１２をたわみやすくして荷重に対する感度を高めることができる。穴の長さや幅を変えることにより、任意の剛性を有する梁部材１２を形成することができる。
　なお、梁部材１２の剛性（stiffness）kは、（８）式で与えられる。（８）式より、kはLに依存するため、これを利用して所望のkを有する梁部材１２を容易に得ることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000006
　なお、荷重測定装置１０は、板状脚部２６の幅方向から、変位前後の荷重部１３を撮影可能に設けられた撮影手段を有していてもよい。この場合、荷重部１３の変位を見ながら、測定を行うことができ、測定の実施状態の確認が容易である。このため、微細な材料の試験装置など、変位状態を確認しながら測定を行う装置に搭載して使用されると、特に効果的である。
　変位センサ１４として、測定範囲が25μmおよび50μmの２種類の静電容量センサを用いた。出力電圧は、それぞれ0.4V/μmおよび0.2V/μmであった。この２種類の静電容量センサを交換することで、測定力範囲を変更できる。また、梁部材１２として、剛性（k値）が10μN/μmのカンチレバー（以下、「Cant.-1」と呼ぶ）、および1μN/μmのカンチレバー（以下、「Cant.-2」と呼ぶ）を作製した。ｋ値は、E=207GPaと仮定して（８）式より計算した。両カンチレバーの寸法詳細を、表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
　図５に示すように、カンチレバーの校正は、二段階で行った。第一段階（step I）では、市販の荷重センサ（最小検出荷重は大）を用いて、kの大きなCant.-1のkを実測し、次いで、このCant.-1を用いて静電容量センサの校正を行う。第二段階（step II）では、校正したCant.-1を用いて、よりkの小さなCant.-2の校正を行う。
［Cant.-1の校正］
　Cant.-1は、市販の荷重センサ（測定範囲20mN、精度0.025mN）を用いて校正した。ピエゾステージ２２によりカンチレバーの先端部に50μmまで1μmステップで強制変位（Piezo displacement）を与えたときに、静電容量センサで検出されたはりの反力（Force）を、図６に示す。50μmの変位に対して0.5mNの反力が生じたが、これは用いた静電容量センサの測定範囲の僅か2.5%である。得られたデータを最小二乗近似して得られた近似曲線の傾きは9.87μN/μmであった。ロードセルの剛性（stiffness）は167μN/μmであり、ロードセルの変形を考慮することでCant.-1の剛性はk1 = 10.5μN/μmと求まった。
　校正したCant.-1と静電容量センサ（測定範囲25μm）とを隙間を設けて配置した。ピエゾステージ２２によりCant.-1に強制変位を与えたときの、静電容量センサ出力の変化（Change in CS output）とカンチレバーの変位（Cantilever deflection）との関係を、図７に示す。実験データを最小二乗近似して、静電容量センサの感度はSCP = 0.4V/μmと求まった。25μm範囲の静電容量センサとCant.-1とを組み合わせる場合、力測定感度は26.25μN/Vとなり、0～10V静電容量センサ出力に対する力測定範囲は0～262.5μNとなる。当然のことながら、Cant.-1と測定範囲が倍の50μm静電容量センサとを組み合わせた場合の力測定範囲は倍になる。
［Cant.-2の校正］
　Cant.-2の校正には、先に校正したCant.-1を用いる。Cant.-2を固定し、ピエゾステージ２２に取り付けたCant.-1により先端部に負荷した。図８（ａ）に、ピエゾステージ２２の変位（Piezo displacement）δPZTと静電容量センサ出力（CS output, ΔV）との関係を示す。両者には良い線形関係が認められる。Cant.-1により先端部に負荷した力F、Cant.-1の変位δ1、Cant.-2の変位δ2は、それぞれ（９）～（１１）式で与えられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000008
　実験結果から得られたCant.-1およびCant.-2の変位（Deflection）と荷重（Force）との関係を、図８（ｂ）に示す。両カンチレバーともに、良い線形関係が認められる。これより、Cant.-2のkは1.10μN/μmと求まった。表１に、両カンチレバーに対するkの予測値を示したが、実測値と予測値とはよく一致している。このように、各カンチレバーの荷重部１３の変位量と荷重部１３に加わった力とが線形関係であるため、各カンチレバーおよび静電容量センサの校正を高精度で行うことができる。このため、剛性が小さく、既存の荷重センサでは校正できないカンチレバーであっても、高精度で校正することができる。
　25μm範囲の静電容量センサとCant.-2とを組み合わせる場合、力測定感度は2.75μN/Vとなり、0～10V静電容量センサ出力に対する力測定範囲は0～27.5μNとなる。もちろん、力の測定範囲は、二重カンチレバーのたわみを制御することで容易に変更できる。例えば、二重カンチレバーの長さを5.9mm（全長の1/5）にしたならば、（８）式よりkは137.5μN/μm (=1.10×53)となり、測定範囲は125倍になる。また、力測定精度について、本実験配置とCant-2とで実現される最小計測力はおよそ100nNと推定される。
［測定範囲］
　静電容量センサの検出最大変位をδy,dとした場合、測定可能な最大の力（Maximum force；Fmax）は、（１２）式で求まる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000009
　Cant.-1およびCant.-2を用いる場合のFmaxを、支持部材１１による支持位置と荷重部１３との距離（Length）Lの関数として、図９に示す。Fmaxは、図９に示したLの範囲において10μNから0.1Nの範囲まで変動している。この場合、測定可能な力範囲は0～Fmaxとなるが、静電容量センサの最小検出変位に対する最小検出力は、Fmaxが小さいほど小さく、力分解能が向上するため、対象の力範囲に対して適切なFmaxの下で、力センシングを行うのが望ましい。
　図１０に示す小さな振り子を用いて、微小力測定に関する実験を行った。振り子は、金属製で、長さ66mm、幅1.5mm、厚さ100μmであり、薄いポリエチレンフィルム（Polyethylene thin film）で固定具に吊るされている。この振り子には重力が作用するが、その作用点（重心c.g）は振り子の中央である。実験にはCant.-2を用い、振り子上端からaの位置に、ピエゾステージ２２により1.0μmステップで強制変位を与えたときの反力を測定した。aは、5.8mm、10.3mm、19.8mmの3通りであり、a = 19.8mmでは逆向きの変位を与える行程についても計測を行った。
　図１１に、実験により得られた、力（Force；F）と変位（Displacement；δ）との関係（F-δ関係）を示す。図１１に示すように、aが増加する程、反力は低下することが確認された。特に、a = 19.8mmの実験において、0～3.5μN範囲の微小力を、精度よく検出できていることが確認された。また、逆向きの変位（Reverse）を与えた場合の測定結果が、順向き（Forward）のそれとよく一致しており、計測の再現性が極めて良いことも確認できた。
　力（F）は、理論的に（１３）式で与えられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000010
 　3つの場合(a = 5.8, 10.3 and 19.8mm)の、（１３）式による理論値も図１１に実線で示したが、実験値は理論値とよく一致している。
　直径の異なる4本の人毛サンプルに対して、曲げ試験を行った。それぞれのサンプルは、光硬化樹脂によって、ニードルチップの先端に固定されている。各サンプルの（直径D、固定長さL）は、それぞれ（89.9μm、2078μm）、（52.4μm、1000μm）、（37.6μm、1000μm）、（52.9μm、900μm）である。実験にはCant.-1を用いた。得られた変位（δ）と荷重（F）との関係を、図１２（ａ）に示す。図１２（ａ）に示すように、人毛サンプルの曲げ挙動は線形的であり、弾性的な挙動を示すことが確認された。
　また、図１２（ｂ）に示すように、人毛の弾性率は、FL3/(3I)－δ関係の傾きで与えられる。ここで、I = πD4/64である。図１２（ｂ）に示すように、異なる4本の人毛の関係が一本の直線で近似でき、その弾性率が2.6±0.1GPaであることが確認された。
　これまで、微小力を測定可能な荷重測定装置として、mNレンジやnNレンジの力の測定に適したものは存在していたが、その間のμNレンジの力の測定に適した高精度のものは存在していなかった。これに対し、本発明の実施の形態の荷重測定装置１０は、μNレンジの力を高精度かつ容易に測定することができ、μNレンジの力の測定に最も適した、これまでにない全く新しいタイプの測定装置である。
　１０　荷重測定装置
　１１　支持部材
　１２　梁部材
　１３　荷重部
　１４　変位センサ
　２１　ＸＹＺステージ
　２２　ピエゾステージ
　２３　長さ調整ジグ
　２４　センサホルダ
　２５　連結部
　２６　板状脚部
　２７　チップ固定部
　２８　スロット
　２９　スペーサ
　３０　ナット
 

Claims (6)

  1. 　細長く、一端に荷重部が設けられた梁部材と、
    　前記梁部材の前記荷重部より他端側で前記梁部材を支持する支持部材と、
    　前記荷重部の変位を測定可能に設けられた変位センサとを有し、
    　前記梁部材は、厚さ方向に間隔を開けて互いに平行に配置された細長い１対の板状脚部と、前記荷重部側の各板状脚部の端部を連結する連結部とを有し、前記支持部材による支持位置と前記荷重部との距離を変更可能に前記支持部材に支持されていることを、
    　特徴とする荷重測定装置。
  2. 　前記変位センサは静電容量センサから成ることを、特徴とする請求項１記載の荷重測定装置。
  3. 　各板状脚部は幅方向の中央部に長さ方向に沿って設けられた細長い穴から成るスロットを有することを、特徴とする請求項１または２記載の荷重測定装置。
  4. 　前記梁部材は、細長い板状の部材の両端部を中央部に対して同じ方向に垂直に折り曲げることにより、中央部が連結部を成し、折り曲げられた両端部が各板状脚部を成すよう形成され、各板状脚部の長さ方向に沿ってスライド可能に前記支持部材に支持されており、
    　前記荷重部は針状のチップから成り、一方の板状脚部の表面から垂直に突出するよう前記梁部材の一端に固定され、
    　前記変位センサは前記荷重部の突出方向の変位を測定可能であることを、
    　特徴とする請求項１、２または３記載の荷重測定装置。
  5. 　前記梁部材は複数から成り、互いに剛性が異なっており、各梁部材の内、最も剛性が大きい梁部材を既存の荷重センサにより校正可能であり、校正された梁部材により前記変位センサを校正可能であり、さらに校正された梁部材および前記変位センサにより他の梁部材を校正可能であることを、特徴とする請求項１、２、３または４記載の荷重測定装置。
  6. 　前記板状脚部の幅方向から、変位前後の前記荷重部を撮影可能に設けられた撮影手段を有することを、特徴とする請求項１、２、３、４または５記載の荷重測定装置。
     
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012225652A (ja) * 2011-04-14 2012-11-15 Tohoku Univ 毛髪の柔軟性評価方法

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013019719A1 (en) * 2011-08-01 2013-02-07 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Ultra-compact nanocavity-enhanced scanning probe microscopy and method
WO2013059665A1 (en) 2011-10-19 2013-04-25 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Ultracompact fabry-perot array for ultracompact hyperspectral imaging
WO2013148349A1 (en) 2012-03-30 2013-10-03 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Graphene photonics for resonator-enhanced electro-optic devices and all-optical interactions
CN103471745A (zh) * 2013-09-16 2013-12-25 清华大学 基于双梁或串联双梁的屈曲式微力传感器及微力测量方法
US9990087B2 (en) * 2013-09-28 2018-06-05 Apple Inc. Compensation for nonlinear variation of gap capacitance with displacement
US20170080541A1 (en) * 2015-09-18 2017-03-23 Caterpillar Inc. Fixture member for detecting a load acting thereon
US10921943B2 (en) 2019-04-30 2021-02-16 Apple Inc. Compliant material for protecting capacitive force sensors and increasing capacitive sensitivity
CN110579402B (zh) * 2019-10-22 2022-08-09 哈尔滨工业大学（深圳） 一种研究frp加固梁蠕变特性的持续加载装置
JP7027467B2 (ja) 2020-01-09 2022-03-01 株式会社フジクラ ロウ付け構造、コールドプレート、およびロウ付け構造の製造方法
US11592946B1 (en) 2021-09-21 2023-02-28 Apple Inc. Capacitive gap force sensor with multi-layer fill

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01195301A (ja) * 1988-01-29 1989-08-07 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 表面機械特性測定装置
JP2000283747A (ja) * 1999-03-31 2000-10-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd 触針反射器
JP2003042861A (ja) * 2001-07-27 2003-02-13 Japan Science & Technology Corp 立体型歪みセンサ
JP2004205381A (ja) * 2002-12-26 2004-07-22 Olympus Corp 微小荷重測定装置
JP2006078219A (ja) * 2004-09-07 2006-03-23 Canon Inc 走査プローブ顕微鏡を用いた物性情報の測定方法、カンチレバー及び走査プローブ顕微鏡

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3199345A (en) 1962-12-26 1965-08-10 Lee Shih-Ying Temperature compensated transducer
JPS5590840A (en) 1978-12-28 1980-07-09 Kanebo Ltd Method and device for measuring flexural rigidity of filament-like material
JPH0212120A (ja) 1988-06-29 1990-01-17 Fuji Photo Film Co Ltd 光ビーム走査装置
JP3240390B2 (ja) 1992-03-04 2001-12-17 オムロン株式会社 変位検出センサ
GB2271189A (en) * 1992-08-21 1994-04-06 Hollowtech Limited Axle load sensing arrangement
US5489774A (en) * 1994-09-20 1996-02-06 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford University Combined atomic force and near field scanning optical microscope with photosensitive cantilever
JP2001514733A (ja) * 1995-12-11 2001-09-11 クセロス・インク 一体化シリコン側面計及びａｆｍヘッド
US6480286B1 (en) 1999-03-31 2002-11-12 Matsushita Electric Inudstrial Co., Ltd. Method and apparatus for measuring thickness variation of a thin sheet material, and probe reflector used in the apparatus
KR100746768B1 (ko) * 2002-03-19 2007-08-06 주식회사 엘지이아이 캔틸레버를 이용한 정보 기록 및 판독 장치
AU2004312851A1 (en) * 2003-12-24 2005-07-21 3M Innovative Properties Company Device and method for measuring the profile of a surface
JP4690021B2 (ja) 2004-11-30 2011-06-01 株式会社コーセー 毛髪試料の力学的特性の測定方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01195301A (ja) * 1988-01-29 1989-08-07 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 表面機械特性測定装置
JP2000283747A (ja) * 1999-03-31 2000-10-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd 触針反射器
JP2003042861A (ja) * 2001-07-27 2003-02-13 Japan Science & Technology Corp 立体型歪みセンサ
JP2004205381A (ja) * 2002-12-26 2004-07-22 Olympus Corp 微小荷重測定装置
JP2006078219A (ja) * 2004-09-07 2006-03-23 Canon Inc 走査プローブ顕微鏡を用いた物性情報の測定方法、カンチレバー及び走査プローブ顕微鏡

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012225652A (ja) * 2011-04-14 2012-11-15 Tohoku Univ 毛髪の柔軟性評価方法

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