WO2008010353A1 - Wire washing apparatus for wire saw - Google Patents

Wire washing apparatus for wire saw Download PDF

Info

Publication number
WO2008010353A1
WO2008010353A1 PCT/JP2007/061159 JP2007061159W WO2008010353A1 WO 2008010353 A1 WO2008010353 A1 WO 2008010353A1 JP 2007061159 W JP2007061159 W JP 2007061159W WO 2008010353 A1 WO2008010353 A1 WO 2008010353A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
wire
cleaning
cleaning liquid
tank
wire saw
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2007/061159
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Seiichi Mimura
Takafumi Kawasaki
Hirokazu Nishida
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Publication of WO2008010353A1 publication Critical patent/WO2008010353A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/02—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
    • B28D1/025—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums

Definitions

  • the present invention relates to a wire washing apparatus for a wire saw that cleans and removes a machining fluid adhering to a wire in a wire saw that moves a workpiece to a large number of thin plates with a plurality of traveling wires. is there.
  • a wire saw is configured to press a target object against a wire moving at a high speed between a pair of wire reels while pressing a force-bearing material containing the gunshot into the gunball contained in the machining liquid.
  • the workpiece is cut by the lapping action.
  • a wire cleaning device for a wire saw is provided in a wire passage of a wire, and a casing in which the wire runs, a cleaning liquid injection nozzle provided in the casing and spraying a cleaning liquid toward the wire, An air injection nozzle that is provided in the vicinity of the cleaning liquid injection nozzle and injects compressed air toward the wire; and a wiping means that is provided in the vicinity of the air injection nozzle and that wipes off deposits adhering to the wire across the wire.
  • the cleaning liquid is formed in the casing and is ejected from the cleaning liquid spray nozzle and the discharge port for discharging the wire deposit removed from the wire cover (for example, Patent Document 1).
  • Patent Document 1 JP-A-9 300200
  • a wire cleaning device for a wire saw includes a supply section for supplying a cleaning liquid, and a notch section that passes through the wire, discharges the cleaning liquid, and is provided at an upper portion of the side wall. It is equipped with.
  • the slurry adhering to the wire during processing can be washed away by the flow of the cleaning liquid, so that the abrasive grain peeling effect in the slurry is improved with a simple configuration and the cleaning effect is improved. Can be improved, and durability can be increased.
  • FIG. 1 is an overall configuration diagram of a wire saw to which a wire cleaning device for a wire saw according to embodiments 1, 2, 3, and 4 of the present invention is applied.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a main part of a wire cleaning device according to Embodiments 1 and 2 of the present invention.
  • FIG. 3 is a partial cross-sectional view showing a main part of the wire cleaning device according to Embodiments 1 and 2 of the present invention.
  • FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing a main part of a wire cleaning device according to Embodiments 3 and 4 of the present invention.
  • FIG. 5 is a partial cross-sectional view showing a bullet separation part of a wire cleaning device according to a fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is an overall configuration diagram of a wire saw to which the wire saw wire cleaning device of the present embodiment is applied.
  • a wire saw guides a reel 1 on a feed side filled with a wire 5, rotating rollers 2 and 3 having a plurality of grooves around which the wire 5 is wound, and a wire 5 in a predetermined position and direction.
  • Guide roller 4 to be controlled, feed side tension control mechanism 6 to adjust the tension of the wire 5 on the feed side, take-up side tension control mechanism 12 to adjust the tension of the wire on the take-off side, and the wire that has been processed Consists of a reel 10 that collects 5b.
  • the wire 5 drawn out from the feed-out reel 1 is wired to a plurality of guide rollers 4 on the feed-out side, and passes between the rotating rollers 2 and 3 via the feed-out side tension control mechanism 6.
  • a wire 5a is spirally wound at a predetermined pitch by a plurality of grooves between the rotating rollers 2 and 3 to form a row of wires 5a, and the rotating rollers 2 and 3 are rotated.
  • the wire 5a travels at a high speed in the linear direction, and a force working fluid (not shown) containing abrasive grains is supplied to the row of wires 5a while the workpiece 8 is moved to the row of wires 5a.
  • a force working fluid (not shown) containing abrasive grains is supplied to the row of wires 5a while the workpiece 8 is moved to the row of wires 5a.
  • the object 8 is cut by the lapping action of the abrasive grains contained in the machining fluid.
  • the wire 5a refers to the wire 5 in
  • the wire 5b fed out from the to-be-powered object 8 is taken up by the take-up reel 10 via a plurality of guide rollers 11 on the take-up side and the take-up side tension control mechanism 12.
  • the wire 5b refers to the wire 5a that has been processed.
  • the wire 5 is connected to the wire 5a and the wire 5b, and becomes the wire 5a or the wire 5b as the wire 5 travels and moves. That is, here, the calling method is changed depending on the position of the wire 5.
  • a conventional wire saw is provided with the rotating rollers 2 and 3, and a predetermined tension is applied between the rotating rollers 2 and 3 and the calorie chamber 13 for cutting the workpiece 8 and the rotating rollers 2 and 3.
  • the reel 5 and the reel chamber 14 for controlling the rotation of the take-up reel 10 while controlling the tension, and in the vicinity of the wire 5b outlet of the processing chamber 13, the wire cleaning for the wire saw according to the present invention is performed.
  • the device's wire cleaning device 15 is installed.
  • the cleaning member In the configuration in which the wire 5 is sandwiched with a cleaning member such as a felt or the configuration in which the wire is brushed with a rotating brush, which is found in a conventional wire saw wire cleaning device, the cleaning member has a disadvantage that it is quickly worn by slurry. there were. Furthermore, in the configuration in which the wire is immersed in the cleaning liquid, there is a problem that the running cost is high because a consumable such as the cleaning liquid is required.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a detailed configuration of wire cleaning device 15 of the wire cleaning device for a wire saw according to Embodiment 1 of the present invention.
  • the cleaning tank 21 is provided with a cleaning liquid supply nozzle (supply unit) 22 at the bottom, and a notch (notch groove) 23 through which the finished wire 5b passes at two upper portions of the side wall. It has been applied.
  • the recovery tank 24 recovers the cleaning liquid discharged from the cleaning tank 21, covers the bottom of the cleaning tank 21 and the outer periphery of the side wall, and has a notch (notch groove) through which the wire 5 b passes through two upper portions of the side wall. ) 25 is given.
  • the recovery tank 24 can be configured without covering all of the bottom and outer periphery of the cleaning tank 21 as long as the cleaning liquid discharged from the cleaning tank can be recovered.
  • the wire cleaning device 15 for the wire saw has one or a plurality of cleaning tanks 21 in which a cleaning liquid supply nozzle 22 is disposed at the bottom and a notch 23 is provided in an upper portion through which the wire 5b passes. And a recovery tank 24 with a notch 25 in the upper part through which the wire 5b passes is arranged near the outlet of the wire 5b in the force chamber 13 and covers the bottom of the cleaning tank 21 and the outer periphery of the side wall.
  • the cleaning liquid is supplied to the cleaning liquid supply nozzle 22 and the wire 5b runs in the flow of the cleaning liquid overflowing from the upper notch 23 of the cleaning tank 21 to clean and remove the slurry adhered to the wire 5a during the cleaning. To do.
  • the shape of the notches 23, 25 applied to the cleaning tank 21 and the recovery tank 24 is U-shaped or If it is configured in the shape of a U and has a shape that opens the top of the tank (tank), it can be smoothly attached when the wire 5b is attached, and the cleaning effect is good.
  • FIG. 3 is a partial sectional view of wire saw wire cleaning apparatus 15 in FIG. 2 of the first embodiment.
  • the cleaning liquid flow 34 has a predetermined height and overflows from the upper notch 23 of the cleaning tank 21 and protrudes from the notch 25 applied to the upper part of the recovery tank 24 to the outside. The flow rate of the cleaning liquid is adjusted so that it does not.
  • a wire saw wire cleaning device 15 is installed in the vicinity of the wire 5b outlet of the processing chamber 13, and a slurry containing abrasive grains on the outer peripheral surface after processing in the cleaning liquid flow 34 formed in the upper notch 23 of the cleaning tank 21.
  • the relative position between the wire 5b and the cleaning tank 21 is positioned so that the wire 5b passes through the cleaning liquid flow 34 by the guide rollers 4a and 11a.
  • the cleaning liquid supply nozzle 22 is disposed at the bottom, and one cleaning tank 21 having a notch 23 at the top through which the wire 5b passes is provided.
  • the cleaning liquid supply nozzle 22 is disposed at the bottom, and one cleaning tank 21 having a notch 23 at the top through which the wire 5b passes is provided.
  • the wire saw wire cleaning device 15 of the present embodiment does not have a mechanical contact portion for cleaning the wire 5b, and therefore has excellent durability with no consumables due to wear or the like. Maintainability.
  • the wire saw wire cleaning device 15 of the present embodiment since the wire 5b is run and cleaned in the cleaning liquid flow 34 overflowing from the upper notch 23 of the cleaning tank 21, the wire 5b is directly cleaned. Maintenance work such as consumable parts and parts replacement with contacted wear members can be omitted and a power source such as compressed air is not required, thus reducing running costs. In addition, since there is no mechanism for contacting the wire, the wire is cleaned without applying an extra external force to the wire, so that the wire can be thinned. [0026] The wire 5b fed out from the to-be-powered object 8 is taken up by the take-up reel 10 via the plurality of guide rollers 11 on the take-up side and the take-up side tension control mechanism 12. As a preparation before processing the workpiece 8, there is an operation of laying a wire on the above path.
  • the notch 23 through which the wire 5 b applied to the two upper portions of the side wall of the cleaning tank 21 passes and the upper two portions of the side wall of the recovery tank 24 are applied.
  • the shape of the cutout portion 25 through which the wire 5b passes is U-shaped or U-shaped, and the upper portions of the cleaning tank 21 and the collection tank 24 are configured to be open.
  • the wire cleaning device 15 there is an effect of improving the workability of the wire laying work in which it is not necessary to pass the wire 5 b through a complicated wire route such as the case or the guide rollers 4 and 11 during the wire laying work.
  • the wire 5b is cleaned by the cleaning liquid discharged from the notch 23 provided in the cleaning tank 21, but this embodiment shows a configuration in which the cleaning liquid is circulated and reused.
  • the present embodiment is a cleaning device 15 in the overall configuration of the wire saw in FIG. 1 as in the first embodiment, and the cleaning liquid supply nozzle 22 and the cleaning tank 21 similar to those in the first embodiment are used.
  • FIG. 3 is a partial sectional view of wire saw wire cleaning apparatus 15 in FIG. 2 of the first embodiment.
  • the bottom of the recovery tank 24 of FIG. 2 of the first embodiment is in communication with a barrel separation unit (tank) 35 that separates the barrel from the cleaning liquid via a recovery pipe 26.
  • the delivery pipe 27 connected to the upper part of the abrasive grain separation unit 35 is in communication with a storage unit 31 that stores the cleaning liquid.
  • the reservoir 31 in which the cleaning liquid is stored is communicated with a cleaning liquid supply nozzle 22 disposed at the bottom of the cleaning tank 21 via a cleaning liquid supply pipe 33 via a cleaning liquid supply pump 32 that supplies the cleaning liquid.
  • the wire saw wire cleaning device of the present embodiment includes a storage unit 31 that stores a cleaning liquid, a cleaning liquid supply pump 32 that supplies the cleaning liquid, and an abrasive grain separation unit 35.
  • the cleaning liquid supplied to the cleaning liquid supply nozzle 22 of the cleaning tank 21 is not removed from the upper notch 23 of the cleaning tank.
  • the wire 5b is washed while overflowing and then discharged into the collection tank 24, and the cleaning liquid from which the abrasive grains have been separated is collected in the storage part 31 via the gunball separation part 35.
  • the cleaning liquid collected in the storage unit 31 is supplied to the cleaning liquid supply nozzle 22 of the cleaning tank 21 via the cleaning liquid supply pump 32. In the present embodiment, as described above, the cleaning liquid is circulated through the above-described path.
  • the cleaning liquid stored in the storage unit 31 flows through the cleaning liquid supply pipe 33 by the cleaning liquid supply pump 32, and reaches the bottom of the cleaning tank 21. It is discharged from the installed cleaning liquid supply nozzle 22 and overflows from the upper notch 23 of the cleaning tank 21 to form a cleaning liquid flow 34.
  • the wire 5b traveling through the notch 23 provided in the upper portion of the side wall of the cleaning tank 21 travels through the cleaning liquid flow 34, so that slurry, barrels, and the like are cleaned.
  • the cleaning liquid is recovered by the recovery tank 24, and the recovered cleaning liquid is stored in the storage unit 31 via the delivery pipe 27, and the cleaning liquid purified by separating the abrasive particles and the like is stored in the storage unit 31.
  • the recovery tank 24 recovers the cleaning liquid discharged from the cleaning tank 21, the cleaning liquid contaminates peripheral equipment that does not scatter around. Wire cleaning is possible without any problems.
  • the single cleaning tank 21 is configured.
  • the cleaning effect of the wire 5b can be improved by configuring the cleaning tank 21 in a plurality.
  • FIG. 4 shows that the cleaning tanks 21a and 21b shown in FIG. 3 are arranged in series in the path through which the wire 5b passes so that the bottoms of the cleaning tanks 21a and 21b and the outer periphery of the side wall are covered.
  • This is a collection tank 24a.
  • a cleaning liquid supply nozzle 22 is disposed in each of the cleaning tanks 21a and 21b, and is communicated by a cleaning liquid supply pipe 33 via a storage section 31 in which the cleaning liquid is stored and a cleaning liquid supply pump 32 that supplies the cleaning liquid.
  • the wire cleaning device 15 for a wire saw has the cleaning stored in the storage unit 31.
  • the cleaning liquid supply pump 32 supplies the cleaning liquid to the cleaning tanks 21 a and 21 b by the cleaning liquid supply nozzles 22, and the cleaning liquid is discharged from the notches 23.
  • the wire 5b is cleaned by traveling in the cleaning liquid stream 34 from which these four forces are also discharged. Further, the discharged cleaning liquid is recovered in the recovery tank 24a in the same manner as in the above-described embodiment, and is stored in the storage part through the same route.
  • FIG. 4 the force shown in the embodiment in which the two cleaning tanks 21a and 21b are arranged in series. If more cleaning tanks 21 and a cleaning liquid flow 34 are configured, the cleaning effect of the wire 5b is improved. The fruit can be further improved.
  • the cleaning liquid supplied from the cleaning liquid supply nozzle 22 overflows the cleaning liquid from the upper notch 23 of the cleaning tank 21, a plurality of cleaning liquid flows 34 can be formed, so that the wire 5b It is possible to further improve the effect of peeling and removing the abrasive grains in the slurry containing the abrasive grains adhering to and improve the cleaning effect.
  • the cleaning liquid containing the abrasive grains after cleaning the wire 5b flows through the recovery pipes 26 arranged at the bottoms of the recovery tanks 24 and 24a into the barrel separation part 35, and then the barrel separation part 35.
  • the above-mentioned barrels settle on the bottom of the inside (Fig. 3, Fig. 4, 36).
  • the abrasive grain separation unit 35 is configured to arrange the delivery pipe 27 communicating with the storage unit 31 on the upper part of the abrasive grain separation unit 35. With this configuration, only the supernatant liquid in the upper part of the barrel separation part 35 is collected in the storage part 31. A wire cleaning liquid that does not contain many abrasive grains is stored in the storage unit 31, and a large amount of this cleaning liquid is supplied to the cleaning liquid supply nozzle 22 of the cleaning tank 21.
  • the connecting portion between the delivery pipe 27 that removes the abrasive grains by the abrasive separation unit 35 and sends the cleaning liquid to the storage unit 31 and the abrasive separation unit 35 is above the highest liquid level of the cleaning liquid in the storage unit 31. And provided below the bottom of the washing tank 21. With such a positional relationship, the cleaning liquid discharged from the cleaning tank 21 can be recovered, and the supernatant liquid of the barrel separation part 35 can be smoothly recovered in the storage part 31. It is more preferable that the connecting portion is provided above the highest liquid level of the cleaning liquid in the storage portion 31 and below the bottoms of the collection tanks 24 and 24a.
  • FIG. 5 is a diagram showing a configuration of another abrasive grain separation unit 35.
  • a partition plate 37 is provided in the vertical direction so that the recovered cleaning liquid once passes through the bottom portion and is directed to the force delivery pipe 27 in the abrasive grain separation unit 35.
  • the partition plate 37 is not at the bottom, and the cleaning liquid flows in the direction of the delivery pipe 27 at the bottom. With such a configuration, it is possible to further accelerate the precipitation of the barrel.
  • the barrel separation unit 35 is configured to be detachable from the wire saw body, and the barrel 36 precipitated in the barrel separation unit 35 is precipitated in the liquid, so it is necessary to perform maintenance. ! The barrel separation part 35 can be easily cleaned, improving the maintenance workability.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mining & Mineral Resources (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Description

ワイヤソー用ワイヤ洗浄装置
技術分野
[0001] この発明は、複数走行するワイヤで、ワークを多数の薄板にカ卩ェするワイヤソ一に おいて、ワイヤに付着した加工液を洗浄、除去するワイヤソー用ワイヤ洗浄装置に関 するものである。
背景技術
[0002] ワイヤソ一は、一対のワイヤリール間を高速走行するワイヤに砲粒を含む力卩工液を 供給しながら被力卩ェ物を押し当てることにより、その加工液中に含まれる砲粒のラッピ ング作用で被加工物を切断する。
[0003] ワイヤソー用ワイヤ洗浄装置は、ワイヤのワイヤ通路に設けられ、内部をワイヤが走 行するケーシングと、このケーシング内に設けられ、ワイヤに向けて洗浄液を噴射す る洗浄液噴射ノズルと、この洗浄液噴射ノズルの近傍に設けられ、ワイヤに向けて圧 縮エアを噴射するエア噴射ノズルと、このエア噴射ノズルの近傍に設けられ、ワイヤを 挟んでワイヤに付着した付着物を拭き取る拭取手段と、ケーシングに形成され、洗浄 液噴射ノズルカゝら噴射された洗浄液及びワイヤカゝら除去されたワイヤ付着物を排出 する排出口とからなる（例えば特許文献 1)。
[0004] 特許文献 1 :特開平 9 300200号
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0005] 従来のワイヤソー用ワイヤ洗浄装置のようなエアを吹き付ける構成では、圧縮エア の供給源や配管が必要になって構成が複雑になるとともに、洗浄効果もあまり高くな ぐスラリを確実に除去することができないという問題があった。また、フェルト等の清 掃部材で挟みつける構成では、清掃部材カ^ラリにより早期に磨耗する欠点があつ た。
[0006] この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、被加工物 の切断時に付着した加工液などの付着物を除去する機構の構成が簡単であるととも に、耐久性に優れた良好なワイヤソー用ワイヤ洗浄装置を得ることを目的とする。 課題を解決するための手段
[0007] この発明に係るワイヤソ一のワイヤ洗浄装置は、洗浄液を供給する供給部と、ワイ ャを通過させ、前記洗浄液を排出し、側壁の上部に設けられた切欠き部とを有する 洗浄槽を備えたものである。
発明の効果
[0008] 本発明によるワイヤソー洗浄装置によれば、洗浄液の流れによって加工中にワイヤ に付着したスラリを洗い流すことが出来るので、単純な構成でスラリ中の砥粒剥離効 果が向上して洗浄効果を向上させることができ、かつ耐久性を高くすることができる。 図面の簡単な説明
[0009] [図 1]本発明の実施の形態 1, 2, 3及び 4のワイヤソー用ワイヤ洗浄装置が適用され たワイヤソ一の全体構成図である。
[図 2]本発明の実施の形態 1及び 2によるワイヤ洗浄装置の要部を示す斜視図である
[図 3]本発明の実施の形態 1及び 2によるワイヤ洗浄装置の要部を示す部分断面図 である。
[図 4]本発明の実施の形態 3及び 4によるワイヤ洗浄装置の要部を示す部分断面図 である。
[図 5]本発明の実施の形態 4によるワイヤ洗浄装置の砲粒分離部を示す部分断面図 である。
符号の説明
[0010] 1 卷出し側リール、 2, 3 回転ローラ、 4,4a ガイドローラ、 5, 5a, 5b ワイヤ、 6 卷 出し側張力制御機構、 8 被加工物、 10 卷取り側リール、 11, 11a 卷取り側ガイド口 ーラ、 12 卷取り側張力制御機構、 13 加工室、 14 リール室、 15 ワイヤ洗浄装置 、 21, 21a, 21b 洗浄槽、 22 洗浄液供給ノズル、 23, 25 切欠き部、 24, 24a 回 収槽、 26 回収配管、 27 送出配管、 31 貯留部、 32 洗浄液供給ポンプ、 33 洗 浄液供給配管、 34 洗浄液流れ、 35 砥粒分離部、 36 砥粒の沈殿、 37 仕切り板 発明を実施するための最良の形態
[0011] 実施の形態 1.
図 1は本実施の形態のワイヤソー用ワイヤ洗浄装置が適用されたワイヤソ一の全体 構成図である。
[0012] 図 1において、ワイヤソ一は、ワイヤ 5が充満された卷出し側リール 1、ワイヤ 5が巻き つけられる複数の溝を有する回転ローラ 2, 3、ワイヤ 5を所定の位置、方向にガイド するガイドローラ 4、卷出し側のワイヤ 5の張力を調整する卷出し側張力制御機構 6、 卷取り側のワイヤの張力を調整する卷取り側張力制御機構 12、及び加工を行ったヮ ィャ 5bを卷取る卷取り側リール 10で構成される。
[0013] 卷出し側リール 1から卷出されたワイヤ 5は、卷出し側の複数のガイドローラ 4に架 線され、卷出し側張力制御機構 6を経由して、前記回転ローラ 2, 3間に所定の張力 を付与するとともに、回転ローラ 2, 3間にワイヤ 5を複数の溝によって所定のピッチで 螺旋状に卷回してワイヤ 5aの列を形成し、回転ローラ 2, 3を回転させることによりワイ ャ 5aを直線方向に高速走行させるとともに、ワイヤ 5aの列に砥粒を含む力卩工液（図 示せず)を供給しながら被力卩ェ物（ワーク） 8をワイヤ 5aの列の上方力 押し当てるこ とにより、その加工液中に含まれる砥粒のラッピング作用で被力卩ェ物 8を切断する。 なお、ワイヤ 5aとは、ラッピングカ卩ェ中のワイヤ 5のことをさす。
[0014] 被力卩ェ物 8から繰り出されたワイヤ 5bは、卷取り側の複数のガイドローラ 11及び、 卷取り側張力制御機構 12を経由して、卷取り側リール 10に卷取られる。なお、ワイヤ 5bとは、加工を終えたワイヤ 5aをさす。また、ワイヤ 5は、ワイヤ 5a及びワイヤ 5bと一 つながりとなっており、ワイヤ 5が走行して移動に従い、ワイヤ 5a又はワイヤ 5bになる 。即ち、ここでは、ワイヤ 5の位置により呼び方を変化させている。
[0015] 従来のワイヤソ一は、上記回転ローラ 2, 3を備え、被力卩ェ物 8の切断加工を行うカロ ェ室 13と、前記回転ローラ 2, 3間に所定の張力を付与する様に張力を制御しながら 卷出し側リール 1、及び卷取り側リール 10の回転を制御するリール室 14とで構成され ており、加工室 13のワイヤ 5b出口近傍に、本発明によるワイヤソー用ワイヤ洗浄装 置のワイヤ洗浄装置 15が設置されている。 [0016] 従来のワイヤソー用ワイヤ洗浄装置に見られる、ワイヤ 5をフェルト等の清掃部材で 挟みつける構成や、ワイヤを回転ブラシでブラッシングする構成では、清掃部材がス ラリにより早期に磨耗する欠点があった。さらに、ワイヤを洗浄液に浸ける構成では、 洗浄液等の消耗品を必要として、ランニングコストが高くなるという問題があった。
[0017] また、被カ卩ェ物の加工厚みの薄型化が進む現在では、使用するワイヤ径の細線ィ匕 が進み、ワイヤ強度が低下するために、ワイヤ 5を架線する張力を低く抑えるとともに 、高速で走行するワイヤ 5に対して他の物体などの接触による余分な外力を付与せ ず、またガイドローラ 4による余分な曲がり経路の架線をすることなくワイヤ 5の洗浄を 行うことが課題である。また、ワイヤ 5に余分な外力を付与せずにワイヤ 5に付着して V、るスラリを確実に除去し、リール室 14ヘスラリの持込みを防止することが課題である
[0018] 図 2は、本発明の実施の形態 1によるワイヤソー用ワイヤ洗浄装置のワイヤ洗浄装 置 15の詳細構成を示す斜視図である。
[0019] 図 2において、洗浄槽 21は、底部に洗浄液供給ノズル (供給部） 22を備え、側壁の 上部 2箇所に加工が終了したワイヤ 5bが通過する切欠き部 (切欠き溝） 23が施され たものである。また、回収槽 24は、洗浄槽 21から排出される洗浄液を回収するもので 、洗浄槽 21の底部及び側壁外周を覆い、側壁の上部 2箇所にワイヤ 5bが通過する 切欠き部 (切欠き溝) 25が施されたものである。なお、回収槽 24は、洗浄槽から排出 される洗浄液を回収できれば良ぐ洗浄槽 21の底部及び外周のすべてを覆わずに 構成することちできる。
[0020] 本実施の形態によるワイヤソー用ワイヤ洗浄装置 15は、底部に洗浄液供給ノズル 2 2を配置し、ワイヤ 5bが通過する上部に切欠き部 23を施した洗浄槽 21を 1個または 複数個配置し、洗浄槽 21の底部及び側壁外周を覆 ヽワイヤ 5bが通過する上部に切 欠き部 25を施した回収槽 24とを力卩ェ室 13のワイヤ 5b出口近傍に配置し、洗浄槽 21 の洗浄液供給ノズル 22に洗浄液を供給して洗浄槽 21の上部切欠き部 23から溢れ 出す洗浄液の流れの中にワイヤ 5bを走行させてカ卩ェ中にワイヤ 5aに付着したスラリ を洗浄、除去するものである。
[0021] なお、洗浄槽 21及び回収槽 24に施す切欠き部 23, 25の形状は U字型もしくは、 コの字型に構成し、槽 (タンク）の上部を開放する形状に構成すると、ワイヤ 5bの装着 時にスムースに装着でき、また洗浄効果が良好となる。
[0022] 図 3は、実施の形態 1の図 2におけるワイヤソー用ワイヤ洗浄装置 15の一部部分断 面図である。図 3において、洗浄液流れ 34は、所定の高さを有して洗浄槽 21の上部 切欠き部 23から溢れ出すとともに、回収槽 24の上部に施された切欠き部 25から、外 部にはみ出さない様に洗浄液の流量が調整されている。加工室 13のワイヤ 5b出口 近傍に、ワイヤソー用ワイヤ洗浄装置 15を設置し、洗浄槽 21の上部切欠き部 23に 形成される洗浄液流れ 34中に、加工後の外周面に砥粒を含むスラリが付着したワイ ャ 5bを高速で走行、通過させることにより、ワイヤ 5bに付着したスラリの砲粒剥離、除 去効果を向上させ、洗浄効果を向上させることが出来る。なお、ワイヤ 5bと洗浄槽 21 との相対的位置は、ガイドローラ 4a, 11aによって洗浄液流れ 34中にワイヤ 5bが通 過するように位置決めされて 、る。
[0023] 本実施の形態のワイヤソー用ワイヤ洗浄装置 15によれば、底部に洗浄液供給ノズ ル 22を配置し、ワイヤ 5bが通過する上部に切欠き部 23を施した洗浄槽 21を 1個また は複数個、加工室 13のワイヤ 5b出口近傍に配置し、洗浄槽 21の洗浄液供給ノズル 22に洗浄液を供給して、洗浄槽 21の上部切欠き部 23から溢れ出す洗浄液の流れ 3 4の中にワイヤ 5bを走行させることによって、加工中にワイヤ 5bに付着したスラリを洗 浄、除去する。従って、洗浄液の流れにより、加工中に付着したスラリを洗い流すこと が出来、スラリ中の砲粒剥離効果を向上させ、洗浄効果を向上させることが出来る。
[0024] また、本実施の形態のワイヤソー用ワイヤ洗浄装置 15は、ワイヤ 5bを洗浄するのに 機械的な接触部を持たないため、磨耗等による消耗品が無ぐ耐久性に優れ、良好 なメンテナンス性を有する。
[0025] 本実施の形態のワイヤソー用ワイヤ洗浄装置 15によれば、洗浄槽 21の上部切欠き 部 23から溢れ出る洗浄液流れ 34中にワイヤ 5bを走行させて洗浄するので、ワイヤ 5 bに直接接触する磨耗部材がなぐ消耗部品及び部品交換などのメンテナンス作業 が省略できるともに圧縮エア等の動力源を必要とせず、ランニングコストを低減できる 。また、ワイヤに接触する機構がないのでワイヤに余分な外力を付与せずにワイヤ洗 浄するので、ワイヤを細線ィ匕が可能となる効果がある。 [0026] 被力卩ェ物 8から繰り出されたワイヤ 5bは、卷取り側の複数のガイドローラ 11及び、 卷取り側張力制御機構 12を経由して、卷取り側リール 10に卷取られる様に構成され ており、被加工物 8を加工する前の準備として、上記の経路にワイヤを架線する作業 がある。
[0027] 本実施の形態は、図 2に示す様に、洗浄槽 21の側壁の上部 2箇所に施したワイヤ 5 bが通過する切欠き部 23及び回収槽 24の側壁の上部 2箇所に施したワイヤ 5bが通 過する切欠き部 25の形状を U字型もしくは、コの字型にし、上記、洗浄槽 21及び回 収槽 24の上部を開放する様に構成して 、るので、上記のワイヤ架線作業時にワイヤ 洗浄装置 15において、ケースや、ガイドローラ 4, 11など複雑な架線経路にワイヤ 5b を通す必要がなぐワイヤ架線作業の作業性が向上する効果がある。
[0028] 実施の形態 2.
実施の形態 1は、洗浄槽 21に施された切欠き部 23から排出される洗浄液によって ワイヤ 5bを洗浄したが、本実施の形態では、洗浄液を循環して再利用する構成を示 す。
[0029] 本実施の形態は、実施の形態 1と同様に図 1のワイヤソ一の全体構成の中の洗浄 装置 15であり、実施の形態 1と同様の洗浄液供給ノズル 22、洗浄槽 21が用いられる
[0030] 図 3は、実施の形態 1の図 2におけるワイヤソー用ワイヤ洗浄装置 15の一部部分断 面図である。図 3において、実施の形態 1の図 2の回収槽 24の底部は、洗浄液から 砲粒を分離する砲粒分離部（タンク） 35と回収配管 26を介して連通している。また、 砥粒分離部 35の上部に接続された送出配管 27は、洗浄液を貯留する貯留部 31〖こ 連通されている。
[0031] 洗浄液が貯留された貯留部 31は、洗浄槽 21の底部に配置された洗浄液供給ノズ ル 22と、洗浄液を供給する洗浄液供給ポンプ 32を介して洗浄液供給配管 33により 連通されている。
[0032] 本実施の形態のワイヤソー用ワイヤ洗浄装置は、洗浄液を貯留する貯留部 31と、 洗浄液を供給する洗浄液供給ポンプ 32と、砥粒分離部 35とを備える。
洗浄槽 21の洗浄液供給ノズル 22に供給した洗浄液は、洗浄槽上部切欠き部 23か ら溢れ出ながらワイヤ 5bを洗浄した後、回収槽 24内に排出され、砲粒分離部 35を経 由して砥粒が分離された洗浄液が貯留部 31に回収される。この貯留部 31に回収さ れた洗浄液は、前記洗浄液供給ポンプ 32を介して、洗浄槽 21の洗浄液供給ノズル 22に供給される。本実施の形態は、以上のように、洗浄液が、上記の経路を循環す るようにしたものである。
[0033] 上述ように構成されたワイヤソー用ワイヤ洗浄装置 15においては、貯留部 31に貯 留された洗浄液は、洗浄液供給ポンプ 32により、洗浄液供給配管 33内を流れ、洗 浄槽 21の底部に設置した洗浄液供給ノズル 22から放出され、洗浄槽 21の上部切欠 き部 23から溢れ出させ、洗浄液流れ 34を形成する。
[0034] 洗浄槽 21の側壁上部に設けられた切欠き部 23を走行するワイヤ 5bは、洗浄液流 れ 34中を走行することによって、スラリ、砲粒などが洗浄される。この洗浄液は、回収 槽 24により回収され、回収された洗浄液を砥粒分離部 35が、砥粒等を分離して浄化 された洗浄液が送出配管 27を介して貯留部 31に貯留される。
[0035] 本実施の形態のワイヤソー用ワイヤ洗浄装置 15によれば、洗浄槽 21から排出され る洗浄液を回収槽 24が回収するので、洗浄液が、周囲に飛散することがなぐ周辺 機器を汚染することなくワイヤ洗浄が可能となる。
[0036] また、洗浄液は貯留部 31に貯留し、洗浄槽 21、回収槽 24、及び砥粒分離部 35間 を循環させるように構成したので、加工中に新規の洗浄液を供給する必要がなぐラ ンユングコストを低減できる効果がある。
[0037] 実施の形態 3.
上述の実施の形態 2は、洗浄槽 21を 1個で構成したが、複数個で構成することによ つてワイヤ 5bの洗浄効果を向上させることができる。
[0038] 図 4は、図 3に記載の洗浄槽 21a及び 21bを、ワイヤ 5bが通過する経路中に 2個直 列に配置し、洗浄槽 21a, 21bの底部及び、側壁外周を覆う様に回収槽 24aを構成 したものである。洗浄槽 21a及び 21bの各々に、洗浄液供給ノズル 22を配置し、洗浄 液が貯留された貯留部 31と洗浄液を供給する洗浄液供給ポンプ 32を介して洗浄液 供給配管 33により連通されて 、る。
[0039] 本実施の形態のワイヤソー用ワイヤ洗浄装置 15は、貯留部 31に貯留された洗浄 液を洗浄液供給ポンプ 32が各洗浄液供給ノズル 22によって洗浄槽 21a, 21bに供 給し、洗浄液が各切欠き部 23から排出される。ワイヤ 5bは、この 4箇所力も排出され る洗浄液流れ 34の中を走行することによって洗浄される。また、排出された洗浄液は 上述の実施の形態と同様に回収槽 24aにて回収され、同様の経路で貯留部に貯留 される。
[0040] なお、図 4においては、洗浄槽 21a、 21bを 2個直列に配置する実施の形態を示し た力 更に多数の洗浄槽 21及び、洗浄液流れ 34を構成すれば、ワイヤ 5bの洗浄効 果を更に向上させることが出来る。
[0041] 本実施の形態によれば、洗浄液供給ノズル 22から供給した洗浄液を洗浄槽 21の 上部切欠き部 23から洗浄液を溢れ出させて形成する洗浄液流れ 34を複数個構成 できるので、ワイヤ 5bに付着した砥粒を含むスラリ中の砥粒剥離、除去効果を更に向 上させ、洗浄効果を向上させることが出来る。
[0042] 実施の形態 4.
本実施の形態は、上述の実施の形態 2, 3における砲粒分離部 35について説明す る。
[0043] ワイヤ 5bを洗浄した後の砥粒を含む洗浄液は、回収槽 24, 24aの底に配置された 回収配管 26内を通って砲粒分離部 35に流れ込んだ後、砲粒分離部 35内の底部に 上記砲粒が沈殿する（図 3,図 4の 36)。
[0044] 砥粒分離部 35は、貯留部 31と連通する送出配管 27を砥粒分離部 35の上部に配 置するように構成される。この構成により、砲粒分離部 35内の上部の上澄み液のみ を貯留部 31に回収する。この貯留部 31には、多くの砥粒を含まないワイヤ洗浄液が 貯留され、この洗浄液が、洗浄槽 21の洗浄液供給ノズル 22に大量に供給される。
[0045] また、砥粒分離部 35で砥粒を除 、た洗浄液を貯留部 31に送る送出配管 27と砥粒 分離部 35との接続部は、貯留部 31の洗浄液の最高液面より上、かつ洗浄槽 21底部 より下に設けている。このような位置関係とすることで、洗浄槽 21から排出される洗浄 液を回収し、砲粒分離部 35の上澄み液を貯留部 31にスムースに回収できる。なお、 上記接続部は、貯留部 31の洗浄液の最高液面より上、かつ回収槽 24, 24a底部より 下に設けるとさらに良い。 [0046] 図 5は、別の砥粒分離部 35の構成を示す図である。砥粒分離部 35に、回収された 洗浄液が、一度底部を通過して力 送出配管 27に向力 ように、鉛直方向に仕切り 板 37が設けたものである。この仕切り板 37は、底部には無ぐ底部で洗浄液が送出 配管 27の方向へ流れるようになつている。このような構成により、さらに砲粒の沈殿を 早くすることができる。
[0047] 本実施の形態の構成によれば、砥粒分離部 35内の上部の上澄み液のみを貯留部 31に回収することによって、早く大量に砲粒を含まないワイヤ洗浄液を生成できるの で、大量に洗浄液に流れを継続して流し続けることができ、ワイヤ 5bのスラリ洗浄効 果を向上させることができる。
[0048] また、砲粒分離部 35は、ワイヤソー本体には、着脱可能に構成され、砲粒分離部 3 5内に沈殿した砲粒 36は、液体中に沈殿して 、るのでメンテナンス時にお!、て砲粒 分離部 35の洗浄が容易に行え、メンテナンスの作業性が向上する効果がある。

Claims

請求の範囲
[1] 洗浄液を供給する供給部と、
ワイヤを通過させ、前記洗浄液を排出し、側壁の上部に設けられた切欠き部と を有する洗浄槽を備えたことを特徴とするワイヤソー用ワイヤ洗浄装置。
[2] 切欠き部は、上部が開放された U字型又はコの字型であることを特徴とする請求項 1 に記載のワイヤソー用ワイヤ洗浄装置。
[3] 洗浄槽を複数個設けたことを特徴とする請求項 1に記載のワイヤソー用ワイヤ洗浄装 置。
[4] 洗浄槽から排出される洗浄液を回収して砥粒を分離する砥粒分離部と、
前記砥粒分離部で砥粒が除かれた前記洗浄液を貯留する貯留部と、
前記貯留部に貯留された前記洗浄液を洗浄液供給部に供給するポンプと を備えたことを特徴とする請求項 1ないし 3のいずれか 1項に記載のワイヤソー用ワイ ャ洗浄装置。
[5] 砥粒分離部から貯留部へ洗浄液を送る送出配管と前記砥粒分離部との接続部の高 さは、前記貯留部の洗浄液の最高液面より上、かつ洗浄槽底部より下に設けられた ことを特徴とする請求項 4に記載のワイヤソー用ワイヤ洗浄装置。
[6] 砲粒分離部は、着脱可能に設置されたことを特徴とする請求項 4に記載のワイヤソー 用ワイヤ洗浄装置。
PCT/JP2007/061159 2006-07-21 2007-06-01 Wire washing apparatus for wire saw Ceased WO2008010353A1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006199231A JP2009226487A (ja) 2006-07-21 2006-07-21 ワイヤソー用ワイヤ洗浄装置
JP2006-199231 2006-07-21

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2008010353A1 true WO2008010353A1 (en) 2008-01-24

Family

ID=38956688

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2007/061159 Ceased WO2008010353A1 (en) 2006-07-21 2007-06-01 Wire washing apparatus for wire saw

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2009226487A (ja)
WO (1) WO2008010353A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107812747A (zh) * 2017-11-30 2018-03-20 浙江新瑞欣精密线锯有限公司 一种线锯的镀后清洗装置
US12564892B2 (en) * 2022-03-10 2026-03-03 Smo Bvba System for cooling a cutting wire

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5406089B2 (ja) * 2010-03-23 2014-02-05 株式会社ジェイテック 地山切削装置
KR102410332B1 (ko) * 2019-11-26 2022-06-17 주식회사 이건 친환경적 와이어 집진 장치
KR102617268B1 (ko) * 2023-02-08 2023-12-27 유정식 친환경 와이어쏘 절단장치 및 이를 이용한 절단방법

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6192548U (ja) * 1984-11-20 1986-06-16
JPH09207062A (ja) * 1996-02-02 1997-08-12 Nippei Toyama Corp ワイヤソ−の加工方法および加工システム
JP2000071159A (ja) * 1998-08-27 2000-03-07 Toshiba Ceramics Co Ltd ワイヤソ−装置におけるワイヤ洗浄機構

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6192548U (ja) * 1984-11-20 1986-06-16
JPH09207062A (ja) * 1996-02-02 1997-08-12 Nippei Toyama Corp ワイヤソ−の加工方法および加工システム
JP2000071159A (ja) * 1998-08-27 2000-03-07 Toshiba Ceramics Co Ltd ワイヤソ−装置におけるワイヤ洗浄機構

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107812747A (zh) * 2017-11-30 2018-03-20 浙江新瑞欣精密线锯有限公司 一种线锯的镀后清洗装置
US12564892B2 (en) * 2022-03-10 2026-03-03 Smo Bvba System for cooling a cutting wire

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009226487A (ja) 2009-10-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20110132345A1 (en) Wire saw device and method for operating same
JP4830043B1 (ja) 濾過装置
WO2008010353A1 (en) Wire washing apparatus for wire saw
US8627781B2 (en) Coating die and coating apparatus comprising the same
US11628386B2 (en) Filtration device
JP3191304U (ja) 遠心分離機
KR102122995B1 (ko) 여과 장치
US20050103727A1 (en) Sequential swinging precoat removal and renewal system, filter so equipped, and method
JP2001338904A (ja) ウェハの洗浄装置
JP5526253B1 (ja) 濾過装置
KR20090000368A (ko) 여과 기능을 갖는 침전탱크
CN114888722B (zh) 一种化学机械抛光方法
TWI665358B (zh) 抄製機
KR20140080835A (ko) 와이어 방전 가공기
JP4906936B2 (ja) 濾材の洗浄システム及び濾材の洗浄方法
JP2007307492A (ja) フィルタ洗浄装置
JP7401230B2 (ja) ろ過装置
KR20170068778A (ko) 전해청정공정의 청정화설비
JP7549052B2 (ja) 研磨液供給アームの洗浄システム
JP3353612B2 (ja) 洗浄装置
CN109433691B (zh) 一种烟用爆珠洗丸装置
JP7618163B2 (ja) 浮遊物除去装置及び液浄化システム
JP7637726B2 (ja) 工作機械の切りくず処理装置
JP2016155197A (ja) ワイヤーソー及び切断方法
JPH0445806Y2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 07744547

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: RU

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 07744547

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1