WO2009093882A2 - 쉐도우 마스크 및 이를 이용한 코팅 방법 - Google Patents

쉐도우 마스크 및 이를 이용한 코팅 방법 Download PDF

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WO2009093882A2
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mask
coating
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Choong Hoon Yi
Sun Mi Lee
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Modistech Co., Ltd.
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00—Electroluminescent light sources
    • H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Definitions

  • the present invention is directed to a mask for selectively forming a coating film.
  • an organic light emitting device manufactured by using a shadow mask, when charge is injected into an organic electroluminescent layer provided between a hole injection electrode (anode) and an electron injection electrode (cathode), electrons and holes are paired and then extinguished to emit light.
  • the light emitting device has an advantage of being able to be driven at a voltage of about 10V lower than that of an inorganic electroluminescent device or a plasma display panel (PDP).
  • the organic light emitting device is attracting attention as a next-generation flat panel display because it is thin, light, and has good color, and may be formed on a flexible substrate such as a plastic film.
  • Organic light emitting devices are classified into low molecular materials and high molecular materials, and low molecular methods are mainly deposition methods using metal shadow masks, and polymer methods are printing methods.
  • FIG. 1 is a schematic view for describing a shadow mask according to the related art, and the conventional shadow mask 11a is made of metal and forms a single open mask or a plurality of mask patterned openings 12.
  • the metal shadow mask 11a is fixed to the frame 10 to uniformly apply tensile force, thereby minimizing sagging due to weight.
  • the center portion is convexly curved, and deformation of the mask occurs.
  • FIG. 2 is a schematic view for explaining another shadow mask according to the prior art, which uses the divided pattern mask 15 in the frame assembly 13 to minimize the mask deflection and the opening 16 of the pattern. ) Deformation can be prevented, but problems of gap and tightness between the pattern masks 15 still remain.
  • This invention solves the subject which can prevent sagging of a mask.
  • An object of the present invention is to provide a shadow mask and a coating method using the same because the shadow mask can be placed in close contact with a substrate to be masked.
  • an object of the present invention is to provide a shadow mask and a coating method using the same because a shadow mask is attached to a substrate to be masked, thereby enabling a precise pattern without a shadow effect.
  • an object of the present invention is to provide a shadow mask and a coating method using the same, in which the shadow mask of the present invention is provided with alignment keys.
  • an object of the present invention is to provide a shadow mask and a coating method using the same, which can reduce the process time and manufacturing process cost since the coating process can be performed continuously by implementing a shadow mask with a plurality of laminated mask films. .
  • the shadow mask of the present invention has a plurality of film masks are configured in the form of a roll, it is an object to provide a shadow mask and a coating method using the same easy to replace the film mask as the roll moves.
  • a first preferred aspect for achieving the above objects of the present invention is
  • a shadow mask is provided in which an alignment key formed on a substrate for masking and an alignment key that can be aligned with each other are formed.
  • a second preferred aspect for achieving the above objects of the present invention is
  • a shadow mask each of which has openings formed therein, and which is composed of a plurality of film masks stacked so that the openings communicate.
  • a third preferred aspect for achieving the above objects of the present invention is
  • a coating method using a shadow mask configured to form a coating film on the substrate exposed to the opening of the shadow mask.
  • a fourth preferred aspect for achieving the above objects of the present invention is
  • a shadow mask made up of a plurality of film masks stacked so that the openings communicate with each other, and being placed in close contact with the upper portion of the substrate;
  • Removing the film mask closest to the substrate, to provide a coating method using a shadow mask comprising the step of leaving a coating film laminated first to third coating film on the substrate.
  • the shadow mask can be placed in close contact with the substrate to be masked, thereby preventing sagging of the mask, and since the shadow mask is attached to the substrate to be masked, it is possible to realize a precise pattern without a shadow effect. There is.
  • the shadow mask of the present invention has an effect that the alignment key is formed to reduce the existing shadow mask alignment time.
  • the present invention has the effect of reducing the process time and manufacturing process cost because it is possible to implement the coating process by implementing a shadow mask with a plurality of laminated mask film continuously.
  • the shadow mask of the present invention since the plurality of film masks are configured in the form of a roll, there is an effect that the film mask can be easily replaced as the roll moves.
  • FIG. 1 is a schematic view for explaining a shadow mask according to the prior art
  • FIG. 2 is a schematic view for explaining another shadow mask according to the prior art
  • 3 and 4 is a schematic diagram for explaining a shadow mask according to the present invention
  • 5 to 8 is a schematic cross-sectional view for explaining a coating method using a shadow mask according to the present invention
  • 9 to 11 are schematic perspective views illustrating a state in which films of the shadow mask of FIG. 5 are removed.
  • FIG. 12 is a schematic perspective view illustrating another shadow mask and a coating method using the shadow mask according to the present invention.
  • 3 and 4 is a schematic view for explaining a shadow mask according to the present invention
  • the shadow mask according to the present invention is made of a film
  • the alignment key formed on the substrate for masking and the alignment key that can be aligned with the position is formed It is characterized by that.
  • the alignment keys (200a, 200b, 200c, 200d) formed on the shadow mask 200 of the present invention overlaps with the alignment keys (100a, 100b, 100c) formed on the substrate 100
  • the substrate 100 and the shadow mask 200 are in close contact with each other without a space.
  • the shadow mask 200 of the present invention includes the structure of FIG. 3 having one opening 210 or the structure of FIG. 4 with the plurality of openings 220 patterned, and the shape of the opening may be any shape. It's okay.
  • the shadow mask of the present invention can be placed in close contact with the substrate to be masked, there is an advantage that can solve the conventional problem of the deflection of the mask.
  • the present invention since the shadow mask is attached to the substrate to be masked, the present invention has an advantage of realizing a precise pattern without a shadow effect.
  • the shadow mask of the present invention has an advantage that the alignment key is formed to reduce the existing shadow mask alignment time.
  • the shadow mask of the present invention is preferably used as a mask after adhered to the substrate to be masked.
  • FIGS. 3 and 4 are schematic cross-sectional views for explaining a coating method using a shadow mask according to the present invention.
  • the shadow mask made of a film as shown in FIGS. 3 and 4 and having an alignment key is described above.
  • the alignment key of the shadow mask is aligned with the alignment key of the substrate, and then a coating layer is formed on the substrate exposed to the opening of the shadow mask. There is a way to form.
  • the shadow mask of the present invention may be formed of a plurality of film masks each having openings formed as shown in FIG. 5 and stacked so that the openings communicate with each other.
  • the shadow mask 300 composed of a plurality of film masks (310, 320, 330) is placed in close contact with the upper portion of the substrate 100 as shown in FIG.
  • the widths d1, d2, and d3 of the openings 311, 321, and 331 of the plurality of film masks 310, 320, and 330 may be wider as they approach the substrate 100.
  • the width d3 of the opening 331 of the film mask 330 that is closest to the substrate 100 is equal to the opening 321 of the film mask 320 stacked on the film mask 330. It is wider than the width d2 and the width d2 of the opening 321 of the film mask 320 is greater than the width d1 of the opening 311 of the film mask 310 stacked on the film 320. wide.
  • the widths d1, d2, and d3 of the openings 311, 321, and 331 of the plurality of film masks 310, 320, and 330 of FIG. 5 become “d3> d2> d1”.
  • each opening formed in the plurality of film masks according to the present invention is characterized in that the size is closer to the substrate.
  • the shadow mask 300 is placed on the substrate 100 in close contact with each other, and then a first coating layer 510 is formed on the substrate 100 exposed to the openings 311, 321, and 331 of the shadow mask 300. do.
  • the first coating layer 510 is formed only on the substrate 100 exposed to the openings 311, 321, and 331 of the shadow mask 300, and the other region of the substrate 100 is formed by the shadow mask 300. Since the mask is masked, the first coating layer 510 is not formed.
  • the film mask 330 at the top of the plurality of film masks 310, 320, 330 of the shadow mask 300 is removed, and a second coating layer 520 is formed on the substrate 100.
  • the film mask 320 When the film mask 330 is removed, the film mask 320 performs a masking operation, and the width d2 of the film mask 320 is wider than the width d1 of the removed film mask 330. Therefore, an area exposed by the opening 321 of the film mask 320 becomes a partial area of the first coating film 510 and the substrate 100, and the second coating film 520 is formed of the first coating film ( 510 is coated wider.
  • the process of FIG. 6 repeats the process of removing the film mask on the top of the plurality of film masks of the shadow mask and forming a second coating layer on the substrate, and then the film mask closest to the substrate. It is a process to expose.
  • the second coating film is formed by the number of film masks except for the top film mask and the film mask closest to the substrate.
  • the film mask 320 is removed and then masked with the film mask 310 to form a third coating film 530 on the substrate 100. 7)
  • the desired coating layers 510, 520, and 530 may be formed on the substrate 100 (FIG. 8).
  • This process of FIG. 8 is a process of removing the film mask which is closest to the said board
  • the shadow mask of the present invention has the advantage of forming a plurality of laminated coating films by easy installation, and also has the advantage of reducing the process time and manufacturing process costs because the coating process can be carried out continuously.
  • FIG. 9 to 11 are schematic perspective views illustrating a state in which the films of the shadow mask of FIG. 5 are removed.
  • the shadow mask including the plurality of film masks 310, 320, and 330 is closely attached to the substrate 100 as shown in FIG. 9.
  • the top film mask 310 is removed as shown in FIG. 10
  • the second coating film is coated, and then the film mask 320 under the top film mask 310 as shown in FIG. 11. Is removed.
  • the third coating film is coated in the state of FIG. 11.
  • the shadow mask may be composed of a roll-shaped film.
  • the roll mask shadow mask 600 is provided with a plurality of film masks, and the substrate 100 has one film mask 610 mounted thereon. Masking to form a coating film on the substrate 100.
  • an alignment key is formed in the film mask of the shadow mask 600 in roll form.
  • the present invention is a shadow mask of a coating film for fabricating a device including a flat panel display, a solar cell, a flexible device, a plastic electronics, and the like, which prevents the deflection of the mask and continuously performs the coating process. Shadow masks can be provided that can reduce costs.

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Abstract

본 발명은 쉐도우 마스크를 마스킹할 기판에 밀착시켜 올려놓을 수 있으므로, 마스크의 처짐을 방지할 수 있고, 마스킹할 기판에 쉐도우 마스크가 붙어 있기 때문에 쉐도우 효과(Shadow effect)없는 정밀한 패턴을 구현할 수 있는 쉐도우 마스크 및 이를 이용한 코팅 방법에 관한 것이다.

Description

[규칙 제26조에 의한 보정 10.03.2009]　쉐도우 마스크 및 이를 이용한 코팅 방법
본 발명은 선택적으로 코팅막을 형성하기 위한 마스크에 관한 것이다.
일반적으로 쉐도우 마스크를 사용하여 제작하는 유기 발광 소자는 정공 주입 전극(양극)과 전자 주입 전극(음극) 사이에 제공된 유기 전계 발광층에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 발광 소자로서, 무기 전계 발광 소자나 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)에 비해 대략 10V 정도의 낮은 전압으로 구동할 수 있는 장점을 갖는다.
또한, 유기 발광 소자는 얇고 가벼우며 색감이 좋아서 차세대 평면 디스플레이로 주목 받고 있으며, 플라스틱 필름과 같이 가요성(flexible) 기판 위에 형성될 수 있다.
유기발광소자는 크게 저분자물질과 고분자 물질로 구분이 되며, 저분자방식은 주로 메탈 쉐도우 마스크를 이용한 증착방식이며, 고분자방식은 프린팅 방식을 이용한다.
도 1은 종래 기술에 따른 쉐도우 마스크를 설명하기 위한 개략적인 도면으로서, 종래의 쉐도우 마스크(11a)는 메탈로 이루어져 있으며, 단일 오픈마스크 혹은 다수의 마스크 패턴된 개구부(12)를 형성하고 있다.
이러한 메탈 쉐도우 마스크(11a)는 균일하게 인장력이 가해지도록 프레임(10)에 고정되어 무게에 의한 처짐을 최소화 하고 있다.
그러나, 상기 메탈 마스크(11a) 자체의 무게에 의해 가운데 부분이 볼록하게 굴곡이 생기며, 마스크의 변형이 발생한다.
또한, 마스크의 변형이 생기면 원형 마스크와 개구부(12)간에 오차가 발생하게 되는 단점이 있다.
도 2는 종래 기술에 따른 다른 쉐도우 마스크를 설명하기 위한 개략적인 도면으로서, 이 종래 기술은 프레임 조립체(13)에 분할된 패턴 마스크(15)를 사용하여 마스크 처짐을 최대한 줄이고, 패턴의 개구부(16) 변형을 방지할 수는 있지만, 패턴 마스크(15) 간의 간극 및 견고성 문제가 여전히 남아있다.
본 발명은 마스크의 처짐을 방지할 수 있는 과제를 해결하는 것이다.
본 발명은 쉐도우 마스크를 마스킹할 기판에 밀착시켜 올려놓을 수 있으므로, 마스크의 처짐을 방지할 수 있는 쉐도우 마스크 및 이를 이용한 코팅 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
또, 본 발명은 마스킹할 기판에 쉐도우 마스크가 붙어 있기 때문에 쉐도우 효과(Shadow effect)없는 정밀한 패턴을 구현할 수 있는 쉐도우 마스크 및 이를 이용한 코팅 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
또한, 본 발명의 쉐도우 마스크는 정렬키가 형성되어 있어 기존의 쉐도우 마스크 얼라인 시간을 단축시킬 수 있는 쉐도우 마스크 및 이를 이용한 코팅 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
더불어, 본 발명은 복수개의 적층된 마스크 필름으로 쉐도우 마스크를 구현하여 연속적으로 코팅공정을 수행할 수 있기에 공정 시간 및 제조 공정 비용을 줄일 수 있는 쉐도우 마스크 및 이를 이용한 코팅 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
게다가, 본 발명의 쉐도우 마스크는 복수개의 필름 마스크가 롤 형태로 구성되어 있기에, 이 롤이 움직이면서 필름 마스크의 교체가 쉬운 쉐도우 마스크 및 이를 이용한 코팅 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 1 양태(樣態)는,
필름으로 이루어져 있고,
마스킹하기 위한 기판에 형성된 정렬키와 위치 정렬할 수 있는 정렬키가 형성되어 있는 쉐도우 마스크가 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 2 양태(樣態)는,
개구부가 각각 형성되어 있고, 상기 개구부가 연통되도록 적층되어 있는 복수개의 필름 마스크들로도 구성된 쉐도우 마스크가 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 3 양태(樣態)는,
필름으로 이루어져 있고, 정렬키가 형성되어 있는 쉐도우 마스크를 상기 쉐도우 마스크의 정렬키와 정렬되는 정렬키가 형성된 기판 상부에 밀착하여 올려놓는 단계와;
상기 쉐도우 마스크의 정렬키와 상기 기판의 정렬키를 일치시키는 단계와;
상기 쉐도우 마스크의 개구부에 노출된 기판 상부에 코팅막을 형성하는 단계를 포함하여 구성된 쉐도우 마스크를 이용한 코팅 방법이 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 4 양태(樣態)는,
개구부가 각각 형성되어 있고, 이 개구부가 연통되도록 적층되어 있는 복수개의 필름 마스크들로도 구성된 쉐도우 마스크를 기판 상부에 밀착시켜 올려놓는 단계와;
상기 쉐도우 마스크의 개구부들에 노출된 기판 상부에 제 1 코팅막을 형성하는 단계와;
상기 쉐도우 마스크의 복수개의 필름 마스크들 중 최상위에 있는 필름 마스크를 제거하고 상기 기판 상부에 제 2 코팅막을 형성하는 공정을 반복 수행한 후, 상기 기판에 가장 근접된 필름 마스크를 노출시키는 단계와;
상기 기판에 가장 근접된 필름 마스크로 마스킹하여 상기 기판 상부에 제 3 코팅막을 형성하는 단계와;
상기 기판에 가장 근접된 필름 마스크를 제거하여, 상기 기판 상부에 제 1 내지 제 3 코팅막이 적층된 코팅막을 남기는 단계를 포함하여 구성된 쉐도우 마스크를 이용한 코팅 방법이 제공된다.
본 발명은 쉐도우 마스크를 마스킹할 기판에 밀착시켜 올려놓을 수 있으므로, 마스크의 처짐을 방지할 수 있고, 마스킹할 기판에 쉐도우 마스크가 붙어 있기 때문에 쉐도우 효과(Shadow effect)없는 정밀한 패턴을 구현할 수 있는 효과가 있다.
또, 본 발명의 쉐도우 마스크는 정렬키가 형성되어 있어 기존의 쉐도우 마스크 얼라인 시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.
더불어, 본 발명은 복수개의 적층된 마스크 필름으로 쉐도우 마스크를 구현하여 연속적으로 코팅공정을 수행할 수 있기에 공정 시간 및 제조 공정 비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 쉐도우 마스크는 복수개의 필름 마스크가 롤 형태로 구성되어 있기에, 이 롤이 움직이면서 필름 마스크의 교체가 쉬운 효과가 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 쉐도우 마스크를 설명하기 위한 개략적인 도면
도 2는 종래 기술에 따른 다른 쉐도우 마스크를 설명하기 위한 개략적인 도면
도 3 및 4는 본 발명에 따른 쉐도우 마스크를 설명하기 위한 개략적인 도면
도 5 내지 8은 본 발명에 따른 쉐도우 마스크를 이용하여 코팅하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도
도 9 내지 11은 도 5의 쉐도우 마스크의 필름들이 제거된 상태를 설명하기 위한 개략적인 사시도
도 12는 본 발명에 따라 다른 쉐도우 마스크 및 이 쉐도우 마스크를 이용한 코팅방법을 설명하기 위한 개략적인 사시도
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 3 및 4는 본 발명에 따른 쉐도우 마스크를 설명하기 위한 개략적인 도면으로서, 본 발명에 따른 쉐도우 마스크는 필름으로 이루어져 있고, 마스킹하기 위한 기판에 형성된 정렬키와 위치 정렬할 수 있는 정렬키가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 쉐도우 마스크(200)에 형성된 정렬키(200a,200b,200c,200d)는 기판(100)에 형성된 정렬키(100a,100b,100c)와 겹쳐져 얼라인되어 있고, 상기 기판(100)과 상기 쉐도우 마스크(200) 사이에는 공간이 없이 밀착되어 있다.
그리고, 본 발명의 쉐도우 마스크(200)는 하나의 개구부(210)로 이루어진 도 3의 구조 또는 복수개의 개구부들(220)이 패터닝된 도 4의 구조를 포함하며, 이 개구부의 모양은 어떠한 것이라도 무방하다.
따라서, 본 발명의 쉐도우 마스크는 마스킹할 기판에 밀착시켜 올려놓을 수 있으므로, 마스크의 처짐이 있는 종래의 문제점을 해결할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 마스킹할 기판에 쉐도우 마스크가 붙어 있기 때문에 쉐도우 효과(Shadow effect)없는 정밀한 패턴을 구현할 수 있는 장점이 있다.
더불어, 본 발명의 쉐도우 마스크는 정렬키가 형성되어 있어 기존의 쉐도우 마스크 얼라인 시간을 단축시킬 수 있는 장점이 있다.
한편, 본 발명의 쉐도우 마스크는 마스킹할 기판에 접착시킨 후, 마스크로 활용되는 것이 바람직하다.
도 5 내지 8은 본 발명에 따른 쉐도우 마스크를 이용하여 코팅하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도로서, 먼저, 도 3와 도 4와 같은 필름으로 이루어져 있고, 정렬키가 형성되어 있는 쉐도우 마스크를 상기 쉐도우 마스크의 정렬키와 정렬되는 정렬키가 형성된 기판 상부에 밀착하여 올려놓고, 상기 쉐도우 마스크의 정렬키와 상기 기판의 정렬키를 일치시킨 후, 상기 쉐도우 마스크의 개구부에 노출된 기판 상부에 코팅막을 형성하는 방법이 있다.
그리고, 본 발명의 쉐도우 마스크는 도 5와 같이 개구부가 각각 형성되어 있고, 이 개구부가 연통되도록 적층되어 있는 복수개의 필름 마스크들로도 구성할 수 있다.
이때, 기판(100)에 쉐도우 마스크로 마스킹하기 위해서는, 복수개의 필름 마스크들(310,320,330)로 구성된 쉐도우 마스크(300)를 도 5와 같이 기판(100) 상부에 밀착시켜 올려놓는다.
여기서, 상기 복수개의 필름 마스크들(310,320,330)의 개구부들(311,321,331)의 폭(d1,d2,d3)는 기판(100)에 근접될수록 넓은 것이 바람직하다.
즉, 상기 기판(100)에 가장 근접되어 있는 필름 마스크(330)의 개구부(331)의 폭(d3)은 그 필름 마스크(330) 상부에 적층되어 있는 필름 마스크(320)의 개구부(321)의 폭(d2)보다 넓고, 상기 필름 마스크(320)의 개구부(321)의 폭(d2)은 그 필름(320) 상부에 적층되어 있는 필름 마스크(310)의 개구부(311)의 폭(d1)보다 넓다.
결국, 도 5의 복수개의 필름 마스크들(310,320,330)의 개구부(311,321,331)의 폭(d1,d2,d3)은 "d3＞d2＞d1"이 된다.
따라서, 본 발명에 따라 복수개의 필름 마스크들에 형성된 각각의 개구부는, 상기 기판에 근접될수록 크기가 커지는 것을 특징으로 한다.
이렇게, 상기 기판(100) 상부에 쉐도우 마스크(300)을 밀착시켜 올려놓은 다음, 상기 쉐도우 마스크(300)의 개구부들(311,321,331)에 노출된 기판(100) 상부에 제 1 코팅막(510)을 형성한다.
이때, 상기 쉐도우 마스크(300)의 개구부들(311,321,331)에 노출된 기판(100) 상부에만 제 1 코팅막(510)이 형성되고, 상기 기판(100)의 다른 영역은 상기 쉐도우 마스크(300)에 의해 마스킹되어 있기에 상기 제 1 코팅막(510)이 형성되지 않는다.
그 다음, 상기 쉐도우 마스크(300)의 복수개의 필름 마스크들(310,320,330) 중, 최상위에 있는 필름 마스크(330)를 제거하고, 상기 기판(100) 상부에 제 2 코팅막(520)을 형성한다.
이 필름 마스크(330)가 제거되면, 필름 마스크(320)이 마스킹 작업을 수행하게 되며, 상기 필름 마스크(320)의 폭(d2)는 상기 제거된 필름 마스크(330)의 폭(d1)보다 넓기 때문에, 상기 필름 마스크(320)의 개구부(321)에 의해 노출된 영역은 상기 제 1 코팅막(510) 및 기판(100)의 일부 영역이 되어, 상기 제 2 코팅막(520)은 상기 제 1 코팅막(510)보다 넓게 코팅된다.
즉, 도 6의 공정은 상기 쉐도우 마스크의 복수개의 필름 마스크들 중 최상위에 있는 필름 마스크를 제거하고 상기 기판 상부에 제 2 코팅막을 형성하는 공정을 반복 수행한 후, 상기 기판에 가장 근접된 필름 마스크를 노출시키는 공정이다.
여기서, 상기 제 2 코팅막은 최상위 필름 마스크 및 기판에 가장 근접한 필름 마스크를 제외한 필름 마스크들을 갯수만큼 형성된다.
그 다음, 상기 제 2 코팅막(520)이 형성된 후, 상기 필름 마스크(320)를 제거한 다음, 상기 필름 마스크(310)로 마스킹하여 제 3 코팅막(530)을 기판(100) 상부에 형성한다.(도 7)
상기 도 7의 공정은 상기 기판에 가장 근접된 필름 마스크로 마스킹하여 상기 기판 상부에 제 3 코팅막을 형성하는 공정이다.
마지막으로, 상기 기판(100)에 가장 근접된 필름 마스크(310)를 제거하게 되면, 상기 기판(100) 상부에 원하는 적층된 코팅막(510,520,530)을 형성할 수 있게 되는 것이다.(도 8)
이 도 8의 공정은, 상기 기판에 가장 근접된 필름 마스크를 제거하여, 상기 기판 상부에 제 1 내지 제 3 코팅막이 적층된 코팅막을 남기는 공정이다.
이와 같이, 본 발명의 쉐도우 마스크는 쉬운 설치로 복수개의 적층된 코팅막을 형성할 수 있는 장점이 있고, 연속적으로 코팅공정을 수행할 수 있기에 공정 시간 및 제조 공정 비용을 줄일 수 있는 장점도 있다.
도 9 내지 11은 도 5의 쉐도우 마스크의 필름들이 제거된 상태를 설명하기 위한 개략적인 사시도로서, 복수개의 필름 마스크들(310,320,330)로 이루어진 쉐도우 마스크는 도 9와 같이 기판(100)에 밀착되어 있고, 제 1 코팅막이 코팅된 후, 최상위 필름 마스크(310)는 도 10과 같이 제거되고, 제 2 코팅막이 코팅된 다음, 도 11과 같이 상기 최상위 필름 마스크(310) 하부에 있는 필름 마스크(320)가 제거된다.
연이서, 상기 필름 마스크(320)가 제거된 후, 도 11의 상태에서 제 3 코팅막이 코팅되는 것이다.
도 12는 본 발명에 따라 다른 쉐도우 마스크 및 이 쉐도우 마스크를 이용한 코팅방법을 설명하기 위한 개략적인 사시도로서, 이 쉐도우 마스크는 롤 형태의 필름으로 구성할 수 있다.
그리고, 쉐도우 마스크는 복수개의 필름 마스크를 롤 형태로 구성하는 경우, 이 롤이 움직이면서 필름 마스크의 교체가 쉽게 된다.
즉, 도 12에 도시된 바와 같이, 롤 형태의 쉐도우 마스크(600)에는 복수개의 필름 마스크가 구비되어 있고, 기판(100)에는 하나의 필름 마스크(610)가 올려지게 되고, 이 필름 마스크(610)로 마스킹하여 상기 기판(100) 상부에 코팅막을 형성하게 된다.
그 후, 추가의 코팅막을 형성하기 위하여 상기 롤 형태의 쉐도우 마스크(600)를 회전시키면, 다른 필름 마스크가 상기 기판(100)에 올려지게 되고, 이 필름 마스크로 마스킹하여 상기 기판(100)에 다른 코팅막을 형성할 수 있게 되는 것이다.
이때, 롤 형태의 쉐도우 마스크(600)의 필름 마스크에는 정렬키가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한 플렉서블 기판에 사용될 경우에는 필름 마스크를 미리 접합시켜 롤투롤 방식으로 사용이 가능하다.
이상, 본 발명의 실시 예에 따른 발명의 구성을 상세히 설명하였지만, 본 발명은 반드시 이러한 실시 예로 국한되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다.
본 발명은 평판 디스플레이, 솔라셀, 플렉서블 디바이스, 플라스틱 일렉트로닉스 등을 포함하는 디바이스를 제작하기 위한 코팅막의 쉐도우 마스크로, 마스크의 처짐을 방지하고, 연속적으로 코팅공정을 수행할 수 있기에 공정 시간 및 제조 공정 비용을 줄일 수 있는 쉐도우 마스크를 제공할 수 있다.

Claims (8)

  1. 필름으로 이루어져 있고,
    마스킹하기 위한 기판에 형성된 정렬키와 위치 정렬할 수 있는 정렬키가 형성되어 있는 쉐도우 마스크.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 필름은,
    롤 형태로 구성된 것을 특징으로 하는 쉐도우 마스크.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 기판은,
    롤투롤(Roll to Roll) 코팅방법이 가능한 플렉서블 기판인 것을 특징으로 하는 쉐도우 마스크.
  4. 개구부가 각각 형성되어 있고, 상기 개구부가 연통되도록 적층되어 있는 복수개의 필름 마스크들로도 구성된 쉐도우 마스크.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 복수개의 필름 마스크들에 형성된 각각의 개구부는,
    상기 기판에 근접될수록 크기가 커지는 것을 특징으로 하는 쉐도우 마스크.
  6. 필름으로 이루어져 있고, 정렬키가 형성되어 있는 쉐도우 마스크를 상기 쉐도우 마스크의 정렬키와 정렬되는 정렬키가 형성된 기판 상부에 밀착하여 올려놓는 단계와;
    상기 쉐도우 마스크의 정렬키와 상기 기판의 정렬키를 일치시키는 단계와;
    상기 쉐도우 마스크의 개구부에 노출된 기판 상부에 코팅막을 형성하는 단계를 포함하여 구성된 쉐도우 마스크를 이용한 코팅 방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 쉐도우 마스크는,
    롤 형태로 구성된 복수개의 필름 마스크로 구성된 쉐도우 마스크를 이용한 코팅 방법.
  8. 개구부가 각각 형성되어 있고, 이 개구부가 연통되도록 적층되어 있는 복수개의 필름 마스크들로도 구성된 쉐도우 마스크를 기판 상부에 밀착시켜 올려놓는 단계와;
    상기 쉐도우 마스크의 개구부들에 노출된 기판 상부에 제 1 코팅막을 형성하는 단계와;
    상기 쉐도우 마스크의 복수개의 필름 마스크들 중 최상위에 있는 필름 마스크를 제거하고 상기 기판 상부에 제 2 코팅막을 형성하는 공정을 반복 수행한 후, 상기 기판에 가장 근접된 필름 마스크를 노출시키는 단계와;
    상기 기판에 가장 근접된 필름 마스크로 마스킹하여 상기 기판 상부에 제 3 코팅막을 형성하는 단계와;
    상기 기판에 가장 근접된 필름 마스크를 제거하여, 상기 기판 상부에 제 1 내지 제 3 코팅막이 적층된 코팅막을 남기는 단계를 포함하여 구성된 쉐도우 마스크를 이용한 코팅 방법.
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