WO2006045527A1 - Verfahren und eine vorrichtung zur herstellung einer topcoatschicht - Google Patents

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WO2006045527A1
WO2006045527A1 PCT/EP2005/011286 EP2005011286W WO2006045527A1 WO 2006045527 A1 WO2006045527 A1 WO 2006045527A1 EP 2005011286 W EP2005011286 W EP 2005011286W WO 2006045527 A1 WO2006045527 A1 WO 2006045527A1
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evaporation
vacuum chamber
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topcoat
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PCT/EP2005/011286
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Walter Zültzke
Markus Fuhr
Detlev Eller
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Leybold Optics Gmbh
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Definitions

  • the invention relates to a on at least one optical substrate according to the features of the independent claims
  • Dirt-repellent, in particular hydrophobic and / or oleophobic topcoat layers for reducing water stains and dirt adhesion to optical substrates, such as spectacle lenses are known.
  • DE 3701 654 A1 describes treating articles coated with silicon oxide, such as lenses, display panels and the like, with a material which after reaction or absorption on the surface to be treated produces a water-repellent effect.
  • the topcoat layer is usually applied to anti-reflection layers, but topcoat layers are also known on hard-lacquered or uncoated mineral glasses.
  • a topcoat layer is carried out by dipping, spraying, spin coating with a solution or a gel, while in the other method, the coating of a gaseous phase, preferably in a vacuum, takes place.
  • EP 1387187 A1 an optical anti-reflection element is described as having a double-layer top coat layer, which is prepared by evaporating a Topcoatmaterials under a vacuum with a pressure of 8.0 x 10 "1 Pa to 1, 0 x 10 -6 Pa
  • DE 199 22523 A1 proposes evaporating polyfluorohydrocarbons in a high vacuum by heating to 400 to 500 ° C. at a pressure of 10 -3 to 10 5 mbar.
  • Topcoated optical lenses such as are used in eyeglasses
  • High quality topcoats can reach a contact angle of water of 120 °.
  • the slip angle of optical lenses provided with such topcoat layers on cotton may be in a range between 4 ° and 6 ° for commercial plastic lenses having a diopter of - 2.0, the convex side being the sliding surface.
  • the surface roughness is so These cleancoat topcoat layers are often extremely low, which reduces the dirt adhesion and improves the cleaning properties.
  • the extreme surface smoothness desired per se in such topcoat layers leads to difficulties in connection with edge processing of the lenses when installed in a spectacle frame.
  • the lens can be fixed in the processing machine only with difficulty, since the adhesive pads required for this purpose do not adhere sufficiently to the surface. Therefore, the lens may slip by several degrees with respect to the intended optical axis.
  • the object of the present invention is therefore to provide a method and a device with which a topcoat layer can be produced on a substrate in a simple, reliable and cost-effective manner.
  • the inventive method for producing a Topcoat caring on at least one substrate by vaporizing a Topcoatmaterials in a Vakuumkam grains having an evaporation container for vaporizing the Topcoatmaterials includes that during evaporation at least one substrate is moved about an axis which relative to a Hauptverdampfungscardi one Angle in egg nem range ⁇ 0 to 90 °. It is understood that several substrates can be coated simultaneously. By means of the movement of the substrate about the said axis during the evaporation, it is possible to reduce existing in the vacuum chamber spatial inhomogeneities of the topcoat material in the vapor phase and thus to obtain a relation to a not moving about such an axis substrate more homogeneous coating.
  • topcoat layers can be produced even with a relatively poor vacuum.
  • the distance between the substrates and the evaporation module can be kept small without significantly affecting the homogeneity of the layer, so that a spatially small sized vacuum chamber can be used can, for example, have space on a table and can be used in an optician's shop.
  • the topcoat layer is applied to one or two lenses incorporated in a frame, so that difficulties in edge processing of the substrate can be reliably avoided by a topcoat layer with high smoothness.
  • This is also useful when already worn lenses are subsequently provided with a Topcoat für or such a layer to be renewed or repaired, since the otherwise necessary disassembly and reassembly of the glasses is omitted in the frame.
  • the frame can be rotated during the coating or even be stationary.
  • the evaporation of the topcoat material can be carried out in a wide pressure range, preferably between 0.01 mbar and 50 mbar, particularly preferably 0.1 mbar, 1, 0 mbar, 10 mbar or 40 mbar, so that the procedural Aufwan d can be kept low ,
  • a rinsing process carried out after completion of the evaporation with a rinsing medium is preferably carried out before removal of the substrate and can be carried out simultaneously for cooling the evaporation container, so that rapid removal of the substrate from the vacuum chamber is possible.
  • edge processing for adaptation of the substrate for incorporation into a frame prior to the start of evaporation, difficulties in handling due to an extremely smooth surface of the topcoat layer can be completely avoided. It is understood that edge machining of the substrate for fitting to installation in a frame can also be done after evaporation is complete.
  • Topcoats which have a dirt-repelling property due to hydrophobic and / or oleophobic surface properties have proven particularly useful.
  • the topcoat material used according to the invention is preferably a fluorohydrocarbon compound, an organosilicon compound, perforated polyether or fluorinated organic silicon compounds.
  • the method is particularly suitable for the coating of substrates formed as lenses, in particular spectacle lenses, although other substrates such as reflectors, car mirrors and the like are also suitable. can be coated according to the invention
  • topcoat layer in particular a cleancoat layer which is characterized by one or more of the following surface parameters:
  • the method is particularly suitable for substrates of a mineral glass material or a plastic material, as they are used for the production of spectacle lenses. Before the start of the evaporation, it is advantageous if an antireflection and / or lacquer coating is applied to the substrate.
  • topcoat material in the coating is evaporated from an evaporation container which comprises at least one molding body.
  • the shaped body is porous and formed like a tablet.
  • the device according to the invention for producing a topcoat layer is distinguished not only by its generic features in that a substrate holder is provided, by means of which during evaporation at least one substrate is movable about an axis which relative to a main evaporation direction an angle in a range> 0 to 90 ° having. Additionally or alternatively, a holder for at least one frame, in which at least one lens is installed, is provided.
  • the evaporation container is associated with an evaporation module 1 having a receiving opening for receiving the evaporation container, whereby simple handling, in particular supply and removal of the evaporation container, can be realized.
  • the vacuum chamber has a closable access opening for loading and unloading the vacuum chamber, which is arranged geodetically above the substrate.
  • the device can be produced inexpensively if the vacuum chamber has a vacuum pump designed as a rotary vane pump.
  • the flushing and / or r flood the vacuum chamber is structurally simple realized when the Vakuumkamme r is equipped with a vent valve.
  • FIG. 1 The drawings show schematically in FIG.
  • Figure 1 shows a device according to the invention with two to be coated
  • the device according to the invention shown in FIG. 1 for producing a topcoat layer on an optical substrate by evaporating a topcoat material in a vacuum chamber is particularly but not exclusively for suitable for use close to the customer in an optician's shop.
  • the device makes it possible in a simple manner to apply a topcoat layer directly to the optician after the cutting of spectacle lenses.
  • the substrates provided with the topcoat layer are only used in a frame after a final operation. Thus, the problems caused by extreme surface smoothness of coated substrates in the edge processing of spectacle lenses are completely eliminated.
  • a holder for one or more frame racks is provided in the vacuum chamber.
  • the topcoat layer is applied to one or two lenses incorporated in a rack.
  • a coating of the frame surface with the topcoat material which is more or less abrasion-resistant depending on the material of the frame frame, takes place. If the frame is not moved during sputtering, it is preferred to use a vacuum at a lower pressure than when the frame is moved.
  • Fluorocarbon compounds, organosilicon compounds, perfluorinated polyethers or fluorinated organic silicon compounds are preferably used as topcoat materials.
  • the applied topcoat layer is preferably a cleancoat layer and has hydrophobic and / or oleophobic surface properties. It is preferably characterized by at least one or more of the following surface parameters:
  • the device comprises a vacuum chamber 1, the chamber wall 2 has a geodetically arranged on top, preferably optically transparent, closable chamber lid 2a.
  • the interior of the vacuum chamber 1 can be small Dimensions have, for example, a width of 450 mm, depth of 300 mm and height of 350 mm.
  • the vacuum chamber 1 is connected via a vacuum line 7a with a vacuum pump 7, wherein in the vacuum diverter 7a a shut-off valve 6 is arranged. Further, the vacuum chamber with a vent line 8a and arranged in this vent line Ventilationventi! 8, through which a flushing medium, for example, air of the vacuum chamber 1 can be supplied.
  • the vacuum pump 7 may be a rotary vane pump.
  • the evaporation of the topcoat material can be carried out in a wide pressure range, preferably between 0.01 mbar and 50 mbar, particularly preferably 0.1 mbar, 1, 0 mbar, 10 mbar or 40 mbar, so that the procedural Aufwan d can be kept low ,
  • a frame 3b which comprises clamping elements 3a, 3a '.
  • the clamping element 3a is assigned a Fixiereminent 3f.
  • a substrate formed as an optical lens is arranged between the clamping element 3a and the fixing element 3f.
  • the clamping element 3a is pressed by means of a tension spring 3c in the direction of the fixing element 3f and thus clamps the lens 4b.
  • a second lens 4a is clamped in cooperation with the fixing element 3f.
  • the frame 3b has an axis 3d passing through the lenses 4a and 4b, respectively.
  • axes are provided which run completely outside the substrate.
  • the axis 3d is mounted in axle bearings 9a and 9b and movable via an axis drive 10.
  • the axle holders 9a, 9b are designed to be open at the top. The substrate can then be easily hung from above.
  • an evaporation module 5 is arranged with a trough 5a.
  • the module 5 is arranged sideways on the chamber wall 2.
  • the trough 5a accommodates a formed as a shaped body 5b evaporation container, which is loaded with Topcoatmaterial. Temperatures in a range between 550 and 750 degrees C, preferably between 600 and 700 degrees C, are required for the evaporation of the topcoat material from the molding.
  • the evaporation module 5 is by means of an electrical heater, preferably a resistance heater or an electric lamp, preferably a halogen lamp.
  • the heater can be heated and allows heating of the evaporation container 5b during operation of the device
  • a halogen lamp can be placed on the upper part of a copper cap having the trough 5a
  • the heater preferably has a control
  • the shaped body 5b is preferably made of a porous material, for example Al2O3, and formed like a tablet and usually serves only as a carrier for the actual Topcoatmate ⁇ al
  • a linear arrangement or a flat arrangement of several evaporation containers is provided to a more homogeneous To allow distribution of the topcoat material in the vapor phase in the vacuum chamber 1
  • a very compact device is preferred in which a minimum distance of 30 mm, preferably 50 mm, is provided between the substrate and the evaporation container.
  • the maximum distance between the evaporation container and the substrate in the configuration shown in FIG Given the radius of the substrate (in the case of a substrate having a substantially circular base area), it will be understood that devices with a greater distance between substrate and evaporation container are also encompassed by the invention
  • the substrate to be coated is moved about the axis 3d.
  • the front and rear sides of the substrate are alternately positioned opposite the evaporation module so that a uniform coating of the surface of the substrate takes place
  • the substrate holder 3 has a frame element 3e with tension elements 3a, which in each case j a clamping bolt 3j with a clamping bearing 3i beinha.
  • the radial bearing 3i includes a fixing groove 3h.
  • the fixing groove 3i of the clamping bolt 3j is assigned a fixing groove 3g, which is arranged on a frame element 3e opposite the frame element 3e '.
  • the substrate 4c is releasably clamped in the substrate holder 3.
  • the substrate 4c engages with edge regions in each case in the fixing grooves 3i and 3g.
  • the required clamping force is applied by a tension spring 3c, which is arranged between the pivot bearing 3i and the frame member 3e.
  • the frame 3b is fixed to an axis 3d such that during evaporation, the substrate is moved about an axis having an angle in a range> 0 to 90 degrees relative to a main evaporation direction. An angle of 90 degrees is preferred.
  • front and back of the substrates are coated simultaneously.
  • a tablet with a suitable hydrophobic and / or oleophobic substance is inserted as a topcoat material;
  • the substrates for example, form-cut or not-form-cut spectacle lenses, are clamped in the substrate holder;
  • the substrate holder is placed in the vacuum chamber;
  • the vacuum chamber is closed
  • the waiting time is the time it takes to add a sufficiently thick layer of the topcoat material to the substrate apply; the layer thickness is thus determined by the time and the temperature of the evaporator;
  • Substrates and the used tablet are removed from the vacuum chamber.
  • the vacuum pump preferably remains active after completion of the evaporation for a certain time to purge the vacuum chamber with air and to cool the evaporator. After the rinsing or cooling phase, the vacuum pump is switched off. The opened vent valve remains active until the chamber is opened.
  • the pumping is started by closing the chamber lid 2a. Furthermore, then the rotation of the substrate holder can be started. After approx. 2 minutes the heating is started. For a time interval of about 2 minutes, the heating temperature is raised and then held for a further time interval of 3 minutes. The rinsing process can be carried out over a period of 4 minutes, wherein a cooling of the evaporator module takes place through the introduced air.
  • Evaporation module a trough b shaped body

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Abstract

Bei dem Verfahren zur Herstellung einer Topcoatschicht auf zumindest einem Substrat mittels Verdampfen eines Topcoatmaterials in einer Vakuumkammer, welche einen Verdampfungscontainer zum Verdampfen des Topcoatmaterials aufweist, ist vorgesehen, dass während des Verdampfens zumindest ein Substrat um eine Achse bewegt wird, welche relativ zu einer Hauptverdampfungsrichtung einen Winkel in einem Bereich größer 0° bis 90° aufweist. Ferner ist vorgesehen, dass die Topcoatschicht auf eine in ein Rahmengestell eingebaute Linse aufgebracht wird. Bei der Vorrichtung ist eine Substrathalterung vorgesehen, mittels der während des Verdampfens zumindest ein Substrat um eine Achse bewegbar ist, die relativ zu einer Hauptverdampfungsrichtung einen Winkel in einem Bereich größer 0° bis 90° aufweist und/oder eine Halterung für zumindest ein Rahmengestell, in welches zumindest eine Linse einbaubar ist.

Description

Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung einer Topcoatschicht
Die Erfindung betrifft ein auf zumindest einem optischen Substrat gemäß den Merkmalen der unabhängigen Patentansprüche
Schmutzabweisende, insbesondere hydrophobe und/oder oleophobe Topcoatschichten zur Verminderung von Wasserflecken und Schmutzhaftung auf optischen Substraten, wie beispielsweise Brillengläsern sind bekannt. So ist in der DE 3701 654 A1 beschrieben, mit Siliziumoxyd überzogene Gegenstände wie Linsen, Anzeigetafeln und dergleichen mit einem Material zu behandeln, das nach Umsetzung oder Absorption an der zu behandelnden Oberfläche eine wasserabstoßende Wirkung erzeugt. Bei Brillengläsern wird üblicherweise die Topcoatschicht auf Anti-Reflektionsschichten aufgebracht, jedoch sind auch Topcoatschichten auf nur mit Hartlack versehenen oder unbeschichteten Mineralgläsern bekannt.
Allgemein sind zwei unterschiedliche Verfahren zur Aufbringung einer Topcoatschicht üblich. Bei dem einen Verfahren erfolgt die Beschichtung durch Tauchen, Spritzen, Schleuderbeschichten mit einer Lösung oder einem Gel, während bei dem anderen Verfahren die Beschichtung aus einer gasförmigen Phase, vorzugsweise in Vakuum, erfolgt.
Beschichtungslösungen zur Herstellung von hydrophoben Schichten auf Linsen, die sich zwar relativ einfach aufbringen lassen, aber nur eine relativ geringe Haltbarkeit aufweisen, sind aus der US 6,486,107 B1 bekannt. Ferner wird in der US 6,355,104 B1 vorgeschlagen, optische Linsen in einem Tauchbad mit einer Schutzschicht zu versehen. Ein relativ einfaches, dafür zeitaufwendiges Verfahren ist aus der US 2004-0156983 A1 bekannt, bei dem mittels einer Spincoatvorrichtung auf eine Anti-Reflexbeschichtung eine hydrophobe Topcoatschicht aufgebracht wird.
Aus der DE 135 39789 A1 ist bekannt, wasserabweisende Beschichtungen auf optischen Substraten durch thermisches Bedampfen in Hochvakuum aufzubringen. Der US 2004- 0142185 A1 kann ein Verfahren entnommen werden, eine dünne Wasser und Öl abstoßende Schicht auf einer Siliziumoxydbeschichtung mit anti-reflexiven Eigenschaften aufzubringen. Als Verdampfungsquelle für eine hydrophobe reaktive organische Komponente wird in diesem Dokument eine poröse keramische, mit der hydrophoben reaktiven Komponente imprägnierte Matrix oder ein Block von Metallfasern vorgeschlagen. Außerhalb eines Druckbereichs zwischen 10"5 und 10"6 wurde dabei eine niedrigen Produktionseffizienz oder eine niedrige Qualität der Wasser und Öl abstoßenden Schichten beobachtet. In der EP 1 387 187 A1 ist ein optisches Anti- Reflektionselement mit einer doppellagigen Topcoatschicht beschrieben, die durch Verdampfen eines Topcoatmaterials unter einem Vakuum mit einem Druck von 8,0 x 10"1 Pa bis 1 ,0 x 10~6 Pa hergestellt wird. Zur Herstellung hydrophober Schichten auf Fluoridsubstraten wird in der DE 199 22523 A1 vorgeschlagen, Polyfluorkohlenwasserstoffe im Hochvakuum durch Erhitzen auf 400 bis 500 Grad C bei einem Druck von 10"3 bis 10"5 mbar zu verdampfen.
Mit einer Topcoatschicht versehene optische Linsen, wie sie beispielsweise in Brillen Verwendung finden, werden heute in industriellen Prozessanlagen hergestellt, in denen vor der Herstellung der Topcoatschicht üblicherweise eine Formgebung und Reinigung der Linse, Aufbringung eines Hardcoats durch Tauchlackieren oder Spincoating, ein Trocknen und Tempern vor Aufbringung einer Anti-Reflektionsschicht sowie als letzter Schritt die Beschichtung mit der hydrophoben und oleophoben Topcoatschicht erfolgt. Alternativ ist es üblich, den Hardcoat auch durch einen PECVD-Prozess bzw. die Anti- Reflexschicht durch Splittern herzustellen. Gebräuchlich ist es, eine größere Anzahl von mit einer Topcoatschicht zu versehenen Substrate in Körbe einzusetzen oder auf Kalotten anzuordnen und das Topcoatmaterial mittels Vakuumverdampfung auf die Substrate aufzubringen. Um eine möglichst hohe Automatisierung zu erreichen, wird in jüngster Zeit die Batch-Produktion, bei der eine Kombination aus verschiedenen Einzelanlagen eingesetzt wird, durch Inline-Produktionsanlagen abgelöst. Zwar lassen sich mit den erwähnten Anlagen hochqualitative Topcoatschichten mit guter Schmutzbeständigkeit kostengünstig herstellen, jedoch führt die Forderung nach hohen Durchsatzmengen und die anspruchsvolle Hochvakuumtechnik zu großdimensionierten Anlagen, die einen Einsatz außerhalb einer industriellen Umgebung wirtschaftlich praktisch ausschließen, obwohl beispielsweise in Optikläden eine unaufwendige und kundennahe Möglichkeit zur Herstellung von Topcoatschichten äusserst sinnvoll ist.
Hochqualitative Topcoatschichten können einen Kontaktwinkel von Wasser von 120° erreichen. Gleichzeitig kann der Gleitwinkel von mit derartigen Topcoatschichten versehenen optischen Linsen auf Baumwolle in einem Bereich zwischen 4° und 6° bei handelsüblichen Kunststoffbrillengläsern mit einer Dioptrie von - 2,0 aufweisen, wobei die konvexe Seite die Gleitfläche ist. Ferner ist die Oberflächenrauigkeit von so genannten Cleancoat Topcoatschichten häufig extrem gering, womit die Schmutzhaftung vermindert und die Reinigungseigenschaften verbessert werden. Die bei derartigen Topcoatschichten erreichte, an sich gewünschte extreme Oberflächenglätte, führt jedoch im Zusammenhang mit einer Randbearbeitung der Linsen beim Einbau in ein Brillengestell zu Schwierigkeiten. Insbesondere kommt es zu Problemen bei der Haftung der für die Randbearbeitung erforderlichen Markierungen auf der Oberfläche. Im Extremfall haften die Markeierungen nicht mehr auf der glatten Topcoatschicht. Ferner ist beim Einschleifen der Gläser auf die vom Brillengestell abhängige Form die Linse in der Bearbeitungsmaschine nur mit Schwierigkeiten fixierbar, da die hierzu benötigten Klebepads nicht ausreichend auf der Oberfläche haften. Daher kann es zu einem Verrutschen der Linse um mehrere Grad gegenüber der vorgesehen optischen Achse kommen.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Verfügung zu stellen, mit denen auf einfache, zuverlässige und kostengünstige Weise eine Topcoatschicht auf einem Substrat hergestellt werden kann.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche gelöst. Vorteilhafte Weiterbildung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer Topcoatschicht auf zumindest einem Substrat mittels Verdampfen eines Topcoatmaterials in einer Vakuumkam rner, welche einen Verdampfungscontainer zum Verdampfen des Topcoatmaterials aufweist, beinhaltet, dass während des Verdampfens zumindest ein Substrat um eine Achse bewegt wird, welche relativ zu einer Hauptverdampfungsrichtung einen Winkel in ei nem Bereich <0 bis 90° aufweist. Es versteht sich, dass auch mehrere Substrate gleichzeitig beschichtet werden können. Mittels der Bewegung des Substrats um die besagte Achse während des Verdampfens, gelingt es in der Vakuumkammer vorhandene räum liche Inhomogenitäten des Topcoatmaterials in der Dampfphase zu reduzieren und damit eine gegenüber einem nicht um eine derartige Achse bewegten Substrat homogenere Beschichtung zu erhalten. Eine Konsequenz dieser Verfahrensweise ist es, dass auch mit relativ schlechtem Vakuum gute Topcoatschichten hergestellt werden können. Ferner kann der Abstand zwischen den Substraten und dem Verdampfungsmodul gering gehalten werden, ohne das die Homogenität der Schicht nennenswert beeinträchtigt wird, so dass eine räumlich klein dimensionierte Vakuumkammer verwendet werden kann, die beispielsweise auf einem Tisch Platz hat und in einem Optikergeschäft eingesetzt werden kann.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird die Topcoatschicht auf eine oder zwei in einem Rahmengestell eingebaute Linsen aufgebracht, so dass Schwierigkeiten bei einer Randbearbeitung des Substrats durch eine Topcoatschicht mit hoher Glätte zuverlässig vermieden werden können. Dies ist auch von Nutzen, wenn bereits getragene Brillengläser nachträglich mit einer Topcoatschicht versehen oder eine derartige Schicht erneuert oder repariert werden soll, da die sonst notwendige Demontage und erneute Montage der Gläser in das Rahmengestell entfällt. Das Rahmengestell kann während der Beschichtung gedreht werden oder auch ortsfest sein .
Das Verdampfen des Topcoatmaterials kann in einem weiten Druckbereich, vorzugsweise zwischen 0,01 mbar und 50 mbar, besonders vorzugsweise bei 0,1 mbar, 1 ,0 mbar, 10 mbar oder 40 mbar erfolgen, so dass der verfahrenstechnische Aufwan d gering gehalten werden kann.
Ein nach Beendigung des Verdampfens durchgeführter Spülprozess mit einem Spülmedium wird vorzugsweise vor einer Entnahme des Substrats vorgenommen und kann gleichzeitig zur Kühlung des Verdampfungscontainers durchgeführt werden, so dass eine rasche Entnahme des Substrats aus der Vakuumkammer möglich ist.
Wenn das Substrat vor Beginn des Verdampfens einer Randbearbeitung zur Anpassung des Substrats für einen Einbau in ein Rahmengestell unterzogen wird, können Schwierigkeiten der Handhabung durch eine extrem glatte Oberfläche der Topcoatschicht vollständig vermieden werden. Es versteht sich, dass eine Randbearbeitung des Substrats zur Einpassung an einen Einbau in ein Rahmengestell auch nach Beendigung des Verdampfens erfolgen kann.
Besonders bewährt haben sich Topcoatschichten, bei denen eine schmutzabweisende Eigenschaft durch hydrophobe und/oder oleophobe Oberflächeneigenschaften bewirkt wird. Als Topcoatmaterial werden erfindungsgemäß vorzugsweise eine Fluorkohlenwasserstoffverbindung, eine Organosiliziumverbindung, perforierter Polyäther oder fluorirte organische Siliziumverbindungen eingesetzt. Besonders geeignet ist das Verfahren für die Beschichtung von als Linsen ausgebildeten Substraten, vor allem Brillengläsern, obwohl auch andere Substrate, wie Reflektoren, Autospiegel u.dgl. erfindungsgemäß beschichtet werden können
Vorteilhaft ist die Aufbringung einer Topcoatschicht, insbesondere einer Cleancoatschicht die durch einen oder mehrere der folgenden Oberflächenparameter charakterisiert ist:
• Kontaktwinkel mit Reinstwasser von > 110° und/oder einer Oberflächenenergie < 30 mN/m pro Meter
• einen Gleitwinkel eines als Kunststoffbrillenglas von 70 mm Durchmesser mit einer Dioptrie von -2.00 ausgebildeten Substrats mit der konvexen Seite auf einer feinstrukturierten Baumwollunterlage von <■ 6°.
Das Verfahren eignet sich besonders für Substrate aus einem Mineralglasmaterial oder einem Kunststoff material, wie sie zur Herstellung von Brillengläsern verwendet werden. Vor dem Beginn des Verdampfens ist es vorteilhaft, wenn auf das Substrat eine Antireflex- und/oder Lackbeschichtung aufgebracht wird .
Eine besonders einfache Handhabung der Zufuhr von Topcoatmaterial bei der Beschichtung wird erreicht, wenn das Topcoatmaterial aus einem Verdampfungscontainer, welcher zumindest einen Forrnkörper umfasst, verdampft wird. Vorzugsweise ist der Formkörper porös und tablettenartig ausgebildet.
Wenn Vorder- und Rückseite des Substrats währen d der Bewegung um die Achse wechselnd dem Verdampfungscontainer gegenüberliegend positioniert und/oder beschichtet werden, wird durch die Bewegung für eine höhere Gleichförmigkeit der auf das Substrat aufgebrachten Schicht gesorgt. Wenn Vorder- und Rückseite des Substrats gleichzeitig beschichtet werden, kann damit die Effektivität des Verfahrens erhöht werden. Eine Bewegung des Substrats um eine Achse, welche durch das Substrat verläuft, ist auf einfache Weise konstruktiv realisierbar. Dies ist besonders vorteilhaft bei Bedampfung von mehreren Substraten. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Herstellung einer Topcoatschicht ist neben ihren gattungsmäßigen Merkmalen dadurch ausgezeichnet, dass eine Substrathalterung vorgesehen ist, mittels der während des Verdampfens zumindest ein Substrat um eine Achse bewegbar ist, die relativ zu einer Hauptverdampfungsrichtung einen Winkel in einem Bereich > 0 bis 90° aufweist. Zusätzlich oder alternativ ist eine Halterung für zumindest ein Rahmengestell, in welches zumindest eine Linse einbaubar ist, vorgesehen.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn dem Verdampfungscontainer ein Verdampfungsmodu l mit einer Aufnahmeöffnung zur Aufnahme des Verdampfungscontainers zugeordnet ist, wodurch eine einfache Handhabung, insbesondere Zufuhr und Entfernung des Verdampfungscontainers, realisiert werden kann.
Zur einfachen Bedienung der Vorrichtung ist es vorteilhaft, wenn die Vakuumkammer eine verschließbare Zugangsöffnung zum Be- und Entladen der Vakuumkammer aufweist, die geodätisch oberhalb des Substrats angeordnet ist.
Die Vorrichtung kann kostengünstig hergestellt werden, wenn die Vakuumkammer eine als Drehschieberpumpe ausgebildete Vakuumpumpe aufweist. Das Spülen und/ode r Fluten der Vakuumkammer wird konstruktiv einfach realisiert, wenn die Vakuumkamme r mit einem Belüftungsventil ausgestattet ist.
Weitere Ausbildungsformen und Vorteile der Erfindung sind unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen, der folgenden Beschreibung sowie zugeordneten Zeichnungen zu entnehmen.
Die Zeichnungen zeigen schematisch in
Figur 1 eine erfindungsgemäße Vorrichtung mit zwei zu beschichtender
Substraten Figur 2 einen als Rahmen mit Spannelementen ausgebildeten
Substrathalter.
Die in Figur 1 dargestellte erfindungsgemäße Vorrichtung zur Herstellung einer Topcoatschicht auf einem optischen Substrat mittels Verdampfen eines Topcoatmaterials in einer Vakuumkammer ist besonders aber nicht ausschließlich für den Einsatz in unmittelbarer Kundennähe in einem Optikergeschäft geeignet. Die Vorrichtung ermöglicht auf einfache Weise, eine Topcoatschicht nach dem Formschneiden von Brillengläsern direkt beim Optiker aufzubringen. Die mit der Topcoatschicht versehenen Substrate werden nach einem letzten Arbeitsgang nur noch in ein Rahmengestell eingesetzt. Damit werden die durch eine extreme Oberflächenglätte von beschichten Substraten bedingten Probleme bei der Randbearbeitung von Brillengläsern vollständig beseitigt.
In einer in den Figuren nicht dargestellten Ausführungsfσrm der Erfindung ist in der Vakuumkammer eine Halterung für ein oder mehrere Rahmengestelle vorgesehen. Gemäß diesem Aspekt der Erfindung wird die Topcoatschicht auf eine oder zwei in einem Rahmengestell eingebaute Linsen aufgebracht. Es erfolgt dabei eine in Abhängigkeit von dem Material des Rahmengestells mehr oder weniger abriebfeste Beschichtung der Gestelloberfläche mit dem Topcoatmaterial. Wird das Rahmengestell während des Bedampfens nicht bewegt, wird vorzugsweise ein Vakuum mit niedrigerem Druck verwendet als bei bewegtem Gestell.
Als Topcoatmaterialien werden bevorzugt Flurkohlenwasserstoffverbindungen, Organosiliziumverbindungen, perflorierte Polyäther oder fluorirte organische Siliziumverbindungen eingesetzt. Die aufgebrachte Topcoatschicht ist vorzugsweise ein Cleancoatschicht und weist hydrophobe und/oder oleophobe Oberflächeneigenschaften auf. Sie ist vorzugsweise zumindest durch einen oder mehrere der folgenden Oberflächenparameter charakterisiert:
• Kontaktwinkel mit Reinstwasser von > 110° und/oder einer Oberflächenenergie < 30 mN/m
• einen Gleitwinkel eines als Kunststoffbrillenglas von 70 mm Durchmesser mit einer Dioptrie von -2.00 ausgebildeten Substrats mit der konvexen Seite auf einer feinstrukturierten Baumwollunterlage von < 6°.
Die Vorrichtung umfasst eine Vakuumkammer 1 , deren Kammerwand 2 einen geodätisch oben angeordneten, vorzugsweise optisch transparenten, verschließbaren Kammerdeckel 2a aufweist. Der Innenbereich der Vakuumkammer 1 kann geringe Abmessungen aufweisen beispielsweise von einer Breite von 450 mm, Tiefe von 300 mm und Höhe von 350 mm.
Die Vakuumkammer 1 ist ü ber eine Vakuumleitung 7a mit einer Vakuumpumpe 7 verbunden, wobei in der Vaku umleitung 7a ein Absperrventil 6 angeordnet ist. Ferner ist die Vakuumkammer mit einer Belüftungsleitung 8a und einem in dieser Belüftungsleitung angeordneten Belüftungsventi ! 8 ausgestattet, durch die ein Spülmedium, beispielsweise Luft der Vakuumkammer 1 zugeführt werden kann. Die Vakuumpumpe 7 kann eine Drehschieberpumpe sein. Das Verdampfen des Topcoatmaterials kann in einem weiten Druckbereich, vorzugsweise zwischen 0,01 mbar und 50 mbar, besonders vorzugsweise bei 0,1 mbar, 1 ,0 mbar, 10 mbar oder 40 mbar erfolgen, so dass der verfahrenstechnische Aufwan d gering gehalten werden kann.
In der Vakuumkammer ist ei ne Substrathalterung 3 angeordnet mit einem Rahmen 3b, welcher Spannelemente 3a, 3a' umfasst. Dem Spannelement 3a ist ein Fixierelernent 3f zugeordnet. Zwischen dem Spannelement 3a und dem Fixierelement 3f ist ein als optische Linse ausgebildetes Substrat angeordnet. Das Spannelement 3a wird mittels einer Spannfeder 3c in Richtung des Fixierelements 3f gedrückt und spannt auf diese Weise die Linse 4b ein. Mittels des Spannelements 3a' ist eine zweite Linse 4a im Zusammenwirken mit dem Fixierelement 3f eingespannt.
Der Rahmen 3b weist eine Achse 3d auf, die durch die Linsen 4a bzw. 4b verläuft. In weiteren Ausführungsformen der Erfindung sind Achsen vorgesehen, welche vollständig außerhalb des Substrats verlaufen. Die Achse 3d ist in Achsenlagern 9a und 9b gelagert und über einen Achsenantrieb 10 bewegbar. Um eine einfache Montage oder Demontage der Substrathalterung zu ermöglichen, ist es vorteilhaft, wenn die Achsenhalterungen 9a, 9b nach obenhin offen ausgebildet sind. Die Substratha lterung kann dann von oben einfach aufgelegt werden.
Geodätisch unterhalb der Substrathalterung, sowie der eingespannten Linsen 4a , 4b ist ein Verdampfungsmodul 5 mit einer Mulde 5a angeordnet. In einer a nderen Ausführungsform, ist das Modul 5 seitwärts an der Kammerwand 2 angeordn et. Die Mulde 5a nimmt einen als Formkörper 5b ausgebildeten Verdampfungscontainer auf, der mit Topcoatmaterial beladen ist. Ublicherweise werden für das Ausdampfen des Topcoatmaterials aus dem Formkorper Temperaturen in einem Bereich zwischen 550 und 750 Grad C, bevorzugt zwischen 600 und 700 Grad C benotigt Das Verdampfungsmodul 5 ist mittels einer elektrischen Heizung, vorzugsweise einer Widerstandsheizung oder einer elektrischen Lampe, vorzugsweise einer Halogenlampe, beheizbar und ermöglicht eine Erhitzung des Verdampfungscontainers 5b im Betrieb der Vorrichtung Bei Verwendung einer Halogenlampe kann auf deren Oberteil eine Kupferkappe aufgesetzt sein, die die Mulde 5a aufweist Zur Gewahrleistung einer gleichmäßigen Beheizung des Verdampfungscontainers 5b weist die Heizung vorzugsweise eine Regelung auf
Der Formkorper 5b ist vorzugsweise aus einem porösen Material, beispielsweise AI2O3, gefertigt und tablettenartig ausgebildet und dient üblicherweise nur als Trager für das eigentliche Topcoatmateπal In einer nicht dargestellten Ausfuhrungsform der Erfindung ist eine lineare Anordnung oder eine flachenartige Anordnung von mehreren Verdampfungscontainern vorgesehen, um eine homogenere Verteilung des Topcoatmaterials in der Dampfphase in der Vakuumkammer 1 zu ermöglichen
Bevorzugt ist eine sehr kompakt ausgebildete Vorrichtung, bei der zwischen dem Substrat und dem Verdampfungscontainer ein minimaler Abstand von 30 mm, vorzugsweise 50 mm vorgesehen ist Der Maximalabstand zwischen dem Verdampfungscontainer und dem Substrat ist bei der in der Figur 1 dargestellten Konfiguration durch den Minimalabstand und den Radius des Substrats (bei einem Substrat mit einer im Wesentlichen kreisförmigen Grundflache) gegeben Es versteht sich, dass auch Vorrichtungen mit größerem Abstand zwischen Substrat und Verdampfungscontainer von der Erfindung umfasst werden
Im Betriebszustand wird das zu beschichtende Substrat um die Achse 3d bewegt Wahrend der Bewegung werden Vorder- und Ruckseite des Substrats wechselnd dem Verdampfungsmodul gegenüberliegend positioniert, so dass eine gleichmäßige Beschichtung der Oberflache des Substrats erfolgt
In Figur 2 ist eine weitere Λusfuhrungsform eines Substrathalters für die erfindungsgemaße Vorrichtung mit vier eingespannten Substraten dargestellt Zur Vereinfachung wird nur der Fall eines Substrates 4c genauer beschrieben Analoge Komponenten sind in den Figuren 2 und 3 mit gleichen Bezugszeichen versehen Der Substrathalter 3 weist ein Rahmenelement 3e auf mit Spannelementen 3a, die jeweils einen Spannbolzen 3j mit einem Spannlager 3i beinha lten. Das Spannlager 3i beinhaltet eine Fixiernut 3h. Der Fixiernut 3i des Spannbolzens 3j ist eine Fixiernut 3g zugeordnet, die an einem dem Rahmenelement 3e gegenüberliegendem Rahmenelement 3e' angeordnet ist. Das Substrat 4c ist lösbar in die Substrathalterung 3 eingespannt. Beim Einspannen wirken das Rahmenelement 3e und das Spannlager 3i zusammen, wobei das Substrat 4c mit Randbereichen jeweils in die Fixiernuten 3i und 3g eingreift. Die erforderliche Spannkraft wird durch eine Spannfeder 3c aufgebracht, die zwischen dem Spannlager 3i und dem Rahmenelement 3e angeordnet ist.
Der Rahmen 3b ist an einer Achse 3d derart befestigt, dass während des Verdampfens das Substrat um eine Achse bewegt wird, die relativ zu einer Hauptverdampfungsrichtung einen Winkel in einem Bereich > 0 bis 90 Grad aufweist. Bevorzugt ist dabei ein Winkel von 90 Grad. Bei der in der Figur 2 dargestellten Konfiguration werden Vorder- und Rückseite der Substrate gleichzeitig beschichtet.
Im Folgenden werden Schritte eines typischen Ablaufs einer Beschichtungsprozesses gemäß der Erfindung beschrieben.
In die Vakuumkammer wird eine Tablette mit einer geeigneten hydrophoben und/oder oleophoben Substanz als Topcoatmaterial eingelegt;
die Substrate, beispielsweise formgeschnittene oder auch nicht formgeschnittene Brillengläser, werden in die Substrathalterung eingespannt;
die Substrathalterung wird in die Vakuumkammer eingelegt;
die Vakuumkammer wird geschlossen;
es erfolgt ein Abpumpen der Vakuumkammer bis zum Erreichen des erforderlichen Prozessdrucks, beispielsweise weniger als 50 m bar;
die Bewegung des Substrats um die Achse sowie die Heizung wird gestartet;
sobald eine vorgeschriebene Verdampfungstemperatur erreicht wird, wird der Ablauf einer Wartezeit gestartet; die Wartezeit ist die Zeit, die benötigt wird, um eine ausreichend dicke Schicht des Topcoatmaterials auf dem Substrat zu applizieren; die Schichtdicke wird also von der Zeit und der Temperatur des Verdampfers bestimmt;
nach Ablauf der Wartezeit wird das Belüftungsventil geöffnet;
Substrate und die gebrauchte Tablette werden aus der Vakuumkammer entnommen.
Die Vakuumpumpe bleibt vorzugsweise nach Beendigung des Verdampfens für eine bestimmte Zeit aktiv, um die Vakuumkammer mit Luft zu spülen und den Verdampfer zu kühlen. Nach der Spül- bzw. Abkühlphase wird die Vakuumpumpe ausgeschaltet. Das geöffnete Belüftungsventil bleibt bis zum Öffnen der Kammer aktiv.
Vorzugsweise wird das Abpumpen durch das Schließen des Kammerdeckels 2a gestartet. Ferner kann dann die Drehung des Substrathalters gestartet werden. N ach cirka 2 Minuten wird die Heizung gestartet. Für ein Zeitintervall von cirka 2 Minuten wird die Heiztemperatur erhöht und anschließend für ein weiteres Zeitintervall von 3 Minuten gehalten. Der Spülprozess kann über eine Dauer von 4 Minuten durchgeführt werden, wobei eine Kühlung des Verdampfermoduls durch die eingelassene Luft erfolgt.
BEZUGSZEICHENLISTE
Vakuumkammer
Kammerwand a Kamrnerdeckel
Substrathalterung a, 3a' Spannelement b Drehrahmen c Spannfeder d Achse e, 3e' Rahmenelement f Fixierelement g Fixiernut h Fixiernut i Spannlager j Spannbolzen a, 4b, 4c Linsen
Verdampfungsmodul a Mulde b Formkörper
Absperrventil
Vakuumpumpe a Vakuumleitung
8 Belüftungsventil
8a Belüftungsleitung
9a, 9b Achsenlager
10 Achsenantrieb

Claims

P AT E N T A N S P R Ü C H E
1. Verfahren zur Herstellung einer Topcoatschicht auf zumindest einem Substrat mittels Verdampfen eines Topcoatmaterials in einer Vakuumkammer, welche einen Verdampfungscontainer zum Verdampfen des Topcoatmaterials aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass während des Verdampfens
zumindest ein Substrat um eine Achse bewegt wird, welch e relativ zu einer Hauptverdampfungsrichtung einen Winkel in einem Bereich größer 0° bis 90° aufweist.
2. Verfahren zur Herstellung einer Topcoatschicht auf zumindest einem Substrat mittels Verdampfen eines Topcoatmaterials in einer Vakuumkammer, welche einen Verdampfungscontainer zum Verdampfen des Topcoatmaterials aufweist, insbesondere nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Topcoatschicht auf eine in ein Rahmengestell eingebaute Linse aufgebracht wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass in der Vakuumkammer ein Druck in einem Bereich zwischen 0,01 mbar u nd 50 mbar, vorzugsweise 0,01 mbar, 0,1 rnbar, 10 mbar, 20 mbar, 40 mbar, 50mbar eingestellt wird.
4. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass nach Beendigung des Verdampfens ein Spülprozess mit einem Spülmedium, vorzugsweise vor einer Entnahme zumindest des Substrats, besonders bevorzugt zur Kühlung des Verdampfungscontainers durchgeführt wird.
5. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass während des Verdampfens eine Vakuumpumpe betrieben und/oder während der Durchführung des Spülprozesses das Spülmedium abgepumpt wird.
6. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat vor Beginn des Verdampfens einer Randbearbeitung zur Anpassung des Substrats für einen Einbau in ein Rahmengestell unterzogen wird. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass nach Beendigung des Verdampfens eine Randbearbeitung des Substrats zur Anpassung an einen Einbau in ein Rahmengestell erfolgt
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Topcoatschicht mit hydrophoben und/od er oleophoben Oberflacheneigenschaften hergestellt wird
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Topcoatmateπal eine Fluorkohlenwasserstoff Verbindung, eine Organosiliziumverbindung, perfluoπrte Polyather oder fluoπrte organische Siliziumverbindungen bereitgestellt werden
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Topcoatschicht auf einem als Linse ausgebildeten Substrat hergestellt wird
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Topcoatschicht eines Substrats durch einen oder mehrere der folgenden Oberflachenparameter charakterisiert ist oder charakteπsierbar ist
- Kontaktwinkel mit Reinstwasser von > 1 10 Grad und/oder einer Oberflachenenergie < 30mN/m
- Gleitwinkel eines als Kunststoffbrillenglas von 70mm Durchmesser mit einer Dioptrie von - 2 00 ausgebildeten Substrats mit der konvexen Seite auf einer feinstrukturierten Bau mwollunterlage betragt <6 Grad
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat aus einem Mineralglasmateπal oder einem Kunststoffmatenal besteht
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass vor Beginn des Verdampfens auf zumindest ein Substrat eine Antireflex- und/oder eine Lackbeschichtung aufgebracht wird 14. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Topcoatmaterial aus einem Verdampfungscontainer, welcher zumindest einen, vorzugsweise porösen tablettenartigen Formkörper umfasst, verdampft wird.
15. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Vorder- und Rückseite des Substrats während d er Bewegung um die Achse wechselnd dem Verdampfungscontain er gegenüberliegend positioniert und/oder beschichtet werden.
16. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Vorder- und Rückseite des Substrats gleichzeitig beschichtet werden.
17. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat um eine Achse, welche durch das Substrat verläuft, bewegt wird.
18. Vorrichtung zur Herstellung einer Topcoatschicht auf zumindest einem Substrat mittels Verdampfen eines Topcoatmaterials in einer Vakuumkammer, welche einen Verdampfungscontainer zum Verdampfen des Topcoatmaterials aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass
eine Substrathalterung vorgesehen ist, mittels der während d es Verdampfens zumindest ein Substrat um eine Achse bewegbar ist, die relativ zu einer Hauptverdampfungsrichtung einen Winkel in einem Bereich größer 0° bis 90° aufweist
und/oder
eine Halterung für zumindest ein Rahmengestell, in welches zumindest eine Linse einbaubar ist, vorgesehen ist.
19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass während des Verdampfens in der Vakuumkarnmer ein Druck in einem Bereich zwischen O,1 mbar und 50 mbar vorgesehen ist. 20. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Vorrichtungsansprüche, dadurch gekennzei chnet, dass der Substrathalter einen Rahmen mit Spannelementen zürn lösbaren Einspannen von zumindest einem der besagten Substrate umfasst.
21. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Vorrichtungsansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Betriebszustand der Verdampfun gscontainer geodätisch niedriger als zumindest ein Substrat angeordnet ist.
22. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Vorrichtungsansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Verdampfungscontainer zumindest einen vorzugsweise porösen tablettenartigen Formkörper umfasst, der mit Topcoatmaterial beladbar ist.
23. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Vorrichtungsansprüche, dadurch gekennze ichnet, dass der Verdampfungscontainer mittels einer elektrischen Widerstandsheizung und/oder einer elektrischen Lampe beheizbar ist.
24. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Vorrichtungsansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Verdampfungscontainer einem Verdampfungsmodul zugeordnet ist, mit einer Aufnahmeöffnung zur Aufnahme des Verdampfungscontainers.
25. Vorrichtung nach zu mindest einem der vorhergehenden Vorrichtung sansprüche, dadurch gekennzei chnet, dass die Vakuumkammer eine im Betriebszustand vorzugsweise geodätisch oberhalb des Substrats angeordnete verschließbare, vorzugsweise optisch transparente Zugangsöffnung zum Be- und Entladen der Vakuumkammer mit Substraten aufweist.
26. Vorrichtung nach zu mindest einem der vorhergehenden Vorrichtungsansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuumkammer mit einer als Drehschieberpumpe ausgebildeten Vakuumpumpe verbunden ist.
27. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Vorrichtungsansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Durchführung eines Spülprozesses mittels der Vakuumpumpe ein Spülmedium abgepumpt werden kann. 28. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Vorrichtungsansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuumkammer für eine Be- und E ntladung mit Substraten nach der Durchführung eines Spülprozesses ausgebildet ist.
29. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Vorrichtungsan sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuumkammer mit einem Belüftu ngsventil zum Spülen und/oder Fluten ausgestattet ist.
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