WO2007060851A1

WO2007060851A1 - 電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法、及び、電気泳動表示媒体

Info

Publication number: WO2007060851A1
Application number: PCT/JP2006/322550
Authority: WO
Inventors: Yasuhiro Hattori; Chisato Yoshimura
Original assignee: Brother Kogyo Kabushiki Kaisha
Priority date: 2005-11-25
Filing date: 2006-11-13
Publication date: 2007-05-31
Also published as: EP1953590A1; US20080220228A1; EP1953590A4; JP2007147829A

Abstract

　特許文献１記載の発明のように基板上にフォトリソグラフィーにより隔壁を形成する方法では、基板の材料と隔壁の材料とが異なるために、両者の熱膨張係数の違い等から、基板と隔壁との界面で基板と隔壁が剥がれるという問題があった。本発明では、互いに対向して設けられた第一基板（１）及び第二基板（２）と、前記第一基板（１）と第二基板と（２）の基板間に帯電粒子（６）を分散させた分散媒（７）と、前記基板間の領域を区画する隔壁（１ｂ）とを備えた電気泳動表示媒体（１００）における前記隔壁（１ｂ）及び前記第一基板（１）の製造方法において、電極形成工程と、型押し工程と、離型工程とを行い、熱インプリントで隔壁（１ｂ）と基板（１ａ）とを一体に形成する。　

Description

電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法、及び、電気泳動表示媒体

技術分野

[0001] 本発明は、電気泳動表示媒体における隔壁が形成された基板の製造方法、及び、電気泳動表示媒体に関する。

背景技術

[0002] 従来から、互いに対向して設けられた一対の基板の間に、正負どちらかの電荷を有する帯電粒子を分散させた分散媒を封入した電気泳動表示媒体が知られている。

[0003] このような電気泳動表示媒体においては、どちらか一方の基板が透明な材料で形成されている。この透明な基板の外側の面は表示面として機能する。帯電粒子は電界をカ卩えられることによって基板間を移動し、この移動に伴い表示面には任意の画像が表示される。電気泳動表示媒体として、互いに色と極性の異なる 2種類の帯電粒子が基板間に封入されていて、表示面側の基板に集まる粒子の種類を切り替えることにより画像の表示を切り替えるものがある。また、他の電気泳動表示媒体として、 1種類の帯電粒子が封入されてヽて、帯電粒子が表示面側の基板に集まってヽるときは帯電粒子の色が表示され、帯電粒子が反対側の基板に集まっているときは分散媒の色が表示されることによって画像の表示を切り替えるものがある。

[0004] これらの電気泳動表示媒体においては、一般的に帯電粒子の比重と分散媒の比重とは異なる。このため電気泳動表示媒体の基板間において、帯電粒子が偏在し易いという問題がある。そこで、この一対の基板間に隔壁を配置して、その基板間を複数の区画領域に分割し、帯電粒子が偏在してしまうことを防止した電気泳動表示媒体が考えられている。

[0005] 特許文献 1にはこの電気泳動表示媒体の基板間に配置される隔壁を基板上にフォトリソグラフィーにより形成することが記載されている。

[0006] 特許文献 1 :特開 2002— 72258号公報

発明の開示発明が解決しょうとする課題

[0007] し力しながら、特許文献 1記載の発明のように基板上にフォトリソグラフィ一により隔壁を形成する方法では、基板の材料と隔壁の材料とが異なるために、両者の熱膨張係数の違、等から、基板と隔壁との界面で基板と隔壁が剥がれると、う問題があった

[0008] 本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、基板と隔壁とが剥がれにくい電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法、及び、基板と隔壁とが剥がれにく！ヽ電気泳動表示媒体を提供することを目的とする。

[0009] この目的を達成するために、請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法は、互いに対向して設けられた第一基板及び第二基板と、前記第一基板と第二基板との基板間に帯電粒子を分散させた分散媒と、前記基板間の領域を区画する隔壁とを備えた電気泳動表示媒体における前記隔壁及び前記第一基板の製造方法であって、前記第一基板の一方の面は電極形成領域と隔壁形成領域とを有し、前記電極形成領域に電極を形成する電極形成工程と、前記隔壁を形成するための凹部を備えた型で、前記隔壁形成領域に前記凹部を押付けるように第一基板を加圧して、前記凹部内に前記第一基板の部分を突出させ、前記凹部と同じ形状の前記隔壁を前記基板に形成する型押し工程と、前記型押し工程後、前記第一基板から前記型を離す離型工程とを備える。

[0010] また、請求項 2記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法は、請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法であって、前記第一基板を加熱する加熱工程を備え、前記型押し工程は、前記加熱工程後、前記第一基板の部分を突出させ、前記凹部と同じ形状の前記隔壁を前記基板に形成することを特徴とする。

[0011] また、請求項 3記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法は、請求項 2記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法であって、前記型を前記第一基板に接触させる接触工程を備え、前記加熱工程は、前記型と前記第一基板とを接触させた状態で、前記型と共に前記第一基板を加熱することを特徴とする。 [0012] また、請求項 4記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法は、請求項 2または請求項 3記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法であって、前記型押し工程後、前記第一基板を冷却する冷却工程を備え、前記離型工程は、前記冷却工程後、前記第一基板から前記型を離すことを特徴とする。

[0013] また、請求項 5記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法は、請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法であって、前記電極形成工程において、前記帯電粒子に電界を加えるための電界印加部と、前記電界印加部同士を接続する接続部とを備えた電極を形成することを特徴とする。

[0014] また、請求項 6記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法は、請求項 5記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法であって、前記電極形成工程において、前記型の前記凹部の開口部より前記隔壁形成領域が大き Vヽ前記第一基板に前記電極を形成すること特徴とする。

[0015] また、請求項 7記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法は、請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法であって、前記電極形成工程において、透明な前記第一基板に透明な前記電極を形成することを特徴とする。

[0016] また、請求項 8記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法は、請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法であって、前記電極形成工程にお!、て、前記第一基板より荷重たわみ温度の高!、前記電極を形成し、前記加熱工程において、前記電極が軟ィ匕する温度より低い温度に前記第一基板を加熱することを特徴とする。

[0017] また、請求項 9記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法は、請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法であって、前記型押し工程において、所定の方向から見たときの断面が開口部力底面に近づくにつれ狭くなるテーパ状の前記凹部を備えた前記型を、前記第一基板に押付けることを特徴とする。

[0018] また、請求項 10記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法は、請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法であって、前記加熱工程にぉヽて、熱可塑性榭脂からなる前記第一基板を加熱することを特徴とする。

[0019] また、請求項 11記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法は、請求項 10記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法であって、前記加熱工程にぉ、て、ポリエチレンテレフタレートからなる前記第一基板を加熱することを特徴とする。

[0020] また、請求項 12記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法は、請求項 10記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法であって、前記加熱工程にぉ、て、ポリエチレンナフタレートからなる前記第一基板を加熱することを特徴とする。

[0021] また、請求項 13記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法は、請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法であって、前記電極形成工程にぉヽて、透明な材料カゝらなる前記電極を形成することを特徴とする。

[0022] また、請求項 14記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法は、請求項 13記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法であって、前記電極形成工程にぉ、て、酸化インジウムスズからなる前記電極を形成することを特徴とする。

[0023] また、請求項 15記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法は、請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法であって、前記型押し工程において、前記凹部の所定のノターンが繰り返し規則的に配列した前記型を、前記第一基板に押付けることを特徴とする。

[0024] また、請求項 16の電気泳動表示媒体は、互いに対向して設けられた第一基板及び第二基板と、前記第一基板と第二基板との基板間に帯電粒子を分散させた分散媒と、前記基板間の領域を区画する隔壁とを備えた電気泳動表示媒体であって、前記第一基板の一方の面は電極形成領域と隔壁形成領域とを有し、前記電極形成領域に電極を形成する電極形成工程と、前記隔壁を形成するための凹部を備えた型で、前記隔壁形成領域に前記凹部を押付けるように第一基板を加圧して、前記凹部内に前記第一基板の部分を突出させ、前記凹部と同じ形状の前記隔壁を前記基板に形成する型押し工程と、前記型押し工程後、前記第一基板から前記型を離す離型工程とを備える製造方法で製造された隔壁及び基板を備える。

発明の効果

[0025] 請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法によれば、前記第一基板と前記隔壁が同一の材料で一体に形成できるので、基板と隔壁とが剥がれにくい電気泳動表示媒体における隔壁及び基板を製造できる。

[0026] また、前記電極を前記電極形成領域に形成し、前記隔壁を前記隔壁形成領域に形成するので、前記帯電粒子に電界を加えるための電極を有する前記第一基板を備えた電気泳動表示媒体における隔壁及び基板を製造できる。

[0027] また、請求項 2記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法によれば、請求項 1記載の発明が奏する効果に加え、加熱工程において、前記第一基板を加熱し、前記型押し工程において、加熱により軟化した前記第一基板を前記型でカロ圧するので、前記第一基板上に前記隔壁を形成しやすい。

[0028] また、請求項 3記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法によれば、請求項 2記載の発明が奏する効果に加え、前記加熱工程において、接触している前記型と共に前記第一基板が加熱されるので、隔壁を形成する面が均一に加熱され、隔壁形成の際のばらつきが抑えられる。また、加熱の際に前記第一基板から熱が逃げにくいので、加熱エネルギーのロスが少なぐ加熱工程に要する時間が短縮される。

[0029] また、請求項 4記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法によれば、請求項 2または請求項 3記載の発明が奏する効果に加え、前記冷却工程において冷却されることにより、加熱により軟化してヽた前記第一基板が型押し工程の時より硬くなり、前記離型工程において、前記第一基板から前記型を剥がし易い。

[0030] また、請求項 5記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法によれば、請求項 1記載の発明が奏する効果に加え、複数の前記電界印加部が前記接続部により接続されるので、複数の前記電界印加部に加えられる電圧を駆動するための機構を共通化することができる電気泳動表示媒体における隔壁及び基板を製造できる。

[0031] また、請求項 6記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法によれば、請求項 5記載の発明が奏する効果に加え、前記型押し工程において、前記型を前記第一基板に押付けたときに、前記電極の形成された前記電極形成領域に前記凹部の前記開口部が重ならないので、前記電極が前記型により変形されることが無い。即ちこの方法によれば、電極間距離が最適な電気泳動表示媒体における隔壁及び基板を製造できる。

[0032] また、請求項 7記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法によれば、請求項 1記載の発明が奏する効果に加え、前記第一基板が透明であるので、前記第一基板側に画像を表示させる電気泳動表示媒体の隔壁及び基板を製造できる

[0033] また、請求項 8記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法によれば、請求項 1記載の発明が奏する効果に加え、前記加熱工程において、前記第一基板を、前記電極が軟化する温度より低い温度で加熱するので、前記型押し工程にお V、て、前記型の圧力により前記電極が押しつぶされることがな!、。

[0034] また、請求項 9記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法によれば、請求項 1記載の発明が奏する効果に加え、前記離型工程において、前記型が前記第一基板から離れ易い。

[0035] また、請求項 10記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法によれば、請求項 1記載の発明が奏する効果に加え、前記第一基板が熱可塑性榭脂であるため、電気泳動表示媒体における隔壁及び基板を容易に製造できる。

[0036] また、請求項 11記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法によれば、請求項 10記載の発明が奏する効果に加え、前記第一基板がポリエチレンテレフタレートであるため、電気泳動表示媒体における隔壁及び基板を更に容易に製造できる。

[0037] また、請求項 12記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法によれば、請求項 10記載の発明が奏する効果に加え、前記第一基板がポリエチレンナフタレートであるため、請求項 11のポリエチレンテレフタレートを使用した場合よりも、耐熱性、ガスバリヤ性、紫外線バリヤ性、耐ィ匕学薬品性が高ぐ機械的強度が優れた電気泳動表示媒体における隔壁及び基板を更に容易に製造できる。

[0038] また、請求項 13記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法によれば、請求項 1記載の発明が奏する効果に加え、前記電極が透明な材料であるため、可視光が良好に透過できる透明な前記電極を形成した電気泳動表示媒体における隔壁及び基板を製造できる。

[0039] また、請求項 14記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法によれば、請求項 13記載の発明が奏する効果に加え、前記電極が酸化インジウムスズであるため、ポリエチレンテレフタレート及び、ポリエチレンナフタレートと密着性が良好な基板が形成でき、可視光を透過できる透明な前記電極を形成した電気泳動表示媒体における隔壁及び基板を製造できる。

[0040] また、請求項 15記載の電気泳動表示媒体によれば、請求項 1記載の発明が奏する効果に加え、前記型押し工程において前記第一基板に均一な圧力を加圧することができる。

[0041] また、請求項 16記載の電気泳動表示媒体によれば、前記第一基板と前記隔壁が同一の材料で一体に形成されてヽるので基板と隔壁とが剥がれにく!ヽ。

図面の簡単な説明

[0042] [図 1]電気泳動表示媒体 100の概略断面図。

[図 2]画素電極 5が形成された面から見た場合の第二基板 2の正面図。

[図 3]電極 4が形成された面から見た場合の隔壁形成基板 1の正面図。

[図 4]ITO膜 12が形成された基板 11の概略断面図。

[図 5]露光中の基板 11の概略断面図。

[図 6]UV光の照射方向から見たときのマスク 13の一部を拡大した正面図。

[図 7]現像後の基板 11の概略断面図。

[図 8]エッチング後の基板 11の概略断面図。

[図 9]残りのネガレジストが除去された後の基板 11の概略断面図。

[図 10]電極 4が形成された面から見たときの基板 11の一部を拡大した正面図。

[図 11]加熱機構付プレス装置に配置された基板 11の概略断面図。 [図 12]型 20のプレス面の一部を拡大した拡大図。

[図 13]型押し工程において凹部 21内に一部が突出した基板 11の概略断面図。

[図 14]完成した隔壁形成基板 1の概略断面図。

[図 15]凹部 21の開口部が隔壁形成領域 9bよりも大きい場合の凹部 21と基板 11の概略断面図。

[図 16]電極 4の一部が隔壁部 lbに形成された隔壁形成基板 1の概略断面図。

[図 17]型 25の概略断面図。

[図 18]型 20のプレス面の一例。

[図 19]型 20のプレス面の一例。

符号の説明

1 隔壁形成基板

la 第一基板部

lb 隔壁部

2 第二基板

3 スぺーサ

4 電極

4a 電界印加部

4b 接続部

5 画素電極

6 帯電粒子

7 分散媒

8 電界制御部

9a 電極形成領域

9b 隔壁形成領域

11 基板

12 ITO膜

13 マスク

13a ガラス板 13b 遮光部材

14 ネガレジスト

15 支持板

16 支持板

20 型

21 凹部

22 基板保持部

25 型

100 電気泳動表示媒体

発明を実施するための最良の形態

[0044] 以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。先ず、後述する本発明の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法で、製造された隔壁及び基板を備えた電気泳動表示媒体 100について説明する。

[0045] 図 1は、電気泳動表示媒体 100の概略断面図である。電気泳動表示媒体 100は電極 4が形成された隔壁形成基板 1と、画素電極 5が形成された第二基板 2と、スぺーサ 3と、帯電粒子 6と、分散媒 7と、電界制御部 8とを備える。尚、電気泳動表示媒体 1

00は隔壁形成基板 1側に画像を表示させる。

[0046] 電極 4は隔壁形成基板 1のいずれか一方の面であって、隔壁部 lbが形成された面に形成されて、る。画素電極 5は第二基板 2の、ずれか一方の面に形成されて!、る

[0047] 隔壁形成基板 1と第二基板 2とは、それぞれ電極 4、画素電極 5とが互いに対向するようにして、配置されている。

[0048] 隔壁形成基板 1及び第二基板 2は、透明な熱可塑性榭脂であるポリエチレンテレフタレート（以下、 PETと称す)で形成されている。

[0049] 電気泳動表示媒体 100は隔壁形成基板 1及び第二基板 2が PETで形成されて、るため、フレキシブルな電気泳動表示媒体である。このため折り曲げても使用できる。

[0050] 電極 4及び画素電極 5は、透明な電極である酸化インジウムスズ（以下、 ITOと称す

)で形成されている。 [0051] スぺーサ 3は、電極 4と画素電極 5とのギャップを 25 μ mに固定するために、隔壁形成基板 1と第二基板 2とに挟まれる位置に配置されている。尚、スぺーサ 3は隔壁形成基板 1及び第二基板 2の外周部に配置されている。また、スぺーサ 3の高さは 25 mである。

[0052] 帯電粒子 6と分散媒 7とは、隔壁形成基板 1と、第二基板 2と、スぺーサ 3とで区画される領域内に配置されている。尚、隔壁形成基板 1と、第二基板 2と、スぺーサ 3とで区画される領域内にぉ、て、分散媒 7は複数の帯電粒子 6を分散して保持して、る

[0053] 分散媒 7は絶縁性の液体である。分散媒 7としては、芳香族炭化水素溶媒 (例えば、ベンゼン、トルエン、キシレンなど）、脂肪族炭化水素溶媒 (例えば、へキサン、シク口へキサンなどの直鎖又は環状パラフィン系炭化水素溶媒、イソパラフィン系炭化水素溶媒、ケロシンなど）、ハロゲンィ匕炭化水素溶媒 (例えば、クロ口ホルム、トリクロロェチレン、ジクロロメタン、トリクロ口トリフルォロエチレン、臭化工チルなど）、シリコーンォィルのようなオイル状のポリシロキサン、又は、高純度石油などが挙げられる。

[0054] 帯電粒子 6は負の極性に帯電されており、黒色に着色されている。分散媒体 7は絶縁性の液体であり、白色に着色されている。

[0055] 隔壁形成基板 1は第一基板部 laと隔壁部 lbとが一体に形成された基板である。隔壁部 lbは第一基板部 laから第二基板 2へ突出した部分である。

[0056] このため電気泳動表示媒体 100において、隔壁部 lbが基板間を複数の区画領域に分割するので、帯電粒子 6が偏在してしまうことを防止できる。

[0057] 隔壁部 lbは断面がコの字状になるように第二基板 2側へ突出している。隔壁部 lb は第一基板部 laから高さで 20 /z m突出している。このため、隔壁部 lbの下面と第二基板 2の画素電極 5が形成されている面との間には 5 μ mの隙間が存在する。

[0058] 電極 4及び画素電極 5はそれぞれ電界制御部 8と電気的に接続されている。尚、電極 4及び画素電極 5と電界制御部 8とが具体的にどのように接続されて!ヽるかにつ!ヽては、本発明の本質とは関係がないので説明を省略する。

[0059] 電界制御部 8は電極 4に印加する電圧、または、画素電極 5に印加する電圧をそれぞれ制御することで、電極 4と画素電極 5との間に電界を発生させ、分散媒 7中の負の極性に帯電された帯電粒子 6の移動を制御する。 [0060] 図 2は、画素電極 5が形成された面から見た場合の第二基板 2の正面図である。図 2に示すように、画素電極 5は第二基板 2上に一辺の長さが 200 μ mの略正方形に形成されて、る。第二基板 2には複数の画素電極 5が形成されて、る。

[0061] そして図 2の紙面上において上下若しくは左右に隣り合う画素電極 5同士は 20 m の間隔を隔てて、第二基板 2上にマトリクス状に規則正しく配列されている。

[0062] 画素電極 5はそれぞれ図示しない TFTを介して、電界制御部 8と電気的に接続されている。このため、画素電極 5に印加される電圧は電界制御部 8によりそれぞれ独立して制御される。

[0063] 図 3は、電極 4が形成された面から見た場合の隔壁形成基板 1の正面図である。図

³に示すように、隔壁形成基板 1には、電極 4が形成されている電極形成領域 9aと、隔壁部 lbが形成されている隔壁形成領域 9bとを備える。

[0064] 図 3に示すように、隔壁形成領域 9bは十字状の領域であり、この十字は m X 4

02 /z mの 2つの長方形力それぞれ中心を重ねるようにして、直角に交わるように形成されている。

[0065] 隔壁形成基板 1には、複数の隔壁形成領域 9bが所定の間隔で繰り返し規則的に配列されている。ここで、複数の隔壁形成領域 9bの中から任意にいずれかの隔壁形成領域 9bを注目した場合を考える。本実施形態においては、注目した隔壁形成領域 9bの中心点から図 3の紙面上で、右上方向（斜め 45° )に 220 X 2 m移動した位置、及び、左上方向に 220 X 2 m移動した位置、及び、右下方向に 220 X 2 μ m移動した位置、及び、左下方向に 220 X ^2 μ m移動した位置の 4つの位置にそれぞれ中心点を有する 4つの隔壁形成領域 9bが配列されている。

[0066] このような隔壁形成領域 9b内では、十字状の隔壁部 lbが第一基板部 laから突出するように形成されている。隔壁部 lbは、 20 m X 400 mの長方形の 2つの凸部力それぞれ中心で直角に交わるように形成されている。

[0067] この十字状の隔壁部 lbはその中心力隔壁形成領域 9bの中心と重なるように配列されている。

[0068] 電極形成領域 9aは、図 3において、上述の隔壁形成領域 9b以外の領域である。そして電極形成領域 9aには、電極 4が形成されてヽる。 [0069] 電極 4は電界印加部 4aと接続部 4bとを有する。電界印加部 4aは一辺が 198 μ m の正方形の部分であり、負の極性の帯電粒子 6に加える電界を制御する役割を担つている。

[0070] 接続部 4bは隔壁形成領域 9bと電界印加部 4aとの間の十字状の部分であり、電界印加部 4a同士を電気的に接続する役割を担う。従って、電極 4は、すべての電界印加部 4aが接続部 4bによって電気的に接続された一枚の電極である。

[0071] 次に、電気泳動表示媒体 100の動作について説明する。電界制御部 8により、電極 4に 0Vの電圧が印加され、且つ、画素電極 5に 40Vの電圧が印加されると、電極間には下向きの電界が発生し、負の極性を有する帯電粒子 6は隔壁形成基板 1側に移動する。このため、電気泳動表示媒体 100の上面には帯電粒子 6の黒色が表示される。

[0072] また、電界制御部 8に電極 4に OVの電圧が印加され、画素電極 5に 40Vの電圧が印加されると、電極間には上向きの電界が発生し、負の極性を有する帯電粒子 6は第二基板 2側に移動する。このため、電気泳動表示媒体 100の上面には分散媒 7の白色が表示される。

[0073] 電界制御部 8は、複数存在する画素電極 5に印加する電圧をそれぞれ独立して制御することにより、画素毎に表示させる色の切り替えを行なうことができる。尚、画素の大きさは画素電極 5の大きさで決定される。

[0074] 隔壁と基板とが別体で形成されて!ヽた従来の電気泳動表示媒体では、隔壁と基板との材料が異なるため、両者の熱膨張係数が異なる。ゆえに、電気泳動表示媒体の周囲の温度環境が変化すると、両者の収縮率や膨張率が異なるため隔壁と基板との接続部分で、隔壁が基板から剥がれやす!ヽとヽぅ問題があった。

[0075] また、近年フレキシブルな電気泳動表示媒体も考案されているが、折り曲げて使用されたときに、隔壁と基板とが別体で形成された電気泳動表示媒体では、隔壁と基板とがその接続部分で剥がれやす、と、う問題があった。

[0076] また、電気泳動表示媒体にぉ、ては、分散媒として絶縁性が要求されるためその材料として有機溶剤類である、芳香族炭化水素溶媒、脂肪族炭化水素溶媒、ハロゲン化炭化水素溶媒 (例えば、クロ口ホルム、トリクロロエチレン、ジクロロメタン、トリクロ口トリフルォロエチレン、臭化工チルなど）、ポリシロキサン、又は、高純度石油などが選択されることが多い。し力しながら、従来のリソグラフィー工法で隔壁や基板の材料として選択されるアクリル系榭脂は、もともとハロゲンィ匕炭化水素溶媒等の有機溶剤類に侵されやすいので、特に基板と隔壁との界面部分の密着強度弱まって、基板と隔壁が剥がれやすくなるという問題があった。

[0077] これに対して、電気泳動表示媒体 100によれば、隔壁部 lbと第一基板部 laとが一体に形成されているので、隔壁部 lbと第一基板部 laとが剥がれる恐れがない。

[0078] 次に、隔壁部 lbと第一基板部 laとを備えた隔壁形成基板 1の製造方法につい図 4 〜図 14を用いて説明する。

[0079] 先ず、 PETで形成された基板 11の一方の面の全面に、 ITO膜 12を形成する。 IT O膜 12が形成された基板 11の概略断面図を図 4に示す。

[0080] ITO薄膜の形成は、例えばスパッタ法にて榭脂フィルム基板表面に形成する。

[0081] 次に、 UV光で露光されることにより硬化するネガレジスト 14力 ITO膜 12上に塗布される。そして、遮光部材 13bの所定のパターンが形成されたマスク 13を介して、ネガレジスト 14が UV光で露光される。露光中の基板 11の概略断面図を図 5に示す。

[0082] UV光の照射方向から見たときのマスク 13の一部を拡大した正面図を図 6に示す。

マスク 13は、 UV光を透過するガラス板 13a上に遮光部材 13bが形成されている。図 6に示すように上述した隔壁形成領域 9bと同じ十字状の形状をした遮光部材 13bが、繰り返し規則的に配列している。この配列の仕方は上述の隔壁形成領域 9bの配列と同じである。 UV光で露光されると、ネガレジスト 14の露光された部分は硬化する。

[0083] 次に、未露光部のネガレジスト 14が現像液で現像される。現像後の基板 11の概略断面図を図 7に示す。現像液で現像されると、 UV光で露光された部分だけが基板 1 1上に残り、露光されていない部分は除去される。

[0084] 次に、ネガレジスト 14が除去されて露出した ITO膜 12の部分が酸性水溶液でエツチングされる。酸性水溶液としては、一般には塩酸水溶液や塩酸酸性塩化第二鉄水溶液が用いられる。エッチング後の基板 11の概略断面図を図 8に示す。

[0085] 次にレジスト剥離液により、基板 11上に残っているネガレジスト 14が溶融され、基板 11上力除去される。残りのネガレジストが除去された後の基板 11の概略断面図を図 9に示す。

[0086] このようにして、 ITOで形成された所定のパターンの電極 4が基板 11上に形成される。電極 4が形成された面から見たときの、基板 11の一部を拡大した正面図を図 10 に示す。基板 11には、電界印加部 4aと接続部 4bとを備えた電極 4が形成されている

。そして電極 4が形成されて、な、領域は隔壁形成領域 9bとなる。

[0087] 以上、図 4〜図 10を用いて、基板 11上に電極 4を形成する方法について説明した力 Sこれが本願発明の電極形成工程に相当する。

[0088] 次にこの電極 4が形成された基板 11から、隔壁形成基板 1を製造する方法について図 11から図 14を用いて説明する。

[0089] 電極 4が形成された基板 11から、隔壁形成基板 1を製造する方法は、後述する型 2

0を基板 11に接触させる接触工程、基板 11を加熱する加熱工程、基板 11に後述する型 20を押付ける型押し工程、基板 11を冷却する冷却工程、基板 11から型 20を離型する離型工程を備える。

[0090] 接触工程の前に、電極 4が形成された基板 11は、型 20及び基板保持部 22が設置された図示しなヽ加熱機構付プレス装置に配置される。図 11に加熱機構付プレス装置に配置された基板 11の概略断面図を示す。

[0091] ここで、加熱機構付プレス装置への基板 11の配置について説明する。

[0092] 加熱機構付プレス装置は本発明の本質とは関係ないので、全体を図示しないが、加熱機構付プレス装置は支持板 15と支持板 16とを備える。支持板 15と支持板 16とは互いに対向して配置される。

[0093] 支持板 16は、加熱機構付プレス装置において所定の位置に上面を水平にして固定されて配置されている。支持板 16は内部に、基板 11を加熱するための熱源であるヒータを備える。

[0094] 支持板 15は、加熱機構付プレス装置において、支持板 15と対向する位置であって且つ支持板 16に対して鉛直方向の上方の位置に、鉛直方向に上下動可能に配置されている。尚、支持板 15の上下動する距離はプレスする物に応じて適宜設定できる。支持板 15は内部に、基板 11を加熱するための熱源であるヒータを備える。

[0095] 型 20はプレス面を鉛直方向の下側にして、上下動可能な支持板 15に固定されている。基板保持部 22はプレス面を鉛直方向の上側にして、支持板 16に固定されている。尚、型 20及び基板保持部 22は、それぞれ支持板 15若しくは支持板 16に取り外し可能なように固定されて、る。

[0096] 型 20のプレス面には、平坦な面の所定の位置に複数の凹部 21が形成されている

。図 12に、型 20のプレス面の一部を拡大した拡大図を示す。図 12に示すように、凹部 21の開口部の形状は、 20 /ζ πι Χ 400 /ζ πιの 2つの長方形力それぞれの中心で直角に交わるように形成された十字状の形状をして!/、る。

[0097] 型 20のプレス面には、複数の凹部 21が繰り返し規則的に配列されている。この配列の仕方は上述の隔壁部 lbの配列の仕方と同様である。凹部 21の深さは 20 mである。

[0098] 基板保持部 22のプレス面は平坦面である。加熱工程にぉ、て、電極 4が形成された基板 11は、基板保持部 22の平坦なプレス面状に配置される。このとき基板 11は電極 4が形成された面を鉛直方向の上側にして配置される。

[0099] さらに基板 11の隔壁形成領域 9bの中心と、基板保持部 22の凹部 21の中心とが対向するように、基板 11は位置決めされる。

[0100] 次に、接触工程において、支持板 15を移動させ、型 20のプレス面と、基板 11とを接触させる。

[0101] 次に、加熱工程において、支持板 15及び支持板 16に内蔵されたヒータにより基板 11が加熱される。熱源であるヒータで発生した熱が型 20または基板保持部 22を介して基板 11を例えば 100°Cに加熱する。このとき、型 20も 100°Cに加熱される。

[0102] 加熱によって PETが軟化する温度は約 80〜90°Cであるので、 100°Cに加熱されると PETで形成された基板 11は軟ィ匕して、塑性加工しやすくなる。

[0103] ここで、 ITOの耐熱温度 (例えば荷重たわみ温度等）は PETの耐熱温度よりも遙かに高温である。したがって、 ITOは 100°Cに加熱されたとしても、 ITOで形成された電極 4は軟ィ匕せずに硬、ままである。

[0104] 次に、型押し工程にぉ、て、型 20を基板 11に押付けて加圧した状態で一定時間保持する。すると凹部 21内に軟ィ匕した基板 11の一部が突出し、凹部 21と同じ形状の凸部を基板 11に形成される。尚、凹部 21内に突出した凸部は、上述した電気泳動表示媒体 100における隔壁部 lbとなる。また、凹部 21内に突出しな力つた残りの部分は、上述した電気泳動表示媒体 100における第一基板部 laとなる。図 13に型押し工程において凹部 21内に一部が突出した基板 11の概略断面図を示す。

[0105] 次に、冷却工程において、基板 11が支持板 15及び支持板 16のヒータの設定温度を例えば、 60°Cに設定し、一定時間放置することによっておよそ 60°Cまで冷却され、軟ィ匕していた基板 11は型押し工程時よりも硬化する。これにより、型 20と基板 11とが剥がれ易くなる。

[0106] 次に、離型工程において、基板 11から型 20が剥がされて、隔壁形成基板 1が完成する。完成した隔壁形成基板 1の概略断面図を図 14に示す。

[0107] このように形成された隔壁形成基板 1備えた電気泳動表示媒体 100によれば、上述したように、隔壁部 lbと第一基板部 laとが一体に形成されているので、隔壁部 lb と第一基板部 laとが剥がれる恐れがない。

[0108] 尚、上述したように、凹部 21の開口部の形状は、 20 m X 400 mの 2つの長方形がそれぞれ中心を重ねるようにして直角に交わるように形成された十字状の形状であり、隔壁形成領域 9bの形状は、 22 m X 402 mの 2つの長方形がそれぞれの中心を重ねるようにして直角に交わるように形成された十字状の形状である。

[0109] このように隔壁形成領域 9bの大きさよりも凹部 21の開口部の大きさの方が小さいので、型押し工程において、型 20を基板 11に押付けたときに、電極 4に凹部 21の開口部が重ならないので、電極 4が型 20により変形されることが無い。即ちこの方法によれば、電極間距離が最適な電気泳動表示媒体 100の隔壁形成基板 1を製造できる

[0110] 仮に、凹部 21の開口部が隔壁形成領域 9bよりも大きい場合の例を図 15に示す。このように、凹部 21の開口部が隔壁形成領域 9bよりも大きい場合は、型 20を基板 11 に押付けたときに、電極 4と凹部 21の開口部とが重なってしまう。このため、凹部 21 に突出しようとする基板 11の PETの圧力により、電極 4と凹部 21の開口部とが重なつた部分で、電極 4が折り曲げられる。そして、図 16に示すように電極 4の一部が隔壁部 lbに形成されてしまう。このように形成された隔壁形成基板 1を電気泳動表示媒体 100〖こ用いると、隔壁部 lbに形成されてしまった電極 4の一部と、画素電極 5との間で放電が起こる可能性があるため、良好な表示が行えな、電気泳動表示媒体 100 が製造されてしまう恐れがある。

[0111] また、放電が起こらなくとも、このように折り曲げられた電極 4では、分散媒 7中に均一な電界を発生させることができずに表示の品質に悪影響を与えることもある。

[0112] これに対して、本実施形態では、隔壁形成領域 9bの大きさよりも凹部 21の開口部の大きさの方が小さいので、上述のような問題がない。また隔壁形成領域 9bの大きさが凹部 21の開口部の大きさよりも少し余裕を持って大きくしてあるので、型 20と基板 11との位置決めも容易に行なえる。

[0113] 尚、上述の実施形態では型 20を用いて隔壁部 lbを形成した力型 20の替わりに、型 25を用いて隔壁部 lbを形成してもよヽ。

[0114] 型 25の概略断面図を図 17に示す。図 17に示すように型 25に形成された凹部 21 は、所定の方向から見たときの断面が開口部力底面に近づくにつれ狭くなるテーパ状をしている。このため、型 25を用いた場合は、離型工程において、離型の際の抵抗が弱まり、型 25が基板 11から離し易い。

[0115] 本発明の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法、及び、電気泳動表示媒体は、上記した実施形態に限定されるものではなぐ本発明の要旨を逸脱しな、範囲内にお、て種々変更をカ卩ぇ得ることは勿論である。

[0116] 上述の実施形態においては、平坦な面に複数の凹部 21が繰り返し規則的に配列されている型 20を用いて、隔壁部 lbを形成するものとして説明した力表面に繰り返し規則的に配列された凹部 21を備えたローラ状の型を用いて、このローラ状の型を軟ィ匕した基板 11上を転がすようにして隔壁分 lbを形成するようにしてもょヽ。

[0117] また、上述の実施形態では、帯電粒子 6が負に帯電した黒色の粒子で、分散媒 7が白色であるものとして説明したが、帯電粒子 6と分散媒 7との組み合わせはこれに限るものではない。また、上述の実施形態では、帯電粒子 6が負に帯電した黒色の粒子で、分散媒 7が白色であるものとして説明したが、これとは異なる色の帯電粒子 6を用いても良い。

[0118] また、上述の実施形態では、電気泳動表示媒体 100の分散媒 7が絶縁性の液体である例えば、芳香族炭化水素溶媒 (例えば、ベンゼン、トルエン、キシレンなど）、脂肪族炭化水素溶媒 (例えば、へキサン、シクロへキサンなどの直鎖又は環状パラフィン系炭化水素溶媒、イソパラフィン系炭化水素溶媒、ケロシンなど)、ハロゲン化炭化水素溶媒（例えば、クロ口ホルム、トリクロロエチレン、ジクロロメタン、トリクロ口トリフルォロエチレン、臭化工チルなど）、シリコーンオイルのようなオイル状のポリシロキサン

、又は、高純度石油などとして説明したが、分散媒 7として揮発性のガスを封入したものであってもよい。

[0119] また、上述の実施形態では、冷却工程において基板 11を冷却したが、加熱の方式や特定の温度領域においては、加熱を停止するだけで、冷却工程を省略してもよい

[0120] また、上述の実施形態では、電極 4が形成された基板 11から、隔壁形成基板 1を形成する方法について説明したが、電界を加える機構を別体の装置に設ける場合には、基板 11に電極 4を形成しなくともよい。

[0121] また、上述の実施形態では、電気泳動表示媒体 100は一枚の電極 4と画素毎の画素電極 5とで画像を表示するものとして説明した力電極の形成の仕方はこれに限るものではない。例えば、隔壁形成基板 1と第二基板 2との両方にマトリクス方式の駆動電極を備え、隔壁形成基板 1に形成される電極は一列ごとにつながっているものを用いてもよい。また、画素電極 5には TFTが接続されているものとして説明した力画素電極 5の駆動の仕方はこれに限るものではな!/、。

[0122] また、上述の実施形態では、また、上述の実施形態においては凹部 21の開口部の大きさより隔壁形成領域 9bの大きさが大きいものとして説明したが、凹部 21と隔壁形成領域 9bとの位置決めが正確に行なえる場合は、凹部 21の開口部の大きさと隔壁形成領域 9bとの大きさを同じにしてもょ、。

[0123] また、上述の実施形態では、基板 11が PETで形成されて、るものとして説明したが、その他の材料で形成されていてもよい。例えばガラスで形成されていてもよいし、あるいは、 PET使用した場合よりも、耐熱性、ガスノリャ性、紫外線バリヤ性、耐化学薬品性が高ぐ機械的強度が優れた電気泳動表示媒体における隔壁及び基板を更に容易に製造できるポリエチレンナフタレート（PEN)でも良、し、ポリエーテルサルファン（PES)、ポリアリレート（PAR)、ポリカーボネート（PC)等で形成されていてもよい。 [0124] また、上述の実施形態では、電極 4が ITOで形成されているものとして説明した力その他の材料で形成されていてもよい。例えば、酸化スズ (TO)、酸化インジウム (IO )、酸ィ匕亜鉛インジウム (IZO)等で形成されていてもよい。あるいは、金、銀、パラジゥム等の貴金属を 50〜150A程度蒸着した膜で形成されていてもよい。

[0125] また、上述の実施形態においては型 20のプレス面には十字状の開口部を備えた凹部 21が繰り返し規則的に配列されているものとして説明した力その他の形状の開口部を備えた凹部 21のパターンが繰り返し規則的に配列されて、てもよ、。

[0126] ここで、凹部 21のパターンとは、図 18に示したように、異なる形状の開口部 21を備えた凹部 21の組み合わせ力もなるパターンのことをいう。図 18には、開口部の長手方向が縦方向である凹部 21と、開口部の長手方向が横方向である凹部 21との、 2種類の凹部 21が記載されている。図 18において線で囲まれた領域内の凹部 21の組み合わせがパターンの単位である。

[0127] 即ち、このパターンは、 20 m X 180 mの長方形であって、その長手方向が紙面上の左右の方向になるように配置された形状の開口部を有する凹部 21と、 20 m X 180 mの長方形であって、その長手方向が紙面上の上下の方向になるように配置された形状の開口部を有する凹部 21とからなる。

[0128] 長手方向を紙面上の左右の方向になるように配置された凹部 21の中心は、長手方向を紙面上の上下方向になるように配置された凹部 21の中心力も左下方向 110 X 12 μ m移動した位置に存在する。

[0129] 長手方向が左右の方向になるように配列された凹部 21を第一凹部とする。左右の方向に並ぶ複数の第一凹部は、中心と中心との距離を互いに 220 m離して配置される。上下の方向に並ぶ複数の第一凹部は、中心と中心との距離を互いに 220 /z m 離して配置される。長手方向が上下の方向になるように配置された凹部 21を第二凹部とする。第二凹部も第一凹部と同様に配置される。

[0130] その他の凹部 21の配列について図 19に示す。図 19に示す例では幅 20 mの波状の開口部の凹部 21が、上下方向に繰り返し規則的に配列されている。上下に隣り合う波上の凹部 21は互いに上下を逆にした形状で配列されている。そして上下に隣り合う波状の凹部 21同士が最も近づくところで 20 μ mになるように配列されて、る。 [0131] また、上述の実施形態において加熱工程において基板 11を加熱した後、型押しェ程を行なった力基板 11の材料を加熱しなくても加工できるもので形成する場合は、加熱工程を省略しても良、ことは、うまでもな!/、。

産業上の利用可能性

[0132] 本発明の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法、及び、電気泳動表示媒体は、少なくとも帯電粒子の色が表示されることによって画像の表示を切り替える電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法、及び、電気泳動表示媒体の分野において極めて有用である。

Claims

請求の範囲

[1] 互いに対向して設けられた第一基板 (1)及び第二基板 (2)と、前記第一基板（ 1)と第二基板 (2)との基板間に帯電粒子 (6)を分散させた分散媒 (7)と、前記基板間の領域を区画する隔壁（lb)とを備えた電気泳動表示媒体（100)における前記隔壁及び前記第一基板の製造方法にお!、て、

前記第一基板 (1)の一方の面は電極形成領域 (9a)と隔壁形成領域 (9b)とを有し、前記電極形成領域（9a)に電極を形成する電極形成工程と、

前記隔壁（lb)を形成するための凹部（21)を備えた型 (20)で、前記隔壁形成領域 (9b)に前記凹部（21)を押付けるように第一基板（1)を加圧して、前記凹部（21) 内に前記第一基板（1)の部分を突出させ、前記凹部（21)と同じ形状の前記隔壁（1 b)を前記基板（1)に形成する型押し工程と、

前記型押し工程後、前記第一基板 (1)から前記型 (20)を離す離型工程とを備える電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法。

[2] 前記第一基板（1)を加熱する加熱工程を備え、

前記型押し工程は、前記加熱工程後、前記第一基板（1)の部分を突出させ、前記凹部（21)と同じ形状の前記隔壁（lb)を前記基板（1)に形成することを特徴とする請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法。

[3] 前記型 (20)を前記第一基板 (1)に接触させる接触工程を備え、

前記加熱工程は、前記型 (20)と前記第一基板（1)とを接触させた状態で、前記型 (20)と共に前記第一基板（1)を加熱することを特徴とする請求項 2記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法。

[4] 前記型押し工程後、前記第一基板（1)を冷却する冷却工程を備え、

前記離型工程は、前記冷却工程後、前記第一基板（1)から前記型 (20)を離すことを特徴とする請求項 2または請求項 3記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法。

[5] 前記電極形成工程にお!、て、前記帯電粒子に電界を加えるための電界印加部 (4 a)と、前記電界印加部同士を接続する接続部 (4b)とを備えた電極 4を形成することを特徴とする請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法

[6] 前記電極形成工程において、前記型の前記凹部（21)の開口部より前記隔壁形成領域 (9b)が大きヽ前記第一基板 (1)に前記電極 (4)を形成すること特徴とする請求項 5記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法。

[7] 前記電極形成工程において、透明な前記第一基板（1)に透明な前記電極 (4)を形成することを特徴とする請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法。

[8] 前記電極形成工程において、前記第一基板（1)より荷重たわみ温度の高い前記電極 (4)を形成し、

前記加熱工程において、前記電極 (4)が軟ィ匕する温度より低い温度に前記第一基板（1)を加熱することを特徴とする請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法。

[9] 前記型押し工程において、所定の方向から見たときの断面が開口部から底面に近づくにつれ狭くなるテーパ状の前記凹部（21)を備えた前記型（25)を、前記第一基板（1)に押付けることを特徴とする請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法。

[10] 前記加熱工程において、熱可塑性榭脂からなる前記第一基板（1)を加熱することを特徴とする請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法

[11] 前記加熱工程において、ポリエチレンテレフタレートからなる前記第一基板（1)をカロ熱することを特徴とする請求項 10記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法。

[12] 前記加熱工程において、ポリエチレンナフタレートからなる前記第一基板を加熱することを特徴とする請求項 10記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法。

[13] 前記電極形成工程にぉヽて、透明な材料からなる前記電極 (4)を形成することを特徴とする請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法。

[14] 前記電極形成工程にぉヽて、酸化インジウムスズカゝらなる前記電極 (4)を形成することを特徴とする請求項 13記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法。

[15] 前記型押し工程において、前記凹部（21)の所定のパターンが繰り返し規則的に配列した前記型 (20、 25)を、前記第一基板（1)に押付けることを特徴とする請求項 1記載の電気泳動表示媒体における隔壁及び基板の製造方法。

[16] 互いに対向して設けられた第一基板 (1)及び第二基板 (2)と、前記第一基板（ 1)と第二基板 (2)との基板間に帯電粒子 (6)を分散させた分散媒 (7)と、前記基板間の領域を区画する隔壁（lb)とを備えた電気泳動表示媒体であって、

前記型押し工程後、前記第一基板 (1)から前記型 (20)を離す離型工程とを備える製造方法で製造された隔壁（lb)及び基板 (1)を備えた電気泳動表示媒体。