WO2010003665A1 - Streifenleitung mit durchkontaktierung - Google Patents

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substrate
ground
conductor
electrically conductive
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Frank Weiss
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Rosenberger Hochfrequenztechnik Gmbh & Co. Kg
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P3/00Waveguides; Transmission lines of the waveguide type
    • H01P3/02Waveguides; Transmission lines of the waveguide type with two longitudinal conductors
    • H01P3/08Microstrips; Strip lines
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P3/00Waveguides; Transmission lines of the waveguide type
    • H01P3/003Coplanar lines

Definitions

  • the present invention relates to a strip line for high-frequency signals having a signal conductor and at least one ground conductor, both of which are arranged on a substrate of an electrically insulating material, according to the preamble of claim 1.
  • the invention further relates to an attenuator according to the preamble of claim 15.
  • the invention further relates to a terminating resistor according to the preamble of claim 16.
  • stripline in particular so-called "suspended" striplines, are used.
  • counteracting parameters are to be optimized.
  • Substrate on which the strip line is formed geometrically designed to be as small as possible, since at frequencies whose wavelength of the geometric
  • a maximum thermal load that can accommodate the stripline and substrate structure is correspondingly limited by the geometrical dimensions of the substrate, so that only limited electrical power is available across the substrate Attenuator and the terminator can be transmitted. At higher powers, the entire structure would be thermally damaged or destroyed. For higher powers, a larger geometric dimension, for example, of the substrate would be desirable, but this immediately leads to a lowering of the cutoff frequency, to which the structure with the desired electrical properties can be operated.
  • the invention is based on the object, a stripline, an attenuator or a terminating resistor of the o.g. Art to be improved so that at high cutoff frequency, a high electrical power can be transmitted simultaneously.
  • At least one bore is formed, which is at least partially filled with an electrically conductive material, wherein an electrically conductive connection is formed by at least one ground conductor to the electrically conductive material.
  • a plurality of bores spaced apart along at least one ground line, in particular two ground lines on both sides of the signal conductor, are formed in the longitudinal direction of the strip line.
  • a particularly good electrical efficiency with respect to the displacement of waveguide modes to higher frequencies is achieved by the fact that the bore is completely filled with the electrically conductive material.
  • the bore is formed as a through hole guided through the substrate through hole.
  • two or more holes are formed parallel to each other.
  • three or more bores are formed uniformly spaced along at least one ground line.
  • the stripline is designed as a coplanar stripline.
  • the coplanar strip line for example, a signal conductor, which is arranged between two ground conductors, wherein along both ground conductors over the entire length of spaced bores are formed.
  • a floating strip line (suspended strip) is available in that the provided with the coplanar stripline substrate in a tubular outer conductor part of an electrically conductive material such is arranged, that the ground lines are electrically connected to the outer conductor part and the signal conductor is arranged at least approximately coaxial with the tubular outer conductor part.
  • the stripline has a signal conductor on one side of the substrate and a ground conductor on the opposite side of the substrate.
  • the ground conductor is formed, for example, as a flat, in particular full-surface, coating of the substrate with an electrically conductive material.
  • the strip line is arranged on one side of the substrate, and it is formed on one of these opposite side of the substrate, a flat, in particular full-surface, coating the substrate with an electrically conductive material, wherein the material in at least one bore additionally electrically conductively connected to the coating.
  • a plurality of bores are arranged in at least two spaced-apart planes, wherein on both sides of the signal conductor in each case at least one plane intersects the substrate spaced from the signal conductor.
  • the electrically effective width of the substrate is limited to a region between the two planes, whereas the entire substrate remains effective for dissipating thermal energy.
  • FIG. 2 shows a second preferred embodiment of a stripline according to the invention in a plan view
  • Fig. 3 shows a third preferred embodiment of a strip line according to the invention in sectional view
  • FIG. 4 shows a preferred embodiment of an attenuator according to the invention with a stripline according to FIG. 3.
  • a strip line for high-frequency signals comprises a signal conductor 10 and a ground conductor 12, both of which are arranged on a substrate 14 made of an electrically insulating material.
  • the signal conductor 10 is arranged on a first side 16 of the substrate 14 and the ground conductor 12 on an opposite second side 18 of the substrate 14.
  • the ground conductor 12 is formed on the second side 18 of the substrate 14 as a planar metallization.
  • through holes 20 are formed in the substrate, which are completely filled with an electrically conductive material 22 which is electrically connected to the ground conductor 12.
  • each a number of spaced-apart holes 20 are formed, so that viewed in the longitudinal direction of the strip line a predetermined length of the signal conductor 10 is enclosed by the two-sided holes 20.
  • the holes 20 of each side are each located on a plane 24, 26 in space, with the two planes 24, 26 intersecting the substrate 14 on opposite sides of the signal conductor 10.
  • the planes 24, 26 are aligned parallel to a longitudinal axis of the signal conductor 10 and perpendicular to the parallel sides 16, 18 of the substrate 14.
  • the filled holes 20 an electrically effective width of the substrate 14 is limited to the area between the planes 24, 26, so that only in this area waveguide modes can be excited.
  • the waveguide modes are shifted to higher frequencies.
  • the portions of the substrate 14 projecting laterally beyond the planes 24, 26 with the filled bores 20 retain their thermal properties, so that these portions contribute to the dissipation of thermal energy.
  • the strip line corresponding to the large dimensions of the substrate 14 in the lateral direction 28 dissipate much thermal energy, without resulting in unwanted waveguide modes corresponding to the entire width of the substrate 14 in the lateral direction.
  • FIG. 2 shows a second preferred embodiment of a stripline according to the invention in the form of a coplanar line, in which a signal conductor 10 is arranged between two ground lines 12.
  • Signal conductor 10 and ground lines 12 are arranged on the first side 16 of the substrate 14 and thus in a common plane spanned by the first side 16.
  • the two planes 24 and 26 with the holes 20 are arranged on both sides of the signal conductor 10 and each extending parallel to a longitudinal axis of the ground conductor and the center of the ground conductor 12 and perpendicular to the plane spanned by the first side 16 level.
  • FIG. 3 shows a third preferred embodiment of a stripline according to the invention in the form of a "floating" stripline (suspended strip).
  • This suspended strip has a coplanar line, as shown in FIG. 2, and a cylindrical outer conductor part 30, wherein the substrate 14 is held in inner, radial recesses 32 of the outer conductor part 30 such that the signal conductor 10 extends approximately coaxially with the outer conductor part 30.
  • the outer conductor part 30 is made of an electrically conductive material and is electrically connected to the ground conductors 12.
  • the arranged with respect to the signal conductor 10 on both sides in the planes 24, 26 rows of filled holes 20 form a kind of grid, which limits the electrically effective expansion of the substrate 14 in the lateral direction 28.
  • FIG. 4 shows an attenuator which has a stripline according to the invention according to FIG. 2.
  • the signal conductor 10 is replaced by an electrical resistance structure 36, which is electrically connected to the signal conductor 10 and the two-sided grounding conductors 12.
  • Energy is dissipated via this resistance structure 36 and the signal propagating via the stripline is attenuated with regard to the signal strength.
  • a typical attenuation factor is 20 dB or 30 dB.
  • this attenuator can be used as a termination resistor.
  • the power is dissipated gradually in this terminating resistor of the resistor structure 36.
  • This arrangement serves as a calibration standard "LOAD", for example.
  • the excitation of waveguide modes over the entire cross section of the substrate 14 is avoided by the holes 20 forming a grid in the planes 24, 26.
  • the filled holes 20 are located in the region of the ground lines 12.
  • the filled holes 20 are arranged in the longitudinal direction 34 along the ground conductor 12 from each other evenly spaced.

Landscapes

  • Non-Reversible Transmitting Devices (AREA)
  • Waveguides (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)
  • Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Streifenleitung für Hochfrequenzsignale mit einem Signalleiter (10) und wenigstens einem Masseleiter (12), die beide auf einem Substrat (14) aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff angeordnet sind. Erfindungsgemäß ist in dem Substrat (14) wenigstens eine Bohrung (20) ausgebildet, wobei diese Bohrung (20) mit einem elektrisch leitenden Werkstoff (22) wenigstens teilweise gefüllt ist, wobei eine elektrisch leitende Verbindung von wenigstens einem Masseleiter (12) zu dem elektrisch leitenden Werkstoff (22) ausgebildet ist.

Description

Streifenleitunq mit Durchkontaktierunq
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Streifenleitung für Hochfrequenzsignale mit einem Signalleiter und wenigstens einem Masseleiter, die beide auf einem Substrat aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff angeordnet sind, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Die Erfindung betrifft ferner ein Dämpfungsglied gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 15. Die Erfindung betrifft ferner einen Abschlusswiderstand gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 16.
Bei hoch präzisen Dämpfungsgliedern und Abschlusswiderständen, beispielsweise zum Kalibrieren von Vektornetzwerkanalysatoren, werden Streifenleitungen, insbesondere so genannte "schwebende" Streifenleitungen (Suspended Strip), verwendet. Hierbei sind bei der Dimensionierung der Streifenleitung gegenläufig wirkende Parameter zu optimieren. Einerseits sollen die Streifenleitung und das
Substrat, auf dem die Streifenleitung ausgebildet ist, geometrisch möglichst klein ausgebildet sein, da bei Frequenzen, deren Wellenlänge der geometrischen
Abmessungen der Struktur, insbesondere des Substrates, entspricht oder kleiner sind, Hohlleitermoden angeregt werden, die zu unerwünschten elektrischen
Eigenschaften hinsichtlich der Impedanzanpassung führen. Andererseits ist eine maximale thermische Last, die die Struktur aus Streifenleitung und Substrat aufnehmen kann, durch die geometrischen Abmessungen des Substrates entsprechend begrenzt, so dass nur eine begrenzte elektrische Leistung über das Dämpfungsglied und den Abschlusswiderstand übertragen werden kann. Bei höheren Leistungen würde die gesamte Struktur thermisch beschädigt bzw. zerstört werden. Für höhere Leistungen wäre eine größere geometrische Abmessung beispielsweise des Substrates wünschenswert, jedoch führt dies sofort zu einem Absinken der Grenzfrequenz, bis zu der die Struktur mit den gewünschten elektrischen Eigenschaften betrieben werden kann.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Streifenleitung, ein Dämpfungsglied bzw. einen Abschlusswiderstand der o.g. Art dahingehend zu verbessern, dass bei hoher Grenzfrequenz gleichzeitig eine hohe elektrische Leistung übertragen werden kann.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Streifenleitung der o.g. Art mit den in Anspruch 1 gekennzeichneten Merkmalen, durch ein Dämpfungsglied der o.g. Art mit den in Anspruch 15 gekennzeichneten Merkmalen und durch einen Abschlusswiderstand der o.g. Art mit den in Anspruch 16 gekennzeichneten Merkmalen gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den weiteren Ansprüchen beschrieben.
Bei einer Streifenleitung der o.g. Art ist es erfindungsgemäß vorgesehen, dass in dem Substrat wenigstens eine Bohrung ausgebildet ist, die mit einem elektrisch leitenden Werkstoff wenigstens teilweise gefüllt ist, wobei eine elektrisch leitende Verbindung von wenigstens einem Masseleiter zu dem elektrisch leitenden Werkstoff ausgebildet ist.
Dies hat den Vorteil, dass Hohlleitermoden der gesamten, die Streifen leitung ausbildenden Struktur zu höheren Frequenzen hin verschoben sind, so dass für die Übertragung von hohen HF-Leistungen geometrisch große Substrate verwendet werden können, die auch noch bei solchen Frequenzen gute elektrische Eigenschaften in Bezug auf Impedanzanpassung bzw. Reflexionsfaktoren bzw. Dämpfung aufweisen, bei denen die Wellenlänge gleich oder deutlich kleiner ist als die geometrischen Abmessungen des Substrates. Erfindungsgemäß können Leistungsdämpfungsglieder oder Abschlusswiderstände für hohe Verlustleistungen zu Verfügung gestellt werden, die gleichzeitig eine hohe obere Grenzfrequenz bzgl. einer vorbestimmten Dämpfung der übertragenen HF-Signale aufweisen, so dass Störmoden auch bei hohen Frequenzen unterdrückt sind.
In einer bevorzugten Ausführungsform sind in Längsrichtung der Streifenleitung mehrere Bohrungen voneinander beabstandet entlang wenigstens einer Masseleitung, insbesondere zweier Masseleitungen beidseits des Signalleiters, ausgebildet.
Eine besonders gute elektrische Wirksamkeit hinsichtlich der Verschiebung von Hohlleitermoden zu höheren Frequenzen erzielt man dadurch, dass die Bohrung vollständig mit dem elektrisch leitenden Werkstoff gefüllt ist.
Vorzugsweise ist die Bohrung als vollständig durch das Substrat hindurch geführte Durchgangsbohrung ausgebildet.
Zweckmäßigerweise sind zwei oder mehr Bohrungen parallel zueinander ausgebildet.
In einer bevorzugten Ausführungsform sind entlang wenigstens einer Masseleitung drei oder mehr Bohrungen gleichmäßig voneinander beabstandet ausgebildet.
In einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist die Streifenleitung als koplanare Streifenleitung ausgebildet. Hierbei weist die koplanare Streifenleitung beispielsweise einen Signalleiter auf, welcher zwischen zwei Masseleitern angeordnet ist, wobei entlang beider Masseleiter über deren gesamte Länge voneinander beabstandete Bohrungen ausgebildet sind.
Eine schwebende Streifenleitung (Suspended Strip) steht dadurch zur Verfügung, dass das mit der koplanaren Streifenleitung versehene Substrat in einem rohrförmigen Außen leiterteil aus einem elektrisch leitenden Werkstoff derart angeordnet ist, dass die Masseleitungen elektrisch mit dem Außenleiterteil verbunden sind und der Signalleiter wenigsten annähernd koaxial zum rohrförmigen Außenleiterteil angeordnet ist.
Zweckmäßigerweise sind zum Halten des Substrates innerhalb des Außenleiterteils an einer Innenwandung des Außenleiterteils gegenüberliegende radiale Nuten ausgebildet, in die das Substrat eingreift.
In einer alternativen, besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist die Streifenleitung einen Signalleiter auf einer Seite des Substrats und einen Masseleiter auf der gegenüberliegenden Seite des Substrats auf. Hierbei ist der Masseleiter beispielsweise als flächige, insbesondere vollflächige, Beschichtung des Substrats mit einem elektrisch leitenden Werkstoff ausgebildet.
In einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Streifenleitung auf einer Seite des Substrats angeordnet, und es ist an einer dieser gegenüberliegenden Seite des Substrats eine flächige, insbesondere vollflächige, Beschichtung des Substrats mit einem elektrisch leitenden Werkstoff ausgebildet, wobei der Werkstoff in wenigstens einer Bohrung zusätzlich mit der Beschichtung elektrisch leitend verbunden ist.
Zweckmäßigerweise sind mehrere Bohrungen in wenigstens zwei voneinander beabstandeten Ebenen angeordnet, wobei beidseits des Signalleiters jeweils wenigstens eine Ebene das Substrat beabstandet vom Signalleiter schneidet. Die elektrisch wirksame Breite des Substrates wird auf einen Bereich zwischen den beiden Ebenen begrenzt, wohingegen das gesamte Substrat zur Ableitung thermischer Energie wirksam bleibt.
Die Erfindung wird im Folgenden anhand der Zeichnung näher erläutert. Diese zeigt in: Fig. 1 eine erste bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Streifenleitung in Schnittansicht,
Fig. 2 eine zweite bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Streifenleitung in Aufsicht,
Fig. 3 eine dritte bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Streifenleitung in Schnittansicht und
Fig. 4 eine bevorzugte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Dämpfungsgliedes mit einer Streifenleitung gemäß Fig. 3.
Die in Fig. 1 dargestellte, bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Streifenleitung für Hochfrequenzsignale umfasst einen Signalleiter 10 und einen Masseleiter 12, die beide auf einem Substrat 14 aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff angeordnet sind. Hierbei ist der Signalleiter 10 auf einer ersten Seite 16 des Substrates 14 und der Masseleiter 12 auf einer gegenüberliegenden zweiten Seite 18 des Substrates 14 angeordnet. Der Masseleiter 12 ist auf der zweiten Seite 18 des Substrates 14 als flächige Metallisierung ausgebildet. Erfindungsgemäß sind in dem Substrat 14 Durchgangsbohrungen 20 ausgebildet, die vollständig mit einem elektrisch leitenden Werkstoff 22 gefüllt sind, der elektrisch mit dem Masseleiter 12 verbunden ist. Hierbei sind beidseits des Signalleiters 10 jeweils eine Reihe voneinander beabstandeter Bohrungen 20 ausgebildet, so dass in Längsrichtung der Streifenleitung gesehen eine vorbestimmte Länge des Signalleiters 10 von den beidseitigen Bohrungen 20 eingeschlossen ist. Die Bohrungen 20 jeder Seite befinden sich jeweils auf einer Ebene 24, 26 im Raum, wobei die beiden Ebenen 24, 26 das Substrat 14 an gegenüberliegenden Seiten des Signalleiters 10 schneiden. In der dargestellten Ausführungsform sind die Ebenen 24, 26 parallel zu einer Längsachse des Signalleiters 10 und senkrecht zu den parallelen Seiten 16, 18 des Substrates 14 ausgerichtet. Durch die gefüllten Bohrungen 20 ist eine elektrisch wirksame Breite des Substrates 14 auf den Bereich zwischen den Ebenen 24, 26 beschränkt, so dass nur in diesem Bereich Hohlleitermoden angeregt werden können. Dementsprechend sind die Hohlleitermoden zu höheren Frequenzen verschoben. Gleichzeitig behalten jedoch die seitlich über die Ebenen 24, 26 mit den gefüllten Bohrungen 20 hinaus stehenden Abschnitte des Substrates 14 ihre thermischen Eigenschaften bei, so dass diese Abschnitte zum Ableiten von thermischer Energie beitragen. Auf diese Weise kann die Streifenleitung entsprechend der großen Dimensionierung des Substrates 14 in lateraler Richtung 28 viel thermische Energie ableiten, ohne dass sich unerwünschte Hohlleitermoden entsprechend der gesamten Breite des Substrates 14 in lateraler Richtung ergeben.
Fig. 2 zeigt eine zweite bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Streifenleitung in Form einer Koplanarleitung, bei der ein Signalleiter 10 zwischen zwei Masseleitungen 12 angeordnet ist. Signalleiter 10 und Masseleitungen 12 sind auf der ersten Seite 16 des Substrates 14 und damit in einer gemeinsamen, von der ersten Seite 16 aufgespannten Ebene angeordnet. Die beiden Ebenen 24 und 26 mit den Bohrungen 20 sind beidseits des Signalleiters 10 angeordnet und verlaufen jeweils parallel zu einer Längsachse der Masseleiter und mittig der Masseleiter 12 sowie senkrecht zur von der ersten Seite 16 aufgespannten Ebene.
Fig. 3 zeigt eine dritte bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Streifenleitung in Form einer "schwebenden" Streifenleitung (Suspended Strip). Dieser Suspended Strip weist eine Koplanarleitung, wie in Fig. 2 dargestellt, und ein zylinderförmiges Außenleiterteil 30 auf, wobei das Substrat 14 in innenseitigen, radialen Ausnehmungen 32 des Außenleiterteil 30 derart gehalten ist, dass der Signalleiter 10 annähernd koaxial zum Außenleiterteil 30 verläuft. Das Außenleiterteil 30 ist aus einem elektrisch leitenden Werkstoff hergestellt und ist elektrisch mit den Masseleitern 12 verbunden. Die bezüglich des Signalleiters 10 beidseitig in den Ebenen 24, 26 angeordneten Reihen von gefüllten Bohrungen 20 bilden eine Art Gitter, welches die elektrisch wirksame Ausdehnung des Substrates 14 in lateraler Richtung 28 begrenzt. Die in lateraler Richtung 28 über die Ebenen 24, 26 hinaus stehenden Abschnitte des Substrates 14 bleiben jedoch thermisch wirksam, so dass hohe elektrische Leistungen über diese Streifenleitung gemäß Fig. 3 auch bis nahe an deren Grenzfrequenz, wie beispielsweise 15 GHz bis 30 GHz, insbesondere 18 GHz oder 26,5 GHz1 übertragen werden können.
Fig. 4 zeigt ein Dämpfungsglied, welches eine erfindungsgemäße Streifenleitung gemäß Fig. 2 aufweist. Hierbei ist über eine vorbestimmte Länge in Längsrichtung 34 der Streifenleitung der Signalleiter 10 durch eine elektrische Widerstandsstruktur 36 ersetzt, welche elektrisch mit dem Signalleiter 10 und den beidseitigen Masseleitern 12 verbunden ist. Über diese Widerstandsstruktur 36 wird Energie abgebaut und das über die Streifenleitung laufende Signal hinsichtlich der Signalstärke gedämpft. Ein typischer Dämpfungsfaktor liegt beispielsweise bei 20 dB oder 30 dB. Bei hohen Dämpfungswerten von beispielsweise 30 oder 40 dB kann dieses Dämpfungsglied als ein Abschlusswiderstand verwendet werden. Die Leistung wird in diesem Abschlusswiderstand stufenweise von der Widerstandsstruktur 36 abgebaut. Diese Anordnung dient beispielsweise als Kalibrierstandard "LOAD".
Bei allen zuvor beschriebenen Ausführungsformen wird durch die ein Gitter ausbildenden Bohrungen 20 in den Ebenen 24, 26 die Anregung von Hohlleitermoden über den gesamten Querschnitt des Substrates 14 vermieden. Die gefüllten Bohrungen 20 befinden sich im Bereich der Masseleitungen 12. Die gefüllten Bohrungen 20 sind in Längsrichtung 34 entlang der Masseleiter 12 voneinander gleichmäßig beabstandet angeordnet.

Claims

Patentansprüche:
1. Streifenleitung für Hochfrequenzsignale mit einem Signalleiter (10) und wenigstens einem Masseleiter (12), die beide auf einem Substrat (14) aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff angeordnet sind, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass in dem Substrat (14) wenigstens eine Bohrung (20) ausgebildet ist, die mit einem elektrisch leitenden Werkstoff (22) wenigstens teilweise gefüllt ist, wobei eine elektrisch leitende Verbindung von wenigstens einem Masseleiter (12) zu dem elektrisch leitenden Werkstoff (22) ausgebildet ist.
2. Streifenleitung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass in Längsrichtung der Streifenleitung mehrere Bohrungen voneinander beabstandet entlang wenigstens einer Masseleitung ausgebildet sind.
3. Streifen leitung nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bohrung (20) vollständig mit dem elektrisch leitenden Werkstoff (22) gefüllt ist.
4. Streifenleitung nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bohrung (20) als vollständig durch das
Substrat (14) hindurch geführte Durchgangsbohrung ausgebildet ist.
5. Streifenleitung nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwei oder mehr Bohrungen (20) parallel zueinander ausgebildet sind.
6. Streifenleitung nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass entlang wenigstens einer Masseleitung (12) drei oder mehr Bohrungen (20) gleichmäßig voneinander beabstandet ausgebildet sind.
7. Streifenleitung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Streifenleitung als koplanare Streifenleitung ausgebildet ist.
8. Streifenleitung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die koplanare Streifenleitung einen Signalleiter (10) aufweist, welcher zwischen zwei Masseleitern (12) angeordnet ist, wobei entlang beider Masseleiter (12) über deren gesamte Länge voneinander beabstandete Bohrungen (20) ausgebildet sind.
9. Streifenleitung nach wenigstens einem der Ansprüche 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass das mit der koplanaren Streifenleitung versehene Substrat (14) in einem rohrförmigen Außenleiterteil (30) aus einem elekt- risch leitenden Werkstoff derart angeordnet ist, dass die Masseleitungen
(12) elektrisch mit dem Außenleiterteil (30) verbunden sind und der Signalleiter (10) wenigstens annähernd koaxial zum rohrförmigen Außenleiterteil (30) angeordnet ist.
10. Streifenleitung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass an einer Innenwandung des Außenleiterteils (30) gegenüberliegende, radiale Nuten (32) ausgebildet sind, in die das Substrat (14) eingreift.
11. Streifenleitung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Streifenleitung einen Signalleiter (10) auf einer
Seite (16) des Substrats (14) und einen Masseleiter (12) auf der gegenüberliegenden Seite (18) des Substrats (14) aufweist.
12. Streifenleitung nach Anspruch 11 , dadurch gekennzeichnet, dass der Masseleiter (12) als flächige, insbesondere vollflächige, Beschichtung des
Substrats (14) mit einem elektrisch leitenden Werkstoff ausgebildet ist.
13. Streifenleitung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Streifenleitung (10, 12) auf einer Seite (16) des Substrats (14) angeordnet ist und an einer dieser gegenüberliegenden Seite (18) des Substrats (14) eine flächige, insbesondere vollflächige, Be- schichtung des Substrats (14) mit einem elektrisch leitenden Werkstoff ausgebildet ist, wobei der Werkstoff in wenigstens einer Bohrung (20) mit der Beschichtung elektrisch leitend verbunden ist.
14. Streifenleitung nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Bohrungen (20) in wenigstens zwei voneinander beabstandeten Ebenen (24, 26) angeordnet sind, wobei beidseits des Signalleiters (10) jeweils wenigstens eine Ebene (24, 26) das
Substrat (14) beabstandet vom Signalleiter (10) schneidet.
15. Leistungsdämpfungsglied für eine HF-Signalleitung, dad u rch geken nzeichnet, dass das Leistungsdämpfungsglied eine Streifenleitung aufweist, die gemäß einem der Ansprüche 1 bis 14 ausgebildet ist.
16. Abschlusswiderstand für eine HF-Signalleitung, dadurch gekennzeichnet, dass der Abschlusswiderstand eine Streifenleitung aufweist, die gemäß einem der Ansprüche 1 bis 14 ausgebildet ist.
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