WO2009038022A1 - Elément d'étanchéité composite - Google Patents

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WO2009038022A1 PCT/JP2008/066559 JP2008066559W WO2009038022A1 WO 2009038022 A1 WO2009038022 A1 WO 2009038022A1 JP 2008066559 W JP2008066559 W JP 2008066559W WO 2009038022 A1 WO2009038022 A1 WO 2009038022A1
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Akira Muramatsu
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Nippon Valqua Industries, Ltd.
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    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/06—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
    • F16J15/10—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing
    • F16J15/104—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing characterised by structure

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  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

L'invention concerne un élément d'étanchéité composite présentant un effet d'étanchéité, de résistant au plasma et de résistance aux gaz corrosifs. Son étanchéité ne se dégrade pas après usages répétées ; son usage ne génère pas la formation de particules métalliques ; il peut être appliqué à ce que l'on appelle une « rainure en queue d'aronde » utilisée généralement dans un appareil de fabrication de semi-conducteur ; ses performances, résistance au plasma ou aux gaz corrosifs, entre autres, se dégradent pas, même après des ouvertures/fermetures répétées. Un premier élément d'étanchéité (6) est constitué par un corps d'étanchéité annulaire (6A) ; une protubérance annulaire (6B) faisant saillie radialement du côté périphérique interne du corps d'étanchéité (6A) vers l'intérieur ; et une partie ajustée (6C) faisant saillie radialement de la protubérance annulaire (6B) vers l'intérieur. De plus, un second élément (8) comporte une cavité ajustée (8A) de forme généralement complémentaire à la partie ajustée (6C), et une partie courbée (8B) s'étendant à partir de la cavité ajustée (8A) en direction d'une partie étagée (6D).
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