WO2006053362A3 - Verfahren zur abscheidung von schichten aus ionischen flüssigkeiten - Google Patents

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Wolfgang Porcham
Georg Winkler
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Abscheidung, insbesondere auch zur elektrochemischen Abscheidung von Schichten aus einer Vielzahl von metallischen oder halbleitenden Elementen und/oder deren Verbindungen auf Substraten. Die Abscheidung erfolgt aus nichtwässriger Lösung, mit einer, ein Kation und ein Anion aufweisenden, organischen ionischen Flüssigkeit (IL) als Bestandteil der Trägerflüssigkeit. Erfindungsgemäß ist das Kation eine redoxinerte und das Anion eine reduzierend wirkende Komponente. Nach dem Verfahren lassen sich dichte Schichten, frei von unerwünschten Komponenten, in einem kontinuierlichen Verfahrensablauf bei tiefen Temperaturen, vorzugsweise zwischen Raumtemperatur und 140°C, herstellen.
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