KR101517992B1 - 기판 반송 장치에 사용되는 부상 플레이트 - Google Patents

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Abstract

본 발명에서는 미세한 경로를 통해 기판으로 공기를 골고루 공급하여 흔들림 없이 기판의 부상이 보다 안정적으로 이루어질 수 있는 기판 반송 장치에 사용되는 부상 플레이트가 개시된다.
본 발명에 따르면, 하부에서 상부로 공기가 공급되는 공급구와, 상부에서 하부로 공기가 빠져나가는 배출구가 복수 형성된 하판과, 상기 하판의 상부에 배치되고, 하면에 상기 하판의 공급구와 연통되게 내측으로 요입된 채널이 형성되며, 상기 채널에서 유동하는 공기가 상면으로 배출되게 상면과 하면을 관통하는 급기구 형성되고, 상기 채널과 급기구가 연통되게 하면에 내측으로 요입된 패턴 형태의 미세홈이 형성되며, 상기 하판의 배출구와 연통되게 복수의 배기구가 형성된 상판을 포함하되, 상기 하판은, 상기 상판의 급기구와 마주보는 위치에 상면과 하면을 관통하는 체결구를 형성하고, 하면에는 상기 체결구와 급기구를 체결하는 볼트가 장착되며, 상기 급기구는, 상기 볼트가 끼워지도록 하면에서 상부로 요입된 볼트홀과, 상기 볼트홀의 상부에 상기 볼트홀 보다 작은 직경으로 볼트홀과 상면을 관통하는 미세홀을 포함한다.

Description

기판 반송 장치에 사용되는 부상 플레이트{Floating plate being used for substrate floating apparatus}
본 발명은 기판 반송 장치에 사용되는 부상 플레이트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 미세한 경로를 통해 기판으로 공기를 골고루 공급하여 흔들림 없이 기판의 부상이 보다 안정적으로 이루어질 수 있는 기판 반송 장치에 사용되는 부상 플레이트에 관한 것이다.
일반적으로, TV, 모니터, 휴대폰 등에 사용되는 평판 표시 장치의 구성을 보면, 투명한 글래스 기판 위에 격자패턴이 형성되어 있고, 그 뒤에는 백라이트가 있으며, 이들 사이에는 액정이 있고, 글래스 기판 앞에는 칼라 필터가 배치된다. 상기 격자 패턴에 인가된 전기신호에 의해 액정은 특정 위치의 빛을 차단하거나 통과 시킬 수 있으며, 이러한 방식의 디스플레이 장치를‘LCD’라 한다. 액정 대신 유기물을 사용하기도 하는데 이 유기물은 전기신호를 받으면 자체 발광하므로 백라이트는 필요가 없으며, 이러한 방식의 디스플레이 장치를‘OLED’라고 한다.
위와 같은 평판표시장치(FPD)가 만들어지기까지는 많은 공정을 거치게 되는데 이 과정에서 글래스 기판은 반복적으로 이동과 검사가 이루어 진다. 글래스 기판을 이동하는 방법은 공정 특성에 따라 다른 데 단순이동(Transfer)에는 롤러(Roller)나 인덱스(Index) 혹은 로봇 팔을 이용하기도 하지만, 검사공정에서는 정밀반송이 요구되므로 비접촉으로 반송을 하는 것이 일반적이며, 비접촉식 반송장치에는 공압 및 부상 플레이트가 포함된다.
상기 부상 플레이트가 갖추어야 할 몇 가지 특성을 보면, 적정한 압력이 있는 상태에서 가능한 소량의 공기가 일정하게 흘러나와야 하고 흘러나온 공기는 막힘 없이 배기가 이루어져야 한다.
근래 들어 디스플레이의 크기가 커지면서 해당 정밀도 또한 높아지면서 이에 따라 기판의 이송 정밀도 또한 높은 수준을 요구 받고 있다.
글래스 기판이 이동할 때 흔들리게 되면 카메라로 들어오는 영상이 좋지 않아서 결함검사 품질을 떨어뜨리게 된다.
즉, 글래스 기판의 상하 떨림이 발생할 경우 피사체인 글래스 기판이 렌즈의 초점을 벗어나므로 만족스러운 검사 이미지를 얻을 수 없어 검사 능력을 저하시키는 원인이 된다. 여기서 글래스 기판이 이동할 때 상하의 떨림 정도와 가장 밀접하게 연관 된 것이 부상 플레이트이다. 부상 플레이트를 통해서 나오는 공기 량이 일정하지 않거나 공기의 흐름이 원활하지 않으면 글래스 기판을 흔들리게 된다. 그 이유는 부상 플레이트와 글래스 기판 사이의 압력 및 체적 변화로 볼 수 있다.
따라서 부상 플레이트에서는 적정한 압력을 유지하면서 공기 량을 최소화 하기 위한 저항체와 공기가 잘 빠져 나가도록 하는 것이 가장 중요하다.
전술한 적정압력이라는 것은 글래스 기판이 부상 플레이트에 접촉하지 않을 정도의 저항력을 갖는 압력이다. 압력이 낮으면 이송 정밀도는 좋아지지만 부상 플레이트와 접촉될 가능성이 높고, 압력이 높으면 접촉 가능성은 낮아지나 부상 안정성이 떨어 진다. 또한 압력이 너무 높으면 설계에 따라서는 장기적으로 부상 플레이트의 변형을 가져오기도 한다. 그러므로 글래스 기판과 검사 정밀도 그리고 공정을 잘 분석하여 적정한 압력을 유지하는 것이 중요하다.
또한, 적정압력이 되었다 하더라도 공기유량이 많으면 공기 분출 시 난기류의 영향이 커지면서 글래스 기판이 흔들릴 수 있다. 또한 많은 공기가 빨리 빠져 나가지 못함에 따라 부분적으로 공기 정체가 발생하여 글래스 기판과 부상 플레이트의 간격 변화를 가져오게 된다. 이러한 현상 또한 부상의 안정성을 떨어뜨리게 되므로 좋은 검사 이미지 획득이 어렵다.
공기 흐름을 작게 하려면 저항체가 필요하다. 상기 저항체는 압력이 형성되게 하고 공기 량을 조절하는 기능을 동시 하게 된다. 따라서 저항체는 부상 플레이트에서 가장 중요한 기술적 요소라고 할 수 있다.
나아가, 적정한 압력이 형성되었고 공기 유량이 작다 하더라도 배기가 안되면 글래스 기판을 안정적으로 반송시키기 어렵다.
부상 플레이트를 설계함에 있어서 일반적으로 무시되는 부분이 바로 배기 부분이다. 배기는 저항체 못지 않게 중요하다. 아무리 소량의 공기가 나온다고 하더라도 시간이 지나면 부상 플레이트 위에 누적 된다. 배기가 안 되면 글래스 기판은 우산 모양으로 휘어진 체 이동하게 되므로 고품질의 검가 이미지 획득이 어렵게 된다. 그러므로 부상 플레이트 바닥에서 흘러 나오는 공기를 빠른 시간에 배기 할 수 있는 유로의 확보는 필수적이다.
하지만, 배기는 이론적으로 간단하지만, 실제로 제품상에 적용하는 데 있어 설계 및 구현에 어려움이 있다.
등록특허 10-1187006
상기와 같은 종래 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 적정한 공기압을 유지하면서 최소량의 공기를 상부 표면으로 분출하고, 분출된 공기가 상면에서 정체되지 않고 곧바로 배기가 이루어져 글래스 기판을 정밀하고 안정적으로 반송시킬 수 있는 기판 반송장치에 사용되는 부상 플레이트를 제공한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 반송 장치에 사용되는 부상 플레이트는 하부에서 상부로 공기가 공급되는 공급구와, 상부에서 하부로 공기가 빠져나가는 배출구가 복수 형성된 하판과, 상기 하판의 상부에 배치되고, 하면에 상기 하판의 공급구와 연통되게 내측으로 요입된 채널이 형성되며, 상기 채널에서 유동하는 공기가 상면으로 배출되게 상면과 하면을 관통하는 급기구 형성되고, 상기 채널과 급기구가 연통되게 하면에 내측으로 요입된 패턴 형태의 미세홈이 형성되며, 상기 하판의 배출구와 연통되게 복수의 배기구가 형성된 상판을 포함하되, 상기 하판은, 상기 상판의 급기구와 마주보는 위치에 상면과 하면을 관통하는 체결구를 형성하고, 하면에는 상기 체결구와 급기구를 체결하는 볼트가 장착되며, 상기 급기구는, 상기 볼트가 끼워지도록 하면에서 상부로 요입된 볼트홀과, 상기 볼트홀의 상부에 상기 볼트홀 보다 작은 직경으로 볼트홀과 상면을 관통하는 미세홀을 포함한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 적정한 공기압을 유지하면서 최소량의 공기를 상부 표면으로 분출하고, 분출된 공기가 상면에서 정체되지 않고 곧바로 배기가 이루어져 글래스 기판을 정밀하고 안정적으로 반송시킬 수 있다.
나아가 글래스 기판이 상하 흔들림 없이 되어, 글래스 기판의 전영역에 걸쳐 초점의 벗어남 없는 검사 이미지를 획득할 수 있어 검사 신뢰도를 확보할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 반송 장치에 사용되는 부상 플레이트의 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 기판 반송 장치에 사용되는 부상 플레이트의 분리사시도,
도 3은 도 1의 A-A' 단면도,
도 4는 도 1에 있어서 하판의 저면 사시도.
도 5는 상판의 다른 실시 예를 보인 사시도,
도 6은 도 1에 있어서 상판의 저면 사시도,
도 7은 도 1의 부분절개 사시도이다.
본 발명에 따른 기판 반송 장치에 사용되는 부상 플레이트는 미세한 경로를 통해 기판으로 공기를 골고루 공급하여 흔들림 없이 기판의 부상이 보다 안정적으로 이루어질 수 있도록 한 것으로, 그 일 실시 예를 도 1 내지 도 7에 나타내 보였다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 부상 플레이트는 하부에서 상부로 공기가 공급되는 공급구(110)와, 상부에서 하부로 공기가 빠져나가는 배출구(120)가 복수 형성된 하판(100)과, 상기 하판(100)의 상부에 배치되고, 하면에 상기 하판(100)의 공급구(110)와 연통되게 내측으로 요입된 채널(210)이 형성되며, 상기 채널(210)에서 유동하는 공기가 상면으로 배출되게 상면과 하면을 관통하는 급기구(220)가 형성되고,상기 채널(210)과 급기구(220)가 연통되게 하면에 내측으로 요입된 패턴 형태의 미세홈(250)이 형성되며, 상기 하판의 배출구(120)와 연통되게 복수의 배기구(230)가 형성된 상판(200)을 포함한다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 부상 플레이트는 상판(200)과 하판(100)으로 구성되며, 외부의 공압생성수단(20)에서 하판(100)으로 공기가 공급된다. 보다 상세하게는 하판(100)의 하면에 형성된 공급구(110)의 하단으로 주입된 공기는 상기 공급구(110)의 상단과 연통되게 상판(200)의 하면에 형성된 채널(210)로 공급된다. 상기 채널(210)의 일부에는 상기 공급구(110)의 공기가 원활하게 유입하도록 상기 공급구(110)의 형상과 대응되는 확장부(211)를 형성할 수 있다. 상기 채널(210)을 통해 상판(200)의 하면을 이동하던 공기는 상기 채널(210)과 미세홈(250)으로 연통된 급기구(220)를 통해 상판(200)의 상면으로 분출된다. 상기 분출된 공기는 기판(10)과 상판(200)의 상면 사이를 사방으로 흐르면서 기판(10)을 부상 및 이송시키고, 상판(200)에 형성된 배기구(230)를 통해 상면에서 하면 방향으로 빠져나가다가, 상기 배기구(230)와 연통되는 배출구(120)를 통해 하판(100)의 하부로 빠져 나간다.
본 발명에 따르면, 상기 채널(210)의 형상은 상기 상판(200)의 하면 구석까지 골고루 공기가 이동하도록 공기의 유동 통로를 확보하는 범위에서 도 6의 형태를 비롯하여 다양한 실시 예가 발생할 수 있으며, 직선 또는 곡선형으로 이루어지되, 지체되는 구간 없이 공기의 유동이 원활하도록 저항이 적은 유선형의 형태를 취할 수 있다.
변형 예로, 상기 채널은 상판(200)의 하면에 형성되지 않고, 상기 하판(100)의 상면에 형성될 수 있다. 이와 같은 경우에도 상판(200)에 의해 하판(100)의 채널에 차폐되어 상기 채널을 통해 공기가 유동할 수 있다.
한편, 전술한 바와 같이 상판(200)에 형성된 배기구(230)는 하판(100)의 배출구(120)까지 연통 되어 있다. 경우에 따라서 보다 확실한 배기를 위해 하판(100)의 배출구(120)에 흡입수단을 연결하여 강제로 배기를 진행할 수도 있다.
또한, 검사요구조건, 기판의 종류에 따라 공급부(110), 채널(210) 및 급기구(220)의 크기 및 개수를 조절하여 상판(200)의 상면으로 공급되는 공기의 양 또는 압력을 조절할 수 있고, 배기구(230) 및 배출구(120)의 크기를 조절하거나, 개수를 조절하여 배기량을 조절할 수 있음은 물론이다.
본 발명에 따르면, 상기 하판(100)은, 상기 상판(200)의 급기구(220)와 마주보는 위치에 상면과 하면을 관통하는 체결구(130)를 형성하고, 하면에는 상기 체결구(130)와 급기구(220)를 체결하는 볼트(300)가 장착된다.
상기의 경우 급기구(220) 및 체결구(130)에는 볼트(300)의 체결이 용이하도록 내주면에 암나사가 형성될 수 있다. 상기와 같이 상판(200)과 하판(100)에 볼트(300)가 체결되면, 상기 하판(100)과 상판(200)이 일체로 연결됨은 물론, 볼트(300)의 몸통부(320)와 상판(200)의 급기구(220)사이에는 미세 간극이 형성되면서 공기 저항체로서의 기능을 수행하게 된다. 따라서, 상기 채널(210)의 공기가 상기 급기구(220)와 볼트(300)의 몸통부(320) 사이의 미세한 간극을 통해서 소량씩 상판(200)의 상면으로 공급될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 상판(200)의 급기구(220)는, 상기 볼트(300)가 끼워지도록 하면에서 상부로 요입된 볼트홀(221)과, 상기 볼트홀(221)의 상부에 상기 볼트홀(221) 보다 작은 직경으로 볼트홀(221)과 상면을 관통하는 미세홀(222)을 포함한다.
상기 볼트홀(221)의 내경에는 볼트(300)의 체결이 용이하도록 암나사가 형성될 수 있다. 상기 급기구(220)가 볼트홀(221)과 미세홀(222)로 형성될 경우, 상기 볼트(300)의 몸통부(320)와 볼트홀(221) 사이 나선형의 미세 간격으로 상부로 이송된 공기가 상기 미세홀(222)을 통해 상판(220)의 상면에 공급될 수 있다. 이때. 상기 미세홀(222)은 상기 상판(220)의 두께 방향과 나란하게 형성되므로 상기 공기는 수직 상방을 향하도록 상판(200)의 상면으로 공급되고, 따라서 상기 기판(10)의 부상이 안정적으로 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 채널(210)은, 상기 급기구(220)가 형성된 상판(200)의 하면에 상기 급기구(220)의 둘레를 따라 링형상의 돌출부(240)가 형성되도록 상기 급기구(220)를 우회하여 형성되고, 상기 돌출부(240)의 하면에는 상기 채널(210)과 급기구(220)가 연통되게 내측으로 요입된 패턴 형태의 미세홈(250)이 형성된다. 구체적으로는 상기 채널(210)은 상기 급기구(220)의 주변을 우회하는 우회부(212)와 상기 우회부(212)를 연결하는 연결부(213)를 포함할 수 있다.
상기 돌출부(240)는 하판(100)의 상면과 접촉된 상태이다. 따라서, 채널(210)을 따라 유동하는 공기가 급기구(220)로 공급될 수 있도록 상기 돌출부(240)의 하면에는 미세한 패턴 형태로 요입된 미세홈(250)이 형성된다. 상기와 같이 미세홈(250)이 형성될 경우, 상기 하판(100)의 공급구(110)를 통해 상판(200)의 채널(210)로 공기가 공급되면 공기저항체인 미세홈(250)에 의해 채널(210)에 적정한 공압이 형성됨과 동시에 상판(200)의 상면으로 소량의 공기 흐름을 유도 할 수 있다.
상기 미세홈(250)은 직선 또는 곡선 형태로 이루어질 수 있으며, 하나의 돌출부(240)에 복수 형성가능하고, 경우에 따라서 상호 교차되는 형태를 취할 수 있다. 이 밖에도 상기 미세홈(250)은 채널(210)을 유동하는 공기를 소량씩 급기구(220)로 공급할 수 있는 범위에서 다양한 실시 예가 발생할 수 있다. 상기 미세홈(250)의 모양이나 크기는 원하는 공기 저항 정도에 따라 설계 변경이 가능하다.
변형 예로, 상기 상판(200)의 돌출부(240)에 미세홈(250)을 형성하지 않고, 돌출부(240)의 하면에 미세홈이 형성된 박막 필름이나 디스크를 부착하는 것으로 대체할 수 있다.
또 다른 변형 예로, 상기 채널이 상판(200)의 하면에 형성되지 않고, 상기 하판(100)의 상면에 형성될 경우, 상기 미세홈(250)은 상기 하판(100)의 상면에 형성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 상기 하판(100)의 저면에는 상기 체결구(130)와 단턱(150)을 형성하도록 내측으로 요입되어 상기 볼트(300)의 머리부(310)가 수용되는 수용홈(140)이 형성된다. 상기의 경우 체결구(130)에는 볼트(300)의 몸통부(320)가 끼워지고 수용홈(140)에는 볼트(300)의 머리부(310)가 수용될 수 있다.
나아가, 상기 볼트(300)의 머리부(310)와 상기 단턱(150) 사이에는 볼트(300)와 상,하판(100,200)간의 체결력을 높이고, 볼트(300)와 하판(100)간의 실링을 위한 와셔(500)가 끼워진다. 상기 와셔(500)는 고무 등의 탄성물질로 구비될 수 있다. 변형 예로, 와셔(500) 대신에 본드로 볼트(300)와 하판(100)을 실링 처리할 수 있고, 실리콘건, 글루건 등을 이용할 수 도 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 수용홈(140)이 형성된 하판(100)의 저면에는 상기 수용홈(140)의 둘레를 따라 링형상의 돌기부(170)가 형성하도록 내측으로 요입된 링형상의 홈부(160)가 형성된다.
상기와 같이 수용홈(140)의 둘레를 따라 링 형상의 돌기부(170)가 형성될 경우, 상판(200)과 하판(200)의 조립 시, 상기 미세홈(250)이 형성된 돌출부(240)가 상기 돌기부(170)에 의해 지지되기 때문에 상기 돌출부(240)가 하판(100)에 평탄하게 접촉될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 상판(200)은 상면에 상기 배기구(230)와 연통되고, 내측으로 요입된 배기홈(260)이 길이방향을 따라 상호 나란하게 복수 형성된다. 경우에 따라서 상기 배기홈(260)은 상호 교차되는 방향으로 복수 형성될 수 있다.
종래의 경우 본 발명과 같이 배기홈(260)이 형성되지 않아 상판(200)의 상면의 공기가 곧바로 배기구(230)로 배출되기 때문에 많은 양의 공기가 급기구(220)에서 공급될 때 공기가 배기구(230)로 유동하는 동안 정체될 우려가 있고, 배기가 균일하고 안정적으로 이루어지지 못하게 되는 경우가 있었다.
하지만, 상기와 같이 상판(200)의 상면에 복수의 배기홈(260)이 형성될 경우 상기 급기구(220)를 통해 상판(200)의 상부로 공급된 공기가 상판(200)의 상면과 기판(10) 사이를 거쳐 근접한 배기홈(260)으로 1차적으로 배출되고, 배기홈(260)으로 배출된 공기는 배기홈(260)을 유동하면서 배기홈(260)과 연통된 배기구(230)로 골고루 빠져나갈 수 있어, 보다 균일하고 안정적인 배기가 이루어질 수 있다.
만약, 공급되는 공기의 양이 작으면 배기홈(260)을 생략하거나 작게 형성할 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따르면, 적정한 공기압을 유지하면서 최소량의 공기를 상판(200)의 상면으로 분출하고, 분출된 공기가 상면에서 정체되지 않고 곧바로 배기가 이루어져 기판(10)을 보다 정밀하고 안정적으로 반송시킬 수 있다. 나아가 반송되는 기판(10)의 흔들림이 없게 되어, 기판의 전 영역에 걸쳐 초점의 벗어남 없는 검사 이미지를 획득할 수 있어 검사 신뢰도를 확보할 수 있는 장점이 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
100 : 하판 110 : 공급구
120 : 배출구 130 : 체결구
140 : 수용홈 150 : 단턱
160 : 홈부 170 : 돌기부
200 : 상판 210 : 채널
220 : 급기구 221 : 볼트홈
222 : 미세홀 230 : 배기구
240 : 돌출부 250 : 미세홈
260 : 배기홈 300 : 볼트
400 : 링스프링 500 : 와셔

Claims (7)

  1. 기판 반송 장치에 사용되는 부상 플레이트에 있어서,
    하부에서 상부로 공기가 공급되는 공급구와, 상부에서 하부로 공기가 빠져나가는 배출구가 복수 형성된 하판과;
    상기 하판의 상부에 배치되고, 하면에 상기 하판의 공급구와 연통되게 내측으로 요입된 채널이 형성되며, 상기 채널에서 유동하던 공기가 상면으로 배출되게 상면과 하면을 관통하는 급기구 형성되고, 상기 채널과 급기구가 연통되게 하면에 내측으로 요입된 패턴 형태의 미세홈이 형성되며, 상기 하판의 배출구와 연통되게 복수의 배기구가 형성된 상판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치에 사용되는 부상 플레이트.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 하판은, 상기 상판의 급기구와 마주보는 위치에 상면과 하면을 관통하는 체결구를 형성하고, 하면에는 상기 체결구와 급기구를 체결하는 볼트가 장착된 것을 특징으로 하는 기판 반송장치에 사용되는 부상 플레이트.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 급기구는, 상기 볼트가 끼워지도록 하면에서 상부로 요입된 볼트홀과, 상기 볼트홀의 상부에 상기 볼트홀 보다 작은 직경으로 볼트홀과 상면을 관통하는 미세홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치에 사용되는 부상 플레이트.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 채널은, 상기 급기구가 형성된 상판의 하면에 상기 급기구의 둘레를 따라 링형상의 돌출부가 형성되도록 상기 급기구를 우회하여 형성되고, 상기 돌출부의 하면에는 상기 미세홈이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 반송장치에 사용되는 부상 플레이트.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 하판의 저면에는 상기 체결구와 단턱을 형성하도록 내측으로 요입되어 상기 볼트의 머리부가 수용되는 수용홈이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 반송장치에 사용되는 부상 플레이트.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 수용홈이 형성된 하판의 저면에는 상기 수용홈의 둘레를 따라 링형상의 돌기부가 형성하도록 내측으로 요입된 링형상의 홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 반송장치에 사용되는 부상 플레이트.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 상판은, 상면에 상기 배기구와 연통되고, 내측으로 요입된 배기홈이 길이방향을 따라 상호 나란하게 복수 형성된 것을 특징으로 하는 기판 반송장치에 사용되는 부상 플레이트.
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