WO2007042255A1 - Materialmischung, sputtertarget, verfahren zu seiner herstellung sowie verwendung der materialmischung - Google Patents

Materialmischung, sputtertarget, verfahren zu seiner herstellung sowie verwendung der materialmischung Download PDF

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WO2007042255A1
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Markus Schultheis
Martin Weigert
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    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
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    • B22F2998/10—Processes characterised by the sequence of their steps

Definitions

  • the invention relates to a material mixture comprising a cobalt-based alloy as the predominant component, a sputtering target, and a production method therefor.
  • Material mixtures which contain a cobalt-based alloy as the predominant component are known, for example, from US Pat. No. 6,759,005 or from DE 195 08 535 A1. Among other things, these material mixtures are used to form thin layers as magnetic functional layers, in particular in magnetic data storage technology, or form these layers. Due to the requirements for a high capacity of these layers, the demands on the layer materials and thus on the sputtering targets used for the production of the layers grow, since these layers are preferably produced by sputtering.
  • the invention has for its object to improve the known material mixtures in terms of their magnetic properties.
  • a cobalt-based alloy as the predominant component that is, containing more than 50% by weight, which additionally contains at least TiO x as a smaller component, has markedly improved magnetic properties and is therefore useful as a thin film for magnetic data storage more suitable.
  • Such materials are deposited as thin films, preferably by sputtering technique.
  • a particularly good homogeneity in the deposition of the sputtering material from the sputtering target on a substrate is achieved by the fact that the oxygen-reduced (substoichiometric), electrically conductive titanium oxide is present as a powder having a particle size of 0.1 to 50 ⁇ m.
  • the x is preferably between 1.5 and 1.998.
  • the sputtering target preferably has a density of at least 95% of the theoretical density of its material. It is produced by mixing a cobalt powder It is advantageous that the powder mixture is hot axial or hot isostatically pressed
  • the erfmdungsge enthusiasmen Mate- ⁇ almischungen lead to storage media with very high capacity They have a TiO x - share of preferably at most 15 mol% of a melt-metallurgical production of these Mate ⁇ almischungen or corresponding sputtering target is difficult to impossible because the ceramic TiOx not alloyed with the cobalt-based alloy
  • a mechanical Einruhren of T ⁇ O x -Part ⁇ keln in the cobalt-based alloy melt leads usually not to a homogeneous material
  • powder metallurgical production methods are problematic, since on the one hand a mixing problem between metal particles and ceramic particles exists and on the other hand a sputtertechnisches problem, because in the
  • the invention is illustrated by an exemplary embodiment.
  • 880 g of an inert gas-evaporated powder of a cobalt-chromium alloy having a chromium content of 12% by weight are mixed with 120 g of a powder of pretreated TiO x for 24 hours in a tumble mixer
  • the T ⁇ O x powder is pretreated by a Vakuumgluhung in a reducing atmosphere at a temperature of about 1400 0 C
  • the oxygen content in T ⁇ O x powder is by the oxygen-reducing Gluhung by about 2 wt -% reduced (relative to the oxygen content stochiomet ⁇ - rule)
  • the reduced T ⁇ O is x powder with a sieve with 50 micron mesh sieved T ⁇ O the x powder having a particle size of less than 50 microns is with the powder of the cobalt Chromium alloy mixed homogeneously in a tumble mixer for 24 hours.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Materialmischung, eine Cobalt-Basis-Legierung als überwiegende Komponente aufweisend, und besteht darin, dass sie zusätzlich mindestens TiO<SUB>x</SUB> enthält.

Description

Unser Zeichen: P10464 WO
10. Oktober 2006
Patentanmeldung W. C. Heraeus GmbH
Materialmischung, Sputtertarget, Verfahren zu seiner Herstellung sowie Verwendung der Materialmischung
Die Erfindung betrifft eine Materialmischung, eine Cobalt-Basis-Legierung als überwiegende Komponente aufweisend, ein Sputtertarget sowie ein Herstellverfahren dafür.
Materialmischungen, die eine Cobalt-Basis-Legierung als überwiegende Komponente enthalten, sind beispielsweise aus US 6,759,005 oder aus DE 195 08 535 A1 bekannt. Diese Materialmischungen werden unter anderem zur Bildung dünner Schichten als magnetische Funktionsschichten, insbesondere in der magnetischen Datenspeichertechnik eingesetzt bzw. bilden diese Schichten. Durch die Anforderungen an eine hohe Kapazität dieser Schichten wachsen die Anforderungen an die Schichtmaterialien und somit an die zur Herstellung der Schichten verwendeten Sputtertargets, da diese Schichten bevorzugt durch Sputtem hergestellt werden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die bekannten Materialmischungen hinsichtlich ihrer magnetischen Eigenschaften zu verbessern.
Die Aufgabe wird durch die unabhängigen Ansprüche gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen. Eine Cobalt-Basis-Legierung als überwiegende Komponente, das heißt, mit einem Anteil von mehr als 50 Gew.-%, die zusätzlich mindestens TiOx als kleinere Komponente enthält, weist deutlich verbesserte magnetische Eigenschaften auf und ist daher als Dünnschicht für die magnetische Datenspeicherung besser geeignet. Derartige Materialien werden als Dünnschichten vorzugsweise durch Sputtertechnik abgeschieden. Eine besonders gute Homogenität bei der Abscheidung des Sputtermaterials vom Sputtertarget auf einem Substrat wird dadurch erreicht, dass das sauerstoffreduzierte (unterstöchiometri- sche), elektrisch leitfähige Titanoxid als Pulver mit einer Teilchengröße von 0,1 bis 50 μm vorliegt. Bei dem TiOx beträgt das x vorzugsweise zwischen 1 ,5 und 1 ,998. Die Materialmischung bzw ein daraus hergestelltes Sputtertarget ist vorzugsweise aus dem Oxidpulver und einem Metallpulver aus der Cobalt-Basis-Legierung gebildet Das Sputtertarget weist vorzugsweise eine Dichte von mindestens 95 % der theoretischen Dichte seines Materials auf Es wird dadurch hergestellt, dass ein Pulver aus einer Cobalt-Basis-Legierung mit einem Tιθχ-Pulver gemischt und die Pulvermischung heißgepresst wird Dabei ist es vorteilhaft, dass die Pulvermischung heißaxial oder heißisostatisch gepresst wird Die erfmdungsgemaßen Mate- πalmischungen fuhren zu Speichermedien mit sehr hoher Kapazität Sie weisen einen TiOx- Anteil von vorzugsweise höchstens 15 mol% auf Eine schmelzmetallurgische Herstellung dieser Mateπalmischungen bzw entsprechender Sputtertargets ist schwierig bis unmöglich, da das keramische TiOx nicht mit der Cobalt-Basis-Legierung legiert Ein mechanisches Einruhren von TιOx-Partιkeln in die Cobalt-Basis-Legierungsschmelze fuhrt in der Regel nicht zu einem homogenen Material Auch pulvermetallurgische Herstellverfahren sind problematisch, da einerseits ein Mischungsproblem zwischen Metallpartikeln und keramischen Partikeln besteht und andererseits ein sputtertechnisches Problem, weil im Falle des Vorhandenseins von elektrisch isolierenden Keramikpartikeln in Sputtertargets Störungen im Sputterprozess auftreten Auch diese Probleme wurden überraschenderweise durch die Erfindung gelost
Nachfolgend wird die Erfindung an einem Ausfuhrungsbeispiel erläutert Es werden 880 g eines inertgasverdusten Pulvers aus einer Cobalt-Chrom-Legierung mit einem Chromanteil von 12 Gew -% mit 120 g eines Pulvers aus vorbehandeltem TiOx über 24 Stunden in einem Taumelmischer gemischt Die Mischung kann auch mit einem anderen üblichen Mischverfahren erfolgen, also beispielsweise mit einer Kugelmühle oder einem Trommelmischer Das TιOx-Pulver wird durch eine Vakuumgluhung in reduzierender Atmosphäre bei einer Temperatur von etwa 1400 0C vorbehandelt Der Sauerstoffgehalt im TιOx-Pulver wird durch die sauerstoffreduzierende Gluhung um etwa 2 Gew -% verringert (gegenüber dem stochiometπ- schen Sauerstoffgehalt) Danach wird das reduzierte TιOx-Pulver mit einem Sieb mit 50 μm Maschenweite gesiebt Das TιOx-Pulver mit einer Teilchengroße von weniger als 50 μm wird mit dem Pulver aus der Cobalt-Chrom-Legierung in einem Taumelmischer 24 Stunden lang homogen vermischt Danach wird das entstandene Gemisch aus der Cobalt-Chrom-Legierung und 9 mol% TiOx in eine Heißpressform gefüllt und in einer Vakuumpresse bei 1100 0C mit einem Pressdruck von 30 MPa verdichtet Das auf diese Weise heißgepresste Sputtertarget aus der beschriebenen Materialmischung (CoCr12 TiOx) besitzt eine relative Dichte von 98,0 % der theoretischen Dichte Eine metallographische Schliffpraparation zeigt eine sehr homogene Verteilung der elektrisch leitfahigen TιOx-Teιlchen in der Cobalt-Legierungs-Matπx Weiteres Beispiel ist auf analoge Weise hergestelltes Co/Pt18at%/Cr10at%/TιOx8mol%
SSR/KU/EC/2006025757

Claims

Patentansprüche
1. Materialmischung, eine Cobalt-Basis-Legierung als überwiegende Komponente aufweisend, dadurch gekennzeichnet, dass sie zusätzlich mindestens TiOx enthält.
2. Materialmischung nach Anspruch 1.dadurch gekennzeichnet, dass TiOx mit x < 2 enthalten ist.
3. Materialmischung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass TiOx mit 1 ,5 < x < 1 ,998 enthalten ist.
4. Materialmischung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das TiOx partikelförmig mit einer Teilchengröße von 0,1 bis 50 μm enthalten ist.
5. Materialmischung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass sie aus einer Mischung eines Metallpulvers mit einem Oxidpulver gebildet ist.
6. Sputtertarget aus einer Materialmischung nach einem der Ansprüche 1 bis 5.
7. Sputtertarget nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass es eine Dichte von mindestens 95 % der theoretischen Dichte aufweist.
8. Verfahren zur Herstellung eines Sputtertargets nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass ein Pulver aus einer Cobalt-Basis-Legierung mit einem Tiθχ-Pulver gemischt und die Pulvermischung heißgepresst wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Pulvermischung heißaxial oder heißisostatisch gepresst wird.
10. Verwendung einer Materialmischung nach einem der Ansprüche 1 bis 5 als Sputtertarget.
SSR/KÜ/EC/2006025757
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