WO2007137821A1 - Darstellung von mikro- und nanaporen-massenanordnungen durch selbstorganisation von nanopartikeln und sublimationstechnik - Google Patents

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Joachim Spatz
Theobald LOHMÜLLER
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Definitions

  • the present invention relates to a novel process for the production of large-scale micro- and nanopore mass arrangements by pure self-organization.
  • the pore assembly can be controlled on the substrate surface in discrete areas.
  • the size of the pores and the lateral pore spacing are adjustable on the micro and nanometer scale.
  • Micro and nanopores or pore arrangements find numerous applications, for example as biomimetic model systems for the simulation and elucidation of processes taking place at the cellular membrane level.
  • the intra- and intercellular transport of ions and molecules and the maintenance of the electrical potential between cells and their environment are regulated by nanopore systems.
  • the cell nucleus of eukaryotic creatures is delimited from the rest of the cell by a nuclear envelope that is penetrated by pores.
  • the mutual transport of RNA, proteins, and molecules between the nucleus and the cytoplasm through these membrane openings is critically important for cell regulatory processes such as growth and cell division. [M. Beck, F. Förster, M. Ecke, JM Plitzko, F. Melchior, G. Gerisch, W. Baumeister, O.
  • the structure and depth of the nanopores can be further modified by plasma or wet-chemical etching processes.
  • Such pore fields can serve as a form for the production and spatial arrangement of nanowires, rods or tubes [RB Wehrspohn, "Ordered porous nanostructures - a modular system for photonics", Habilitationsschrift, University of Halle-Wittenberg, 2003].
  • Nanoporous filtration systems are a promising method for minimizing the emission of nanometer particles, called particulate matter, that is created in automotive engines and that is essentially responsible for the negative health effects of air pollution.
  • the filter effect is based on the mechanical barrier for particles above a certain size and / or the catalytic conversion of the same or toxic pollutants on the insides of the pores [H. Presting, U.K., "Future nanotechnology developments for automotive applications", Mat. Science and Eng. C 1 23, 737-741, 2003].
  • the technical production strategies for such large-area micro- and nanopore mass arrangements have hitherto been limited to optical lithography processes and ⁇ mprint lithography processes. These known processes are associated with a high technical complexity and therefore very costly and time consuming.
  • the object of the present invention is therefore to provide a new improved method with which such structures, in particular for all of the abovementioned applications, can be produced more simply and inexpensively, as well as in the provision of the structures produced therewith.
  • the process of the invention is based on the use of self-assembling colloidal nanoparticles and microparticles to produce large-area (> cm 2 ) pore fields on a variety of substrates, eg metals, metal oxides, crystals such as CaF 2 , glass, silicon and plastic surfaces, eg thermoplastic, elastic , cross-linked or cross-linked polymers, in controlled patterns.
  • substrates eg metals, metal oxides, crystals such as CaF 2 , glass, silicon and plastic surfaces, eg thermoplastic, elastic , cross-linked or cross-linked polymers, in controlled patterns.
  • the term "colloids”, as used herein, means particles of a typical length scale of 10 - 10 4 nm across species classes. Nature and technology utilize the self-assembly of these particles to produce structured materials that have interesting optical, mechanical, or chemical properties [S. Eiden, "Colloids: Old Materials, New Applications," News from Chemistry, 52, 1035-1038, October 2004].
  • the method according to the invention for the production of micro- and / or nanopore mass arrangements on a substrate comprises a) functionalization of the substrate surface in selected areas; (b) deposition of colloidal particles capable of selectively binding to the functionalized areas of the sub- stratoberflache, from an aqueous dispersion on the substrate surface, wherein an ordered monolayer of the particles is formed on the substrate surface; c) separation of unbound colloidal particles; d) freezing the substrate; and e) sublimation of the residual water on the substrate in vacuo, whereby the proximity of the monolayer of the particle is maintained.
  • the method further comprises f) depositing a metal layer on the dried substrate surface; g) subsequent removal of the particles from the substrate surface, leaving a porous metal layer.
  • the method further comprises h) finely adjusting pore size and pore spacing by a
  • Subsequent treatment of the substrate surface e.g. using plasma etching, electroless plating or electroplating.
  • the functionalization of the substrate surface is typically done by applying a primer.
  • Substrates can be a multiplicity of materials, for example glass / quartz glass, silicon, silicon nitrite, metals, metal oxides, crystals such as CaF 2 , and plastics.
  • adhesion promoters known in the prior art can be considered as adhesion promoters.
  • the adhesion promoter is physically bound to the substrate surface, for example by adsorption.
  • organic polymers eg polyethyleneimine (PEI) and compounds having ionic or ionizable functional groups, eg polyamide resins.
  • Polymers such as PEG, polypropylene glycol, polyvinylpyrrolidone or polyvinyl alcohols may also be used, preferably in combination with a plasma treatment (Y.S.Lin, HK Yasuda, Journal of Applied Polymer Science, Vol. 67, 855-863 (1998)).
  • a plasma treatment Y.S.Lin, HK Yasuda, Journal of Applied Polymer Science, Vol. 67, 855-863 (1998).
  • Another suitable class of substances are proteins, eg bovine serum albumin (BSA).
  • the adhesion promoter is chemically bonded to the substrate surface.
  • Another method for attaching specific, especially ionic, functional groups on organic substrate surfaces is the coating with photoinitiators that are activated by UV light. Examples of such initiators are functionalized acrylate and methacrylate compounds (M. Kunz, M. Bauer, Vakuum inmaschine u.technik (2001), No. 2, 115-120, WO 00/24527).
  • inorganic adhesion promoters e.g. Phosphate, chromate and titanate layers.
  • colloidal particles used in the process of the present invention typically have a positive or negative surface charge, and the functionalization of the substrate surface creates a surface charge opposite thereto in the selected regions and causes the particles to bind by electrostatic interaction.
  • colloidal particles for use in the present invention basically any colloidal particles capable of binding to the functionalized substrate surface are suitable. Preferably, this binding is done by electrostatic interaction.
  • the colloidal particles are of unsubstituted or substituted organic polymers, eg polystyrene (PS), poly (methyl) methacrylate (PMMA), polyvinyltoluene (PVT), styrene / butadiene copolymer (SB), styrene / vinyltoluene copolymer (S. / VT), styrene / divinylbenzene (S / DVB), or inorganic particles, eg, silica, titania, zirconia.
  • the organic polymers are substituted with amino, carboxy or sulfate groups.
  • colloids are commercially available with high monodispersity.
  • the colloidal particles used according to the invention typically have a mean size in a range of 10 nm-10 ⁇ m, preferably 50 nm-5 ⁇ m, more preferably 100 nm-2 ⁇ m.
  • the particle layer is prepared by immersing the substrate in a dispersion of colloids in an aqueous solvent, e.g. Water or a mixture of water and a water-miscible organic solvent, e.g. an alcohol such as methanol, ethanol, propanol.
  • aqueous solvent e.g. Water or a mixture of water and a water-miscible organic solvent, e.g. an alcohol such as methanol, ethanol, propanol.
  • a suitable solvent can easily be determined by a person skilled in the art, depending on the reactants used and the required process conditions. In general, the preferred solvent is water. Size and structure can be specifically controlled and controlled by functionalizing discrete areas with a suitable adhesion promoter.
  • the substrate is typically rinsed with water to remove excess non-adherent colloids. NEN, and then frozen in the wet state with eg liquid nitrogen.
  • NEN non-adherent colloids
  • the particle layer produced as described above can not be used without a further treatment as a mask for depositing a cover layer for the production of nanopore screens.
  • relatively expensive selective plasma processes have been used for such a further treatment of monolayers.
  • a sublimation technique is used for drying to avoid the occurrence of capillary interactions.
  • the residual water between the colloids is removed by freeze-drying in vacuo to prevent the particles from aggregating together.
  • the structure formed by self-assembly and mutual repulsion of the particles remains intact.
  • a decisive advantage of the sublimation method is thus that the particle layer can be used directly for the production of nanopore fields.
  • the prepared nano- and microporous mass arrangement is used as a lithographic mask for applying a metal layer to a functional support material (FIG. 1).
  • Suitable substrates are a variety of materials such as glass / quartz glass, silicon, silicon nitride, plastics or the other substrates already mentioned above.
  • the particle layer is prepared by immersing the substrate in a dispersion of colloids in an aqueous solvent, e.g. As water or a mixture of water and an organic Lö- agent, preferably water. Size and structure can be specifically controlled and controlled by functionalizing discrete areas with a suitable adhesion promoter. The adhesion of the charged beads to the surface is preferably due to electrostatic interactions.
  • an aqueous solvent e.g. As water or a mixture of water and an organic Lö- agent, preferably water.
  • Size and structure can be specifically controlled and controlled by functionalizing discrete areas with a suitable adhesion promoter.
  • the adhesion of the charged beads to the surface is preferably due to electrostatic interactions.
  • the substrate is first rinsed with water and then the wet sample is washed with e.g. frozen liquid nitrogen.
  • the wet sample is washed with e.g. frozen liquid nitrogen.
  • the residual water between the colloids is sublimated in vacuo, so that the structure of the proximity order between the particles, resulting from the mutual electrostatic repulsion ( Figure 2).
  • the particles are finally removed wet-chemically or in an ultrasonic bath.
  • a porous coating which in turn can be used as an etching mask for further processing.
  • the nature of the pores in terms of size and lateral distance and the degree of coverage are adjustable by appropriately selected process parameters such as the salt concentration and the pH of the colloid dispersion and the strength of the surface charge of the particles and the substrate.
  • the pore diameter and the pore spacings can be additionally controlled by isotropic plasma etching of the particle mask before the metal coating or by electroless metallization or galvanization of the pore mask from a metal salt solution after the particle lift-off.
  • the etching process is particularly suitable for surfaces which are exposed to the material loading by a plasma pump. while the more sensitive materials offer the second method.
  • Fig. 1 is a schematic representation of the method described in Example 1 for producing a pore mass order on a substrate.
  • FIG. 2 shows the results of two methods for drying deposited particle layers in comparison a) conventional drying b) sublimation.
  • Fig. 3 shows the dependence of the pore size on the particle diameter.
  • Fig. 4 shows the change of the particle diameter by etching treatment of the particles.
  • BSA bovine serum albumin
  • the functionalized glass flake is dipped in a 2.5% by weight dispersion of polystyrene particles in water (FIG. 1b). Due to electrostatic interactions between the BSA film and the sulfate groups on the particle surface, adsorption takes place only on the areas of the substrate prepared with adhesion promoters.
  • the decorated surface is rinsed with water to remove excess, non-adherent particles and the still wet sample is dipped in liquid nitrogen.
  • the particle orientation which has arisen in the liquid due to the mutual electrostatic repulsion remains due to the sudden icing.
  • the frozen residue of dispersant is in a Schlenck apparatus at a pressure of IGT 1 - 10 ⁇ 2 mbar removed by sublimation at room temperature.
  • a metal layer of desired thickness is vapor-deposited in a sputtering process.
  • the beads are completely dissolved in the ultrasonic bath for about 10 minutes from the support surface.
  • a porous metal surface is obtained on the starting substrate having a pore diameter, depending on the size, and a pore distance, depending on surface charge of the particles used (Fig. 3).
  • the pore diameter and pore spacing can be varied by selective isotropic small-scale beading in a chemical plasma process prior to application of the metal layer ( Figure 4).
  • the metallic pore mask by electroless or electrochemical deposition of a corresponding metal salt solution to change and thus to control the pore parameters.
  • the functionalization of the substrate surface is carried out by covalent attachment of 3-aminopropyltriethoxysilane [NH 2 (CH 2 ) Si (OC 2 H 5 ) 3 ].
  • Glass substrates are first cleaned for 30 minutes in carotene acid (H 2 O 2 / H 2 SO 4 in a ratio of 1: 3) and then rinsed with milli-Q water and methanol in an ultrasound bath.
  • the silanization of the surface takes place by immersing the substrate in a solution of 290 ml of methanol, 3 ml of aminosilane, 5 ml of H 2 O and 18 ⁇ l of glacial acetic acid with a reaction time of 12 hours
  • the glass plate is rinsed several times with methanol and blown dry [D. Cuvelier, O Rossier, P. Bassereau, P. Nassoy, Eur. Biophys J., 2003, 32, 342-354].
  • the functionalized substrate is immersed in an aqueous dispersion of colloidal polystyrene particles.
  • the further treatment is carried out analogously to the procedure described in Example 1.
  • EXAMPLE 3 Functionalization of Silica Oxide Particles with Organosilanes
  • Inorganic silica particles are functionalized with triethoxysilylpropyl-succinylanhydride (TESPSA).
  • TESPSA triethoxysilylpropyl-succinylanhydride
  • the silanization is achieved by incubation of the particles in a 10% solution of TESPSA in toluene over 16 hours [G. Toworfe, R.J. Composto, I.M. Shapiro, P. Ducheyne, Biomaterials, 2006, 27 (4), 631-642].
  • the particles are separated by centrifugation and sonication in several purification steps of the reaction solution and rinsed with toluene and water. Finally, the carboxylated particles are resuspended in Milli-Q water.
  • PEI polyethylenimine

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Mikro- und/oder Nanoporen-Massenanordnungen auf einem Substrat, umfassend Funkt ionalisierung der Substratoberfläche in ausgewählten Bereichen durch Aufbringen eines Haftvermittlers; Abscheidung von kolloidalen Partikeln, die das Vermögen zur selektiven Bindung an die funktionalisierten Bereiche der Substratoberfläche besitzen, aus einer wässrigen Dispersion auf der Substratoberfläche, wobei sich eine geordnete Monoschicht der Partikel auf der Substratoberfläche ausbildet; Abtrennung von nicht-gebundenen kolloidalen Partikeln,- Einfrieren des Substrats; und Sublimation des Restwassers auf dem Substrat im Vakuum, wobei die Nahordnung der Partikelmonoschicht erhalten bleibt.

Description

DARSTELLUNG VON MIKRO- UND NANAPOREN-MASSENANORDNUNGEN DURCH SELBSTORGANISATION VON NANOPARTIKELN UND SUBLIMATIONSTECHNIK
Die vorliegende Erfindung betrifft ein neuartiges Verfahren zur Herstellung von großflächigen Mikro- und Nanoporen-Massen- anordnungen durch reine Selbstorganisation. Die Porenanordnung kann auf der Substratoberfläche in diskreten Bereichen kontrolliert werden. Die Größe der Poren und der laterale Porenabstand sind im Mikro- und Nanometermaßstab einstellbar.
Mikro- und Nanoporen bzw. Porenanordnungen finden zahlreiche Anwendungen, beispielsweise als biomimetische Modellsysteme zur Simulation und Aufklärung von auf zellulärer Membranebene ablaufenden Prozessen. Der intra- und interzelluläre Ionen- und Molekültransport und die Aufrechterhaltung des elektrischen Potentials zwischen Zellen und ihrer Umgebung werden durch Nanoporen- systeme reguliert. So ist beispielsweise der Zellkern eukaryonti- scher Lebewesen durch eine mit Poren durchsetzte Kernhülle von der übrigen Zelle abgegrenzt. Der wechselseitige Transport von RNA, Proteinen und Molekülen zwischen Kern und Cytoplasma durch diese Membranöffnungen ist von entscheidender Bedeutung für zellregulative Vorgänge wie Wachstum und Zellteilung. [M. Beck, F. Förster, M. Ecke, J. M. Plitzko, F. Melchior, G. Gerisch, W. Baumeister, O.Medalia, Science, Bd. 306, Issue 5700, 1387-1390, 19. November 2004] Weiterhin werden Anwendungen als elektronische Bauelemente, in der Biosensorik sowie im analytischdiagnostischen Bereich, als Wirkstoffdepots und zur Wirkstoffauslieferung untersucht [T. A. Desai et al., "Nanopore Technology for Biomedical Applications"] . In Kombination mit technisch etablierten optischen Lithographieverfahren können derartige Strukturen als Maske zur Darstellung weiterer nanoskaliger Materialien verwendet werden [S. A. Knaack, J. Eddington, Q. Leonard, F. Cerrina und M. Onellion, "Dense ar- rays of nanopores as x-ray lithography masks", Äppl . Phys . Let . , Bd. 84, Nr. 17, 26. April 2004]. Struktur und Tiefe der Nanoporen sind außerdem durch plasma- oder nasschemische Ätzverfahren weiter modifizierbar. Derartige Porenfelder können als Form für die Herstellung und räumliche Anordnung von Nanodrähten, -Stäben oder -röhren dienen [R. B. Wehrspohn, "Geordnete poröse Nanostrukturen - ein Baukastensystem für die Photonik", Habilitationsschrift, Universität Halle-Wittenberg, 2003] .
Nanoporöse Filtersysteme sind eine viel versprechende Methode zur Minimierung der Emission von Nanometerpartikeln, des sogenannten Feinstaubs, der in Kraftfahrzeugmotoren entsteht und der im Wesentlichen für die negativen gesundheitlichen Auswirkungen von Luftverschmutzung verantwortlich gemacht wird. Die Filterwirkung beruht dabei auf der mechanischen Absperrung für Partikel oberhalb einer bestimmten Größe und/oder der katalytischen Umwandlung derselben oder giftiger Schadstoffe an den Innenseiten der Poren [H. Presting, U. König, "Future nanotechnology developments for automotive applications", Mat. Science and Eng. C1 23, 737-741, 2003] .
Die technischen Herstellungsstrategien für solche großflächigen Mikro- und Nanoporen-Massenanordnungen waren bisher auf optische Lithographieverfahren und Σmprint-Lithographieverfahren beschränkt. Diese bekannten Prozesse sind mit einem hohen technischen Aufwand verbunden und demzufolge sehr kosten- und zeitintensiv. Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht daher in der Bereitstellung eines neuen verbesserten Verfahrens, mit dem sich solche Strukturen, insbesondere für alle obengenannten Anwendungen, einfacher und kostengünstiger herstellen lassen, sowie in der Bereitstellung der damit hergestellten Strukturen.
Diese Aufgaben werden erfindungsgemäß durch das Verfahren nach Anspruch 1 und die Lithographiemaske nach Anspruch 14 gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche 2-13.
Das erfindungsgemäße Verfahren beruht auf der Verwendung selbstorganisierender kolloidaler Nano- und Mikropartikel zur Erzeugung von großflächigen (> cm2) Porenfeldern auf einer Vielfalt von Substraten, z.B. Metallen, Metalloxiden, Kristallen wie z.B. CaF2, Glas, Silicium und KunststoffOberflächen, z.B. thermoplastischen, elastischen, strukturvernetzten oder vernetzten Polymeren, in kontrollierten Mustern. Der Begriff „Kolloide", wie hier verwendet, bedeutet Stoffklassenübergreifend Partikel einer typischen Längenskala von 10 - 104 nm. Von Natur und Technik wird die Selbstorganisation dieser Teilchen genutzt, um strukturierte Materialien zu erzeugen, die interessante optische, mechanische, oder chemische Eigenschaften haben [S. Eiden, "Kolloide: Alte Materialien, neue Anwendungen", Nachrichten aus der Chemie, 52, 1035-1038, Oktober 2004].
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung von Mikro- und/oder Nanoporen-Massenanordnungen auf einem Substrat umfasst a) Funktionalisierung der Substratoberfläche in ausgewählten Bereichen; b) Abscheidung von kolloidalen Partikeln, die das Vermögen zur selektiven Bindung an die funktionalisierten Bereiche der Sub- stratoberflache besitzen, aus einer wässrigen Dispersion auf der Substratoberfläche, wobei sich eine geordnete Monoschicht der Partikel auf der Substratoberfläche ausbildet; c) Abtrennung von nicht-gebundenen kolloidalen Partikeln; d) Einfrieren des Substrats; und e) Sublimation des Restwassers auf dem Substrat im Vakuum, wobei die Nahordnung der Partikelmonoschicht erhalten bleibt.
In einer spezielleren Ausführungsform umfasst das Verfahren ferner f) Aufbringen einer Metallschicht auf der getrockneten Substratoberfläche; g) anschließende Entfernung der Partikel von der Substratoberfläche, wobei eine poröse Metallschicht zurückbleibt.
In einer noch spezielleren Ausführungsform umfasst das Verfahren ferner h) Feineinstellung von Porengröße und Porenabstand durch eine
Nachhandlung der Substratoberfläche, z.B. mittels Plasmaätzen, stromlose Metallisierung oder Galvanisierung.
Die Funktionalisierung der Substratoberfläche geschieht typischerweise durch Aufbringung eines Haftvermittlers. Substrate können eine Vielzahl von Materialien, z.B. Glas/Quarzglas, SiIi- cium, Siliciumnitrit, Metalle, Metalloxide, Kristalle wie z.B. CaF2, und Kunststoffe, sein. Als Haftvermittler kommen grundsätzlich alle im Stand der Technik bekannten Haftvermittler in Betracht. In einer Ausführungsform der Erfindung wird der Haftvermittler physikalisch, z.B. durch Adsorption, an die Substratoberfläche gebunden. Einige, nicht-beschränkende Beispiele hierfür sind organische Polymere, z.B. Polyethylenimin (PEI) und Verbindungen mit ionischen bzw. ionisierbaren funktionellen Gruppen, z.B. Polyamidharze. Auch Polymere wie PEG, Polypropylenglycol, Polyvinylpyrrolidon oder Polyvinylakohole sind, vorzugsweise in Kombination mit einer Plasmabehandlung (Y. -S. Lin, H. K. Yasuda, Journal of Applied Polymer Science, Bd. 67, 855-863 (1998)), einsetzbar. Ein weitere geeignete Substanzklasse sind Proteine, z.B. Rinderserumalbumin (BSA) .
In einer alternativen Ausführungsform wird der Haftvermittler chemisch an die Substratoberfläche gebunden. Spezielle Beispiele für derartige Haftvermittler sind funktionelle Organosilane oder Silan-Derivate, z.B. der allgemeinen Formel (X)3SiPZY, wobei X = Halogen, OR, NR2; Y = Amin, Methacrylat, Epoxid, Thiol, Carboxyl . Eine weitere Methode zur Anbindung spezifischer, insbesondere ionischer, funktioneller Gruppen auf organischen Substratoberflächen ist die Beschichtung mit Photoinitiatoren, die durch UV-Licht aktiviert werden. Beispiele für solche Initiatoren sind funktionalisierte Acrylat- und Methacrylatverbindungen (M. Kunz, M. Bauer, Vakuum in Forschung u. Praxis (2001), Nr. 2, 115-120; WO 00/24527) .
Ebenfalls einsetzbar sind anorganische Haftvermittler, z.B. Phosphat-, Chromat- und Titanatschichten.
Es können auch mehrere Haftvermittler, sowohl physikalisch als auch chemisch gebundene, gleichzeitig eingesetzt werden.
Die in dem Verfahren der vorliegenden Erfindung verwendeten kolloidalen Partikel besitzen typischerweise eine positive oder negative Oberflächenladung und die Funktionalisierung der Substratoberfläche erzeugt in den ausgewählten Bereichen eine dazu entgegengesetzte Oberflächenladung und veranlasst die Bindung der Partikel durch elektrostatische Wechselwirkung. Als kolloidale Partikel zur Verwendung in der vorliegenden Erfindung sind grundsätzlich alle kolloidalen Partikel geeignet, die an die funktionalisierte Substratoberfläche binden können. Vorzugsweise geschieht diese Bindung durch elektrostatische Wechselwirkung. Spezieller sind die kolloidalen Partikel aus unsub- stituierten oder substituierten organischen Polymeren, z.B. Polystyrol (PS), PoIy (methyl)methacrylat (PMMA), Polyvinyltoluol (PVT), Styrol/Butadien-Copolymer (SB), Styrol/Vinyltoluol- Copolymer (S/VT) , Styrol/Divinylbenzol (S/DVB) , oder anorganischen Partikeln, z.B. Siliciumdioxid, Titandioxid, Zirconiumdio- xid, ausgewählt. Vorzugsweise sind die organischen Polymere mit Amino-, Carboxy- oder Sulfatgruppen substituiert. Derartige Kolloide sind mit hoher Monodispersität im Handel erhältlich.
Die erfindungsgemäß verwendeten kolloidalen Partikel weisen typischerweise eine mittlere Größe in einem Bereich von 10 nm - 10 μm, vorzugsweise 50 nm - 5 μm, bevorzugter 100 nm - 2 μm, auf.
Die Partikellage wird durch Eintauchen des Substrats in eine Dispersion aus Kolloiden in einem wässrigen Lösungsmittel, z.B. Wasser oder eine Mischung von Wasser und einem mit Wasser mischbaren organischen Lösungsmittel, z.B. einem Alkohol wie Methanol, Etha- nol, Propanol, hergestellt. Ein geeignetes Lösungsmittel kann der Fachmann in Abhängigkeit von den verwendeten Reaktionspartnern und den erforderlichen Verfahrens-bedingungen unschwer bestimmen. In der Regel ist das bevorzugte Lösungsmittel Wasser. Größe und Struktur können dabei durch Funktionalisierung diskreter Bereiche mit einem geeigneten Haftvermittler gezielt gesteuert und kontrolliert werden.
Nach der Beschichtung wird das Substrat in der Regel mit Wasser gespült, um überschüssige, nicht anhaftende Kolloide zu entfer- nen, und anschließend im feuchten Zustand mit z.B. flüssigem Stickstoff eingefroren. Bei einer hohen Teilchendichte oder zunehmender Partikelgröße führen auftretende Kapillarkräfte beim normalen Trocknen der Monolage zu einer ungewollten Aggregatbildung in kleine Partikelcluster und zu einer Zerstörung der Nahordnung. Dies bedeutet, dass die wie oben erzeugte Partikellage nicht ohne eine Weiterbehandlung als Maske zur Abscheidung einer Deckschicht zur Erzeugung von Nanoporenfeider verwendet werden kann. Herkömmlicherweise wurden für eine solche Weiterbehandlung von Monoschichten beispielsweise relativ aufwändige selektive Plasmaprozesse eingesetzt. In dem Verfahren der vorliegenden Erfindung wird dagegen zum Trocknen eine Sublimationstechnik angewandt, um das Auftreten von Kapillar-wechselwirkungen zu vermeiden. Das Residualwasser zwischen den Kolloiden wird durch Gefriertrocknung im Vakuum entfernt und so ein Zusammenlagern der Teilchen verhindert. Die durch Selbstorganisation und gegenseitige Abstoßung der Partikel gebildete Struktur bleibt erhalten. Ein entscheidender Vorteil der Sublimationsmethode besteht somit darin, das die Partikellage direkt zur Erzeugung von Nanoporenfel- dern verwendet werden kann.
In einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die hergestellte Nano- und Mikroporen-Massenanordnung als lithographische Maske zum Aufbringen einer Metallschicht auf ein funktionelles Trägermaterial verwendet (Fig. 1) . Als Substrat kommen eine Vielzahl von Materialien wie beispielsweise Glas/Quarzglas, Silicium, Siliciumnitrit , Kunststoffe oder die anderen bereits oben genannten Substrate in Betracht.
Die Partikellage wird durch Eintauchen des Substrats in eine Dispersion aus Kolloiden in einem wässrigen Lösungsmittel, z. B. Wasser oder eine Mischung von Wasser und einem organischen Lö- sungsmittel, vorzugsweise Wasser, hergestellt. Größe und Struktur können dabei durch Funktionalisierung diskreter Bereiche mit einem geeigneten Haftvermittler gezielt gesteuert und kontrolliert werden. Die Adhäsion der geladenen Kügelchen an der Oberfläche erfolgt vorzugsweise aufgrund elektrostatischer Wechselwirkungen.
Nach der Dekoration wird das Substrat zunächst mit Wasser gespült und anschließend die feuchte Probe mit z.B. flüssigem Stickstoff eingefroren. Bei einer hohen Teilchendichte oder zunehmender Partikelgröße führen auftretende Kapillarkräfte beim Trocknen der Monolage zu einer ungewollten Aggregatbildung in kleine Partikelcluster. Um dies zu verhindern, wird das Residualwasser zwischen den Kolloiden im Vakuum absublimiert, so dass die Struktur der Nahordnung zwischen den Partikeln, die aus der gegenseitigen elektrostatischen Abstoßung resultiert erhalten bleibt (Fig.2).
Nach dem Bedampfen der Oberfläche mit einem Metall werden abschließend die Partikel nasschemisch oder im Ultraschallbad entfernt. Auf dem Substrat verbleibt ein poröser Überzug, der wiederum als Ätzmaske zur weiteren Verarbeitung verwendet werden kann. Die Beschaffenheit der Poren hinsichtlich Größe und lateralem Abstand sowie der Bedeckungsgrad sind durch entsprechend gewählte Prozessparameter wie der Salzkonzentration und dem pH-Wert der Kolloiddispersion sowie der Stärke der Oberflächenladung der Partikel und des Substrats einstellbar. Der Porendurchmesser und die Porenabstände lassen sich bei diesem Verfahren zusätzlich durch isotropes Plasmaätzen der Partikelmaske vor der Metallbe- schichtung oder durch stromlose Metallisierung oder Galvanisierung der Porenmaske aus einer Metallsalzlösung nach dem Partikel- Lift-Off kontrollieren. Das Ätzverfahren eignet sich insbesondere für Oberflächen, die der Materialbelastung durch einen Plasmapro- zess standhalten, während sich für empfindlichere Materialien die zweite Methode anbietet.
Kurzbeschreibung der Figuren
Fig. 1 ist eine schematische Darstellung des in Bespiel 1 beschriebenen Verfahrens zur Herstellung einer Poren-Massenordnung auf einem Substrat.
Fig. 2 zeigt die Ergebnisse zweier Verfahren zur Trocknung abgeschiedener Partikelschichten im Vergleich a) herkömmliche Trocknung b) Sublimation.
Fig. 3 zeigt die Abhängigkeit der Porengröße vom Partikeldurchmesser.
Fig. 4 zeigt die Veränderung des Partikeldurchmessers durch eine Ätzbehandlung der Partikel.
Die folgenden Beispiele dienen zur näheren Erläuterung der vorliegenden Erfindung, ohne diese jedoch darauf zu beschränken.
BEISPIEL 1
Herstellung einer Poren-Massenanordnung auf einem Glassubstrat
Eine 10 gew.-%ige Lösung von Rinderserumalbumin (BSA) in Wasser wird auf ein gereinigtes Deckgläschen aufgebracht. Nach zehn Minuten Einwirkzeit ist eine ca. 6 nm dicke Lage BSA auf der Oberfläche adsorbiert. Das Substrat wird in einem Becherglas mit MiI- li-Q-Wasser gespült und mit Stickstoff trocken geblasen (Fig. Ia) .
Das funktionalisierte Glasplättchen wird in eine 2,5 gew.-%ige Dispersion von Polystyrol-Partikeln in Wasser getaucht (Fig. Ib). Aufgrund elektrostatischer Wechselwirkungen zwischen dem BSA-FiIm und den Sulfatgruppen auf der Partikeloberfläche erfolgt die Adsorption nur an den mit Haftvermittler präparierten Bereichen des Substrats. Die dekorierte Oberfläche wird mit Wasser gespült, um überschüssige, nicht anhaftende Partikel zu entfernen, und die noch nasse Probe in flüssigen Stickstoff getaucht. Die in der Flüssigkeit aufgrund der gegenseitigen, elektrostatischen Abstoßung entstandene Partikelnahordnung bleibt durch das plötzliche Vereisen erhalten.
Der gefrorene Rückstand von Dispergens wird in einer Schlenck- Apparatur bei einem Druck von IGT1 - 10~2 mbar bei Raumtemperatur absublimiert . Auf die getrockneten Partikel wird in einem Sput- terprozess eine Metallschicht gewünschter Dicke aufgedampft. Abschließend werden die Kügelchen während ca. 10 min im Ultraschallbad vollständig von der Trägeroberfläche gelöst. Als Ergebnis erhält man eine poröse Metalloberfläche auf dem Ausgangssubstrat mit einem Porendurchmesser, abhängig von der Größe, und einem Porenabstand, abhängig von Oberflächenladung der eingesetzten Partikel (Fig. 3) .
Durch selektives isotropes Kleinätzen der Kügelchen in einem chemischen Plasmaprozess vor dem Aufbringen der Metallschicht kann man zusätzlich den Porendurchmesser und Porenabstand variieren (Fig. 4). Alternativ ist es auch möglich, die metallische Porenmaske durch stromlose oder elektrochemische Abscheidung aus einer entsprechenden Metallsalzlösung zu verändern und damit die Porenparameter zu kontrollieren.
BEISPIEL 2 Substratfunktionalisierung mit Organosilanen
Die Funktionalisierung der Substratoberfläche erfolgt durch kovalente Anbindung von 3-Aminopropyltriethoxysilan [NH2 (CH2) Si (OC2H5) 3] .
Glassubstrate werden zunächst 30 Minuten in Carot" scher Säure (H2O2/H2SO4 im Verhältnis 1:3) gereinigt und anschließend mit MiI- li-Q-Wasser und Methanol im Ultraschallbad gespült. Die Silani- sierung der Oberfläche erfolgt durch Eintauchen des Substrats in eine Lösung aus 290 ml Methanol, 3 ml Aminosilan, 5 ml H2O und 18 μl Eisessig bei einer Reaktionszeit von 12 Stunden. Abschließend wird das Glasplättchen mehrfach mit Methanol gespült und trocken geblasen. [D. Cuvelier, O. Rossier, P. Bassereau, P. Nassoy, Eur. Biophys. J., 2003, 32, 342-354].
Die Anbindung von Monolagen unterschiedlicher Organosilan- Derivate konnte bereits an Substraten wie beispielsweise Silizium, Aluminiumoxid, Quarz, Glas, Mica, Zinkselenid, Germaniumoxid und Gold gezeigt werden. [A. Ulman, Chem. Rev., 1996, 96, 1533-1554]
Das funktionalisierte Substrat wird in eine wässrige Dispersion kolloidaler Polystyrol-Partikel getaucht. Die weitere Behandlung erfolgt analog der in Beispiel 1 beschriebenen Vorgehensweise. BEISPIEL 3 Funktionalisierung von Silizumoxidpartikeln mit Organosilanen
Anorganische Siliziumoxid-Partikel werden mit Triethoxysilyl- propyl-succinylanhydrid (TESPSA) funktionalisiert . Die Silani- sierung gelingt durch Inkubation der Partikel in einer 10 %-igen Lösung TESPSA in Toluol über 16 Stunden [G. K. Toworfe, R. J. Composto, I. M. Shapiro, P. Ducheyne, Biomaterials, 2006, 27(4), 631-642] . Die Partikel werden durch Abzentrifugieren und Ultraschallbehandlung in mehreren Reinigungsschritten von der Reaktionslösung getrennt und mit Toluol und Wasser gespült. Abschließend werden die carboxylierten Partikel in Milli-Q-Wasser resuspendiert .
Eine 0.1 %ige Lösung Polyethylenimin (PEI) in Wasser wird auf eine gereinigte Glasoberfläche aufgebracht. Nach zehn Minuten Einwirkzeit ist ein dünner Film PEI auf der Oberfläche adsorbiert. Das Substrat wird in einem Becherglas mit Milli-Q-Wasser gespült und getrocknet. Die Partikeldekoration erfolgt aufgrund attraktiver Wechselwirkungen zwischen den Aminogruppen auf der Substratoberfläche und den Carboxylgruppen der Siθ2~Partikel .
Die weitere Behandlung erfolgt analog der in Beispiel 1 beschriebenen Vorgehensweise.

Claims

PATENTANSPRÜCHE
1. Verfahren zur Herstellung von Mikro- und/oder Nanopo- ren-Massenanordnungen auf einem Substrat, umfassend a) Funktionalisierung der Substratoberfläche in ausgewählten Bereichen; b) Abscheidung von kolloidalen Partikeln, die das Vermögen zur selektiven Bindung an die funktio- nalisierten Bereiche der Substratoberfläche besitzen, aus einer wässrigen Dispersion auf der Substratoberfläche, wobei sich eine geordnete Monoschicht der Partikel auf der Substratoberfläche ausbildet; c) Abtrennung von nicht-gebundenen kolloidalen Partikeln; d) Einfrieren des Substrats; und e) Sublimation des Restwassers auf dem Substrat im Vakuum, wobei die Nahordnung der Partikelmonoschicht erhalten bleibt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, umfassend ferner f) Aufbringen einer Metallschicht auf der getrockneten Substratoberfläche; g) anschließende Entfernung der Partikel von der Substratoberfläche, wobei eine poröse Metallschicht zurückbleibt.
3. Verfahren nach Anspruch 2, umfassend ferner h) Feineinstellung von Porengröße und Porenabstand durch eine Nachhandlung der Substratoberfläche, z.B. mittels Plasmaätzen, stromlose Metallisierung oder Galvanisierung.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, dass die Funktionalisierung der Substratoberfläche durch Aufbringung eines Haftvermittlers geschieht.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Haftvermittler physikalisch, z.B. durch Adsorption, an die Substratoberfläche gebunden wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass als Haftvermittler ein organisches Polymer, z.B. Polyethylenimin (PEI) oder ein Polyamidharz, oder ein Protein, z.B. Rinderserumalbumin (BSA), an die Substratoberfläche gebunden wird.
7. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Haftvermittler chemisch an die Substratoberfläche gebunden wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass als Haftvermittler mindestens ein funktionelles Organosilan oder Silanderivat der allgemeinen Formel (X)3SiR' Y, wobei X = Halogen, OR, NR2; Y = Amin, Me- thacrylat, Epoxid, Thiol, Carboxyl, an die Substratoberfläche gebunden wird.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-8, dadurch gekennzeichnet, dass die kolloidalen Partikel eine positive oder negative Oberflächenladung besitzen und die Funktionalisierung der Substratoberfläche in den ausgewählten Bereichen eine dazu entgegengesetzte 0- berflächenladung erzeugt und die Bindung der Partikel durch elektrostatische Wechselwirkung geschieht.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-9, dadurch gekennzeichnet, dass die kolloidalen Partikel eine mittlere Größe in einem Bereich von 10 nm - 10 μm, vorzugsweise 50 nm - 5 μm, bevorzugter 100 nm - 2 μm, aufweisen.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-10, dadurch gekennzeichnet, dass die kolloidalen Partikel aus un- substituierten oder substituierten organischen Polymeren, z.B. Polystyrol (PS), PoIy (methyl) methacrylat
(PMMA), Polyvinyltoluol (PVT), Styrol/Butadien- Copolymer (SB), Styrol/Vinyltoluol-Copolymer (S/VT), Styrol/Divinylbenzol (S/DVB) oder anorganischen Partikeln, z.B. Siliciumdioxid, Titandioxid, Zirconium- dioxid, ausgewählt sind.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die organischen Polymere mit Amino-, Carboxy- oder Sulfatgruppen substituiert sind.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-12, dadurch gekennzeichnet, dass die Entfernung der Partikel in Schritt g) durch eine nasschemische Behandlung oder in einem Ultraschallbad geschieht.
14. Lithographiemaske, umfassend eine Mikro- und/oder Na- noporen-Massenanordnung auf einem Substrat, die mit dem Verfahren nach einem der Ansprüche 1-13 hergestellt wurde.
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