JP2013509592A - 動的撓曲部配列を組み込んだ支持台を有する走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明のさらに別の態様によると、圧電管スキャナに選択的に通電して、相互に略直交するX、Y、およびZ方向に管スキャナの作業端を並進させるSPMの作動方法が提供される。該方法は、管アクチュエータアセンブリから機械的に分離されたセンサ載置配列を用いて管の作業端の移動を監視することをさらに含む。監視は、管スキャナの作業端の並進運動を、そこに結合されたセンサ載置配列の運動に変換することを含む。撓曲部を用いて、移動はX軸センサ、Y軸センサ、およびZ軸センサが、それぞれX方向、Y方向、およびZ方向に載置されたセンサ載置配列の一部分に集中させられる。管スキャナの作業端の移動はそれぞれX軸センサ、Y軸センサ、およびZ軸センサを用いてX、Y、およびZ方向で直接監視される。
Claims (22)
- 走査型プローブ顕微鏡(SPM)であって、
X−Y面で移動可能であり、プローブとサンプル支持部の一方を支持するスキャナと、
前記スキャナの前記X方向への変位を感知するように構成されたX軸センサと、
前記スキャナの前記Y方向への変位を感知するように構成されたY軸センサと、
前記スキャナに結合され、前記第1および第2のセンサが前記スキャナに対して間隔をおいて載置された載置配列と、
を備え、前記載置配列が、前記センサがそれぞれ前記X方向およびY方向に基本的に排他的かつ独立して運動を感知するように、前記センサを機械的に相互に分離する撓曲部を含むSPM。 - 前記スキャナが圧電管アセンブリを備える請求項1に記載のSPM。
- 前記圧電管アセンブリが前記X−Y面に垂直なZ方向にも移動可能であり、前記Z方向の前記スキャナの変位を感知するように構成されたZ軸センサをさらに備え、前記Z軸センサが前記載置配列に載置され、少なくとも基本的に排他的かつ独立して前記Z方向の移動を感知するように前記X軸センサおよび前記Y軸センサから機械的に分離された請求項2に記載のSPM。
- 前記撓曲部配列がX軸撓曲部、Y軸撓曲部、およびZ軸撓曲部を備え、前記X軸撓曲部および前記Y軸撓曲部を含む撓曲部モジュールをさらに備え、前記Z軸撓曲部から前記撓曲部モジュールまで延在する細長部材をさらに備える請求項3に記載のSPM。
- 前記Z軸撓曲部から間隔をおいて配置された撓曲部支持部をさらに備え、前記撓曲部モジュールが前記細長部材に結合された第1の端部と前記撓曲部支持部に結合された第2の端部とを有する請求項4のSPM。
- 前記第1の端部が下側撓曲部支持部を含み、前記第2の端部が上側撓曲部支持部を含み、前記X軸センサが前記下側撓曲部支持部に載置され、前記Y軸センサが前記上側撓曲部支持部に載置され、前記下側撓曲部支持部が前記上側撓曲部支持部から90度補正された請求項5に記載のSPM。
- 前記センサの各々が歪み計アセンブリを含む請求項2に記載のSPM。
- 前記Z軸撓曲部が前記管アセンブリの対向側に沿って間隔をおいて延在する第1の脚部および第2の脚部を含み、前記Z軸センサの前記歪み計アセンブリが前記第1の脚部と前記第2の脚部との間に接続された請求項7に記載のSPM。
- 前記第1のセンサが歪み計センサアセンブリであり、前記第2のセンサが歪み計センサアセンブリである請求項1に記載のSPM。
- 対象物を撮像する走査型プローブ顕微鏡(SPM)であって、
圧電管スキャナであって、該圧電管スキャナに印加された電圧に応答して相互に直交するX、Y、およびZ方向に移動し、プローブとサンプル支持部の一方が載置された作業端を有する圧電管スキャナと、
センサ載置配列であって、前記圧電管スキャナの前記作業端が結合され、前記Z方向の前記圧電管の変位に応答して撓曲する基部と、前記基部に結合され、前記圧電管スキャナに略隣接しそこから間隔をおいて配置された前記基部から上方に延在し、前記XまたはY方向のいずれかの前記圧電管スキャナの変位に応答して撓曲するロッドと、を含むセンサ載置配列と、
前記Z方向の前記プローブの変位を測定する第1の組の歪み計と、前記X方向の前記プローブの変位を測定する第2の組の歪み計と、前記Y方向の前記プローブの変位を測定する第3の組の歪み計とを含み、前記第1の組の歪み計が前記基部に結合され、前記第2および第3の組の歪み計が前記ロッドに結合され、前記第1、第2、および第3の組の歪み計が相互に機械的に分離された歪み計の配列と、
を備えるSPM。 - 前記第1、第2、および第3の組の歪み計を相互に機械的に分離する撓曲部モジュールをさらに備え、前記撓曲部モジュールがX軸撓曲部およびY軸撓曲部を含み、前記前記第2の組の歪み計が前記X軸撓曲部に結合され、前記第3の組の歪み計が前記Y軸撓曲部に結合された請求項10に記載のシステム。
- 前記管スキャナのX軸運動が前記X軸撓曲部に集中し、前記管スキャナのY軸運動が前記Y軸撓曲部に集中するように、前記X軸撓曲部および前記Y軸撓曲部が相互に縦方向に積載された請求項11に記載のシステム。
- 前記X軸撓曲部および前記Y軸撓曲部が同様に構成されるが、互いに直交して配列された請求項11に記載のシステム。
- 前記センサ載置配列の前記基部が、第1および第2の端部を有する第1のリング部分と、第1および第2の端部を有する第2のリング部分とを含み、前記第1の組の歪み計の第1の歪み計が、前記第1のリング部分と前記第2のリング部分との間に接続されて前記第1のリング部分の前記第1の端部と前記第2のリング部分の前記第1の端部との間の第1の間隙を架橋し、前記第1の組の歪み計の第2の歪み計が前記第1のリング部分と前記第2のリング部分との間に接続されて前記第1のリング部分の前記第2の端部と前記第2のリング部分の前記第2の端部との間の第2の間隙を架橋する請求項10に記載のシステム。
- 走査型プローブ顕微鏡(SPM)であって、
印加電圧に応答して相互に直交するX、Y、およびZ方向に移動可能である圧電管スキャナと、
前記管スキャナに結合された動的載置配列であって、いずれの方向への前記管スキャナの移動からの干渉をも受けることなく、前記X、Y、およびZの各方向の前記管スキャナの変位を独立して感知することができるように、前記配列の各部分を相互に機械的に分離する第1、第2、および第3の撓曲部を有する動的載置配列と、
を備えるSPM。 - 前記動的載置配列が、前記圧電管スキャナの作業端が結合された基部を含み、前記基部が前記Z方向の前記圧電管スキャナの変位を測定する一対の歪み計によって相互接続された第1のリング部分および第2のリング部分を有する請求項15に記載のSPM。
- 前記動的載置配列が前記基部から間隔をおいて配置されたヘッダと、前記基部から前記ヘッダに向かって上方に延在するロッドと、前記ロッドと前記ヘッダを相互接続する撓曲部モジュールとをさらに備え、前記撓曲部モジュールがX軸撓曲部およびY軸撓曲部を含む請求項16に記載のSPM。
- 前記X軸撓曲部に結合され、前記X方向の前記圧電管スキャナの変位を測定する一対のX軸歪み計と、前記Y軸撓曲部に結合され、前記Y方向の前記圧電管スキャナの変位を測定する一対のY軸歪み計とをさらに備える請求項17に記載のSPM。
- 前記動的撓曲部配列および前記歪み計が、50mW未満の熱放散で前記圧電管の変位を測定するように構成された請求項18に記載のSPM。
- 前記動的撓曲部配列および前記歪み計が、約5nm未満のレベルのノイズで前記圧電管の変位を測定するように構成された請求項18に記載のSPM。
- 前記動的撓曲部配列および前記歪み計が、約1nm未満のレベルのノイズで前記圧電管の変位を測定するように構成された請求項20に記載のSPM。
- 走査型プローブ顕微鏡(SPM)の作動方法であって、
圧電管スキャナに選択的に通電して、相互に直交するX、Y、およびZ方向に前記管スキャナの作業端を並進させることと、
前記管アクチュエータアセンブリから機械的に分離されたセンサアセンブリを用いて前記管スキャナの前記作業端の移動を監視することと、
を備え、前記監視ステップが、
前記管スキャナの前記作業端の移動を、作業端に結合されたセンサ載置配列の移動に変換させることと、
撓曲部を用いて、X軸センサ、Y軸センサ、およびZ軸センサがそれぞれ前記X方向、前記Y方向、および前記Z方向に載置された前記センサ載置配列の各部分の移動を集中させることと、
前記X軸センサ、前記Y軸センサ、および前記Z軸センサを用いてそれぞれ前記X、Y、およびZ方向の前記管スキャナの前記作業端の移動を直接監視することと、
を含む方法。
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US8474060B2 (en) * | 2011-04-29 | 2013-06-25 | Bruker Nano, Inc. | Scanning probe microscope with compact scanner |
US9081028B2 (en) * | 2012-03-19 | 2015-07-14 | Bruker Nano, Inc. | Scanning probe microscope with improved feature location capabilities |
WO2017079374A1 (en) * | 2015-11-03 | 2017-05-11 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Metrology devices for rapid specimen setup |
EP3324193A1 (en) * | 2016-11-18 | 2018-05-23 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | High-precision scanning device |
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CN113109593B (zh) * | 2021-04-20 | 2021-11-02 | 西南交通大学 | 应用于扫描探针显微镜的摆动式多模式组合探针测试装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0650706A (ja) * | 1992-07-30 | 1994-02-25 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型トンネル顕微鏡の微動機構 |
JPH07311029A (ja) * | 1994-05-19 | 1995-11-28 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 微動装置及び走査型プローブ顕微鏡 |
US5641897A (en) * | 1992-11-20 | 1997-06-24 | Topometrix | Scanning apparatus linearization and calibration system |
JPH1138020A (ja) * | 1997-07-16 | 1999-02-12 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微観察法と走査型プローブ顕微鏡用プローブと走査型プローブ顕微鏡 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5198715A (en) * | 1990-05-23 | 1993-03-30 | Digital Instruments, Inc. | Scanner for scanning probe microscopes having reduced Z-axis non-linearity |
US5306919A (en) * | 1992-09-21 | 1994-04-26 | Digital Instruments, Inc. | Positioning device for scanning probe microscopes |
JPH0989913A (ja) * | 1995-09-26 | 1997-04-04 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
US6246054B1 (en) * | 1997-06-10 | 2001-06-12 | Olympus Optical Co., Ltd. | Scanning probe microscope suitable for observing the sidewalls of steps in a specimen and measuring the tilt angle of the sidewalls |
US6194813B1 (en) | 1999-09-29 | 2001-02-27 | Jacob Israelachvili | Extended-range xyz linear piezo-mechanical scanner for scanning-probe and surface force applications |
JP3325258B2 (ja) | 2000-04-17 | 2002-09-17 | 株式会社日立製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
US20030209060A1 (en) * | 2002-05-08 | 2003-11-13 | Roger Proksch | Apparatus and method for isolating and measuring movement in metrology apparatus |
US6677697B2 (en) * | 2001-12-06 | 2004-01-13 | Veeco Instruments Inc. | Force scanning probe microscope |
US7448798B1 (en) * | 2003-06-18 | 2008-11-11 | Veeco Instruments Inc. | Scanning thermal probe microscope |
US7900506B2 (en) * | 2003-11-17 | 2011-03-08 | Insitutec, Inc. | Multi-dimensional standing wave probe for microscale and nanoscale measurement, manipulation, and surface modification |
WO2005050666A2 (en) * | 2003-11-17 | 2005-06-02 | Insitutec, Inc. | An oscillating probe with a virtual probe tip |
JP2006118867A (ja) * | 2004-10-19 | 2006-05-11 | Hitachi Kenki Fine Tech Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡及びそれを用いた計測方法 |
US7421370B2 (en) * | 2005-09-16 | 2008-09-02 | Veeco Instruments Inc. | Method and apparatus for measuring a characteristic of a sample feature |
US7886583B2 (en) * | 2006-07-11 | 2011-02-15 | Veeco Instruments Inc. | Apparatus and method of amplifying low voltage signals |
CN101458203B (zh) | 2007-12-10 | 2012-11-07 | 中国科学技术大学 | 双探针同点测量扫描探针显微镜 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0650706A (ja) * | 1992-07-30 | 1994-02-25 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型トンネル顕微鏡の微動機構 |
US5641897A (en) * | 1992-11-20 | 1997-06-24 | Topometrix | Scanning apparatus linearization and calibration system |
JPH07311029A (ja) * | 1994-05-19 | 1995-11-28 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 微動装置及び走査型プローブ顕微鏡 |
JPH1138020A (ja) * | 1997-07-16 | 1999-02-12 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微観察法と走査型プローブ顕微鏡用プローブと走査型プローブ顕微鏡 |
Also Published As
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