WO2007132588A1 - 加速度センサ - Google Patents

Abstract

【課題】保持部材によって保持された領域内で焦電効果による不要な出力が発生するのを改善できる加速度センサを提供することにある。 【解決手段】加速度センサ１Ａは、複数の圧電セラミックス層２ａ～２ｄを積層した検出素子２と、検出素子の長さ方向一端部の主面を保持する一対の保持部材１０，１１とを備える。検出素子２は各セラミックス層の層間および主面に電極３～７を持ち、加速度の印加によって検出素子２に発生する電圧または電荷を主面電極６，７と層間電極４，５とから取り出す。検出素子２の保持部材１０，１１によって保持された領域内であって、主面電極６，７と層間電極４，５間に挟まれた圧電セラミックス層２ａ，２ｄの領域Ｓが分極されていない。

Description

明 細 書

加速度センサ

技術分野

[0001] 本発明は圧電セラミックスを用いた加速度センサに関するものである。

背景技術

[0002] 従来、圧電セラミックスを利用した加速度センサとして、種々のものが提案されている 。特に、複数の圧電セラミックス層を積層した検出素子の長さ方向一端部の両主面を 一対の保持部材で保持した加速度センサは、電荷感度と電圧感度の積の 1/2とし て表される発生エネルギーが大きく、高 S/Nすなわち高感度のセンサとすることが できる。

[0003] 図 6は特許文献 1および 2に開示された加速度センサの一例を示す。この加速度セン サ 1は、検出素子 2の長さ方向一端部の主面を一対の保持部材 10, 1 1で保持したも のである。検出素子 2は、 4層の圧電セラミックス層 2a〜2dを積層し、一体に焼成した ものであり、検出素子 2の一方の主面側から他方の主面側に向かって第 1層 2a、第 2 層 2b、第 3層 2c、第 4層 2dとなっている。検出素子 2の厚み方向中心、つまり第 2層 2 bと第 3層 2cとの間には層間電極 3が形成され、第 1層 2aと第 2層 2bとの間、および 第 3層 2cと第 4層 2dとの間にはそれぞれ層間電極 4， 5が形成されている。検出素子 2の両主面には主面電極 6， 7がそれぞれ設けられている。

[0004] 圧電セラミックス層のうち、第 1層 2aと第 4層 2dは同一厚みであり、第 2層 2bと第 3層 2 cは同一厚みである。第 1層 2aおよび第 4層 2dの厚みに比べて第 2層 2bおよび第 3 層 2cの厚みの方が厚レ、。圧電セラミックス層 2a〜2dは、図 6に矢印 Pで示すように、 厚み方向に分極されている。すなわち、第 2層 2bと第 3層 2cは同一方向に分極され 、第 1層 2aと第 2層 2bは逆向きに分極され、第 4層 2dと第 3層 2cは逆向きに分極され ている。

[0005] 層間電極 4, 5の一端は、保持部材 10, 11の保持部 10a, 11aによって保持された検 出素子 2の一端部の端面まで延ばされ、保持部材 10, 11の一端面および検出素子 2の一端面に連続的に形成された外部電極 8と電気的に接続されている。層間電極 4, 5の他端は検出素子 2の自由端から所定寸法だけ手前の位置で終端となってい る。

[0006] 層間電極 3の一端は、保持部材 10, 11の保持部 10a, 11aの内側縁部と対応する位 置で終端となっており、他端は検出素子 2の自由端まで延びている。また、主面電極 6, 7の一端は保持部材 10, 11の保持部 10a， 11aによって挟持された部分の中間 部まで延びており、他端は検出素子 2の自由端まで延びている。保持部 10a， 11aの 内面に形成された引出電極 12， 13は、異方性導電接着剤 14によって主面電極 6, 7と電気的に接続されている。このように主面電極 6， 7の一端が保持部材 10, 11の 保持部 10a， 11aの中間位置まで延びているのは、主面電極 6， 7と保持部 10a， 11 aの内面に形成された引出電極 12， 13との対向面積を確保し、接続面積を大きくす るためである。なお、引出電極 12, 13および主面電極 6， 7は外部電極 8と導通して いない。引出電極 12， 13は、保持部 10a, 11aの内面から保持部材 10, 11の他端 部内面にかけて連続的に形成されている。引出電極 12， 13の他端部は、保持部材 10, 11の他端面および端部材 15の端面に形成された外部電極 9と電気的に接続さ れている。

[0007] 検出素子 2の自由端側の側面には、蒸着やスパッタリングなどによって接続電極 18 が形成されている。この接続電極 18は、層間電極 3と主面電極 6, 7とを相互に接続 するためのものであり、層間電極 4, 5が延びていない領域に形成されているため、層 間電極 4, 5とは接続されない。なお、接続電極 18は、上記のように検出素子 2の側 面に設ける場合のほか、検出素子 2の自由端側の端面に設けてもよい。接続電極 18 の形成と同時に、保持部材 10, 11および端部材 15の側面にも電極 19が形成される 、電極 19は省略可能である。

[0008] 上記のように、層間電極 4, 5は外部電極 8に接続され、層間電極 3と主面電極 6， 7と が接続電極 18によって互いに接続されるとともに、保持部材 10， 11の内面に設けた 引出電極 12, 13を介して外部電極 9と接続される。そのため、図 7に示すように、外 部電極 8, 9間において、 4つの圧電セラミックス層 2a〜2dが電気的に並列接続され る。

[0009] 図 6で矢印方向に加速度 Gが加わると、 1貫性により検出素子 2は加速度方向と逆方 向に橈み、検出素子 2の上半分には圧縮応力、下半分には引張応力が発生する。 そのため、層間電極 3と主面電極 6, 7には正の電荷が発生し、層間電極 4, 5には負 の電荷が発生する。その結果、層間電極 4, 5と導通する一方の外部電極 8から負の 電荷が、層間電極 3および主面電極 6, 7と導通する他方の外部電極 9から正の電荷 が取り出される。

[0010] 上記のような構造の加速度センサにおいて、外部から温度変化が加わると、その熱 は保持部材 10， 11を介して検出素子 2に伝達され、焦電効果により、図 8に正負の 記号で示すような電荷が各圧電セラミックス層 2a〜2dに発生する。各圧電セラミック ス層 2a〜2dに加わる温度変化が均一な場合には、焦電効果により発生した電荷は 、第 1層 2aと第 4層 2dとの間、および第 2層 2bと第 3層 2cとの間でキャンセルされるた め、外部には出力として現れない。しかし、部分的に温度が高くなつた場合、各圧電 セラミックス層 2a〜2dの温度変化が異なり、焦電効果により発生した電荷が第 1層 2a と第 4層 2dとの間、および第 2層 2bと第 3層 2cとの間でキャンセルされず、加速度セ ンサ 1が不要な出力（熱ゆらぎノイズ)を発生してしまうという問題があった。例えば、 一方の保持部材 10が他方の保持部材 11より高温になると、その熱は保持部材 10の 保持部 10aから検出素子 2の一端部上面へと伝達される。そのため、検出素子 2の上 面と下面とで温度差が発生し、焦電効果による不要な出力が発生してしまう。

[0011] ここで、焦電効果による不要な出力が発生する原因をさらに詳しく説明する。上記検 出素子 2の圧電セラミックス層 2a〜2dは、矢印 P方向に分極されており、その分極範 囲は、図 8に梨子地状模様で示すように、対向する電極で挟まれた圧電セラミックス 層の範囲となっている。その理由は、層間電極 3, 4, 5と主面電極 6, 7とを分極用電 極としても利用しているからである。このうち、焦電電荷の発生原因となるのは、保持 部材 10, 11によって保持された領域内の第 1層 2aおよび第 4層 2dの分極領域（図 8 に Sで示す）である。分極されていない領域には焦電電荷が発生しないし、同一電位 の電極間では焦電電荷が発生しないからである。つまり、主面電極 6， 7の一部が保 持部材 10, 11の保持部 10a， 11aと対向する領域まで延びているため、この主面電 極 6, 7の引出部と層間電極 4, 5との間の領域 Sで発生した焦電電荷が不要な出力と して取り出されるのである。 特許文献 1 :特開 2003— 337140号公報

特許文献 2 :特開 2005— 164505号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0012] そこで、本発明の目的は、保持部材によって保持された領域内で焦電効果による不 要な出力が発生するのを抑制できる加速度センサを提供することにある。

課題を解決するための手段

[0013] 上記目的を達成するため、本発明は、複数の圧電セラミックス層を積層した検出素子 と、この検出素子の長さ方向一端部の両主面を保持する保持部材とを備え、上記検 出素子は各圧電セラミックス層の層間および主面に電極を持ち、加速度の印加によ つて上記検出素子に発生する電圧または電荷を上記主面電極と層間電極との間か ら取り出すようにした加速度センサにおいて、上記検出素子の保持部材によって保 持された領域内に上記主面電極とこの主面電極に電気的に接続されていない層間 電極とが延ばされており、上記保持部材の内面には引出電極が形成されており、上 記保持部材によって保持された領域内に延ばされた上記主面電極の少なくとも一部 と上記保持部材の内面に形成された引出電極の少なくとも一部とが対向して相互に 電気的に接続されており、上記検出素子の保持部材によって保持された領域内であ つて、上記主面電極とこの主面電極に電気的に接続されていない層間電極との間に 挟まれた圧電セラミックス層の領域が分極されていないことを特徴とする加速度セン サを提供する。

[0014] 本発明に係る加速度センサの場合、例えば一方の保持部材が他方の保持部材より 高温になると、その熱は保持部材の保持部から検出素子の一端部上面へと伝達され 、検出素子の上面と下面とで温度差が発生し、焦電効果による不要な出力が発生す る恐れがある。しかし、検出素子の保持部材によって保持された領域内であって、主 面電極とこの主面電極に電気的に接続されてレ、なレ、層間電極との間に挟まれた圧 電セラミックス層の領域が分極されていないため、焦電電荷が発生しない。そのため 、保持部材によって保持されている部分力 の不要な出力をなくすことができる。

[0015] なお、検出素子の一端部に加わる熱が、検出素子の加速度検出部（保持部材によつ て保持されていない領域)まで伝達され、熱ゆらぎノイズの原因になる可能性がある 力 検出素子の加速度検出部については外部に露出しているため、各セラミックス層 の温度変化がほぼ均一となり、焦電電荷はキャンセルされる。

[0016] 好ましい実施の形態によれば、検出素子は、一方の主面側から他方の主面側に向 かって第 1層〜第 4層の圧電セラミックス層を有し、検出素子の厚み方向の中心の層 間電極と両主面電極とが電気的に接続され、かつ少なくとも一方の主面電極が上記 保持部材によって保持された端部であって端面の手前まで引き出され、少なくとも一 方の主面電極は、この電極と対面する保持部材の内側面に形成された引出電極と 異方性導電性接着剤を介して電気的に接続され、検出素子の第 1層と第 2層との層 間電極と、第 3層と第 4層との層間電極とが電気的に接続され、かつ保持部材によつ て保持された端部の端面まで引き出されている構造としてもよい。この場合には、検 出素子を 4層の圧電セラミック積層構造とし、加速度の印加によって各層で発生した 電荷を並列接続で取り出すようにしてある。加速度の印加によって発生した電圧また は電荷をそれぞれ保持部材の異なる部位へ確実に引き出すことができるため、表面 実装型部品として構成しやすい。また、異方性導電性接着剤を用いて検出素子の主 面電極を保持部材の引出電極に導通させるので、主面電極あるいは引出電極と保 持部材の端面までの距離が短くても、一方の外部電極との絶縁を確保することがで きる。そのため、加速度センサを小型化できる。

[0017] 好ましい実施の形態によれば、検出素子の圧電セラミックス層のうち、第 1層と第 4層 は同一厚みであり、第 2層と第 3層は同一厚みであり、第 1層の厚みに比べて第 2層 の厚みの方を大きくしてもよい。厚み方向内側の 2層の厚みを外側の 2層に比べて厚 くし、両層で発生する電位をできるだけ等しくすれば、発生エネルギーを増大させる こと力 Sできる。

[0018] 好ましい実施の形態によれば、検出素子は、一方の主面側から他方の主面側に向 力、つて第 1層と第 2層の圧電セラミックス層を有し、検出素子の両主面電極が保持部 材によって保持された端部であって端面の手前まで引き出され、両主面電極と対面 する保持部材の内側面に形成された引出電極と異方性導電性接着剤を介して電気 的に接続され、検出素子の層間電極は保持部材によって保持された端部の端面ま で引き出されている構造としてもよい。この検出素子は 2層構造としたものであり、構 造が簡単になる。 2層の圧電セラミックス層は互いに並列接続される。

[0019] 好ましい実施の形態によれば、保持部材によって保持された領域の主面電極は、圧 電セラミックス層の分極時には形成されておらず、保持部材によって保持されない領 域の主面電極を用いて分極した後、保持部材によって保持されない領域の主面電 極と導通するように形成してもよい。この場合には、保持部材によって保持された検 出素子の端部が分極されない状態に簡単にすることができるとともに、主面電極から 保持部材の内側面の引出電極への電気的接続も簡単にできる。

発明の効果

[0020] 以上の説明で明らかなように、本発明によれば、検出素子の保持部材によって保持 された領域内であって、主面電極とこの主面電極に電気的に接続されていない層間 電極との間に挟まれた圧電セラミックス層の領域を未分極としたので、温度変化によ る焦電電荷の発生を防止することができ、保持部材によって保持されている部分力 の不要な出力をなくすことができる。

発明を実施するための最良の形態

[0021] 以下に、本発明の好ましい実施の形態を、実施例を参照して説明する。

実施例 1

[0022] 図 1 ,図 2は本発明にかかる加速度センサの第 1実施例を示す。この加速度センサ 1 Aの基本構造は、図 6に示した従来の加速度センサ 1と同様であるため、図 6と同一 部分には同一符号を付して重複説明を省略する。

[0023] 本発明の加速度センサ 1Aの特徴は、検出素子 2の保持部材 10， 11によって保持さ れた領域内であって、圧電セラミックス層 2a〜2dを間にして対向する電極のうち互い に電気的に接続されてレ、なレ、電極間に挟まれた圧電セラミックス層の領域（図 1 ,図 2の領域 S)が分極されていない点である。つまり、図 1に梨子地状模様で示すように 、検出素子 2の保持部材 10， 11によって保持された領域外であって、異なる電位の 電極 3〜7間に挟まれた圧電セラミックス層の領域のみ分極されている。したがって、 第 1層 2aの保持部材 10, 11によって保持された領域は分極されておらず、第 4層 2d の保持部材 10， 11によって保持された領域は分極されてレ、なレ、。 [0024] 保持部材 10, 11で挟まれた領域の第 2層 2bおよび第 3層 2cは、層間電極 4, 5が外 部電極 8によって相互に接続されているため、分極があってもよい。また、第 1層 2aお よび第 4層 2dの保持部材 10, 11によって保持された全領域が未分極である必要は ない。例えば、第 1層 2aおよび第 4層 2dの保持部材 10, 11によって保持された領域 のうち、層間電極 4， 5と接続された電極 16, 17 (図 2参照）が第 1層 2aおよび第 4層 2 dの外表面に存在する場合には、その電極 16， 17と層間電極 4, 5とで挟まれた部分 に分極があってもよい。

[0025] 第 1層 2aおよび第 4層 2dの保持部材 10, 11によって保持された領域を未分極とする ために、図 2に示すように、主面電極 6, 7は、それぞれ検出部電極 6a， 7aと引出電 極 6b， 7bとの 2つの電極で構成されている。検出部電極 6aは層間電極 4との間で第 1層 2aを分極するために使用され、第 1層 2aを分極した後に引出電極 6bが検出部 電極 6aと一部で重なるように形成される。同様に、検出部電極 7aは層間電極 5との 間で第 4層 2dを分極するために使用され、第 4層 2dを分極した後に引出電極 7bが 検出部電極 7aと一部で重なるように形成される。

[0026] 第 1層 2aおよび第 4層 2dの保持部材 10, 11によって保持された領域を未分極領域 とする方法として、図 2に示す方法に限らず、検出部電極 6a, 7aと引出電極とを予め 分離して形成しておき、検出部電極 6a, 7aを用いて分極した後、引出電極と検出部 電極 6a, 7aとを後で設けた接続電極で接続するようにしてもよい。

[0027] 加速度センサ 1Aに温度変化が加わった場合、温度変化は保持部材 10， 11を介し て検出素子 2に伝わるが、保持部材 10, 11に挟まれた領域の圧電セラミックス層 2a , 2dには分極がないため、焦電効果による電荷が発生しない。また、保持部材 10， 1 1によって保持されていない検出素子 2の加速度検出部は、加速度センサ 1Aに加わ る温度変化が均一の場合に限らず、不均一の場合でも、各セラミックス層の温度変化 がほぼ均一になるので、焦電により発生する電荷は、第 1層 2a,第 4層 2d間、および 第 2層 2b，第 3層 2c間でキャンセルされる。従って、保持部材 10， 11で挟まれた箇 所からの不要な出力をなくすことができ、熱ゆらぎノイズを大幅に低減することができ る。

[0028] 熱ゆらぎノイズを小さくする方法として、検出素子 2の分極域を保持部材 10, 11で挟 まれた領域からなくすだけでなぐ検出素子 2の分極域を検出素子 2の自由端側へ 離していく方法がある。しかし、この場合には感度が大きく低下してしまう。本実施例 のように、保持部材 10, 11で保持された領域のみ分極をなくした構造では、図 6に示 す従来構造と同一の感度が得られる。つまり、本実施例では従来構造に比べて感度 を低下させずに、熱ゆらぎノイズを大幅に低減できる。

[0029] 図 3は、図 1に示す加速度センサ 1Aの温度分布を示す。図 3は、加速度センサ 1Aを 25°Cに保持した上、図上方から 50°C、 1秒加熱した際の加速度センサ 1Aの温度分 布を FEM解析したものである。ここで、加速度センサ 1Aの寸法を 2. 0 X 3. 8mm ( 検出素子の厚み：0. 27mm)とし、保持部分の長さ D = 0. 8mmとし、主面電極 6, 7 の保持部材 10， 11によって保持された領域の長さ S = 0. 4mmとした。図 3において 、 Hは高温領域（50°C)、 Cは低温領域（25°C)、 Mは中間温度領域（37°C)を示す。

[0030] 図 4は、図 3と同一条件で加熱した際の各圧電セラミックス層 2a〜2dの厚み方向中 央部分の温度分布を示す。 X=0〜0. 8mmの範囲が保持部材 10, 11で保持され た領域 Dである。図 4から明らかなように、検出素子 2の保持部材 10, 11によって保 持されていない部分 (X> 0. 8mm)では、厚み方向の温度差は殆どないことがわか る。そのため、検出素子 2の保持部材 10, 11によって保持されていない部分からは 熱ゆらぎノイズは殆ど発生しない。焦電効果に影響するのは保持部材 10， 11で保持 された検出素子 2の第 1層 2aと第 4層 2dとの温度差であり、ここでは第 1層 2aの温度 は約 42°C、第 4層 2dの温度は約 35°Cであつた。

[0031] 次表は、図 3,図 4の温度分布から本発明（図 1)と従来例（図 6)との熱ゆらぎノイズを 比較したものである。表 1から明らかなように、保持部材で保持された領域のうち第 1 層 2aと第 4層 2dの分極をなくすことによって、本発明の熱ゆらぎノイズは従来比で半 減以下に改善されたことがわかる。

[0032] [表 1] 本発明 [mG rms] 従来例 [mG rms] 従来比

6 2 . 3 1 3 6 . 3 4 6 % 実施例 2

[0033] 図 5は本発明に係る加速度センサの第 2実施例を示す。なお、第 1実施例と同一部 分には同一符号を付して重複説明を省略する。この実施例の加速度センサ 1Bは、 一端部が保持部材 10， 11によって片持ち支持された検出素子 20を備えており、検 出素子 20は 2層の圧電セラミック層 20a， 20bを積層し、一体に焼成したものである。 検出素子 20の厚み方向中心には層間電極 21が設けられ、表裏面には主面電極 22 , 23が設けられている。 2つの圧電セラミックス層 20a, 20bは、矢印 Pで示すように厚 み方向に同一方向に分極されている。

[0034] 層間電極 21は外部電極 8が設けられた検出素子 20の一端から検出素子 20の中間 部まで延びている。つまり、検出素子 20の自由端側には電極ギャップが設けられて いる。主面電極 22, 23は、保持部材 10, 11によって保持された検出素子 20の一端 部から自由端まで延び、主面電極 22, 23は保持部材 10, 11の引出電極 12, 13と 異方性導電接着剤 14によって電気的に接続されている。検出素子 20の自由端側の 側面には接続電極 18が形成され、この接続電極 18によって主面電極 22, 23は相 互に接続されている。但し、層間電極 21とは導通していなレ、。この場合も、各圧電セ ラミックス層 20a, 20bが電気的に並列に接続される。

[0035] 加速度センサ 1Bの場合も、圧電セラミックス層 20a, 20bの分極域は図 5に梨子地状 模様で示すように、検出素子 20の保持部材 10， 11によって保持された領域外であ つて、電極 21 , 22間、および電極 21 , 23間に挟まれた領域のみとなつている。つま り、検出素子 20の保持部材 10， 11によって保持された領域 D内であって、圧電セラ ミックス層 20a, 20bを間にして対向する電極のうち互いに電気的に接続されていな い電極 21， 22間、電極 21 , 23間に挟まれた圧電セラミックス層の領域（図 5の領域 S )が分極されていなレ、。そのため、焦電効果による電荷が発生せず、熱ゆらぎノイズを 大幅に低減できる。

[0036] 本発明は上記実施例に限定されるものではない。検出素子を構成する圧電セラミツ タス層は、 4層構造または 2層構造に限るものではなぐ 6層、 8層など多層構造であ つてもよレ、。さらに、検出素子を構成する圧電セラミックス層は、一体に焼成したもの でもよいし、それぞれを焼成後に貼り合わせたものでもよい。 図面の簡単な説明

[図 1]本発明にかかる加速度センサの第 1実施例の正面図である。

[図 2]図 1に示した加速度センサの一部拡大図である。

[図 3]図 1に示した加速度センサに温度変化を与えた時の温度分布図である。

[図 4]図 3と同一条件で温度変化を与えた時の各圧電セラミックス層の中心部の温度 分布である。

[図 5]本発明に力かる加速度センサの第 2実施例の正面図である。

[図 6]従来の加速度センサの一例の正面図である。

[図 7]図 6に示した加速度センサの回路図である。

[図 8]図 6に示した加速度センサの焦電効果による発生電荷を示す図である。

符号の説明

1A, 1B 加速度センサ

2, 20 検出素子

2 &〜 2d 圧電セラミックス層

3, 4, 5 層間電極

6, 7 王 [ϋίΐ極

8, 9 外部電極

10, 11 保持部材

12, 13 引出電極

14 異方性導電性接着斉 1

18 接冗電極

Claims

請求の範囲

[1] 複数の圧電セラミックス層を積層した検出素子と、この検出素子の長さ方向一端部の 両主面を保持する保持部材とを備え、

上記検出素子は各圧電セラミックス層の層間および主面に電極を持ち、

加速度の印加によって上記検出素子に発生する電圧または電荷を上記主面電極と 層間電極との間から取り出すようにしたカ卩速度センサにぉレ、て、

上記検出素子の保持部材によって保持された領域内に上記主面電極とこの主面電 極に電気的に接続されていない層間電極とが延ばされており、

上記保持部材の内面には引出電極が形成されており、

上記保持部材によって保持された領域内に延ばされた上記主面電極の少なくとも一 部と上記保持部材の内面に形成された引出電極の少なくとも一部とが対向して相互 に電気的に接続されており、

上記検出素子の保持部材によって保持された領域内であって、上記主面電極とこの 主面電極に電気的に接続されてレ、なレ、層間電極との間に挟まれた圧電セラミックス 層の領域が分極されてレ、なレ、ことを特徴とする加速度センサ。

[2] 上記検出素子は、一方の主面側から他方の主面側に向かって第 1層〜第 4層の圧 電セラミックス層を有し、

上記検出素子の厚み方向の中心の層間電極と両主面電極とが電気的に接続され、 かつ少なくとも一方の主面電極が上記保持部材によって保持された端部であって端 面の手前まで引き出され、

上記少なくとも一方の主面電極は、この電極と対面する上記保持部材の内側面に形 成された引出電極と異方性導電性接着剤を介して電気的に接続され、

上記検出素子の第 1層と第 2層との層間電極と、第 3層と第 4層との層間電極とが電 気的に接続され、かつ上記保持部材によって保持された端部の端面まで引き出され ていることを特徴とする請求項 1に記載の加速度センサ。

[3] 上記検出素子の圧電セラミックス層のうち、第 1層と第 4層は同一厚みであり、第 2層 と第 3層は同一厚みであり、

上記第 1層の厚みに比べて第 2層の厚みの方が厚いことを特徴とする請求項 2に記 載の加速度センサ。

[4] 上記検出素子は、一方の主面側から他方の主面側に向かって第 1層と第 2層の圧電 セラミックス層を有し、

上記検出素子の両主面電極が上記保持部材によって保持された端部であって端面 の手前まで引き出され、

両主面電極と対面する上記保持部材の内側面に形成された引出電極と異方性導電 性接着剤を介して電気的に接続され、

上記検出素子の層間電極は上記保持部材によって保持された端部の端面まで引き 出されていることを特徴とする請求項 1に記載の加速度センサ。

[5] 上記保持部材によって保持された領域の上記主面電極は、上記圧電セラミックス層 の分極時には形成されておらず、上記保持部材によって保持されない領域の主面 電極を用いて分極した後、上記保持部材によって保持されない領域の主面電極と導 通するように形成されたものであることを特徴とする請求項 1ないし 4のいずれかに記 載の加速度センサ。