Substrat-Arbeitsstation und Zusatzmodul für eine Substrat-Arbeitsstation
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Substrat-Arbeitsstation zum Bearbeiten und/oder Untersuchen und/oder Transport von Substraten. Die Substrat- Arbeitsstation umfasst eine Zentraleinheit und ein Gehäuse. Die Zentraleinheit ist in dem Gehäuse angeordnet und dient zum Bearbeiten und/oder Untersuchen und/oder Transport eines Substrats. Das Gehäuse weist mindestens eine Schnittstelle auf, an welcher ein Loadport-Modul für Substrat-Aufbewahrungskassetten andockbar ist. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein Zusatzmodul, welches an eine Substrat-Arbeitsstation anbringbar ist.
Bei den Substraten handelt es sich einerseits um scheibenförmige Wafer, die meistens aus Silizium oder Galliumarsenid bestehen. Substrate können andererseits auch Masken sein, also Glasplatten, auf denen Strukturen aufgebracht sind oder aufgebracht werden und die als Vorlage für die Belichtung der Wafer dienen.
Bei der Herstellung von Halbleiter-Wafern werden zwischen bestimmten Herstellungsschritten die Substrate in Substrat-Aufbewahrungskassetten unterschiedlicher Art zu verschiedenen Arbeitsstationen transportiert und müssen dort in die jeweilige Arbeitsstation eingeführt werden. Der Transport kann manuell oder automatisiert erfolgen. Ein an eine Substrat-Arbeitsstation andockbares Modul, welches eine Substrat-Aufbewahrungskassette zum Be- und/oder Entladen der Substrat-Arbeitsstation aufnimmt, wird auch als Loadport-Modul bzw. als Substrat- Zuführungsmodul bezeichnet und stellt quasi eine Art Interface zwischen der Substrat-Aufbewahrungskassetten und der Substrat-Arbeitsstation dar. Die Loadport- Module für Substrat-Aufbewahrungskassetten weisen zum Andocken bzw. zum Adaptieren an die Substrat-Arbeitsstationen gemäß einer SEMI-Norm normierte Schnittstellen auf. Hier ist insbesondere die SEMI-Norm E63-0600A einschlägig, welche eine normierte Andockstelle als Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS) normiert. In dieser Norm sind alle Maße der Andockstelle definiert und dargestellt.
Die Substrat-Arbeitsstationen dienen unterschiedlichen Zwecken für die Behandlung der Substrate wie die Inspektion, Vermessung oder Bearbeitung der Substrate. Eine solche Untersuchung ist z.B. die Kontrolle der Waferkante (Wafer Edge Inspection
oder WIE abgekürzt) oder die Kontrolle der Waferrückseite („Backside") oder die Kontrolle der Randeentlackung (auch „Edge Bead Removal" oder kurz EBR genannt). Bei der Inspektion der Substrate werden diese insbesondere hinsichtlich unerwünschter Partikel auf den Substraten oder auf Fehler in den Strukturen auf oder in der Oberfläche der Substrate optisch inspiziert. Die Inspektion kann durch den Benutzer oder automatisiert mit Hilfe einer elektronischen Kamera erfolgen. Zur Inspektion dienende Substrat-Arbeitsstationen, auch Waferinspektionsgeräte genannt, sind beispielsweise unter den Bezeichnungen INS 3000 und INS 3300 der Anmelderin aus dem Stand der Technik bekannt. In solchen oder auch in separaten Arbeitsstationen können zudem Messungen auf den Substraten vorgenommen werden. Beispielsweise können die unerwünschten Partikel oder Strukturfehler automatisch erkannt und klassifiziert werden (Defektanalyse). Zudem können die Breiten, Abstände oder Dicken der Strukturen vermessen werden (CD-Analyse, Schichtdickenanalyse). Die Inspektions- und Messabläufe sind häufig vollautomatisiert, sowohl was die Handhabung bzw. das Handling der Substrate betrifft, als auch hinsichtlich der zu inspizierenden oder zu vermessenden Orte auf dem Substrat.
Eine Substrat-Arbeitsstation ist zumeist für einen ganz speziellen Zweck bzw. für eine bestimmte Aufgabe ausgelegt und konstruiert und daher bezüglich eines vielseitigen Einsatzes in der Regel eben nicht geeignet oder ausgelegt. Des Weiteren wird eine Substrat-Arbeitsstation hauptsächlich im Reinraum eingesetzt, wo nicht zuletzt aufgrund der hohen Betriebskosten eine Substrat-Arbeitsstation idealerweise so wenig Platz wie möglich einnehmen darf und eine bestimmte Grundfläche bzw. einen so genannten „Footprint" nicht übersteigen darf. Eine zumindest zeitweise Flexibilität bei dem Einsatz von bereits installierten und betriebenen Substrat- Arbeitsstationen, beispielsweise das Hinzufügen einer zusätzlichen Inspektionsmethode, wäre wünschenswert, ist aber - wenn überhaupt möglich - entweder mit erheblichen Umrüstarbeiten einer Substrat-Arbeitsstation und damit verbundenen Ausfallzeiten in der Produktion/Inspektion der Substrate möglich, oder aber es müsste aufgrund eines an die Substrat-Arbeitsstation angebauten weiteren Inspektionsmoduls die für die Substrat-Arbeitsstation vorgesehene Grundfläche hierdurch erhöht werden, was nicht immer möglich ist.
Es werden im Allgemeinen hohe Anforderungen an das Handling der Substrate gestellt, wie hinsichtlich der Sicherheit, Geschwindigkeit und Sauberkeit des Handling. Zudem sollen auch Substrate mit unterschiedlichen Durchmessern verwendet und im Handling eingebracht werden können. Das Handling der Substrate bedeutet dabei insbesondere die Übergabe der Substrate von einem Substrat- Zuführungsmodul in eine Arbeitsstation, die örtlichen Veränderungen innerhalb der Arbeitsstation bzw. der Transport des Substrats und schließlich wieder zurück in das Substrat-Zuführungsmodul, gegebenenfalls mit entsprechender Sortierung.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, zumindest zeitweise die Funktion einer Substrat-Arbeitsstation erhöhen zu können, wobei hierbei der Footprint der Substrat-Arbeitsstation nicht oder nicht wesentlich erhöht werden soll.
Die erfindungsgemäße Substrat-Arbeitsstation der eingangs genannten Art löst die voranstehende Aufgabe durch die Merkmale des Patentanspruchs 1. Danach ist eine Substrat-Arbeitsstation dadurch gekennzeichnet, dass an dem Gehäuse oder an der Schnittstelle ein Zusatzmodul anbringbar ist, mit welchem Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar sind.
Erfindungsgemäß ist zunächst erkannt worden, dass es bei manchen Anwendungen wünschenswert ist, bei einer bestehenden und installierten Substrat-Arbeitsstation zumindest zeitweise eine weitere Funktionalität bzw. Inspektionsmethode zur Verfügung zu haben. Dies kann in ganz besonders vorteilhafter Weise auch ohne Umrüstarbeiten einer bestehenden installierten Substrat-Arbeitsstation erfolgen, wenn diese weitere Funktionalität bzw. Inspektionsmethode in einem Zusatzmodul realisiert ist. Sodann ist es lediglich erforderlich, das entsprechende Zusatzmodul an eine Substrat-Arbeitsstation zeitweise oder dauerhaft zu adaptieren, so dass diese weitere Funktionalität bzw. Inspektionsmethode in Zusammenwirkung mit der Substrat-Arbeitsstation genutzt werden kann.
Ganz allgemein kann das Zusatzmodul an eine am Gehäuse der Substrat- Arbeitsstation bereits vorgesehenen Schnittstelle adaptiert werden. Es ist jedoch auch denkbar, dass das Zusatzmodul unmittelbar am Gehäuse der Substrat- Arbeitsstation adaptierbar ist, wobei dieser Gehäuseabschnitt keine unmittelbare Schnittstellenfunktion, beispielsweise zum Austausch von Substraten zwischen der
Substrat-Arbeitsstation und anderen Einheiten, aufweist. Es könnte viel mehr am Gehäuse der Substrat-Arbeitsstation ein Gehäuseteil vorgesehen sein, welches zunächst vom Gehäuse zu entfernen ist, um dann das Zusatzmodul an dem Gehäuse zu adaptieren. In diesem Fall brauchte die Substrat-Arbeitsstation keine Schnittstelle aufweisen.
Insbesondere wenn die ein Zusatzmodul aufweisende zusätzliche Funktionalität nur zeitweise benötigt wird, ist das Zusatzmodul an dem Gehäuse oder an der Schnittstelle reversibel anbringbar. Hierfür könnten mechanische Schnellkopplungsverbindungen an dem Zusatzmodul und/oder an der Substrat- Arbeitsstation vorgesehen sein, so dass das Zusatzmodul mit nur wenigen Handgriffen an der Substrat-Arbeitsstation an- oder abbaubar ist.
Bevorzugt ist die Schnittstelle des Zusatzmoduls derart ausgebildet, dass sie im an der Substrat-Arbeitsstation adaptierten Zustand eine reinraumtaugliche Verbindung zwischen dem Zusatzmodul und der Substrat-Arbeitsstation gewährleistet. Gleiches sollte grundsätzlich für die Schnittstelle der Substrat-Arbeitsstation gelten. So könnte die Schnittstelle des Zusatzmoduls und/oder der Substrat-Arbeitsstation mindestens ein mechanisches Kopplungsmittel aufweisen, welches eine reinraumtaugliche Verbindung zwischen Zusatzmodul und Substrat-Arbeitsstation ermöglicht. Das mechanische Kopplungsmittel könnte beispielsweise einen Schraubverbinder oder einen Anpressverbinder mit einem drehbar gelagerten Hebel aufweisen.
In einer ganz besonders bevorzugten Ausführungsform ist die Schnittstelle entsprechend eines Standards oder einer Industrienorm ausgebildet, vorzugsweise gemäß einer SEMI-Norm, nämlich insbesondere nach der SEMI-Norm E63-0600A. Diese Industrienorm normiert eine normierte Andockstelle als Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS). Somit kann in ganz besonders vorteilhafter Weise ein Zusatzmodul mit einer solch normierten Schnittstelle zumindest hinsichtlich der mechanischen Schnittstelleneigenschaften an jede Substrat-Arbeitsstation angekoppelt werden, welche eine derart normierte Schnittstelle aufweist. Da jedoch fast jede Substrat-Arbeitsstation zumindest eine solche Schnittstelle zum Ankoppeln eines Loadport-Moduls für Substrat-Aufbewahrungskassetten aufweist, ist durch die Ausgestaltung der Schnittstellen sowohl des Zusatzmoduls als auch der Substrat- Arbeitsstation eine universelle Ankopplung von Zusatzmodul an einer Substrat-
Arbeitsstation möglich. Wenn die äußeren Maße des Zusatzmoduls im wesentlichen denen eines Loadport-Moduls entsprechen, verändert sich die Grundfläche der Substrat-Arbeitsstation mit dem daran adaptierten Zusatzmodul nicht wesentlich gegenüber der Grundfläche, die eine Substrat-Arbeitsstation mit einem daran adaptierten Loadport-Modul einnimmt. Insoweit ist hierdurch in ganz besonders vorteilhafter Weise die Funktionalität einer Substrat-Arbeitsstation flexibel und in vielseitiger Art und Weise erweiterbar, ohne dass wesentlich mehr Platz für die Substrat-Arbeitsstation zur Verfügung zu stellen ist.
Grundsätzlich kann es sich bei der Zentraleinheit einer Substrat-Arbeitsstation um eine ein Fertigungstool, ein Robotersystem, ein Randinspektionssystem, ein Mikroinspektionssystem und/oder ein Makroinspektionssystem handeln. Mit anderen Worten kommen als Substrat-Arbeitsstationen sämtliche, aus dem Stand der Technik beziehungsweise auf dem Markt erhältliche Substrat-Arbeitsstationen in Frage, an welche ein Zusatzmodul adaptierbar ist.
Ganz besonders bevorzugt sind an der Substrat-Arbeitsstation und/oder am Zusatzmodul Interoperationsmittel vorgesehen, mit welchen eine Interoperation zwischen der Substrat-Arbeitsstation und einem an der Substrat-Arbeitsstation adaptierten Zusatzmodul realisierbar ist. Hierbei kann es sich insbesondere um elektrische Verbindungen zur Stromversorgung eines an der Substrat-Arbeitsstation adaptierten Zusatzmoduls handeln. Weiterhin können elektrische Schnittstellen vorgesehen sein, über welche Informationen zum Ansteuern des Zusatzmoduls und/oder Messdaten zwischen Zusatzmodul und Substrat-Arbeitsstation ausgetauscht werden können. Auch der jeweilige Betriebszustand des Zusatzmoduls und/oder des Substrat-Arbeitsstationen könnte über eine solche elektrische Schnittstelle ausgetauscht werden, so dass eine reibungslose und aufeinander abgestimmte Bearbeitung der Substrate sowohl mit der Substrat-Arbeitsstation als auch mit dem Zusatzmodul möglich ist.
Die eingangs genannte Aufgabe wird auch durch die Merkmale des Patentanspruchs 7 gelöst. Demnach ist ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul an eine Substrat- Arbeitsstation nach einem der Patentansprüche 1 bis 6 - vorzugsweise reversibel - anbringbar. Mit dem Zusatzmodul sind Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar.
Letztendlich kann die Funktionalität einer beliebigen Substrat-Arbeitsstation dadurch erhöht werden, dass ein Zusatzmodul, mit welchem Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar sind, an die Substrat-Arbeitsstation adaptiert wird. Hierzu ist lediglich eine Schnittstelle an der Substrat-Arbeitsstation oder eine Kopplungsstelle an dem Gehäuse der Substrat-Arbeitsstation erforderlich, an welchem das erfindungsgemäße Zusatzmodul adaptiert werden kann. Somit kann in ganz besonders vorteilhafter Weise ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul als OEM- System ausgebildet werden.
Hinsichtlich der Schnittstelle eines Zusatzmoduls gilt das bereits oben Gesagte. Dementsprechend ist eine Schnittstelle vorzugsweise entsprechend eines Standards oder einer Industrienorm ausgebildet, bevorzugt gemäß einer SEMI-Norm, insbesondere nach der SEMI-Norm E63-0600A, welche eine normierte Andockstelle als Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS) normiert.
Ganz besonders bevorzugt weist das Zusatzmodul eine Schnittstelle auf, welche komplementär zu einer Schnittstelle einer Substrat-Arbeitsstation ausgebildet ist. Hierdurch ist eine einfache und wirksame Adaption des Zusatzmoduls an der Substrat-Arbeitsstation möglich. Weiterhin könnte die Schnittstelle des Zusatzmoduls derart ausgebildet sein, dass sie, wenn sie an einer Substrat-Arbeitsstation adaptiert ist, reinraumtauglich ist. Hierunter ist insbesondere zu verstehen, dass Kontaminationen von außerhalb nicht in die Substrat-Arbeitsstation mit dem daran adaptierten Zusatzmodul eindringen können. Vorzugsweise weist die Schnittstelle mindestens ein mechanisches Kopplungsmittel auf, welches eine reinraumtaugliche Verbindung zwischen Zusatzmodul und Substrat-Arbeitsstation ermöglicht.
Ganz besonders bevorzugt weist das Zusatzmodul äußere Abmessungen auf, welche an den Abmessungen der Schnittstelle einer Substrat-Arbeitsstation angepasst sind und/oder die im Wesentlichen den äußeren Abmessungen oder der Grundfläche eines Loadport-Moduls oder einer Substrat-Aufbewahrungskassette entsprechen. Somit verändert sich die Grundfläche der Substrat-Arbeitsstation mit einem daran adaptierten Zusatzmodul nicht wesentlich gegenüber der Grundfläche, die eine Substrat-Arbeitsstation mit einer daran adaptierten Substrat- Aufbewahrungskassette oder Loadport-Modul einnimmt. Insoweit ist hierdurch in ganz besonders vorteilhafter Weise die Funktionalität einer Substrat-Arbeitsstation
flexibel und in vielseitiger Art und Weise erweiterbar, ohne dass wesentlich mehr Platz - beispielsweise in einem Reinraum - zur Verfügung zu stellen ist.
Das Zusatzmodul könnte eine weitere Schnittstelle aufweisen, welche vorzugsweise auf der der Schnittstelle abgewandten Seite angeordnet ist. Diese weitere Schnittstelle könnte beispielsweise als Eingabe- und/oder Ausgabeport dient, über welchen Substrate von und/oder zu einer externen Substrattransport-Vorrichtung entgegennehmbar und/oder abgebbar sind. So wäre es beispielsweise denkbar, dass das Zusatzmodul an zwei gegenüberliegenden Seiten des Zusatzmoduls angeordnete BOLTS-Schnittstellen aufweist, so dass das Zusatzmodul mit der einen Schnittstelle an der Substrat-Arbeitsstation adaptierbar ist und dass an der anderen Schnittstelle des Zusatzmoduls ein Loadport-Modul andockbar ist. Es wäre auch denkbar, dass das Zusatzmodul über die weitere Schnittstelle an einer weiteren Zentraleinheit einer weiteren Substrat-Arbeitsstation anbringbar ist. Mit anderen Worten wäre das Zusatzmodul zwischen zwei Substrat-Arbeitsstationen anordenbar, und könnte hierdurch die Funktionalität dieser zwei Substrat-Arbeitsstationen erweitern.
Im folgenden werden einige denkbare Beispiele für Funktionalitäten von Zusatzmodulen angegeben. So könnten die Zusatzmodule derart ausgebildet sein, dass damit
• eine Substratrandinspektion oder eine Wafer-Edge-Inspection (WEI),
• eine Kontrolle der Substratrückseite,
• eine Kontrolle der Randentlackung des Substrats bzw. ein Edge Bead Removal (EBR) und/oder
• Filmschichtdickemessungen, beispielsweise von Lacken, durchführbar ist bzw. sind.
Ganz besonders bevorzugt weist ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul eine Steuer- und/oder Auswerteeinrichtung zur Ansteuerung und/oder Auswertung der damit durchzuführenden Arbeitsschritte auf. Insoweit kann dieses Zusatzmodul weitgehend autark die mit ihm auszuführenden Arbeitsschritte ausführen, ohne das die Substrat- Arbeitsstation, an welcher das Zusatzmodul adaptiert ist, die entsprechende Ansteuerung und/oder Auswertung der mit dem Zusatzmodul durchzuführenden Arbeitsschritte zur Verfügung stellen muss.
Es könnte auch mindestens einen Aktuator in oder an dem Zusatzmodul vorgesehen sein, mit welchem Substrate transportierbar oder handhabbar sind. Mit einem solchen Aktuator könnte insbesondere ein Substrat verschiebbar, drehbar und/oder justierbar sein.
Die mit dem Zusatzmodul erhaltenen Ergebnisse der Substratbearbeitung und/oder Substratinspektion könnten bevorzugt mittels eines am Zusatzmodul vorgesehenen Ausgabeterminals ausgegeben werden. Hierbei könnte es sich im einfachsten Fall um einen Monitor bzw. ein Display handeln. Alternativ oder zusätzlich könnten solche Ergebnisse über eine Datenschnittstelle an ein externes System, beispielsweise auf ein VISCON Terminal oder an eine zentrale Steuer- und Auswerteeinheit, zur weiteren Verarbeitung bzw. Auswertung übertragen werden. Ein so genanntes VISCON Terminal ist eine Auswertesoftware der Anmelderin mit der Bezeichnung VISCON NT, welche auf einen Computer läuft und mit welcher Bild- und Inspektionsdaten auswertbar bzw. analysierbar sind.
In einer ganz besonders bevorzugten Ausführungsform ist das Zusatzmodul an eine Fertigungsstraße für Substrate ankoppelbar. Somit kann an einzelnen erforderlichen Stellen bzw. Positionen der Fertigungsstraße jeweils ein entsprechendes Zusatzmodul adaptiert werden, so dass in den Fertigungsprozess für die Substrate eine entsprechende Kontrolle, Inspektion und/oder Behandlung der Substrate mit Hilfe des Zusatzmoduls möglich ist. Hierdurch kann in ganz besonders vorteilhafter Weise die Effektivität einer Fertigungsstraße ganz erheblich verbessert werden, da ggf. vorliegende Defekte oder Verunreinigungen an den Substraten frühzeitig erkannt und gegebenenfalls behoben oder ein defektes Substrat ausgesondert werden.
Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die dem Patentanspruch 1 nachgeordneten Patentansprüche und andererseits auf die nachfolgende Erläuterung der bevorzugten Ausführungsbeispiele der Erfindung an¬ hand der Zeichnung zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung der bevorzug¬ ten Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung werden auch im All¬ gemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Lehre erläutert. In der Zeichnung zeigen jeweils in einer schematischen Darstellung in
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Zusatzmoduls,
Fig. 2 eine perspektivische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Zusatzmoduls,
Fig. 3 eine vordere Seitenansicht eines ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Substrat-Arbeitsstation, an welcher ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul angebracht ist,
Fig. 4 eine Aufsicht des Ausführungsbeispiels aus Fig. 3,
Fig. 5 eine Aufsicht eines um eine weitere Substrat-Arbeitsstation erweitertes
Ausführungsbeispiel aus den Fig. 3 und 4,
Fig. 6, 8, 10 jeweils eine vordere Seitenansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Substrat-Arbeitsstation, an welche ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul angebracht ist,
Fig. 7, 9, 1 1 jeweils eine Aufsicht der Ausführungsbeispiele aus den Fig. 6, 8 und 10.
Gleiche oder ähnliche Bauteile bzw. Baugruppen sind in den Figuren 1 bis 1 1 mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet.
Die Fig. 1 und 2 zeigen jeweils ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul 1 , welches beispielsweise an eine erfindungsgemäße Substrat-Arbeitsstation 2, wie sie in Fig. 3 gezeigt ist, adaptierbar ist. Mit dem erfindungsgemäßen Zusatzmodul 1 können in den Figuren nicht gezeigtes Substrate bearbeitet und/oder untersucht und/oder transportiert werden. Das Zusatzmodul 1 aus Fig. 1 umfasst eine Anzeigeeinheit 3 und eine Bedienkonsole 4. Das Zusatzmodul aus Fig. 2 umfasst zur Auswertung der Messergebnisse alle notwendigen Systeme, gibt aber die entsprechenden Rohdaten an eine in der Fig. 2 nicht gezeigte Ausgabeeinheit weiter und kann somit auch von einer externen Eingabeeinheit bedient werden. Insoweit umfasst das Zusatzmodul 1 aus Fig. 2 weder eine Anzeigeeinheit noch eine Bedienkonsole.
Die erfindungsgemäßen Zusatzmodule 1 der Fig. 1 und 2 umfassen jeweils eine Schnittstelle 5, welche nach der SEMI-Norm E63-0600A ausgebildet ist und mit welcher ein Zusatzmodul 1 an eine entsprechend komplementär ausgebildete Schnittstelle einer Substrat-Arbeitsstation 2 ankoppelbar ist. Die SEMI-Norm E63- 0600A beschreibt eine genormte Andockstelle als Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS). Hierbei entsprechen die Abmessungen des Zusatzmoduls 1 im Wesentlichen der Grund- bzw. Standfläche eines Loadport-Moduls 6 für eine Substrat-Aufbewahrungskassette 7. Auch des Loadport-Modul 6 weist eine Schnittstelle 5 auf, die zu der entsprechenden Schnittstelle 5 der Substrat- Arbeitsstation 2 komplementär ausgebildet ist.
Fig. 3 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Substrat- Arbeitsstation 2, an welcher ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul 1 sowie zwei Loadport-Module 6 angebracht ist. Die in Fig. 2 gezeigte Substrat-Arbeitsstation 2 ist in Form eines Robotersystems 8 bzw. EFEMS (Equipment Front End Modul) ausgebildet und kann beispielsweise an eine weitere, in Fig. 3 nicht gezeigte Substrat-Arbeitsstation gekoppelt werden, die von dem Robotersystem 8 mit Substraten be- bzw. entladen wird. Das in Fig. 3 gezeigte Zusatzmodul 1 ist gemäß diesem Ausführungsbeispiel in Form eines Wafer-Edge-Inspection-Moduls (WEI) ausgebildet. Somit kann schon bei dem Robotersystem 8 eine Randinspektion der mit dem Robotersystem 8 gehandelten Substrate erfolgen. Fig. 4 zeigt das Ausführungsbeispiel aus Fig. 3 in einer Aufsicht.
In Fig. 5 ist eine zu den Fig. 3 und 4 vergleichbare Konfiguration gezeigt. Jedoch ist dort eine weitere Substrat-Arbeitsstation 2 vorgesehen, die in Form eines Makroinspektionssystems 9 ausgebildet ist. Mit dem Robotersystem 8 können dem Makroinspektionssystem 9 Substrate zugeführt oder davon abgeführt werden.
Fig. 6 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Substrat- Arbeitsstation 2, an welcher ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul 1 sowie ein Loadport-Modul 6 angebracht ist. Die in Fig. 6 gezeigte Substrat-Arbeitsstation 2 ist in Form eines Fertigungstools bzw. einer Fertigungsstraße 10 ausgebildet. Auch das in Fig. 6 gezeigte Zusatzmodul 1 ist in Form eines Wafer-Edge-Inspection (WEI) ausgebildet. Fig. 7 zeigt das Ausführungsbeispiel aus Fig. 6 in einer Aufsicht. Das Loadport-Modul 6 dient zum Beladen und Entladen der Fertigungsstraße 10 und wird
von deren Handlingsystem be- bzw. entladen. Hierdurch kann in ganz besonders vorteilhafter Weise an nahezu beliebiger Stelle der Fertigungsstraße 10 eine Wafer- Edge-Inspection durchgeführt werden. Voraussetzung hierfür ist lediglich, dass an der Fertigungsstraße 10 an der entsprechenden Stelle entweder eine Schnittstelle 5 oder eine Anbaustelle an dem Gehäuse der Fertigungsstraße 10 vorgesehen ist.
Fig. 8 zeigt eine der Fig. 3 vergleichbare Konfiguration, welche eine in Form eines Robotersystems 8 bzw. EFEMS ausgebildete Substrat-Arbeitsstation 2 aufweist. An dem Robotersystem 8 ist ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul 1 sowie zwei Loadport-Module 6 angebracht. Das Zusatzmodul 1 aus Fig. 8 könnte ein Modul zum Durchführen einer Wafer-Edge-Inspection sein. Weiterhin ist eine in Form eines Inspektionssystems 1 1 ausgebildete Substrat-Arbeitsstation 2 an dem Robotersystem 8 angekoppelt. Mit dem Robotersystem 8 wird das Inspektionssystem 1 1 und das Zusatzmodul 1 mit Substraten beladen bzw. entladen. Fig. 9 zeigt das Ausführungsbeispiel aus Fig. 8 in einer Aufsicht.
Fig. 10 zeigt eine weitere Konfiguration, bei welcher eine in Form eines Robotersystems 8 bzw. EFEMS ausgebildete Substrat-Arbeitsstation 2 zwischen zwei weiteren Substrat-Arbeitsstationen 2 angeordnet ist. Hierbei handelt es sich um ein Makroinspektionssystem 12 und um ein Mikroinspektionssystem 13. An dem Robotersystem 8 sind zwei Loadport-Module 6 angebracht. Auf der Rückseite des bezüglich der Ansicht aus Fig. 10 gezeigten Robotersystems 8 ist ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul 1 angebracht, siehe Fig. 1 1. Auch das Zusatzmodul 1 aus Fig. 1 1 könnte ein Modul zum Durchführen einer Wafer-Edge- Inspection sein. Mit dem Robotersystem 8 wird das Makroinspektionssystem 12, das Mikroinspektionssystem 13 und das Zusatzmodul 1 mit Substraten beladen bzw. entladen. Fig. 1 1 zeigt das Ausführungsbeispiel aus Fig. 10 in einer Aufsicht.
Jede der in den Fig. 3 bis 1 1 gezeigten Substrat-Arbeitsstationen 2 umfasst ein Gehäuse 14, in welchem die Zentraleinheit 15 angeordnet ist, die nicht näher gezeigt ist.
Abschließend sei ganz besonders darauf hingewiesen, dass die voranstehend erörterten Ausführungsbeispiele lediglich zur Beschreibung der beanspruchten Lehre dienen, diese jedoch nicht auf die Ausführungsbeispiele einschränken.
B e z u g s z e i c h e n l i s t e
Zusatzmodul
Substrat-Arbeitsstation
Anzeigeeinheit
Bedienkonsole
Schnittstelle
Loadport-Modul
Substrat-Aufbewahrungskassette
Robotersystem (EFEMS)
Makroinspektionssystem
Fertigungsstraße
Inspektionssystem
Makroinspektionssystem
Mikroinspektionssystem
Gehäuse von (2)
Zentraleinheit von (2)