WO2006064600A1 - 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法及び製造装置 - Google Patents

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WO2006064600A1
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organic
ozone
layer
manufacturing
display
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PCT/JP2005/016958
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Kazuya Ishida
Kiyoshi Okano
Kazuyuki Kishimoto
Tadashi Gohda
Emi Yamamoto
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Sharp Kabushiki Kaisha
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    • H10K71/40—Thermal treatment, e.g. annealing in the presence of a solvent vapour

Definitions

  • the present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing an organic electoluminescence display.
  • An organic electoluminescence display (hereinafter sometimes referred to as “organic EL display”) includes at least an organic electroluminescence luminescent layer (hereinafter sometimes referred to as “organic EL luminescence layer”). It has a structure in which an organic-electric-luminescence layer (hereinafter sometimes referred to as “organic EL layer”) is sandwiched between a cathode and an anode. The cathode injects electrons into the organic EL light emitting layer, and the anode injects holes into the organic EL light emitting layer. In the organic EL light emitting layer, excitons (excitons) are formed by recombination of injected electrons and holes. Light is emitted from the organic EL light emitting layer when the formed excitons are deactivated. In an OLED display, characters, images, etc. are displayed by light emitted from the excitons.
  • organic EL luminescence layer has a structure in which an organic-electric-luminescence layer (her
  • An organic EL display has excellent characteristics such as low driving voltage and high-speed response. It is self-luminous and has a wide viewing angle. For this reason, organic EL displays are highly expected as next-generation flat panel displays, and development of various organic EL displays and manufacturing methods for realizing mass production are actively performed.
  • Organic EL displays can be broadly classified according to the type of organic EL layer. Specifically, a low molecular organic EL display having an organic EL layer containing a low molecular organic electroluminescent material, and a high molecular organic electroluminescent material (hereinafter sometimes referred to as “polymeric organic EL material”). It can be broadly classified into a polymer organic EL display having an organic EL layer containing.
  • the organic EL layer containing the polymer organic EL material can be formed by a wet method (wet method) such as a printing method or an ink jet method (for example, Patent Documents 1 and 2).
  • the polymer organic EL material contained in the organic EL layer is very easily deteriorated in the atmosphere. For this reason, when the organic EL layer is formed in the atmosphere, Therefore, there is a problem that it is difficult to obtain the original characteristics of the organic EL layer (emission luminance, luminous efficiency, luminance half-life, luminous lifetime, etc.).
  • Patent Document 3 discloses that an organic electoluminescence layered structure formed in the process of forming an organic electoluminescence layered structure is not exposed to the atmosphere in a vacuum or has a water content of lOOppm or less.
  • attachment process in active gas atmosphere is disclosed.
  • Patent Document 4 discloses a technique characterized in that the process from the first step of forming the organic layer to the sealing step of forming the sealing means is performed in an atmosphere with a limited amount of water.
  • Patent Document 5 discloses a technique for performing a discharge process of discharging a light emitting functional material in an inert gas atmosphere.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 10-12377
  • Patent Document 2 JP-A-10-153967
  • Patent Document 3 Japanese Patent Laid-Open No. 10-241858
  • Patent Document 4 Japanese Patent Laid-Open No. 2003-77655
  • Patent Document 5 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-217840
  • the present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to manufacture an organic EL display having a high light emission efficiency and a long product life at low cost and with high production efficiency. It is to provide a method.
  • the main reason that the original characteristics of the organic EL layer cannot be obtained is considered to be that the organic EL material is in contact with oxygen or moisture. It was. However, as a result of sincere research by the present inventors, it has been clarified that the main reason why the original characteristics of the organic EL layer cannot be obtained is that the organic EL material comes into contact with ozone. Then, the present inventors have found that by reducing the ozone concentration in the atmosphere in which the organic EL layer is formed, it is possible to effectively suppress the deterioration of the characteristics of the organic EL material in the organic EL layer forming process. The present invention has been made.
  • the method for producing an organic EL display according to the present invention is a method for producing an organic electroluminescence display including an organic electroluminescence layer provided between a pair of electrodes.
  • the manufacturing method of the organic EL display according to the present invention includes a forming step of forming an electoluminescence layer in an electoluminescence layer forming chamber having an air atmosphere whose ozone concentration is lower than that of the atmosphere.
  • the organic EL material is effectively suppressed from coming into contact with ozone over the step of forming the organic EL layer. Therefore, an organic EL display having high luminous efficiency and a long product life can be manufactured.
  • An air atmosphere having an ozone concentration lower than that of the atmosphere can be formed relatively easily. And it can be held relatively easily.
  • the electoric luminescence layer forming chamber (hereinafter sometimes referred to as “EL layer forming chamber”) does not have to be as strong as a glove box.
  • the method for producing an organic electoluminescence display according to the present invention includes an adjustment adjusted to an ozone concentration lower than the atmosphere in the electoluminescence layer forming chamber, which is performed prior to or simultaneously with the formation step. You may further have the inflow process which sends in air.
  • the feeding step uses an ozone reduction means for reducing the ozone concentration
  • An adjustment step for adjusting the concentration of the catalyst may be included.
  • the ozone reduction means includes means for adjusting the conditioned air that does not substantially contain ozone.
  • the ozone reducing means may have a function of decomposing ozone or a function of adsorbing ozone.
  • the ozone reducing means may be an ozone filter.
  • the method for producing an organic EL display according to the present invention includes a reduction step of lowering the ozone concentration in the electoluminescence layer forming chamber lower than the ozone concentration in the atmosphere, which is performed prior to or simultaneously with the formation step. Have even more.
  • the ozone concentration in the electoric luminescence layer forming chamber is 30 ppb or less when the organic electrifying luminescence layer is formed.
  • the ozone concentration in the electoluminescence layer forming chamber is 30 ppb or less, it is possible to produce an organic electoluminescence display having higher characteristics (such as luminous efficiency, luminous luminance, and luminous lifetime).
  • the organic EL display according to the present invention is manufactured by the method for manufacturing the organic EL display according to the present invention. As described above, according to the method of manufacturing an organic EL display according to the present invention, an organic EL display having high characteristics can be manufactured at low cost and with high production efficiency. Therefore, the organic EL display according to the present invention has high characteristics, and can be manufactured at low cost and with high production efficiency.
  • a first manufacturing apparatus relates to an apparatus for manufacturing an organic EL display including an organic EL layer.
  • the first manufacturing apparatus includes an EL layer forming chamber for forming an organic EL layer, and an adjustment air flow for supplying adjusted air having an ozone concentration lower than the atmosphere to the EL layer forming chamber when the organic EL layer is formed.
  • Air injection means According to the first manufacturing apparatus of the present invention, the adjustment air having a low ozone concentration can be sent into the EL layer forming chamber for forming the EL layer. For this reason, the ozone concentration in the EL layer forming chamber when manufacturing the organic EL layer can be made lower than the ozone concentration in the atmosphere.
  • the first manufacturing apparatus of the present invention deterioration of the organic EL material due to ozone during the formation of the organic EL layer can be effectively suppressed. Therefore, it is possible to produce an organic EL display having a high luminous efficiency and a long product life.
  • the adjusted air injection means reduces the ozone concentration.
  • Zon reduction means may be included.
  • the ozone reducing means includes ozone removing means for making the ozone concentration of the conditioned air substantially zero.
  • the ozone reducing means may have a function of decomposing ozone or a function of adsorbing ozone.
  • the ozone reducing means may be an ozone filter.
  • the adjustment air means may include a pump that pressurizes and feeds air, and an ozone filter that is provided so that the air passes through! /.
  • the ozone concentration in the electoric luminescence layer forming chamber is 30 ppb or less when the organic electrifying luminescence layer is formed. According to this configuration, an organic electoluminescence display having higher characteristics (emission efficiency, emission luminance, emission lifetime, etc.) can be manufactured.
  • a second manufacturing apparatus relates to an apparatus for manufacturing an organic electroluminescent display including an organic electroluminescent mouth luminescence layer.
  • the second manufacturing apparatus includes an electoric luminescence layer forming chamber for forming an organic electrifying luminescence layer and an ozone concentration in the electrifying luminescence layer forming chamber at the time of forming the organic electrifying luminescence layer. And ozone reducing means for lowering the ozone concentration below the atmospheric ozone concentration.
  • the ozone concentration in the EL layer forming chamber can be adjusted to be lower than the ozone concentration in the atmosphere by the ozone reducing means. Then, an organic EL layer can be formed in an EL layer forming chamber adjusted to an ozone concentration lower than that of the atmosphere. For this reason, by using the second manufacturing apparatus according to the present invention, deterioration of the organic EL material due to ozone during the formation of the organic EL layer can be effectively suppressed. Therefore, according to the second manufacturing apparatus of the present invention, an organic EL display having high luminous efficiency and a long product life can be manufactured.
  • the ozone reducing means may have a function of decomposing ozone or a function of adsorbing ozone.
  • the ozone reducing means may be an ozone filter.
  • the ozone concentration in the discharge port luminescence layer forming chamber is 30 ppb or less when the organic discharge port luminescence layer is formed. According to this configuration, an organic electoluminescence display having higher characteristics (emission efficiency, emission luminance, emission lifetime, etc.) can be manufactured.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a manufacturing apparatus according to a first embodiment.
  • FIG. 2 is a flowchart for explaining a process of forming an EL layer.
  • FIG. 3 is a schematic diagram showing a configuration of a manufacturing apparatus according to Embodiment 2.
  • FIG. 4 is a flowchart showing an organic EL layer forming process according to Embodiment 2.
  • FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of organic EL displays according to examples and comparative examples.
  • FIG. 6 is a graph showing the correlation between ozone concentration and luminous efficiency when forming an organic EL layer for Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2 using a green light emitting material.
  • FIG. 7 is a graph showing the correlation between the ozone concentration and the light emission efficiency when forming the organic EL layer for Examples 5 to 8 and Comparative Examples 3 and 4 using a blue light emitting material.
  • a plurality of TFTs and a plurality of anodes are formed in a matrix on an insulating substrate such as glass or plastic.
  • the anode can be formed of indium stannate (ITO) or the like.
  • a partition wall (bank) for partitioning a plurality of anodes is formed, and a buffer layer (hole transport layer) is formed on each anode.
  • the noffer layer has a function of injecting carriers (holes) into the organic EL light emitting layer and a function of absorbing the surface roughness of the anode to form a flat surface.
  • the material of the buffer layer includes, for example, a mixture of polyethylene dioxythiophene and polysulfonic acid (PEDOTZPSS, for example, BYTRON P CH8 000 manufactured by Starckvitech), Poly-TPD (Poly (N, N, -bis- (4-butylphenyl) -N, N, -bis (phenyl) benzidine), PANI- CSA, and the like.
  • PEDOTZPSS polyethylene dioxythiophene and polysulfonic acid
  • PDOTZPSS polysulfonic acid
  • Poly-TPD Poly (N, N, -bis- (4-butylphenyl) -N, N, -bis (phenyl) benzidine), PANI- CSA, and the like.
  • An organic EL light-emitting layer is formed on the noffer layer.
  • a material for the organic EL light emitting layer for example, a compound represented by the following chemical formula 1 (hereinafter sometimes referred to as “I compound A”) is representative.
  • I compound A a compound represented by the following chemical formula 1
  • polyfluorene compounds, polyphenylene vinylene compounds, polyspy mouth compounds, polyparaffin-reny compounds, polythiophene compounds, and the like are examples of the organic EL light emitting layer.
  • R and R ′ represent an alkyl chain
  • Ar and Ar ′ represent an aromatic aryl compound
  • 1, m is an integer of 1 or more
  • n is 0 or 1 or more.
  • the molecular weight is between 50,000 and 500,000.
  • the aromatic aryl compound may be dimethylbenzene, pyridine, benzene, anthracene, spirobifluorene, carbazole, benzoamine, bipyridine, benzothiadiazole, and the like.
  • the emission color of Compound A varies depending on the types of Ar and Ar ′ and the ratio of 1, m, and n in Formula 1.
  • the buffer layer and the organic EL light emitting layer can be formed by a wet method, a printing method, a laser transfer method, or the like.
  • the wet method include spin coating, ink jet, nozzle coating, slit coating, and die coating.
  • printing methods include offset printing and intaglio printing.
  • a cathode is formed on the organic EL light-emitting layer, and the organic EL layer is sealed with a glass sweep or the like in an inert gas atmosphere such as nitrogen, thereby completing the organic EL display.
  • the cathode can be formed by depositing indium stannate (ITO) or the like by vapor deposition or the like.
  • the organic EL layer is composed of a buffer layer (hole transport layer) and an organic EL light emitting layer.
  • the organic EL layer may be composed only of the organic EL light emitting layer. I do not care. Further, a hole injection layer, an electron transport layer, an electron injection layer, and the like may be further included.
  • the organic EL layer including the buffer layer and the organic EL light emitting layer is made of ozone. It is formed in the EL layer forming chamber whose concentration is lower than that of the atmosphere.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of the manufacturing apparatus 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a flowchart for explaining the process of forming the EL layer.
  • the manufacturing apparatus 1 includes an EL layer forming chamber 10 for forming an organic EL layer, a regulated air injection means 20, a duct 30 for communicating the EL layer forming chamber 10 and the regulated air injection means 20,
  • an organic EL layer forming means such as an ink jet device.
  • the adjusted air injection means 20 includes an ozone filter 21a as an ozone reduction means, a clean filter 21b for filtering dust and the like, and a pump 22.
  • the conditioned air injection means 20 sends conditioned air having an ozone concentration lower than the ozone concentration in the atmosphere to the EL layer forming chamber 10.
  • the ozone filter 21a has a function of reducing the ozone concentration of the adjusted air by adsorbing and Z or decomposing ozone.
  • the ozone filter 21a may include an ozonolysis catalyst and activated carbon having a function of adsorbing ozone. Also, it may contain either one of ozone decomposition catalyst or activated carbon! /.
  • Air containing ozone in the atmosphere is sent to the regulated air injection means 20. Impurities such as dust are removed by the clean filter 21b included in the supplied aerodynamic adjustment air injection means 20. Thereafter, the ozone filter 21a adjusts the conditioned air to have a lower ozone concentration than in the atmosphere (adjustment process, step 1).
  • the conditioned air thus adjusted is sent into the EL layer forming chamber 10 by the function of the pump 22 (feeding step, step 2).
  • the EL layer forming chamber 10 is made into an air atmosphere having a lower ozone concentration than the atmosphere.
  • an organic EL layer is formed on the substrate in the EL layer forming chamber 10 (forming process, step 3). According to this formation process, the organic EL layer can be formed while suppressing deterioration of the organic EL material due to ozone. Therefore, an organic EL display having high luminous efficiency and a long product life can be manufactured.
  • the adjustment air injecting means 20 may be one that sends the adjustment air to the EL layer formation chamber 10 only prior to the formation process or always to the EL layer formation chamber 10. It does not matter, or adjustment air may be sent intermittently as necessary. For example, while monitoring the ozone concentration in the EL layer forming chamber 10 and when the ozone concentration in the EL layer forming chamber 10 exceeds a predetermined ozone concentration, adjusted air is sent in for a certain period of time. It does not matter.
  • the characteristics of the organic EL layer are related to the ozone concentration in the EL layer forming chamber 10. Specifically, as the ozone concentration in the EL layer forming chamber 10 decreases, the characteristics of the obtained organic EL layer improve. In particular, when the ozone concentration is in the range of 50 ppb to 30 ppb, the characteristics of the obtained organic EL layer change greatly, and it becomes possible to form an organic EL layer having particularly preferable characteristics when the ozone concentration is 30 ppb or less. . More preferably, the ozone concentration is 20 ppb or less.
  • the ozone concentration in the atmosphere is within the range of 30 to 50 ppb, which is a force that varies depending on the season and time. For this reason, even when the ozone concentration in the atmosphere is about 50 ppb, which is the highest, by cutting about 40% of ozone with the ozone filter 21a, a favorable atmosphere of the EL layer forming chamber 10 can be formed. Such adjustment of the ozone concentration can be sufficiently realized without using a glove box in which the EL layer forming chamber 10 is completely shut off from outside air. Therefore, high workability and productivity can be realized. In addition, since it is not necessary to supply an inert gas that requires a running cost, an organic EL display can be manufactured easily and inexpensively.
  • the process of forming the organic EL layer includes a film forming process of forming an organic EL material by applying the organic EL layer by a coating method and the like, and drying the thin film having the organic EL material force to form the organic EL layer. And a drying step to complete the process.
  • At least the organic EL layer deposition process is preferably performed in the EL layer forming chamber 10 with low ozone concentration.
  • After forming the organic EL layer it is more preferable to perform both the film-forming process and the drying process in the EL layer forming chamber 10, and then the process of moving to a vacuum chamber to deposit the cathode is also controlled air. It is more preferable to carry out in an atmosphere. By doing so, it is possible to produce an organic EL display with higher luminous efficiency and longer product life.
  • the ozone concentration in the EL layer forming chamber 10 can be measured by an ultraviolet absorption method using an ozone concentration meter such as MODEL 1200 manufactured by Direc.
  • FIG. 3 is a schematic diagram showing the configuration of the manufacturing apparatus 2 according to the second embodiment.
  • the manufacturing apparatus 2 according to the second embodiment is a substitute for the adjusted air injection means 20.
  • the reducing means 50 is provided, and has the same form as the manufacturing apparatus 1 according to the first embodiment except for the above point.
  • the reducing means 50 different from the manufacturing apparatus 1 according to the first embodiment will be described in detail. Components having substantially the same function will be described with reference numerals common to the first embodiment, and description thereof will be omitted.
  • the reduction means 50 is provided inside the EL layer forming chamber 10, and, like the adjustment air injection means 20 in the first embodiment, an ozone filter 21a, a clean filter 21b, and a pump 22 as ozone reduction means. And. Due to the function of the pump 22, the air in the EL layer forming chamber 10 is sucked into the reducing means 50. The clean air filter 21b removes dust and the like from the aerodynamic force. Further, the ozone filter 21a makes the adjusted air whose ozone concentration is lower than that of the atmosphere, and is discharged from the reducing means 50. That is, the reducing means 50 circulates the atmosphere in the EL layer forming chamber 10 while reducing the ozone concentration. By using this reduction means 50, the EL layer forming chamber 10 can be made into an air atmosphere having a lower ozone concentration than the atmosphere.
  • FIG. 4 is a flowchart showing an organic EL layer forming process according to the second embodiment.
  • the reduction means 50 is activated to lower the ozone concentration in the EL layer forming chamber 10 below the atmospheric ozone concentration (reduction step, step 10). Thereafter, or while performing a reduction process, an EL layer is formed on the substrate in the EL layer formation chamber (formation process, step 20).
  • the organic EL layer can be formed while suppressing the organic EL material contained in the organic EL layer from coming into contact with ozone. . Therefore, an organic EL display with high luminous efficiency and long product life can be manufactured.
  • FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of an organic EL display 40 according to examples and comparative examples.
  • the organic EL display 40 includes a glass substrate 41, an anode 42 formed on the glass substrate 41, a buffer layer 43 formed on the anode 42, and an organic EL light emitting device formed on the buffer layer 43.
  • the ozone concentration in the atmosphere when forming the noffer layer 43 and the organic EL light emitting layer 44 was variously changed, and the organic EL display 40 was formed by the following manufacturing method. Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 4 It was.
  • an anode 42 having an indium tin oxide (ITO) force was formed on a glass substrate 41 (Asahi Glass Co., Ltd.) using a sputtering method.
  • the layer thickness of the anode 42 was 200 nm.
  • a buffer layer 43 containing a mixture of polyethylene dioxythiophene and polysulfonic acid (PEDOTZPSS, BYTRON P CH8000 manufactured by Starck Vitech) was formed on the anode 42 using an inkjet method.
  • Examples 1 to 4 and Comparative Example 1 Bruno Tsu composition of the ink for forming a full ⁇ layer 43, 6 parts by weight of PEDOTZPSS, 5 parts by weight of water, 5 weight ethanol Parts, ethylene glycol was 5 parts by weight.
  • the composition of the ink for forming the buffer layer 43 was 6 parts by weight of PEDOTZPSS and 4 parts by weight of water.
  • the buffer layer 43 was formed by baking at 200 ° C. for 20 minutes.
  • the thickness of the formed buffer layer 43 was 80 nm.
  • Examples 5 to 8 and Comparative Examples 3 and 4 the thickness of the formed buffer layer 43 was 40 nm.
  • an organic EL light-emitting layer 44 containing the compound A represented by the above chemical formula 1 was formed using an inkjet method.
  • the composition of the ink for forming the organic EL light emitting layer 44 is 8 parts by weight of compound A, 500 parts by weight of tetralin, and 500 parts by weight of xylene in Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2. Part by weight.
  • Compound A was 1 part by weight, and xylene was 100 parts by weight.
  • the organic EL light-emitting layer 44 was formed by baking at 200 ° C. for 60 minutes.
  • the layer thickness of the formed organic EL light emitting layer 44 was 80 nm in Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2. In Examples 5 to 8 and Comparative Examples 3 and 4, the thickness was 60 nm.
  • a cathode 45 was formed by vacuum deposition.
  • the cathode 45 was composed of a calcium layer having a layer thickness of 5 nm and a silver layer having a layer thickness of lOOnm.
  • the cathode 45 was composed of a lithium fluoride layer having a layer thickness of 2 nm, a calcium layer having a layer thickness of 2 nm, and a silver layer having a layer thickness of lOO nm.
  • a sealing cap 46 made of glass manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.
  • the organic EL display 40 was completed by sealing.
  • the glass substrate 41 and the sealing cap 46 were bonded using a UV curable resin.
  • the formation of the noffer layer 43 and the organic EL light emitting layer 44 was performed in conditioned air with controlled ozone concentration.
  • the conditioned air was adjusted with an ozone filter (Toyobo).
  • the ozone concentration in the atmosphere in which the noffer layer 43 and the organic EL light emitting layer 44 were formed was measured by an ultraviolet absorption method using MODEL1200 manufactured by Direc Corporation. Table 1 below shows the ozone concentration in the atmosphere in which the noffer layer 43 and the organic EL light emitting layer 44 of each example and each comparative example are formed.
  • Luminous efficiency was measured using an organic EL characteristic measuring device manufactured by Otsuka Electronics.
  • Luminance half-life was measured with an Otsuka Electronics organic EL aging device.
  • Luminance half time means the time required from the initial luminance to half the initial luminance.
  • the initial luminance was set to 8000 cdZm 2 .
  • the initial luminance was set to 1500 cd / m 2 .
  • Table 1 shows the light emission efficiency and luminance half-life of Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 4.
  • FIG. 6 shows organic EL (for Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2 using a green luminescent material.
  • FIG. 6 is a graph showing the correlation between the ozone concentration and the luminous efficiency when the noffer layer 43 and the organic EL light emitting layer 44) are formed.
  • FIG. 7 shows the ozone concentration and luminous efficiency during the formation of organic EL (noffer layer 43 and organic EL light emitting layer 44) for Examples 5 to 8 and Comparative Examples 3 and 4 using a blue light emitting material. It is the graph which showed the correlation.
  • the ozone concentration By setting the ozone concentration to 30 ppb or less, it is possible to obtain a high luminous efficiency of about 80% or more of the luminous efficiency obtained when the organic EL layer is formed in an atmosphere that does not substantially contain ozone (3 ppb or less). Recognize.
  • the ozone concentration at the time of forming the organic EL layer is particularly preferably 20 ppb or less.
  • the organic EL can be used in an atmosphere that does not substantially contain ozone (3 ppb or less).
  • a high luminous efficiency of 90% or more of the luminous efficiency obtained when the layer is formed is the key.
  • the luminance half-life also becomes longer as the ozone concentration in the atmosphere in forming the organic EL layer decreases, as with the luminous efficiency.
  • the luminous efficiency changes abruptly when the ozone concentration is in the range of 30 ppb to 50 ppb, and when the ozone concentration force exceeds S30 ppb, the resulting luminance half-time is shortened rapidly.
  • the ozone concentration to 30 ppb or less, it is possible to obtain a long luminance half-time that is approximately 70% or more of the luminance half-time obtained when the organic EL layer is formed in an atmosphere that does not substantially contain ozone (3 ppb or less). It can be a problem.
  • the ozone concentration particularly when the organic EL layer is formed is 20 ppb or less. It can be seen that a long luminance half-life of 90% or more of the luminance half-life obtained when the organic EL layer is formed in a ⁇ (less than 3 ppb) atmosphere.
  • a long-life organic EL display can be manufactured, so that a mobile phone, PDA, TV, electronic book, monitor, electronic poster, Useful for watches, electronic shelf labels, emergency guides, etc.

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Abstract

　大気よりもオゾン濃度が低い空気雰囲気のエレクトロルミネッセンス層形成室において、エレクトロルミネッセンス層を形成する形成工程を有する有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。

Description

明 細 書
有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造方法及び製造装置 技術分野
[0001] 本発明は有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造方法及び製造装置に関 する。
背景技術
[0002] 有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイ（以下、「有機 ELディスプレイ」とすることが ある。）は、有機エレクト口ルミネッセンス発光層（以下、「有機 EL発光層」とすることが ある。）を少なくとも含む有機エレクト口ルミネッセンス層（以下、「有機 EL層」とすること がある。）を陰極と陽極とで挟んだ構成を有する。陰極は有機 EL発光層に電子を注 入し、陽極は有機 EL発光層にホール (正孔）を注入する。有機 EL発光層にお ヽて、 注入された電子とホールとが再結合することにより励起子 (エキシトン)が形成される。 形成された励起子が失活する際に有機 EL発光層から光が出射される。有機 ELディ スプレイでは、この励起子からの発光により文字や画像等が表示される。
[0003] 有機 ELディスプレイは、低駆動電圧、高速応答性と!ヽつた優れた特性を有する。ま た、自発光性であり、広い視野角を有する。このため、有機 ELディスプレイは次世代 フラットパネルディスプレイとして大いに期待されており、種々の有機 ELディスプレイ の開発、量産化実現に向けた製造方法の開発が盛んに行われて 、る。
[0004] 有機 ELディスプレイは、有機 EL層の種類によって大別することができる。具体的に は、低分子有機エレクト口ルミネッセンス材料を含む有機 EL層を有する低分子有機 ELディスプレイと、高分子有機エレクト口ルミネッセンス材料 (以下、「高分子有機 EL 材料」とすることがある。 )を含む有機 EL層を有する高分子有機 ELディスプレイとに 大別することができる。尚、高分子有機 EL材料を含む有機 EL層は、印刷法やインク ジェット法 (例えば、特許文献 1、 2等)等といった湿式法 (ウエット法）により形成するこ とがでさる。
[0005] 一般的に、有機 EL層に含まれる高分子有機 EL材料は、大気中では非常に劣化し やすい。このため、有機 EL層を大気中で形成すると、有機 EL層の形成工程におい て有機 EL材料が劣化してしまうため、有機 EL層本来の特性 (発光輝度、発光効率、 輝度半減期、発光寿命等)を得ることが困難であるという問題がある。
[0006] このような問題に鑑み、有機 EL層の形成工程を含めた有機 ELディスプレイの製造 工程における製造雰囲気を制御する種々の技術が提案されている。例えば、特許文 献 3には、有機エレクト口ルミネッセンス積層構造体を成膜する工程で形成された有 機エレクト口ルミネッセンス積層構造体を大気に曝すことなぐ真空中又は水分含有 量が lOOppm以下の不活性ガス雰囲気下でシールド部材組み付け工程に搬送する 搬送工程を有する技術が開示されている。
[0007] 特許文献 4には、有機層を形成する最初の工程から封止手段を形成する封止工程 までを、水分量を制限した雰囲気中で行うことを特徴とする技術が開示されている。 また、特許文献 5には、発光機能材料を吐出する吐出工程を不活性ガスの雰囲気中 で行う技術が開示されて 、る。
[0008] 特許文献 1 :特開平 10— 12377号公報
特許文献 2 :特開平 10— 153967号公報
特許文献 3 :特開平 10— 241858号公報
特許文献 4：特開 2003— 77655号公報
特許文献 5：特開 2003— 217840号公報
[0009] し力しながら、特許文献 3〜5に開示された製造方法のように、真空雰囲気中、不活 性ガス雰囲気中といた、酸素や水分を実質的に含まな!/、雰囲気中で有機 EL層を形 成しようとすると、有機 EL層を形成する工程をグローブボックス等の密閉空間中で行 わなければならない。研究室における実験的、試験的な制作段階においては、グロ ーブボックス内で有機 EL層を形成することも可能である力 量産工程において、グロ ーブボックス内で有機 EL層を形成することは、生産性 (生産効率）、生産コストの観 点から困難であるという問題がある。
[0010] 本発明は、係る点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、高発光効 率、且つ長い製品寿命を有する有機 ELディスプレイを低廉に、且つ高い生産効率 で製造する方法を提供することにある。
発明の開示 [0011] 従来、有機 EL層を大気中で形成した場合に有機 EL層の本来の特性が得られな いことの主たる原因は、有機 EL材料が酸素や水分に接触することであると考えられ ていた。しかし、本発明者らが誠意研究した結果、有機 EL層の本来の特性が得られ ないことの主たる原因は、有機 EL材料がオゾンに接触することであることが解明され た。そして、本発明者らは、有機 EL層を形成させる雰囲気のオゾン濃度を低減させ ることにより、有機 EL層形成工程における有機 EL材料の特性の劣化を効果的に抑 制することができることを見出し、本発明をなすに至った。
[0012] 本発明に係る有機 ELディスプレイの製造方法は、一対の電極の間に設けられた有 機エレクト口ルミネッセンス層を含む有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイを製造 するための方法である。本発明に係る有機 ELディスプレイの製造方法は、大気よりも オゾン濃度が低い空気雰囲気のエレクト口ルミネッセンス層形成室において、エレクト 口ルミネッセンス層を形成する形成工程を有する。
[0013] この製造方法では、有機 EL層の形成工程にぉ ヽて、有機 EL材料がオゾンと接触 することが効果的に抑制される。従って、高発光効率であり、長い製品寿命を有する 有機 ELディスプレイを製造することができる。
[0014] 大気よりもオゾン濃度が低い空気雰囲気は比較的容易に形成することができる。且 つ、比較的容易に保持することができる。例えば、エレクト口ルミネッセンス層形成室（ 以下、「EL層形成室」とすることがある。）はグローブボックスのような大が力りなもので なくてもよい。また、多大なランニングコストを要する不活性ガスを EL層形成室に送 入する必要がない。従って、本発明に係る有機 ELディスプレイの製造方法によれば 、高い特性を有する有機 ELディスプレイを低廉に製造することができる。また、 EL層 形成室はグローブボックスのような密閉空間である必要はな 、ため、高 、生産効率（ 高い作業性、搬送容易性)を実現することができる。
[0015] 本発明に係る有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造方法は、形成工程に 先立って、又は形成工程と同時に行われる、エレクト口ルミネッセンス層形成室に大 気よりも低いオゾン濃度に調整された調整空気を送り込む送入工程をさらに有してい てもよい。
[0016] 送入工程は、オゾン濃度を低減させるオゾン低減手段を用いて、調整空気のォゾ ン濃度を調整する調整工程を含んでいてもよい。また、オゾン低減手段は、オゾンを 実質的に含まない調整空気を調整する手段を含む。オゾン低減手段はオゾンを分解 させる機能、又はオゾンを吸着させる機能を有するものであってもよい。具体的には、 オゾン低減手段はオゾンフィルターであってもよい。
[0017] 本発明に係る有機 ELディスプレイの製造方法は、形成工程に先立って、又は形成 工程と同時に行われる、エレクト口ルミネッセンス層形成室のオゾン濃度を大気のォ ゾン濃度よりも低くする低減工程をさらに有して 、てもよ 、。
[0018] 本発明に係る有機 ELディスプレイの製造方法では、有機エレクト口ルミネッセンス 層形成時におけるエレクト口ルミネッセンス層形成室のオゾン濃度が 30ppb以下であ ることが好ましい。エレクト口ルミネッセンス層形成室内のオゾン濃度を 30ppb以下と することで、より高い特性 (発光効率、発光輝度、発光寿命等)を有する有機エレクト 口ルミネッセンスディスプレイを製造することができる。
[0019] 本発明に係る有機 ELディスプレイは、本発明に係る有機 ELディスプレイの製造方 法により製造されてなる。上述の通り、本発明に係る有機 ELディスプレイの製造方法 によれば、高 、特性を有する有機 ELディスプレイを低廉に且つ高 、生産効率で製 造することができる。このため、本発明に係る有機 ELディスプレイは、高い特性を有 し、且つ低廉且つ高い生産効率で製造可能である。
[0020] 本発明に係る第 1の製造装置は有機 EL層を含む有機 ELディスプレイを製造する 装置に関する。本発明に係る第 1の製造装置は、有機 EL層を形成させるための EL 層形成室と、有機 EL層の形成時において、大気よりも低いオゾン濃度の調整空気を EL層形成室に送り込む調整空気注入手段とを含む。本発明に係る第 1の製造装置 によれば、 EL層を形成させるための EL層形成室にオゾン濃度の低 ヽ調整空気を送 り込むことができる。このため、有機 EL層を製造する際の EL層形成室内のオゾン濃 度を大気のオゾン濃度よりも低くすることができる。よって、本発明に係る第 1の製造 装置によれば、有機 EL層形成時におけるオゾンによる有機 EL材料の劣化を効果的 に抑制できる。従って、高発光効率であり、長い製品寿命を有する有機 ELディスプレ ィを製造することができる。
[0021] 本発明に係る第 1の製造装置は、調整空気注入手段がオゾン濃度を低減させるォ ゾン低減手段を含んでいても構わない。尚、オゾン低減手段は調整空気のオゾン濃 度を実質的にゼロにするオゾン除去手段を含む。オゾン低減手段はオゾンを分解さ せる機能、又はオゾンを吸着させる機能を有していてもよい。具体的には、オゾン低 減手段はオゾンフィルターであってもよ 、。
[0022] 調整空気手段は、空気を加圧送入するポンプと、空気が通過するように設けられた オゾンフィルターとを有するものであってもよ!/、。
[0023] 本発明に係る第 1の製造装置では、有機エレクト口ルミネッセンス層形成時における エレクト口ルミネッセンス層形成室内のオゾン濃度が 30ppb以下であることが好ましい 。この構成によれば、より高い特性 (発光効率、発光輝度、発光寿命等)を有する有 機エレクト口ルミネッセンスディスプレイを製造することができる。
[0024] 本発明に係る第 2の製造装置は、有機エレクト口ルミネッセンス層を含む有機エレク トロルミネッセンスディスプレイを製造する装置に関する。本発明に係る第 2の製造装 置は、有機エレクト口ルミネッセンス層を形成させるためのエレクト口ルミネッセンス層 形成室と、有機エレクト口ルミネッセンス層の形成時において、エレクト口ルミネッセン ス層形成室内のオゾン濃度を大気のオゾン濃度よりも低くさせるオゾン低減手段とを 含む。
[0025] 本発明に係る第 2の製造装置によれば、オゾン低減手段によって EL層形成室のォ ゾン濃度を大気のオゾン濃度よりも低く調整することができる。そして、大気よりも低い オゾン濃度に調整された EL層形成室にぉ ヽて有機 EL層を形成することができる。こ のため、本発明に係る第 2の製造装置を用いることにより、有機 EL層形成時における オゾンによる有機 EL材料の劣化を効果的に抑制することができる。従って、本発明 に係る第 2の製造装置によれば、高発光効率であり、長い製品寿命を有する有機 EL ディスプレイを製造することができる。
[0026] 尚、オゾン低減手段はオゾンを分解させる機能、又はオゾンを吸着させる機能を有 するものであってもよい。具体的には、オゾン低減手段はオゾンフィルターであっても よい。
[0027] 本発明に係る第 2の製造装置では、有機エレクト口ルミネッセンス層形成時における エレクト口ルミネッセンス層形成室内のオゾン濃度が 30ppb以下であることが好ましい 。この構成によれば、より高い特性 (発光効率、発光輝度、発光寿命等)を有する有 機エレクト口ルミネッセンスディスプレイを製造することができる。
図面の簡単な説明
[0028] [図 1]実施形態 1に係る製造装置の構成を示す模式図である。
[図 2]EL層を形成する工程を説明するためのフローチャートである。
[図 3]実施形態 2に係る製造装置の構成を表す模式図である。
[図 4]実施形態 2に係る有機 EL層の形成工程を表すフローチャートである。
[図 5]実施例及び比較例に係る有機 ELディスプレイの概略断面図である。
[図 6]緑色発光材料を用いた実施例 1〜4及び比較例 1、 2について、有機 EL層形成 時におけるオゾン濃度と、発光効率との相関を示したグラフである。
[図 7]青色発光材料を用いた実施例 5〜8及び比較例 3、 4について、有機 EL層形成 時におけるオゾン濃度と、発光効率との相関を示したグラフである。
発明を実施するための最良の形態
[0029] 以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
[0030] (実施形態 1)
本実施形態 1に係る有機 ELディスプレイの製造工程について詳細に説明する。ま ず、ガラス、ブラスティック等カゝらなる絶縁基板上に複数の TFT、及び複数の陽極 (画 素電極)をマトリクス状に形成する。陽極はインジウムスズ酸ィ匕物 (ITO)等により形成 することができる。複数の陽極をそれぞれに区画するための隔壁 (バンク）を形成し、 各々の陽極の上にバッファ層（正孔 (ホール)輸送層）を形成する。ノ ッファ層は有機 EL発光層にキャリア (ホール)を注入する機能と、陽極の表面荒さを吸収し、平坦面 を形成する機能を有する。
[0031] バッファ層の材料としては、例えば、ポリエチレンジォキシチォフェンとポリスルホン 酸との混合体（PEDOTZPSS、例えばスタルクヴィテック社製 BYTRON P CH8 000)、 Poly— TPD (Poly (N, N， -bis - (4— butylphenyl)— N, N， -bis (phen yl) benzidine)、 PANI— CSA等が挙げられる。
[0032] ノッファ層の上に有機 EL発光層を形成する。有機 EL発光層の材料としては、例え ば、下記化学式 1により表された化合物（以下、「ィ匕合物 A」とすることがある。）に代表 されるポリフルオレン化合物、ポリフエ-レンビ-レン化合物、ポリスパイ口化合物、ポ リパラフヱ-レンィ匕合物、ポリチォフェンィ匕合物等が挙げられる。
[0033] [化 1]
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[0034] (式中、 R、 R'は、アルキル鎖を表し、 Ar、 Ar'は、芳香族ァリール化合物を表す。 1、 mは、 1以上の整数であり、 nは、 0又は 1以上の整数である。分子量は 5万以上 50万 以下である。 )
尚、化学式 1において、芳香族ァリールイ匕合物は、ジメチルベンゼン、ピリジン、ベ ンゼン、アントラセン、スピロビフルオレン、カルバゾール、ベンゾァミン、ビピリジン、 ベンゾチアジアゾール等であってもよい。化合物 Aの発光色は Ar、 Ar'の種類、及び 化学式 1中の 1、 m、 nの比率によって異なる。
[0035] バッファ層及び有機 EL発光層は湿式法、印刷法、レーザー転写法等により形成す ることができる。湿式法の例としては、スピンコート法、インクジェット法、ノズルコート 法、スリットコート法、ダイコート法等が挙げられる。印刷法としては、例えば、オフセッ ト印刷法、凹版印刷法が挙げられる。
[0036] 最後に、有機 EL発光層の上に陰極を形成し、窒素等の不活性ガス雰囲気下でガ ラスキヤップ等により有機 EL層を封止することにより、有機 ELディスプレイを完成させ る。尚、陰極はインジウムスズ酸ィ匕物 (ITO)等を蒸着法等により成膜することにより形 成することができる。
[0037] 尚、上記有機 ELディスプレイでは、有機 EL層はバッファ層（正孔輸送層）と有機 E L発光層とにより構成されている力 有機 EL層は有機 EL発光層のみにより構成され ていても構わない。また、ホール注入層、電子輸送層、電子注入層等をさらに有して いてもよい。
[0038] 以下、本実施形態 1におけるノ ッファ層と有機 EL発光層とを含む有機 EL層の形成 工程について詳述する。
[0039] 本実施形態 1においてはバッファ層と有機 EL発光層とを含む有機 EL層を、オゾン 濃度が大気より低い EL層形成室内で形成する。
[0040] 図 1は実施形態 1に係る製造装置 1の構成を示す模式図である。
[0041] 図 2は EL層を形成する工程を説明するためのフローチャートである。
[0042] 製造装置 1は、有機 EL層を形成させるための EL層形成室 10と、調整空気注入手 段 20と、 EL層形成室 10と調整空気注入手段 20とを連通させるダクト 30と、例えばィ ンクジェット装置等の有機 EL層形成手段（図示せず)とを含む。調整空気注入手段 2 0は、オゾン低減手段としてのオゾンフィルター 21aと、塵等をフィルターするクリーン フィルター 21bと、ポンプ 22とを備える。調整空気注入手段 20は大気のオゾン濃度よ りも低いオゾン濃度の調整空気を EL層形成室 10に送り込む。
[0043] オゾンフィルター 21aはオゾンを吸着及び Z又は分解することにより調整空気のォ ゾン濃度を低減する機能を有する。オゾンフィルター 21aは、オゾン分解触媒と、ォゾ ンを吸着する機能を有する活性炭とを含んでいてもよい。また、オゾン分解触媒又は 活性炭の 、ずれか一方を含むものであってもよ!/、。
[0044] 大気中のオゾンを含む空気は調整空気注入手段 20に送入される。送入された空 気力 調整空気注入手段 20に含まれるクリーンフィルター 21bによって塵等の不純 物が取り除かれる。その後、オゾンフィルター 21aにより大気中よりも低いオゾン濃度 を有する調整空気に調整される（調整工程、ステップ 1)。このようにして調整された調 整空気はポンプ 22の機能により、 EL層形成室 10に送入される（送入工程、ステップ 2)。そうすることで、 EL層形成室 10を大気よりもオゾン濃度が低い空気雰囲気とする 。そして、その EL層形成室 10中で基板上に有機 EL層を形成する（形成工程、ステ ップ 3)。この形成工程によれば、有機 EL材料のオゾンによる劣化を抑制させながら 有機 EL層を形成することができる。従って、高発光効率及び長い製品寿命を有する 有機 ELディスプレイを製造することができる。
[0045] 有機 EL層形成時において、調整空気注入手段 20は、 EL層形成室 10に形成ェ 程に先立ってのみ、又は EL層形成室 10に常時調整空気を送入するものであっても 構わず、若しくは、必要に応じて断続的に調整空気を送入するものであってもよい。 例えば、 EL層形成室 10中のオゾン濃度をモニタしながら、 EL層形成室 10中のォゾ ン濃度が所定のオゾン濃度を超えた場合に、一定期間内調整空気を送入させるもの であっても構わない。
[0046] 有機 EL層の特性 (発光効率、発光寿命等）は、 EL層形成室 10のオゾン濃度に相 関する。具体的には、 EL層形成室 10のオゾン濃度の低下と共に、得られる有機 EL 層の特性は向上する。特に、オゾン濃度が 50ppb〜30ppbの範囲で、得られる有機 EL層の特性が大きく変化し、オゾン濃度が 30ppb以下である場合に特に好ましい特 性を有する有機 EL層を形成することが可能となる。オゾン濃度が 20ppb以下である ことがさらに好ましい。
[0047] 大気のオゾン濃度は、季節、時間によって変化する力 概ね 30〜50ppbの範囲内 である。このため、大気のオゾン濃度が最も高ぐ 50ppb程度である場合でも、オゾン フィルター 21aにより約 4割のオゾンをカットすることにより良好な EL層形成室 10の雰 囲気を形成することができる。この程度のオゾン濃度の調整であれば、 EL層形成室 10が外気力 完全に遮断されたグローブボックスを用いなくとも十分に実現すること ができる。従って、高い作業性、生産性を実現することができる。また、ランニングコス トを要する不活性ガスの送入も要さな ヽため、容易且つ安価に有機 ELディスプレイ を製造することができる。
[0048] 有機 EL層を形成する工程は、有機 EL層を塗布法等により有機 EL材料を成膜す る成膜工程と、成膜した有機 EL材料力 なる薄膜を乾燥させることにより有機 EL層 を完成させる乾燥工程とを含む。少なくとも有機 EL層の成膜工程は、オゾン濃度が 低 ヽ EL層形成室 10内で行うことが好ま ヽ。成膜工程及び乾燥工程の両方を EL 層形成室 10内で行うことがより好ましぐ有機 EL層を形成した後、陰極を蒸着させる ために真空に保持された部屋に移動させる工程も調整空気雰囲気下で行うことがさ らに好ましい。そうすることにより、より高発光効率で長い製品寿命を有する有機 EL ディスプレイを製造することができる。
[0049] 尚、 EL層形成室 10内のオゾン濃度は、ダイレック社製 MODEL 1200等のオゾン 濃度計を用いて、紫外線吸収法により測定することができる。
[0050] (実施形態 2)
図 3は本実施形態 2に係る製造装置 2の構成を表す模式図である。
[0051] 図 3に示すように、本実施形態 2に係る製造装置 2は、調整空気注入手段 20の代 わりに低減手段 50が設けられて 、る点を除 、て上記実施形態 1に係る製造装置 1と 同様の形態を有する。ここでは、実施形態 1に係る製造装置 1と異なる低減手段 50に ついて詳細に説明する。尚、実質的に同じ機能を有する構成要素を実施形態 1と共 通の参照符号で説明し、説明を省略する。
[0052] 低減手段 50は EL層形成室 10の内部に設けられており、実施形態 1における調整 空気注入手段 20と同様に、オゾン低減手段としてのオゾンフィルター 21aと、クリーン フィルター 21bと、ポンプ 22とを備えている。ポンプ 22の機能により、 EL層形成室 10 内の空気が低減手段 50に吸入される。クリーンフィルター 21bにより、吸入された空 気力も塵等が取り除かれる。さらにオゾンフィルター 21aにより大気よりもオゾン濃度 が低い調整空気にされ、低減手段 50から排出される。すなわち、低減手段 50により 、オゾン濃度を低減させながら EL層形成室 10の雰囲気が循環される。この低減手 段 50を用いることにより、 EL層形成室 10内を大気よりもオゾン濃度が低い空気雰囲 気にすることができる。
[0053] 次に、製造装置 2を用いた有機 EL層の形成工程について説明する。
[0054] 図 4は実施形態 2に係る有機 EL層の形成工程を表すフローチャートである。
[0055] 低減手段 50を作動させ、 EL層形成室 10のオゾン濃度を大気のオゾン濃度よりも 低くする (低減工程、ステップ 10)。その後、又は低減工程を行いながら、 EL層形成 室において、基板に EL層を形成する（形成工程、ステップ 20)。そうすること〖こよって 、本実施形態 2においても、上記実施形態 1と同様に、有機 EL層に含まれる有機 EL 材料がオゾンと接触することを抑制させながら有機 EL層を形成することができる。従 つて、高発光効率及び長 ヽ製品寿命を有する有機 ELディスプレイを製造することが できる。
実施例
[0056] 図 5は実施例及び比較例に係る有機 ELディスプレイ 40の概略断面図である。
[0057] 有機 ELディスプレイ 40は、ガラス基板 41と、ガラス基板 41上に形成された陽極 42 と、陽極 42上に形成されたバッファ層 43と、バッファ層 43上に形成された有機 EL発 光層 44と、有機 EL発光層 44上に形成された陰極 45と、陽極 42、ノ ッファ層 43、有 機 EL発光層 44、及び陰極 45を封止し、外気力 遮断するための封止キャップ 46と を含む。ノ ッファ層 43及び有機 EL発光層 44を形成する際の雰囲気のオゾン濃度を 種々変化させて、以下の製造方法により有機 ELディスプレイ 40を形成し、実施例 1 〜8、及び比較例 1〜4とした。
[0058] まず、ガラス基板 41 (旭硝子社製)の上に、スパッタ法を用いて、インジウムスズ酸 化物（ITO)力もなる陽極 42を形成した。陽極 42の層厚は 200nmであった。陽極 42 の上に、インクジェット法を用いて、ポリエチレンジォキシチォフェンとポリスルホン酸 との混合体（PEDOTZPSS、スタルクヴィテック社製 BYTRON P CH8000)を含 むバッファ層 43を形成した。具体的には、実施例 1〜4及び比較例 1、 2では、ノ ッフ ァ層 43を形成するためのインクの組成は、 PEDOTZPSSを 6重量部、水を 5重量部 、エタノールを 5重量部、エチレングリコールを 5重量部とした。実施例 5〜8及び比較 例 3、 4では、バッファ層 43を形成するためのインクの組成は、 PEDOTZPSSを 6重 量部、水を 4重量部とした。 PEDOTZPSSを含むインクを成膜後、 200°Cで 20分間 焼成することによりバッファ層 43を形成した。実施例 1〜4及び比較例 1、 2では、形 成されたバッファ層 43の層厚は 80nmであった。実施例 5〜8及び比較例 3、 4では、 形成されたバッファ層 43の層厚は 40nmであった。
[0059] バッファ層 43の上に、インクジェット法を用いて上記化学式 1により表される化合物 Aを含む有機 EL発光層 44を形成した。具体的に、有機 EL発光層 44を形成するた めのインクの組成は、実施例 1〜4及び比較例 1、 2では、化合物 Aを 8重量部、テトラ リンを 500重量部、キシレンを 500重量部とした。実施例 5〜8及び比較例 3、 4では、 化合物 Aを 1重量部、キシレンを 100重量部とした。化合物 Aを含むインクを成膜後、 200°Cで 60分間焼成することにより有機 EL発光層 44を形成した。形成された有機 E L発光層 44の層厚は、実施例 1〜4及び比較例 1、 2では、 80nmであった。実施例 5 〜8及び比較例 3、 4では、 60nmであった。
[0060] 有機 EL発光層 44の上に、真空蒸着法により陰極 45を形成した。実施例 1〜4及び 比較例 1、 2では、陰極 45は、層厚 5nmのカルシウム層及び層厚 lOOnmの銀層で 構成した。実施例 5〜8及び比較例 3、 4では、陰極 45は、層厚 2nmのフッ化リチウム 層、層厚 2nmのカルシウム層、及び層厚 lOOnmの銀層で構成した。
[0061] その後、窒素雰囲気下において、ガラス (旭硝子社製)からなる封止キャップ 46によ り封止することにより有機 ELディスプレイ 40を完成した。尚、ガラス基板 41と封止キヤ ップ 46との接着は UV硬化榭脂を用いて行った。
[0062] ノ ッファ層 43と有機 EL発光層 44との形成 (成膜工程、及び乾燥工程）はオゾン濃 度を制御した調整空気中で行った。調整空気はオゾンフィルター (東洋紡社製）によ り調整した。尚、ノ ッファ層 43と有機 EL発光層 44との形成雰囲気のオゾン濃度は、 ダイレック社製 MODEL1200を用いて、紫外線吸収法により測定した。各実施例、 及び各比較例のノ ッファ層 43と有機 EL発光層 44との形成雰囲気のオゾン濃度は、 下記の表 1に示す通りである。
[0063] 上記工程により製造された実施例 1〜8及び比較例 1〜4に係る有機 ELディスプレ ィ 40のそれぞれの発光効率及び輝度半減時間を測定した。発光効率は大塚電子製 、有機 EL特性測定装置により測定した。輝度半減時間は大塚電子製有機 ELエー ジング装置により測定した。尚、「輝度半減時間」とは、初期輝度から初期輝度の半 分の輝度になるまでに要する時間のことをいう。緑色発光材料を用いた実施例 1〜4 及び比較例 1、 2では、初期輝度を 8000cdZm2とした。青色発光材料を用いた実施 例 5〜8及び比較例 3、 4では、初期輝度を 1500cd/m2とした。
[0064] 表 1に実施例 1〜8及び比較例 1〜4の発光効率及び輝度半減時間を示す。
[0065] [表 1]
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[0066] 図 6は緑色発光材料を用いた実施例 1〜4及び比較例 1、 2について、有機 EL ( ノ ッファ層 43及び有機 EL発光層 44)形成時におけるオゾン濃度と、発光効率との 相関を示したグラフである。
[0067] 図 7は青色発光材料を用いた実施例 5〜8及び比較例 3、 4について、有機 EL ( ノ ッファ層 43及び有機 EL発光層 44)形成時におけるオゾン濃度と、発光効率との 相関を示したグラフである。
[0068] 図 6及び図 7に示す結果からわかるように、緑色発光材料を用いた場合、青色発光 材料を用いた場合の双方にぉ ヽて、有機 EL層形成時のオゾン濃度の減少と共に有 機 ELディスプレイ 40の発光効率が上昇することがわかる。特に、オゾン濃度が 30pp bから 50ppbの領域で発光効率が急激に変化し、オゾン濃度が 30ppbを超えると、 得られる発光効率が急激に低下する。オゾン濃度を 30ppb以下とすることで、オゾン を実質的に含まない（3ppb以下)雰囲気下で有機 EL層を形成した場合に得られる 発光効率の約 8割以上の高い発光効率が得られることがわかる。
[0069] 有機 EL層形成時のオゾン濃度は 20ppb以下であることが特に好ましぐオゾン濃 度を 20ppb以下とすることで、オゾンを実質的に含まない（3ppb以下)雰囲気下で有 機 EL層を形成した場合に得られる発光効率の 9割以上という高い発光効率が得られ ることがゎカゝる。
[0070] 図 6及び図 7に示すように、輝度半減時間についても、発光効率と同様に、有機 EL 層を形成する際の雰囲気のオゾン濃度が減少するに従って長くなることがわかる。特 に、オゾン濃度が 30ppbから 50ppbの領域で発光効率が急激に変化し、オゾン濃度 力 S30ppbを超えると、得られる輝度半減時間が急激に短くなる。オゾン濃度を 30ppb 以下とすることで、オゾンを実質的に含まない（3ppb以下)雰囲気下で有機 EL層を 形成した場合に得られる輝度半減時間の約 7割以上の長い輝度半減時間が得られ ることがゎカゝる。
[0071] 長い輝度半減時間を得る観点からも、特に有機 EL層形成時のオゾン濃度は 20pp b以下であることが好ましぐオゾン濃度を 20ppb以下とすることで、オゾンを実質的 に含まな ヽ（3ppb以下)雰囲気下で有機 EL層を形成した場合に得られる輝度半減 時間の 9割以上という長い輝度半減時間が得られることがわかる。
産業上の利用可能性 以上説明したように、本発明に係る有機 ELディスプレイの製造方法によれば、長寿 命な有機 ELディスプレイを製造することができるため、携帯電話、 PDA,テレビ、電 子ブック、モニター、電子ポスター、時計、電子棚札、非常案内等に有用である。

Claims

請求の範囲
[1] 一対の電極の間に設けられた有機エレクト口ルミネッセンス層を含む有機エレクト口 ルミネッセンスディスプレイの製造方法であって、
大気よりもオゾン濃度が低い空気雰囲気のエレクト口ルミネッセンス層形成室にお
V、て、上記エレクト口ルミネッセンス層を形成する形成工程を有する有機エレクトロル ミネッセンスディスプレイの製造方法。
[2] 請求項 1に記載された有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造方法にぉ ヽ て、
上記形成工程に先立って、又は該形成工程と同時に行われる、上記エレクト口ルミ ネッセンス層形成室に大気よりも低 ヽオゾン濃度に調整された調整空気を送り込む 送入工程をさらに有する有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造方法。
[3] 請求項 2に記載された有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造方法にぉ ヽ て、
上記送入工程は、オゾン濃度を低減させるオゾン低減手段を用いて、上記調整空 気のオゾン濃度を調整する調整工程を含む有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイ の製造方法。
[4] 請求項 3に記載された有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造方法にぉ ヽ て、
上記オゾン低減手段はオゾンを分解させる機能、又はオゾンを吸着させる機能を有 する有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造方法。
[5] 請求項 3に記載された有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造方法にぉ ヽ て、
上記オゾン低減手段はオゾンフィルターである有機エレクト口ルミネッセンスデイス プレイの製造方法。
[6] 請求項 1に記載された有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造方法にぉ ヽ て、
上記形成工程に先立って、又は該形成工程と同時に行われる、上記エレクト口ルミ ネッセンス層形成室のオゾン濃度を大気のオゾン濃度よりも低くする低減工程をさら に有する有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造方法。
[7] 請求項 1に記載された有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造方法にぉ ヽ て、
上記有機エレクト口ルミネッセンス層形成時における上記エレクト口ルミネッセンス層 形成室のオゾン濃度が 30ppb以下である有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの 製造方法。
[8] 請求項 1に記載された有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造方法により 製造されてなる有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイ。
[9] 有機エレクト口ルミネッセンス層を含む有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの 製造装置であって、
上記有機エレクト口ルミネッセンス層を形成させるためのエレクト口ルミネッセンス層 形成室と、
上記有機エレクト口ルミネッセンス層の形成時にぉ 、て、大気よりも低 、オゾン濃度 の調整 気を卜.記エレクト口ルミネッセンス層形成室に送り认む調整 気注入丰段
を含む有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造装置。
[10] 請求項 9に記載された有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造装置にぉ ヽ て、
上記 m^ A^は、オゾン濃度 低減させるオゾン低減丰段 含む有機ェ レクト口ルミネッセンスディスプレイの製造装置。
[11] 請求項 10に記載された有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造装置にお いて、
上記オゾン低減手段はオゾンを分解させる機能、又はオゾンを吸着させる機能を有 する有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造装置。
[12] 請求項 10に記載された有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造装置にお いて、
上記オゾン低減手段はオゾンフィルターである有機エレクト口ルミネッセンスデイス プレイの製造方法。
[13] 請求項 9に記載された有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造装置にぉ ヽ て、
上記有機エレクト口ルミネッセンス層形成時における上記エレクト口ルミネッセンス層 形成室内のオゾン濃度が 30ppb以下である有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイ の製造装置。
[14] 請求項 9に記載された有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造装置にぉ ヽ て、
上記調整空気手段は、空気を加圧送入するポンプと、上記空気が通過するように 設けられたオゾンフィルターとを有する有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製 造方法。
[15] 有機エレクト口ルミネッセンス層を含む有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの 製造装置であって、
上記有機エレクト口ルミネッセンス層を形成させるためのエレクト口ルミネッセンス層 形成室と、
上記有機エレクト口ルミネッセンス層の形成時にぉ 、て、上記エレクト口ルミネッセン ス層形成室内のオゾン濃度を大気のオゾン濃度よりも低くさせるオゾン低減手段 、 を含む有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造装置。
[16] 請求項 15に記載された有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造装置にお いて、
上記オゾン低減手段はオゾンを分解させる機能、又はオゾンを吸着させる機能を有 する有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造装置。
[17] 請求項 15に記載された有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造装置にお いて、
上記有機エレクト口ルミネッセンス層形成時における上記エレクト口ルミネッセンス層 形成室内のオゾン濃度が 30ppb以下である有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイ の製造装置。
[18] 請求項 15に記載された有機エレクト口ルミネッセンスディスプレイの製造装置にお いて、 上記オゾン低減手段はオゾンフィルターである有機エレクト口ルミネッセンスデイス プレイの製造方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009201999A (ja) * 2006-11-01 2009-09-10 Boofoowoo Co Ltd 画像ディスプレイ装置を搭載したネイルチップ及び専用充電器
JP2009294568A (ja) * 2008-06-09 2009-12-17 Tsukuba Semi Technology:Kk 表面保護膜作成方法及び表面保護膜作成装置
JP2016029635A (ja) * 2014-07-16 2016-03-03 住友化学株式会社 発光素子の製造方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008053549A1 (fr) * 2006-11-01 2008-05-08 Boofoowoo Co., Ltd. Faux-ongle monté avec un dispositif d'affichage d'image
KR100977704B1 (ko) * 2007-12-21 2010-08-24 주성엔지니어링(주) 표시소자 및 그 제조방법
US11264571B2 (en) * 2018-11-09 2022-03-01 Samsung Display Co., Ltd. Bake system and method of fabricating display device using the same

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56112095A (en) * 1980-01-24 1981-09-04 Alps Electric Co Ltd Method of manufacturing electrolumininescence display element
JPH10153967A (ja) 1996-11-25 1998-06-09 Seiko Epson Corp フルカラー有機ｅｌ表示装置およびその製造方法
JPH10241858A (ja) 1997-02-25 1998-09-11 Tdk Corp 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法および製造装置
JPH11273859A (ja) * 1998-03-24 1999-10-08 Sony Corp 有機電界発光素子及びその製造方法
WO2001038003A1 (fr) * 1999-11-26 2001-05-31 Asahi Glass Company, Limited Procede de fabrication de couche mince a partir d'une substance organique et appareil correspondant
JP2003077655A (ja) 2001-09-04 2003-03-14 Canon Inc 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法
JP2003217840A (ja) 2002-01-23 2003-07-31 Seiko Epson Corp 有機ｅｌ装置の製造方法および製造装置、並びに有機ｅｌ装置、電子機器および液滴吐出装置
JP2003347045A (ja) * 2002-05-02 2003-12-05 Osram Opto Semiconductors Gmbh 基板上に作製される複数のデバイスを封入する方法および電子デバイス
JP2004337772A (ja) 2003-05-16 2004-12-02 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3035018B2 (ja) * 1991-08-20 2000-04-17 彰 水野 クリーンルームの空気浄化方法
GB2292698B (en) * 1994-08-31 1998-02-11 Nichias Corp Ozone filter and process for producing the same
JP3497642B2 (ja) * 1995-11-30 2004-02-16 高砂熱学工業株式会社 局所清浄空間
US6049167A (en) * 1997-02-17 2000-04-11 Tdk Corporation Organic electroluminescent display device, and method and system for making the same
JP4166909B2 (ja) * 1999-08-11 2008-10-15 高砂熱学工業株式会社 高度清浄装置，局所清浄システム及びオゾン分解フィルタとその製造方法
KR100701578B1 (ko) * 2000-02-01 2007-04-02 동경 엘렉트론 주식회사 기판처리장치 및 기판처리방법
JP2002233718A (ja) * 2001-02-13 2002-08-20 Nippon Pure Tec Kk エアフィルタ用ろ材
JP3557472B2 (ja) * 2001-04-17 2004-08-25 株式会社 日立インダストリイズ 液晶基板の組立方法及びその組立装置及び液晶供給装置
JP4543617B2 (ja) * 2002-04-22 2010-09-15 セイコーエプソン株式会社 アクティブマトリクス基板の製造方法、電気光学装置の製造方法、電子機器の製造方法、アクティブマトリクス基板の製造装置、電気光学装置の製造装置、及び電気機器の製造装置
US6949389B2 (en) * 2002-05-02 2005-09-27 Osram Opto Semiconductors Gmbh Encapsulation for organic light emitting diodes devices
US6566032B1 (en) * 2002-05-08 2003-05-20 Eastman Kodak Company In-situ method for making OLED devices that are moisture or oxygen-sensitive
US7361413B2 (en) * 2002-07-29 2008-04-22 Lumimove, Inc. Electroluminescent device and methods for its production and use
JP3900125B2 (ja) * 2002-11-26 2007-04-04 セイコーエプソン株式会社 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法
KR100476719B1 (ko) * 2002-12-05 2005-03-17 삼성전자주식회사 오염 제어 시스템 및 이를 이용한 기판 처리 장치의 공조시스템
JP4447213B2 (ja) * 2002-12-09 2010-04-07 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 流体浄化装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56112095A (en) * 1980-01-24 1981-09-04 Alps Electric Co Ltd Method of manufacturing electrolumininescence display element
JPH10153967A (ja) 1996-11-25 1998-06-09 Seiko Epson Corp フルカラー有機ｅｌ表示装置およびその製造方法
JPH10241858A (ja) 1997-02-25 1998-09-11 Tdk Corp 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法および製造装置
JPH11273859A (ja) * 1998-03-24 1999-10-08 Sony Corp 有機電界発光素子及びその製造方法
WO2001038003A1 (fr) * 1999-11-26 2001-05-31 Asahi Glass Company, Limited Procede de fabrication de couche mince a partir d'une substance organique et appareil correspondant
US20020187272A1 (en) 1999-11-26 2002-12-12 Asahi Glass Company Limited Method and apparatus for forming thin film of organic material
JP2003077655A (ja) 2001-09-04 2003-03-14 Canon Inc 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法
JP2003217840A (ja) 2002-01-23 2003-07-31 Seiko Epson Corp 有機ｅｌ装置の製造方法および製造装置、並びに有機ｅｌ装置、電子機器および液滴吐出装置
JP2003347045A (ja) * 2002-05-02 2003-12-05 Osram Opto Semiconductors Gmbh 基板上に作製される複数のデバイスを封入する方法および電子デバイス
JP2004337772A (ja) 2003-05-16 2004-12-02 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1826836A4

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009201999A (ja) * 2006-11-01 2009-09-10 Boofoowoo Co Ltd 画像ディスプレイ装置を搭載したネイルチップ及び専用充電器
JP2009294568A (ja) * 2008-06-09 2009-12-17 Tsukuba Semi Technology:Kk 表面保護膜作成方法及び表面保護膜作成装置
JP2016029635A (ja) * 2014-07-16 2016-03-03 住友化学株式会社 発光素子の製造方法

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