WO2006077782A1 - 多孔質ガラス母材の製造方法及び堆積用バーナ - Google Patents

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    • C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
    • C03B2207/62—Distance

Definitions

  • the present invention relates to a method for producing a porous glass preform and a deposition pan. More specifically, the present invention relates to a deposition pan for depositing glass particles and a method for producing a porous glass base material using the same.
  • a method for producing a porous glass base material used as a material for an optical fiber there is known a method in which a glass raw material is flame-hydrolyzed in an oxyhydrogen flame sprayed from a pan and the generated glass fine particles are deposited. ing.
  • a concentric multi-tube spanner is used as the deposition spanner, and raw material gas, combustion gas, auxiliary combustion gas, and the like are supplied through this.
  • the burner cover is formed on the outer periphery of the burner so that the flame flow generated in front of the burner is not disturbed by the surrounding air flow or the direction of the flame flow does not change.
  • the burner cover provided in the deposition burner preferably has a large burner tip force and a distance to the burner cover tip. On the other hand, if this distance is increased, the burner cover may be damaged by heat due to the PANA flame.
  • glass fine particles (silica) produced by flame hydrolysis may adhere to and grow on the tip of the burner cover, and then reattach to the exfoliated silica particle cartridge deposit. When such silica particles adhere, there is a problem that bubbles are generated when the porous glass base material is sintered and made into transparent glass.
  • Patent Document 2 shows the force to the end of the burner cover necessary to prevent the burner cover from being thermally damaged by the burner flame. But even higher quality In order to manufacture this optical fiber preform, it is necessary to further reduce the irregularity of the refractive index distribution, and to further reduce the flickering of the flame that causes it.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-7834
  • Patent Document 2 Japanese Patent Laid-Open No. 2000-72448
  • an object of the present invention is to provide a deposition burner in which a stable flame flow is obtained and the burner cover is not damaged by heat. It is another object of the present invention to provide a method for producing a porous glass preform that can produce an optical fiber preform with small irregularity of the refractive index distribution and stable characteristics in the longitudinal direction using the deposition panner.
  • a glass raw material is hydrolyzed in an oxyhydrogen flame to produce glass fine particles, and the produced glass fine particles are deposited to produce a porous glass base material.
  • a method for producing a porous glass base material characterized in that a double burner cover is installed on the deposition spanner.
  • the method for producing a porous glass base material of the present invention includes an inner cover and a distance between the tip of the PANANER and the cover so that the cover is not damaged by heat while maintaining the effect of reducing the flame and stabilizing the flame flow.
  • the double inner structure with the outer cover that stabilizes the flame flow by reducing the influence of the turbulence of the air flow in the chamber by increasing the distance between the tip of the pan and the cover tip while increasing the inner diameter to prevent thermal damage.
  • the flame flow can be stabilized without causing problems such as thermal damage of the cover.
  • the obtained porous glass preform is dehydrated and sintered to form a transparent glass, thereby obtaining an optical fiber preform with a small non-circularity of the core and a small refractive index distribution.
  • the double burner cover has an outer diameter of the deposition burner D,
  • the inner diameter of the inner burner cover is L, the axial distance between the tip of the burner and the inner cover is L, the inner diameter of the outer burner cover is D, and the inner cover tip and the outer cover tip
  • the outer cover has a cylindrical shape. As a result, a symmetric flame can be generated and glass particles can be deposited uniformly.
  • the outer cover has a shape obtained by obliquely cutting a cylinder.
  • the soot shape, tip position, etc. can be observed or measured while maintaining the performance of the PANA.
  • gas is allowed to flow between the outer cover and the inner cover. This allows the burner cover to be cooled with gas, further reducing damage from heat.
  • the gas flowing between the outer cover and the inner cover can be any one of an inert gas, air, and oxygen. As a result, the influence on the adhesion of glass particles can be reduced.
  • a deposition pan that hydrolyzes a glass raw material in an oxyhydrogen flame and deposits the generated glass fine particles to produce a porous glass base material.
  • a deposition burner is provided that has a heavy burner cover.
  • the double burner cover reduces the outer diameter of the deposition span D.
  • the inner diameter of the inner burner cover is D
  • the axial distance between the end of the burner and the inner cover is L
  • the inner diameter of the outer burner cover is D
  • the inner and outer cover tips are
  • the outer cover has a cylindrical shape. As a result, a symmetric flame can be generated and glass particles can be deposited uniformly.
  • the outer cover has a shape obtained by cutting a cylinder obliquely. As a result, the soot shape, tip position, etc. can be observed or measured while maintaining the performance of the PANA.
  • the gas force that flows between the outer cover and the inner cover is any of inert gas, air, and oxygen.
  • the burner cover can be cooled and the raw material gas can be supplied simultaneously.
  • the present invention thermal damage to the burner cover can be prevented, and a stable flame flow can be obtained. Therefore, it is possible to manufacture a porous glass base material with small non-circularity and stable characteristics in the longitudinal direction. Furthermore, the obtained porous glass preform is dehydrated and sintered to form a transparent glass, thereby obtaining an optical fiber preform with a small non-circularity of the core and a small refractive index distribution.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a conventional optical fiber preform manufacturing apparatus.
  • FIG. 2 is a schematic sectional view showing an example of a production apparatus used in the present invention.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an outer cover having a cylindrical shape.
  • FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing an outer cover having a shape obtained by obliquely cutting a cylinder at an end.
  • FIG. 1 schematically shows an example of an apparatus for producing a porous glass base material by the VAD method.
  • a quartz substrate 2 as an upper force deposition target is suspended, and a deposition pan 4 having a burner cover 3 is disposed obliquely upward in a downward force.
  • the deposition panner 4 includes the core raw material, tetra-salt silicon (SiCl), and the dopepan that adjusts the refractive index.
  • a raw material line such as tetrasalt ⁇ germanium (GeCl) as a catalyst, and hydrogen for oxyhydrogen flame
  • a gas line such as gas or oxygen gas is connected, and the glass fine particles generated by the flame hydrolysis are deposited on the quartz substrate to form the soot deposit 5.
  • Exhaust gas is discharged from the exhaust port 6 to the outside of the system.
  • the deposition burner 4 is provided with a burner cover 3 in order to stabilize the flame flow.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an example of an apparatus for producing a porous glass base material provided with a deposition pan according to the present invention.
  • a deposition pan 4 having an inner force bar 31 and an outer cover 32 facing downward and obliquely upward.
  • the deposition pan 4 includes silicon tetrachloride (SiCl) as a core material and a dopant that controls the refractive index.
  • Raw material lines such as tetra-salt ⁇ germanium (GeCl) as a coolant, and H gas for oxyhydrogen flame
  • a gas line such as O gas is connected. From the deposition pan 4 toward the target
  • soot deposit body 5 containing is formed, dehydrated in an electric furnace, and sintered to form a transparent glass, whereby an optical fiber preform is obtained.
  • the outer diameter of the deposition spanner 4 is D and the inner cover 31
  • the diameter is D
  • the axial distance between the end of the PANANER and the inner cover 31 is L
  • the inner diameter of the outer cover 32 is D
  • the axial distance between the inner cover 31 and the outer cover 32 is L.
  • the ratio of the inner diameter D of the inner cover to the outer diameter D of the PANA is 1.3 or more.
  • the flame can be squeezed and the flame flow can be stabilized.
  • the above equation (2) is the distance in the axial direction between the tip of the PANA and the tip of the inner cover with respect to the PANANER outer diameter D.
  • the ratio of the separation L is set to 1.2 to 2.5. By keeping the ratio within this range, thermal damage to the inner cover can be prevented.
  • the ratio of the inner diameter D of the outer cover to the outer diameter D of the PANA is 1.6 to 3.2.
  • the above equation (4) is obtained by setting the ratio of the axial distance L between the front end of the inner cover and the front end of the outer cover to the axial distance between the front end of the panner and the front end of the inner cover to 1.2 or more.
  • the influence of the turbulence of the airflow in the bar can be reduced, and the flame flow can be stabilized.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating the shape of the outer cover 32. As shown in the figure, the outer cover 32
  • FIG. 4 is a diagram illustrating another shape of the outer cover 32. As shown in the figure, the tip of the outer force bar 32 is cut obliquely so as to be inclined with respect to the axis.
  • the deposition pan 4 can be placed in an inclined state. As a result, the height of the entire manufacturing apparatus can be suppressed, and the degree of freedom in layout increases.
  • the porous glass base material 5 was manufactured using the apparatus shown in FIG.
  • the outer diameter D of the deposition burner 4 used is 20 mm.
  • Example 1-7 24 hours deposition was carried out (Examples 1-7). The results are shown in Table 1.
  • the comparative example is an example using a conventional single cover panner without the outer cover 32.
  • the outer diameter D of the deposition panner was set to 20 mm, and the dimensions of the outer cover were changed.
  • a porous glass base material was manufactured under the same conditions as in Examples 1 to 7 above.
  • the results are shown in Table 2.
  • the comparative example is an example using a conventional single cover panner without an outer cover.
  • Example 9 if the inner diameter of the outer cover is small, the cover is damaged (Example 9). The inner diameter of the outer cover is too large (Example 12). When the directional distance L is short, the flame stability is deteriorated (Example 13). Example 14 is
  • the axial distance between the inner cover tip and the outer cover tip was increased to the extent that the soot deposit tip position was covered, but no problem occurred.
  • an optical fiber preform with stable characteristics in the longitudinal direction can be obtained.

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Abstract

【課題】バーナカバーが熱で損傷することなく、安定した火炎流が得られ、屈折率分布の不整が小さく長手方向に特性の安定した光ファイバ母材を得る。 【解決手段】ガラス原料を酸水素火炎中で加水分解してガラス微粒子を生成し、生成したガラス微粒子を堆積して多孔質ガラス母材を製造する方法において、堆積用バーナ４に、内側カバー３１および外側カバー３２の二重のバーナカバーを設置する。堆積用バーナ４の外径をＤ０、内側カバー３１の内径をＤ１、堆積用バーナ４先端および内側カバー３１先端の軸方向距離をＬ１、外側カバー３２の内径をＤ２、及び内側カバー３１先端および外側カバー３２先端との軸方向距離をＬ２とするとき、（１）（Ｄ１／Ｄ０）≦１．３、（２）１．２≦（Ｌ１／Ｄ０）≦２．５、（３）１．６≦（Ｄ２／Ｄ０）≦３．２、（４）１．２≦（Ｌ２／Ｌ１）、の各式を満たすように設けられている。

Description

明 細 書
多孔質ガラス母材の製造方法及び堆積用パーナ
技術分野
[0001] 本発明は、多孔質ガラス母材の製造方法及び堆積用パーナに関する。より詳細に は、ガラス微粒子を堆積させる堆積用パーナと、それを用いた多孔質ガラス母材の製 造方法に関する。
[0002] なお、文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記特許出願 の明細書に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本件明細書の記載の 一部とする。
特願 2005— 011740号 出願曰 2005年 1月 19曰
背景技術
[0003] 光ファイバの材料となる多孔質ガラス母材の製造方法として、パーナから噴射され る酸水素火炎中でガラス原料を火炎加水分解し、生成されたガラス微粒子を堆積さ せる方法が知られている。
[0004] 一般に、堆積用パーナには同心多重管パーナが用いられ、これを介して原料ガス 、燃焼ガス及び助燃ガス等が供給される。また、特許文献 1に記載されているように、 パーナの前方に生成される火炎流が周囲の気流で乱され、あるいは、火炎流の方向 が変化しな 、ように、パーナの外周にバーナカバーが設けることも実施されて！、る。
[0005] 堆積用パーナに設けられたバーナカバーは、火炎流を安定化させるために、バー ナ先端力もバーナカバー先端までの距離を大きくとることが好ましい。一方、この距 離を大きくとると、パーナ火炎によりバーナカバーが熱で損傷する場合がある。また、 火炎加水分解で生成したガラス微粒子 (シリカ）がバーナカバー先端に付着成長し、 更に、その後剥離したシリカ粒カ^ート堆積体に再付着する場合がある。このようなシ リカ粒が付着すると、多孔質ガラス母材を焼結'透明ガラス化するときに、気泡発生の 原因となるという問題もある。
[0006] 特許文献 2には、パーナ火炎によるバーナカバーの熱損傷を防ぐために必要な、 パーナ先端力 バーナカバー先端までの距離が示されている。しかし、さらに高品質 の光ファイバ用プリフォームを製造するためには、屈折率分布の不整をよりいっそう 低減する必要があり、その原因となる火炎のバタツキをさらに低減させる必要がある。
[0007] 特許文献 1 :特開昭 57— 7834号公報
特許文献 2：特開 2000— 72448号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0008] 上記したように、火炎流を安定化させる目的でパーナ先端とバーナカバー先端の 距離を大きくすると、カバー自体が熱損傷を受ける場合がある。他方、パーナ先端と バーナカバー先端の距離を小さくすると、火炎流を安定化させる効果が得られな！/、。
[0009] そこで本発明は、安定した火炎流が得られ、且つ、バーナカバーが熱で損傷するこ とのない堆積用パーナを提供することを目的としている。また、その堆積用パーナを 用いて、屈折率分布の不整が小さく長手方向に特性の安定した光ファイバ母材を製 造できる多孔質ガラス母材の製造方法を提供することも目的とする。
課題を解決するための手段
[0010] 本発明の第 1の形態として、ガラス原料を酸水素火炎中で加水分解してガラス微粒 子を生成し、生成したガラス微粒子を堆積して多孔質ガラス母材を製造する方法で あって、堆積用パーナに二重のバーナカバーを設置することを特徴とする多孔質ガ ラス母材の製造方法が提供される。本発明の多孔質ガラス母材の製造方法は、火炎 を絞り、火炎流を安定化させる効果を維持しながら、パーナ先端とカバー先端の距離 をカバーが熱損傷を受けない程度とする内側カバーと、内径を大きくして熱損傷を防 ぎながら、パーナ先端とカバー先端の距離を大きくとることによりチャンバ内の気流の 乱れの影響を小さくし、火炎流を安定化させる外側カバーとの二重構造とすることで 、カバーの熱損傷等の問題が発生することなぐ火炎流を安定させることができる。こ れにより、カバーを熱で損傷させることなく火炎流を安定化させ、非円度が小さく長手 方向に特性の安定した多孔質ガラス母材を製造できる。更に、得られた多孔質ガラス 母材を脱水、焼結し、透明ガラス化することで、コアの非円度が小さぐ屈折率分布の 不整の小さな光ファイバ母材が得られる。
[0011] また、上記製造方法にお!、て、二重のバーナカバーが堆積用パーナの外径を D、 内側のバーナカバーの内径を 、パーナ先端と内側カバー先端との軸方向距離を L、外側のバーナカバーの内径を D、さらに内側カバー先端と外側カバー先端との
1 2
軸方向距離を Lとするとき、
2
(1) (D ZD )≤1. 3、
1 0
(2) 1. 2≤(L /Ό )≤2. 5、
1 0
(3) 1. 6≤(D /D )≤3. 2、
2 0
(4) 1. 2≤(L ZL )、
2 1
の各式を満たすように設けられている。これにより、火炎の安定と、バーナカバーの損 傷防止を高 、レベルで両立させることができる。
[0012] また、上記製造方法において、外側カバーが円筒形を有する。これにより、対称形 の火炎を生成させ、ガラス微粒子を均一に堆積させることができる。
[0013] また、上記製造方法において、外側カバーが円筒を斜めにカットした形状を有する
。これにより、パーナの性能を維持しながら、スート形状、先端位置等を観察または測 定できる。
[0014] また、上記製造方法において、外側カバーと内側カバーとの間にガスを流す。これ により、バーナカバーをガスで冷却させて、熱による損傷を一段と軽減できる。
[0015] 更に、上記製造方法において、外側カバーと内側カバーとの間に流すガスは、不 活性ガス、空気又は酸素のいずれかとすることができる。これにより、ガラス微粒子の 付着に与える影響を小さくできる。
[0016] また、本発明の第 2の形態として、ガラス原料を酸水素火炎中で加水分解し、生成 したガラス微粒子を堆積して多孔質ガラス母材を製造する堆積用パーナであって、 二重のバーナカバーを有することを特徴とする堆積用パーナが提供される。この堆 積用パーナを用いることにより、従来の製造設備を用いて前記した効果が得られる。
[0017] 上記、堆積用パーナにおいて、二重のバーナカバーが堆積用パーナの外径を D
0
、内側のバーナカバーの内径を D、パーナ先端と内側カバー先端との軸方向距離 を L、外側のバーナカバーの内径を D、及び内側カバー先端と外側カバー先端と
1 2
の軸方向距離を Lとするとき、
2
(1) (D ZD )≤1. 3、 (2) 1. 2≤ (L /Ό )≤2. 5、
1 0
(3) 1. 6≤(D ZD )≤3. 2、
2 0
(4) 1. 2≤(L ZL )、
2 1
の各式を満たす。これにより、火炎の安定と、バーナカバーの損傷防止を高いレベル で両立させることができる。
[0018] また、上記堆積用パーナにおいて、外側カバーが円筒形を有する。これにより、対 称形の火炎を生成させ、ガラス微粒子を均一に堆積させることができる。
[0019] また、上記堆積用パーナにおいて、外側カバーが円筒を斜めにカットした形状を有 する。これにより、パーナの性能を維持しながら、スート形状、先端位置等を観察また は測定できる。
[0020] また、上記堆積用パーナにおいて、外側カバーと内側カバーとの間にガスを流す。
これにより、これにより、ガラス微粒子の付着に与える影響を小さくできる。
[0021] また、上記堆積用パーナにおいて、外側カバーと内側カバーとの間に流すガス力 不活性ガス、空気又は酸素のいずれかである。これにより、バーナカバーの冷却と原 料ガスの供給を同時に行うことができる。
[0022] ただし、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではな
V、。これらの特徴群のサブコンビネーションもまた発明となり得る。
発明の効果
[0023] 本発明によれば、バーナカバーの熱損傷を防止することができ、かつ安定した火炎 流が得られる。従って、非円度が小さく長手方向に特性の安定した多孔質ガラス母 材を製造できる。更に、得られた多孔質ガラス母材を脱水、焼結し、透明ガラス化す ることで、コアの非円度が小さぐ屈折率分布の不整の小さな光ファイバ母材が得ら れる。
図面の簡単な説明
[0024] [図 1]従来の光ファイバ母材の製造装置の一例を示す概略断面図である。
[図 2]本発明で使用した製造装置の一例を示す概略断面図である。
[図 3]円筒形状を有する外側カバーを示す概略断面図である。
[図 4]端部が円筒を斜めに切断した形状を有する外側カバーを示す概略断面図であ る。
符号の説明
[0025] 1 石英製チャンバ、 2 石英基材、 3 バーナカバー、 31 内側カバー、 32 外側力 バー、 4 堆積用パーナ、 5 スート堆積体、 6 排気口
発明を実施するための最良の形態
[0026] 以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明する。ただし、以下の実施形態は 請求の範隨こかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明され て 、る特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らな 、。
[0027] 図 1に VAD法による多孔質ガラス母材を製造する装置の一例を模式的に示した。
石英製チャンバ 1内に、上方力 堆積ターゲットである石英基材 2が吊り下げられ、下 方力 斜め上方に向けてバーナカバー 3を有する堆積用パーナ 4が配設されている 。堆積用パーナ 4には、コア原料の四塩ィ匕珪素（SiCl )、屈折率を調整するドーパン
4
トとしての四塩ィ匕ゲルマニウム (GeCl )等の原料ライン、さらに、酸水素火炎用水素
4
ガス、酸素ガス等のガスラインが接続され、火炎加水分解で生成したガラス微粒子は 、石英基材上に堆積され、スート堆積体 5が形成される。排気ガスは、排気口 6から系 外に排出される。
[0028] 堆積用パーナ 4には、火炎流を安定ィ匕させるためにバーナカバー 3が設けられる。
また、火炎流を安定化させるには、パーナ先端力 バーナカバー先端までの距離を 大きくとることが好ましい。
[0029] ただし、この距離を大きくとると、パーナ火炎の前方に生成される火炎により、バー ナカバーが熱で損傷し、あるいは、バーナカバー先端に火炎加水分解で生成したガ ラス微粒子 (シリカ）が付着成長し、その後剥離したシリカ粒カ^ート堆積体に再付着 して、焼結 ·透明ガラス化時に生じる気泡発生の原因となるなどの問題があった。
[0030] このため、火炎を絞り、チャンバ内の気流の乱れの影響を防ぐと同時に、カバーの 熱損傷を防ぎ、更に、カバーに付着したシリカの成長を防止するためには、それぞれ の問題点発生が小さくなる条件でバランスさせるしかない。
[0031] し力しながら、火炎を絞ることを目的とするカバーと、気流の乱れの影響を抑えるこ とを目的とするカバーとにその役割を分担させることにより、気流の制御とカバーの損 傷回避を両立し得ることが判った。
[0032] 図 2は、本発明の堆積用パーナを備えた多孔質ガラス母材の製造装置の一例を示 す概略断面図である。石英製チャンバ 1内には、下方力 斜め上方に向けて内側力 バー 31と外側カバー 32を有する堆積用パーナ 4が配設されている。
[0033] 堆積用パーナ 4には、コア原料の四塩化珪素（SiCl )や、屈折率を制御するドーパ
4
ントとしての四塩ィ匕ゲルマニウム（GeCl )等の原料ライン、及び酸水素火炎用 Hガス
4 2
、 Oガス等のガスラインが接続されている。ターゲット部に向けて堆積用パーナ 4から
2
原料と燃料ガスを噴きつけて、火炎加水分解で生成したガラス微粒子を軸方向に堆 積させていくとともに、石英基材 2を回転させながら引き上げ、屈折率の高いコアと屈 折率の低いクラッドを含むスート堆積体 5を形成し、これを電気炉内で脱水し、焼結' 透明ガラス化して、光ファイバ母材が得られる。
[0034] 上記の堆積用パーナにおいて、堆積用パーナ 4の外径を D、内側カバー 31の内
0
径を D、パーナ先端と内側カバー 31先端との軸方向距離を L、外側カバー 32の内 径を D、及び内側カバー 31先端および外側カバー 32先端の軸方向距離を Lとす
2 2 るとさ、
(1) (D ZD )≤1. 3、
1 0
(2) 1. 2≤(L /D )≤2. 5、
1 0
(3) 1. 6≤(D /D )≤3. 2、
2 0
(4) 1. 2≤(L ZL )、
2 1
の各式を満たすように設けられて 、る。
[0035] なお、上記（1)式は、パーナ外径 Dに対する内側カバーの内径 Dの比を 1. 3以
0 1
下とすることにより、火炎を絞り、火炎流を安定化させることができる。
[0036] 上記（2)式は、パーナ外径 Dに対するパーナ先端と内側カバー先端との軸方向距
0
離 Lの比を 1. 2〜2. 5とするものであり、この範囲内に収めることにより、内側カバー の熱損傷を防止することができる。
[0037] 上記（3)式は、パーナ外径 Dに対する外側カバーの内径 Dの比を 1. 6〜3. 2と
0 2
するものであり、この範囲内に収めることにより、外側カバーの熱損傷を防止すること ができる。 [0038] 上記 (4)式は、パーナ先端と内側カバー先端との軸方向距離 に対する内側カバ 一先端と外側カバー先端との軸方向距離 Lの比を 1. 2以上とすることにより、チャン
2
バ内の気流の乱れの影響を小さくし、火炎流を安定化させることができる。
[0039] 図 3は、外側カバー 32の形状を例示する図である。同図に示すように、外側カバー
32は、パーナ 4と同軸の円筒とすることができる。これにより、対称形の火炎が形成さ れるので、ガラス微粒子を均一に堆積させやすくなる。
[0040] 図 4は、外側カバー 32の他の形状を例示する図である。同図に示すように、外側力 バー 32の先端を、軸芯に対して傾斜するように斜めに切断した形状とすることにより
、堆積用パーナ 4を傾斜した状態で配置できる。これにより、製造装置全体の高さを 抑制でき、レイアウトの自由度が増す。
[0041] 二重に設けられた外側カバーと内側カバーとの間に、不活性ガス又は空気や酸素 などのガスを流すことにより、さらにバーナカバーの熱損傷を防止することができる。
[0042] 以下、実施例、比較例を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれら に限定されず様々な態様が可能である。
実施例
[0043] (実施例 1〜7、比較例）
図 2に示す装置を用いて多孔質ガラス母材 5の製造を行った。使用した堆積用バ ーナ 4の外径 Dは 20mmであり、内側カバー 31の寸法を変えることでパーナ条件を
0
変え、 24時間の堆積を行った (実施例 1〜7)。その結果を表 1に示した。なお、比較 例は、従来の外側カバー 32の無い一重カバーのパーナを使用した例である。
[0044] [表 1]
Di/Do L1/D0 D2/D0 L2/Li カバ一の様子 火炎安定性 比較例 1.05 1.5 — — 問題なし バタツキ有り 実施例 1 1.05 1.5 2.0 2.3 問題なし 問題なし 実施例 2 1.20 1.5 2.0 2.3 問題なし 問題なし 実施例 3 1.35 1.5 2.0 2.3 問題なし バタツキ有り 実施例 4 1.05 1.0 2.0 3.5 問題なし バタツキ有り 実施例 5 1.05 1.2 2.0 2.9 問題なし 問題なし 実施例 6 1.05 2.5 2.0 1.4 問題なし 問題なし 実施例 7 1.05 2.7 2.0 1.3 損傷有り 問題なし
[0045] 表 1から、内側カバー 31に加えて外側カバー 32を使用することで、火炎安定性が 向上していることが認められる。なお、内側カバーの内径が大きすぎたり（実施例 3)、 パーナ先端と内側カバー先端との軸方向距離 Lが短いと火炎安定性は悪くなり（実 施例 4)、 Lを長くすると、カバーに熱損傷が認められる（実施例 7)。
[0046] また、上記表 1に示す結果から、堆積用パーナ 4、内側カバー 31および外側カバ 一 32の関係において、下記の式を満たす範囲とすることが好ましいことが判る。
(1) (D ZD )≤1. 3
1 0 、
(2) 1. 2≤(L /Ό )≤2. 5
1 0 、
[0047] (実施例 8〜16、比較例）
次に、堆積用パーナの外径 Dは 20mmとし、外側カバーの寸法条件を変更した以
0
外は、上記実施例 1〜7と同じ条件で多孔質ガラス母材の製造を行った。その結果を 表 2に示した。なお、比較例は、外側カバーの無い従来の一重カバーのパーナを使 用した例である。
[0048] [表 2] Di/Do L1/D0 D2/D0 L2/Li カバーの様子 火炎安定性 比較例 1.05 1.5 — — 問題なし バタツキ有り 実施例 8 1.05 1,5 2.0 1.2 問題なし 問題なし 実施例 9 1.05 1.5 1.5 1.2 損傷有り 問題なし 実施例 10 1.05 1.5 1.6 1.2 問題なし 。コ Isなし 実施例 11 1.05 1.5 3.1 1.2 問題なし 問題なし 実施例 12 1.05 1.5 3.3 1.2 問題なし バタツキ有り 実施例 13 1.05 1.5 2.0 1.1 問題なし バタツキ有り 実施例 14 1.05 1.5 2.0 1.7 問題なし 問題なし
[0049] 表 2から、外側カバーの内径が小さいとカバーに損傷が認められ (実施例 9)、外側 カバーの内径が大きすぎたり（実施例 12)、内側カバー先端と外側カバー先端との軸 方向距離 Lが短いと火炎安定性は悪くなつている（実施例 13)。なお、実施例 14は
2
、スート堆積体先端位置を覆う程度まで、内側カバー先端と外側カバー先端との軸 方向距離を Lを大きくしたが、問題は発生しなかった。
2
[0050] また、上記表 1に示す結果から、堆積用パーナ 4、内側カバー 31および外側カバ 一 32の関係において、下記の式を満たす範囲とすることが好ましいことが判る。
(3) 1.6≤ (D /Ό )≤3. 2
2 0 、
(4) 1. 2≤(L ZL )、
2 1
産業上の利用可能性
[0051] 本発明によれば、長手方向に特性の安定した光ファイバ母材が得られる。

Claims

請求の範囲 [1] ガラス原料を酸水素火炎中で加水分解してガラス微粒子を生成し、生成したガラス 微粒子を堆積して多孔質ガラス母材を製造する方法において、堆積用パーナに二 重のバーナカバーを設置することを特徴とする多孔質ガラス母材の製造方法。 [2] 前記二重のバーナカバーが堆積用パーナの外径を D、内側のバーナカバーの内 0 径を D、パーナ先端と内側カバー先端との軸方向距離を L、外側のバーナカバー の内径を D、さらに内側カバー先端と外側カバー先端との軸方向距離を Lとすると 2 2 さ、
(1) (D ZD )≤1. 3、
1 0
(2) 1. 2≤(L /Ό )≤2. 5、
1 0
(3) 1. 6≤(D /D )≤3. 2、
2 0
(4) 1. 2≤(L ZL
2 1)、
の各式を満たすように設けられて 、る請求項 1に記載の多孔質ガラス母材の製造方 法。
[3] 外側カバーが円筒形を有する請求項 1又は 2に記載の多孔質ガラス母材の製造方 法。
[4] 外側カバーが円筒を斜めにカットした形状を有する請求項 1乃至 3のいずれかに記 載の多孔質ガラス母材の製造方法。
[5] 外側カバーと内側カバーとの間にガスを流す請求項 1乃至 4のいずれかに記載の 多孔質ガラス母材の製造方法。
[6] 外側カバーと内側カバーとの間に流すガス力 不活性ガス、空気又は酸素のいず れかである請求項 1乃至 5のいずれかに記載の多孔質ガラス母材の製造方法。
[7] ガラス原料を酸水素火炎中で加水分解し、生成したガラス微粒子を堆積して多孔 質ガラス母材を製造する堆積用パーナであって、二重のバーナカバーを有すること を特徴とする堆積用パーナ。
[8] 前記二重のバーナカバーが堆積用パーナの外径を D、内側のバーナカバーの内
0
径を D、パーナ先端と内側カバー先端との軸方向距離を L、外側のバーナカバー の内径を D、及び内側カバー先端と外側カバー先端との軸方向距離を Lとするとき (1) (D ZD )≤1. 3、
1 0
(2) 1. 2≤(L ZD )≤2. 5、
1 0
(3) 1. 6≤(D /D )≤3. 2、
2 0
(4) 1. 2≤(L ZL )、
2 1
の各式を満たすように設けられてなる請求項 7に記載の堆積用パーナ。
[9] 外側カバーが円筒形を有する請求項 7又は 8に記載の堆積用パーナ。
[10] 外側カバーが円筒を斜めにカットした形状を有する請求項 7乃至 9のいずれかに記 載の堆積用パーナ。
[11] 外側カバーと内側カバーとの間にガスを流す請求項 7乃至 10のいずれかに記載の 堆積用パーナ。
[12] 外側カバーと内側カバーとの間に流すガス力 不活性ガス、空気又は酸素のいず れかである請求項 7乃至 11のいずれかに記載の堆積用パーナ。
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