JP2006199527A - 多孔質ガラス母材の製造方法及び堆積用バーナ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ガラス原料を酸水素火炎中で加水分解してガラス微粒子を生成し、生成したガラス微粒子を堆積して多孔質ガラス母材を製造する方法において、堆積用バーナに二重のバーナカバーを設置することを特徴としている。堆積用バーナは、二重のバーナカバーを有しており、バーナの外径をD0、内側のバーナカバーの内径をD1、バーナ先端と内側カバー先端との軸方向距離をL1、外側のバーナカバーの内径をD2、及び内側カバー先端と外側カバー先端との軸方向距離をL2とするとき、(1)(D1/D0)≦1.3、(2)1.2≦(L1/D0)≦2.5、(3)1.6≦(D2/D0)≦3.2、(4)1.2≦(L2/L1)、の各式を満たすように設けられている。
【選択図】 図2
Description
一般に、バーナには同心多重管バーナが用いられ、ガラス原料ガス、燃焼ガス及び助燃ガスが供給され、生成した火炎流が周囲の気流で乱されたり、火炎流の方向が変化しないように、バーナの外周にバーナカバーが設けられている(特許文献1参照)。
そこで本発明は、バーナカバーが熱で損傷することなく、安定した火炎流が得られ、屈折率分布の不整が小さく長手方向に特性の安定した光ファイバ母材が得られる多孔質ガラス母材の製造方法及び堆積用バーナを提供することを目的としている。
(1)(D1/D0)≦1.3、
(2)1.2≦(L1/D0)≦2.5、
(3)1.6≦(D2/D0)≦3.2、
(4)1.2≦(L2/L1)、
の各式を満たすように設けられている。
そこで本発明は、火炎を絞ることを目的とするカバーと、気流の乱れの影響を抑えることを目的とするカバーとにその役割を分担させることに着目し、バーナカバーを内側カバーと外側カバーからなる二重構造とすることにより問題を解決したものである。
得られた多孔質ガラス母材を脱水、焼結し、透明ガラス化することで、コアの非円度が小さく、屈折率分布の不整の小さな光ファイバ母材が得られる。
(1)(D1/D0)≦1.3、
(2)1.2≦(L1/D0)≦2.5、
(3)1.6≦(D2/D0)≦3.2、
(4)1.2≦(L2/L1)、の各式を満たすように設けられている。
上記(2)式は、バーナ外径D0に対するバーナ先端と内側カバー先端との軸方向距離L1の比を1.2〜2.5とするものであり、この範囲内に収めることにより、内側カバーの熱損傷を防止することができる。
上記(3)式は、バーナ外径D0に対する外側カバーの内径D2の比を1.6〜3.2とするものであり、この範囲内に収めることにより、外側カバーの熱損傷を防止することができる。
上記(4)式は、バーナ先端と内側カバー先端との軸方向距離L1に対する内側カバー先端と外側カバー先端との軸方向距離L2の比を1.2以上とすることにより、チャンバー内の気流の乱れの影響を小さくし、火炎流を安定化させることができる。
コア堆積用バーナ4には、コア原料の四塩化珪素(SiCl4)や、屈折率を制御するドーパントとしての四塩化ゲルマニウム(GeCl4)等の原料ライン、及び酸水素火炎用H2ガス、O2ガス等のガスラインが接続されている。ターゲット部に向けてバーナ4から原料と燃料ガスを噴きつけて、火炎加水分解で生成したガラス微粒子を軸方向に堆積させていくとともに、石英基材2を回転させながら引き上げ、屈折率の高いコアと屈折率の低いクラッドからなるスート堆積体5を形成し、これを電気炉内で脱水し、焼結・透明ガラス化して、光ファイバ母材が得られる。
二重に設けられた外側カバーと内側カバーとの間に、不活性ガス又は空気や酸素などのガスを流すことにより、さらにバーナカバーの熱損傷を防止することができる。
以下、実施例、比較例を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されず様々な態様が可能である。
図2に示す装置を用いて多孔質ガラス母材の製造を行った。使用した堆積用バーナの外径D0は20mmであり、内側カバーの寸法を変えることでバーナ条件を変え、24時間の堆積を行った(実施例1〜7)。その結果を表1に示した。なお、比較例は、従来の外側カバーの無い一重カバーのバーナを使用した例である。
次に、堆積用バーナの外径D0は20mmとし、外側カバーの寸法条件を変更した以外は、上記実施例1〜7と同じ条件で多孔質ガラス母材の製造を行った。その結果を表2に示した。なお、比較例は、外側カバーの無い従来の一重カバーのバーナを使用した例である。
2…石英基材、
3…バーナカバー、
3a…内側カバー、
3b…外側カバー、
4…コア堆積用バーナ、
5…スート堆積体、
6…排気口。
Claims (12)
- ガラス原料を酸水素火炎中で加水分解してガラス微粒子を生成し、生成したガラス微粒子を堆積して多孔質ガラス母材を製造する方法において、堆積用バーナに二重のバーナカバーを設置することを特徴とする多孔質ガラス母材の製造方法。
- 前記二重のバーナカバーが堆積用バーナの外径をD0、内側のバーナカバーの内径をD1、バーナ先端と内側カバー先端との軸方向距離をL1、外側のバーナカバーの内径をD2、さらに内側カバー先端と外側カバー先端との軸方向距離をL2とするとき、
(1)(D1/D0)≦1.3、
(2)1.2≦(L1/D0)≦2.5、
(3)1.6≦(D2/D0)≦3.2、
(4)1. 2≦(L2/L1)、
の各式を満たすように設けられている請求項1に記載の多孔質ガラス母材の製造方法。 - 外側カバーが円筒形を有する請求項1又は2に記載の多孔質ガラス母材の製造方法。
- 外側カバーが円筒を斜めにカットした形状を有する請求項1乃至3のいずれかに記載の多孔質ガラス母材の製造方法。
- 外側カバーと内側カバーとの間にガスを流す請求項1乃至4のいずれかに記載の多孔質ガラス母材の製造方法。
- 外側カバーと内側カバーとの間に流すガスが、不活性ガス、空気又は酸素のいずれかである請求項1乃至5のいずれかに記載の多孔質ガラス母材の製造方法。
- ガラス原料を酸水素火炎中で加水分解し、生成したガラス微粒子を堆積して多孔質ガラス母材を製造する堆積用バーナであって、二重のバーナカバーを有することを特徴とする堆積用バーナ。
- 前記二重のバーナカバーが堆積用バーナの外径をD0、内側のバーナカバーの内径をD1、バーナ先端と内側カバー先端との軸方向距離をL1、外側のバーナカバーの内径をD2、及び内側カバー先端と外側カバー先端との軸方向距離をL2とするとき、
(1)(D1/D0)≦1.3、
(2)1.2≦(L1/D0)≦2.5、
(3)1.6≦(D2/D0)≦3.2、
(4)1.2≦(L2/L1)、
の各式を満たすように設けられてなる請求項7に記載の堆積用バーナ。 - 外側カバーが円筒形を有する請求項7又は8に記載の堆積用バーナ。
- 外側カバーが円筒を斜めにカットした形状を有する請求項7乃至9のいずれかに記載の堆積用バーナ。
- 外側カバーと内側カバーとの間にガスを流す請求項7乃至10のいずれかに記載の堆積用バーナ。
- 外側カバーと内側カバーとの間に流すガスが、不活性ガス、空気又は酸素のいずれかである請求項7乃至11のいずれかに記載の堆積用バーナ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005011740A JP4900762B2 (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 多孔質ガラス母材の製造方法及び堆積用バーナ |
PCT/JP2006/300390 WO2006077782A1 (ja) | 2005-01-19 | 2006-01-13 | 多孔質ガラス母材の製造方法及び堆積用バーナ |
TW095101873A TW200628424A (en) | 2005-01-19 | 2006-01-18 | Manufacturing method of porous glass base material and burner for deposition |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005011740A JP4900762B2 (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 多孔質ガラス母材の製造方法及び堆積用バーナ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006199527A true JP2006199527A (ja) | 2006-08-03 |
JP4900762B2 JP4900762B2 (ja) | 2012-03-21 |
Family
ID=36692172
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005011740A Active JP4900762B2 (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 多孔質ガラス母材の製造方法及び堆積用バーナ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4900762B2 (ja) |
TW (1) | TW200628424A (ja) |
WO (1) | WO2006077782A1 (ja) |
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-
2005
- 2005-01-19 JP JP2005011740A patent/JP4900762B2/ja active Active
-
2006
- 2006-01-13 WO PCT/JP2006/300390 patent/WO2006077782A1/ja not_active Application Discontinuation
- 2006-01-18 TW TW095101873A patent/TW200628424A/zh unknown
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006077782A1 (ja) | 2006-07-27 |
TW200628424A (en) | 2006-08-16 |
JP4900762B2 (ja) | 2012-03-21 |
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