WO2023090657A1 - 디스플레이 패널 부상 스테이지 - Google Patents

디스플레이 패널 부상 스테이지 Download PDF

Info

Publication number
WO2023090657A1
WO2023090657A1 PCT/KR2022/015924 KR2022015924W WO2023090657A1 WO 2023090657 A1 WO2023090657 A1 WO 2023090657A1 KR 2022015924 W KR2022015924 W KR 2022015924W WO 2023090657 A1 WO2023090657 A1 WO 2023090657A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
air supply
vacuum
pressure
hole
pressure holding
Prior art date
Application number
PCT/KR2022/015924
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
황희진
Original Assignee
황희진
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 황희진 filed Critical 황희진
Priority to CN202280048515.1A priority Critical patent/CN117615980A/zh
Publication of WO2023090657A1 publication Critical patent/WO2023090657A1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
    • B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
    • B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs

Definitions

  • the present invention relates to a display panel floating stage, and more particularly, to float the display panel stably without shaking because vacuum pressure and air supply pressure do not change even in areas with and without resistance of the display panel to be floated, It relates to a display panel floating stage capable of stably maintaining the flatness of a display panel by spraying only supply air pressure without vacuum pressure to both sides of the display panel where sagging occurs.
  • a grid pattern is formed on a transparent glass panel, there is a backlight behind it, liquid crystal is placed between them, and a color filter is placed in front of the glass panel. do.
  • the liquid crystal can block or pass light at a specific location by the electric signal applied to the grid pattern, and a display device of this type is called 'LCD'.
  • Organic materials are sometimes used instead of liquid crystals, and organic materials emit light on their own when they receive electrical signals, so a backlight is not needed. This type of display device is called 'OLED'.
  • non-contact conveying devices include pneumatic and floating stages.
  • the levitation stage is most closely related to the degree of vibration up and down when the glass panel moves. If the amount of air coming out of the floating stage is not constant or the air flow is not smooth, the glass panel will be shaken.
  • the above-described appropriate pressure is a pressure having resistance to the extent that the glass panel does not come into contact with the floating stage. If the pressure is low, the transfer precision is good, but the possibility of contact with the floating stage is high, and if the pressure is high, the possibility of contact is low, but the floating stability is low.
  • a resistor is needed to make the airflow smaller.
  • the resistor simultaneously functions to generate pressure and regulate the amount of air. Therefore, the resistor can be said to be the most important technical element in the levitation stage.
  • Intake is as important as resistance.
  • the present invention has been devised in view of the above problems, and a first object of the present invention is that the vacuum pressure and air supply pressure do not change even in areas with resistance and areas without resistance of the floating display panel, so that the display panel does not shake. It is to provide a display panel levitation stage capable of stably levitating.
  • a second object of the present invention is to separate the pressure holding hole formed in the pressure holding plate into a pressure holding chamber and a passage having a smaller inner diameter than the pressure holding chamber, the passage being eccentrically communicated with the pressure holding chamber, It is to provide a display panel levitation stage capable of maintaining a constant supply pressure and vacuum pressure according to the volume increase or the vortex generated within the display panel.
  • a third object of the present invention is to provide a display panel floating stage capable of stably maintaining the flatness of the display panel by spraying only supply air without vacuum pressure to both sides of the display panel where sagging occurs.
  • the first invention relates to a display panel floating stage, for which a plurality of air supply holes and vacuum holes are alternately formed in a plurality of towers to stably float the display panel. plate; and a plurality of pressure holding holes that are in common with each of the air supply holes and vacuum holes so that the air supply pressure injected from the air supply hole of the top plate and the vacuum pressure sucked from the vacuum hole can be maintained constant.
  • overlapping pressure holding plates and a first bottom plate fixed to the lower surface of the pressure holding plate to supply vacuum pressure to each of the vacuum holes; and a first bottom plate to supply air supply pressure to each of the air supply holes.
  • the first bottom plate is formed in parallel at regular intervals and branches in a tree shape on both sides of the vacuum furnace in the longitudinal direction of each vacuum furnace, and the first bottom plate is in communication with the vacuum hole. It is characterized in that a branch path is formed.
  • the second bottom plate is fixed to the bottom surface of the first bottom plate to supply air supply pressure to the air supply hole, and air supply air formed in parallel at regular intervals, and each air supply It is characterized in that a plurality of branched paths are formed on both sides in the longitudinal direction of the furnace in the form of a tree to communicate with the air supply hole.
  • the pressure holding hole is formed of a pressure holding chamber formed at a lower portion and a passage eccentrically communicating with an upper portion of the pressure holding chamber, and the passage has an inner diameter relatively larger than that of the pressure holding chamber. It is characterized in that it is formed small.
  • the passage formed in the pressure holding hole of each pressure holding plate is formed to be eccentric to the left or right so that the passage and eccentric position of the overlapping pressure holding plate can be arranged in a zigzag pattern.
  • one of the pressure holding plates is characterized in that the shape of the pressure holding hole communicating with the vacuum hole is composed of only a single pressure holding chamber without a passage.
  • the top plate is characterized in that only air supply holes are arranged at regular intervals without vacuum holes along the first row of side bars.
  • the display panel floating stage of the present invention the display panel can be stably floated without shaking because the vacuum pressure and air supply pressure do not change even in areas with and without resistance of the display panel to be floated.
  • the pressure holding hole formed in the pressure holding plate is configured to be separated into a pressure holding chamber and a passage having a smaller inner diameter than the pressure holding chamber, and the passage is eccentrically communicated with the pressure holding chamber, so that the vortex or volume generated in the pressure holding chamber It has the effect of keeping the supply air pressure and vacuum pressure constant according to the increase.
  • FIG. 1 is a perspective view of a display panel floating stage according to the present invention.
  • Figure 2 is a bottom perspective view of Figure 1;
  • Figure 3 is an exploded perspective view of Figure 1;
  • Figure 4 is a cross-sectional view showing the pressure holding plate extracted from Figure 3;
  • FIG. 5 is a plan view showing a first bottom plate extracted from FIG. 3;
  • FIG. 6 is a plan view showing a second bottom plate extracted from FIG. 3;
  • FIG. 7 is a perspective view showing a manifold extracted from FIG. 3;
  • FIG. 8 is a projection view showing the bottom surface of the display panel floating stage according to the present invention.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view showing a cross-section of a display panel floating stage according to the present invention.
  • FIG. 10 is a photograph showing a top plate of another embodiment.
  • FIG. 1 is a perspective view of a display panel floating stage according to the present invention
  • FIG. 2 is a bottom perspective view of FIG. 1
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of FIG. 1
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing a pressure holding plate extracted from FIG.
  • FIG. 5 is a plan view illustrating a first bottom plate extracted from FIG. 3
  • FIG. 6 is a plan view illustrating a second bottom plate extracted from FIG. 3
  • FIG. 7 is a perspective view illustrating a manifold extracted from FIG. 3
  • 8 is a projected view showing a bottom surface of a display panel floating stage according to the present invention
  • FIG. 9 is a cross-sectional view showing a cross section of the display panel floating stage according to the present invention.
  • the present invention does not change the vacuum pressure and air supply pressure even in areas where there is resistance and areas where there is no resistance of the floating display panel, so that the display panel is stably floated without shaking, as well as sagging. It relates to a display panel floating stage 100 capable of stably maintaining the flatness of the display panel 200 by spraying only supply air without vacuum pressure to both sides of the display panel where the airflow is generated.
  • the display panel floating stage 100 of the present invention is largely composed of five parts, which include a top plate 10, a pressure holding plate 20, a first bottom plate 30, and a second bottom plate ( 40) and the manifold 50 are integrally bolted to each other.
  • the top plate 10 has a structure in which a plurality of air supply holes 11 and vacuum holes 12 are alternately formed in order to stably float the display panel 200 .
  • the air supply hole 11 and the vacuum hole 12 are arranged in a lattice structure in an embodiment, but may also be arranged in a certain pattern.
  • the air supply pressure generated in the air supply hole 11 is relatively greater than the vacuum pressure generated in the vacuum hole 12 so that the display panel 200 can float.
  • the pressure holding plate 20 is fixed to the bottom surface of the top plate 10 by bolting.
  • the pressure holding plate 20 maintains the air supply pressure injected from the air supply hole 11 of the top plate 10 and the vacuum pressure sucked from the vacuum hole 12 at each of the above It is a structure in which a plurality of pressure holding holes 21 that are in common with the air supply hole 11 and the vacuum hole 12 are formed.
  • the pressure holding hole 21 of the pressure holding plate 20 is composed of a pressure holding chamber 211 formed in the lower part and a passage 212 eccentrically communicating with the upper part of the pressure holding chamber 211.
  • the passage 212 has a structure in which an inner diameter is relatively smaller than that of the pressure holding chamber 211 .
  • the pressure holding hole 21 connected to the air supply hole 11 in the above serves as a so-called resistor that lowers the pressure by generating a vortex in the air supplied through the pressure holding chamber 211 .
  • the passage 212 formed eccentrically in the pressure holding chamber 211 functions to reduce the flow rate of air having a reduced pressure.
  • the inner diameters of the pressure holding chamber 211 and the passage 212 may vary depending on the size and weight of the display panel 200 .
  • the pressure holding hole 21 connected to the vacuum hole 12 can prevent the vacuum pressure from increasing through the pressure holding chamber, and the passage 212 can adjust the air intake amount by the air supply amount.
  • At least two or more pressure holding plates 20 are overlapped and coupled to maintain a stable air supply pressure and vacuum pressure.
  • three pressure holding plates 20 are overlapped. is a structure
  • the overlapped number of the pressure holding plate 20 may vary according to the required vacuum pressure and air supply pressure.
  • each pressure holding plate 20 is left or right so that the passage 212 of the overlapping pressure holding plate 20 and the eccentric position can be arranged in a zigzag pattern. It is an eccentric structure.
  • the air supply amount and air supply pressure of the air discharged through the air supply hole 11 can be maintained constant while passing through the pressure holding hole 21 in multiple stages.
  • the vacuum pressure and air intake amount sucked through the vacuum hole 12 can also be maintained constant while passing through the pressure holding hole 21 in multiple stages.
  • any one of the pressure holding plates 20 may be formed of only a single pressure holding chamber 211 without a passage 212 in the form of a pressure holding hole 21 communicating with the vacuum hole 12.
  • This structure increases the resistance of the vacuum pressure, so that the volume of air sucked in by the vacuum is widened to balance the intake amount with respect to the air supply amount.
  • the passage 212 of the pressure holding hole 21 communicating with the vacuum hole 12 is larger than the passage 212 of the pressure holding hole 21 communicating with the air supply hole 11 in order to increase the amount of intake air. It can be configured by forming a relatively large inner diameter. (shown in FIG. 4)
  • the display panel 200 can be stably floated without shaking because the vacuum pressure and air supply pressure do not change even in areas where there is resistance and where there is no resistance of the display panel.
  • the passage 212 is connected to the air supply hole 11 or the vacuum hole 12 to supply or suck air.
  • the pressure holding chamber 211 is overlapped at the bottom or has a structure in common with the passage 212 of the pressure holding plate 20.
  • the pressure holding hole 21 of the pressure holding plate 20 disposed on the lowermost layer communicates with the first bottom plate 30 and the second bottom plate 40 to supply air supply pressure and vacuum pressure for suction. It is configured so that each can be supplied individually.
  • the first bottom plate 30 is fixed to the lower surface of the pressure holding plate 20 to suck air by negative pressure into the vacuum hole 12, and vacuum furnaces formed in parallel at regular intervals. (31), and a first branch furnace 311 branching in a tree shape on both sides of the vacuum furnace 31 in the longitudinal direction is formed.
  • each of the first branch passages 311 communicates with the pressure holding chamber 211 of the pressure holding plate 20 that communicates with the vacuum hole 12 and is configured to suck air by negative pressure.
  • a plurality of first connecting passages 312 are formed separately from the first branch passage 311 in each vacuum passage 31 of the first bottom plate 30.
  • a first through hole 313 for receiving air pressure is further formed.
  • the first through hole 313 extends to the second bottom plate 40 to supply intake pressure for intake without interference from the second bottom plate 40 .
  • the second bottom plate 40 is fixed to the lower surface of the first bottom plate 30 to supply air to the air supply hole 11, and the air supply air formed in parallel at regular intervals ( 41), and a second branch passage 411 branching in a tree shape on both sides of the air supply passage 41 in the longitudinal direction.
  • each of the second branch passages 411 communicates with the pressure holding chamber 211 that communicates with the air supply hole 11 individually, so that air for supplying air can be supplied.
  • a plurality of second connection passages 412 are formed separately from the second branch passage 411 in each air supply passage 41 of the second bottom plate 40. ) is further formed with a second through hole 413 for receiving supply air pressure.
  • One or more manifolds 50 may be coupled, and as shown in FIG. 7, the manifold 50 is fixed to the lower surface of the second bottom plate 40, and the air supply air 41 of the first bottom plate 30 and It has a structure in which an air supply supply passage 51 and a vacuum supply passage 52 individually communicated with the vacuum passage 31 of the second bottom plate 40 are formed side by side in parallel.
  • the air supply supply passage 51 communicates with the second through holes 413 formed in each second connection passage 412 of the second bottom plate 40 to each air supply passage 41. It functions to supply supply air pressure.
  • the vacuum supply passage 52 communicates with the first through hole 313 formed in each first connection passage 312 of the first bottom plate 30 so that vacuum pressure is supplied to each vacuum passage 31.
  • the bottom surface of the manifold 50 further includes an air supply terminal hole 511 communicating with the air supply supply passage 51 and a vacuum terminal hole 521 communicating with the vacuum supply passage 52.
  • the manifold 50 is configured by combining the vacuum terminal hole 521 and the air supply terminal hole 511 with a socket block 60 for connecting the vacuum hose 61 and the air supply hose 62.
  • the display panel lifting stage 100 of the present invention is configured to maintain flatness of the display panel 200 by generating only supply air pressure without vacuum pressure to both sides of the side of the display panel 200 where sagging occurs.
  • the air supply air 41 disposed on both sides of the side is the auxiliary air supply air 42 without the second branch passage 411 is the air supply hole 11 is made in accordance with
  • a third through hole 421 for receiving air may be formed in the auxiliary air supply air 42 of the second bottom plate 40 .
  • manifold 50 may further include auxiliary supply passages 53 for individually supplying air to the two auxiliary air supply passages 42 .
  • the upper surface of the mandfold 60 is also formed with two auxiliary terminal holes 531 communicating with the auxiliary supply passage 53, and air supply pressure can be supplied to these two auxiliary terminal holes 531 independently.
  • the auxiliary socket block 70 is coupled and configured.
  • the air supply holes 11 disposed in the first row on both sides of the top plate 10 can individually provide separate air supply pressure, thereby improving the flatness of the display panel 200 and the display panel 200.
  • the display panel 200 may serve as an air fence so that the display panel 200 is linearly transported.
  • the air supply and air intake path of the display panel floating stage of the present invention described above is as follows.
  • vacuum tank (not shown) ⁇ socket block ⁇ manifold (vacuum terminal hole ⁇ vacuum supply path) ⁇ first bottom plate (first connection path ⁇ first through hole ⁇ first branch path-vacuum path) ⁇ pressure holding plate (Pressure holding hole (pressure holding room ⁇ passage) ⁇ Top plate (vacuum hole)
  • Air supply compression tank (not shown) ⁇ socket block ⁇ manifold (air supply terminal hole ⁇ air supply supply path) ⁇ 2nd bottom plate (2nd connection path ⁇ 2nd through hole ⁇ 2nd branch path - supply air) ⁇ pressure holding plate (Pressure holding hole (pressure holding room ⁇ passage) ⁇ Top plate (air supply hole)
  • Air supply at the outer edge of the top plate compression tank (not shown) ⁇ auxiliary socket block ⁇ manifold (auxiliary terminal hole ⁇ auxiliary supply path) ⁇ second bottom plate (third through hole ⁇ auxiliary air supply) ⁇ pressure holding plate (pressure maintenance) Hall (pressure holding room ⁇ passage) ⁇ top plate (air supply hole)
  • FIG. 10 is a photograph showing a top plate of another embodiment.
  • each vacuum hole 12 of the top plate 10 may be further formed with grooves 121 extending in the direction of movement of the display 200 .
  • the display panel floating stage of the present invention can also be used for inspection machines, logistics, special process equipment, coaters (chemical liquid applicators), and lengthening machines depending on the purpose.
  • the gas used in the present invention may be nitrogen as well as air, and liquids such as distilled water may also be used.
  • it is a structure in which only air supply holes are formed in one row on both sides of the top plate, but it can also be configured to function as a vacuum hole by supplying vacuum pressure, and also supply air pressure and vacuum to the air supply hole. It can be configured by connecting the vacuum hose and the air supply hose to the auxiliary socket so that the air pressure can be supplied selectively.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

본 발명은 디스플레이 패널 부상 스테이지에 관한 것으로, 이를 위해 디스플레이 패널을 안정적으로 부상시키기 위해 다수의 급기홀과 진공홀이 교번되게 다수 형성되는 탑플레이트;와, 상기 탑플레이트의 급기홀에서 분사되는 급기압과, 진공홀에서 흡입되는 진공압이 일정하게 유지할 수 있도록 상기 각 급기홀과 진공홀에 상통되는 다수의 압력유지홀이 형성된 상태로 다수 중첩된 압력유지플레이트;와, 상기 각 진공홀로 진공압을 공급하기 위해 상기 압력유지플레이트의 저면에 고정되는 제1바텀플레이트;와, 상기 각 급기홀로 급기압을 공급하기 위해 상기 제1바텀플레이트의 저면에 고정되는 제2바텀플레이트; 및 상기 제2바텀플레이트의 저면에 고정되고, 상기 제1바텀플레이트와 연통되는 진공공급로와, 상기 제2바텀플레이트와 연통되는 급기공급로가 병렬로 나란히 형성되는 다수의 매니폴드;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

Description

디스플레이 패널 부상 스테이지
본 발명은 디스플레이 패널 부상 스테이지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 부상되는 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안정적으로 부상시키는 것은 물론, 처짐이 발생되는 디스플레이 패널 양측 사이드에는 진공압 없이 급기압만이 분사되도록 하여 디스플레이 패널의 평탄도를 안정적으로 유지할 수 있도록 한 디스플레이 패널 부상 스테이지에 관한 것이다.
일반적으로, TV, 모니터, 휴대폰 등에 사용되는 평판 표시 장치의 구성을 보면, 투명한 글래스 패널 위에 격자 패턴이 형성되어 있고, 그 뒤에는 백라이트가 있으며, 이들 사이에는 액정이 있고, 글래스 패널 앞에는 칼라 필터가 배치된다.
상기 격자 패턴에 인가된 전기신호에 의해 액정은 특정 위치의 빛을 차단하거나 통과 시킬 수 있으며, 이러한 방식의 디스플레이 장치를‘LCD’라 한다. 액정 대신 유기물을 사용하기도 하는데 이 유기물은 전기신호를 받으면 자체 발광하므로 백라이트는 필요가 없으며, 이러한 방식의 디스플레이 장치를‘OLED’라고 한다.
위와 같은 평판표시장치(FPD)가 만들어지기까지는 많은 공정을 거치게 되는데 이 과정에서 글래스 패널은 반복적으로 이동과 검사가 이루어 진다. 글래스 패널을 이동하는 방법은 공정 특성에 따라 다른 데 단순이동(Transfer)에는 롤러(Roller)나 인덱스(Index) 혹은 로봇 팔을 이용하기도 하지만, 검사공정에서는 정밀반송이 요구되므로 비접촉으로 반송을 하는 것이 일반적이며, 비접촉식 반송장치에는 공압 및 부상 스테이지가 포함된다.
상기 부상 스테이지가 갖추어야 할 몇 가지 특성을 보면, 적정한 압력이 있는 상태에서 가능한 소량의 공기가 일정하게 흘러나와야 하고 흘러나온 공기는 막힘 없이 흡기가 이루어져야 한다.
근래 들어 디스플레이의 크기가 커지면서 해당 정밀도 또한 높아지면서 이에 따라 패널의 이송 정밀도 또한 높은 수준을 요구 받고 있다.
글래스 패널이 이동할 때 흔들리게 되면 카메라로 들어오는 영상이 좋지 않아서 결함검사 품질을 떨어뜨리게 된다.
즉, 글래스 패널의 상하 떨림이 발생할 경우 피사체인 글래스 패널이 렌즈의 초점을 벗어나므로 만족스러운 검사 이미지를 얻을 수 없어 검사 능력을 저하시키는 원인이 된다.
여기서 글래스 패널이 이동할 때 상하의 떨림정도와 가장 밀접하게 연관 된 것이 부상 스테이지이다. 부상 스테이지를 통해서 나오는 공기 량이 일정하지 않거나 공기의 흐름이 원활하지 않으면 글래스 패널을 흔들리게 된다.
그 이유는 부상 스테이지와 글래스 패널 사이의 압력 및 체적 변화로 볼 수 있다.
따라서 부상 스테이지에서는 적정한 압력을 유지하면서 공기 량을 최소화하고, 공기가 잘 빠져 나가도록 하는 것이 가장 중요하다.
전술한 적정압력이라는 것은 글래스 패널이 부상 스테이지에 접촉하지 않을 정도의 저항력을 갖는 압력이다. 압력이 낮으면 이송 정밀도는 좋아지지만 부상 스테이지와 접촉될 가능성이 높고, 압력이 높으면 접촉 가능성은 낮아지나 부상 안정성이 떨어 진다.
또한 압력이 너무 높으면 설계에 따라서는 장기적으로 부상 스테이지의 변형을 가져오기도 한다. 그러므로 글래스 패널과 검사 정밀도 그리고 공정을 잘 분석하여 적정한 압력을 유지하는 것이 중요하다.
또한, 적정압력이 되었다 하더라도 공기유량이 많으면 공기 분출 시 난기류의 영향이 커지면서 글래스 패널이 흔들릴 수 있다. 또한 많은 공기가 빨리 빠져 나가지 못함에 따라 부분적으로 공기 정체가 발생하여 글래스 패널과 부상 스테이지의 간격 변화를 가져오게 된다. 이러한 현상 또한 부상의 안정성을 떨어뜨리게 되므로 좋은 검사 이미지 획득이 어렵다.
공기 흐름을 작게 하려면 저항체가 필요하다. 상기 저항체는 압력이 형성되게 하고 공기 량을 조절하는 기능을 동시 하게 된다. 따라서 저항체는 부상 스테이지에서 가장 중요한 기술적 요소라고 할 수 있다.
나아가, 적정한 압력이 형성되었고 공기 유량이 작다 하더라도 흡기가 안되면 글래스 패널을 안정적으로 반송시키기 어렵다.
부상 스테이지를 설계함에 있어서 일반적으로 무시되는 부분이 바로 흡기 부분이다. 흡기는 저항체 못지 않게 중요하다.
아무리 소량의 공기가 나온다고 하더라도 시간이 지나면 부상 스테이지 위에 누적 된다. 흡기가 안되면 글래스 패널은 우산 모양으로 휘어진 체 이동하게 되므로 고품질의 검가 이미지 획득이 어렵게 된다. 그러므로 부상 스테이지 바닥에서 흘러 나오는 공기를 빠른 시간에 흡기 할 수 있는 유로의 확보는 필수적이다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 본 발명의 제1목적은, 부상되는 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안정적으로 부상시킬 수 있도록 한 디스플레이 패널 부상 스테이지를 제공하는데 있다.
본 발명의 제2목적은, 압력유지플레이트에 형성된 압력유지홀을 압력유지실과, 상기 압력유지실 보다 내경이 작은 통로로 분리 구성하되, 상기 통로는 압력유지실에 편심되게 연통시킴으로써, 압력유지실 내에서 발생되는 와류 또는 체적 증가에 따른 급기압과 진공압을 일정하게 유지될 수 있도록 한 디스플레이 패널 부상 스테이지를 제공하는데 있다.
본 발명의 제3목적은, 처짐이 발생되는 디스플레이 패널 양측 사이드에는 진공압 없이 급기압만이 분사되도록 하여 디스플레이 패널의 평탄도를 안정적으로 유지할 수 있도록 한 디스플레이 패널 부상 스테이지를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 특징에 따르면, 제 1발명은, 디스플레이 패널 부상 스테이지에 관한 것으로, 이를 위해 디스플레이 패널을 안정적으로 부상시키기 위해 다수의 급기홀과 진공홀이 교번되게 다수 형성되는 탑플레이트;와, 상기 탑플레이트의 급기홀에서 분사되는 급기압과, 진공홀에서 흡입되는 진공압이 일정하게 유지할 수 있도록 상기 각 급기홀과 진공홀에 상통되는 다수의 압력유지홀이 형성된 상태로 다수 중첩된 압력유지플레이트;와, 상기 각 진공홀로 진공압을 공급하기 위해 상기 압력유지플레이트의 저면에 고정되는 제1바텀플레이트;와, 상기 각 급기홀로 급기압을 공급하기 위해 상기 제1바텀플레이트의 저면에 고정되는 제2바텀플레이트; 및 상기 제2바텀플레이트의 저면에 고정되고, 상기 제1바텀플레이트와 연통되는 진공공급로와, 상기 제2바텀플레이트와 연통되는 급기공급로가 병렬로 나란히 형성되는 다수의 매니폴드;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
제2발명은, 제1발명에서, 상기 제1바텀플레이트는 일정간격을 두고 병렬 형성되는 진공로와, 상기 각 진공로의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되어 상기 진공홀과 상통되는 제1분기로가 형성되는 것을 특징으로 한다.
제3발명은, 제1발명에서, 상기 제2바텀플레이트는 상기 급기홀로 급기압을 공급하기 위해 상기 제1바텀플레이트의 저면에 고정되되, 일정간격을 두고 병렬 형성되는 급기로와, 상기 각 급기로의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되어 상기 급기홀과 상통되는 제2분기로가 형성되는 것을 특징으로 한다.
제4발명은, 제1발명에서, 상기 압력유지홀은 하부에 형성되는 압력유지실과, 상기 압력유지실의 상부에 편심되게 연통되는 통로로 이루어지고, 상기 통로는 상기 압력유지실 보다 상대적으로 내경이 작게 형성되는 것을 특징으로 한다.
제5발명은, 제4발명에서, 상기 각 압력유지플레이트의 압력유지홀에 형성된 통로는 중첩된 압력유지플레이트의 통로와 편심위치가 지그재그로 배치될 수 있도록 좌측 또는 우측으로 편심되게 형성되는 것을 특징으로 한다.
제6발명은, 제4발명에서, 상기 각 압력유지플레이트 중 어느 하나는 진공홀과 연통되는 압력유지홀의 형태가 통로 없이 단일 압력유지실로만 구성되는 것을 특징으로 한다.
제7발명은, 제1발명에서, 상기 탑플레이트는 사이드 양측 1열 횡대를 따라 진공홀 없이 급기홀만이 일정간격을 두고 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 디스플레이 패널 부상 스테이지에 따르면, 부상되는 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안정적으로 부상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한 처짐이 발생되는 디스플레이 패널 양측 사이드에는 진공압 없이 급기압만이 분사되도록 하여 디스플레이 패널의 평탄도를 안정적으로 유지할 수 있는 효과가 있다.
또한 압력유지플레이트에 형성된 압력유지홀을 압력유지실과, 상기 압력유지실 보다 내경이 작은 통로로 분리 구성하되, 상기 통로는 압력유지실에 편심되게 연통시킴으로써, 압력유지실 내에서 발생되는 와류 또는 체적 증가에 따른 급기압과 진공압을 일정하게 유지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 사시도,
도 2는 도 1의 저면 사시도,
도 3은 도 1의 분해사시도,
도 4는 도 3에서 발췌된 압력유지플레이트를 나타내는 단면도,
도 5는 도 3에서 발췌된 제1바텀플레이트를 나타내는 평면도,
도 6은 도 3에서 발췌된 제2바텀플레이트를 나타내는 평면도,
도 7은 도 3에서 발췌된 매니폴드를 나타내는 사시도,
도 8은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 저면을 나타내는 투영도,
도 9는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 단면을 나타내는 단면도,
도 10은 다른 실시예의 탑플레이트를 나타내는 사진이다.
이하에서는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지에 관하여 첨부되어진 도면과 함께 더불어 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 사시도이고, 도 2는 도 1의 저면 사시도이고, 도 3은 도 1의 분해사시도이고, 도 4는 도 3에서 발췌된 압력유지플레이트를 나타내는 단면도이고, 도 5는 도 3에서 발췌된 제1바텀플레이트를 나타내는 평면도이고, 도 6은 도 3에서 발췌된 제2바텀플레이트를 나타내는 평면도이고, 도 7은 도 3에서 발췌된 매니폴드를 나타내는 사시도이고, 도 8은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 저면을 나타내는 투영도이며, 도 9는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 단면을 나타내는 단면도이다.
도 1 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명은 부상되는 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안정적으로 부상시키는 것은 물론, 처짐이 발생되는 디스플레이 패널 양측 사이드에는 진공압 없이 급기압만이 분사되도록 하여 디스플레이 패널(200)의 평탄도를 안정적으로 유지할 수 있도록 한 디스플레이 패널 부상 스테이지(100)에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 디스플레이 패널 부상 스테이지(100)는 크게 5개 부분으로 구성되는데, 이는 탑플레이트(10)와, 압력유지플레이트(20)와, 제1바텀플레이트(30)와, 제2바텀플레이트(40) 및 매니폴드(50)가 상호 간 일체로 볼팅 결합되어 구성된다.
상기 탑플레이트(10)는 도 1과 같이, 디스플레이 패널(200)을 안정적으로 부상시키기 위해 다수의 급기홀(11)과 진공홀(12)이 교번되게 다수 형성되는 구조이다.
여기서 상기 급기홀(11)과 진공홀(12)은 실시예로 격자구조로 배치되는 구조이지만, 일정한 패턴 형태로도 배치되어 구성될 수 있다.
이 때 상기 급기홀(11)에서 발생되는 급기압은 상기 진공홀(12)에 발생되는 진공압 보다 상대적으로 커 디스플레이 패널(200)이 부상될 수 있도록 하는 것이 선행되어야 한다.
상기 압력유지플레이트(20)는 상기 탑플레이트(10)의 저면에 볼팅 결합에 의해 고정된다.
이러한 상기 압력유지플레이트(20)는 도 4와 같이, 탑플레이트(10)의 급기홀(11)에서 분사되는 급기압과, 진공홀(12)에서 흡입되는 진공압이 일정하게 유지할 수 있도록 상기 각 급기홀(11)과 진공홀(12)에 상통되는 다수의 압력유지홀(21)이 형성된 구조이다.
상기 압력유지플레이트(20)의 압력유지홀(21)은 하부에 형성되는 압력유지실(211)과, 상기 압력유지실(211)의 상부에 편심되게 연통되는 통로(212)로 구성된다. 이 때 상기 통로(212)는 상기 압력유지실(211) 보다 상대적으로 내경이 작게 형성되는 구조이다.
상기에서 급기홀(11)과 연결되는 상기 압력유지홀(21)은 압력유지실(211)을 통해 급기되는 공기에 와류를 발생시켜 압력을 낮추는 소위 저항체의 기능을 하게 된다.
그리고 상기 압력유지실(211)에 편심되게 형성된 통로(212)는 압력이 낮아진 공기의 유량을 저감시킬 수 있도록 기능한다.
이러한 압력유지실(211)과 통로(212)의 내경 크기는 디스플레이 패널(200)의 크기와 무게에 따라 달리될 수 있다.
또한 상기 진공홀(12)과 연결되는 상기 압력유지홀(21)은 압력유지실을 통해 진공압력이 높아지는 것을 방지할 수 있고, 상기 통로(212)는 흡기량을 급기량 만큼 조절할 수 있게 된다.
이러한 상기 압력유지플레이트(20)는 도 4 및 도 9와 같이, 안정적인 급기압과 진공압을 유지하기 위해 적어도 2개 이상 중첩 결합되어 구성되며, 본 발명에서는 3개의 압력유지플레이트(20)가 중첩된 구조이다.
이러한 상기 압력유지플레이트(20)는 요구되는 진공압과 급기압에 따라 그 중첩 갯수가 달리될 수 있음은 물론이다.
또한 상기 각 압력유지플레이트(20)의 압력유지홀(21)에 형성된 통로(212)는 중첩된 압력유지플레이트(20)의 통로(212)와 편심위치가 지그재그로 배치될 수 있도록 좌측 또는 우측으로 편심되게 형성되는 구조이다.
따라서 급기홀(11)을 통해 배출되는 공기의 급기량과, 급기압은 압력유지홀(21)을 다단으로 거치면서 일정하게 유지될 수 있게 된다.
또한 진공홀(12)을 통해 흡입되는 진공압과 흡기량 역시 압력유지홀(21)을 다단으로 거치면서 일정하게 유지될 수 있게 된다.
한편 도 4와 같이, 상기 각 압력유지플레이트(20) 중 어느 하나는 진공홀(12)과 연통되는 압력유지홀(21)의 형태가 통로(212) 없이 단일 압력유지실(211)로만 구성될 수 있다. 이러한 구조는 진공압의 저항이 더 크게 발생되는 바, 진공에 의해 흡기되는 공기의 체적을 넓혀 급기량 대비 흡입량의 균형을 맞추기 위함이다.
여기서 상기 진공홀(12)과 상통되는 압력유지홀(21)의 통로(212)는 흡기되는 공기량을 증대시키기 위해 상기 급기홀(11)과 상통되는 압력유지홀(21)의 통로(212) 보다 상대적으로 내경을 크게 형성하여 구성될 수 있다.(도 4에 도시)
때문에 상기 탑플레이트(10)는 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위 곳에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널(200)을 흔들림 없이 안정적으로 부상시킬 수 있게 된다.
아울러 상기 탑플레이트(10)의 저면에 배치되는 압력유지플레이트(20)의 압력유지홀(21)은 통로(212)가 상기 급기홀(11) 또는 진공홀(12)에 연결되어 급기 또는 흡입되는 구조이고, 상기 압력유지실(211)은 하부에 중첩된 또는 압력유지플레이트(20)의 통로(212)와 상통되는 구조이다.
또한 최하층에 배치된 압력유지플레이트(20)의 압력유지홀(21)은 제1바텀플레이트(30) 및 제2바텀플레이트(40)와 상통되어 급기를 위한 급기압과, 흡입을 위한 진공압을 각각 개별적으로 공급 받을 수 있도록 구성된다.
여기서 상기 제1바텀플레이트(30)는 도 5와 같이, 진공홀(12)로 음압에 의해 공기를 흡입하기 위해 압력유지플레이트(20)의 저면에 고정되고, 일정간격을 두고 병렬 형성되는 진공로(31)와, 상기 진공로(31)의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되는 제1분기로(311)가 형성되는 구조이다.
여기서 상기 각 제1분기로(311)는 진공홀(12)과 상통되는 압력유지플레이트(20)의 압력유지실(211)와 개별적으로 연통되어 통해 공기를 음압에 의해 흡입시킬 수 있도록 구성된다.
이러한 상기 제1바텀플레이트(30)의 각 진공로(31)에는 제1분기로(311)와 별개로 복수의 제1연결로(312)가 형성되는데, 이러한 제1연결로(312)에는 진공압을 공급받기 위한 제1통공(313)이 더 형성된다.
이 때 상기 제1통공(313)은 도 6과 같이, 제2바텀플레이트(40)까지 연장되어 제2바텀플레이트(40)의 간섭없이 흡기를 위한 흡기압을 공급할 수 있도록 이루어진다.
아우러 상기 제2바텀플레이트(40)는 도 6과 같이, 급기홀(11)로 공기를 공급하기 위해 상기 제1바텀플레이트(30)의 저면에 고정되고, 일정간격을 두고 병렬 형성되는 급기로(41)와, 상기 급기로(41)의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되는 제2분기로(411)를 포함하는 구성이다.
여기서 상기 각 제2분기로(411)는 급기홀(11)과 상통되는 압력유지실(211)과 개별적으로 연통되어 급기를 위한 공기가 공급될 수 있도록 구성된다.
보다 상세하게는 상기 제2바텀플레이트(40)의 각 급기로(41)에는 제2분기로(411)와 별개로 복수의 제2연결로(412)가 형성되는데, 이러한 제2연결로(412)에는 급기압를 공급받기 위한 제2통공(413)이 더 형성된다.
상기 매니폴드(50)는 한개 또는 복수개가 결합될 수 있으며, 도 7과 같이, 상기 제2바텀플레이트(40)의 저면에 고정되고, 제1바텀플레이트(30)의 급기로(41)와, 제2바텀플레이트(40)의 진공로(31)에 개별적으로 연통되는 급기공급로(51)와, 진공공급로(52)가 병렬로 나란히 형성되는 구조이다.
여기서 도 8과 같이, 상기 급기공급로(51)는 상기 제2바텀플레이트(40)의 각 제2연결로(412)에 형성된 제2통공(413)과 연통시켜 상기 각 급기로(41)로 급기압이 공급되도록 기능한다.
그리고 상기 진공공급로(52)는 상기 제1바텀플레이트(30)의 각 제1연결로(312)에 형성된 제1통공(313)과 연통시켜 상기 각 진공로(31)로 진공압이 공급되도록 기능한다.
또한 상기 매니폴드(50)의 저면에는 상기 급기공급로(51)와 상통되는 급기단자홀(511)과, 상기 진공공급로(52)와 상통되는 진공단자홀(521)을 더 포함한다.
이 때 상기 매니폴드(50)는 상기 진공단자홀(521)과, 급기단자홀(511)에는 진공호스(61)와 급기호스(62)를 연결시키기 위한 소켓블럭(60)이 결합되어 구성될 수 있다.
한편 본 발병의 디스플레이 패널 부상 스테이지(100)는 처짐이 발생되는 디스플레이 패널(200)의 사이드 양측으로 진공압 없이 급기압만 발생되도록 하여 디스플레이 패널(200)의 평탄도를 유지할 수 있도록 구성된다.
이를 위해 상기 탑플레이트(10)는 도 1과 같이, 사이드 양측 1열 횡대를 따라 진공홀(12) 없이 급기홀(11)만이 일정간격을 두고 배치된다.
그리고 상기 제2바텀플레이트(40)의 급기로(41) 중 사이드 양측에 배치된 급기로(41)는 제2분기로(411)가 없는 보조급기로(42)가 상기 각 급기홀(11)과 상통되게 이루어진다.
이러한 상기 제2바텀플레이트(40)의 보조급기로(42)에는 공기를 공급받기 위한 제3통공(421)이 형성될 수 있다.
그리고 상기 매니폴드(50)는 2개의 보조급기로(42)에 개별적으로 공기를 공급하는 보조공급로(53)가 더 형성될 수 있다.
아울러 상기 매드폴드(60)의 상면 역시 상기 보조공급로(53)와 상통되는 2개의 보조단자홀(531)이 형성되고, 이러한 2개의 보조단자홀(531)에는 각각 단독으로 급기압을 공급할 수 있는 보조소켓블럭(70)이 결합되어 구성된다.
이를 통해 상기 탑플레이트(10)의 사이드 양측 1열 횡대에 배치된 급기홀(11)은 개별적으로 별도의 급기압을 제공할 수 있어 디스플레이 패널(200)의 평탄도와 더불어, 디스플레이 패널(200)의 크기에 따라 디스플레이 패널(200)이 직진 이송되게 에어펜스의 기능을 겸할 수 있다.
이상에서와 설명된 본 발명의 디스플레이 패널 부상 스테이지의 급기와 흡기 경로는 다음과 같다.
도8 및 도 9를 참고하면 다음과 같다.
흡기: 진공탱크(미도시) → 소켓블럭 → 매니폴드(진공단자홀 → 진공공급로) → 제1바텀플레이트(제1연결로→제1통공→제1분기로-진공로) → 압력유지플레이트(압력유지홀(압력유지실→통로) → 탑플레이트(진공홀)
급기: 압축탱크(미도시) → 소켓블럭 → 매니폴드(급기단자홀 → 급기공급로) → 제2바텀플레이트(제2연결로→제2통공→제2분기로-급기로) → 압력유지플레이트(압력유지홀(압력유지실→통로) → 탑플레이트(급기홀)
탑플레이트의 외각 가장자리 급기: 압축탱크(미도시) → 보조소켓블럭 → 매니폴드(보조단자홀 → 보조공급로) → 제2바텀플레이트(제3통공→보조급기로) → 압력유지플레이트(압력유지홀(압력유지실→통로) → 탑플레이트(급기홀)
한편, 도 10은 다른 실시예의 탑플레이트를 나타내는 사진이다.
도 10과 같이, 상기 탑플레이트(10)의 각 진공홀(12)에는 디스플레이(200)의 진행 방향으로 연장된 그루브(Groove)홈(121)이 더 형성되어 구성될 수 있다.
이러한 상기 각 그루브홈(121)은 디스플레이(200)의 끝에 휘어져 있는 경우, 진공홀(12)의 위치에서 탑플레이트(10) 표면과 마찰에 의해 디스플레이(200) 또는 탑플레이트(10)에 스크레치가 발생할 수도 있으므로, 이를 방지하기 위해 진공압의 형성을 늦추는 기능을 한다.
이상에서와 같이, 본 발명의 디스플레이 패널 부상 스테이지에는 용도에 따라 검사기, 물류, 특수 공정장비, coater(약액 도포기), 측장기에도 사용할 수 있다.
또한 본 발명에 사용된 기체는 공기 이외에, 질소도 사용할 수 있고, 이 밖에도 증류수와 같은 액체류도 사용할 수 있다.
또한 상기 탑플레이트의 사이드 양측 1열에는 급기홀만이 형성되는 구조이지만, 이 밖에도 진공압을 공급하여 진공홀의 기능을 할 수 있게 기능할 수 있게 구성할 수 있으며, 또한 급기홀에 급기압과 진공압을 선택적으로 공급될 수 있도록 보조소켓에 진공호스와 급기호스를 연결하여 구성할 수 있다.
본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

Claims (7)

  1. 디스플레이 패널을 안정적으로 부상시키기 위해 다수의 급기홀과 진공홀이 교번되게 다수 형성되는 탑플레이트;
    상기 탑플레이트의 급기홀에서 분사되는 급기압과, 진공홀에서 흡입되는 진공압이 일정하게 유지할 수 있도록 상기 각 급기홀과 진공홀에 상통되는 다수의 압력유지홀이 형성된 상태로 다수 중첩된 압력유지플레이트;
    상기 각 진공홀로 진공압을 공급하기 위해 상기 압력유지플레이트의 저면에 고정되는 제1바텀플레이트;
    상기 각 급기홀로 급기압을 공급하기 위해 상기 제1바텀플레이트의 저면에 고정되는 제2바텀플레이트; 및
    상기 제2바텀플레이트의 저면에 고정되고, 상기 제1바텀플레이트와 연통되는 진공공급로와, 상기 제2바텀플레이트와 연통되는 급기공급로가 병렬로 나란히 형성되는 다수의 매니폴드;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 부상 스테이지.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1바텀플레이트는 일정간격을 두고 병렬 형성되는 진공로와, 상기 각 진공로의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되어 상기 진공홀과 상통되는 제1분기로가 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 부상 스테이지.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2바텀플레이트는 상기 급기홀로 급기압을 공급하기 위해 상기 제1바텀플레이트의 저면에 고정되되, 일정간격을 두고 병렬 형성되는 급기로와, 상기 각 급기로의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되어 상기 급기홀과 상통되는 제2분기로가 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 부상 스테이지.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 압력유지홀은 하부에 형성되는 압력유지실과, 상기 압력유지실의 상부에 편심되게 연통되는 통로로 이루어지고,
    상기 통로는 상기 압력유지실 보다 상대적으로 내경이 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 부상 스테이지.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 각 압력유지플레이트의 압력유지홀에 형성된 통로는 중첩된 압력유지플레이트의 통로와 편심위치가 지그재그로 배치될 수 있도록 좌측 또는 우측으로 편심되게 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 부상 스테이지.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 각 압력유지플레이트 중 어느 하나는 진공홀과 연통되는 압력유지홀의 형태가 통로 없이 단일 압력유지실로만 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 부상 스테이지.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 탑플레이트의 각 진공홀에는 디스플레이의 진행 방향으로 연장된 그루브(Groove)홈이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 부상 스테이지.
PCT/KR2022/015924 2021-11-17 2022-10-19 디스플레이 패널 부상 스테이지 WO2023090657A1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202280048515.1A CN117615980A (zh) 2021-11-17 2022-10-19 显示面板上浮平台

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2021-0158173 2021-11-17
KR1020210158173A KR102396254B1 (ko) 2021-11-17 2021-11-17 디스플레이 패널 부상 스테이지

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2023090657A1 true WO2023090657A1 (ko) 2023-05-25

Family

ID=81582674

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2022/015924 WO2023090657A1 (ko) 2021-11-17 2022-10-19 디스플레이 패널 부상 스테이지

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR102396254B1 (ko)
CN (1) CN117615980A (ko)
WO (1) WO2023090657A1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102396254B1 (ko) * 2021-11-17 2022-05-09 황희진 디스플레이 패널 부상 스테이지

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080028598A (ko) * 2006-09-27 2008-04-01 주식회사 에스에프에이 인쇄장치
KR20150000482A (ko) * 2012-04-03 2015-01-02 오일레스고교 가부시키가이샤 부상용 에어 플레이트
JP2015040105A (ja) * 2013-08-22 2015-03-02 オイレス工業株式会社 浮上搬送装置
KR20200081463A (ko) * 2017-11-08 2020-07-07 코아 플로우 리미티드 계층화된 비접촉 지지 플랫폼
KR102396254B1 (ko) * 2021-11-17 2022-05-09 황희진 디스플레이 패널 부상 스테이지

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101517992B1 (ko) 2013-12-20 2015-05-06 한국기계연구원 기판 반송 장치에 사용되는 부상 플레이트

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080028598A (ko) * 2006-09-27 2008-04-01 주식회사 에스에프에이 인쇄장치
KR20150000482A (ko) * 2012-04-03 2015-01-02 오일레스고교 가부시키가이샤 부상용 에어 플레이트
JP2015040105A (ja) * 2013-08-22 2015-03-02 オイレス工業株式会社 浮上搬送装置
KR20200081463A (ko) * 2017-11-08 2020-07-07 코아 플로우 리미티드 계층화된 비접촉 지지 플랫폼
KR102396254B1 (ko) * 2021-11-17 2022-05-09 황희진 디스플레이 패널 부상 스테이지

Also Published As

Publication number Publication date
CN117615980A (zh) 2024-02-27
KR102396254B1 (ko) 2022-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2023090657A1 (ko) 디스플레이 패널 부상 스테이지
WO2013159376A1 (zh) 背光模组及液晶显示装置
WO2017123040A1 (ko) 초소형 led 전극어셈블리 및 이의 제조방법
WO2012128551A2 (en) Display device and light conversion member
WO2017111223A1 (en) Organic light emitting display apparatus
WO2020204271A1 (ko) 디스플레이 디바이스
WO2018176569A1 (zh) Coa阵列基板及液晶显示面板
WO2019010773A1 (zh) 一种oled显示面板及显示装置
WO2020141829A1 (en) Display apparatus
WO2016115862A1 (zh) 有机发光二极管像素排列结构
WO2019164063A1 (ko) 디스플레이 디바이스
WO2018035894A1 (zh) 像素结构及制作方法
WO2015156542A1 (ko) 가스 분사 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR102451485B1 (ko) 흡기라인에 이물질 수용공간을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치
WO2016006740A1 (ko) 복수의 도가니를 갖는 박막 증착장치
WO2021150040A1 (ko) 마이크로 led 모듈을 갖는 디스플레이 장치
WO2014185626A1 (en) Gas sprayer and thin film depositing apparatus having the same
KR102451501B1 (ko) 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치
KR102451491B1 (ko) 이물질 수용공간을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치
WO2021096115A1 (ko) Oled 제조용 마스크 및 oled 제조 방법
WO2016099064A1 (ko) 필름 건조 장치 및 이를 포함하는 필름 제조 시스템
WO2021256729A1 (ko) 확산판 지지형 렌즈
WO2021002590A1 (ko) 기판처리장치용 가스공급장치 및 기판처리장치
WO2023008641A1 (ko) 디스플레이 디바이스
WO2023287155A1 (ko) 기판처리장치용 상부돔 및 기판처리장치

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 22895865

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 202280048515.1

Country of ref document: CN

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2024501191

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A