WO2006059548A1 - 試験装置 - Google Patents

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WO2006059548A1
WO2006059548A1 PCT/JP2005/021690 JP2005021690W WO2006059548A1 WO 2006059548 A1 WO2006059548 A1 WO 2006059548A1 JP 2005021690 W JP2005021690 W JP 2005021690W WO 2006059548 A1 WO2006059548 A1 WO 2006059548A1
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WO
WIPO (PCT)
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unit
cable
connector
test
frame
Prior art date
Application number
PCT/JP2005/021690
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Atsushi Ono
Toshiyuki Okayasu
Akihiro Fujimoto
Masashi Shibata
Original Assignee
Advantest Corporation
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Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corporation filed Critical Advantest Corporation
Priority to CN2005800444571A priority Critical patent/CN101088018B/zh
Priority to DE112005002907T priority patent/DE112005002907T5/de
Priority to KR1020077014257A priority patent/KR101228212B1/ko
Priority to US11/330,042 priority patent/US7316578B2/en
Publication of WO2006059548A1 publication Critical patent/WO2006059548A1/ja

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2889Interfaces, e.g. between probe and tester
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor

Definitions

  • the present invention relates to a test apparatus that tests an electronic device.
  • the present invention relates to a test apparatus that transmits signals using an optical fiber cable.
  • Patent application 2004 347860 Filing date November 30, 2004
  • test apparatuses for testing electronic devices.
  • an apparatus that connects a main frame and a test head using an optical fiber cable can be considered.
  • the mainframe and test head must be connected using a very large number of optical fiber cables.
  • the main frame and the test head when using optical fiber cables, it is necessary to connect the main frame and the test head by providing a connector at the end of each optical fiber cable and connecting the connector to the connector of the main frame. is there.
  • the main frame has a large number of test boards, and it is necessary to provide a plurality of connectors on each test board.
  • an object of the present invention is to provide a test apparatus that can solve the above-described problems. This object is achieved by a combination of features described in the independent claims.
  • the dependent claims define further advantageous specific examples of the present invention.
  • a test apparatus for testing an electronic device the test head for applying a test pattern to the electronic device, and a plurality of frame sides
  • a main frame that is provided with a connector and supplies a control signal to the test head via the frame side connector, and a cable unit that optically connects the frame side connector and the test head and transmits the control signal to the test head.
  • the cable unit is connected to a plurality of optical fiber cables for transmitting control signals, a plurality of unit side connectors provided at the ends of the optical fiber cables and corresponding to a plurality of frame side connectors, and a main frame. Connect the unit fixing part to fix the cable unit and each unit side connector to the corresponding frame side connector.
  • the connector holding unit may hold each unit side connector so as to be independently movable with respect to the direction of connection with the frame side connector.
  • the connector holding portion may have a locking portion that can be locked in a state where each unit side connector is not connected to the frame side connector.
  • the plurality of frame-side connectors are provided on a test board inserted into the main frame, and the locking portion has a plurality of positions at a position without contacting the test board in a state where the unit fixing portion fixes the cable unit. Lock the unit connector.
  • the plurality of unit-side connectors are arranged in parallel in the connector arrangement direction substantially perpendicular to the connection direction with the frame-side connector within the plane of the cable unit.
  • the holding claw is provided with a through groove that holds the unit side connector movably in the connecting direction by allowing the locking claw to move in the connecting direction when the locking claw is inserted. Have more substrates.
  • the pitch at which the plurality of through grooves are provided may be substantially the same as the width of the unit side connector in the connector arrangement direction.
  • the locking claw has a rear claw and a front claw provided closer to the test board than the rear claw, and the locking portion is provided to be detachable from the holding substrate.
  • the front side of the plurality of unit side connectors It has a locking plate that fits into the claw, the rear claw of each unit-side connector is fitted to the rear end of the through groove, and the front claw of each unit-side connector is fitted to the locking plate
  • the plurality of unit-side connectors may be locked at positions where they do not contact the test head.
  • the locking portion When the rear claw of each unit-side connector is fitted to the rear end of the through groove, the locking portion has a locking plate at a position where it is fitted to the front claw of each unit-side connector. Means may be provided for removably fixing.
  • the locking portion is attached to and detached from the position where the unit-side connector is fitted with the rear claw. It may further have means for fixing as possible.
  • the locking portion When the unit-side connector is inserted into the frame-side connector, the locking portion contacts a region different from the region in which the plurality of through grooves are provided, and also comes into contact with the front and rear claws. In addition, there should be a means for removably fixing the locking plate.
  • Each unit-side connector has an elastic protrusion protruding in the unit installation direction provided at a position where the rear claw contacts the front end of the through groove when the rear claw is fitted to the rear end of the through groove.
  • a return prevention protrusion having
  • Each unit-side connector further has a handle portion protruding in the unit installation direction in a region that is exposed to the outside of the holding substrate when the rear claw is fitted to the rear end portion of the through groove.
  • the cable unit has a plurality of connector blocks each having a plurality of unit-side connectors, and the locking portion has a locking plate and a means for detachably fixing the locking plate for each connector block. It's okay.
  • the holding board is provided between adjacent connector blocks, and faces the test board.
  • the test board has an extension part extending in the connecting direction at a position corresponding to the opening, and the unit fixing part has the extension part and the holding substrate in the state where the extension part is inserted into the opening. And may be fixed.
  • the holding substrate has a surface with the unit arrangement direction as a normal line, an upper substrate having a through groove on the surface, and a surface with the unit arrangement direction as a normal line.
  • a plurality of unit-side connectors may be inserted between the upper substrate and the lower substrate.
  • the lower substrate is provided at a cable passing portion through which each optical fiber cable passes and at an end of the cable passing portion, and is inserted through each optical fiber cable and sent out of the connector holding portion.
  • a plurality of through holes may be provided in a region facing the cable passing portion on the surface of the upper substrate where the through groove is provided.
  • the cable unit has a plurality of connector blocks each having a plurality of unit-side connectors, and opposes the region of the cable passing portion through which the optical fiber cable connected to the connector block closest to the cable sending portion passes.
  • the surface of the upper substrate may be cut away.
  • the interval between the upper substrate and the lower substrate in the region corresponding to the cable passing portion may be larger than the interval between the upper substrate and the lower substrate in the region corresponding to the through groove.
  • the cable passing part has a side surface that extends from the surface of the lower board in the normal direction to the unit placement direction to the upper board, and the locking part detachably fixes the locking plate to the side face. May have means to do.
  • the upper board includes an upper main board provided with a plurality of through grooves, and an upper main board provided with a plurality of through holes and detachably fixed to the upper main board in a region facing the cable passage portion. You can do it.
  • a test apparatus for testing an electronic device the first test head and the second test head each applying a test pattern to the electronic device, the surface, It has a test board with a plurality of frame-side connectors on each of the back side, and supplies control signals to the first test head via the frame-side connector on the front side.
  • Control signal to the second test via connector A first frame unit that optically connects the main frame supplied to the board, the frame-side connector provided on the surface of the test board, and the first test head, and transmits a control signal to the first test head, and the test board
  • the frame side connector provided on the back surface and the second test head are optically connected, and a second cable unit that transmits a control signal to the second test head is provided.
  • Each of the first cable unit and the second cable unit includes: Corresponding to multiple optical fiber cables that transmit control signals, multiple unit side connectors provided at the end of the optical fiber cable and corresponding to multiple frame side connectors, and each unit side connector A first cable that has a connector holding part that can be inserted into and removed from the frame side connector independently.
  • the knit further has a first unit fixing part for fixing the cable boot to the test board, and the second cable unit is a second unit fixing part for fixing the second cable unit to the first cable unit.
  • a test apparatus further comprising:
  • FIG. 1 is a diagram showing an example of the configuration of a test apparatus 100 according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a conceptual diagram of the test board 14 and the cable unit 20.
  • FIG. 3 is a diagram showing an example of the configuration of the connector holding unit 21.
  • FIG. 4 is a diagram showing an example of the appearance of each of an upper main board 26, an upper sub board 30, and a lower board 24.
  • FIG. 5 is an example of an enlarged view of the unit side connector 22 and the through groove 36.
  • FIG. 6 shows the position of the unit-side connector 22 with respect to the through groove 36 when inserted into the frame-side connector 16.
  • FIG. 7 is a conceptual diagram of a test board 14 in a test apparatus 100 having two test heads 12.
  • 8 is a diagram showing an example of the configuration of the connector holding portion 121 of the second cable unit 120.
  • FIG. 9] A diagram showing an example of the appearance of each of the upper main board 126, the upper sub board 130, and the lower board 124.
  • FIG. 10 is a conceptual diagram when the first cable unit 20 and the second cable unit 120 are bonded together.
  • FIG. 11 is a diagram showing an example of the configuration of the first cable unit 20 fixed to the test board 14 when the frame-side connector 16 provided on the back surface of the test board 14 is not used.
  • FIG. 1 is a diagram showing an example of the configuration of a test apparatus 100 according to an embodiment of the present invention.
  • the test apparatus 100 is an apparatus for testing an electronic device 300 such as a semiconductor circuit, and includes a main frame 10, a plurality of cable units 20, and a test head 12.
  • signal transmission between the main frame 10 and the test head 12 is performed using an optical fiber cable.
  • the test head 12 applies a test pattern to the electronic device 300.
  • the test head 12 may apply a test pattern to the plurality of electronic devices 300.
  • the test head 12 is connected to the main frame 10 via the cable unit 20, and applies a test pattern to the electronic device 300 based on a control signal received from the main frame 10.
  • the main frame 10 generates a control signal and supplies it to the test head 12.
  • the main frame 10 has a plurality of test boards 14 described later in FIG. Each test board 14 generates a control signal corresponding to each function.
  • Each test board 14 is provided with a plurality of frame-side connectors, which are connected to corresponding cable units 20 via the frame-side connectors.
  • Each frame side connector is a connector for an optical fiber cable.
  • the plurality of cable units 20 are provided corresponding to the plurality of test boards 14.
  • Each cable unit 20 has one end connected to the frame-side connector of the corresponding test board 14 and the other end connected to the test head 12. That is, each cable cut 20 optically connects the frame side connector and the test head 12 and transmits a control signal to the test head 12.
  • FIG. 2 is a conceptual diagram of the test board 14 and the cable unit 20.
  • the test board 14 is inserted into the main frame 10 described with reference to FIG.
  • the test board 14 has a plurality of frame-side connectors 16 and extending portions 18 at the end portion exposed from the main frame 10.
  • the plurality of frame side connectors 16 are arranged in parallel in a direction substantially perpendicular to the connection direction with the cable unit 20.
  • Multiple frame side connectors 1 6 is divided into a plurality of blocks, and an extending portion 18 extending in the connecting direction is provided between the blocks.
  • the plurality of frame side connectors 16 and the extending portions 18 are fixed to the surface of the test board 14.
  • the cable unit 20 includes a plurality of optical fiber cables 40, a plurality of unit-side connectors 22 and a connector holding portion 21.
  • the optical fiber cable 40 has one end connected to the unit-side connector 22 and the other end connected to the test head 12, and transmits a control signal from the main frame 10 to the test head 12.
  • the plurality of unit-side connectors 22 are provided corresponding to the plurality of frame-side connectors 16, and are arranged in parallel with the frame-side connector 16. Further, the connector holding portion 21 holds each unit side connector 22 so that it can be inserted and removed independently of the corresponding frame side connector 16.
  • the plurality of unit-side connectors 22 are divided into a plurality of blocks in the same manner as the frame-side connector 16, and an insertion hole into which the extending portion 18 is inserted is provided between the blocks.
  • the cable unit 20 is fixed to the corresponding test board 14 by inserting the extending portion 18 into the insertion hole.
  • the connector holding unit 21 collectively holds the plurality of unit-side connectors 22, and a unit fixing unit 28 described later places the cable unit 20 in a predetermined position with respect to the corresponding test board 14.
  • a unit fixing unit 28 described later places the cable unit 20 in a predetermined position with respect to the corresponding test board 14.
  • all the unit side connectors 22 can be arranged at positions where they can be easily inserted into the corresponding frame side connectors 16.
  • the connector holding portion 21 holds each unit side connector 22 so that it can be inserted and removed independently, so that each unit side connector 22 can be inserted into the frame side connector 16 with high accuracy. For this reason, it is possible to reduce damage to the light emitting surface of the unit side connector 22.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating an example of the configuration of the connector holding unit 21.
  • the connector holding part 21 has an upper board 23, a lower board 24, and a unit fixing part 28.
  • the upper side and the lower side are names for distinguishing the substrates, and do not indicate the positional relationship in actual use.
  • the plurality of unit-side connectors 22 are provided at the end of the optical fiber cable 40, as shown in FIG. Corresponding to the plurality of frame-side connectors 16 described in the above, they are provided in parallel in the connector arrangement direction substantially perpendicular to the connection direction in the plane of the cable unit. Further, the plurality of mute connectors 22 are divided into a plurality of connector blocks (38-1 to 38-3, hereinafter collectively referred to as 38) corresponding to the block of the frame connector 16. Established.
  • the frame side connector 16 and the unit side connector 22 may be so-called MPO connectors.
  • the upper substrate 23 and the lower substrate 24 are provided with a predetermined interval, and a plurality of unit side connectors 22 are inserted in parallel between the upper substrate 23 and the lower substrate 24. .
  • the distance between the upper board 23 and the lower board 24 needs to be larger than the thickness of the unit-side connector 22. In order to hold the 1S unit-side connector 22, the distance may be approximately equal to the thickness of the unit-side connector 22. preferable.
  • the upper substrate 23 and the lower substrate 24 function as holding substrates that hold the plurality of mute connectors 22.
  • the holding substrates (23, 24) hold the unit-side connectors 22 so that they can be inserted and removed independently of the corresponding frame-side connectors. That is, the holding substrate (23, 24) holds each unit side connector 22 so that it can move independently of the connection direction with the frame side connector 16. Further, the lower substrate 24 is provided with a cable sending portion 32 provided with an opening through which each optical fiber cable 40 is passed and sent out to the outside of the connector holding portion 21.
  • the upper substrate 23 includes an upper main substrate 26 and an upper sub substrate 30.
  • the upper sub board 30 is detachably fixed to the upper main board 26.
  • the upper sub board 30 is fixed to a predetermined position of the upper main board 26 with screws or the like.
  • the upper main board 26 is provided with a plurality of through grooves 36 at positions corresponding to the plurality of unit side connectors 22.
  • Each through groove 36 is threaded with a locking claw (104, 106) provided in the corresponding unit-side connector 22.
  • Each unit-side connector 22 has a locking claw (104, 106) protruding in the unit arrangement direction perpendicular to both the connection direction and the connector arrangement direction.
  • the holding substrates (23, 24) are arranged along the through grooves 36 with the engaging claws (104, 106) of the unit side connector 22 corresponding to the through grooves 36 being inserted. Hold it movable in the connection direction. As a result, the unit-side connector 22 is And can be held movably.
  • the width of each through-groove 36 is connected so that the inserted locking claws (104, 106) can move in the connection direction substantially equal to the width of the locking claws (104, 106) to be threaded. It is provided along the direction.
  • the unit fixing unit 28 fixes the cable unit 20 to the corresponding test board 14.
  • the unit fixing portion 28 is an insertion hole that is provided between adjacent connector blocks 38 and has an opening on the surface facing the test board 14.
  • the test board 14 has an extending portion 18 extending in the connecting direction at a position corresponding to the opening. By inserting the extending portion 18 into the insertion hole, the position of the cable unit 20 with respect to the test board 14 is determined.
  • the unit fixing part 28 may have means for fixing the lower substrate 24 to the extending part 18 in a state where the extending part 18 is inserted into the insertion hole.
  • the extending portion 18 and the lower substrate 24 may be fixed by providing a through hole at a position corresponding to the insertion hole of the lower substrate 24 and passing a screw or the like through the through hole.
  • each unit-side connector 22 is locked at a position where the unit fixing part 28 does not contact the test board 14 when the cable unit 20 is fixed. It is preferable. In this example, each unit-side connector 22 is locked at a position where the rear claw 104 of the locking claws is fitted to the rear end of the through groove 36 as shown in FIG. It is preferred that Engaging in such a state prevents the light emitting surface of the mute connector 22 from coming into contact with the test board 14 and being damaged when the cable unit 20 is fixed to the test board 14. be able to.
  • the connector holding portion 21 is engaged in a state where each unit side connector 22 is not connected to the frame side connector 16, that is, in a state where the rear claw 104 is fitted to the rear end portion of the through groove 36. It has a locking part that can be stopped.
  • the locking portion includes, for each connector block 38, a locking plate 34 that can be attached to and detached from the upper main board 26, and means for fixing the locking plate 34 to a predetermined position on the upper main board 26. Have.
  • the locking plate 34 When each unit-side connector 22 is locked in a state where the rear claw 104 is fitted to the rear end portion of the through groove 36, the locking plate 34 has a plurality of through grooves 36 provided in parallel. That intersects with each of the connector and the front pawl 106 of each unit connector 22. Fixed in place.
  • each unit side connector 22 is sequentially connected to the corresponding frame side connector 16.
  • FIG. 4 is a diagram showing an example of the appearance of each of the upper main board 26, the upper sub board 30, and the lower board 24.
  • the lower substrate 24 has a bottom surface 61 substantially parallel to the surface of the upper main substrate 26, two side surfaces 63 extending from the bottom surface 61 in the direction of the upper main substrate 26 and substantially parallel to the connecting direction, and an upper surface from the bottom surface 61. It has a cable passage side surface 65 extending in the direction of the main board 26 and having the connection direction as a normal line. Further, no side surface is provided on the side of the bottom surface 61 where the unit-side connector 22 is disposed. Further, the bottom surface 61 has a projecting surface 70 projecting in the connection direction from the side of the bottom surface 61 on which the unit side connector 22 is disposed.
  • the bottom surface 61 has a connector region 93 in which the unit-side connector 22 is inserted and a cable passage region 92 through which the optical fiber cable 40 of each unit-side connector 22 passes.
  • a unit fixing portion 28 is provided in the connector region 93.
  • the unit fixing portion 28 has an opening member 60 provided on the protruding surface 70 and a termination member 64.
  • the opening member 60 and the protruding surface 70 form a through hole 62 having an opening on the surface facing the test board 14.
  • the termination member 64 is provided with a predetermined interval in the connection direction with respect to the opening member 60 and is provided so as to protrude in the normal direction of the bottom surface 61.
  • a screw hole (66-1, 66-2, hereinafter referred to as 66) for attaching the upper main board 26 and the lower board 24 to the surface of the termination member 64 facing the upper main board 26. )
  • a waiting room is provided
  • the extending portion 18 of the test board 14 is inserted into the through-hole 62 of the opening member 60, and the extending portion 18 is extended until the end of the extending portion 18 contacts the terminal member 64. Part 18 is inserted.
  • the bottom surface 61 is provided with a screw hole 68 for fixing the terminal member 64.
  • the end member 64 is mounted at the position of the screw hole 68.
  • the projecting surface 70 is provided with a screw hole 90, and the opening member 60 is attached to the position of the screw hole 90.
  • a screw hole 68 is provided on the bottom surface 61.
  • a screw hole 94 is provided between the region where the screw hole 90 is provided and the region where the screw hole 90 is provided.
  • the extending portion 18 is attached to the bottom surface 61 through the screw hole 94 in a state where the extending portion 18 is in contact with the terminal member 64. With such a configuration, the cable unit 20 can be fixed at a predetermined position with respect to the test board 14.
  • FIG. 4 only one unit fixing portion 28 is shown. However, as shown in FIG. 3, the lower substrate 24 is provided with a plurality of unit fixing portions 28.
  • the side surface 63 is provided with screw holes (58, 72) for fixing the lower substrate 24 and the upper main substrate 26 to each other.
  • the height of the side surface 63 is larger than the height of the unit side connector 22.
  • Screw holes (73, 74, 76) are provided on the side surface 65 of the cable passage portion.
  • the screw hole 74 is provided to attach the lower board 24 and the upper slave board 30, and the screw hole 73 is provided to attach the cable unit 20 to the other cable unit 20. .
  • the configuration for attaching the cable units 20 to each other will be described later in FIG.
  • the screw hole 76 is provided for removing the state force shown in FIG. 3 and retracting and fixing the locking plate 34 when the unit side connector 22 is inserted into the frame side connector 16.
  • the cable passage region 92 and the cable passage portion side surface 65 function as a cable passage portion through which the optical fiber cable 40 connected to the unit side connector 22 passes.
  • the bottom surface 61 in the cable passing region 92 has a protruding surface 77 that protrudes in the connector disposition direction with respect to the bottom surface 61 in the connector region 93.
  • a cable sending part 32 having an opening through which the optical fiber cable 40 that has passed through the cable passing part is provided is provided at the end of the projecting surface 77.
  • the upper main board 26 is a surface 83 facing the bottom surface of the lower board 24, extends from the surface 83 in the direction of the lower board 24, has two side faces 85 substantially parallel to the connecting direction, and outwards from the respective side faces 85. It has a connection surface 84 that is stretched and substantially parallel to the surface 83.
  • the surface 83 is provided with the plurality of through grooves 36 described in FIG.
  • the plurality of through grooves 36 are provided in parallel in the connector arrangement direction of the unit side connector 22 for each connector block 38.
  • the pitch at which the through groove 36 is provided in each block is preferably substantially the same as the width of the unit-side connector 22 in the connector arranging direction.
  • This The unit-side connector 22 can be prevented from swinging in the direction of connector placement.
  • the side surface of the bottom surface 61 where the unit side connector 22 is arranged is not provided with a side surface.
  • the connector arrangement of each unit side connector 22 is arranged on the side surface.
  • a partition plate, etc. is provided to determine the position in the installation direction.
  • the above-described locking portion has means for detachably fixing the locking plate 34 and the locking plate 34 for each block of the through groove 36.
  • a screw hole 50 for screwing the locking plate 34 is provided on the surface 83.
  • the screw holes 50 are provided in pairs for each block of the through-grooves 36, and are provided at positions substantially orthogonal to the through-grooves 36 of the linear force connecting the paired screw holes 50.
  • the locking portion fixes the locking plate 34 by screwing both ends of the locking plate 34 to the screw holes 50. In FIG.
  • each unit-side connector 22 is similarly applied to the other blocks of the force through-groove 36 where the locking plate 34 is fixed only for one block among the plurality of blocks of the through-groove 36. Fixed. Thereby, each unit-side connector 22 can be held at substantially the same position in the connection direction. Further, in FIG. 4, the force indicating the unit-side connector 22 only for one through groove 36, as shown in FIG. 3, the unit-side connector 22 is similarly applied to the other through grooves 36. It is inserted.
  • each screw hole 50 has the locking plate 34 and each unit in a state where the rear claw 104 of each unit side connector 22 is fitted to the rear end of the through groove 36. It is provided so that the front claw 106 of the side connector 22 is fitted. That is, when the locking plate 34 is fixed to the screw hole 50, the distance force between the rear end portion of the through groove 36 and the end portion of the locking plate 34 facing the rear end portion The rear side of the unit side connector 22 Each screw hole 50 is provided at a position equal to the distance between the claw 104 and the front claw 106.
  • the locking portion is provided in a region different from the region where the plurality of through-grooves 36 are provided in the front claw 106 and the rear claw 104. It is preferable to further have means for detachably fixing the locking plate 34 so as not to contact any of them. That is, it further has means for retracting and fixing the locking plate 34.
  • the locking plate 34 is screwed to the surface 83. Screw holes 48 are provided for use. The screw holes 48 are provided in pairs for each block of the through groove 36. Further, each screw hole 48 is provided at a position where the locking plate 34 does not cover the through groove 36 when the locking plate 34 is fixed. In this example, each screw hole 48 is provided between the through groove 36 and the screw hole 54.
  • screw holes 54-1, 54-2, 54-3, hereinafter 54 are collectively referred to) for fixing a cable guide provided corresponding to each unit side connector 22 are provided. Is established. Each screw hole is provided corresponding to the through groove 36. Each screw hole 54 is preferably provided so that the distance between each screw hole 54 and the corresponding through groove 36 is larger than the distance between the cable sending portion 32 and the through groove 36. The gap between the upper main board 26 and the lower board 24 is provided with the cable guide through the screw hole 54. The optical fiber cable 40 is bent by the cable guide, and the cable of the lower board 24 is Pass through the passage.
  • the position at which each optical fiber cable 40 is bent can be varied.
  • the optical fiber cable 40 can be aligned in parallel at the cable passage portion.
  • Each cable guide has a curved surface having a predetermined curvature.
  • the end force of the unit side connector 22 is also guided to the cable passing region 92 along the curved surface.
  • the curvature of each optical fiber cable 40 can be limited.
  • the curved surface of the cable guide may have elasticity. In this case, it is preferable that the curved surface has an elastic modulus so that it does not bend at a predetermined curvature or more depending on the movement of the optical fiber cable 40 that accompanies insertion / extraction of the unit-side connector 22.
  • the curvature of the optical fiber cable 40 can be maintained at or above the predetermined curvature, and when the optical fiber cable 40 is bent, the curvature of the curved surface can be reduced. This can prevent the passage of the optical fiber cable 40 guided by the adjacent cable guide.
  • the screw hole 48 may not be provided. In such a case, it corresponds to the block of the through groove 36 provided in the position closest to the cable sending part 32
  • the locking plate 34 is retracted to the position of the screw hole 76 of the lower substrate 24 described above. That is, when the unit side connector 22 is inserted into the frame side connector 16, the screw hole 48 and the screw hole 76 are formed in a region different from the region where the plurality of through grooves 36 are provided. It functions as a means for detachably fixing the locking plate 34 so that the claw 104 does not come into contact with the displacement.
  • screw holes (52-1, 52-2, hereinafter collectively referred to as 52) are provided on the surface 83 at positions corresponding to the screw holes 66 of the termination member 64. As a result, the end member 64 and the surface 83 are attached. Further, a screw hole 56 is provided on the side surface 85 at a position corresponding to the screw hole 58 provided on the side surface 63 of the lower substrate 24. As a result, the side surface 63 of the lower substrate 24 and the side surface 85 of the upper main substrate 26 are attached. Further, the connection surface 84 is provided with screw holes (82, 88) for attaching the cable unit 20 and the other cable unit 20 together. The configuration in which the cable boots 20 are attached to each other will be described later with reference to FIG.
  • the width in the connecting direction of the region of the surface 83 provided with the block of the through groove 36 provided in the position closest to the cable sending part 32 is the region provided with the block of the other through groove 36. It is smaller than the width in the connection direction.
  • the surface 83 of the upper main board 26 is provided so as to expose the cable passage region 92 of the lower board 24. That is, the surface 83 of the upper main board 26 is provided so as not to cover the cable passing area 92.
  • a screw hole (46-1, 46-2, hereinafter referred to as 46) for fixing the upper main board 26 and the upper sub board 30 is provided at the end of the surface 83 on the cable passing area 92 side. Provided.
  • the upper sub board 30 extends from the surface 79 and the surface 79 facing the cable passage region 92 of the lower board 24, and is attached to the side surface 65 of the cable passing portion 65 of the lower board 24 from the side 75 and the surface 79.
  • the side surface 80 extends substantially parallel to the side surface 75, and the connection surface 81 extends outward from the side surface 80 and substantially parallel to the surface 79.
  • connection surface 81 is provided with screw holes (44-1, 44 2, hereinafter collectively referred to as 44).
  • the surface of the upper main board 26 is formed by the screw holes 44 and the screw holes 46 of the upper main board 26.
  • the upper sub board 30 is attached.
  • the surface 79 is provided at a position that covers the cable passage region 92 of the lower substrate 24.
  • the surface 79 is provided with a plurality of through holes 42. As a result, a through hole 42 is provided in a region facing the cable passing portion, and the optical fiber cable passing through the cable passing portion is provided. The status of Bull 40 can be monitored.
  • the surface 79 of the upper sub board 30 is provided at a position higher than the surface 83 of the upper main board 26 by the height of the side face 80.
  • the distance between the upper substrate 23 and the lower substrate 24 in the region corresponding to the cable passing portion is larger than the distance between the upper substrate 23 and the lower substrate 24 in the region where the through groove 36 is provided.
  • the cross-sectional area of the cable passing portion can be increased, and the movement of the optical fiber cable 40 accompanying the insertion / extraction of the unit-side connector 22 can be facilitated.
  • the number of optical fiber cables 40 passing through the cable passing portion increases as the region is closer to the cable sending portion 32.
  • the surface of the upper substrate 23 facing the area of the cable passing portion through which the optical fiber cable 40 connected to the connector block 38 closest to the cable sending portion 32 passes is cut out. That is, the surface 79 of the upper substrate 23 is provided so as to cover a region corresponding to a block other than the block of the through groove 36 closest to the cable sending portion 32 in the cable passage region 92 of the lower substrate 24.
  • the surface 79 of the upper substrate may be provided so as to cover the entire cable passing region 92.
  • the upper slave board 30 is assembled to be removable from the upper main board, after assembling the connector holding portion 21, the upper slave board 30 is removed and the position of the optical fiber cable 40 can be easily corrected. Can do.
  • FIG. 5 is an example of an enlarged view of the unit side connector 22 and the through groove 36.
  • the unit-side connector 22 has a connector front end portion 118 and an outer peripheral portion 102 provided so as to cover the outer periphery of the connector front end portion 118.
  • the connector tip 118 is provided at the tip of the optical fiber cable 40 and is inserted into the frame-side connector 16.
  • the connector tip 118 has a cover that protects the light exit surface, and is removed when the connector 118 is inserted into the frame-side connector 16.
  • the outer peripheral portion 102 is made of, for example, metal, and includes a front claw 106, a rear claw 104, a fitting portion 113, a return preventing projection 108, an elastic portion 114, and a handle portion 112.
  • the fitting part 113 is The outer periphery 102 is fixed to the connector tip 118 by fitting with the connector tip 118.
  • the rear claw 104 is provided so as to protrude in the direction of the upper main substrate 26, and the tip protrudes in the direction of the rear end portion 96 of the through groove 36.
  • the front claw 106 is provided so as to project in the direction of the upper main substrate 26, and the tip projects in the direction of the front end portion 122 of the through groove 36.
  • the return preventing protrusion 108 is in the direction of the upper main substrate 26 at a position where it comes into contact with the front end portion 122 of the through groove, that is, Protrusions are provided in the unit arrangement direction.
  • the return preventing protrusion 108 is connected to the main body of the outer peripheral portion 102 via the elastic portion 114.
  • the elastic portion 114 holds the return preventing protrusion 108 so as to be rotatable in the unit arrangement direction.
  • the handle 112 is disposed in a region that is exposed to the outside of the upper main board 26 and the lower board 24 when the rear claw 104 is fitted to the rear end 96 of the through groove 36. Protruding in the direction. The user picks the handle 112 and moves the unit side connector 22 in the connecting direction.
  • the unit side connector 22 is inserted to a position where the rear claw 104 is fitted to the rear end portion 96 of the through groove 36, and the locking portion is engaged.
  • the locking plate 34 is locked at a position where the end 98 of the locking plate 34 is fitted with the front claw 106.
  • the cable unit 20 can be securely fixed to the test board 14 in a state where each unit-side connector 22 is locked in position without contacting the test board 14.
  • the return prevention protrusion 108 contacts the front end 122 of the through groove 36.
  • the locking plate 34 is removed, so that the unit side connector 22 is movable in the connecting direction. However, in the state where no external force is applied, the unit-side connector 22 is locked by the rear claw 104 and the return prevention protrusion 108. Further, the locking plate 34 is retracted to a position such as the screw hole 48 described above. Then, the user sequentially inserts each unit side connector 22 into the frame side connector 16. With such a configuration, the user can safely insert each unit-side connector 22 into the frame-side connector 16.
  • FIG. 6 shows the position of the unit side connector 22 with respect to the through groove 36 when inserted into the frame side connector 16.
  • Unit side connector when inserted into frame side connector 16 The front claw 106 of 22 is engaged with the front end portion 122 of the through groove 36.
  • FIG. 7 is a conceptual diagram of the test board 14 in the test apparatus 100 including two test heads 12.
  • a plurality of frame-side connectors 16 are provided on the front surface and the back surface of the test board 14, respectively.
  • the main frame 10 is provided on the back surface of the test board 14 by supplying a control signal to the first test head 12 via the frame-side connector 16 provided on the front surface of the test board 14.
  • a control signal is supplied to the second test head 12 via the frame-side connector 16.
  • test apparatus 100 optically connects the frame-side connector 16 provided on the surface of the test board 14 and the first test head 12, and transmits a control signal to the first test head 12.
  • the unit 20 includes a second cable unit 120 that optically connects the frame-side connector 16 provided on the back surface of the test board 14 and the second test head 12 and transmits a control signal to the second test head 12.
  • the extending portion 18 is provided on the front surface of the test board 14, and the extending portion is not provided on the back surface.
  • the first cable unit 20 has the same configuration as that of the cable unit 20 described with reference to FIGS. 2 to 6, and is connected to the test board 14 via the extending portion 18.
  • the second cable unit 120 is different from the configuration of the first cable unit 20 in that it does not have the unit fixing portion 28 but has means for fixing the second cable unit to the first cable unit 20.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating an example of the configuration of the connector holding part 121 of the second cable unit 120.
  • the connector holding part 121 has an upper substrate 123 and a lower substrate 124.
  • the upper side and the lower side are names for distinguishing the substrates, and do not indicate the positional relationship in actual use.
  • the description of the optical fiber cable 40 is omitted.
  • the upper substrate 123 has a substantially symmetrical configuration with respect to the configuration of the upper substrate 23 of the first cable unit 20.
  • the upper substrate 123 has an upper main substrate 126 and an upper slave substrate 130.
  • the upper main board 126 and the upper sub board 130 have a substantially bilaterally symmetric configuration with respect to the configurations of the upper main board 26 and the upper sub board 30 of the first cable unit 20.
  • the second cable unit 120 does not have the unit fixing portion 28, the upper main board 126 is There is no screw hole 52 corresponding to the fixed part 28.
  • the lower substrate 124 has a configuration that is substantially symmetrical to the configuration of the lower substrate 24 of the first cable unit 20. The detailed configuration of the lower substrate 124 will be described later with reference to FIG.
  • FIG. 9 is a diagram showing an example of the appearance of each of the upper main board 126, the upper sub board 130, and the lower board 124.
  • components having the same reference numerals as those in FIG. 4 have the same functions and configurations as those described in FIG.
  • the upper main board 126 and the upper sub board 130 have a configuration that is substantially symmetrical with respect to the configuration of the upper main board 26 and the upper sub board 30 of the first cable unit 20.
  • the upper main board 126 has screw holes 198 to be attached to the lower board 124 instead of the screw holes 52.
  • the lower substrate 124 has a bottom surface 161 substantially parallel to the surface of the upper main substrate 126, two side surfaces 163 extending from the bottom surface 161 in the direction of the upper main substrate 126 and substantially parallel to the connection direction, and a bottom surface.
  • a cable passing portion side surface 165 extending from 161 toward the upper main board 126 and having a connection direction as a normal line. Further, no side surface is provided on the side of the bottom surface 161 where the unit side connector 22 is disposed. Further, the bottom surface 161 has a projecting surface 170 projecting in the connecting direction from the side of the bottom surface 161 on which the unit side connector 22 is disposed.
  • the bottom surface 161 has a connector region 193 in which the unit-side connector 22 is inserted and a cable passage region 192 through which the optical fiber cable 40 of each unit-side connector 22 passes.
  • the shape of the cable passage region 192 in the lower substrate 124 is substantially bilaterally symmetric with the cable passage region 92 in the lower substrate 24.
  • the connector area 193 is provided with a protruding surface 170.
  • the protruding surface 170 is folded back in the direction of the upper main substrate 126, and a screw hole 196 is provided in the folded surface 128.
  • the screw hole 196 is attached to the screw hole 198 provided in the upper main board 126.
  • the width in the connection direction of the connector region 193 is smaller than the width in the connection direction of the connector region 93 in the first cable unit 20.
  • the unit side connectors 22 of the second cable unit 120 are connected to each other.
  • the lower board 24 of the first cable unit 20 and the upper main board 126 of the second cable unit 120 are held.
  • a through hole 168 is provided on the lower board 124 at a position corresponding to the screw holes (68, 94) of the lower board 24 of the first cable unit 20.
  • FIG. 10 is a conceptual diagram when the first cable unit 20 and the second cable unit 120 are bonded together.
  • the first cable unit 20 and the second cable boot 120 are bonded together so that the back surfaces of the lower substrate 24 and the lower substrate 124 are in close contact with each other.
  • the corresponding screw holes (82, 88) are attached to each other, and the corresponding screw holes 73 are attached using the connection member 202.
  • the second cable unit 120 is fixed to the first cable boot 20. Since the first cable unit 20 is fixed to the test board 14, the second cable unit 120 can also be fixed to a predetermined position with respect to the test board 14.
  • a laser beam is emitted as a control signal.
  • the laser light emitted from the frame side connector 16 of the test board 14 is transmitted through the cable passing portion of the first cable unit 20.
  • the light is shielded by the side surface 65 and the side surface 1 65 of the cable passing portion of the second cable unit 120.
  • the first cable unit 20 is fixed to the test board 14 at the left end, and each unit-side connector 22 is connected to the frame side provided on the surface of the test board 14.
  • Connect Insert into 16 the second cable unit 120 is fixed to the first cable unit 20, and each unit-side connector 22 is inserted into the frame-side connector 16 provided on the back surface of the test board 14.
  • the next first cable unit 20 is fixed to the next test board 14, and each unit side connector 22 is inserted into the frame side connector 16 provided on the surface of the test board 14.
  • the handle portion 112 of the unit-side connector 22 protrudes toward the second cable unit 120 that is fixed earlier, and thus it may be difficult for the user to grasp the handle portion 112.
  • the user preferably uses a jig for moving the unit-side connector 22.
  • the jig has means for fitting to the back surface of the surface on which the handle portion 112 of the unit side connector 22 is provided. The user can move the unit side connector 22 from the back side of the boot side connector 22 using the jig.
  • the cable units (20, 120) can be fixed to all the test boards 14, and all the unit side connectors 22 can be inserted into the frame side connectors 16.
  • FIG. 11 is a diagram showing an example of the configuration of the first cable unit 20 fixed to the test board 14 when the frame-side connector 16 provided on the back surface of the test board 14 is not used. is there.
  • the test apparatus 100 in this example tests the electronic device 300 using only one test head 12.
  • the first cable unit 20 further includes a light shielding plate 204 in addition to the configuration of the first cable unit 20 described with reference to FIG.
  • the light shielding plate 204 is fixed to the first cable unit 20 similarly to the second cable unit 120 described in FIG.
  • the light shielding plate 204 has side surfaces 206 at positions where the path of the laser light emitted from the frame side connector 16 provided on the back surface of the test board 14 is blocked.
  • the light shielding plate 204 has a side surface 206 at the same position as the cable passing portion side surface 165 of the lower board 124 of the second test board 120. As a result, it is possible to protect the laser light power user emitted by the frame side connector 16 provided on the back surface of the test board 14.

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Abstract

 電子デバイスに試験パターンを印加するテストヘッドと、複数のフレーム側コネクタが設けられ、フレーム側コネクタを介して制御信号をテストヘッドに供給するメインフレームと、フレーム側コネクタとテストヘッドとを光接続し、制御信号をテストヘッドに伝送するケーブルユニットとを備え、ケーブルユニットは、制御信号を伝送する複数の光ファイバケーブルと、光ファイバケーブルの端部に設けられ、複数のフレーム側コネクタに対応して設けられた複数のユニット側コネクタと、メインフレームに対してケーブルユニットを固定するユニット固定部と、それぞれのユニット側コネクタを、対応するフレーム側コネクタに対してそれぞれ独立して挿抜可能に保持するコネクタ保持部とを有する試験装置を提供する。

Description

明 細 書
試験装置
技術分野
[0001] この発明は、電子デバイスを試験する試験装置に関する。特に、光ファイバケープ ルを用 、て信号を伝送する試験装置に関する。文献の参照による組み込みが認めら れる指定国については、下記の日本出願に記載された内容を参照により本出願に組 み込み、本出願の記載の一部とする。
特願 2004— 347860 出願日 2004年 11月 30日
背景技術
[0002] 近年の電子デバイスの高速化に伴い、電子デバイスを試験する試験装置において も、動作の高速ィ匕が望まれている。高速動作を行う試験装置として、メインフレームと テストヘッドとを光ファイバケーブルを用いて接続する装置が考えられる。この場合、 メインフレームとテストヘッドとは、非常に多数の光ファイバケーブルを用いて接続す る必要がある。
[0003] また、光ファイバケーブルを用いる場合、それぞれの光ファイバケーブルの端部に コネクタを設け、当該コネクタとメインフレームのコネクタとを接続することにより、メイン フレームとテストヘッドとを接続する必要がある。例えば、メインフレームは、多数のテ ストボードを有しており、それぞれのテストボードには複数のコネクタを設ける必要が ある。
[0004] 関連する特許文献等は、現在認識して!/ヽな!ヽため、その記載を省略する。
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0005] このような多数のコネクタを接続するために、テストボード毎に、接続するべき複数 の光ファイバケーブルのコネクタを同時に接続するケーブルユニットが知られている。 しかし、光ファイバケーブルを接続するためのコネクタの光射出面は、接触等により 破損する可能性が高ぐテストボード毎に複数のコネクタを同時に接続しょうとすると 、一部のコネクタの光射出面がテストボード等に接触して破損してしまう場合がある。 このように、光ファイバケーブルを用いてメインフレームとテストヘッドとを接続しようと した場合、これまで知られている接続方法では、多数の光ファイバケーブルのコネク タを効率よぐ且つ安全に接続することが困難であった。
[0006] このため本発明は、上述した課題を解決することのできる試験装置を提供すること を目的とする。この目的は、請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせ により達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
課題を解決するための手段
[0007] 上記課題を解決するために、本発明の第 1の形態においては、電子デバイスを試 験する試験装置であって、電子デバイスに試験パターンを印加するテストヘッドと、複 数のフレーム側コネクタが設けられ、フレーム側コネクタを介して制御信号をテストへ ッドに供給するメインフレームと、フレーム側コネクタとテストヘッドとを光接続し、制御 信号をテストヘッドに伝送するケーブルユニットとを備え、ケーブルユニットは、制御 信号を伝送する複数の光ファイバケーブルと、光ファイバケーブルの端部に設けられ 、複数のフレーム側コネクタに対応して設けられた複数のユニット側コネクタと、メイン フレームに対してケーブルユニットを固定するユニット固定部と、それぞれのユニット 側コネクタを、対応するフレーム側コネクタに対してそれぞれ独立して挿抜可能に保 持するコネクタ保持部とを有する試験装置を提供する。
[0008] コネクタ保持部は、それぞれのユニット側コネクタを、フレーム側コネクタとの接続方 向に対してそれぞれ独立して移動可能に保持してよい。コネクタ保持部は、それぞれ のユニット側コネクタを、フレーム側コネクタと接続しな 、状態で係止可能な係止部を 有してよい。
[0009] 複数のフレーム側コネクタは、メインフレームに挿入されたテストボードに設けられ、 係止部は、ユニット固定部がケーブルユニットを固定した状態において、テストボード に接触しな 、位置に複数のユニット側コネクタを係止してょ 、。
[0010] 複数のユニット側コネクタは、ケーブルユニットの面内において、フレーム側コネクタ との接続方向と略垂直なコネクタ配設方向に並列に配設され、それぞれのユニット側 コネクタは、接続方向及びコネクタ配設方向の双方と略垂直なユニット配設方向に突 起した係止爪を有し、コネクタ保持部は、対応するユニット側コネクタの係止爪が挿 通され、係止爪が挿通された状態において係止爪を接続方向に対して移動可能と することにより、当該ュニット側コネクタを接続方向に対して移動可能に保持する貫通 溝が設けられた保持基板を更に有してょ ヽ。
[0011] 複数の貫通溝が設けられるピッチは、ユニット側コネクタのコネクタ配設方向におけ る幅と略同一であってよい。係止爪は、後側爪と、後側爪よりテストボード側に設けら れた前側爪とを有し、係止部は、保持基板と着脱可能に設けられ、複数のユニット側 コネクタの前側爪と嵌合する係止板を有し、それぞれのユニット側コネクタの後側爪 が貫通溝の後端部に嵌合し、且つそれぞれのユニット側コネクタの前側爪が係止板 に嵌合することにより、複数のユニット側コネクタを、テストヘッドに接触しない位置に 係止してよい。
[0012] 係止部は、それぞれのユニット側コネクタの後側爪を貫通溝の後端部に嵌合させた 場合に、それぞれのユニット側コネクタの前側爪と嵌合する位置に係止板を着脱可 能に固定する手段を有してよい。
[0013] 係止部は、それぞれのユニット側コネクタの前側爪を貫通溝の前端部に嵌合させた 場合に、それぞれのユニット側コネクタの後側爪と嵌合する位置に係止板を着脱可 能に固定する手段を更に有してよい。
[0014] 係止部は、ユニット側コネクタをフレーム側コネクタに挿入する場合に、複数の貫通 溝が設けられた領域とは異なる領域に、前側爪及び後側爪の!ヽずれにも接触しな ヽ ように、係止板を着脱可能に固定する手段を更に有してょ 、。
[0015] それぞれのユニット側コネクタは、後側爪が貫通溝の後端部に嵌合した場合に当 該貫通溝の前端部と接触する位置に設けられた、ユニット配設方向に突起した弾性 を有する戻り防止突起部を更に有してよい。
[0016] それぞれのユニット側コネクタは、後側爪が貫通溝の後端部に嵌合した場合に保 持基板の外部に表出する領域に、ユニット配設方向に突起した取手部を更に有して よい。ケーブルユニットは、それぞれ複数のユニット側コネクタを有する複数のコネク タブロックを有し、係止部は、コネクタブロック毎に、係止板及び当該係止板を着脱可 能に固定する手段を有してよい。
[0017] 保持基板は、隣接するコネクタブロックの間に設けられ、テストボードと対向する面 において開口を有し、テストボードは、開口と対応する位置に、接続方向に延伸する 延伸部を有し、ユニット固定部は、開口に延伸部が挿入された状態で、保持基板と延 伸部とを固定してよい。
[0018] 保持基板は、ユニット配設方向を法線とする表面を有し、当該表面に貫通溝が設け られた上側基板と、ユニット配設方向を法線とする表面を有し、上側基板に対して、 ユニット配設方向において所定の間隔を有して設けられる下側基板とを有し、複数の ユニット側コネクタは、上側基板と下側基板との間に挿入されてよい。
[0019] 下側基板は、それぞれの光ファイバケーブルが通過するケーブル通過部と、ケー ブル通過部の端部に設けられ、それぞれの光ファイバケーブルを挿通してコネクタ保 持部の外部に送出する開口が設けられたケーブル送出部とを有し、上側基板の貫 通溝が設けられた表面の、ケーブル通過部に対向する領域には、複数の貫通孔が 設けられてよい。
[0020] ケーブルユニットは、それぞれ複数のユニット側コネクタを有する複数のコネクタブ ロックを有し、ケーブル送出部に最も近いコネクタブロックに接続された光ファイバケ 一ブルが通過するケーブル通過部の領域に対向する上側基板の表面が切り欠かれ ていてよい。
[0021] ケーブル通過部に対応する領域における上側基板と下側基板との間隔は、貫通溝 に対応する領域における上側基板と下側基板との間隔より大きくてよい。ケーブル通 過部は、下側基板のユニット配設方向を法線とする表面から、上側基板の方向に延 伸する側面を有し、係止部は、係止板を側面に着脱可能に固定する手段を有してよ い。上側基板は、複数の貫通溝が設けられた上側主基板と、複数の貫通孔が設けら れ、ケーブル通過部に対向する領域に上側主基板と着脱可能に固定される上側従 基板とを有してよい。
[0022] 本発明の第 2の形態においては、電子デバイスを試験する試験装置であって、そ れぞれ前記電子デバイスに試験パターンを印加する第 1テストヘッド及び第 2テスト ヘッドと、 表面及び裏面のそれぞれに複数のフレーム側コネクタが設けられたテスト ボードを有し、表面に設けられたフレーム側コネクタを介して制御信号を第 1テストへ ッドに供給し、裏面に設けられたフレーム側コネクタを介して制御信号を第 2テストへ ッドに供給するメインフレームと、テストボードの表面に設けられたフレーム側コネクタ と第 1テストヘッドとを光接続し、制御信号を第 1テストヘッドに伝送する第 1ケーブル ユニットと、テストボードの裏面に設けられたフレーム側コネクタと第 2テストヘッドとを 光接続し、制御信号を第 2テストヘッドに伝送する第 2ケーブルユニットとを備え、第 1 ケーブルユニット及び第 2ケーブルユニットのそれぞれは、制御信号を伝送する複数 の光ファイバケーブルと、光ファイバケーブルの端部に設けられ、複数のフレーム側 コネクタに対応して設けられた複数のユニット側コネクタと、それぞれのユニット側コネ クタを、対応するフレーム側コネクタに対してそれぞれ独立して挿抜可能に保持する コネクタ保持部とを有し、第 1ケーブルユニットは、テストボードに対してケーブルュ- ットを固定する第 1ユニット固定部を更に有し、第 2ケーブルユニットは、第 1ケーブル ユニットに対して第 2ケーブルユニットを固定する第 2ユニット固定部を更に有する試 験装置を提供する。
[0023] なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなぐ これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
発明の効果
[0024] 本発明によれば、多数の光ファイバケーブルのコネクタを効率よぐ且つ安全に接 続することができる。
図面の簡単な説明
[0025] [図 1]本発明の実施形態に係る試験装置 100の構成の一例を示す図である。
[図 2]テストボード 14及びケーブルユニット 20の概念図である。
[図 3]コネクタ保持部 21の構成の一例を示す図である。
[図 4]上側主基板 26、上側従基板 30、及び下側基板 24のそれぞれの外観の一例を 示す図である。
[図 5]ユニット側コネクタ 22及び貫通溝 36の拡大図の一例である。
[図 6]フレーム側コネクタ 16に挿入されたときの、貫通溝 36に対するユニット側コネク タ 22の位置を示す。
[図 7]テストヘッド 12を 2つ備える試験装置 100における、テストボード 14の概念図で ある。 [図 8]第 2ケーブルユニット 120のコネクタ保持部 121の構成の一例を示す図である。 圆 9]上側主基板 126、上側従基板 130、及び下側基板 124のそれぞれの外観の一 例を示す図である。
[図 10]第 1ケーブルユニット 20及び第 2ケーブルユニット 120を張り合わせる場合の 概念図である。
[図 11]テストボード 14の裏面に設けられたフレーム側コネクタ 16を使用しない場合に 、テストボード 14に対して固定される第 1ケーブルユニット 20の構成の一例を示す図 である。
符号の説明
10·· 'メインフレーム、 12· · 'テストヘッド、 14· · 'テストボード、 16·· 'フレーム側コネ クタ、 18· · '延伸部、 20· · 'ケーブルユニット、 21·· 'コネクタ保持部、 22· · 'ユニット 側コネクタ、 23···上側基板、 24· · ·下側基板、 26· ··上側主基板、 28·· 'ユニット 固定部、 30· · ·上側従基板、 32· · 'ケーブル送出部、 34· · '係止板、 36· · ·貫通溝 , 38·· 'コネクタブロック、 40· · '光ファイノくケープノレ、 42· · ·貫通孑し、 44、 46、 48、 5 0、 52、 54、 56、 58···ビス穴、 60···開口部材、 61···底面、 62···貫通孔、 63·· '側面、 64· · ·終端部材、 65· · 'ケーブル通過部側面、 66、 68·· 'ビス穴、 70· · ·突 出面、 72、 73、 74· · 'ビス穴、 75· · ·側面、 76· · 'ビス穴、 77· · '突出面、 79· · '表 面、 80···側面、 81···接続面、 82···ビス穴、 83···表面、 84···接続面、 85··· 側面、 88、 90· · 'ビス穴、 92· · 'ケーブル通過領域、 93·· 'コネクタ領域、 94· · 'ビス 穴、 96· · '後端部、 98·· '端部、 100· · '試験装置、 102· · '外周部、 104· · ·後側爪 、 106···前側爪、 108···戻り防止突起部、 112···取手部、 113···嵌合部、 114· ··弾性部、 118···コネクタ先端部、 120···嵌合部、 121···コネクタ保持部、 122· • '前端部、 123···上側基板、 124· · ·下側基板、 126· ··上側主基板、 128· · '表 面、 130· · ·上側従基板、 161·· ·底面、 163· · ·側面、 165· · ·ケーブル通過部側面 、 168· ··貫通孔、 170· · '突出面、 192·· 'ケーブル通過領域、 193· · 'コネクタ領 域、 196、 198· · 'ビス穴、 202· · '接続部材、 204·· '遮光板、 206·· '側面、 300· · •電子デバイス
発明を実施するための最良の形態 [0027] 以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の 範隨こかかる発明を限定するものではなぐまた実施形態の中で説明されている特 徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
[0028] 図 1は、本発明の実施形態に係る試験装置 100の構成の一例を示す図である。試 験装置 100は、半導体回路等の電子デバイス 300を試験する装置であって、メインフ レーム 10、複数のケーブルユニット 20、及びテストヘッド 12を備える。本例において メインフレーム 10とテストヘッド 12との間の信号の伝送は、光ファイバケーブルを用い て行われる。
[0029] テストヘッド 12は、電子デバイス 300に試験パターンを印加する。テストヘッド 12は 、複数の電子デバイス 300に試験パターンを印加してよい。また、テストヘッド 12は、 ケーブルユニット 20を介してメインフレーム 10と接続され、メインフレーム 10から受け 取る制御信号に基づ 、て、電子デバイス 300に試験パターンを印加する。
[0030] メインフレーム 10は、制御信号を生成しテストヘッド 12に供給する。メインフレーム 1 0は、図 2において後述する複数のテストボード 14を有する。それぞれのテストボード 14は、それぞれの機能に応じた制御信号を生成する。またそれぞれのテストボード 1 4には、複数のフレーム側コネクタが設けられており、当該フレーム側コネクタを介し て、対応するケーブルユニット 20と接続する。それぞれのフレーム側コネクタは、光フ アイバケーブル用のコネクタである。
[0031] 複数のケーブルユニット 20は、複数のテストボード 14と対応して設けられる。それ ぞれのケーブルユニット 20は、一端が対応するテストボード 14のフレーム側コネクタ に接続され、他端がテストヘッド 12に接続される。つまり、それぞれのケーブルュ-ッ ト 20は、フレーム側コネクタとテストヘッド 12とを光接続し、制御信号をテストヘッド 12 へ伝送する。
[0032] 図 2は、テストボード 14及びケーブルユニット 20の概念図である。テストボード 14は 、図 1において説明したメインフレーム 10に、一端が表出するように挿入される。また テストボード 14は、メインフレーム 10から表出する端部に、複数のフレーム側コネクタ 16及び延伸部 18を有する。複数のフレーム側コネクタ 16は、ケーブルユニット 20と の接続方向と略垂直な方向に並列に配設される。また、複数のフレーム側コネクタ 1 6は、複数のブロックに分割されており、当該ブロック間に、上記接続方向に延伸する 延伸部 18が設けられる。複数のフレーム側コネクタ 16及び延伸部 18は、テストボー ド 14の表面に固定される。
[0033] ケーブルユニット 20は、複数の光ファイバケーブル 40、複数のユニット側コネクタ 2 2、及びコネクタ保持部 21を有する。光ファイバケーブル 40は、一端がユニット側コネ クタ 22と接続され、他端がテストヘッド 12と接続され、メインフレーム 10からテストへッ ド 12に制御信号を伝送する。
[0034] 複数のユニット側コネクタ 22は、複数のフレーム側コネクタ 16と対応して設けられ、 フレーム側コネクタ 16と平行に並列に配設される。またコネクタ保持部 21は、それぞ れのユニット側コネクタ 22を、対応するフレーム側コネクタ 16に対してそれぞれ独立 して挿抜可能に保持する。
[0035] また、複数のユニット側コネクタ 22は、フレーム側コネクタ 16と同様に複数のブロッ クに分割されており、当該ブロック間に、延伸部 18が挿入される挿入孔が設けられる 。延伸部 18が挿入孔に挿入されることにより、ケーブルユニット 20は、対応するテスト ボード 14に対して固定される。
[0036] このように、コネクタ保持部 21が、複数のユニット側コネクタ 22を一括して保持し、 後述するユニット固定部 28が、ケーブルユニット 20を対応するテストボード 14に対し て所定の位置に固定することにより、全てのユニット側コネクタ 22を、対応するフレー ム側コネクタ 16に容易に挿入可能な位置に配置することができる。そして、コネクタ 保持部 21が、それぞれのユニット側コネクタ 22を独立して挿抜可能に保持すること により、それぞれのユニット側コネクタ 22を精度よくフレーム側コネクタ 16に挿入する ことができる。このため、ユニット側コネクタ 22の光射出面の損傷を低減することがで きる。
[0037] 図 3は、コネクタ保持部 21の構成の一例を示す図である。コネクタ保持部 21は、上 側基板 23、下側基板 24、及びユニット固定部 28を有する。ここで、上側及び下側と は、基板を区別するための呼称であり、実使用時における位置関係を示すものでは ない。
[0038] 複数のユニット側コネクタ 22は、光ファイバケーブル 40の端部に設けられ、図 2に おいて説明した複数のフレーム側コネクタ 16に対応して、ケーブルユニットの面内に おいて接続方向と略垂直なコネクタ配設方向に並列に設けられる。また、複数のュ- ット側コネクタ 22は、フレーム側コネクタ 16のブロックに対応して、複数のコネクタブロ ック(38— 1〜38— 3、以下 38と総称する)に分割して配設される。また、フレーム側 コネクタ 16及びユニット側コネクタ 22は、いわゆる MPOコネクタであってよい。
[0039] また、上側基板 23及び下側基板 24は、所定の間隔を有して設けられ、上側基板 2 3及び下側基板 24との間に複数のユニット側コネクタ 22が並列に挿入される。上側 基板 23と下側基板 24との間隔は、ユニット側コネクタ 22の厚さより大きい必要がある 1S ユニット側コネクタ 22を保持するために、当該間隔はユニット側コネクタ 22の厚さ と略等しいことが好ましい。これにより、上側基板 23及び下側基板 24は、複数のュ- ット側コネクタ 22を保持する保持基板として機能する。
[0040] 図 2において述べたように、保持基板(23、 24)は、それぞれのユニット側コネクタ 2 2を、対応するフレーム側コネクタに対してそれぞれ独立して挿抜可能に保持する。 つまり、保持基板(23、 24)は、それぞれのユニット側コネクタ 22を、フレーム側コネク タ 16との接続方向に対してそれぞれ独立して移動可能に保持する。また、下側基板 24には、それぞれの光ファイバケーブル 40を揷通してコネクタ保持部 21の外部に送 出する開口が設けられたケーブル送出部 32が設けられる。
[0041] また、上側基板 23は、上側主基板 26及び上側従基板 30を有する。上側従基板 3 0は、上側主基板 26に着脱可能に固定される。例えば、上側従基板 30は、上側主 基板 26の所定の位置にビス等により固定される。
[0042] 上側主基板 26には、複数のユニット側コネクタ 22と対応する位置に、複数の貫通 溝 36が設けられる。それぞれの貫通溝 36は、対応するユニット側コネクタ 22に設け られた係止爪(104、 106)が揷通される。それぞれのユニット側コネクタ 22は、接続 方向及びコネクタ配設方向の双方と垂直なユニット配設方向に突起した係止爪(10 4、 106)を有する。
[0043] 保持基板(23、 24)は、それぞれの貫通溝 36に対応するユニット側コネクタ 22の係 止爪(104、 106)が挿通された状態において、係止爪を貫通溝 36に沿って接続方 向に対して移動可能に保持する。これにより、ユニット側コネクタ 22を接続方向に対 して移動可能に保持することができる。例えば、それぞれの貫通溝 36の幅は揷通さ れる係止爪(104、 106)の幅と略等しぐ挿通された係止爪(104、 106)が接続方向 に移動可能なように、接続方向に沿って設けられる。
[0044] ユニット固定部 28は、対応するテストボード 14に対して、当該ケーブルユニット 20 を固定する。本例においてユニット固定部 28は、隣接するコネクタブロック 38の間に 設けられ、テストボード 14と対向する面に開口が設けられた挿入孔である。テストボ ード 14は、当該開口と対応する位置に、接続方向に延伸する延伸部 18を有する。 当該挿入孔に延伸部 18が挿入されることにより、テストボード 14に対するケーブルュ ニット 20の位置が決定される。また、ユニット固定部 28は、延伸部 18が挿入孔に揷 入された状態で、延伸部 18に下側基板 24を固定する手段を有してよい。例えば下 側基板 24の当該挿入孔に対応する位置に貫通孔を設け、当該貫通孔にビス等を揷 通することにより、延伸部 18と下側基板 24とを固定してよい。
[0045] ケーブルユニット 20をテストボード 14に対して固定する場合、それぞれのユニット 側コネクタ 22は、ユニット固定部 28がケーブルユニット 20を固定した状態において、 テストボード 14に接触しない位置に係止されることが好ましい。本例においては、そ れぞれのユニット側コネクタ 22は、図 3に示すように、係止爪のうちの後側爪 104が、 貫通溝 36の後端部と嵌合する位置に係止されることが好ましい。このような状態に係 止することにより、ケーブルユニット 20をテストボード 14に対して固定する際に、ュ- ット側コネクタ 22の光射出面がテストボード 14と接触して破損することを防ぐことがで きる。
[0046] 例えば、コネクタ保持部 21は、それぞれのユニット側コネクタ 22を、フレーム側コネ クタ 16と接続しない状態、即ち後側爪 104が、貫通溝 36の後端部と嵌合する状態で 係止可能な係止部を有する。本例において当該係止部は、コネクタブロック 38毎に、 上側主基板 26に対して着脱可能な係止板 34と、係止板 34を上側主基板 26の所定 の位置に固定する手段とを有する。
[0047] それぞれのユニット側コネクタ 22を、後側爪 104が貫通溝 36の後端部と嵌合する 状態で係止する場合、係止板 34は、並列に設けられた複数の貫通溝 36のそれぞれ と略直角に交差し、且つそれぞれのユニット側コネクタ 22の前側爪 106と嵌合する位 置に固定される。
[0048] そして、ケーブルユニット 20をテストボード 14に対して固定した後、それぞれの係止 板 34を上側主基板 26から取り外し、それぞれのユニット側コネクタ 22を接続方向に 移動可能な状態にする。そして、それぞれのユニット側コネクタ 22を、対応するフレ ーム側コネクタ 16に順次接続する。このような構成により、多数の光ファイバケーブル のコネクタを効率よぐ且つ安全に接続することができる。
[0049] 図 4は、上側主基板 26、上側従基板 30、及び下側基板 24のそれぞれの外観の一 例を示す図である。まず、下側基板 24について説明する。下側基板 24は、上側主 基板 26の表面と略平行な底面 61と、底面 61から上側主基板 26の方向に延伸し、接 続方向に略平行な 2つの側面 63と、底面 61から上側主基板 26の方向に延伸し、接 続方向を法線とするケーブル通過部側面 65とを有する。また、ユニット側コネクタ 22 が配置される底面 61の辺には、側面が設けられない。また、底面 61は、ユニット側コ ネクタ 22が配置される底面 61の辺から、接続方向に突出した突出面 70を有する。
[0050] 底面 61は、ユニット側コネクタ 22が挿入されて配置されるコネクタ領域 93と、それ ぞれのユニット側コネクタ 22の光ファイバケーブル 40が通過するケーブル通過領域 92とを有する。コネクタ領域 93には、ユニット固定部 28が設けられる。ユニット固定 部 28は、突出面 70に設けられた開口部材 60と、終端部材 64とを有する。開口部材 60及び突出面 70は、テストボード 14に対向する面に開口を有する貫通孔 62を形成 する。また、終端部材 64は、開口部材 60に対して、接続方向に所定の間隔を有して 設けられ、底面 61の法線方向に突起して設けられる。また、終端部材 64の、上側主 基板 26と対向する面には、上側主基板 26と下側基板 24とを艇着するためのビス穴( 66 - 1, 66- 2,以下 66と総称する)力待設けられる。
[0051] ケーブルユニット 20をテストボード 14に接続する場合、開口部材 60の貫通孔 62に テストボード 14の延伸部 18が挿入され、延伸部 18の端部が終端部材 64と当接する まで、延伸部 18が挿入される。
[0052] また、底面 61には、終端部材 64を固定するビス穴 68が設けられる。終端部材 64 は、ビス穴 68の位置に艇着される。また、突出面 70には、ビス穴 90が設けられ、開 ロ部材 60は、ビス穴 90の位置に鉅着される。また、底面 61において、ビス穴 68が設 けられた領域と、ビス穴 90が設けられた領域との間には、ビス穴 94が設けられる。延 伸部 18は、終端部材 64と当接した状態で、ビス穴 94を介して底面 61に艇着される。 このような構成により、ケーブルユニット 20を、テストボード 14に対して所定の位置に 固定することができる。また、図 4においては、ひとつのユニット固定部 28のみを示し ているが、図 3に示したように、下側基板 24には、複数のユニット固定部 28が設けら れる。
[0053] 側面 63には、下側基板 24と上側主基板 26とを固定するためのビス穴(58、 72)が 設けられる。側面 63の高さは、ユニット側コネクタ 22の高さより大きい。ケーブル通過 部側面 65には、ビス穴(73、 74、 76)が設けられる。ビス穴 74は、下側基板 24と上 側従基板 30とを鉅着するために設けられ、ビス穴 73は、当該ケーブルユニット 20と、 他のケーブルユニット 20とを鉅着するために設けられる。ケーブルユニット 20同士を 艇着する構成については、図 10において後述する。ビス穴 76は、ユニット側コネクタ 22をフレーム側コネクタ 16に挿入するときに、係止板 34を図 3に示した状態力も取り 外し、退避して固定するために設けられる。
[0054] また、ケーブル通過領域 92及びケーブル通過部側面 65は、ユニット側コネクタ 22 に接続された光ファイバケーブル 40が通過するケーブル通過部として機能する。ケ 一ブル通過領域 92における底面 61は、コネクタ領域 93における底面 61に対して、 コネクタ配設方向に突出する突出面 77を有する。突出面 77の端部には、ケーブル 通過部を通過した光ファイバケーブル 40を揷通する開口を有するケーブル送出部 3 2が設けられる。
[0055] 次に、上側主基板 26について説明する。上側主基板 26は、下側基板 24の底面と 対向する表面 83、表面 83から下側基板 24の方向に延伸し、接続方向に略平行な 2 つの側面 85と、それぞれの側面 85から外側に延伸し、表面 83と略平行な接続面 84 とを有する。
[0056] 表面 83には、図 3において説明した複数の貫通溝 36が設けられる。複数の貫通溝 36は、コネクタブロック 38毎に、ユニット側コネクタ 22のコネクタ配設方向に並列に設 けられる。それぞれのブロックにおいて貫通溝 36が設けられるピッチは、ユニット側コ ネクタ 22のコネクタ配設方向における幅と略同一であることが好ましい。これにより、 ユニット側コネクタ 22が、コネクタ配設方向にぉ 、て揺動することを防ぐことができる。 また、本例においては、ユニット側コネクタ 22が配置される底面 61の辺には、側面が 設けられていないが、他の例においては、当該側面に、それぞれのユニット側コネク タ 22のコネクタ配設方向における位置を決定するための仕切板等が設けられていて ちょい。
[0057] また、前述した係止部は、貫通溝 36のそれぞれのブロック毎に、係止板 34及び係 止板 34を着脱可能に固定する手段を有する。係止板 34を固定する当該手段として 、本例においては、表面 83に係止板 34をビス止めするためのビス穴 50が設けられる 。当該ビス穴 50は、貫通溝 36のそれぞれのブロック毎に一対ずつ設けられ、対とな るビス穴 50を結んだ直線力 それぞれの貫通溝 36と略直交する位置に設けられる。 係止部は、ビス穴 50に係止板 34の両端をビス止めすることにより、係止板 34を固定 する。図 4においては、貫通溝 36の複数のブロックのうちひとつのブロックについての み、係止板 34を固定して示している力 貫通溝 36の他のブロックについても、同様 に係止板 34が固定される。これにより、それぞれのユニット側コネクタ 22を、接続方 向において略同一の位置に保持することができる。また、図 4においては、ひとつの 貫通溝 36に対してのみ、ユニット側コネクタ 22を示している力 図 3に示したように、 他の貫通溝 36に対しても同様にユニット側コネクタ 22が挿通される。
[0058] また、それぞれのビス穴 50は、それぞれのユニット側コネクタ 22の後側爪 104が貫 通溝 36の後端部と嵌合した状態にぉ 、て、係止板 34とそれぞれのユニット側コネク タ 22の前側爪 106とが嵌合するように設けられる。つまり、ビス穴 50に係止板 34を固 定したときに、貫通溝 36の後端部と、当該後端部に向かい合う係止板 34の端部との 距離力 ユニット側コネクタ 22の後側爪 104と前側爪 106との距離に等しくなる位置 に、それぞれのビス穴 50が設けられる。
[0059] また係止部は、ユニット側コネクタ 22をフレーム側コネクタ 16に挿入する場合に、複 数の貫通溝 36が設けられた領域とは異なる領域に、前側爪 106及び後側爪 104の いずれにも接触しないように、係止板 34を着脱可能に固定する手段を更に有するこ とが好ましい。つまり、係止板 34を退避して固定する手段を更に有する。本例におい ては、係止板 34を退避して固定する当該手段として、表面 83に係止板 34をビス止 めするためのビス穴 48が設けられる。当該ビス穴 48は、貫通溝 36のそれぞれのブロ ックごとに一対ずつ設けられる。また、それぞれのビス穴 48は、係止板 34を固定した ときに、係止板 34が、貫通溝 36を覆わない位置に設けられる。本例においては、そ れぞれのビス穴 48は、貫通溝 36とビス穴 54との間に設けられる。
[0060] また、表面 83には、それぞれのユニット側コネクタ 22に対応して設けられるケープ ルガイドを固定するためのビス穴(54— 1、 54- 2, 54- 3,以下 54と総称する)が設 けられる。それぞれのビス穴は、貫通溝 36に対応して設けられる。それぞれのビス穴 54と、対応する貫通溝 36との距離が、ケーブル送出部 32と貫通溝 36との距離に比 例して大きくなるように、それぞれのビス穴 54が設けられることが好ましい。上側主基 板 26と下側基板 24との間〖こは、当該ビス穴 54を介して当該ケーブルガイドが設けら れ、ケーブルガイドによって光ファイバケーブル 40を湾曲させ、下側基板 24のケー ブル通過部を通過させる。ビス穴 54と貫通溝 36との距離を、ケーブル送出部 32と貫 通溝 36との距離に比例して大きくすることにより、それぞれの光ファイバケーブル 40 を湾曲させる位置を異ならせることができ、ケーブル通過部において光ファイバケー ブル 40を平行に整列させることができる。
[0061] また、それぞれのケーブルガイドは、所定の曲率を有する湾曲面を有する。光ファ ィバケーブル 40は、当該湾曲面に沿って、ユニット側コネクタ 22の端部力もケーブル 通過領域 92に導かれる。これにより、それぞれの光ファイバケーブル 40の曲率を制 限することができる。また、ケーブルガイドの当該湾曲面は、弾性を有していてもよい 。この場合、当該湾曲面は、ユニット側コネクタ 22の挿抜に伴う光ファイバケーブル 4 0の移動によっては、所定の曲率以上で湾曲しないような弾性率を有することが好ま しい。これにより、光ファイバケーブル 40の曲率を、当該所定の曲率以上に保つこと ができ、且つ光ファイバケーブル 40がたわんだ場合には、湾曲面の曲率が小さくな るように変形することができる。これにより、隣接するケーブルガイドによって導かれる 光ファイバケーブル 40の通過を妨げることを防止することができる。
[0062] また、ケーブル送出部 32に最も近い位置に設けられる貫通溝 36のブロックと、ビス 穴 54との距離は小さいため、ビス穴 48を設けることができない場合がある。このような 場合、ケーブル送出部 32に最も近い位置に設けられる貫通溝 36のブロックに対応 する係止板 34は、前述した下側基板 24のビス穴 76の位置に退避される。つまり、ビ ス穴 48及びビス穴 76は、ユニット側コネクタ 22をフレーム側コネクタ 16に挿入する場 合に、複数の貫通溝 36が設けられた領域とは異なる領域に、前側爪 106及び後側 爪 104の 、ずれにも接触しな 、ように、係止板 34を着脱可能に固定する手段として 機能する。
[0063] また、表面 83には、終端部材 64のビス穴 66に対応する位置に、ビス穴(52— 1、 5 2— 2、以下 52と総称する)が設けられる。これにより、終端部材 64と表面 83が艇着さ れる。また、側面 85には、下側基板 24の側面 63に設けられたビス穴 58と対応する 位置に、ビス穴 56が設けられる。これにより、下側基板 24の側面 63と、上側主基板 2 6の側面 85とが艇着される。また、接続面 84には、当該ケーブルユニット 20と、他の ケーブルユニット 20とを鉅着するためのビス穴(82、 88)が設けられる。ケーブルュ- ット 20同士を艇着する構成にっ 、ては、図 10にお 、て後述する。
[0064] また、ケーブル送出部 32に最も近い位置に設けられた貫通溝 36のブロックが設け られた表面 83の領域の接続方向における幅は、他の貫通溝 36のブロックが設けら れた領域の接続方向における幅より小さい。また、上側主基板 26の表面 83は、下側 基板 24のケーブル通過領域 92を表出させるように設けられる。つまり、ケーブル通 過領域 92を覆わないように、上側主基板 26の表面 83が設けられる。また、表面 83 のケーブル通過領域 92側の端部には、上側主基板 26と上側従基板 30とを固定す るためのビス穴(46— 1、 46- 2,以下 46と総称する)が設けられる。
[0065] 次に、上側従基板 30について説明する。上側従基板 30は、下側基板 24のケープ ル通過領域 92と対向する表面 79、表面 79から延伸し、下側基板 24のケーブル通 過部側面 65に鉅着される側面 75、表面 79から延伸し、側面 75と略平行な側面 80、 及び側面 80から外側に延伸し、表面 79と略平行な接続面 81を有する。
[0066] 接続面 81には、ビス穴(44— 1、 44 2、以下 44と総称する)が設けられ、ビス穴 4 4及び上側主基板 26のビス穴 46により、上側主基板 26の表面に、上側従基板 30が 鉅着される。表面 79は、下側基板 24のケーブル通過領域 92を覆う位置に設けられ る。また、表面 79には、複数の貫通孔 42が設けられる。これにより、ケーブル通過部 に対向する領域に貫通孔 42が設けられ、ケーブル通過部を通過する光ファイバケー ブル 40の状態を監視することができる。
[0067] また、上側従基板 30の表面 79は、上側主基板 26の表面 83に対して、側面 80の 高さだけ高い位置に設けられる。これにより、ケーブル通過部に対応する領域におけ る上側基板 23と下側基板 24との間隔は、貫通溝 36が設けられた領域における上側 基板 23と下側基板 24との間隔より大きくなる。これにより、ケーブル通過部の断面積 を大きくすることができ、ユニット側コネクタ 22の挿抜に伴う光ファイバケーブル 40の 移動を容易にすることができる。
[0068] また、ケーブル通過部を通過する光ファイバケーブル 40の本数は、ケーブル送出 部 32に近い領域ほど多くなる。本例においては、ケーブル送出部 32に最も近いコネ クタブロック 38に接続された光ファイバケーブル 40が通過するケーブル通過部の領 域に対向する上側基板 23の表面が切り欠かれている。つまり、上側基板 23の表面 7 9は、下側基板 24のケーブル通過領域 92のうち、ケーブル送出部 32に最も近い貫 通溝 36のブロック以外のブロックに対応する領域を覆うように設けられる。これにより 、上述したように、ユニット側コネクタ 22の挿抜に伴う光ファイバケーブル 40の移動を 容易にすることができる。また、ケーブル通過部を通過する光ファイバケーブル 40の 本数が少ない場合、上側基板の表面 79は、ケーブル通過領域 92全体を覆うように 設けられていてもよい。
[0069] また、上側従基板 30を、上側主基板に着脱可能に設けることにより、コネクタ保持 部 21を組み立てた後に、上側従基板 30を取り外し、光ファイバケーブル 40の位置を 容易に修正することができる。
[0070] 図 5は、ユニット側コネクタ 22及び貫通溝 36の拡大図の一例である。ユニット側コネ クタ 22は、コネクタ先端部 118及びコネクタ先端部 118の外周を覆うように設けられた 外周部 102を有する。
[0071] コネクタ先端部 118は、光ファイバケーブル 40の先端に設けられ、フレーム側コネ クタ 16に挿入される。またコネクタ先端部 118は、光射出面を保護するカバーを有し ており、フレーム側コネクタ 16に挿入されるときに取り外される。
[0072] 外周部 102は、例えば金属で形成されており、前側爪 106、後側爪 104、嵌合部 1 13、戻り防止突起部 108、弾性部 114、及び取手部 112を有する。嵌合部 113は、 コネクタ先端部 118と嵌合し、外周部 102をコネクタ先端部 118に固定する。後側爪 104は、上側主基板 26の方向に突起して設けられ、先端が貫通溝 36の後端部 96 の方向に突出する。また前側爪 106は、上側主基板 26の方向に突起して設けられ、 先端が貫通溝 36の前端部 122の方向に突出する。
[0073] 戻り防止突起部 108は、後側爪 104が貫通溝 36の後端部 96に嵌合した場合に、 貫通溝の前端部 122と接触する位置に、上側主基板 26の方向、すなわちユニット配 設方向に突起して設けられる。また、戻り防止突起部 108は、弾性部 114を介して外 周部 102の本体に接続される。弾性部 114は、戻り防止突起部 108を、ユニット配設 方向にお 、て回動可能に保持する。
[0074] また、取手部 112は、後側爪 104が貫通溝 36の後端部 96に嵌合した場合に上側 主基板 26及び下側基板 24の外部に表出する領域に、ユニット配設方向に突起して 設けられる。使用者は、取手部 112をつまみ、ユニット側コネクタ 22を接続方向に移 動させる。
[0075] フレーム側コネクタ 16に挿入される前段階では、ユニット側コネクタ 22は、後側爪 1 04が貫通溝 36の後端部 96と嵌合する位置まで挿入され、係止部は、係止板 34の 端部 98が前側爪 106と嵌合する位置に、係止板 34を係止する。これにより、それぞ れのユニット側コネクタ 22を、テストボード 14に接触しな 、位置に係止した状態で、 ケーブルユニット 20をテストボード 14に安全に固定することができる。このとき、戻り 防止突起部 108は、貫通溝 36の前端部 122と当接する。
[0076] そして、フレーム側コネクタ 16に挿入する段階で、係止板 34を取り外し、ユニット側 コネクタ 22を接続方向に移動可能な状態にする。ただし、外力が加わらない状態で は、ユニット側コネクタ 22は、後側爪 104及び戻り防止突起部 108により、係止され ている。また、係止板 34は、前述したビス穴 48等の位置に退避される。そして、使用 者は、それぞれのユニット側コネクタ 22を順次フレーム側コネクタ 16に挿入する。こ のような構成により、使用者は、それぞれのユニット側コネクタ 22を安全にフレーム側 コネクタ 16に挿入することができる。
[0077] 図 6は、フレーム側コネクタ 16に挿入されたときの、貫通溝 36に対するユニット側コ ネクタ 22の位置を示す。フレーム側コネクタ 16に挿入された場合、ユニット側コネクタ 22の前側爪 106は、貫通溝 36の前端部 122と嵌合する。
[0078] 図 7は、テストヘッド 12を 2つ備える試験装置 100における、テストボード 14の概念 図である。テストヘッド 12を 2つ備える場合、テストボード 14の表面及び裏面のそれ ぞれに、複数のフレーム側コネクタ 16が設けられる。
[0079] この場合、メインフレーム 10は、テストボード 14の表面に設けられたフレーム側コネ クタ 16を介して、制御信号を第 1テストヘッド 12に供給し、テストボード 14の裏面に設 けられたフレーム側コネクタ 16を介して、制御信号を第 2テストヘッド 12に供給する。
[0080] また、試験装置 100は、テストボード 14の表面に設けられたフレーム側コネクタ 16と 第 1テストヘッド 12とを光接続し、制御信号を第 1テストヘッド 12に伝送する第 1ケー ブルユニット 20と、テストボード 14の裏面に設けられたフレーム側コネクタ 16と第 2テ ストヘッド 12とを光接続し、制御信号を第 2テストヘッド 12に伝送する第 2ケーブルュ ニット 120とを備える。
[0081] この場合、テストボード 14の表面には、延伸部 18が設けられ、裏面には延伸部が 設けられない。第 1ケーブルユニット 20は、図 2から図 6において説明したケーブルュ ニット 20と同一の構成を有し、延伸部 18を介してテストボード 14と接続される。また 第 2ケーブルユニット 120は、第 1ケーブルユニット 20の構成に対し、ユニット固定部 28を有さず、第 1ケーブルユニット 20に対して第 2ケーブルユニットを固定する手段 を有する点で相違する。
[0082] 図 8は、第 2ケーブルユニット 120のコネクタ保持部 121の構成の一例を示す図で ある。コネクタ保持部 121は、上側基板 123及び下側基板 124を有する。ここで、上 側及び下側とは、基板を区別するための呼称であり、実使用時における位置関係を 示すものではない。また本図においては、光ファイバケーブル 40の記載を省略して いる。
[0083] 上側基板 123は、第 1ケーブルユニット 20の上側基板 23の構成に対し、略左右対 称の構成を有する。上側基板 123は、上側主基板 126及び上側従基板 130を有す る。上側主基板 126及び上側従基板 130は、第 1ケーブルユニット 20の上側主基板 26及び上側従基板 30の構成に対し、略左右対称の構成を有する。但し、第 2ケー ブルユニット 120は、ユニット固定部 28を有さないため、上側主基板 126は、ユニット 固定部 28に対応するビス穴 52を有さない。下側基板 124は、第 1ケーブルユニット 2 0の下側基板 24の構成に対し、略左右対称の構成を有する。下側基板 124の詳細 な構成については、図 9において後述する。
[0084] 図 9は、上側主基板 126、上側従基板 130、及び下側基板 124のそれぞれの外観 の一例を示す図である。図 9において、図 4と同一の符号を付したものは、図 4におい て説明したものと同様の機能及び構成を有する。上側主基板 126及び上側従基板 1 30は、図 8において説明したように、第 1ケーブルユニット 20の上側主基板 26及び 上側従基板 30の構成に対し、略左右対称の構成を有する。また、上側主基板 126 は、ビス穴 52に代えて、下側基板 124と鉅着されるべきビス穴 198を有する。
[0085] 下側基板 124は、上側主基板 126の表面と略平行な底面 161と、底面 161から上 側主基板 126の方向に延伸し、接続方向に略平行な 2つの側面 163と、底面 161か ら上側主基板 126の方向に延伸し、接続方向を法線とするケーブル通過部側面 16 5とを有する。また、ユニット側コネクタ 22が配置される底面 161の辺には、側面が設 けられない。また、底面 161は、ユニット側コネクタ 22が配置される底面 161の辺から 、接続方向に突出した突出面 170を有する。
[0086] 底面 161は、ユニット側コネクタ 22が挿入されて配置されるコネクタ領域 193と、そ れぞれのユニット側コネクタ 22の光ファイバケーブル 40が通過するケーブル通過領 域 192とを有する。下側基板 124におけるケーブル通過領域 192の形状は、下側基 板 24におけるケーブル通過領域 92と略左右対称である。コネクタ領域 193には突出 面 170が設けられる。突出面 170は、上側主基板 126の方向に折り返され、折り返さ れた表面 128にビス穴 196が設けられる。ビス穴 196は、上側主基板 126に設けられ たビス穴 198と鉅着される。
[0087] また、コネクタ領域 193の接続方向における幅は、第 1ケーブルユニット 20における コネクタ領域 93の接続方向における幅より小さい。図 10に示すように、第 2ケーブル ユニット 120の底面 161と、第 1ケーブルユニット 20の底面 61とは裏面同士で張り合 わされるため、第 2ケーブルユニット 120のそれぞれのユニット側コネクタ 22は、第 1 ケーブルユニット 20の下側基板 24と、第 2ケーブルユニット 120の上側主基板 126と により保持される。 [0088] また、下側基板 124にお 、て、第 1ケーブルユニット 20の下側基板 24のビス穴(68 、 94)に対応する位置には、貫通孔 168が設けられる。これにより、第 1ケーブルュ- ット 20と第 2ケーブルユニット 120とを張り合わせたときに、ビス穴(68、 94)に揷通さ れたビスの端部が貫通孔 168に挿入されるため、当該ビスが下側基板 124の裏面に 当たることによる下側基板 124の傾きを無くし、第 1ケーブルユニット 20と第 2ケープ ルユニット 120とを密着して固定することができる。
[0089] 図 10は、第 1ケーブルユニット 20及び第 2ケーブルユニット 120を張り合わせる場 合の概念図である。前述したように、第 1ケーブルユニット 20及び第 2ケーブルュ-ッ ト 120は、下側基板 24及び下側基板 124の裏面同士が密着するように張り合わされ る。そして、対応するビス穴(82、 88)同士を鉅着し、対応するビス穴 73を、接続部材 202を用いて鉅着する。これにより、第 2ケーブルユニット 120は、第 1ケーブルュ-ッ ト 20に固定される。第 1ケーブルユニット 20は、テストボード 14に対して固定されるた め、第 2ケーブルユニット 120も、テストボード 14に対して所定の位置に固定すること ができる。
[0090] テストボード 14からは、制御信号としてレーザ光が射出される。第 1ケーブルュ-ッ ト 20及び第 2ケーブルユニット 120がテストボード 14に接続されている場合、テストボ ード 14のフレーム側コネクタ 16から射出されるレーザ光は、第 1ケーブルユニット 20 のケーブル通過部側面 65、及び第 2ケーブルユニット 120のケーブル通過部側面 1 65により遮光される。
[0091] しかし、これらのケーブルユニットを取り外す際には、レーザ光に対して使用者の注 意を喚起する必要がある。本例においては、テストボード 14の近傍に、使用者の注 意を促す注意銘板を設けてよい。また、後述するように、それぞれのユニット側コネク タ 22を、フレーム側コネクタ 16から外すときに、特殊治具を必要とすることにより、使 用者の注意を喚起することができる。
[0092] 次に、メインフレームに並列に設けられた複数のテストボード 14に、複数のケープ ルユニットを順次接続する場合について説明する。まず、並列に設けられたテストボ ード 14のうち、左端のテストボード 14に、第 1ケーブルユニット 20を固定し、それぞれ のユニット側コネクタ 22を、当該テストボード 14の表面に設けられたフレーム側コネク タ 16に挿入する。そして、第 1ケーブルユニット 20に第 2ケーブルユニット 120を固定 し、それぞれのユニット側コネクタ 22を当該テストボード 14の裏面に設けられたフレ ーム側コネクタ 16に挿入する。
[0093] そして、次のテストボード 14に、次の第 1ケーブルユニット 20を固定し、それぞれの ユニット側コネクタ 22を、当該テストボード 14の表面に設けられたフレーム側コネクタ 16に挿入する。このとき、当該ユニット側コネクタ 22の取手部 112は、先に固定した 第 2ケーブルユニット 120側に突出するため、使用者が当該取手部 112をつかむこと が困難な場合がある。この場合、使用者は、ユニット側コネクタ 22を移動させるため の治具を用いることが好ましい。当該治具は、ユニット側コネクタ 22の取手部 112が 設けられた面の裏面に嵌合する手段を有する。使用者は当該治具を用いて、ュ-ッ ト側コネクタ 22の裏面から、ユニット側コネクタ 22を移動させることができる。
[0094] このような作業を繰り返し、全てのテストボード 14に対してケーブルユニット(20、 12 0)を固定し、全てのユニット側コネクタ 22をフレーム側コネクタ 16に挿入することがで きる。
[0095] 図 11は、テストボード 14の裏面に設けられたフレーム側コネクタ 16を使用しない場 合に、テストボード 14に対して固定される第 1ケーブルユニット 20の構成の一例を示 す図である。本例における試験装置 100は、一つのテストヘッド 12のみを用いて電 子デバイス 300の試験を行う。当該第 1ケーブルユニット 20は、図 10に関連して説明 した第 1ケーブルユニット 20の構成に加え、遮光板 204を更に有する。遮光板 204は 、図 10において説明した第 2ケーブルユニット 120と同様に、第 1ケーブルユニット 2 0に固定される。遮光板 204は、テストボード 14の裏面に設けられたフレーム側コネク タ 16が射出するレーザ光の行路をさえぎる位置に、側面 206を有する。例えば遮光 板 204は、第 2テストボード 120の下側基板 124のケーブル通過部側面 165と同一 の位置に側面 206を有する。これにより、テストボード 14の裏面に設けられたフレー ム側コネクタ 16が射出するレーザ光力 使用者を保護することができる。
[0096] 以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実 施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または 改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改 良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載力 明らかである。
産業上の利用可能性
以上から明らかなように、本発明によれば、多数の光ファイバケーブルのコネクタを 効率よぐ且つ安全に接続することができる。

Claims

請求の範囲
[1] 電子デバイスを試験する試験装置であって、
前記電子デバイスに試験パターンを印加するテストヘッドと、
複数のフレーム側コネクタが設けられ、前記フレーム側コネクタを介して制御信号を 前記テストヘッドに供給するメインフレームと、
前記フレーム側コネクタと前記テストヘッドとを光接続し、前記制御信号を前記テス トヘッドに伝送するケーブルユニットと
を備え、
前記ケーブルユニットは、
前記制御信号を伝送する複数の光ファイバケーブルと、
前記光ファイバケーブルの端部に設けられ、前記複数のフレーム側コネクタに対応 して設けられた複数のユニット側コネクタと、
前記メインフレームに対して前記ケーブルユニットを固定するユニット固定部と、 それぞれの前記ユニット側コネクタを、対応する前記フレーム側コネクタに対してそ れぞれ独立して挿抜可能に保持するコネクタ保持部と
を有する試験装置。
[2] 前記コネクタ保持部は、それぞれの前記ユニット側コネクタを、前記フレーム側コネ クタとの接続方向に対してそれぞれ独立して移動可能に保持する
請求項 1に記載の試験装置。
[3] 前記コネクタ保持部は、それぞれの前記ユニット側コネクタを、前記フレーム側コネ クタと接続しな ヽ状態で係止可能な係止部を有する
請求項 1に記載の試験装置。
[4] 前記複数のフレーム側コネクタは、前記メインフレームに挿入されたテストボードに 設けられ、
前記係止部は、前記ユニット固定部が前記ケーブルユニットを固定した状態にぉ 、 て、前記テストボードに接触しな 、位置に前記複数のユニット側コネクタを係止する 請求項 3に記載の試験装置。
[5] 前記複数のユニット側コネクタは、前記ケーブルユニットの面内において、前記フレ ーム側コネクタとの接続方向と略垂直なコネクタ配設方向に並列に配設され、 それぞれの前記ユニット側コネクタは、前記接続方向及び前記コネクタ配設方向の 双方と略垂直なユニット配設方向に突起した係止爪を有し、
前記コネクタ保持部は、
対応する前記ユニット側コネクタの前記係止爪が挿通され、前記係止爪が挿通され た状態において前記係止爪を前記接続方向に対して移動可能とすることにより、当 該ユニット側コネクタを前記接続方向に対して移動可能に保持する貫通溝が設けら れた保持基板を更に有する
請求項 3に記載の試験装置。
[6] 前記複数の貫通溝が設けられるピッチは、前記ユニット側コネクタの前記コネクタ配 設方向における幅と略同一である
請求項 5に記載の試験装置。
[7] 前記係止爪は、後側爪と、前記後側爪より前記テストボード側に設けられた前側爪 とを有し、
前記係止部は、
前記保持基板と着脱可能に設けられ、前記複数のユニット側コネクタの前記前側爪 と嵌合する係止板を有し、
それぞれの前記ユニット側コネクタの前記後側爪が前記貫通溝の後端部に嵌合し 、且つそれぞれの前記ユニット側コネクタの前記前側爪が前記係止板に嵌合するこ とにより、前記複数のユニット側コネクタを、前記テストヘッドに接触しない位置に係止 する
請求項 5に記載の試験装置。
[8] 前記係止部は、それぞれの前記ユニット側コネクタの前記後側爪を前記貫通溝の 前記後端部に嵌合させた場合に、それぞれの前記ユニット側コネクタの前記前側爪 と嵌合する位置に前記係止板を着脱可能に固定する手段を有する
請求項 7に記載の試験装置。
[9] 前記係止部は、それぞれの前記ユニット側コネクタの前記前側爪を前記貫通溝の 前端部に嵌合させた場合に、それぞれの前記ユニット側コネクタの前記後側爪と嵌 合する位置に前記係止板を着脱可能に固定する手段を更に有する 請求項 8に記載の試験装置。
[10] 前記係止部は、前記ユニット側コネクタを前記フレーム側コネクタに挿入する場合 に、前記複数の貫通溝が設けられた領域とは異なる領域に、前記前側爪及び前記 後側爪の ヽずれにも接触しな ヽように、前記係止板を着脱可能に固定する手段を更 に有する
請求項 9に記載の試験装置。
[11] それぞれの前記ユニット側コネクタは、前記後側爪が前記貫通溝の前記後端部に 嵌合した場合に当該貫通溝の前端部と接触する位置に設けられた、前記ユニット配 設方向に突起した弾性を有する戻り防止突起部を更に有する
請求項 7に記載の試験装置。
[12] それぞれの前記ユニット側コネクタは、前記後側爪が前記貫通溝の前記後端部に 嵌合した場合に前記保持基板の外部に表出する領域に、前記ユニット配設方向に 突起した取手部を更に有する
請求項 7に記載の試験装置。
[13] 前記ケーブルユニットは、それぞれ複数の前記ユニット側コネクタを有する複数のコ クタブロックを有し、
前記係止部は、前記コネクタブロック毎に、前記係止板及び当該係止板を着脱可 能に固定する手段を有する
請求項 7に記載の試験装置。
[14] 前記保持基板は、隣接する前記コネクタブロックの間に設けられ、前記テストボード と対向する面において開口を有し、
前記テストボードは、前記開口と対応する位置に、前記接続方向に延伸する延伸 部を有し、
前記ユニット固定部は、前記開口に前記延伸部が挿入された状態で、前記保持基 板と前記延伸部とを固定する
請求項 13に記載の試験装置。
[15] 前記保持基板は、 前記ユニット配設方向を法線とする表面を有し、当該表面に前記貫通溝が設けら れた上側基板と、
前記ユニット配設方向を法線とする表面を有し、前記上側基板に対して、前記ュニ ット配設方向において所定の間隔を有して設けられる下側基板と
を有し、
前記複数のユニット側コネクタは、前記上側基板と前記下側基板との間に挿入され る
請求項 5に記載の試験装置。
[16] 前記下側基板は、
それぞれの前記光ファイバケーブルが通過するケーブル通過部と、
前記ケーブル通過部の端部に設けられ、それぞれの前記光ファイバケーブルを挿 通して前記コネクタ保持部の外部に送出する開口が設けられたケーブル送出部と を有し、
前記上側基板の前記貫通溝が設けられた表面の、前記ケーブル通過部に対向す る領域には、複数の貫通孔が設けられる
請求項 15に記載の試験装置。
[17] 前記ケーブルユニットは、それぞれ複数の前記ユニット側コネクタを有する複数のコ クタブロックを有し、
前記ケーブル送出部に最も近い前記コネクタブロックに接続された前記光ファイバ ケーブルが通過する前記ケーブル通過部の領域に対向する前記上側基板の表面が 切り欠かれている
請求項 16に記載の試験装置。
[18] 前記ケーブル通過部に対応する領域における前記上側基板と前記下側基板との 間隔は、前記貫通溝に対応する領域における前記上側基板と前記下側基板との間 隔より大きい
請求項 16に記載の試験装置。
[19] 前記ケーブル通過部は、前記下側基板の前記ユニット配設方向を法線とする表面 から、前記上側基板の方向に延伸する側面を有し、 前記係止部は、前記係止板を前記側面に着脱可能に固定する手段を有する 請求項 16に記載の試験装置。
[20] 前記上側基板は、
前記複数の貫通溝が設けられた上側主基板と、
前記複数の貫通孔が設けられ、前記ケーブル通過部に対向する領域に前記上側 主基板と着脱可能に固定される上側従基板と
を有する請求項 16に記載の試験装置。
[21] 電子デバイスを試験する試験装置であって、
それぞれ前記電子デバイスに試験パターンを印加する第 1テストヘッド及び第 2テ ス卜ヘッドと、
表面及び裏面のそれぞれに複数のフレーム側コネクタが設けられたテストボードを 有し、前記表面に設けられた前記フレーム側コネクタを介して制御信号を前記第 1テ ストヘッドに供給し、前記裏面に設けられた前記フレーム側コネクタを介して制御信 号を前記第 2テストヘッドに供給するメインフレームと、
前記テストボードの前記表面に設けられた前記フレーム側コネクタと前記第 1テスト ヘッドとを光接続し、前記制御信号を前記第 1テストヘッドに伝送する第 1ケーブルュ -ッ卜と、
前記テストボードの前記裏面に設けられた前記フレーム側コネクタと前記第 2テスト ヘッドとを光接続し、前記制御信号を前記第 2テストヘッドに伝送する第 2ケーブルュ ニットと
を備え、
前記第 1ケーブルユニット及び前記第 2ケーブルユニットのそれぞれは、 前記制御信号を伝送する複数の光ファイバケーブルと、
前記光ファイバケーブルの端部に設けられ、前記複数のフレーム側コネクタに対応 して設けられた複数のユニット側コネクタと、
それぞれの前記ユニット側コネクタを、対応する前記フレーム側コネクタに対してそ れぞれ独立して挿抜可能に保持するコネクタ保持部と
を有し、 前記第 1ケーブルユニットは、前記テストボードに対して前記ケーブルユニットを固 定する第 1ユニット固定部を更に有し、
前記第 2ケーブルユニットは、前記第 1ケーブルユニットに対して前記第 2ケーブル ユニットを固定する第 2ユニット固定部を更に有する試験装置。
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