JP2006261055A - 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置 - Google Patents
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- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 title claims abstract description 223
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 94
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 90
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 49
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 28
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 13
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 19
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 187
- 239000000463 material Substances 0.000 description 44
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 27
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 8
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 229940126062 Compound A Drugs 0.000 description 6
- NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N Heterophylliin A Natural products O1C2COC(=O)C3=CC(O)=C(O)C(O)=C3C3=C(O)C(O)=C(O)C=C3C(=O)OC2C(OC(=O)C=2C=C(O)C(O)=C(O)C=2)C(O)C1OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 6
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 6
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 6
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- -1 polyphenylene vinylene Polymers 0.000 description 4
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- CXWXQJXEFPUFDZ-UHFFFAOYSA-N tetralin Chemical compound C1=CC=C2CCCCC2=C1 CXWXQJXEFPUFDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 9H-carbazole Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 2
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000007791 dehumidification Methods 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 2
- ICPSWZFVWAPUKF-UHFFFAOYSA-N 1,1'-spirobi[fluorene] Chemical compound C1=CC=C2C=C3C4(C=5C(C6=CC=CC=C6C=5)=CC=C4)C=CC=C3C2=C1 ICPSWZFVWAPUKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FNQJDLTXOVEEFB-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-benzothiadiazole Chemical compound C1=CC=C2SN=NC2=C1 FNQJDLTXOVEEFB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LGDCSNDMFFFSHY-UHFFFAOYSA-N 4-butyl-n,n-diphenylaniline Polymers C1=CC(CCCC)=CC=C1N(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 LGDCSNDMFFFSHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005964 Acibenzolar-S-methyl Substances 0.000 description 1
- ROFVEXUMMXZLPA-UHFFFAOYSA-N Bipyridyl Chemical compound N1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1 ROFVEXUMMXZLPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 125000000843 phenylene group Chemical class C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Chemical class 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002076 α-tocopherol Substances 0.000 description 1
- GVJHHUAWPYXKBD-IEOSBIPESA-N α-tocopherol Chemical compound OC1=C(C)C(C)=C2O[C@@](CCC[C@H](C)CCC[C@H](C)CCCC(C)C)(C)CCC2=C1C GVJHHUAWPYXKBD-IEOSBIPESA-N 0.000 description 1
- 235000004835 α-tocopherol Nutrition 0.000 description 1
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- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明に係る有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法は大気よりも水分濃度が低い空気雰囲気を有するEL形成室10において有機エレクトロルミネッセンス層を形成することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
尚、化学式1において、芳香族アリール化合物は、ジメチルベンゼン、ピリジン、ベンゼン、アントラセン、スピロビフルオレン、カルバゾール、ベンゾアミン、ビピリジン、ベンゾチアジアゾール等であってもよい。化合物Aの発光色はAr、Ar'の種類、及び化学式1中のl、m、nの比率によって異なる。
本実施形態1では、雰囲気調整手段20はEL層形成室10の外側に設けられており、雰囲気調整手段20は外気を吸入して、水分濃度が低減された調整空気をEL層形成室10内に送入するものである。しかし、本発明はこの形態に限定されるものではない。例えば、EL層形成室10内の空気中の水分を除去することによりEL層形成室10内の水分濃度を大気中の水分濃度よりも低くする水分除去手段をEL層形成室10内に設けてもよい。言い換えれば、雰囲気調整手段はEL層形成室10内の空気を循環させながら除湿するものであってもよい。
10 EL層形成室
20 雰囲気調整手段
21 ポンプ
22 水分低減手段
23 水分除去手段
30 有機ELディスプレイ
31 ガラス基板
32 陽極
33 バッファ層
34 有機EL発光層
35 陰極
36 封止キャップ
Claims (10)
- 有機エレクトロルミネッセンス層を含む有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法であって、
大気よりも水分濃度が低い空気雰囲気を有するハウジングにおいて上記有機エレクトロルミネッセンス層を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。 - 請求項1に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法において、
大気の水分濃度よりも低い水分濃度に調整された調整空気を上記ハウジング内に送り込むことによって、該ハウジング内の水分濃度を大気の水分濃度よりも低くすることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。 - 請求項2に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法において、
水分濃度を低減させる水分低減手段を用いて上記調整空気を生成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。 - 請求項1に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法において、
空気雰囲気を有する上記ハウジング内の水分を除去することによって、該ハウジング内の水分濃度を大気の水分濃度よりも低くする有機エレクトロルミネッセントディスプレイの製造方法。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法において、
絶対湿度が0.18g/Kg(D.A.)以上5g/Kg(D.A.)以下である空気雰囲気を有する上記ハウジングにおいて上記有機エレクトロルミネッセンス層の形成を行うことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。 - 有機エレクトロルミネッセンス層を含む有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置であって、
上記有機エレクトロルミネッセンス層の形成を行うためのハウジングと、
上記有機エレクトロルミネッセンス層の形成時において、上記ハウジング内を大気の水分濃度よりも低い水分濃度の空気雰囲気にするための雰囲気調整手段と、
を有する有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置。 - 請求項6に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置において、
上記雰囲気調整手段は、大気の水分濃度よりも低い水分濃度に調整された調整空気を生成する水分低減手段と、該水分低減手段で生成された該調整空気を上記ハウジング内に送り込む送入手段とを含む有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置。 - 請求項7に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置において、
上記水分低減手段は、水分を吸着させる手段、空気を冷却することにより該空気中の水分を除去する手段、及び空気を圧縮することにより該空気中の水分を除去する手段のうちの少なくともひとつの手段を含む有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置。 - 請求項6に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置において、
上記雰囲気調整手段は、上記ハウジング内の空気中の水分を除去することにより、上記ハウジング内の水分濃度を大気の水分濃度よりも低くする水分除去手段を含む有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置。 - 請求項6乃至9のいずれか一項に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置において、
上記有機エレクトロルミネッセンス層の形成時における上記ハウジング内の空気雰囲気は、絶対湿度が0.18g/Kg(D.A.)以上5g/Kg(D.A.)以下である有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005080100A JP2006261055A (ja) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005080100A JP2006261055A (ja) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006261055A true JP2006261055A (ja) | 2006-09-28 |
Family
ID=37100038
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005080100A Pending JP2006261055A (ja) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2006261055A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011115075A1 (ja) | 2010-03-15 | 2011-09-22 | 三菱化学株式会社 | 有機電界発光素子及びその製造方法、有機el表示装置、有機el照明、並びに有機電界発光素子の製造装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11121172A (ja) * | 1997-10-14 | 1999-04-30 | Tdk Corp | 有機el素子 |
JP2004141721A (ja) * | 2002-10-22 | 2004-05-20 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 清浄空気生成装置及び清浄空気の生成方法 |
JP2004362854A (ja) * | 2003-06-03 | 2004-12-24 | Seiko Epson Corp | チャンバ装置の運転方法、チャンバ装置、これを備えたワーク処理設備および有機el装置 |
JP2006120382A (ja) * | 2004-10-20 | 2006-05-11 | Seiko Epson Corp | 有機el装置の製造装置及び方法、並びに電気光学装置及び電子機器 |
-
2005
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11121172A (ja) * | 1997-10-14 | 1999-04-30 | Tdk Corp | 有機el素子 |
JP2004141721A (ja) * | 2002-10-22 | 2004-05-20 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 清浄空気生成装置及び清浄空気の生成方法 |
JP2004362854A (ja) * | 2003-06-03 | 2004-12-24 | Seiko Epson Corp | チャンバ装置の運転方法、チャンバ装置、これを備えたワーク処理設備および有機el装置 |
JP2006120382A (ja) * | 2004-10-20 | 2006-05-11 | Seiko Epson Corp | 有機el装置の製造装置及び方法、並びに電気光学装置及び電子機器 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011115075A1 (ja) | 2010-03-15 | 2011-09-22 | 三菱化学株式会社 | 有機電界発光素子及びその製造方法、有機el表示装置、有機el照明、並びに有機電界発光素子の製造装置 |
US8927326B2 (en) | 2010-03-15 | 2015-01-06 | Mitsubishi Chemical Corporation | Organic electroluminescence element, production method thereof, organic EL display device, organic EL lighting, and apparatus for producing organic electroluminescence element |
KR20180100255A (ko) | 2010-03-15 | 2018-09-07 | 미쯔비시 케미컬 주식회사 | 유기 전계 발광 소자 및 그 제조 방법, 유기 el 표시 장치, 유기 el 조명, 그리고 유기 전계 발광 소자의 제조 장치 |
KR20190143482A (ko) | 2010-03-15 | 2019-12-30 | 미쯔비시 케미컬 주식회사 | 유기 전계 발광 소자 및 그 제조 방법, 유기 el 표시 장치, 유기 el 조명, 그리고 유기 전계 발광 소자의 제조 장치 |
KR20210074419A (ko) | 2010-03-15 | 2021-06-21 | 미쯔비시 케미컬 주식회사 | 유기 전계 발광 소자 및 그 제조 방법, 유기 el 표시 장치, 유기 el 조명, 그리고 유기 전계 발광 소자의 제조 장치 |
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A621 | Written request for application examination |
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