Beschreibung
Elektromotor mit Messsystem für Position oder Bewegung
Die Erfindung bezieht sich auf einen Elektromotor mit einem Messsystem zur Ermittlung der Position oder Bewegung eines ersten Motorteils, der in Bezug auf einen zweiten Motorteil bewegbar ist, wobei der zweite Motorteil eine Anzahl von Mag¬ netfeldsensoreinrichtungen aufweist, die entlang der Bewe- gungsrichtung voneinander beabstandet sind.
Bei den Elektromotoren kann es sich um lineare oder rotatorische Motoren handeln.
Bekannten Messsystemen ist gemeinsam, dass diskrete Positionsindikatoren in der Bewegungsrichtung, in der die Position zu bestimmen ist, gleichmäßig beabstandet angeordnet sind und durch einen einzelnen Lesekopf abgelesen werden. Durch geeignete Auswertung des Ablesesignals, beispielsweise durch eine inkrementelle Logik, kann bei einer Bewegung die Position bestimmt werden. Die Genauigkeit der Positionsbestimmung ist dabei durch den gegenseitigen Abstand der Positionsindikato¬ ren bestimmt.
Wegen der räumlichen Ausdehnung der Positionsindikatoren in
Bewegungsrichtung können diese Abstände jedoch nicht beliebig vermindert werden, und ferner erhöht sich der Fertigungsauf¬ wand für Messsysteme mit miniaturisierten Abständen.
In der Druckschrift DE 10 2005 017 497.3 ist ein Synchronli¬ nearmotor vorgestellt, dessen Sekundärteil permanentmagnet¬ frei ist. Der Primärteil trägt sowohl Elektromagnete als auch Permanentmagnete. Dadurch können insbesondere bei langen Ver¬ fahrwegen zahlreiche Permanentmagnete eingespart werden, die üblicherweise am Sekundärteil befestigt sind.
Weiterhin ist in der Druckschrift DE 10 2006 016 503.0 eine Gebervorrichtung für eine elektrische Maschine, die eine mit
Polzähnen versehende Maschinenkomponente aufweist, um eine Position oder eine Bewegung relativ zu der Maschinenkomponente zu erfassen, beschrieben. Die Gebervorrichtung weist ein U-förmiges Joch bzw. einen entsprechenden Jochabschnitt und einen Sensor auf, der zur Erfassung einer magnetischen Größe in/an dem Jochabschnitt angeordnet ist. An einem freien Ende des Jochabschnitts sind zwei entgegengesetzt gerichtete oder richtbare Magnete angeordnet, um abhängig von der Position der Magnete gegenüber einem der Polzähne der Maschinenkompo- nente entgegengesetzt gerichtete, von dem Sensor detektierba- re, magnetische Flüsse in dem Jochabschnitt zu erzeugen. Da¬ bei wird unter dem Begriff "Jochabschnitt" auch ein gesamtes Joch einschließlich Polzähnen verstanden.
Es wird somit erreicht, dass sich innerhalb des Jochs bzw.
Jochabschnitts beim Verfahren der Gebervorrichtung gegenüber der Maschinenkomponente die Richtung des magnetischen Flusses im Joch ändert. Daher kann ein Signal mit Nulldurchgang gewonnen werden, woraus sich die Position präziser bestimmen lässt. Ein gegebenenfalls gewonnenes Sinus-Kosinus-Signalpaar eignet sich außerdem für eine übliche Sinus/Kosinus-Geberaus¬ wertung.
In diesem Dokument ist auch eine Gebervorrichtung beschrie- ben, die einen U-förmigen Jochabschnitt, einen in oder an dem Jochabschnitt angeordneten Magneten zum Erzeugen eines magnetischen Flusses in dem Jochabschnitt und einen Sensor, der zur Erfassung einer magnetischen Größe in/an dem Jochabschnitt angeordnet ist, aufweist. Der Sensor an einem freien Ende des Jochabschnitts besitzt zwei Sensorelemente, die beim gleichen magnetischen Fluss durch den Jochabschnitt unterschiedlich gerichtete Spannungen abgeben, so dass abhängig von der Position der Sensorelemente gegenüber einem der Polzähne der Maschinenkomponente entsprechend hohe und gerichte- te Spannungen an den Sensorelementen abgreifbar sind. Bei dieser Ausführungsform ändert sich das Verhältnis der magnetischen Flüsse in den beiden Magnetspulen an einem der freien Enden des Jochs. Wegen der unterschiedlich gerichteten Span-
nungen in den Sensorelementen kann ein entsprechend präzises Positionssignal gegebenenfalls mit Nulldurchgang gewonnen werden .
Außerdem zeigt diese Druckschrift eine Gebervorrichtung mit einem E-förmigen, symmetrisch zur Bewegungsrichtung in zwei Jochteile geteilten Joch, einem zwischen den beiden Jochteilen angeordneten Sensor und einem an den Enden beider Jochteile angeordneten, gerichteten oder richtbaren Magneten. Bei dieser Ausführung geht in die Messung nur eine einzige Magnettoleranz ein.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Elektromotor, der eine magnetfreie Hauptantriebskomponente wie Stator oder Sekundärteil besitzt, mit einem Messsystem zur Positionsbe¬ stimmung anzugeben, bei dem bei gleichem Abstand der Positionsindikatoren die Messgenauigkeit erhöht ist, bzw. bei gege¬ bener Messgenauigkeit größere Abstände zwischen den Positi¬ onsindikatoren zugelassen werden können.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt durch einen Elektromotor mit einem Messsystem mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1; die abhängigen Ansprüche betreffen vorteilhafte Weiterent¬ wicklungen der Erfindung.
Erfindungsgemäß wird also vorgeschlagen ein Elektromotor mit einem Messsystem zur Ermittlung der Position oder Bewegung eines ersten Motorteils, der in Bezug auf einen zweiten Mo¬ torteil bewegbar ist, wobei an dem ersten Motorteil eine An- zahl von Magnetfeldsensoreinrichtungen des Messsystems befestigt ist, die entlang der Bewegungsrichtung voneinander beabstandet sind, wobei der zweite Motorteil magnetfreie Pol¬ zähne aufweist, die entlang der Bewegungsrichtung voneinander beabstandet sind, jede der Magnetfeldsensoreinrichtungen min- destens einen Magneten aufweist, dessen Magnetfeld durch ei¬ nen der Polzähne zur Detektion mittels eines Sensors der Mag¬ netfeldsensoreinrichtungen geleitet wird, und der Abstand zwischen jeweils zwei der Magnetfeldsensoreinrichtungen un-
terschiedlich zum Abstand zwischen jeweils zwei der Polzähne ist .
Entsprechend der Erfindung wird damit das Noniusprinzip ein- gesetzt. Wenn beispielsweise der Abstand zwischen zwei Indi¬ katoren (hier: Polzähne) Δ beträgt, ist dadurch die Auflö¬ sung eines konventionellen Messsystems gegeben. Um erfindungsgemäß eine Auflösung von D = Δ/N (N ganze Zahl) zu erzielen, werden N Rezeptoren (hier: Sensoren) mit einem gegen- seitigen Abstand δ eingesetzt, wobei δ gegeben ist durch δ = Δ - D.
Wenn somit in einer bestimmten Position einer der Rezeptoren einen Positionsindikator erkennt, erfasst der in Bewegungs- richtung darauf folgende Rezeptor nach einer Bewegung um die Strecke D den darauf folgenden nächsten Positionsindikator, so dass insgesamt die Auflösung auf D erhöht ist.
Grundsätzlich ist es auch möglich, die Abstände zwischen den Rezeptoren größer als die Abstände zwischen den Indikatoren zu wählen, wobei die Auflösung D gegeben ist durch die Differenz der Abstände. Hieraus folgt auch, dass das Verhältnis des Abstandes der Indikatoren zum Abstand der Rezeptoren keine ganze Zahl sein soll, da in diesem Fall nur die ursprüng- liehe Auflösung Δ erzielt wird. Aus diesem Grund sollte auch das Verhältnis des Abstands der Magnetfeldsensoreinrichtungen zum Abstand der Polzähne keine ganze Zahl sein.
Ferner ist es vorteilhaft, wenn die Polzähne gleiche Abstände zueinander aufweisen und ebenso die Magnetfeldsensoreinrichtungen gleiche Abstände zueinander besitzen. Die Abstände können aber auch in einzelnen Verfahrabschnitten unterschiedlich sein. Dadurch kann in gewünschten Verfahrabschnitten eine hohe Auflösung und in anderen Verfahrabschnitten eine we- niger hohe Auflösung gewonnen werden, wobei die Abstände in den einzelnen Abschnitten untereinander gleich sind.
Entsprechend einer bevorzugten Ausführungsform weist die Magnetfeldsensoreinrichtung einen U-förmigen Jochabschnitt auf, und der Sensor ist in/an dem Jochabschnitt angeordnet, wobei an einem freien Ende des Jochabschnitts zwei entgegengesetzt gerichtete oder richtbare Magnete angeordnet sind, um abhän¬ gig von der Position der Magnete gegenüber einem der Polzähne des ersten Motorteils entgegengesetzt gerichtete, von dem Sensor detektierbare, magnetische Flüsse in dem Jochabschnitt zu erzeugen. Hierdurch ändert sich das Verhältnis der magne- tischen Flüsse in den beiden Magnetspulen an einem der freien Enden des Jochs. Wegen der unterschiedlich gerichteten Spannungen in den Sensorelementen kann, wie erwähnt, ein entsprechend präzises Positionssignal gegebenenfalls mit Nulldurch¬ gang gewonnen werden.
Vorzugsweise sind an beiden freien Enden des U-förmigen Jochabschnitts jeweils zwei entgegengesetzt gerichtete oder richtbare Magnete angeordnet. Damit ist der magnetische Fluss im Joch entsprechend verstärkt.
Eine weitere bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Elektromotors besteht darin, dass die Magnetfeldsensorein¬ richtung einen U-förmigen Jochabschnitt aufweist, der Magnet in oder an dem Jochabschnitt angeordnet ist und der Sensor ebenfalls in/an dem Jochabschnitt befestigt ist, wobei der Sensor an einem freien Ende des Jochabschnitts zwei Sensorelemente aufweist, die beim gleichen magnetischen Fluss durch den Jochabschnitt unterschiedlich gerichtete Spannungen abge¬ ben, so dass abhängig von der Position der Sensorelemente ge- genüber einem der Polzähne des ersten Motorteils entsprechend hohe und gerichtete Spannungen an den Sensorelementen abgreifbar sind. Dies hat den ebenfalls bereits erwähnten Vor¬ teil, dass sich das Verhältnis der magnetischen Flüsse in den beiden Magnetspulen an einem der freien Enden des Jochs än- dert . Wegen der unterschiedlich gerichteten Spannungen in den Sensorelementen kann ein entsprechend präzises Positionssig¬ nal gegebenenfalls mit Nulldurchgang gewonnen werden.
Bei einer anderen Ausgestaltung der Erfindung kann die Magnetfeldsensoreinrichtung ein E-förmiges, symmetrisch quer zur Bewegungsrichtung in zwei Jochteile geteiltes Joch aufweisen, der Sensor zwischen den beiden Jochteilen angeordnet sein und der Magnet sich an den Enden beider Jochteile befinden. Durch diese Konstruktion lässt sich auch mit einem einzigen Magneten erreichen, dass sich innerhalb des Jochs bzw. Jochab¬ schnitts beim Verfahren der Gebervorrichtung die Richtung des magnetischen Flusses im Joch ändert. In die Messung geht hier dann nur eine einzige Magnettoleranz ein.
Vorzugsweise ist der Elektromotor als Linearmotor ausgebil¬ det, wobei der erste Motorteil der Sekundärteil und der zwei¬ te Motorteil der Primärteil ist. Somit kann ein Synchronline- armotor mit permanentmagnetfreiem Sekundärteil mit dem erfindungsgemäßen Messsystem hoher Auflösung ausgestattet werden.
Die vorliegende Erfindung wird nun anhand der beigefügten
Zeichnungen näher erläutert, in denen zeigen:
FIG 1 bis 3 verschiedene schematische Ansichten eines erfin¬ dungsgemäßen Linearmotors mit permanentmagnetlo¬ sem Sekundärteil;
FIG 4 eine schematische Darstellung zur Erläuterung des Messprinzips;
FIG 5 einen Längsschnitt durch eine Magnetfeldsensoreinrichtung bzw. Gebervorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform;
FIG 6 einen Längsschnitt durch eine Magnetfeldsensor- einrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform mit E-förmigem Joch;
FIG 7 einen Längsschnitt durch eine Magnetfeldsensoreinrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform mit einem einzigen Permanentmagneten; FIG 8 einen Längsschnitt durch eine Magnetfeldsensoreinrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform;
FIG 9 einen Längsschnitt durch eine fünfte Ausführungs¬ form einer Magnetfeldsensoreinrichtung;
FIG 10 eine 3D-Ansicht einer sechsten Ausführungsform und FIG 11 eine Vorderansicht der Ausführungsform von FIG 7.
Die nachfolgend näher geschilderten Ausführungsbeispiele stellen bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung dar. Die Ausführungsbeispiele beziehen sich auf Linearmotoren, sie können aber sinngemäß auch auf rotatorische Mo¬ toren, insbesondere Torquemotoren übertragen werden.
FIG 4 zeigt symbolisch eine lineare Anordnung 300 einzelner magnetischer Polzähne 301, 302 ..., die jeweils einen Abstand Δ voneinander haben, hier beispielsweise 10 Einheiten (z.B. mm) . Die Anordnung 300 kann sich über beliebige Längen, in denen eine Positionsbestimmung vorzunehmen ist, erstrecken (vertikal in FIG 4) .
Parallel zu der Anordnung 300 von magnetischen Polzähnen ist eine Anordnung 200 von Magnetfeldsensoreinrichtungen 201, 202, ..., 210 angeordnet. Die Magnetfeldsensoreinrichtungen haben einen Abstand von δ, der in dem dargestellten Beispiel 9 Einheiten (z.B. mm) beträgt.
In der dargestellten Position liegt die Magnetfeldsensorein- richtung 201 direkt dem Polzahn 301 gegenüber, so dass die Magnetfeldsensoreinrichtung 201 den Polzahn 301 erfasst.
Wird die Abtastanordnung 200 um eine Strecke D = Δ - δ in Be¬ wegungsrichtung (vertikal in FIG 4 nach unten) bewegt, so steht die Magnetfeldsensoreinrichtung 202 dem Polzahn 302 gegenüber und erfasst ihn. Dies setzt sich bei einer weiteren Verschiebung um jeweils D fort, bis die Magnetfeldsensoreinrichtung 210 einen Polzahn erfasst. Anschließend steht die Magnetfeldsensoreinrichtung 201 dem Polzahn 302 gegenüber und der Prozess beginnt von vorn. Durch eine geeignete Auswertung der Signale der Magnetfeldsensoreinrichtungen, z.B. inkremen- telle Auswertung, erhält man insgesamt 10 Signale zwischen der in FIG 4 dargestellten Position und der Position, in der
die Magnetfeldsensoreinrichtung 201 dem Polzahn 302 gegenübersteht. Somit ist die Auflösung des Messsystems um einen Faktor Δ/ (Δ - δ) verbessert.
Die Anordnungen 300 und 200 können auch so positioniert wer¬ den, dass die Polzähne P und die Magnetfeldsensoreinrichtungen M auf konzentrischen Kreisen liegen. Auf diese Weise können Drehpositionen bei Rotationsmotoren ermittelt werden.
Im Folgenden wird das erfindungsgemäße Messsystem anhand ei¬ nes elektrischen Linearmotors erläutert.
Der in den FIG 1 bis 3 dargestellte elektrische Linearmotor hat in an sich bekannter Weise einen Sekundärteil mit einer Trägerplatte 110 und darauf aufgebrachten Polzähnen 120, die permanentmagnetlos und linear aneinander gereiht sind. Über einen Luftspalt wirkt der Sekundärteil mit einem Primärteil zusammen, der einen Körper 140 und darin aufgenommene Wicklungen 150 sowie nicht dargestellte Permanentmagnete auf- weist. Dabei ist das Polteilungsmaß a der Wicklungen 150 des Primärteils unterschiedlich zu den gegenseitigen Abständen b der magnetlosen Polzähne 120 des Sekundärteils.
Erfindungsgemäß ist der Primärteil mit mehreren Magnetfeld- sensoreinrichtungen 160 versehen. Jede Magnetfeldsensoreinrichtung besitzt mindestens einen Magneten und mindestens ei¬ nen Magnetfeldsensor (vgl. FIG 5 bis 11). Die Magnetfeldsensoreinrichtungen 160 sind in den Spulen 150 angeordnet und sind auf die Polzähne 120 gerichtet, wie durch den Pfeil in FIG 3 dargestellt ist.
Da sich das Polteilungsmaß a der Wicklungen von den Abständen b der magnetlosen Polzähne des Sekundärteils unterscheidet, erfassen die einzelnen Magnetfeldsensoreinrichtungen 160 Mag- netfelder ihrer jeweiligen Permanentmagnete lokal in unterschiedlichen Phasen. Durch geeignete Auswertung dieser Signale kann die Position festgestellt werden, bzw. kann die Genauigkeit erheblich erhöht werden ( "Nonius-Prinzip" ) .
Zwar sind in den Figuren jeweils zwei Magnetfeldsensoreinrichtungen 160 pro Spule vorgesehen, grundsätzlich ist jedoch eine Magnetfeldsensoreinrichtung pro Spule ausreichend. Es ist auch möglich, den Magneten einer Magnetfeldsensoreinrich- tung auf einer Seite des Primärteils und ihren Magnetfeldsensor auf der anderen Seite zu platzieren.
FIG 2 zeigt des Weiteren eine Magnetspur 130, die seitlich neben der Reihe der Polzähne 120 auf dem Träger 110 des Se- kundärteils aufgebracht ist. Diese Magnetspur 130 kann bei¬ spielsweise aus magnetisierbarem Gummi oder Kunststoff beste¬ hen und ist am Träger 110 fixiert.
In der Magnetspur sind Informationen beispielsweise hinsicht- lieh der Position als Absolutwert oder Inkrementwert und/oder zur Kommutierung kodiert, und diese Information wird von einem einzelnen Lesekopf (nicht dargestellt) aus der Magnetspur ausgelesen .
Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ergibt sich die Auflösung des Messsystems aus dem Abstand der Polzähne b (= Δ) , die die Positionsindikatoren darstellen, und dem Polteilungsmaß a (= δ) der Magnetfeldsensoreinrichtungen, die die Rezeptoren darstellen, zu:
D = a - b.
Nachfolgend werden einige Ausführungsformen von Magnetfeld¬ sensoreinrichtungen, die in dem erfindungsgemäßen Elektromo- tor eingesetzt werden können, im Zusammenhang mit den FIG 5 bis 11 näher geschildert.
Der in FIG 5 wiedergegebene Längsschnitt eines Teils eines Linearmotors zeigt einen Abtastkopf 1 bzw. einen Abschnitt eines Primärteils und einen Sekundärteil 2. Der Abtastkopf 1 dient hier als Magnetfeldsensoreinrichtung. Mehrere derartige Magnetfeldsensoreinrichtungen sind an dem Primärteil des Motors, wie in den FIG 1 und 2 angedeutet, in Bewegungsrichtung
angeordnet. Der Primärteil 1 verfügt über ein Joch 3, das im Wesentlichen U-förmig ausgestaltet ist. An den freien Enden 4 und 5 des Jochs 3 sind Permanentmagnete 6, 7, 8 und 9 als Polzähne angeordnet. Sämtliche Permanentmagnete 6 bis 9 sind in Richtung vom Abtastkopf 1 zum Sekundärteil 2 oder umge¬ kehrt magnetisiert . An jedem der freien Enden 4, 5 befinden sich jeweils zwei Permanentmagnete 6, 7 bzw. 8, 9, die paral¬ lel, aber entgegengesetzt magnetisiert sind.
Zwischen den beiden freien Enden 4 und 5 befindet sich in dem Joch 3 ein Hall-Sensor 10. Gegebenenfalls teilt der Hall- Sensor 10 das Joch 3 in zwei Hälften.
Der Sekundärteil 2 besteht hier aus einer Zahnstange mit den Zähnen 11, 12 und 13. Die Zähne des Sekundärteils 2 besitzen den gleichen Abstand wie die Zähne 6 und 8 bzw. 7 und 9 des Abstandkopfs 1.
Das Joch 3 und der Sekundärteil 2 bestehen aus einem ferro- magnetischen Material. Vorzugsweise sind sie geblecht ausge¬ bildet.
In der in FIG 5 dargestellten Position, in der die Permanentmagnete 6 und 8 des Primärteils über den Zähnen 11 und 12 des Sekundärteils 2 stehen, wird der Hall-Sensor 10 von einem Magnetfeld bzw. Magnetfluss 101 von „links nach rechts" durchsetzt. Bewegt sich nun der Abtastkopf 1, d.h. die Mag¬ netfeldsensoreinrichtung, weiter nach links in Bewegungsrichtung 18, so nimmt das Magnetfeld durch den Hall-Sensor 10 im- mer weiter ab, bis es zu Null wird. Bei der weiteren Bewegung wechselt die Richtung des Magnetfelds und es nimmt schlie߬ lich einen Maximalwert an. Dies ist dann der Fall, wenn der Abtastkopf so steht, dass die Permanentmagnete 7 und 9 über den Zähnen 11 und 12 des Sekundärteils stehen. Bei weiterer Bewegung nach links sinkt das Magnetfeld wieder, wechselt die Richtung und nimmt schließlich wieder einen Maximalwert an, wenn die Permanentmagnete 6 und 8 über den Zähnen 13 und 11 stehen. Bei dieser Bewegung um eine Zahnteilung wird somit
genau einer Gebersignalperiode mit Nulldurchgängen durchlau¬ fen .
FIG 6 zeigt eine abgewandelte Ausführungsform der Magnetfeld- sensoreinrichtung gegenüber dem Ausführungsbeispiel von FIG 5. Bei der Abwandlung sind mehrere Abwandlungsschritte vorge¬ nommen, die auch einzeln oder in Zweierkombinationen durchgeführt werden können.
Der erste Abwandlungsschritt besteht darin, dass nur an einem einzigen freien Ende des Jochs Permanentmagnete 6, 7 angeord¬ net sind. Da der Permanentmagnet 6 ein in der FIG 6 nach oben gerichtetes Magnetfeld erzeugt und über einem Polzahn des Se¬ kundärteils 2 angeordnet ist, ergibt sich der durch den HaIl- Sensor 10 eingezeichnete Fluss 102. Steht hingegen der Perma¬ nentmagnet 7, dessen Magnetisierung nach unten gerichtet ist, über einem Polzahn des Sekundärteils 2, so ist der Magnet- fluss durch den Hall-Sensor 10 entgegengesetzt gerichtet.
Ein zweiter Abwandlungsschritt besteht darin, dass der Hall- Sensor nicht im Verbindungsschenkel zwischen den beiden frei endenden Schenkeln des U-förmigen Jochs, sondern in einem der frei endenden Schenkel angeordnet ist.
Ein dritter Abwandlungsschritt besteht darin, dass an das
Joch ein dritter frei endender Schenkel angefügt ist. Im Bei¬ spiel der FIG 6 ergibt sich damit ein einteiliges, E-förmiges Joch 14. Der für die Bewegungs- bzw. Positionsbestimmung maßgebliche Fluss durchläuft im Wesentlichen aber nur einen U-förmigen Jochabschnitt, es sei denn, der Positionssensor befindet sich in einer symmetrischen Position zu den Polzähnen des Sekundärteils 2.
FIG 7 zeigt eine weitere Ausführungsform der Magnetfeldsen- soreinrichtung mit einem E-förmigen Joch. Das Joch ist symmetrisch in zwei Jochhälften 15 und 16 geteilt. Zwischen ihnen befindet sich ein Luftspalt, in dem der Hall-Sensor 10 angeordnet ist. Der mittlere Schenkel 17 besteht somit aus
zwei parallelen Schenkelhälften, die durch den Luftspalt, in welchem sich der Hall-Sensor 10 befindet, getrennt sind. Am freien Ende beider Schenkelhälften befindet sich ein einziger Permanentmagnet 19. In dem Beispiel von FIG 7 ist dieser Per- manentmagnet 19 nach oben magnetisiert , so dass sich der ein¬ gezeichnete Fluss 103 ergibt. Da sich die linke Hälfte des Schenkels 17 über dem Polzahn 11 des Sekundärteils 2 befin¬ det, verläuft der magnetische Fluss in der linken Schenkel¬ hälfte nach oben und von links nach rechts durch den HaIl- Sensor 10. Wenn sich die rechte Hälfte des mittleren Schenkels 17 über dem Polzahn 11 oder einem anderen Polzahn befindet, verläuft der magnetisch Fluss im Wesentlichen in der rechten Hälfte und durchläuft den Hall-Sensor 10 von rechts nach links. In diesem Fall ergibt sich eine Messspannung um- gekehrten Vorzeichens. Der Vorteil dieser Ausführungsform besteht darin, dass lediglich ein Permanentmagnet für die Mag¬ netfeldsensoreinrichtung vorzusehen ist.
Das Messprinzip lässt sich auch auf einen Induktivmesskopf nach dem Reluktanzresolverprinzip übertragen, indem die Permanentmagnete und der Hall-Sensor durch entsprechende Spulen ersetzt werden. Demnach ist gemäß FIG 8 die alternative Mag¬ netfeldsensoreinrichtung, d.h. die Gebervorrichtung 20 an den freien Enden ihres Jochs 21 mit Erregerspulen 22, 23, 24, 25 versehen. Da die so gebildeten Elektromagnete an den freien
Enden des Jochs 21 unterschiedliche Magnetisierungsrichtungen aufweisen müssen, sind sie entsprechend elektrisch verschal¬ tet. Im vorliegenden Beispiel sind die Erregerspulen 22 bis 25 in Serie geschaltet. Um die entgegengesetzten Magnetisie- rungsrichtungen zu erzielen, sind bei gleichen Wicklungssinnen der Spulen 22 bis 25 dieser Spulen derart in Reihe geschaltet, dass der untere Anschluss der Spule 22 mit dem un¬ teren Anschluss der Spule 23, der obere Anschluss der Spule 23 mit dem unteren Anschluss der Spule 24 und der obere An- Schluss der Spule 24 mit dem oberen Anschluss der Spule 25 verbunden ist. Ein Erregersignal wird an den (von daher noch freien) oberen Anschluss der Spule 22 und den (von daher noch freien) unteren Anschluss der Spule 25 gelegt.
Um den Verbindungsschenkel, der die beiden Schenkel mit den feien Enden des Jochs 21 verbindet, ist eine Messspule 26 ge¬ wickelt. An ihr lässt sich eine Spannung abgreifen, die durch den im Joch 21 fließenden magnetischen Fluss erzeugt wird.
Der Sekundärteil 27 des Linearantriebs besitzt die gleiche Form, wie die des Sekundärteils 2 von FIG 5. Ebenso ist die Geometrie des Primärteils bzw. der Gebervorrichtung 20 die gleiche, wie die des Teils 1 von FIG 5.
Die Funktionsweise der Gebervorrichtung von FIG 8 entspricht im Prinzip der der Vorrichtung von FIG 5. Die Permanentmagnete sind hier lediglich durch Erregerspulen und der Hall- Sensor durch eine Messspule ersetzt. Da die Elektromagnete 22 bis 25 mit Wechselstrom betrieben werden, gilt die Äquivalenz mit dem oben geschilderten Ausführungsbeispiel gemäß FIG 5 nur in entsprechend kleinen Zeitfenstern. Dies bedeutet, dass in diesem kleinen Zeitfenster die Richtung des magnetischen Flusses im Joch unmittelbar von der Position der Magnetspulen gegenüber den Polzähnen der Maschinenkomponente abhängt.
Die in dem Ausführungsbeispiel von FIG 6 eingesetzten Spulen lassen sich auch mit umgekehrter Funktion betreiben. So können die Spule 26 als Erregerspule und die Spulen 22 bis 25 an den freien Enden des Jochs 21 als Messspulen verwendet werden. In diesem Fall addieren sich die Messsignale der Einzelspulen zu einem resultierenden Messsignal. Auch dieses erreicht seine Maximalwerte, wenn die Zähne über denen des Se¬ kundärteils 27 liegen. Dazwischen ergeben sich Nulldurchgänge wie in dem Ausführungsbeispiel von FIG 5.
Wie oben angedeutet ist, kann man eine Anordnung mit Hall- Sensoren und Permanentmagneten in eine Anordnung nach dem Re- luktanzresolverprinzip überführen. Ebenso können Mess- und Erregerspulen untereinander vertauscht werden.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Mag¬ netfeldsensoreinrichtung ist in FIG 9 dargestellt. Mit dieser
Magnetfeldsensoreinrichtung bzw. Gebervorrichtung ist es möglich, nicht nur eines sondern zwei um 90° phasenverschobene Signale jeweils mit Nulldurchgang zu generieren. Hierzu ist um den mittleren Schenkel eines E-förmigen Jochs 30 eine Er- regerspule 31 gewickelt. An dem freien Ende des linken Schen¬ kels des Jochs 30 befinden sich zur Erzeugung eines Kosinus- Signals zwei Messspulen 32 und 33. Gleichermaßen befinden sich am Ende des rechten Schenkels des Jochs 30 zur Erzeugung eines Sinus-Signals zwei Messspulen 34 und 35. Die Messspulen 32 und 33 sind bei gleichem Wicklungssinn derart in Reihe ge¬ schaltet, dass die unteren Anschlüsse beider Spulen verbunden sind. Das Gleiche gilt für die Messspulen 34 und 35.
Zur Optimierung der Messsignale ist die Dimension des Jochs 30 auf die Polpaarlänge PPL bzw. elektrische Periode des Se¬ kundärteils 2 abgestimmt. Demnach beträgt der Mittenabstand der äußeren Schenkel des Jochs 30 2,25 PPL. Somit lassen sich mit einem einzigen Kopf ein Sinus- und ein Kosinus-Signal je¬ weils mit Nulldurchgang zur Positionsbestimmung gewinnen.
Die im Zusammenhang mit den FIG 5 bis 9 geschilderten Anordnungen eignen sich für Sekundärteile von so genannten Längs- flussmaschinen, d. h. für Maschinen, bei denen sich der vom Motor erzeugte Fluss im Sekundärteil in Bewegungsrichtung schließt. Der Sekundärteil solcher Längsflussmaschinen zeichnet sich dadurch aus, dass die einzelnen Zähne des Sekundärteils magnetisch leitend miteinander verbunden sind. Bei Querflussmaschinen hingegen, bei denen sich der vom Motor erzeugte Fluss quer zur Bewegungsrichtung und damit innerhalb jeweils eines Zahns schließt, müssen die Zähne 40 demzufolge nicht magnetisch leitend miteinander verbunden sein. FIG 10 zeigt in der Draufsicht eine Anordnung für einen solchen Sekundärteil aus voneinander magnetisch isolierten Zähnen 40. FIG 8 zeigt eine entsprechende Vorderansicht. Das Joch 41 bzw. der Jochabschnitt ist auch hier im Wesentlichen U-förmig ausgestaltet. An den freien Enden des Jochs 41 befinden sich jeweils zwei Permanentmagnete 42, 43 und 44, 45. Die Magneti¬ sierungsrichtungen der Magnete 42 und 43 sind ebenso entge-
gengesetzt gerichtet, wie die Magnetisierungsrichtungen der Magnete 44 und 45. Ein Hall-Sensor 46 in der Mitte des Jochs 41 registriert den magnetischen Fluss. Verfährt das Joch 41 mit seinen Magneten in Verfahrrichtung 15 über den Polzähnen 40 des Sekundärteils, so ändert sich auch hier die Flussrich¬ tung durch den Hall-Sensor 46.
Durch eine entsprechende Gestaltung des Abtastkopfs bzw. der Gebervorrichtung 1, 20 und eventuell des Sekundärteils 2, 27 lässt sich die Sinusförmigkeit des Sensorsignals optimieren. Dabei spielt nicht nur die Gestalt der Polzähne, sondern auch deren Abstand eine Rolle.
Zur Realisierung des Messprinzips genügt es, wenn nur an ei- nem freien Ende eines Jochs 3, 21 Permanentmagnete oder Spu¬ len angeordnet sind. Das andere freie Ende des Jochs 3, 21 muss nicht zwangsläufig auch mit Magneten besetzt sein. Bei dieser Ausführungsform sinkt jedoch die Qualität des Sensorsignals .
In vorteilhafter Weise wird durch die erfindungsgemäße Ges¬ taltung des Messsystems mit mehreren Magnetfeldsensoreinrichtungen eine höhere Auflösung gegenüber dem Stand der Technik erreicht .