WO2007066382A1

WO2007066382A1 - 両端変位型コンタクトプローブ

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Publication number: WO2007066382A1
Application number: PCT/JP2005/022326
Authority: WO
Inventors: Shinichi Nakamura
Original assignee: Unitechno Inc.
Priority date: 2005-12-06
Filing date: 2005-12-06
Publication date: 2007-06-14
Also published as: KR101097111B1; TWI403727B; US7598757B2; KR20080079585A; US20090146672A1; TW200730831A

Abstract

　組立てが容易で、安定した両端変位と電気的接触の確保を両立し得る両端変位型コンタクトプローブを提供する。　それぞれ電気的接触部を構成する第１導電部材(11)及び第２導電部材(12)と、第１導電部材(11)及び第２導電部材(12)が軸方向の所定間隔より接近するときその間隔を拡大する方向に両導電部材(11,12)を付勢する中空の弾性部材(13)と、弾性部材(13)内に収納され弾性部材(13)の略軸方向に延在する第３導電部材(14)と、を備え、弾性部材(13)が、第１導電部材(11)を保持結合した一端部(13a)と、第２導電部材(12)を保持結合した他端部(13b)と、第３導電部材(14)を第１導電部材(11)及び第２導電部材(129に摺動可能な所定姿勢で保持する中間部(13c)とを有している。弾性部材(13)をコイルばねとしてその中間部(13c)の両側のばね部分の自由長やピッチを相違させてもよい。

Description

タクトプ

術分野

０００1 、ンタクトプ、特に C ッケジ集積回路子を造り込んだの置及び査用、に装備される両端ンタクトプに関する。０００2 C ッケジ、あるは、集積回路子を造り込んだの置には、テストされる C ッケジの子とテストの子との間に複数のンタクトプを兼ね備えた試験用置及び査用、が備されており、そのンタクトプには、両端のンタクト部の間に圧縮を設けて所要の接触置のばらきの収を可能にする両端 ( )型のものがある。

０００3 この種の両プとしては、例えばに記載のに、筒状の内にプランジの部を能に保持さるとともに、プランジの部との面部の間に圧縮イばねを介在さた内部プ ( の ( ) )、あるは、筒状の内にプランジの部を能に保持さるとともに、プランジの部との間に圧縮イばねを介在さた外部プ ( 文献の (b) )がある。０００4 また、特許の 5にされるにを縮さたり、同文献の

3にそれぞれされるに、のを縮したりして、プランを抜け止めする構造とする一方、プランジのに能に接触さ、プランジのランジ部をばけとして両者をイに離隔向に付してるものがある。

1 32 645 報

発明の

明が解決しよとする課題０００5 ししながら、従来のンタクトプにあては、体のプランジ雌雄状の接触 ( 下、ンタクトとも )の部が内にあたり、イスプング方のに位置したりするものであたため、プランジ部ののみ込みやイねのみ付け後に、さてプランジのけ止めの工を行な要があり、組立てが容易でなた。

０００6 また、ンタクトであるプランジが、等により同一直線上に並ぶよにに配置されガイドされるにもわらず、ンタクトの接触を良好に得るために、ンタクトの線を傾けるよイねの

をそろえるなどして、ンタクトのを確保するたことが必要であた。しし、これらンタクト、側のガイド互のに適したアランス)を確保することと、これらンタクト互のを確保するための勢とを立さることは、相反する要求であてきわめて厳密な部品理が必要であり、プのンタクトの ( 近及び )の定性を低下さることにもなてた。また、高温で長時間のテストを行なテスト置にあては、そのよ問題がより著になてた。

０００7 さらに、 c ッケジ等の被ンタクト部には多数回のテストに対し定した電気接触を確保するために繰返しに耐え得る高度の料が要求される一方、部では安定したが要求され、更に、近時の策ら料の択も必要になてきてるが、これらの件をすて満足し得るよプランジの定が困難で、プの久性やストの面でも問題があた。

０００8 、る来の題を解決するためになされたもので、組立てが容易で、安定した両端位と電気接触の保を立し得る両端ンタクトプを提供することを目的とする。

題を解決するための

０００9 記の題を解決するため、明のンタクトプは、 ( )それぞれ接触を構成する電部材及び 2 電部、前記電部 2 電部が軸向のより接近するとき隔を拡大する方向に両電部を付する中空の、前記に収納され、向に延する 3 電部、を備え、前記、前記電部を保持合した一端、前記 2 電部を保持合した、前記 3 電部を前記電部材及び 2 電部能な所定勢で保持する中間部とを有することを特徴とするものである。

００1０この成により、電部材及び 2 電部材の間の導が第3 電部を介してなされ、この 3 電部、電部材及び 2 電部能な所定勢で両電部のの間部によて安定持されることになり、安定した両端位と電気接触の保を立し得る両端ンタクトプとなる。しも、電部材及び 2 電部を弾性の部及びにそれぞれ合さることら、電部材及び 2 電部を簡素な形状とすることができ、電部材及び 2 電部と第3 電部の部に高度な理が要求されることもな、機能部の割によて、電部の定や部品容易となる。

００11 また、明のンタクトプにおては、 (2) 、前記間部を他の部分より、。、チとしたイねで構成されたもの、あるは、 ( 3) 、前記間部を密着きとしたイねで構成されたものであるのがよ。

００12 これにより、 3 電部、弾性のな中間部によて、電部材及び 2 電部能な所定勢で安定持することが可能となる。

００13 明のンタクトプは、より好ましは、 (4) 電部材及び 2 電部の向に対向する部位に、前記 3 電部の部及びを収納する一対のが形成され、前記 3 電部がその部及びよりの間部を有し、前記電部前記 2 電部のずれ一方に形成された一方のに向前記を通して前記 3 電部入され、前記の間部よりで前記されたとき、前記 3 電部のが前記方のの部の面及び面に近接するとともに、前記 3 電部の間部が前記の間部に保持されるよになしたものである。

００14 この成により、電部 2 電部を弾性の

に保持合さ、 3 電部イ内に入すると、イねの間部よりイがほぼ着するときに、 3 電部の

が第電部 2 電部の面に近接するとともに、 3 電部の間部が弾性の間部に自動的に保持されることになり、組立てが容易にできる。

００15 明のンタクトプにおては、また、 (5)

イねで構成され、前記の部及びなとも片方のの径が、前記間部のよりであるのが好ま。このよにすると、 3 電部イ中のの業が容易され、組立が向上する。

００16 さらに、明のンタクトプは、 (6) イねで構成され、前記電部材及び 2 電部のそれぞれが、前記イねのに当するランジ、ランジ部らに突出する部と、ランジ部らに突出するとともに前記イねの応する内周に所定の力を伴てされた、の方で向に延し前記 3 電部の入されるとを有するものとすることができる。

００17 この成により、前記のさを定して、所要のストクを確保することができ、、電部材及び 2 電部のによる自己持機能が生じることになり、のさむけ止め不要となる。さらに、電部材及び 2 電部のも容易に可能である。

００18 明のンタクトプにおては、 (7) 3 電部、前記電部よりの材料らなるのがよ。これにより、経路が長なるのを高めることになり、好まし特性が得られる。００19 この合、 (8) 3 電部、前記電部よりの金属らなり、前記電部が前記 3 電部より質の料らなるよにすると、電気特性の保のみならず、電部の、久性が高められる。

００2０また、明のンタクトプにおては、 (9) 2 電部、前記電部よりの材料らなるよにすることで、試験の要の接続を安定的に確保できることとなる。

００21 さらに、明のンタクトプにおては、 ( ) 電部および 2 電部、それぞれ 3 電部と同等のを有する材料らなるよにしてもよ。特性その他の要性を満足する材料であれば、実質的に同等なを有する材料とすることで、所要の、機械的特性を確保することができる。

００22 また、明のンタクトプは、 ( ) が前記間部より前記に位置する一端分と前記間部より前記に位置する分とを有するイねで構成され、前記分と前記分とのが互に異なるものであてもよ。

００23 この成により、一端分と他分とで ( に応じて異なるば )が相違することになり、例えば電部が検査対象により繰り返し加圧される場合には、電部の分を相対的に長することで、 2 電部では 3 電部の勢を安定さながら、電部では電部査対象ンタクト分のを良好に保とともにそのストクを大きすることが可能となる。

００24 この合、 ( 2) 分と前記分とがそれぞれ等ピッチとなててもよ、 ( 3) 分と前記分とがそれぞれ、チとなててもよ。分を、チとすれば、その・線形となり、分を不等、チとすれば、その・非線形なて、これらの分による直列合ばねの用が得られる。００25 明のンタクトプは、あるは、 ( 4) が前記間部より前記に位置する一端分と前記間部より前記に位置する分とを有するイねで構成され、前記

分と前記分との、チが互に異なるものであてもよ。００26 この成により、一端分と他分とで ( えば数に応じて異なるば )が相違することになり、例えば電部が検査対象により繰り返し加圧される場合には 2 電部である分のまき数が相対的に少ななるよに分の、チを大小に設定して、 2 電部では 3 電部の勢を安定さながら、電部では電部査対象ンタクト分のを良好に保とともにそのストクを大きすることが可能となる。

００27 そして、この合も、 ( 5) 分と前記分とがそれぞれ等、チとなててもよ、 ( 6) 分と前記

分とがそれぞれ、チとなててもよ。分を、チとすれば、その・線形となり、分を不等、チとすれば、その・非線形となて、これらの分による直列合ばねの用が得られる。

００28 明のンタクトプは、また、 ( 7) が前記間部より前記に位置する一端分と前記間部より前記に位置する分とを有するイねで構成され、前記間部の径が前記分及び分のそれぞれのより、、前記分及び分のそれぞれの径がほぼ等しなるよに、前記が前記間部でのみびれた形状を有するよにしてもよ。００29 これにより、 3 電部の内のみ込みが容易となるとともに、

電部材及び 2 電部の材の合も容易にできる。

明の

００3０明によれば、電部材及び 2 電部材の間の導を第3 電部を介してなし、電部材及び 2 電部材の間に在するの間部によ、この 3 電部電部能な所定勢で安定持するよにしてるので、電部材及び 2 電部による安定した両端位と電気接触の保とを立し得る両端ンタクトプを提供することができる。

００31 また、弾性の分と他分とで性を相違さ、検査対象により繰り返し加圧される側のば分を支持となる他の片側のば分より数とすれば、支持となるば分で第3 電部の定した勢を維持さながら、繰り返し加圧では導電部査対象ンタクト分のを良好に保ことができ、そのストクも大き設定することができる。その果、多数回の返しに耐え得る信頼性に優れた両端ンタクトプを提供することができる。００32 明のの施の態に係る両端ンタクトプの成を検査用の部と共に示すその面図である。

2 明のの施の態に係る両端ンタクトプの立て方式を説明する説明である。

3 明のの施の態に係る両端ンタクトプの態及びテスト態を示すその面図である。

4 明の 2の施の態に係る両端ンタクトプの成を示すその面図である。

5 明の 3の施の態に係る両端ンタクトプの成を示すその面図である。

6 明の 3の施の態に係る両端ンタクトプの態及びテスト態を示すその面図である。

7 明の 4の施の態に係る両端ンタクトプの成を示すその面図である。

号の

００33 5 電部

a 2a 5 a 52a ンタクト 2c 5 c 52c

e 2e 5 e 52e

f 2f 5 f 52f ランジ

2 5 52

2 52 2 電部

3 53 63 73 イ ( 、イばね)

3a 53a 63a 73a

3b 53b 63b 73b

3c 53c 63c 73c 間部

4 3 電部

4a

4b 2

4c 間部

2 、

3 査対象

4 テスト

4

63d 73d

63e 73e

明を実施するための良の

００34 下、本明の実施の態にて、図面を参照しながら明する。００35 ( 施の )

～ 3は明のの施の態に係る両端ンタクトプを示す図である。

００36 まず、により、その成を説明すると、本実施態のンタクトプ

( 下、単にプブも )は、その、それぞれ接触を構成する電部皿及び 2 電部 2を有し、全体を図しなテスト置の 2 内に 23を隔てて複数、互に平行に所定ピッチの右方向で一定の )でされてる。

００37 電部皿及び 2 電部 2の間には圧縮イ 3がされており、電部皿及び 2 電部 2のであるンタクト a 2aは、それぞれイ 3により能に 2 ら外力に突出するよされてる。また、電部皿及び 2 電部 2のは、ンタクト a 2aより形成されるとともにンタクト a 2aので圧縮イ 3のれ一方のに当するランジ f 2fと、これらランジ f 2f ら ( )に突出するとともに圧縮イ 3の応する内周にされた。 2。と、これら。 2。の方で向に延する底の又は貫通した 2 とを有してる。電部皿及び 2 電部 2のンタクト a 2aは、それぞれ、ランジ f 2f らに突出する部となており、 2 のガイド 2 22により向に変位( ) 能に保持されてる。

００38 査対象と高度に係・脱する電部、率及び

が高質の料、例えばチタン( )系金属及び (S ) らなり、テストに係する 2 電部 2は、電部ほどの要求されなので、例えば、黄銅、ベウムの金属らなる。これら電部皿及び 2 電部 2は、それぞれのある材料を用ることでその

容易することができる。

００39 イ 3は、任意の状と ( えば、用のビアノ、ステンス、あるは、プラスチッで成することができ、電部皿及び 2 電部 2に比が要求されなとなてる。また、圧縮イ 3 は、電部皿及び 2 電部 2が向のより接近するときその隔を拡大する方向( の下方向)に電部 2をする中空のとなてる。ここに、金属のみならず、ムの性体やプラスチックらなるもの、あるはこれらの成することができ、その状としては、間部分を側に屈曲湾曲した数の部及び口部を有する状としてもよ。００4０実施態におては、圧縮イ 3は、その間部 3cを 3a 3 。

b (他の部 )より、、チとした不等ピッチのイねで構成されており、特に、中間部 3cを状としたみ( )形の圧イ、すなわち、圧縮イ 3の 3 3bの径が、圧縮イ 3の間部 3c のよりであるよ状となてる。なお、圧縮イ 3の体形状は、み形に限らず、通常の筒形、円錐形その他の形状のものでもよ、その円形面に限定されるものではな ( えば面でもよ ) ００41 電部皿及び 2 電部 2をさるのは、圧縮イ 3内に収納された 3 電部 4である。この 3 電部 4は、電部よりの材料、あるは電部 2よりの材料らなり、例えば無酸素ウムの金属で成されてる。この 3 電部 4は、圧縮イ 3の向にほぼ平行であるがわずに傾た方向(

では、前記きを誇張してしてる)にしており、 3 電部 4の 4aが電部のに、 3 電部 4の 2 4bが 2 電部 2の 2cに、それぞれ能に入されてる。

００42 また、 3 電部 4は、 4a 2 4bの間に位置する中間部 4cを有しており、この間部 4cは 4a 2 4bより形成されてる。この 3 電部 4のした中間部 4cは、例えばその

の形の状となる円板状のものであるが、外周の一部に環状形成したもの、複数のを形成したもの等でもよ、特にその限定されな。 3 電部 4は、また、電部ほどの要求されな。

００43 なお、 3 電部 4にのある材料を用ることでその容易することができるし、のよ材料を用て 3 電部 4を鍛造で加圧するよなことも考えられる。さらに、本実施態におては、 3 電部 4の間部 4cは 4a 2 4b 同一の料でこれらと一体に形成されてるが、中間部 4cを 4a 2 4bと別の材料で成することも可能である。００44 イ 3の 3a 3bは、それぞれ、電部皿及び 2 電部 2の。 2。よりも内径が小さなるよに形成されており、圧縮イ

3に電部皿及び 2 電部 2の e 2eがそれぞれされたとき、これら。 2。が圧縮イ 3の 3" 3b ら所定の力で締め付けられるよになてる。すなわち、圧縮イ 3 は、電部を保持合した一端 3"と、 2 電部 2を保持合した

3bとを有し、これによてプ端のの持機能を発揮さるよになてる。なお、電部皿及び 2 電部 2の e 2eの、詳細はしな結合 2 を、例えば、、、少なとも対ののよ形態で成しておき、前記合を締のみならず抜け止めの能をより高めた構造とすることもできる。また、電部皿及び 2 電部 2の e 2eの外周に面取りを施したり所定度で部分的全体的に傾斜さることができる。００45 イ 3の間部 3 は、 3 電部 4が電部皿及び 2 電部 2に安定してできるよに、 3 電部 4を所定勢で保持するよになており、この間部 3 の 3 電部 4のした中間部 4cのより所定だけ小径になてる。これにより、例えばイ 3の間部 3cのののの間に第3 電部 4の間部 4cの入り込み、残りのの部にもした状態で、 3 電部 4の定した傾斜勢が得られるよにしてる。もとも、 3 電部 4の間部 4c イ 3の間部 3cとののみによてもイ 3内に第3 電部 4を保持さることはまでもな。

００46 次に、 2を用て、本実施態のンタクトプの立て方法にて説明する。

００47 まず、 2(a)に示すよに、電部 2 電部 2のずれ一方、例えば 2 電部 2の 2。を圧縮イ 3の 3bにさるとともに、圧縮イ 3の 3bを 2 電部 2のランジ 2fにさ、イ 3の 3bに 2 電部 2を保持合さる。このと、イ 3 2 電部 2は、組立て後の通常の振動、落下度では容易に外れず、一定値以上の抜が与えられた場合に分離できるよに、保持合された状態となる。なお、 2におて、イ 3の間部 3c 外の分の、チ、 2はイ 3の間部 3cの、チであり、 2(a)に示すよに重の状態で、中間部 3cの、チ 2 部分のである。００48 で、 2 電部 2に形成された 2cに向、圧縮イ 3内を通して 3 電部 4が 2 4b側ら 2 電部 2の線に沿て真ぐに入される( 2(a)、 2 b) )。これにより、圧縮イ 3の間部 3。よりその、圧縮イ 3の材が圧縮された状態、例えばほぼ着した状態となる( 2 b) )。

００49 このとき、 3 電部 4の 4a又は第2 4bが、 2 電部 2に形成された一方の 2cの部の面及び面の方に当、あるはその方に当方に近接して、 3 電部 4の間部 4cが圧縮イ 3 の間部 3。内に入り込んで保持される。

００5０また、このとき、例えば 2 b 示すよに、 3 電部 4の 2 4bを 2 電部 2の 2cの面に当さるとすれば、圧縮イ 3の 2との ( 2)が、 3 電部 4のさのほぼ 2の ( 2)に等しなるよに、圧縮イ 3の形、形状及び 2cの 2を設定する。また、 2cの、 2 電部 2の 2eを圧縮イ 3の 3bに保持合さるのに必要な 3 深さ 2の ( 2 3)として設定される。

００51 また、 2 電部 2の 2cの d は、 3 電部 4の 2 4bの d2に対して、 2 電部 2の線に対する 3 電部 4の線のと、 2 電部 2 3 電部 4の間の摺のための当なと、部品の合わのによる減少量e等を考慮した上で、所定の法的余裕を持て大き (d d2 cos6 eただし、 ( 2)s 6) 定される。００52 3 電部 4の間部 4cが圧縮イ 3の間部 3c内に保持合されると、 2 c 示すよに、次で、残りの電部の eが圧縮イ 3の 3aにされるとともに、電部ランジ fが圧縮イ 3の 3 して、電部圧縮イ 3 の 3aに保持合される。このとき、 3 電部 4は電部

2 電部 2の線に対する最終的な 0より大きなきをなしてるが、そのきは 2 電部 2の 2 によて所定囲内に制される。さらに、 2 電部 2の 2cの分や 3 電部 4の 4aに適当な面取り等を施すことで、 2 電部 2の 2c内に第3 電部 4の

4"を確実に入さることができ、圧縮イ 3の 3"がほぼ着する状態に達したときに、 3 電部 4の 4aが 2 電部 2の 2cの面にほぼするとともに、電部圧縮イ 3の 3"に保持合されることになる。

００53 次に、動作にて説明する。

００54 のよに構成された本実施態のンタクトプでは、 3に示すよに、テストを行な刃C ッケジ集積回路を造りこんだ等の査対象 3 の子に第電部ンタクト aがするとともに、検査機器や断機器を構成するテスト 4 の 4 に 2 電部 2のンタクト 2aがする。また、圧縮イ 3により、ンタクト a 2aによるプ端の S S2が許容されるとともに、電部皿及び 2 電部 2 の接続をなすための要のが付与される。

００55 なお、～ 3におては、単一のンタクトプに関連するテスト置の部のみをしたが、上述したよ構成と電気接続の、しな他のプにても、また同様である。

００56 このよに、本実施態のンタクトプでは、電部

2 電部 2の間の導、の第3 電部 4を介してなされ、この 3 電部 4が、電部皿及び 2 電部 2に能な所定勢で圧縮イ 3の間部 3cによて安定持されることになる。したがて、プ端の定した位と電気接触の保を立さることができる。しも、電部、 2 電部 2 3 電部 4のそれぞれにて、要求される、加工の点ら最適な材料を選定することができ、経路のなる 3 電部 4には所要のを確保し得る材料を、の求される電部にはそれに適した度の料をそれぞれ択することができ、更に、料の定も容易できる。また、部が第電部、 2 電部 2 とに分散されることら、電部

2の 2cのさを所要のストクの分程度まですることができ、従来ののに深工を施す必要がな、スト減が可能となる。００57 実施態では、また、電部皿及び 2 電部 2を圧縮イ

3の 3a 3bにそれぞれ合さてるので、電部皿及び 2 電部 2をが短素な形状とすることができ、電部皿及び 2 電部 2 3 電部 4との部に、高度な理が要求されることもな。

００58 さらに、本実施態では、電部 2 電部 2を圧縮イ

3の 3又は他 3bに保持合さ、 3 電部 4を圧縮イ 3内に入すると、圧縮イ 3の間部 3。よりで圧縮イ 3が圧縮されるのと同時に、 3 電部 4の 4a又は第2 4bが電部 2 電部 2の又は 2 の部の面及び面に当するとともに、 3 電部 4の間部 4cが圧縮イ 3の間部 3cに自動的に保持されることになる。したがて、組立てが容易にできる。００59 この合、さらに、圧縮イ 3の 3 しは 3b又は両端

3a 3bのが、その間部 3cの 3よりであることら、 3 電部 4のイ 3中ののがよ祐のとなる。

００6０さらに、本実施態のンタクトプでは、 2cの ( 2 3)を定することで、電部皿及び 2 電部 2による所要のストク(S S2)を確保することができ、しも、電部皿及び 2 電部 2のイ 3による自己持機能が生じることになり、組立て数のさむけ止め不要となる。さらに、電部皿及び 2 電部 2は機構には同一状のものであても採用でき、電部 2の用化ができる。

００61 ( 施の 2)

4は明の 2の施の態に係る両端ンタクトプを示す図である。なお、本実施、電部材及び 2 電部ンタクト分の状が第の施の態のものと異なり、電部を同一状として共用を図るよにしたものであり、さらに、弾性であるイねに上述のよみ形でなストトな円筒形のイばねを採用しており、他の構成にては上述の態と同様である。したがて、上述の成と同一の素にては、上述の態と同一号を付して説明する。

００62 4に示すよに、本実施態のンタクトプは、その

、それぞれ接触を構成する電部 5 2 電部 52を有し、テスト置の、 2 内に複数、互に平行に所定、チ( 4中の左右方向で一定の )でされてる。

００63 電部 5 2 電部 52の間には円筒形( 間部がわずに小径であてもよ )のイ 53がされており、電部 5 2 電部 52のであるンタクト 5 a 52aがケット2 ら外力に

能に突出してる。また、電部 5 2 電部 52のは、ンタクト 5 a 52aより形成されるとともにンタクト 5 a 52aので圧縮イ 53のれ一方のに当するランジ 5 f 52fと、これらランジ 5 f 52f ら ( )に突出するとともに圧縮イ 53の応する内周にされた 5 。 52。と、これら 5 。 52。の方で向に延する底の又は貫通した 5 c 52cとを有してる。電部 5

2 電部 52のンタクト 5 a 52aは、それぞれ、ランジ 5 f 52f らに突出する部となてる。

００64 イ 53は、電部 5 2 電部 52が向の

より接近するときその隔を拡大する方向( の下方向)に電部 5 52 をする中空のとなてる。実施態におては、圧縮イ 53は、その間部53cを 53a 53b (他の部 )より、。、チとした不等ピッチの筒形イねで構成されており、圧縮イ 53の 53a 53bの径が、圧縮イ 53の間部53。のとほぼ同一( 間部53。の径がわずに小径でもよ )となるば状となてる。なお、した形状とは異なるが、圧縮イ 53は、全体的には円筒形でその間部53cでのみびれた形状を有するよにしてもよ。すなわち、圧縮イ 53は、その間部53cより一端 53a側のば分と、中間部53cより 53b側のば分とを有してるが、中間部53cの径がその側のば分のそれぞれのより、、その側のば分のそれぞれの径がほぼ等しなるよにしてもよ。

００65 電部 5 2 電部 52をさるのは、の金属料、例えばの属で成されてイ 53内に収納された 3 電部 4 であるが、その入を容易にするため、その間部 4cのを例えば弧状にしてる( 取りにより曲した状でもよ )。この 3 電部 4は、圧縮イ 53の向にほぼ平行であるがわずに傾た方向(

では、前記きを誇張してしてる)にしており、 3 電部 4の

4aが電部 5 の 5 cに、 3 電部 4の 2 4bが 2 電部 52の 52cに、それぞれ能に入されてる。

００66 イ 53の 53a 53bは、上述の態のば 3の合と同様に、それぞれ、電部 5 2 電部 52の 5 e 52eよりも内径が小さなるよに形成されており、圧縮イ 53に電部 5 2 電部 52の 5 。 52。がそれぞれされたとき、これら 5 。 52e が圧縮イ 53の 53 53b ら所定の力で締め付けられるよになてる。すなわち、圧縮イ 53は、電部 5 を保持合した一端 53aと、 2 電部 52を保持合した 53bとを有し、これによてプ端のの持機能を発揮するよになてる。なお、電部 5 2 電部 52の 5 e 52eの、に仮想で示すよ結合 5 52 を形成することができ、電部 5 2 電部 52の 5 e 52eの外周を面取りしたり所定度で部分的全体的に傾斜さたりできることは上述の態にて説明した通りである。

００67 イ 53は、さらに、 3 電部 4が電部 5 2 電部

52にできるよに、 3 電部 4の間部 4cを所定勢で保持する中間部53cを有しており、この間部53cの 3 電部 4のした中間部 4 cのより所定だけ小径になてる。

００68 このよに構成された本実施態のンタクトプにおても、電部 5 2 電部 52の間の導、 3 電部 4を介してなされ、この 3 電部 4が、電部 5 2 電部 52に能な所定勢で圧縮イ 53の間部53cによて安定持されることになるら、プ端の定した位と電気接触の保を立さることができる。また、電部 5 2 電部 52を圧縮イ 53の 53a

53bにそれぞれ合さてるので、電部 5 2 電部 52 をが短素な形状とすることができ、電部 5 2 電部 52 3 電部 4との部に、高度な理が要求されることもな。００69 また、 5 c 52cのさが比較的とも、電部 5 2 電部 5 2は、これらのさの和に近大きなストクを確保することができるら、部品ストを低減さることができ、しも、電部 5 2 電部 52のイ 53による自己持機能が生じることになり、組立てストも低減さることができる。

００7０さらに、電部 5 2 電部 52を共用することも可能なためなる製造ストの減が可能であるのみならず、ンタクトプの状が同一で、方向性が無なるら、取り扱や、 2 のみ付けが容易できることになる。

００71 ( 施の 3)

5 6は明の 3の施の態に係る両端ンタクトプを示す図である。なお、本実施、弾性であるイねの状が第の施の態のものと異なるが、他の構成にてはの施の態と同様であるので、の施の態と同一の素にては、に示すそれらと同一号を付し、相違にてのみ述する。

００72 5に示すよに、本実施態のンタクトプは、上述した

イ 3に代えて、圧縮イ 63を具備してる。

００73 このイ 63の 63a 63bは、の態のイ

3の合と同様に、それぞれ、電部皿及び 2 電部 2の e 2eよりも内径が小さなるよに形成されており、圧縮イ 63に電部皿及び 2 電部 2の e 2eがそれぞれされたとき、これら

。 2。が圧縮イ 63の 63" 63b ら所定の力で締め付けられるよになてる。すなわち、圧縮イ 63は、電部を保持合した一端 63"と、 2 電部 2を保持合した 63bとを有し、これによてプ端のの持機能を発揮するよになてる。

００74 イ 63は、さらに、 3 電部 4が電部皿及び 2 電部

2にできるよに、 3 電部 4の間部 4を所定勢で保持する中間部63 を有しており、この間部63cの 3 電部 4のした中間部 4 cのより所定だけ小径になてる。

００75 このイ 63は、電部皿及び 2 電部 2が向の

より接近するときその隔を拡大する方向( の下方向)に電部 2をする中空のとなてる。また、圧縮イ 63は、その間部63cを他の部分より、。、チとしたみ中間部63cでのみびれた筒形のイねで構成されており、圧縮イ 63の 63a 63bの径が中間部63cのよりとなてる。

００76 また、圧縮イ 63は、その間部63cより一端 63a側に位置する一端

63dと、中間部63cより 63b側に位置する 63eとを有しており、これら一端 63d 63eがそれぞれ間部 63。に隣接する部位のそれぞれの ( )はほぼ等し、更に両端 63 63bの ( 大内径)がほぼ等しなてる。もとも、圧縮イ 63の

63a 63bの、電部皿及び 2 電部 2の e 2eのが互に異なる場合には相違得る。また、圧縮イ 63が中間部63。でのみびれた筒形のイねで構成される場合には、一端 63d

63eのそれぞれのはほぼ等しなる。

００77 方、圧縮イ 63の 63d 63eとは自由が互に異なるばとなており、一端 63dの長及び、 2 のみ状態でのが、 63eの長及び、 2 のみ状態での 2よりも長 ( 2なてる。また、 5中では一端 63d 63eとはそれぞれ等、チのとなてるが、それぞれピッチのとなててもよ。さらに、圧縮イ 63が中間部63cでのみびれた筒形の合には、一端 63d

63eは、自由が相違するそれぞれ筒形のピッチしは不等、チねとしてもよ。

００78 このよに構成された本実施態のンタクトプでも、上述の態と同様な効果を得ることができる。しも、本実施態では、 6に示すよに、検査対象 3 の査の度に同上ら下向きに加圧され、繰り返し加圧される電部側の 63dを 63eに対して相対的に自由のきとすることで、圧縮イ 63の 63d

63e 性、例えば数に応じて異なるば数を相違さてるので、テスト 4 側に接触した状態を保ちとなる 2 電部 2側では相対的にば数のき 63。によて 3 電部 4の勢を安定さながら、相対的にば数のさ一端 63dによて電部査対象ンタクト分のを良好に保ことができ、更に第電部のストクも大き設定することができる。その果、多数回の返しに耐え得る信頼性に優れた両端ンタクトプを提供することができる。

００79 また、圧縮イ 63の 63d 63eとをそれぞれ等ピッチとすればその・線形なり、不等、チすれば、その・非線形となて、これら一端 63d 63eによてばね性のなる2 のばねを直列合した直列合ばねの用を得ることができる。

００8０ ( 施の 4)

7は明の 4の施の態に係る両端ンタクトプを示す図である。なお、本実施、弾性であるイねの状が第の施の態のものと異なるが、他の構成にてはの施の態と同様であるので、の施の態と同一の素にては、に示すそれらと同一号を付し、相違にてのみ述する。

００81 7に示すよに、本実施態のンタクトプは、上述した

イ 3に代えて、圧縮イ 73を具備してる。

００82 このイ 73の 73a 73bは、の態のイ

3の合と同様に、それぞれ、電部皿及び 2 電部 2の e 2eよりも内径が小さなるよに形成されており、圧縮イ 73に電部皿及び 2 電部 2の e 2eがそれぞれされたとき、これら

。 2。が圧縮イ 73の 73" 73b ら所定の力で締め付けられるよになてる。すなわち、圧縮イ 73は、電部を保持合した一端 73"と、 2 電部 2を保持合した 73bとを有し、これによてプ端のの持機能を発揮するよになてる。

００83 イ 73は、さらに、 3 電部 4が電部皿及び 2 電部

2にできるよに、 3 電部 4の間部 4を所定勢で保持する中間部73 を有しており、この間部73cの 3 電部 4のした中間部 4 cのより所定だけ小径になてる。

００84 このイ 73は、電部皿及び 2 電部 2が向の

より接近するときその隔を拡大する方向( の下方向)に電部 2をする中空のとなてる。また、圧縮イ 73は、その

形のイねで構成されており、圧縮イ 73の 73a 73bの径が中間部73cのよりとなてる。００85 方、圧縮イ 73は、その間部73cより一端 73a側に位置する一端 73dと、中間部73cより 73b側に位置する 73eとを有しており、これら一端 73d 73eがそれぞれ間部 73cに隣接する部位のそれぞれの ( )はほぼ等し、更に両端 73a 73bの ( 大内径)がほぼ等しなてる。また、圧縮イ 73の

73d 73eとの、チは、互に異なるものとなてる。００86 体的には、一端 73dのケット2 のみ状態での 3 は、 73eのケット2 のみ状態での 4 し ( 3 4)あるはほぼ等しなてる。しし、一端 73d

73eとはそれぞれ等、

ソチではあるものの、互のピッチ( 線の巻、チ) が相違しており、一端 73dのピッチが 73eに対して相対的に小さ、 73eの、チが一端 73dの、チに対して相対的に大きなてる。 73d 73eとは、それぞ。れが不等、チのねであてもよが、その合にも 73d 73e間の、チの大、上述、一端 73dの、チが 73e に対して相対的に小さなるよにする。なお、圧縮イ 73を中間部73cでのみびれた筒形とする場合には、一端 73d 73 eのはほぼ等しなる。

００87 このよに構成された本実施態のンタクトプでも、上述のの態と同様な効果を得ることができる。しも、本実施態では、検査対象の査の度に同上ら下向きに加圧され、繰り返し加圧される電部に位置する一端 73dの、チが 73eに対して相対的に小さので、一端 73dの方が例えば数に応じて異なるば数が相対的に小さなる。したがて、テストに接触した状態を保第2 電部 2側では相対的に高ば数となる 73eで 3 電部 4の勢を安定さながら、繰り返し加圧される電部側では数の

73dにより電部査対象ンタクト分のを良好に保ことができる。００88 さらに、本実施態におても、上述の 3の態と同様に、一端 73d 73eとをそれぞれ等、チとすれば、その・線形となり、それぞれ、チとすれば、その・非線形となて、これら性のなる2 の 73d 73eを直列合した直列合ばねの用が得られる。

００89 なお、上述の態におては、 3 電部 4の間部 4cを板状円柱状とし、 3 電部 4の円錐形状にしてるが、 3 電部の間部外周に円周と平坦な面を含むもの、所定数のを有するもの、突起環状やのを有する金属製のものとすることができる。また、 3 電部のを構成する分と中間部とをピスで構成し、その間部を、所要の持機能を発揮さるための定形状の数の起を配したプス工部品、若しはド品とすることができ、その合、弾性に第3 電部の間部を保持するテを装着して、中間部をさほどしなした 3 電部を保持することも考えられる。

００9０また、 3 電部ののを明確にするために、両端に拡した部分、あるは、、 2 電部の内に位置する当な長さのを設けてもよ。さらに、 3 電部のと中間部を同一線上に配置することはずしも必要でな、 3 電部のが第、 2 電部の線に対しわずに偏心し行になるよに、偏心した中間部置の 3 電部を傾斜さな安定方式としたり、、 2 電部の内周しは底面はその方を第、 2 電部の線に対しゆるやな斜角を持面として、、 2 電部の近時のみこれらと 3 電部のを高めるたことも可能である。また、電部材及び 2 電部、電気特性その他の要 ( えば、、強度、加工の )を満足する材料であれば、それぞれ 3 電部と実質的に同等のを有する材料ら成してもよとはまでもな、そのよにしても所要の、機械的特性を確保することができる。００91 また、 3、 4の施の態では、直列の合ばねとしたが、明におては、これに限定されるものではな、プの隔が大き場合には、圧縮イばねを組合ばとするのに直列でな列の合ばねとして、例えばのイばねをまながら電部が所定量位した時点ら他の圧イねが効よにし、非線形のば・性を与えるよなことも考えられる。

上の利用，上明したよに、、電部材及び 2 電部材の間の導を第3 電部を介してなし、電部材の間に在するイ 3の間部によて、 3 電部、電部材及び 2 電部能な所定勢で安定持するよにしてるので、電部材及び 2 電部による安定した両端位と電気接触の保とを立することができる果、更にはの分と他分とで性を相違さ、検査対象により繰り返し加圧される側のば分を支持となる他の片側のば分より数とすれば、支持となるば分で第3 電部の定した勢を維持さながらり返し加圧では導電部査対象ンタクト分のを良好に保ち、そのストクも大き設定することができる両端ンタクトプを提供することができる果を奏するものであり、ばねを用るンタクトプ、特に C ッケジ集積回路子を造り込んだアテストその他の試置や検査用、に装備される両端ンタクトプに有用である。

Claims

求の

それぞれ接触を構成する電部材及び 2 電部、

前記電部材及び 2 電部が軸向のより接近するとき隔を拡大する方向に両電部を付する中空の、

前記に収納され、向に延する 3 電部、を備え、前記、前記電部を保持合した一端、前記 2 電部を保持合した、前記 3 電部を前記電部材及び 2 電部能な所定勢で保持する中間部とを有することを特徴とする両端ンタクトプ。

。

2 、前記間部を他の部分より、、チとしたイねで構成されたことを特徴とするに記載のンタクトプ。

3 、前記間部を密着きとしたイねで構成されたことを特徴とするに記載のンタクトプ。

4 電部材及び 2 電部の向に対向する部位に、前記

3 電部の部及びを収納する一対のが形成され、前記 3 電部がその部及びよりの間部を有し、

前記電部前記 2 電部のずれ一方に形成された一方のに向前記を通して前記 3 電部入され、前記の間部よりで前記が圧縮されたとき、前記 3 電部のが前記方のの部の面及び面に近接するとともに、前記 3 電部の間部が前記の間部に保持されるよになしたことを特徴とするに記載のンタクトプ。

5 イねで構成され、前記の部及び

なとも片方のの径が、前記間部のよりであることを特徴とするに記載のンタクトプ。

6 イねで構成され、前記電部材及び 2 電部のそれぞれが、前記イねのに当するランジ、ランジ部らに突出する部と、ランジ部らに突出するとともに前記イねの応する内周に所定の力を伴てされた、の方で向に延し前記 3 電部の

入されるとを有することを特徴とするに記載のンタクトプブ。

7 3 電部、前記電部よりの材料らなることを特徴とするに記載のンタクトプ。

8 3 電部、前記電部よりの金属らなり、前記電部が前記 3 電部より質の料らなることを特徴とする 7に記載のンタクトプ。

9 2 電部、前記電部よりの材料らなることを特徴とするに記載のンタクトプ。

０電部材及び 2 電部、それぞれ 3 電部と同等の

を有する材料らなることを特徴とするに記載のンタクトプブ。

が前記間部より前記に位置する一端分と前記間部より前記に位置する分とを有するイねで構成され、前記分と前記分とのが互に異なることを特徴とするに記載のンタクトプ。

2 分と前記分とがそれぞれ等、チとなてることを特徴とする記載のンタクトプ。

3 分と前記分とがそれぞれ、チとなてることを特徴とする記載のンタクトプ。

4 が前記間部より前記に位置する一端分と前記間部より前記に位置する分とを有するイねで構成され、前記分と前記分との、チが互に異なることを特徴とするに記載のンタクトプ。

5 分と前記分とがそれぞれ等、チとなてることを特徴とする 4に記載のンタクトプ。 6 分と前記分とがそれぞれ、チとなてることを特徴とする 4に記載のンタクトプ。

7 が前記間部より前記に位置する一端分と前記間部より前記に位置する分とを有するイねで構成され、前記間部の径が前記分及び分のそれぞれのより、、前記分及び分のそれぞれの径がほぼ等しなるよに、前記が前記間部でのみびれた形状を有することを特徴とするに記載のンタクトプ。