JP3035018B2 - クリーンルームの空気浄化方法 - Google Patents
クリーンルームの空気浄化方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームの循環
空気に含まれる微量ガス成分を除去するためのクリーン
ルームの空気浄化方法に関するものである。
空気に含まれる微量ガス成分を除去するためのクリーン
ルームの空気浄化方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルームは、フィルターを通して
空気が循環されるが、フィルターを通しても除去できな
い微量ガス成分はクリーンルームを繰返し循環して好ま
しくない。従来、この微量ガス成分、例えば、臭気成
分，ＳＯ2 ，ＮＨ3 ，ＮＯ2 などは活性炭等の吸着剤で
吸着除去するようにしている。
空気が循環されるが、フィルターを通しても除去できな
い微量ガス成分はクリーンルームを繰返し循環して好ま
しくない。従来、この微量ガス成分、例えば、臭気成
分，ＳＯ2 ，ＮＨ3 ，ＮＯ2 などは活性炭等の吸着剤で
吸着除去するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
ガス成分は極低濃度であり、活性炭で吸着しようとして
も極めて効率が悪い問題がある。
ガス成分は極低濃度であり、活性炭で吸着しようとして
も極めて効率が悪い問題がある。
【０００４】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、クリーンルームの循環空気に含まれる微量ガス成分
を効率よく除去できるクリーンルームの空気浄化方法を
提供することにある。
し、クリーンルームの循環空気に含まれる微量ガス成分
を効率よく除去できるクリーンルームの空気浄化方法を
提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、クリーンルームの循環空気に含まれる微量
ガス成分を除去するためのクリーンルームの空気浄化方
法において、クリーンルームの循環空気通とに高電圧放
電部を設けると共にその下流側に微粒子捕集フィルタと
オゾン分解触媒層と吸着層を設け、高圧放電部での放電
で微量ガス成分をプラズマ化させて微粒子捕集フィルタ
と吸着層で除去すると共に発生したオゾンをオゾン分解
触媒層で除去するようにしたものである。
に本発明は、クリーンルームの循環空気に含まれる微量
ガス成分を除去するためのクリーンルームの空気浄化方
法において、クリーンルームの循環空気通とに高電圧放
電部を設けると共にその下流側に微粒子捕集フィルタと
オゾン分解触媒層と吸着層を設け、高圧放電部での放電
で微量ガス成分をプラズマ化させて微粒子捕集フィルタ
と吸着層で除去すると共に発生したオゾンをオゾン分解
触媒層で除去するようにしたものである。
【０００６】
【作用】上記構成によれば、循環空気が高電圧放電部を
通過する際に、プラズマ化され、プラズマ化学反応によ
り空気中に含まれる微量ガス成分の気相凝縮・微粒化反
応を起こし、これら微粒子が下流の微粒子捕集用フィル
タで効率よく除去できると共にプラズマ化学反応により
酸化された微量ガス成分がオゾン分解触媒層と吸着剤層
にて吸着されて除去される。
通過する際に、プラズマ化され、プラズマ化学反応によ
り空気中に含まれる微量ガス成分の気相凝縮・微粒化反
応を起こし、これら微粒子が下流の微粒子捕集用フィル
タで効率よく除去できると共にプラズマ化学反応により
酸化された微量ガス成分がオゾン分解触媒層と吸着剤層
にて吸着されて除去される。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
て詳述する。
【０００８】図１は本発明の全体図を示し、図におい
て、１は工場などの建屋２内などに形成されるクリーン
ルームで、上部がフィルター３で仕切られ、下部は床面
となるグレーチング４で仕切られて形成される。このフ
ィルター３の上部には給気チャンバー５が形成され、グ
レーチング４の下方には還気チャンバー６が形成され
る。このクリーンルーム１内の空気は、空調機７を含む
空気循環通路８にて循環されるようになっている。すな
わち空気は、給気チャンバー５からフィルター３を介し
て清浄空気として供給され、クリーンルーム１内を降下
し、グレーチング４を通して還気チャンバー６に流れ、
その還気チャンバー６から吸気ダクト９を通じて空調機
７に流れ、空調機７内の熱交換器１０で空調され、送風
ファン１１より吹出しダクト１２を介して給気チャンバ
ー５に流れてクリーンルーム１に循環されるようになっ
ている。空調機７には外気導入ダクト１３が接続され、
また吸気ダクト９と吹出しダクト１２間にはバイバスダ
クト１４が接続される。
て、１は工場などの建屋２内などに形成されるクリーン
ルームで、上部がフィルター３で仕切られ、下部は床面
となるグレーチング４で仕切られて形成される。このフ
ィルター３の上部には給気チャンバー５が形成され、グ
レーチング４の下方には還気チャンバー６が形成され
る。このクリーンルーム１内の空気は、空調機７を含む
空気循環通路８にて循環されるようになっている。すな
わち空気は、給気チャンバー５からフィルター３を介し
て清浄空気として供給され、クリーンルーム１内を降下
し、グレーチング４を通して還気チャンバー６に流れ、
その還気チャンバー６から吸気ダクト９を通じて空調機
７に流れ、空調機７内の熱交換器１０で空調され、送風
ファン１１より吹出しダクト１２を介して給気チャンバ
ー５に流れてクリーンルーム１に循環されるようになっ
ている。空調機７には外気導入ダクト１３が接続され、
また吸気ダクト９と吹出しダクト１２間にはバイバスダ
クト１４が接続される。
【０００９】このクリーンルーム１の空気循環通路８
に、例えば図１に示すように給気チャンバー５内に空気
浄化装置１５が設けられる。
に、例えば図１に示すように給気チャンバー５内に空気
浄化装置１５が設けられる。
【００１０】この空気浄化装置１５は、図２に示すよう
に循環空気の通るケーシング１６内に、高電圧放電部１
７とその下流に設けたオゾン分解触媒層１８と活性炭や
ゼオライトなどの吸着剤層１９と高性能の微粒子捕集用
フィルター２０とが設けられて構成される。なお、この
吸着剤層１９と微粒子捕集用フィルター２０とは逆に入
れ替えてもよい。
に循環空気の通るケーシング１６内に、高電圧放電部１
７とその下流に設けたオゾン分解触媒層１８と活性炭や
ゼオライトなどの吸着剤層１９と高性能の微粒子捕集用
フィルター２０とが設けられて構成される。なお、この
吸着剤層１９と微粒子捕集用フィルター２０とは逆に入
れ替えてもよい。
【００１１】高電圧放電部１７は、線状放電極２１と板
状の接地電極２２とからなり、その電極２１，２２間に
直流または交流高電圧が印加される。この電源は、図３
に示すように（ａ）急峻なパルス電圧、（ｂ）方形波パ
ルス電圧、（ｃ）急峻なパルス電圧に直流電圧を重畳さ
せた電圧、（ｄ）正負の方形波パルス電圧などいずれの
電圧でもよい。
状の接地電極２２とからなり、その電極２１，２２間に
直流または交流高電圧が印加される。この電源は、図３
に示すように（ａ）急峻なパルス電圧、（ｂ）方形波パ
ルス電圧、（ｃ）急峻なパルス電圧に直流電圧を重畳さ
せた電圧、（ｄ）正負の方形波パルス電圧などいずれの
電圧でもよい。
【００１２】次に実施例の作用を述べる。
【００１３】クリーンルーム１の空気中にはフィルター
３では除去できない、臭気成分，ＳＯ2 ，ＮＨ3 ，ＮＯ
2 などの微量ガス成分が含まれている。このクリーンル
ーム１の空気は、グレーチング４を通して還気チャンバ
ー６に流れ、その還気チャンバー６から吸気ダクト９を
通じて空調機７に流れ、空調機７内の熱交換器１０で空
調され、送風ファン１１より吹出しダクト１２を介して
給気チャンバー５内の空気浄化装置１５を通る際に、そ
の空気中の微量ガス成分が除去される。すなわち、高電
圧放電部１７の電極２１，２２間には、立ち上がり１０
μＳ以下のパルス電圧や方形波パルス電圧などが印加さ
れ、ストリーマー放電が発生し、電極２１，２２間の広
い空間を電離することができる。この放電により、
Ｏ2 、Ｎ2 分子などが電離及び励起され、イオンやラジ
カルが発生し、これらがプラズマ化学反応を起こす。一
方、空気中の微量ガス成分の多くが、この放電プラズマ
化学反応により微粒化（例えば、ＳＯ2 ，ＮＨ3 ，ＮＯ
2 などの微粒化）する。
３では除去できない、臭気成分，ＳＯ2 ，ＮＨ3 ，ＮＯ
2 などの微量ガス成分が含まれている。このクリーンル
ーム１の空気は、グレーチング４を通して還気チャンバ
ー６に流れ、その還気チャンバー６から吸気ダクト９を
通じて空調機７に流れ、空調機７内の熱交換器１０で空
調され、送風ファン１１より吹出しダクト１２を介して
給気チャンバー５内の空気浄化装置１５を通る際に、そ
の空気中の微量ガス成分が除去される。すなわち、高電
圧放電部１７の電極２１，２２間には、立ち上がり１０
μＳ以下のパルス電圧や方形波パルス電圧などが印加さ
れ、ストリーマー放電が発生し、電極２１，２２間の広
い空間を電離することができる。この放電により、
Ｏ2 、Ｎ2 分子などが電離及び励起され、イオンやラジ
カルが発生し、これらがプラズマ化学反応を起こす。一
方、空気中の微量ガス成分の多くが、この放電プラズマ
化学反応により微粒化（例えば、ＳＯ2 ，ＮＨ3 ，ＮＯ
2 などの微粒化）する。
【００１４】循環空気が高電圧放電部１７を通過する際
に、プラズマ化されると共にその空気中に含まれる微量
ガス成分もイオン化される。
に、プラズマ化されると共にその空気中に含まれる微量
ガス成分もイオン化される。
【００１５】これら微粒子は下流の微粒子捕集用フィル
ター２０にて効率よく除去することができる。また空気
中のプラズマ化学反応では、Ｏ、ＯＨラジカルによる酸
化反応も起こり、酸化されることにより、活性炭やゼオ
ライトなどの吸着層１９に吸着され易くなる微量ガス成
分も除去できる。また空気から生成されるオゾンや二酸
化窒素がオゾン分解触媒層１８で除去されると共に吸着
層１９でも除去される。 この放電部１７の放電電力と
空気１ｇ当り、１０-3〜１０［Ｊ］程度の範囲とする。
ター２０にて効率よく除去することができる。また空気
中のプラズマ化学反応では、Ｏ、ＯＨラジカルによる酸
化反応も起こり、酸化されることにより、活性炭やゼオ
ライトなどの吸着層１９に吸着され易くなる微量ガス成
分も除去できる。また空気から生成されるオゾンや二酸
化窒素がオゾン分解触媒層１８で除去されると共に吸着
層１９でも除去される。 この放電部１７の放電電力と
空気１ｇ当り、１０-3〜１０［Ｊ］程度の範囲とする。
【００１６】また空気浄化装置１５を通った空気は、給
気チャンバー５よりフィルター３を介してクリーンルー
ム１に循環される。なお図３の電圧中（ｂ）と（ｃ）の
電圧を放電部１７に印加した場合、ダスト粒子の荷電・
集塵効果も有する。
気チャンバー５よりフィルター３を介してクリーンルー
ム１に循環される。なお図３の電圧中（ｂ）と（ｃ）の
電圧を放電部１７に印加した場合、ダスト粒子の荷電・
集塵効果も有する。
【００１７】次に図４〜９により本発明の他の実施例を
説明する。
説明する。
【００１８】図４（ａ），（ｂ）は、高電圧放電部１７
を、ハニカム又は円筒状の接地電極２５と、その各ハニ
カム又は円筒状の接地電極２５内に臨んだ針状の放電電
極２６で形成したものである。この針状の放電電極２６
には、図３の（ａ）急峻なパルス電圧、（ｂ）方形波パ
ルス電圧を印加する。
を、ハニカム又は円筒状の接地電極２５と、その各ハニ
カム又は円筒状の接地電極２５内に臨んだ針状の放電電
極２６で形成したものである。この針状の放電電極２６
には、図３の（ａ）急峻なパルス電圧、（ｂ）方形波パ
ルス電圧を印加する。
【００１９】図５は、各ハニカム又は円筒状の接地電極
２５に針状の放電電極２６を上流側から臨ませ、かつオ
ゾン分解触媒層１８の前面に接地電極２７を設けたもの
である。この場合各ハニカム又は円筒状の接地電極２５
内と放電電極２６と接地電極２７間で放電が発生する。
２５に針状の放電電極２６を上流側から臨ませ、かつオ
ゾン分解触媒層１８の前面に接地電極２７を設けたもの
である。この場合各ハニカム又は円筒状の接地電極２５
内と放電電極２６と接地電極２７間で放電が発生する。
【００２０】図６は、高圧放電部１７を、針状の放電極
２８とオゾン分解触媒層１８の前面に設けた接地電極２
９とで形成した例を示す。
２８とオゾン分解触媒層１８の前面に設けた接地電極２
９とで形成した例を示す。
【００２１】図７はオゾナイザ型の高圧放電部１７の例
を示し、放電極３０をガラスやセラミックなどの絶縁筒
３１で包囲し、その絶縁筒３１の外周に接地電極３２を
設けたものである。この電極３０，３２間には図３に示
したいずれの電圧（ａ）〜（ｄ）を印加してもよい。こ
のオゾナイザ型の高圧放電部１７では、無声放電が一様
に発生し、この放電により、Ｏ2 、Ｎ2 分子などが電離
及び励起され、イオンやラジカルが発生し、これらがプ
ラズマ化学反応を起こし、微量ガス成分を微粒化させて
除去させることができる。
を示し、放電極３０をガラスやセラミックなどの絶縁筒
３１で包囲し、その絶縁筒３１の外周に接地電極３２を
設けたものである。この電極３０，３２間には図３に示
したいずれの電圧（ａ）〜（ｄ）を印加してもよい。こ
のオゾナイザ型の高圧放電部１７では、無声放電が一様
に発生し、この放電により、Ｏ2 、Ｎ2 分子などが電離
及び励起され、イオンやラジカルが発生し、これらがプ
ラズマ化学反応を起こし、微量ガス成分を微粒化させて
除去させることができる。
【００２２】図８は同じくオゾナイザ型の高圧放電部１
７の例を示し、線状放電極３３に絶縁板３４を対向さ
せ、その絶縁板３４の裏面に接地電極３５を設けたもの
である。この電極３３，３５間には図３に示したいずれ
の電圧（ａ）〜（ｄ）を印加してもよい。
７の例を示し、線状放電極３３に絶縁板３４を対向さ
せ、その絶縁板３４の裏面に接地電極３５を設けたもの
である。この電極３３，３５間には図３に示したいずれ
の電圧（ａ）〜（ｄ）を印加してもよい。
【００２３】図９は、ケシーシング１６の入口１６ａを
絞り、その絞った入口１６ａに高圧放電部１７を設け、
下流側のケーシング１６内にオゾン分解触媒層１８と吸
着剤層１９と微粒子捕集用フィルター２０とを設けた物
である。本例においては高圧放電部１７で空気の流速を
高流速化することで、放電部１７を小型にすると共に効
率のよいイオン化が行える。
絞り、その絞った入口１６ａに高圧放電部１７を設け、
下流側のケーシング１６内にオゾン分解触媒層１８と吸
着剤層１９と微粒子捕集用フィルター２０とを設けた物
である。本例においては高圧放電部１７で空気の流速を
高流速化することで、放電部１７を小型にすると共に効
率のよいイオン化が行える。
【００２４】上述の実施例においては、電極として金属
電極を用いる例で説明したが、他に放電極接地電極と
も、ガラス薄膜コーティング或いはセラミックコーティ
ングにより放電のスパッタリングによる微粒子発生を抑
制する方法も可能である。
電極を用いる例で説明したが、他に放電極接地電極と
も、ガラス薄膜コーティング或いはセラミックコーティ
ングにより放電のスパッタリングによる微粒子発生を抑
制する方法も可能である。
【００２５】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、ガス通過
領域の広い範囲を高電圧放電で電離し、プラズマ化学反
応により微量ガス成分の気相・凝縮を起こさせ、これを
微粒子捕集用フィルターで除去することができる。
領域の広い範囲を高電圧放電で電離し、プラズマ化学反
応により微量ガス成分の気相・凝縮を起こさせ、これを
微粒子捕集用フィルターで除去することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す全体図である。
【図２】図１の要部の拡大断面図である。
【図３】本発明において高圧放電部に印加する電圧波形
の例を示す図である。
の例を示す図である。
【図４】図２の他の実施例を示す図である。
【図５】図２の他の実施例を示す図である。
【図６】図２の他の実施例を示す図である。
【図７】図２の他の実施例を示す図である。
【図８】図２の他の実施例を示す図である。
【図９】図２の他の実施例を示す図である。
１ クリーンルーム ５ 給気チャンバー ８ 空気循環通路 １５ 空気浄化装置 １７ 高電圧放電部 １８ オゾン分解触媒層 １９ 吸着剤層 ２０ 微粒子捕集用フィルター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 阿部 宏昭 千葉県習志野市東習志野６丁目17番16号 株式会社朝日工業社技術研究所内 (72)発明者 河野 仁志 千葉県習志野市東習志野６丁目17番16号 株式会社朝日工業社技術研究所内 (72)発明者 本田 重夫 千葉県習志野市東習志野６丁目17番16号 株式会社朝日工業社技術研究所内 (56)参考文献 特開 平１−269846（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F24F 3/16 F24F 7/06
Claims (1)
- 【請求項１】 クリーンルームの循環空気に含まれる微
量ガス成分を除去するためのクリーンルームの空気浄化
方法において、クリーンルームの循環空気通とに高電圧
放電部を設けると共にその下流側に微粒子捕集フィルタ
とオゾン分解触媒層と吸着層を設け、高圧放電部での放
電で微量ガス成分を、プラズマ化して気相凝縮ないし微
粒化させて微粒子捕集フィルタと吸着層で除去すると共
に発生したオゾンをオゾン分解触媒層で除去することを
特徴とするクリーンルームの空気浄化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3207956A JP3035018B2 (ja) | 1991-08-20 | 1991-08-20 | クリーンルームの空気浄化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3207956A JP3035018B2 (ja) | 1991-08-20 | 1991-08-20 | クリーンルームの空気浄化方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0544958A JPH0544958A (ja) | 1993-02-23 |
| JP3035018B2 true JP3035018B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=16548320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3207956A Expired - Lifetime JP3035018B2 (ja) | 1991-08-20 | 1991-08-20 | クリーンルームの空気浄化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3035018B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100461613B1 (ko) * | 1997-01-31 | 2005-06-20 | 다까사고네쯔가꾸고교가부시끼가이샤 | 청정장치와 필터 및 그제조방법 |
| JP2002058417A (ja) * | 2000-08-16 | 2002-02-26 | Oriental Kiden Kk | 屠殺場の環境浄化システム |
| KR100481294B1 (ko) * | 2002-12-13 | 2005-04-07 | 우진에이씨티주식회사 | 크린룸용 와이퍼의 먼지제거장치 |
| JP4294542B2 (ja) * | 2004-05-18 | 2009-07-15 | 株式会社富士薬品 | 無菌性を要求される室の空調システム |
| EP1826836A4 (en) * | 2004-12-17 | 2009-05-13 | Sharp Kk | PROCESS FOR PRODUCING AN ORGANIC ELECTROLUMINESCENCE DISPLAY AND DEVICE THEREFOR |
| JP4766329B2 (ja) * | 2006-09-22 | 2011-09-07 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 多目的ガス処理装置及びその運転方法 |
| JP5301772B2 (ja) * | 2006-10-05 | 2013-09-25 | 高砂熱学工業株式会社 | 空調システム |
-
1991
- 1991-08-20 JP JP3207956A patent/JP3035018B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0544958A (ja) | 1993-02-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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