DE4338040A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von Brillengläsern im Vakuum - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Beschichten von Brillengläsern aus Kunststoff oder Mineralglas mit mindestens einer haft- und kratzfesten re­ flexmindernden Schicht im Vakuum.

Es ist bekannt, eine größere Anzahl von Brillengläsern chargenweise durch Vakuum-Aufdampfen zu beschichten, wobei die Brillengläser in einem kalot­ tenförmigen Substrathalter befestigt sind, der gegebenenfalls um seine Ro­ tationsachse drehbar ist. Als Energiequellen für das Verdampfungsmaterial dienen hierbei Elektronenstrahlen, Lichtbögen, Induktionsspulen oder Stromwärme, die durch ein mit entsprechenden Anschlüssen versehenes Verdampferschiffchen geleitet wird. Derartige Beschichtungsverfahren wer­ den als PVD-Verfahren bezeichnet (Physical Vapour Deposition). Der Dampfstrom hat hierbei eine stark gerichtete Wirkung, so daß zur Vergleich­ mäßigung der Beschichtung ein erheblicher Abstand zwischen den Dampf­ quellen und den Brillenglas-Substraten eingehalten werden muß. Dennoch läßt sich die gewünschte Schichtdickenverteilung nicht in ausreichendem Maße erzielen, da insbesondere die Krümmung der Brillengläser zu einer Veränderung der Kondensationsbedingungen des Schichtmaterials im Rand­ bereich der Brillengläser führt. Der durch die Krümmung bedingte streifende Einfall des Beschichtungsmaterials führt nicht nur zur Ausbildung dünnerer Schichten im Randbereich der Brillengläser, sondern auch zu einer ver­ schlechterten Haftung der Schichten auf der Brillenglasoberfläche.

Als Beschichtungsmaterial kommen hierbei verschiedene Oxide, Nitride und Fluoride von Metallen in Frage, die als Ein- oder Mehrfachschichten inner­ halb vorgegebener Schichtdickenbereiche reflexmindernde Eigenschaften haben, wobei die Farbe der Rest-Reflexion modischen Anforderungen unterliegt.

Auch Versuche, die Schichtdickenverteilung durch eine Dampfstreuung an schwereren Gasmolekülen zu verbessern, haben nicht zu dem gewünschten Erfolg geführt. Zur Herbeiführung dieser Dampfstreuung werden in den Va­ kuum-Rezipienten Gase wie beispielsweise Kohlendioxid mit entsprechen­ dem Partialdruck eingeleitet, die durch Kollision mit den Dampfmolekülen zu der gewünschten Dampfstreuung führen. Bei Verwendung von Elektronen­ strahlen hat die Anwesenheit derartiger Gase zusätzlich eine unerwünschte Defokussierung des Elektronenstrahls zur Folge.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs beschriebenen Gattung dahingehend zu verbessern, daß bei hoher Wirt­ schaftlichkeit auch Brillengläser einzeln oder paarweise beschichtet werden können, wobei eine hohe Gleichförmigkeit der Schichtdickenverteilung eine exakte Einstellbarkeit von Farbreflexen zur Erzeugung von sogenannten "Modefarben" möglich ist. Insbesondere soll dabei auch die Temperatur der Brillenglas-Substrate niedrig gehalten werden, um mit den gleichen Verfah­ rensparametern auch Brillengläser aus Kunststoff beschichten zu können.

Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei dem eingangs beschriebenen Verfahren erfindungsgemäß dadurch, daß man die Brillengläser in Gegen­ wart mindestens eines schichtbildenden Stoffes in der Gasphase einem Niederdruckplasma aussetzt.

Derartige Verfahren, die auch als PCVD-Verfahren bezeichnet werden (Plasmal-Chemical-Vapour-Deposition) sind für andere Substrate als Brillen­ gläser an sich bekannt. Als schichtbildende Stoffe werden hierbei gas­ förmige bzw. verdampfbare Metallverbindungen eingesetzt, beispielsweise solche aus der Gruppe der Siloxane und Silazane. Es handelt sich hierbei um metallorganische Verbindungen. Als besonders geeignet haben sich hierbei die Stoffe TMDS und HMDSO erwiesen. Für die Erzeugung hoch­ brechender Schichten werden hierbei beispielsweise metallorganische Ver­ bindungen des Titans eingesetzt, für die Erzeugung niedrigbrechender Schichten metallorganische Verbindungen des Siliziums. Durch die ab­ wechselnde Anordnung derartiger Schichten werden sogenannte Inter­ ferenz-Schichtsysteme erzeugt, denen die gewünschten optischen Eigen­ schaften verliehen werden können.

Die Anregung des Niederdruck-Plasmas kann dabei auf induktivem Wege (mit bestimmten Frequenzen gespeiste Spulen) und/oder auf kapazitivem Wege (an entsprechende Energiequellen angeschlossene Elektroden) er­ folgen. Man erhält hierdurch äußerst einfach aufgebaute Apparaturen, die in einem großen Druckbereich z. B. zwischen 10^-3 und 10 mbar sehr zuver­ lässig arbeiten. Insbesondere werden dadurch keine kostspieligen Dampf­ quellen der eingangs beschriebenen Art benötigt, desgleichen keine großen Volumina der entsprechenden Vakuumkammern bzw. Rezipienten.

Durch Anwendung des PCVD-Verfahrens für die Beschichtung von Brillen­ gläsern unter an sich bekannten Verfahrensparametern lassen sich folgende Vorteile erzielen:
Die erzeugten Einfach- und Mehrfachschichten haben eine hohe Härte, Transparenz, Dichte und Haftfestigkeit, und es treten insbesondere bei Bril­ lengläsern aus organischen und mineralischen Materialien keine Rißbil­ dungen auf. Es wird eine hohe Abscheide- bzw. Kondensationsrate erzielt, so daß das Beschichtungsverfahren auch für die Beschichtung von einzeln oder paarweise angeordneten Brillengläsern geeignet ist. Die Beschichtung von paarweise angeordneten Brillengläsern ist deswegen interessant, weil Brillengläser in der Regel paarweise bestellt werden. Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich durch eine hohe Reproduzierbarkeit und Gleich­ förmigkeit der Schichtdickenverteilung auch bei gewölbten Flächen aus, d. h. es unterbleibt der beim PVD-Verfahren zu beobachtende typische Rand­ effekt. Vor allem aber lassen sich Farbreflexe gezielt einstellen, d. h. Mode­ farben erzeugen, d. h. abgesehen von gewollten Interferenzfarben entstehen keine unerwünschten Farbstiche an den fertigen Brillengläsern. Die Substrattemperatur kann auf einem sehr niedrigen Niveau, beispielsweise unterhalb 60°C gehalten werden, was bei Verwendung organischer Brillen­ glas-Substrate von besonderem Vorteil ist. Durch die hohe Produktionsrate einzelner oder paarweise hergestellter Brillengläser läßt sich der Beschich­ tungsprozeß in den Produktionsprozeß der Brillengläser integrieren, d. h. die Brillengläser lassen sich nach der heute geforderten "Just-in-Time"-Methode fertigen.

Es ist dabei im Zuge der weiteren Ausgestaltung der Erfindung besonders vorteilhaft, wenn man die Raumausdehnung des Plasmas, in Normalenrich­ tung zur Beschichtungsfläche gesehen, auf maximal 50 mm, vorzugsweise auf maximal 30 mm, begrenzt. Diese Begrenzung kann beispielsweise durch Wandelemente innerhalb einer Vakuumkammer erzeugt werden, die der zu beschichtenden Brillenglas-Oberfläche mit entsprechend geringem Abstand gegenüberliegen, wobei die betreffenden Wandelemente zusätzlich auch noch zur Gasführung dienen. Auf diese Weise überstreicht das schicht­ bildende Gas die Beschichtungsoberfläche in etwa in einer parallelen Rich­ tung. Durch die Begrenzung der Raumausdehnung des Plasmas wird ver­ hindert, daß sich durch eine sogenannte Homogenreaktion im Gasraum feste Partikel bilden, die auch als "Schnee" oder "Glasruß" bezeichnet werden. Diese Partikel führen, wenn sie sich auf den Beschichtungsober­ flächen absetzen, zu trüben bzw. unbrauchbaren Schichten.

Durch die Begrenzung der Raumausdehnung des Plasmas wird weiterhin er­ reicht, daß die Kondensationsbedingungen auf der Brillenglas-Oberfläche verbessert werden, weil dort eine größere Teilchendichte erreicht wird.

Es ist dabei im Zuge einer wiederum weiteren Ausgestaltung der Erfindung besonders vorteilhaft, wenn man zwei Brillengläser durch einen im wesent­ lichen ringförmigen Kammerteil im Abstand zueinander hält und dadurch zwischen den Brillengläsern und dem Kammerteil einen plasmaerfüllten Raum bildet, in den der schichtbildende Stoff eingeleitet wird. Durch diese Maßnahme wird aus den Brillengläsern und dem ringförmigen Kammerteil eine Plasma-Kammer gebildet, deren Wände zu einem großen Teil aus den Brillengläsern selbst bestehen, d. h. durch die nicht zu vermeidende Be­ schichtung des ringförmigen Kammerteils geht nur ein verhältnismäßig ge­ ringer Anteil des Beschichtungsmaterials verloren. Die innere Oberfläche des ringförmigen Kammerteils ist relativ klein, und der betreffende Kammer­ teil kann durch einen Reinigungsprozeß kurzfristig wieder aufbereitet wer­ den, so daß auch die Gefahr vermieden wird, daß sich von dem Kammerteil Schichtmaterial ablöst, das in ähnlicher Weise wie die weiter oben be­ schriebene Schnee- oder Glasrußbildung ansonsten zu einer Beein­ trächtigung der Schichtqualität führen würde.

Es ist dabei besonders vorteilhaft, wenn man die beiden Brillengläser mit gleicher Krümmungsrichtung in den ringförmigen Kammerteil einsetzt. Durch diese Maßnahme ist der Abstand zwischen den einander gegenüberliegen­ den Beschichtungs-Oberflächen in etwa gleich, so daß sich auf beiden Be­ schichtungsoberflächen eine im wesentlichen parallele Gasströmung aus­ bildet.

Eine beidseitige Beschichtung der Brillengläser ist in besonders vorteilhafter und einfacher Weise dann möglich, wenn man die beiden Brillengläser nach Beschichtung ihrer einander zuerst zugekehrten Oberflächen unter Beibe­ haltung ihrer relativen Raumlage gegeneinander vertauscht und in den ringförmigen Kammerteil einsetzt und danach die jeweils anderen Ober­ flächen der beiden Brillengläser beschichtet. Auf diese Weise lassen sich unter Beibehaltung ansonsten gleicher Verfahrensparameter identische Schichten auf beiden Oberflächen jeweils eines Brillenglases erzeugen. Natürlich lassen sich durch Änderung der Beschichtungsparameter auch unterschiedliche Schichten auf beiden Oberflächen eines Brillenglases er­ zeugen.

Es ist dabei wiederum vorteilhaft, wenn man die aus den Brillengläsern und dem ringförmigen Kammerteil bestehende Plasmakammer mit einer weiteren Kammer umgibt, in der ein niedrigerer Druck eingestellt wird als in der Plas­ makammer. In der äußeren Kammer kann mit besonderem Vorteil beispiels­ weise ein Druck von 10^-5 mbar eingehalten werden.

Bei Anwendung dieser Maßnahme müssen die Brillengläser nicht absolut dicht in den ringförmigen Kammerteil eingesetzt werden, da eine gewisse Leckage für den Beschichtungsprozeß unschädlich ist: Es kann immer nur schichtbildender Stoff aus der Plasma-Kammer in die Hochvakuum-Kammer entweichen, nicht aber ein umgekehrter Gasfluß eintreten, so daß insbe­ sondere die Atmosphäre in der Plasmakammer nicht nachteilig beeinflußt wird.

Um die Plasmakammer besonders gleichmäßig mit der Anregungsenergie zu beaufschlagen, ist es besonders vorteilhaft, wenn man die aus den beiden Brillengläsern und dem ringförmigen Kammerteil gebildete Plasmakammer derart zwischen zwei plattenförmigen Elektroden unterbringt, daß die durch die Ränder der Brillengläser definierten Ebenen im wesentlichen parallel zu den Elektroden verlaufen, und daß man die Elektroden an die entgegenge­ setzten Pole eines Wechselspannungsgenerators legt.

Mit dem Erfindungsgegenstand ist es mit besonderem Vorteil möglich, nach­ einander Schichten mit unterschiedlichen optischen Eigenschaften auf die Brillengläser aufzubringen, nämlich durch einen Wechsel der Gasart durch Anschluß an eine andere Gasquelle. Eine solche Maßnahme dient insbe­ sondere zum Herstellen sogenannter Interferenz-Schichtsysteme. Dieser Vorteil kommt besonders dann zum Tragen, wenn erfindungsgemäß die Raumsausdehnung des Plasmas begrenzt ist, beispielsweise durch die Be­ schränkung dieses Raumes auf den Abstand zwischen zwei Brillengläsern. Durch das dadurch entstehende äußerst kleine Volumen des Reaktions­ raumes ist ein rascher Gaswechsel zwischen dem ersten und einem wei­ teren Gas möglich. Allerdings können durch Drosselung der Gaszufuhr des ersten Gases und allmähliche Steigerung der Zufuhr des zweiten Gases auch sogenannte Übergangsschichten hergestellt werden, eine Maßnahme, die zur Züchtung bestimmter Schichteigenschaften von besonderem Vorteil ist.

Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zum Durchführen des Ver­ fahrens mit einer Vakuumkammer mit einem Anschluß an mindestens eine Gasquelle zur Versorgung der Vorrichtung mit einem durch ein Niederdruck- Plasma zersetzbaren Gas, dessen Zersetzungsprodukte auf den Brillen­ gläsern als reflexmindernde Schichtstoffe kondensationsfähig sind, und mit einer Einrichtung zur Versorgung der Vorrichtung mit Anregungsenergie für die Unterhaltung des Plasmas.

Zur Lösung der gleichen Aufgabe ist eine solche Vorrichtung dadurch ge­ kennzeichnet, daß in der Vakuumkammer eine weitere, etwa rotations­ symmetrische Kammer angeordnet ist, die in Richtung der Rotationsachse auf gegenüberliegenden Seiten mit Einsatzöffnungen für je ein Brillenglas versehen ist und auf diametral zur Reaktionsachse gegenüberliegenden Seiten mindestens je eine Einlaßöffnung für das zersetzbare Gas und eine Auslaßöffnung für das Restgas besitzt.

Im Zuge einer weiteren Ausgestaltung einer solchen Vorrichtung ist diese dadurch gekennzeichnet, daß der weiteren Kammer auf in Richtung der Rotationsachse gegenüberliegenden Seiten Elektroden für die Einbringung der Anregungsenergie für das Plasma in der weiteren Kammer durch die Brillengläser hindurch zugeordnet sind.

Ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und deren Wirkungsweise werden nachfolgend anhand der einzigen Figur näher er­ läutert.

Diese Figur zeigt einen Vertikalschnitt entlang der Rotationsachse zweier Brillengläser und der diese aufnehmenden Teilkammer.

In der Figur sind zwei Brillengläser 1 und 2 dargestellt, die eine positive Dioptrienzahl aufweisen und in die kreisförmig begrenzten Einsatzöffnungen 3 und 4 eines Kammerteils 5 eingesetzt sind, das aus einem Oberteil 5a und einem Unterteil 5b besteht. Ober- und Unterteil stoßen an einer Trennfuge 6 aneinander, so daß die Teilkammer 5 zu Reinigungszwecken geöffnet wer­ den kann. Die Brillengläser 1 und 2 und das Kammerteil 5 bilden zusammen eine Plasmakammer 7, die einen Raum 8 umschließt, in dem beim Betrieb das Plasma mit den schichtbildenden Stoffen aufrechterhalten wird. Die schichtbildenden Stoffe werden der Plasmakammer 7 durch eine radial ein­ mündende Gasleitung 9 zugeführt, die mit zwei Gasquellen 10 und 11 über Regelventile 10a und 11a verbindbar ist.

An einer diametral gegenüberliegenden Stelle ist die Plasmakammer 7 mit einer radial angesetzten Abgasleitung 12 versehen, in der sich eine einstell­ bare Drosselstelle 13 befindet. Jenseits der Drosselstelle 13 mündet die Ab­ gasleitung 12 in eine Saugleitung 14, die eine Hochvakuumpumpe 15 und einen Vorvakuum-Pumpsatz 16 miteinander verbindet, die beide hier nur schematisch angedeutet sind. In dem Raum 8 läßt sich ein Gasgleichgewicht entsprechender Zusammensetzung mit einem Druck zwischen 10^-3 und 10 mbar einstellen. Der Strömungsverlauf innerhalb des Raumes 8 wird in etwa durch die eingezeichneten Strömungspfeile angedeutet: Die Strö­ mung verläuft im wesentlichen parallel zu den in diesem Arbeitsgang zu be­ schichtenden inneren Oberfläche 1b und 2a.

Es ist zu erkennen, daß die beiden Brillengläser 1 und 2 mit gleicher Krüm­ mungsrichtung in den ringförmigen Kammerteil 5 eingesetzt sind. Auf eine Abdichtung zwischen den Brillengläsern und dem Kammerteil braucht kein besonderer Wert gelegt zu werden, da die bisher beschriebene Anordnung von einer Vakuumkammer 17 umgeben ist, in der mittels der Vakuumpumpe 15 über einen Saugstutzen 18 ein Hochvakuum von beispielsweise 10^-3 mbar einstellbar ist. Etwa aus der Plasmakammer 7 austretende Reaktions­ gase werden mithin über den Saugstutzen 18 abgesaugt.

Nach Beschichtung der inneren Oberflächen 1b und 2a der Brillengläser 1 und 2 in einem ersten Arbeitsgang werden die beiden Brillengläser unter Beibehaltung ihrer relativen Raumlage gegeneinander vertauscht in den ringförmigen Kammerteil 5 eingesetzt, worauf die jeweils anderen Ober­ flächen 1a und 2b beschichtet werden können. Um den Austausch vor­ nehmen zu können, wird der Kammerteil 5 an der Trennfuge 6 geöffnet.

Durch einander gegenüberliegende Wandungen 17a und 17b der Vakuum­ kammer 17 sind stromleitende Haltestangen 19 und 20 für zwei planparallel zueinander ausgerichtete Elektroden 21 und 22 hindurchgeführt, zwischen denen in koaxialer Anordnung die Plasmakammer 7 angeordnet ist. Die An­ ordnung ist dabei so getroffen, daß die durch die kreisförmigen Ränder der Brillengläser definierten Ebenen im wesentlichen parallel zu den Elektroden 21 und 22 verlaufen. Die Elektroden sind an die entgegengesetzten Pole 23a und 23b eines Wechselspannungsgenerators 23 gelegt, der beispiels­ weise in einem Frequenzbereich zwischen 100 kHz und 100 MHz einstellbar ist. Vorzugsweise wird eine Frequenz von 13,56 MHz verwendet. Das Ver­ fahren ist allerdings keineswegs auf die Verwendung einer Frequenz in dem oben angegebenen Frequenzbereich beschränkt; vielmehr kann das Ver­ fahren auch bei Anwendung von Mittelfrequenz und Mikrowellenenergie durchgeführt werden.

Bei einigen Schichtmaterialien, insbesondere bei der Abscheidung von Schichten aus SiO₂ ist es vorteilhaft, im Plasma-Impulsbetrieb zu arbeiten, um die Ausbildung von Schichtdickenunterschieden durch zu hohe Reak­ tionsgeschwindigkeit zu unterdrücken. Tastverhältnisse mit einer Energie­ dauer von 10 bis 100 Mikrosekunden und einer Pausendauer von 1 bis 10 Millisekunden sind hierbei besonders vorteilhaft.

Auch die Zahl der Gasquellen ist nicht kritisch; es kann eine ganze Batterie von Gasquellen vorgesehen werden, beispielsweise auch zu dem Zweck, um zwischen den Brillengläsern und der ersten optisch wirksamen Schicht eine Haftschicht vorzusehen. Der Figur ist jedenfalls zu entnehmen, daß der vom Plasma erfüllte Raum 8 äußerst geringe Abmessungen hat, so daß die von den Elektroden 21 und 22 eingebrachte Anregungsenergie für das Plasma auf dieses äußerst wirksam konzentriert werden kann. Die Ent­ stehung von Partikeln in Form von "Schnee" und "Glasruß" unterbleibt auf­ grund des geringen Kammervolumens, und ein Umschalten von einer Gasart auf eine andere Gasart ist in kürzester Zeit möglich. Oberteil 5a und Un­ terteil 5b des Kammerteils 5 lassen sich - nach Trennung - einem äußerst wirksamen Reinigungsprozeß zuführen und dann erneut wieder verwenden. Es ist vorteilhaft, für die serienmäßige Beschichtung von Brillengläsern eine ganze Anzahl derartiger Kammerteile 5 vorrätig zu halten, die dann im Innern der Vakuumkammer 7 lediglich über hier nicht gezeigte Schnellver­ bindungen mit den Gasleitungen 9 und 12 verbunden werden können. Selbstverständlich besitzt auch die Vakuumkammer 7 eine hier gleichfalls nicht näher dargestellte Öffnung, um den Austausch der Plasmakammer 7 bzw. eine Vertauschung der Brillengläser 1 und 2 gegeneinander und gegen neue Brillengläser vornehmen zu können.

Zwischen den äußeren Oberflächen 1a und 2b der Brillengläser 1 und 2 und den Elektroden 21 und 22 entsteht wegen des niedrigen Drucks in der Va­ kuumkammer 17 kein Plasma.

Claims (14)

1. Verfahren zum Beschichten von Brillengläsern (1, 2) aus Kunststoff oder Mineralglas mit mindestens einer haft- und kratzfesten reflexmindernden Schicht im Vakuum, dadurch gekennzeichnet, daß man die Brillen­ gläser (1, 2) in Gegenwart mindestens eines schichtbildenden Stoffes in der Gasphase einem Niederdruckplasma aussetzt.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die Raumausdehnung des Plasmas, in Normalenrichtung zur Beschichtungs­ fläche (1b, 2a bzw. 1a, 2b) gesehen, auf maximal 50 mm, vorzugsweise auf maximal 30 mm, begrenzt.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß man zwei Brillengläser (1, 2) durch einen im wesentlichen ringförmigen Kammerteil (5) im Abstand zueinander hält und dadurch zwischen den Brillengläsern und dem Kammerteil einen plasmaerfüllten Raum (8) bildet, in den der schichtbildende Stoff eingeleitet wird.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß man die beiden Brillengläser (1, 2) mit gleicher Krümmungsrichtung in den ring­ förmigen Kammerteil (5) einsetzt.

5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß man den schichtbildenden Stoff zumindest im wesentlichen parallel zur jeweiligen Beschichtungsoberfläche (1b, 2a bzw. 1a, 2b) in den plasmaerfüllten Raum (8) einleitet und das Restgas an der gegenüberliegenden Seite des Raumes abführt.

6. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß man die beiden Brillengläser (1, 2) nach Beschichtung ihrer einander zugekehrten Oberflächen (1b, 2a) unter Beibehaltung ihrer relativen Raumlage gegen­ einander vertauscht in den ringförmigen Kammerteil (5) einsetzt und da­ nach die jeweils anderen Oberflächen (1a, 2b) der beiden Brillengläser (1, 2) beschichtet.

7. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß man die aus den Brillengläsern (1, 2) und dem ringförmigen Kammerteil (5) bestehen­ de Plasma-Kammer (7) mit einer weiteren Kammer (17) umgibt, in der ein niedrigerer Druck eingestellt wird als in der Plasma-Kammer.

8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Plasma mit einem elektromagnetischen Wechselfeld angeregt wird.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Fre­ quenz des Wechselfeldes zwischen 100 kHz und 100 MHz gewählt wird.

10. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß man die aus den beiden Brillengläsern (1, 2) und dem ringförmigen Kammerteil (5) gebildete Plasma-Kammer (7) derart zwischen zwei plattenförmigen Elek­ troden (21, 22) unterbringt, daß die durch die Ränder der Brillengläser definierten Ebenen im wesentlichen parallel zu den Elektroden verlaufen, und daß man die Elektroden an die entgegengesetzten Pole (23a, 23b) eines Wechselspannungsgenerators (23) legt.

11. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die Be­ schichtung im Impulsbetrieb durchführt.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß man ein Tastverhältnis mit einer Energiedauer zwischen 10 und 100 Mikro­ sekunden und mit einer Pausendauer von 1 bis 10 Millisekunden anwendet.

13. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 12, mit einer Vakuumkammer (17) mit einem An­ schluß an mindestens eine Gasquelle (10, 11) zur Versorgung der Vor­ richtung mit einem durch ein Niederdruck-Plasma zersetzbares Gas, dessen Zersetzungsprodukte auf den Brillengläsern (1, 2) als reflex­ mindernde Schichtstoffe kondensationsfähig sind, und mit einer Einrich­ tung zur Versorgung der Vorrichtung mit Anregungsenergie für die Unter­ haltung des Plasmas, dadurch gekennzeichnet, daß in der Vakuum­ kammer (17) eine weitere, etwa rotationssymmetrische Kammer (7) ange­ ordnet ist, die in Richtung der Rotationsachse (A-A) auf gegenüber­ liegenden Seiten mit Einsatzöffnungen (3, 4) für je ein Brillenglas (1, 2) versehen ist und auf diametral zur Rotationsachse (A-A) gegenüber­ liegenden Seiten mindestens je eine Einlaßöffnung (9) für das zersetz­ bare Gas und eine Auslaßöffnung (12) für das Restgas besitzt.

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der weiteren Kammer (7) auf in Richtung der Rotationsachse gegenüber­ liegenden Seiten Elektroden (21, 22) für die Einbringung der Anregungs­ energie für das Plasma in der weiteren Kammer (7) durch die Brillen­ gläser (1, 2) hindurch zugeordnet sind.