JP5382817B2 - 荷重測定装置 - Google Patents
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Description
本発明に係る荷重測定装置で、前記梁部材は厚さ100μmのステンレス薄板からエッチングにより抜き出した部材から形成されており、前記荷重部は直径20μmのタングステンワイヤの先端をFIB加工して成り、紫外光硬化性のポリエステル樹脂を用いて前記梁部材に固定されていてもよい。
図1乃至図12は、本発明の実施の形態の荷重測定装置を示している。
図1および図2に示すように、荷重測定装置10は、支持部材11と梁部材12と荷重部13と変位センサ14とを有している。
荷重測定装置10は、以下のようにして使用される。まず、荷重部13の先端に測定対象物が接触して、各板状脚部26の厚さ方向に力が加わると、梁部材12の各板状脚部26がたわんで、荷重部13が各板状脚部26の厚さ方向に移動する。このとき、各板状脚部26の荷重部13側の端部を、樹脂を使用して連結部25で剛に連結しているため、荷重部13が、変位前の各板状脚部26の厚さ方向に平行な状態を維持したまま移動する。これにより、荷重部13が測定対象物に対して回転運動を起こすのを防ぐことができ、荷重部13の変位量と荷重部13に加わった力とを線形関係に保つことができる。また、荷重部13と測定対象物の表面との間に摩擦が発生するのを防ぐこともできる。
Cant.-1は、市販の荷重センサ(測定範囲20mN、精度0.025mN)を用いて校正した。ピエゾステージ22によりカンチレバーの先端部に50μmまで1μmステップで強制変位(Piezo displacement)を与えたときに、静電容量センサで検出されたはりの反力(Force)を、図6に示す。50μmの変位に対して0.5mNの反力が生じたが、これは用いた静電容量センサの測定範囲の僅か2.5%である。得られたデータを最小二乗近似して得られた近似曲線の傾きは9.87μN/μmであった。ロードセルの剛性(stiffness)は167μN/μmであり、ロードセルの変形を考慮することでCant.-1の剛性はk1 = 10.5μN/μmと求まった。
Cant.-2の校正には、先に校正したCant.-1を用いる。Cant.-2を固定し、ピエゾステージ22に取り付けたCant.-1により先端部に負荷した。図8(a)に、ピエゾステージ22の変位(Piezo displacement)δPZTと静電容量センサ出力(CS output, ΔV)との関係を示す。両者には良い線形関係が認められる。Cant.-1により先端部に負荷した力F、Cant.-1の変位δ1、Cant.-2の変位δ2は、それぞれ(9)〜(11)式で与えられる。
11 支持部材
12 梁部材
13 荷重部
14 変位センサ
21 XYZステージ
22 ピエゾステージ
23 長さ調整ジグ
24 センサホルダ
25 連結部
26 板状脚部
27 チップ固定部
28 スロット
29 スペーサ
30 ナット
Claims (6)
- 細長く、一端に荷重部が設けられた梁部材と、
前記梁部材の前記荷重部より他端側で前記梁部材を支持する支持部材と、
前記荷重部の変位を測定可能に設けられた変位センサとを有し、
前記梁部材は、厚さ方向に間隔を開けて互いに平行に配置された細長い1対の板状脚部と、前記荷重部側の各板状脚部の端部を連結する連結部とを有し、細長い板状の部材の両端部を中央部に対して同じ方向に垂直に折り曲げることにより、中央部が連結部を成し、折り曲げられた両端部が各板状脚部を成すよう形成され、前記支持部材による支持位置と前記荷重部との距離を変更可能に、各板状脚部の長さ方向に沿ってスライドするよう前記支持部材に支持されており、
前記荷重部は針状のチップから成り、一方の板状脚部の表面から垂直に突出するよう前記梁部材の一端に固定され、
前記変位センサは前記荷重部の突出方向の変位を測定可能であることを、
特徴とする荷重測定装置。 - 前記変位センサは静電容量センサから成り、
測定可能な最大の力を10μNから0.1Nの範囲まで変更可能であり、人毛の曲げ試験に使用されることを、
特徴とする請求項1記載の荷重測定装置。 - 各板状脚部は細長い矩形状で、幅方向の中央部に長さ方向に沿って設けられた細長い穴から成るスロットを有し、
前記梁部材は各板状脚部の連結部側の端部に、1対の円形のチップ固定部を有し、一方のチップ固定部の中央に貫通孔が形成されており、
前記荷重部は前記貫通孔に貫通させて固定されていることを、
特徴とする請求項1または2記載の荷重測定装置。 - 前記梁部材は複数から成り、互いに剛性が異なっており、各梁部材の内、最も剛性が大きい梁部材を既存の荷重センサにより校正可能であり、校正された梁部材により前記変位センサを校正可能であり、さらに校正された梁部材および前記変位センサにより他の梁部材を校正可能であることを、特徴とする請求項1、2または3記載の荷重測定装置。
- 前記板状脚部の幅方向から、変位前後の前記荷重部を撮影可能に設けられた撮影手段を有することを、特徴とする請求項1、2、3または4記載の荷重測定装置。
- 前記梁部材は厚さ100μmのステンレス薄板からエッチングにより抜き出した部材から形成されており、
前記荷重部は直径20μmのタングステンワイヤの先端をFIB加工して成り、紫外光硬化性のポリエステル樹脂を用いて前記梁部材に固定されていることを、
特徴とする請求項1、2、3、4または5記載の荷重測定装置。
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