WO2010064588A1

WO2010064588A1 - 真空ポンプ

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Publication number: WO2010064588A1
Application number: PCT/JP2009/070070
Authority: WO
Inventors: 大須賀透; 中澤敏治; 大山敦; 飯島直樹
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 2008-12-02
Filing date: 2009-11-20
Publication date: 2010-06-10
Anticipated expiration: 2011-06-02
Also published as: JP2010133290A; JP5305870B2

Abstract

　真空ポンプは、直流モータの容量が２ＫＷ以下の小型で任意の場所で用意に真空を得ることができる。この真空ポンプは、ポンプケーシング（３３）内に一対のポンプロータ（３５）を備えた容積移送式のポンプ（Ｐ）と、該一対のポンプロータ（３５）を回転駆動する直流モータ（Ｍ）と、該直流モータ（Ｍ）を駆動するドライバ（７）及び制御部と、ポンプ（Ｐ）の運転によるポンプ作用により発生する圧縮熱、及び直流モータ（Ｍ）、ドライバ（７）、制御部から発生する熱を空冷により冷却する冷却部（１２，１４）を備えている。

Description

真空ポンプ

　本発明は、直流モータで駆動する一対のポンプロータをポンプケーシング内に備えた容積移送式の真空ポンプに関する。

　近年、大気圧から動作が可能で、クリーンな真空環境が容易に得られるドライ真空ポンプが、幅広い分野で使用されている。通常このような真空ポンプは、吸気側が締め切りに近い状態にて運転が行われるため、吸気口側と排気口側の差圧を維持する為に、動力を消費している。つまり、排気口側からポンプ内部に逆流する気体を排気し続けることにより、吸気口側の真空度を維持している。このため真空ポンプの運転に使用される消費動力のほとんどは排気口側にて熱に変換される。真空ポンプの容量にもよるが、上記発熱に対して、従来はケーシングに水冷ジャケット等を設け、該水冷ジャケット内を通る水に熱を放熱する対策が採られていた（特開平８−３１９９６７号公報参照）。
　例えば、真空ポンプとして、図１１に示すように、遮断機２、ノイズフィルタ３、整流器４、平滑コンデンサ５、及びＤＣ／ＤＣコンバータ６を具備する電源部１と、ドライバ７と、直流モータＭとポンプＰを備えた真空ポンプ本体を備えたものが知られている。この真空ポンプでは、遮断機２を投入（閉じる）することにより、交流電源（ＡＣ１００Ｖ／２００Ｖ）８の交流電力をノイズフィルタ３を通してノイズを除去し、整流器４で交流を直流（ＤＣ１４１Ｖ／２４８Ｖ）に変換し、更にＤＣ／ＤＣコンバータ６で定電圧としドライバ７に電力を供給している。ドライバ７は制御部（図示せず）の制御により所定の周波数のパルスを真空ポンプ本体１０の直流モータＭに供給して直流モータＭを起動し、これによってポンプＰを駆動する。
　上記ノイズフィルタ３、整流器４、平滑コンデンサ５、ＤＣ／ＤＣコンバータ６、ドライバ７及び制御部には発熱部があり、これらの発熱部からの熱も含め、真空ポンプ運転による発生する熱は主に水冷により放熱される。

　真空ポンプを水冷で冷却するには、冷却水を得るための冷却水設備が必要になり、使用者の負担が大きくなるばかりではなく、真空ポンプを使用する場所も制限され、任意の場所で容易に真空を得られないという問題がある。
　本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、冷却水設備が必要でなく、排気速度２０００Ｌ／ｍｉｎ以下、直流モータの容量が２ＫＷ以下の小型で任意の場所で容易に真空を得ることができる真空ポンプを提供することを目的とする。
　上記課題を解決するため本発明の真空ポンプは、ポンプケーシング内に一対のポンプロータを備えた容積移送式のポンプと、前記一対のポンプロータを回転駆動する直流モータと、前記直流モータを駆動するドライバ及び制御部と、前記ポンプの運転によるポンプ作用により発生する圧縮熱、及び前記直流モータ、ドライバ及び制御部から発生する熱を空冷により冷却する冷却部を備えている。
　本発明の好ましい一態様において、前記直流モータは、互いに同期して反転する一対のマグネットロータを備えたマグネットカップリング型ＤＣブラシレスモータであり、前記ポンプの一対のポンプロータは互いに噛み合って回転する一対の雄ロータ及び雌ロータを備えており、前記マグネットカップリング型ＤＣブラシレスモータの一対のマグネットロータは前記ポンプの一対のポンプロータにそれぞれに連結され、該一対のポンプロータがタイミングギアを使用せずに同期して反転するようになっている。
　本発明の好ましい一態様において、前記直流モータの容量は２ＫＷ以下であり、該直流モータに供給する電源部からの出力電圧を電源部のサイズが大きくならない範囲で高電圧としている。
　本発明の好ましい一態様において、前記直流モータに電力を供給する電源部には力率改善する力率改善部を具備されている。
　本発明の好ましい一態様において、前記ポンプ、直流モータ、ドライバ、及び制御部の発熱部から発する熱の少なくとも一部を放熱する放熱用ヒートシンクが備えられている。
　本発明の好ましい一態様において、前記放熱用ヒートシンクに前記ポンプ、直流モータ、ドライバ、及び制御部を搭載すると共に、前記放熱用ヒートシンクに流路板を設けて、冷却空気が通る空気流路を形成したポンプパッケージが構成され、ポンプパッケージの空気流路には冷却空気を導くファンが設けられている。
　本発明の好ましい一態様において、前記空気流路の上流側に発熱量が小さいものが位置し、下流側に発熱量が大きいものが位置するように、前記ポンプ、直流モータ、ドライバ、及び制御部が前記放熱用ヒートシンクに搭載されている。
　本発明の好ましい一態様において、前記ポンプパッケージは、前記空気流路に導く冷却空気の流入口及び流出口をポンプパッケージの後面及び前面に設けた構成であり、前記ポンプパッケージを複数台備え、該複数台のポンプパッケージはその側面を互いに隣接させて配置されている。
　本発明によれば、ポンプ作用により発生する圧縮熱、及び直流モータ、ドライバ、制御部から発生する熱を冷却部で冷却することで、ポンプ駆動用電源があれば、冷却水設備のない任意の場所で容易に真空を得ることができる真空ポンプを提供できる。
　直流モータとして、互いに同期して反転する一対のマグネットロータを備えたマグネットカップリング型ＤＣブラシレスモータを用い、一対のポンプロータとして、互いに噛み合って回転する一対の雄ロータ及び雌ロータを備えたポンプを用い、一対のポンプロータがタイミングギアを使用せずに同期して反転するようにすることで、機械的損失を低減させ、空冷手段で冷却するのに適した構成となる。
　直流モータに供給する電源部からの出力電圧を電源部のサイズが大きくならない範囲で高電圧とすることで、その分電流が小さくなり、発熱が低減し、空冷手段で冷却するのに更に適した構成となる。
　直流モータに電力を供給する電源部に力率改善する力率改善部を具備することで、力率が改善された分、ピーク電流が抑制できるため、ピーク電流による発熱が低減し、空冷手段で冷却するのに更に適した構成となる。
　放熱用ヒートシンクを備え、発熱部から発する熱を放熱用ヒートシンクにより放熱することで、効率よく放熱をすることができる。
　放熱用ヒートシンクにポンプ、直流モータ、ドライバ、及び制御部を搭載してポンプパッケージを構成し、ポンプパッケージの空気流路に冷却空気を導くファンを設けることで、更に効率よく放熱をすることができる。
　ポンプパッケージの空気流路の上流側に発熱量が小さいものが位置し、下流側に発熱量が大きいものが位置するように、ポンプ、直流モータ、ドライバ、及び制御部を前記放熱用ヒートシンクに搭載することで、冷却空気は温度の低い領域から高い領域に流れることになり、更に効率よく放熱をすることができる。
　ポンプパッケージの空気流路に導く冷却空気の流入口及び流出口をポンプパッケージの後面及び前面に設けた構成とすることで、ポンプパッケージの側面は冷却に殆ど寄与しない面となり、複数台のポンプパッケージをその側面を互いに隣接させて配置しても、冷却効率を低下することがないから、小さい設置面積に多くのポンプパッケージを設置することが可能となる。

　図１Ａは、本発明の実施形態に係る真空ポンプの概要を示す平面図、図１Ｂは、図１ＡのＡ−Ａ断面図で、図１Ｃは、図１Ａの左側面図である。
　図２Ａは、本発明の他の実施形態に係る真空ポンプの概要を示す平面図、図２Ｂは、図２ＡのＡ−Ａ断面図で、図２Ｃは、図２Ａの左側面図である。
　図３は、本発明の更に他の実施形態の係る真空ポンプの概要を示す側断面図（図１Ｂ相当図）である。
　図４は、本発明の実施形態に係る真空ポンプの電源部を示すブロック図である。
　図５は、本発明の実施形態に係る真空ポンプの他の電源部を示すブロック図である。
　図６は、本発明の実施形態に係る真空ポンプの更に他の電源部を示すブロック図である。
　図７は、真空ポンプにおけるモータ容量に対する（空冷部材体積）／（冷却熱量），（水冷構造部体積）／（冷却熱量）の関係を示すグラフである。
　図８Ａは、本発明の実施形態に係る真空ポンプの真空ポンプ本体を示す平断面図、図８Ｂは、図８ＡのＡ−Ａ断面図、図８Ｃは、図８ＡのＢ−Ｂ断面図で、図８Ｄは、図８Ｂのポンプケーシングを示す図である。
　図９は、本発明の実施形態に係る真空ポンプの直流モータを示す断面図である。
　図１０Ａは、本発明の実施形態に係る複数の真空ポンプを配置した状態を示す平面図で、図１０Ｂは、正面図である。
　図１１は、従来の真空ポンプの電源部を示すブロック図である。

　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、同一または相当する部材には同一符号を付して重複した説明を省略する。
　図１Ａは、本発明の実施形態に係る真空ポンプの概要を示す平面図、図１Ｂは図１ＡのＡ−Ａ断面図で、図１Ｃは図１Ａの左側面図である。図１Ａ乃至図１Ｃに示するように、本真空ポンプは、放熱用ヒートシンク１２を備え、該ヒートシンク１２の下面に流路板１３を取り付け、ヒートシンク１２のフィン１２ａとフィン１２ａの間及び流路板１３の両側屈曲部とフィン１２ａの間に冷却空気が通る空気流路１４を形成している。図１Ａにおいて、ヒートシンク１２の左側端を後端とし右側端を前端としたとき、ヒートシンク１２の上面には後端から順に電源部構成部品１５、ドライバ構成部品１６、及び真空ポンプ本体１０の直流モータＭ及びポンプＰが搭載されている。ヒートシンク１２のドライバ構成部品１６と直流モータＭが位置する間には空気流出用孔１８が形成されている。
　上記のようにヒートシンク１２の上面に電源部構成部品１５、ドライバ構成部品１６、直流モータＭ、及びポンプＰを搭載してポンプパッケージ２０が構成され、該ポンプパッケージ２０のヒートシンク１２のフィン１２ａとフィン１２ａの間及び流路板１３両側屈曲部とフィン１２ａの間に空気流路１４が形成されている。この空気流路１４に後端から矢印Ｂに示すように、冷却空気を流すと、該冷却空気は空気流路１４を通って流れると共に、ドライバ構成部品１６と直流モータＭの間に設けた空気流出用孔１８を通って上方へと流れる。電源部構成部品１５及びドライバ構成部品１６の発熱部で発生し、ヒートシンク１２の本体及びフィン１２ａとフィン１２ａに伝達された熱は、空気流路１４を通る冷却空気に効率良く放熱される。この例では、空気流路１４に冷却空気を強制的に導入する例を説明したが、自然対流によって冷却空気が空気流路１４内を流れるようにしてもよい。
　図２Ａは、本発明の他の実施形態に係る真空ポンプの概要を示す平面図、図２Ｂは図２ＡのＡ−Ａ断面図で、図２Ｃは図２Ａの左側面図である。本真空ポンプが図１に示す真空ポンプと異なる点は、ヒートシンク１２の前端に空気流路１４に冷却空気を導く手段としてファン２２を設けた点である。ファン２２を運転することにより、空気流路１４には矢印Ｂに示すように冷却空気が流れると共に、ヒートシンク１２のドライバ構成部品１６と直流モータＭの間に設けた空気流出用孔１８を通って上方へと流れ、更に直流モータＭ及びポンプＰの周囲を通って、ファン２２が設けられる空気排出口２３から流出する。この例では、空気流路１４の前端を前面パネル２４で閉鎖している。
　図５は、図１Ａ乃至図１Ｃまたは図２Ａ乃至図２Ｃに示す真空ポンプの電源部の構成を示すブロック図である。図５に示すように、真空ポンプの電源部には、整流器４の出力側に位置して力率改善回路（ＰＦＣ）２５が設けられている。電源部構成部品１５は力率改善回路（ＰＦＣ）２５を構成する部品であり、ドライバ構成部品１６はドライバ７を構成する部品である。それらは電流の流れを考慮した配置としている。ポンプの負荷条件によって異なる場合もあるが、この例において、電源部構成部品１５の発熱部の発熱量Ｈ_１５は、ドライバ構成部品１６の発熱部の発熱量Ｈ_１６より小さく、ドライバ構成部品１６の発熱部の発熱量Ｈ_１６は直流モータＭの発熱部の発熱量Ｈ_Ｍより小さく、更に直流モータＭの発熱部の発熱量Ｈ_ＭはポンプＰの発熱部の発熱量Ｈ_Ｐより小さくなっている（Ｈ_１５＜Ｈ_１６＜Ｈ_Ｍ＜Ｈ_Ｐ）。即ち、空気流路１４及び冷却空気流の上流側に発熱量の小さいものを、下流側に発熱量の大きいものを配置している。これにより、冷却空気は真空ポンプの温度の低い領域から高い領域に流れることになり、より効率良く放熱できる。
　交流電源（ＡＣ１００Ｖ／２００Ｖ）８の入力部の力率を改善することによりピーク電流を抑制できるため、ピーク電流による発熱を低減することができる。力率改善する方法としては、図５に示すように、整流器４の出力側に力率改善回路（ＰＦＣ）２５を設け、力率を改善する方法、又は図６に示すように、整流器４の出力側に直流リアクトル（ＤＣＬ）２６を設けて、力率を改善する方法がある。
　図４に示す真空ポンプの電源部では昇圧チョッパ又は倍電圧整流器２１を設けて、整流器４で整流された直流電圧を昇圧（ここではＤＣ３６０Ｖ）している。これにより、ドライバ７に供給するＤＣ電圧を高くし、その分電流を小さくしてドライバ７及び直流モータＭの発熱部での発熱量を抑えることができる。
　図３は、本発明の更に他の実施形態の係る真空ポンプの概要を示す側断面図（図１Ｂ相当図）である。本真空ポンプが図２Ａ乃至図２Ｃに示す真空ポンプと相異する点は、空気流路１４の前端を開放している点である。これにより、ファン２２を運転すると、矢印Ｃに示すように空気流路１４の前端開口から冷却空気が流入し、より冷却効率が向上する。
　図７は直流モータで駆動するポンプケーシング内に一対のポンプロータを備えた容積移送式のポンプを具備する真空ポンプのモータ容量に対する（空冷部材体積）／（冷却熱量），（水冷構造部体積）／（冷却熱量）の関係を示すグラフである。図７において、実線Ａは（空冷部材体積）／（冷却熱量）を、点線Ｂは（水冷構造部体積）／（冷却熱量）をそれぞれ示す。図７から明らかなように、モータ容量が約２０００（Ｗ）以下では冷却熱量に対する体積は空冷部材体積の方が水冷構造部体積より優れていることが分かる。よって容量が約２０００（Ｗ）以下のモータと一対のポンプロータを具備する容積移送式のポンプを備えた真空ポンプの冷却方式に空冷方式を採用し、その空冷部に上記の構成を採用することにより、優れた冷却効果を発揮できる。
　図８Ａは、真空ポンプ本体１０を示す平断面図、図８Ｂは図８ＡのＡ−Ａ断面図、図８Ｃは図８ＡのＢ−Ｂ断面図で、図８Ｄは図８Ｂのポンプケーシングを示す図である。図８Ａ乃至図８Ｃに示するように、真空ポンプ本体１０は、ポンプＰと直流モータＭから構成されている。ポンプＰのポンプケーシング３３は、吸気口３１と排気口３２を備え、ポンプケーシング３３の内部には２軸１組の一対のポンプロータ３５が回転自在に収容されるロータ収容空間３９が形成されている。該ロータ収容空間３９の横断面は両側が円弧状でポンプロータ３５の間に位置する部分に凸部４０が形成された形状である。ロータ収容空間３９に配置された各ポンプロータ３５は、その両端部を軸受３７及び軸受３８で回転自在に支承されている。
　直流モータＭはポンプケーシング３３の端部に取り付けたモータケーシング４１を備え、該ポンプケーシング４１内にモータステータ４２が配置されている。該モータステータ４２内には２本のモータロータ４３が回転自在に配置されるロータ収納空間４４が形成されている。各ポンプロータ３５の軸端には直流モータＭのモータロータ４３の端部が連結されている。直流モータＭは、後に詳述するように、２軸が同期して反転する２軸同期反転駆動モータである。該２軸同期反転駆動モータを起動することにより、ポンプＰの２軸１組のポンプロータ３５が同期して反転駆動される。
　上記のようにポンプＰの２軸１組のポンプロータ３５を同期して反転させることによって、ポンプロータ３５とポンプケーシング３３で囲まれた空間の気体が圧縮される。ポンプケーシング３３には、上記のように吸気口３１と排気口３２が設けられており、排気口３２が大気圧下にて吸気口を１０^−３~１０Ｔｏｒｒに排気することができる。
　図９はポンプＰの２軸１組のポンプロータ３５を同期して反転させる２軸同期反転駆動モータ、即ち直流モータＭを示す。図９に示するように、２軸同期反転駆動モータは、同一の構成を有する一対のマグネットロータ（モータロータ）４３，４３を具備し、ブラシレスＤＣモータとして２軸１組のポンプロータ３５，３５を反転駆動すると共に、マグネットカップリングによりポンプロータ３５，３５の同期反転を確保している。図９に示するように、各マグネットロータ４３は、磁性材のヨーク４３ｂの外周にリング形状のマグネット４３ａを周設している。この例では、マグネットロータ４３の外周上には着磁したマグネット４３ａが周設され、互いのマグネットロータ４３，４３の異磁極が引き合うように対向して、且つクリアランスＦを保って配置されている。なお、マグネットロータ４３の極数は４、６、８・・・などの偶数であり、ここでは６としている。
　ポンプロータ３５，３５は、マグネットロータ４３，４３のマグネットカップリング作用により、同期して反対方向に回転する。これにより、タイミングギアが無くても安定した２軸同期反転が可能なスクリューポンプが構成される。また、タイミングギアが無いことは、潤滑油が不要であると共に、２軸の安全な同期機構を含めた非接触回転が可能であり、スクリューポンプの高速運転が可能なことを意味している。即ち、タイミングギアを用いた接触式の同期機構では、６０００~７０００ｍｉｎ^−１の回転速度であるが６極のマグネットロータ４３，４３のマグネットカップリングを用いる１００００~３００００ｍｉｎ^−１の同期反転高速回転が安定してできるようになり、これにより真空ポンプを小型にしても、高い到達真空度等の排気性能の向上が達成できる。
　各マグネットロータ４３の外周面の一部に近接して、鉄心４２ａと巻線４２ｂから成る三相（Ｕ，Ｖ，Ｗ）のモータステータ４２が配置されている。三相のモータステータ４２はマグネットロータ４３どうしがマグネットカップリングする側とは回転軸に関して反対側に配置されている。これにより、マグネットロータ４３どうしが互いに吸引するマグネットカップリング力をマグネットロータ４３とモータステータの鉄心４２ａに作用する吸引力でキャンセルすることができる。また、三相のモータステータ磁極は、マグネットロータ４３の磁極数６極に対応し、図９の矢印Ｇ、Ｈに示すようにマグネットロータ４３の４極に磁界をかけるようにしている。三相の巻線４２ｂに所要の矩形パルス状波形の直流電流を供給することで、任意の回転数で２軸１組のポンプロータ３５を同期反転駆動することができる。
　上記構成のマグネットカップリング型ＤＣブラシレスモータである直流モータＭと、２軸１組の一対のポンプロータ３５を備えた容積移送式のポンプＰを備えた真空ポンプ本体１０を、図１Ａ乃至図１Ｃ、図２Ａ乃至図２Ｃまたは図３に示すように、ヒートシンク１２の上面の前端側（冷却空気流の下流側）に搭載し、更に電源部構成部品１５及びドライバ構成部品１６を後端側（冷却空気流の下流側）に搭載することにより、直流モータＭの発熱部からの発熱量が少ないから空冷でも十分冷却が可能となる。また、図４に示すように電源部１に昇圧チョッパ又は倍電圧整流器２１を設けドライバ７に供給する電圧を昇圧することによりその分電流が小さく、ドライバ７及び直流モータＭの発熱部からの発熱量が小さくなる。更に、図５に示すように力率改善回路（ＰＦＣ）２５を設けるか、または図６に示すように直流リアクトル（ＤＣＬ）２６を設けて、力率を改善することにより、ピーク電流を抑制しピーク電流により発熱部からの発熱量を小さくすることができる。
　図１０Ａは、例えば図１Ａ乃至図１Ｃに示すように構成された本発明の実施形態に係る真空ポンプＶＰを複数台（図では４台）配列した場合を示す平面図で、図１０Ｂは正面図である。各真空ポンプＶＰにおける冷却空気の流入及び排出は、真空ポンプＶＰの後端面（裏面）に設けた流入口及び前端面（正面）に設けた排出口を通して行われるので、真空ポンプＶＰの両側面は冷却に殆ど寄与しない面となる。従って、各真空ポンプＶＰの両側面は互いに接触するほど接近させて配置（サイドバイサイドの配置）することが可能となり、複数台の真空ポンプＶＰの設置の省力スペース化が可能となる。また、各真空ポンプＶＰは人力で搬送できる程、軽量且つ小型化ができるので、上面の所定位置に取っ手５０を取り付けることにより、容易に搬送し、配置することができる。
　以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。なお、直接明細書及び図面に記載がない何れの形状や構造であっても、本願発明の作用効果を奏する以上、本願発明の技術範囲である。

　本発明は、直流モータで駆動するポンプケーシング内に一対のポンプロータを備えた容積移送式の真空ポンプに利用可能である。

Claims

　ポンプケーシング内に一対のポンプロータを備えた容積移送式のポンプと、
　前記一対のポンプロータを回転駆動する直流モータと、
　前記直流モータを駆動するドライバ及び制御部と、
　前記ポンプの運転によるポンプ作用により発生する圧縮熱、及び前記直流モータ、ドライバ及び制御部から発生する熱を空冷により冷却する冷却部を備えたことを特徴とする真空ポンプ。
　請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
　前記直流モータは、互いに同期して反転する一対のマグネットロータを備えたマグネットカップリング型ＤＣブラシレスモータであり、
　前記ポンプの一対のポンプロータは互いに噛み合って回転する一対の雄ロータ及び雌ロータを備えており、
　前記マグネットカップリング型ＤＣブラシレスモータの一対のマグネットロータは前記ポンプの一対のポンプロータにそれぞれに連結され、該一対のポンプロータがタイミングギアを使用せずに同期して反転するようになっていることを特徴とする真空ポンプ。
　請求項１又は２に記載の真空ポンプにおいて、
　前記直流モータの容量は２ＫＷ以下で、該直流モータに供給する電源部からの出力電圧を電源部のサイズが大きくならない範囲で高電圧としたことを特徴とする真空ポンプ。
　請求項１乃至３のいずれか１項に記載の真空ポンプにおいて、
　前記直流モータに電力を供給する電源部に力率改善する力率改善部を具備したことを特徴とする真空ポンプ。
　請求項１乃至４のいずれか１項に記載の真空ポンプにおいて、
　前記ポンプ、直流モータ、ドライバ、及び制御部の発熱部から発する熱の少なくとも一部を放熱する放熱用ヒートシンクを備えたことを特徴とする真空ポンプ。
　請求項５に記載の真空ポンプにおいて、
　前記放熱用ヒートシンクに前記ポンプ、直流モータ、ドライバ、及び制御部を搭載すると共に、前記放熱用ヒートシンクに流路板を設けて、冷却空気が通る空気流路を形成したポンプパッケージを構成し、
　前記ポンプケーシングの空気流路に冷却空気を導くファンを設けたことを特徴とする真空ポンプ。
　請求項６に記載の真空ポンプにおいて、
　前記ポンプパッケージの空気流路の上流側に発熱量が小さいものが位置し、下流側に発熱量が大きいものが位置するように、前記ポンプ、直流モータ、ドライバ、及び制御部を前記放熱用ヒートシンクに搭載したことを特徴とする真空ポンプ。
　請求項６又は７に記載の真空ポンプにおいて、
　前記ポンプパッケージは、前記空気流路に導く冷却空気の流入口及び流出口をポンプパッケージの後面及び前面に設けた構成であり、
　前記ポンプパッケージを複数台備え、該複数台のポンプパッケージをその側面を互いに隣接させて配置したことを特徴とする真空ポンプ。