JP2001089179A - 光ファイバ用多孔質母材の製造装置 - Google Patents
光ファイバ用多孔質母材の製造装置Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】長手方向の如何なる所でも径方向の屈折率分布
が均一な光ファイバ用多孔質母材を製造する、光ファイ
バ用多孔質母材の製造装置を提供すること。 【解決手段】ガラス微粒子を生成するためのバーナと、
前記生成したガラス微粒子を堆積させるターゲット棒
と、該ターゲット棒を覆い囲む反応室とを具備して成る
光ファイバ用多孔質母材の製造装置において、前記反応
室上部に引き上げ用筐体を設け、且つ前記反応室に第一
排気管を具備し、また前記引き上げ用筐体に第二排気管
を具備したことにある。
が均一な光ファイバ用多孔質母材を製造する、光ファイ
バ用多孔質母材の製造装置を提供すること。 【解決手段】ガラス微粒子を生成するためのバーナと、
前記生成したガラス微粒子を堆積させるターゲット棒
と、該ターゲット棒を覆い囲む反応室とを具備して成る
光ファイバ用多孔質母材の製造装置において、前記反応
室上部に引き上げ用筐体を設け、且つ前記反応室に第一
排気管を具備し、また前記引き上げ用筐体に第二排気管
を具備したことにある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ用多孔
質母材の製造装置、特にフッ素を多孔質母材の長手方向
で均一に添加することが可能な光ファイバ用多孔質母材
の製造装置に関するものである。
質母材の製造装置、特にフッ素を多孔質母材の長手方向
で均一に添加することが可能な光ファイバ用多孔質母材
の製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ用多孔質母材の製造法の一つ
にＶＡＤ（Vapor Axial-Phase Deposition）法がある。
ＶＡＤ法では、バーナにより酸水素火炎を生じさせ、そ
の中に四塩化珪素などのガラスの原料ガスを送り込み、
加水分解反応によってガラス微粒子を生成させ、これを
ターゲット棒に堆積させる。ガラス微粒子が堆積された
ターゲット棒は一定の速度で引き上げられ、光ファイバ
用多孔質母材が製造される。
にＶＡＤ（Vapor Axial-Phase Deposition）法がある。
ＶＡＤ法では、バーナにより酸水素火炎を生じさせ、そ
の中に四塩化珪素などのガラスの原料ガスを送り込み、
加水分解反応によってガラス微粒子を生成させ、これを
ターゲット棒に堆積させる。ガラス微粒子が堆積された
ターゲット棒は一定の速度で引き上げられ、光ファイバ
用多孔質母材が製造される。
【０００３】得られた光ファイバ用多孔質母材を焼結
し、その後線引することにより光ファイバを得ることが
できる。光ファイバが所望の特性を有するように、コア
及びクラッドの屈折率を高めたり、または低めたりする
添加物を四塩化珪素などのガラスの原料に添加する。屈
折率を下げるものとしてフッ素化合物ガス（例えば四フ
ッ化珪素）などが用いられる。
し、その後線引することにより光ファイバを得ることが
できる。光ファイバが所望の特性を有するように、コア
及びクラッドの屈折率を高めたり、または低めたりする
添加物を四塩化珪素などのガラスの原料に添加する。屈
折率を下げるものとしてフッ素化合物ガス（例えば四フ
ッ化珪素）などが用いられる。
【０００４】光ファイバはコアとクラッドより成り、コ
アの屈折率はクラッドの屈折率より僅かに高くなるよう
に構成されている。一般にコアに、屈折率を高める添加
物を多量に添加するとレーレ散乱係数が大きくなり、光
ファイバの伝送損失が増加する。従って、コアは純粋な
石英ガラスのみで、あるいは微量の屈折率を高める添加
物で構成し、コアの周りのクラッドに屈折率を下げるフ
ッ素を添加して光ファイバを構成することが極低損失光
ファイバを実現する上で必要である。
アの屈折率はクラッドの屈折率より僅かに高くなるよう
に構成されている。一般にコアに、屈折率を高める添加
物を多量に添加するとレーレ散乱係数が大きくなり、光
ファイバの伝送損失が増加する。従って、コアは純粋な
石英ガラスのみで、あるいは微量の屈折率を高める添加
物で構成し、コアの周りのクラッドに屈折率を下げるフ
ッ素を添加して光ファイバを構成することが極低損失光
ファイバを実現する上で必要である。
【０００５】従来のフッ素を添加する光ファイバ用多孔
質母材の製造方法として、特開昭５９−２３２９３４号
公報に開示されているように、ＶＡＤ法によりガラス微
粒子体を成長させるにあたって、ガラス原料ガスまたは
燃焼ガス中に、時間的に変化しない濃度のフッ素化合物
ガスを含有させて供給し、火炎加水分解反応を用いてタ
ーゲット軸方向にガラス微粒子を堆積させる方法があ
る。
質母材の製造方法として、特開昭５９−２３２９３４号
公報に開示されているように、ＶＡＤ法によりガラス微
粒子体を成長させるにあたって、ガラス原料ガスまたは
燃焼ガス中に、時間的に変化しない濃度のフッ素化合物
ガスを含有させて供給し、火炎加水分解反応を用いてタ
ーゲット軸方向にガラス微粒子を堆積させる方法があ
る。
【０００６】さらに、特開平９−２２１３３５号公報に
は、前記の特開昭５９−２３２９３４号公報の方法では
ガラス微粒子堆積工程の最初に形成されたガラス微粒子
堆積部のフッ素濃度が、ガラス微粒子堆積工程の終期に
形成されたガラス微粒子堆積部のフッ素濃度よりも高く
なるため、長手方向で屈折率分布の均一性の良い光ファ
イバを得ることができないとして、長手方向でフッ素化
合物ガスの供給量を増加させることにより、均一な屈折
率分布を得る製造方法が開示されている。
は、前記の特開昭５９−２３２９３４号公報の方法では
ガラス微粒子堆積工程の最初に形成されたガラス微粒子
堆積部のフッ素濃度が、ガラス微粒子堆積工程の終期に
形成されたガラス微粒子堆積部のフッ素濃度よりも高く
なるため、長手方向で屈折率分布の均一性の良い光ファ
イバを得ることができないとして、長手方向でフッ素化
合物ガスの供給量を増加させることにより、均一な屈折
率分布を得る製造方法が開示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の光ファイバ用多
孔質母材の製造方法には、以下に示す問題点があった。
孔質母材の製造方法には、以下に示す問題点があった。
【０００８】特開平９−２２１３３５号公報では、母材
の長手方向の如何なる所でも径方向の屈折率分布の安定
化を図るために、フッ素化合物ガスの供給量を増加させ
る手段を用いているが、屈折率分布を変更させる時、あ
るいはバーナ交換といった製造条件が変化する時には、
最初から条件を取り直す必要があり、条件を決定するま
で多大な時間が必要であった。
の長手方向の如何なる所でも径方向の屈折率分布の安定
化を図るために、フッ素化合物ガスの供給量を増加させ
る手段を用いているが、屈折率分布を変更させる時、あ
るいはバーナ交換といった製造条件が変化する時には、
最初から条件を取り直す必要があり、条件を決定するま
で多大な時間が必要であった。
【０００９】また、特開昭５９−２３２９３４号公報で
は、時間的に変化しない濃度のフッ素化合物ガスを含有
させて供給する手段を用いているが、製造中に排気変動
などの外乱により長手方向で径方向の屈折率分布が簡単
に変化するという問題があった。この問題は、特開平９
−２２１３３５号公報で開示されている製造方法にもあ
った。
は、時間的に変化しない濃度のフッ素化合物ガスを含有
させて供給する手段を用いているが、製造中に排気変動
などの外乱により長手方向で径方向の屈折率分布が簡単
に変化するという問題があった。この問題は、特開平９
−２２１３３５号公報で開示されている製造方法にもあ
った。
【００１０】従って本発明の目的は、前記した従来技術
の欠点を解消し、長手方向の如何なる所でも径方向の屈
折率分布が均一な光ファイバ用多孔質母材を製造する、
光ファイバ用多孔質母材の製造装置を提供することにあ
る。
の欠点を解消し、長手方向の如何なる所でも径方向の屈
折率分布が均一な光ファイバ用多孔質母材を製造する、
光ファイバ用多孔質母材の製造装置を提供することにあ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を実
現するため、ガラス微粒子を生成するためのバーナと、
該生成したガラス微粒子を堆積させるターゲット棒と、
該ターゲット棒を覆い囲む反応室とを具備して成る光フ
ァイバ用多孔質母材の製造装置において、前記反応室上
部に引き上げ用筐体を設け、且つ前記反応室に第一排気
管を具備し、また前記引き上げ用筐体に第二排気管を具
備した。
現するため、ガラス微粒子を生成するためのバーナと、
該生成したガラス微粒子を堆積させるターゲット棒と、
該ターゲット棒を覆い囲む反応室とを具備して成る光フ
ァイバ用多孔質母材の製造装置において、前記反応室上
部に引き上げ用筐体を設け、且つ前記反応室に第一排気
管を具備し、また前記引き上げ用筐体に第二排気管を具
備した。
【００１２】前記の引き上げ用筐体は、その上部に外気
取り込み孔を具備した。
取り込み孔を具備した。
【００１３】また、前記の第二排気管は、前記外気取り
込み孔と前記反応室との間に位置するように構成した。
込み孔と前記反応室との間に位置するように構成した。
【００１４】なお、前記の第一排気管及び第二排気管
は、それぞれ複数本の排気管により構成しても良い。
は、それぞれ複数本の排気管により構成しても良い。
【００１５】そして、前記の第一排気管及び第二排気管
は、それぞれ排気風量調節機構を具備した。
は、それぞれ排気風量調節機構を具備した。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本究明の実施の形態につい
て図面に基づいて詳細に説明する。
て図面に基づいて詳細に説明する。
【００１７】図１は、本発明の光ファイバ用多孔質母材
の製造装置の一実施例を示した概略断面図である。１は
反応室、２は引き上げ用筐体、３は多孔質母材、４はタ
ーゲット棒、５はコア用バーナ、６はサイドコア用バー
ナ、７はクラッド用バーナ、８は第一排気管、９は第二
排気管、１０は第一開閉弁、１１は第二開閉弁、１２は
外気取り込み孔である。
の製造装置の一実施例を示した概略断面図である。１は
反応室、２は引き上げ用筐体、３は多孔質母材、４はタ
ーゲット棒、５はコア用バーナ、６はサイドコア用バー
ナ、７はクラッド用バーナ、８は第一排気管、９は第二
排気管、１０は第一開閉弁、１１は第二開閉弁、１２は
外気取り込み孔である。
【００１８】本光ファイバ用多孔質母材の製造装置は、
バーナ５、６、７と、ターゲット棒４と、反応室１とを
具備する。そして、前記反応室１上部に引き上げ用筐体
２を設け、且つ前記反応室１に第一排気管８を具備し、
しかも前記引き上げ用筐体２には第二排気管９を具備す
る。
バーナ５、６、７と、ターゲット棒４と、反応室１とを
具備する。そして、前記反応室１上部に引き上げ用筐体
２を設け、且つ前記反応室１に第一排気管８を具備し、
しかも前記引き上げ用筐体２には第二排気管９を具備す
る。
【００１９】反応室１の内部では、ターゲット棒４が吊
り下げられ一定の回転数で回転しており、その下端にガ
ラス微粒子が堆積される。ターゲット棒４は多孔質母材
３の成長に伴って順次引き上げられる。コア用バーナ５
とサイドコア用バーナ６とクラッド用バーナ７はガラス
微粒子生成用であり、コア用バーナ５はコア部分を、サ
イドコア用バーナ６はサイドコア部分を、クラッド用バ
ーナ７はクラッド部分を堆積させるものである。コア用
バーナ５及びサイドコア用バーナ６には四塩化珪素のガ
ラス原料に四塩化ゲルマが添加されている。クラッド用
バーナ７には四塩化珪素に四フッ化珪素が添加されてい
る。
り下げられ一定の回転数で回転しており、その下端にガ
ラス微粒子が堆積される。ターゲット棒４は多孔質母材
３の成長に伴って順次引き上げられる。コア用バーナ５
とサイドコア用バーナ６とクラッド用バーナ７はガラス
微粒子生成用であり、コア用バーナ５はコア部分を、サ
イドコア用バーナ６はサイドコア部分を、クラッド用バ
ーナ７はクラッド部分を堆積させるものである。コア用
バーナ５及びサイドコア用バーナ６には四塩化珪素のガ
ラス原料に四塩化ゲルマが添加されている。クラッド用
バーナ７には四塩化珪素に四フッ化珪素が添加されてい
る。
【００２０】多孔質母材３を挟んで、コア用バーナ５と
サイドコア用バーナ６とクラッド用バーナ７の反対側に
第一排気管８が備えられている。第一排気管８はターゲ
ット棒４に堆積できない余剰ガラス微粒子を強制的に排
気する役目を持つ。
サイドコア用バーナ６とクラッド用バーナ７の反対側に
第一排気管８が備えられている。第一排気管８はターゲ
ット棒４に堆積できない余剰ガラス微粒子を強制的に排
気する役目を持つ。
【００２１】反応室１の上方には、多孔質母材３を引き
上げるための引き上げ用筐体２が取り付けられている。
引き上げ用筐体２には、その上部に外気取り込み孔１２
が設けられている。そして、第二排気管９が反応室１と
外気取り込み孔１２との間に設けられている。
上げるための引き上げ用筐体２が取り付けられている。
引き上げ用筐体２には、その上部に外気取り込み孔１２
が設けられている。そして、第二排気管９が反応室１と
外気取り込み孔１２との間に設けられている。
【００２２】第一排気管８と第二排気管９にはそれぞれ
第一開閉弁１０と第二開閉弁１１が設けられている。こ
れにより、反応室１及び引き上げ用筐体２からの排気風
量を調整することができる。実際には、反応室１及び引
き上げ用筐体２のそれぞれの内圧を測定し、常にその値
が一定になるように第一開閉弁１０及び第二開閉弁１１
が制御されるように構成されている。
第一開閉弁１０と第二開閉弁１１が設けられている。こ
れにより、反応室１及び引き上げ用筐体２からの排気風
量を調整することができる。実際には、反応室１及び引
き上げ用筐体２のそれぞれの内圧を測定し、常にその値
が一定になるように第一開閉弁１０及び第二開閉弁１１
が制御されるように構成されている。
【００２３】なお、第一排気管８及び第二排気管９は、
それぞれ複数本の排気管により構成しても良く、要する
に効率よく排気できるものであれば問題はない。
それぞれ複数本の排気管により構成しても良く、要する
に効率よく排気できるものであれば問題はない。
【００２４】次に動作について詳しく説明する。
【００２５】反応室１では前述のように、コア用バーナ
５とサイドコア用バーナ６とクラッド用バーナ７の酸水
素火炎で四塩化珪素が加水分解反応してガラス微粒子が
生成し、このガラス微粒子がターゲット棒４に堆積す
る。この時、１００％の効率でターゲット棒４に堆積さ
せることは不可能なため、堆積できない余剰ガラス微粒
子が反応室１内に浮遊する。さらに、クラッド用バーナ
７から添加している四フッ化珪素の未結合なものがフッ
素ガスとして反応室１に漂うことになる。
５とサイドコア用バーナ６とクラッド用バーナ７の酸水
素火炎で四塩化珪素が加水分解反応してガラス微粒子が
生成し、このガラス微粒子がターゲット棒４に堆積す
る。この時、１００％の効率でターゲット棒４に堆積さ
せることは不可能なため、堆積できない余剰ガラス微粒
子が反応室１内に浮遊する。さらに、クラッド用バーナ
７から添加している四フッ化珪素の未結合なものがフッ
素ガスとして反応室１に漂うことになる。
【００２６】フッ素化合物が添加された光ファイバ用多
孔質母材を製造する場合、長手方向で径方向の屈折率分
布が変わる要因として次の点をあげることができる。反
応室１及び引き上げ用筐体２の雰囲気ガス（堆積できな
かった余剰ガラス微粒子を含む）には微量のフッ素ガス
が含まれ、さらに多孔質母材３及び雰囲気ガスが高温状
態になっているため、堆積初期の部分ほど長時間フッ素
ガスを含んだ雰囲気ガスにさらされることになる。つま
り、多孔質母材３内のフッ素濃度変化量は、フッ素ガス
を含んだ雰囲気ガスにさらされる時間が長いためであ
る。本発明は、フッ素の添加量を変化させ、安定化を図
るといった間接的な改善策ではなく、フッ素ガスを含ん
だ雰囲気ガスを第一排気管８にて強制的に排気し、多孔
質母材３をフッ素ガスを含んだ雰囲気ガスにさらさない
直接的な手段を講じた。
孔質母材を製造する場合、長手方向で径方向の屈折率分
布が変わる要因として次の点をあげることができる。反
応室１及び引き上げ用筐体２の雰囲気ガス（堆積できな
かった余剰ガラス微粒子を含む）には微量のフッ素ガス
が含まれ、さらに多孔質母材３及び雰囲気ガスが高温状
態になっているため、堆積初期の部分ほど長時間フッ素
ガスを含んだ雰囲気ガスにさらされることになる。つま
り、多孔質母材３内のフッ素濃度変化量は、フッ素ガス
を含んだ雰囲気ガスにさらされる時間が長いためであ
る。本発明は、フッ素の添加量を変化させ、安定化を図
るといった間接的な改善策ではなく、フッ素ガスを含ん
だ雰囲気ガスを第一排気管８にて強制的に排気し、多孔
質母材３をフッ素ガスを含んだ雰囲気ガスにさらさない
直接的な手段を講じた。
【００２７】反応室１では酸水素火炎により、反応室１
内の気体が熱せられ、上昇気流が発生する。この時、第
一排気管８で排気されなかった残りの浮遊しているガラ
ス微粒子及びフッ素ガスも上昇し、引き上げ用筐体２に
入る。引き上げ用筐体２に入ったフッ素ガスがこのまま
引き上げ用筐体２内に浮遊していると、引き上げ用筐体
２に引き上げられた高温状態の多孔質母材３に拡散し、
長手方向で屈折率分布が変化する要因となるが、本発明
では引き上げ用筐体２に第二排気管９が設けられている
ため、浮遊ガラス微粒子及びフッ素ガスは完全に排気さ
れる。
内の気体が熱せられ、上昇気流が発生する。この時、第
一排気管８で排気されなかった残りの浮遊しているガラ
ス微粒子及びフッ素ガスも上昇し、引き上げ用筐体２に
入る。引き上げ用筐体２に入ったフッ素ガスがこのまま
引き上げ用筐体２内に浮遊していると、引き上げ用筐体
２に引き上げられた高温状態の多孔質母材３に拡散し、
長手方向で屈折率分布が変化する要因となるが、本発明
では引き上げ用筐体２に第二排気管９が設けられている
ため、浮遊ガラス微粒子及びフッ素ガスは完全に排気さ
れる。
【００２８】この時、引き上げ用筐体２の第二排気管９
の上部には外気取り込み孔１２が設けられているので、
取り込んだ外気でダウンフロー生じ、引き上げ用筐体２
に万一浮遊ガラス微粒子やフッ素ガスがあっても一緒に
排気され、排気効率がアップする。しかしながら、この
外気取り込み孔１２は必ずしも必要と言うわけではな
く、要するに効率良く浮遊ガラス微粒子とフッ素ガスが
排気できれば良い。
の上部には外気取り込み孔１２が設けられているので、
取り込んだ外気でダウンフロー生じ、引き上げ用筐体２
に万一浮遊ガラス微粒子やフッ素ガスがあっても一緒に
排気され、排気効率がアップする。しかしながら、この
外気取り込み孔１２は必ずしも必要と言うわけではな
く、要するに効率良く浮遊ガラス微粒子とフッ素ガスが
排気できれば良い。
【００２９】図２は、図１の光ファイバ用多孔質母材の
製造装置で得られた多孔質母材を焼結して透明ガラス化
して屈折率を測定し、長手方向の屈折率変化量を示した
グラフである。横軸は多孔質母材開始端からの距離（m
m）、縦軸は屈折率変化量（％）である。長手方向で非
常に安定した特性を実現することができた。
製造装置で得られた多孔質母材を焼結して透明ガラス化
して屈折率を測定し、長手方向の屈折率変化量を示した
グラフである。横軸は多孔質母材開始端からの距離（m
m）、縦軸は屈折率変化量（％）である。長手方向で非
常に安定した特性を実現することができた。
【００３０】なお、本発明の光ファイバ用多孔質母材製
造装置では、屈折率を調節するためにフッ素化合物の流
量を変えた場合にも、余剰なガラス微粒子やフッ素ガス
は完全に排気されるので長手方向で屈折率変化量は少な
い。さらに、コア用バーナ５やサイドコア用バーナ６、
クラッド用バーナ７の何れかを交換した場合、あるいは
排気条件が外乱で変化した場合でも、余剰なガラス微粒
子やフッ素ガスは完全に排気されるので長手方向で屈折
率変化量は少ない。そして、上記の何れの場合でも、一
定の屈折率分布を得るための条件を最初から取り直す必
要はなく、条件を決定するまで僅かな時間を要するだけ
である。
造装置では、屈折率を調節するためにフッ素化合物の流
量を変えた場合にも、余剰なガラス微粒子やフッ素ガス
は完全に排気されるので長手方向で屈折率変化量は少な
い。さらに、コア用バーナ５やサイドコア用バーナ６、
クラッド用バーナ７の何れかを交換した場合、あるいは
排気条件が外乱で変化した場合でも、余剰なガラス微粒
子やフッ素ガスは完全に排気されるので長手方向で屈折
率変化量は少ない。そして、上記の何れの場合でも、一
定の屈折率分布を得るための条件を最初から取り直す必
要はなく、条件を決定するまで僅かな時間を要するだけ
である。
【００３１】
【発明の効果】本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造
装置によれば、ガラス微粒子を生成するためのバーナ
と、前記生成したガラス微粒子を堆積させるターゲット
棒と、該ターゲット棒を覆い囲む反応室とを具備して成
る光ファイバ用多孔質母材の製造装置において、前記反
応室上部に引き上げ用筐体を設け、且つ前記反応室に第
一排気管を具備し、また前記引き上げ用筐体に第二排気
管を具備したので、余剰のガラス微粒子と浮遊したフッ
素ガスを反応室内及び引き上げ用筐体内から強制的に排
気することができ、その結果、光ファイバ用多孔質母材
の長手方向の如何なる所でも径方向の屈折率分布を均一
にすることが可能となった。
装置によれば、ガラス微粒子を生成するためのバーナ
と、前記生成したガラス微粒子を堆積させるターゲット
棒と、該ターゲット棒を覆い囲む反応室とを具備して成
る光ファイバ用多孔質母材の製造装置において、前記反
応室上部に引き上げ用筐体を設け、且つ前記反応室に第
一排気管を具備し、また前記引き上げ用筐体に第二排気
管を具備したので、余剰のガラス微粒子と浮遊したフッ
素ガスを反応室内及び引き上げ用筐体内から強制的に排
気することができ、その結果、光ファイバ用多孔質母材
の長手方向の如何なる所でも径方向の屈折率分布を均一
にすることが可能となった。
【図１】本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造装置の
一実施例を示した概略断面図である。
一実施例を示した概略断面図である。
【図２】図１の光ファイバ用多孔質母材の製造装置で得
られた多孔質母材の長手方向の屈折率変化量を示したグ
ラフである。
られた多孔質母材の長手方向の屈折率変化量を示したグ
ラフである。
１ 反応室 ２ 引き上げ用筐体 ３ 多孔質母材 ４ ターゲット棒 ５ コア用バーナ ６ サイドコア用バーナ ７ クラッド用バーナ ８ 第一排気管 ９ 第二排気管 １０ 第一開閉弁 １１ 第二開閉弁 １２ 外気取り込み孔
Claims (5)
- 【請求項１】ガラス微粒子を生成するためのバーナと、
該生成したガラス微粒子を堆積させるターゲット棒と、
該ターゲット棒を覆い囲む反応室とを具備して成る光フ
ァイバ用多孔質母材の製造装置において、前記反応室上
部に引き上げ用筐体を設け、且つ前記反応室に第一排気
管を具備し、また前記引き上げ用筐体に第二排気管を具
備して成ることを特徴とする光ファイバ用多孔貿母材の
製造装置。 - 【請求項２】引き上げ用筐体は、その上部に外気取り込
み孔を具備して成ることを特徴とする請求項１記載の光
ファイバ用多孔質母材の製造装置。 - 【請求項３】第二排気管は、前記外気取り込み孔と前記
反応室との間に位置するように構成して成ることを特徴
とする請求項１記載の光ファイバ用多孔質母材の製造装
置。 - 【請求項４】第一排気管及び第二排気管は、それぞれ複
数本の排気管により構成して成ることを特徴とする請求
項１記載の光ファイバ用多孔質母材の製造装置。 - 【請求項５】第一排気管及び第二排気管は、それぞれ排
気風量調節機構を具備して成ることを特徴とする請求項
１及び４記載の光ファイバ用多孔質母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26139799A JP2001089179A (ja) | 1999-09-16 | 1999-09-16 | 光ファイバ用多孔質母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26139799A JP2001089179A (ja) | 1999-09-16 | 1999-09-16 | 光ファイバ用多孔質母材の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001089179A true JP2001089179A (ja) | 2001-04-03 |
Family
ID=17361308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26139799A Pending JP2001089179A (ja) | 1999-09-16 | 1999-09-16 | 光ファイバ用多孔質母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001089179A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002102729A1 (en) * | 2001-06-14 | 2002-12-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Device and method for producing stack of fine glass particles |
-
1999
- 1999-09-16 JP JP26139799A patent/JP2001089179A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002102729A1 (en) * | 2001-06-14 | 2002-12-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Device and method for producing stack of fine glass particles |
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