DE4338040C2 - Vorrichtung zum Beschichten von Brillengläsern im Vakuum und Betriebsverfahren hierfür - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Beschichten von Brillengläsern aus Kunststoff oder Mineralglas mit mindestens einer haft- und kratzfesten re­ flexmindernden Schicht nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Durch die EP 0 455 551 A1 ist es bekannt, Brillengläser mit Siliziumverbindungen durch Plasmaverfahren im Vakuum zu beschichten, um die Kratzfestigkeit zu erhöhen. Spezielle Vorrichtungen hierfür sind jedoch nicht offenbart.

Es ist bekannt, eine größere Anzahl von Brillengläsern chargenweise in einer Vakuumkammer durch Aufdampfen zu beschichten, wobei die Brillengläser in einem kalottenförmigen Substrathalter befestigt sind, der gegebenenfalls um seine Rotationsachse drehbar ist. Als Energiequellen für das Verdampfungsmaterial dienen hierbei Elektronenstrahlen, Lichtbögen, Induktionsspulen oder Stromwärme, die durch ein mit entsprechenden Anschlüssen versehenes Verdampferschiffchen geleitet wird. Derartige Beschichtungsverfahren werden als PVD-Verfahren bezeichnet (Physical Vapour Deposition). Der Dampfstrom hat hierbei eine stark gerichtete Wirkung, so daß zur Vergleichmäßigung der Beschichtung ein erheblicher Abstand zwischen den Dampfquellen und den Brillenglas-Substraten eingehalten werden muß. Dennoch läßt sich die gewünschte Schichtdickenverteilung nicht in ausreichendem Maße erzielen, da insbesondere die Krümmung der Brillengläser zu einer Veränderung der Kondensationsbedingungen des Schichtmaterials im Randbereich der Brillengläser führt. Der durch die Krümmung bedingte streifende Einfall des Beschichtungsmaterials führt nicht nur zur Ausbildung dünnerer Schichten im Randbereich der Brillengläser, sondern auch zu einer verschlechterten Haftung der Schichten auf der Brillenglasoberfläche.

Eine ähnliche Vorrichtung mit einer Vakuumkammer, einem kalottenförmigen Substrathalter und einer Plasmaquelle zur Beschichtung von Linsen ist durch die DE 41 28 547 A1 bekannt.

Als Beschichtungsmaterial kommen hierbei verschiedene Oxide, Nitride und Fluoride von Metallen in Frage, die als Ein- oder Mehrfachschichten innerhalb vorgegebener Schichtdickenbereiche reflexmindernde Eigenschaften haben, wobei die Farbe der Rest-Reflexion modischen Anforderungen unterliegt.

Auch Versuche, die Schichtdickenverteilung durch eine Dampfstreuung an schwereren Gasmolekülen zu verbessern, haben nicht zu dem gewünschten Erfolg geführt. Zur Herbeiführung dieser Dampfstreuung werden in den Va­ kuum-Rezipienten Gase wie beispielsweise Kohlendioxid mit entsprechen­ dem Partialdruck eingeleitet, die durch Kollision mit den Dampfmolekülen zu der gewünschten Dampfstreuung führen. Bei Verwendung von Elektronen­ strahlen hat die Anwesenheit derartiger Gase zusätzlich eine unerwünschte Defokussierung des Elektronenstrahls zur Folge.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung anzugeben, durch die bei hoher Wirtschaftlichkeit Brillengläser paarweise beschichtet werden können, wobei eine hohe Gleichförmigkeit der Schichtdickenverteilung eine exakte Einstellbarkeit von Farbreflexen zur Erzeugung von sogenannten "Modefarben" möglich ist. Insbesondere soll dabei auch die Temperatur der Brillenglas-Substrate niedrig gehalten werden, um in der gleichen Vorrichtung auch Brillengläser aus Kunststoff beschichten zu können.

Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei der eingangs beschriebenen Vorrichtung erfindungsgemäß durch die Merkmale im Kennzeichen des Patentanspruchs 1.

Durch diese Maßnahme wird aus den Brillengläsern und dem ringförmigen Kammerteil eine Plasma-Kammer gebildet, deren Wände zu einem großen Teil aus den Brillengläsern selbst bestehen, d. h. durch die nicht zu vermeidende Beschichtung des ringförmigen Kammerteils geht nur ein verhältnismäßig geringer Anteil des Beschichtungsmaterials verloren. Die innere Oberfläche des ringförmigen Kammerteils ist relativ klein, und der betreffende Kammerteil kann durch einen Reinigungsprozeß kurzfristig wieder aufbereitet werden, so daß auch die Gefahr vermieden wird, daß sich von dem Kammerteil Schichtmaterial ablöst, das in ähnlicher Weise wie die weiter unten beschriebene Schnee- oder Glasrußbildung ansonsten zu einer Beeinträchtigung der Schichtqualität führen würde.

In der Vorrichtung werden als schichtbildende Stoffe gasförmige bzw. verdampfbare Metallverbindungen eingesetzt, beispielsweise solche aus der Gruppe der Siloxane und Silazane. Es handelt sich hierbei um metallor­ ganische Verbindungen. Als besonders geeignet haben sich hierbei die Stoffe TMDSO (= Tetramethyldisiloxan) und HMDSO (= Hexamethyldisiloxan) erwiesen. Für die Erzeugung hochbrechender Schichten werden hierbei beispielsweise metallorganische Verbindungen des Titans eingesetzt, für die Erzeugung niedrigbrechender Schichten metallorganische Verbindungen des Siliziums. Durch die abwechselnde Anordnung derartiger Schichten werden sogenannte Interferenz-Schichtsysteme erzeugt, denen die gewünschten optischen Eigenschaften verliehen werden können.

Die Anregung des Niederdruck-Plasmas kann dabei auf induktivem Wege (mit bestimmten Frequenzen gespeiste Spulen) und/oder auf kapazitivem Wege (an entsprechende Energiequellen angeschlossene Elektroden) er­ folgen. Man erhält hierdurch äußerst einfach aufgebaute Apparaturen, die in einem großen Druckbereich z. B. zwischen 10^-3 und 10 mbar sehr zuverlässig arbeiten. Insbesondere werden dadurch keine kostspieligen Dampfquellen der eingangs beschriebenen Art benötigt, desgleichen keine großen Volumina der entsprechenden Vakuumkammern bzw. Rezipienten.

Durch die Vorrichtung in Verbindung mit einem PCVD-Verfahren für die Beschichtung von Brillengläsern unter an sich bekannten Verfahrensparametern lassen sich folgende Vorteile erzielen:
Die erzeugten Einfach- und Mehrfachschichten haben eine hohe Härte, Transparenz, Dichte und Haftfestigkeit, und es treten insbesondere bei Bril­ lengläsern aus organischen und mineralischen Materialien keine Rißbil­ dungen auf. Es wird eine hohe Abscheide- bzw. Kondensationsrate erzielt, so daß die Vorrichtung speziell für die Beschichtung von paarweise angeordneten Brillengläsern dient. Die Beschichtung von paarweise angeordneten Brillengläsern ist deswegen interessant, weil Brillengläser in der Regel paarweise bestellt werden. Die erfindungsgemäße Vorrichtung führt zu einer hohen Reproduzierbarkeit und Gleichförmigkeit der Schichtdickenverteilung auch bei gewölbten Flächen, d. h. es unterbleibt der ansonsten zu beobachtende typische Randeffekt. Vor allem aber lassen sich Farbreflexe gezielt einstellen, d. h. Modefarben erzeugen, d. h. abgesehen von gewollten Interferenzfarben entstehen keine unerwünschten Farbstiche an den fertigen Brillengläsern. Die Substrattemperatur kann auf einem sehr niedrigen Niveau, beispielsweise unterhalb 60°C gehalten werden, was bei Verwendung organischer Brillenglas-Substrate von besonderem Vorteil ist.

Durch die hohe Produktionsrate paarweise hergestellter Brillengläser läßt sich die Vorrichtung in den Produktionsprozeß der Brillengläser integrieren, d. h. die Brillengläser lassen sich nach der heute geforderten Methode der Anlieferung in den Prozeßablauf fertigen.

Es ist dabei im Zuge der weiteren Ausgestaltung der Erfindung besonders vorteilhaft, wenn man die Raumausdehnung des Plasmas, in Normalenrich­ tung zur Beschichtungsfläche gesehen, durch die axiale Ausdehnung des ringförmigen Kammerteils auf maximal 50 mm, vorzugsweise auf maximal 30 mm, begrenzt. Auf diese Weise überstreicht das schichtbildende Gas die Beschichtungsoberfläche in etwa in einer parallelen Richtung. Durch die Begrenzung der Raumausdehnung des Plasmas wird verhindert, daß sich durch eine sogenannte Homogenreaktion im Gasraum feste Partikel bilden, die auch als "Schnee" oder "Glasruß" bezeichnet werden. Diese Partikel führen, wenn sie sich auf den Beschichtungsoberflächen absetzen, zu trüben bzw. unbrauchbaren Schichten.

Durch die Begrenzung der Raumausdehnung des Plasmas wird weiterhin er­ reicht, daß die Kondensationsbedingungen auf der Brillenglas-Oberfläche verbessert werden, weil dort eine größere Teilchendichte erreicht wird.

Die Erfindung betrifft auch ein Betriebsverfahren für die erfindungsgemäße Vorrichtung.

Zur Lösung der gleichen Aufgabe ist ein solches Verfahren gekennzeichnet durch die Merkmale im Kennzeichen des Patentanspruchs 7.

Es ist dabei besonders vorteilhaft, wenn man die beiden Brillengläser mit gleicher Krümmungsrichtung in den ringförmigen Kammerteil einsetzt. Durch diese Maßnahme ist der Abstand zwischen den einander gegenüberliegen­ den Beschichtungs-Oberflächen in etwa gleich, so daß sich auf beiden Be­ schichtungsoberflächen eine im wesentlichen parallele Gasströmung aus­ bildet.

Eine beidseitige Beschichtung der Brillengläser ist in besonders vorteilhafter und einfacher Weise dann möglich, wenn man die beiden Brillengläser nach Beschichtung ihrer einander zuerst zugekehrten Oberflächen unter Beibehal­ tung ihrer relativen Raumlage gegeneinander vertauscht und in den ringför­ migen Kammerteil einsetzt und danach die jeweils anderen Oberflächen der beiden Brillengläser beschichtet. Auf diese Weise lassen sich unter Beibehal­ tung ansonsten gleicher Verfahrensparameter identische Schichten auf beiden Oberflächen jeweils eines Brillenglases erzeugen. Natürlich lassen sich durch Änderung der Beschichtungsparameter auch unterschiedliche Schichten auf beiden Oberflächen eines Brillenglases erzeugen.

Es ist dabei wiederum vorteilhaft, wenn man die aus den Brillengläsern und dem ringförmigen Kammerteil bestehende Plasmakammer mit einer weiteren Kammer umgibt, in der ein niedrigerer Druck eingestellt wird als in der Plas­ makammer. In der äußeren Kammer kann mit besonderem Vorteil beispiels­ weise ein Druck von 10^-5 mbar eingehalten werden.

Bei Anwendung dieser Maßnahme müssen die Brillengläser nicht absolut dicht in den ringförmigen Kammerteil eingesetzt werden, da eine gewisse Leckage für den Beschichtungsprozeß unschädlich ist: Es kann immer nur schichtbildender Stoff aus der Plasma-Kammer in die Hochvakuum-Kammer entweichen, nicht aber ein umgekehrter Gasfluß eintreten, so daß insbe­ sondere die Atmosphäre in der Plasmakammer nicht nachteilig beeinflußt wird.

Um die Plasmakammer besonders gleichmäßig mit der Anregungsenergie zu beaufschlagen, ist es besonders vorteilhaft, wenn man die aus den beiden Brillengläsern und dem ringförmigen Kammerteil gebildete Plasmakammer derart zwischen zwei plattenförmigen Elektroden unterbringt, daß die durch die Ränder der Brillengläser definierten Ebenen im wesentlichen parallel zu den Elektroden verlaufen, und daß man die Elektroden an die entgegenge­ setzten Pole eines Wechselspannungsgenerators legt.

Mit dem Erfindungsgegenstand ist es mit besonderem Vorteil möglich, nach­ einander Schichten mit unterschiedlichen optischen Eigenschaften auf die Brillengläser aufzubringen, nämlich durch einen Wechsel der Gasart durch Anschluß an eine andere Gasquelle. Eine solche Maßnahme dient insbeson­ dere zum Herstellen sogenannter Interferenz-Schichtsysteme. Dieser Vorteil kommt besonders dann zum Tragen, wenn erfindungsgemäß die Raumsaus­ dehnung des Plasmas begrenzt ist, beispielsweise durch die Beschränkung dieses Raumes auf den Abstand zwischen zwei Brillengläsern. Durch das dadurch entstehende äußerst kleine Volumen des Reaktionsraumes ist ein rascher Gaswechsel zwischen dem ersten und einem weiteren Gas möglich. Allerdings können durch Drosselung der Gaszufuhr des ersten Gases und allmähliche Steigerung der Zufuhr des zweiten Gases auch sogenannte Übergangsschichten hergestellt werden, eine Maßnahme, die zur Züchtung bestimmter Schichteigenschaften von besonderem Vorteil ist.

Ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und deren Wirkungsweise werden nachfolgend anhand der einzigen Figur näher er­ läutert.

Diese Figur zeigt einen Vertikalschnitt entlang der Achse zweier Brillengläser und der diese aufnehmenden Teilkammer.

In der Figur sind zwei Brillengläser 1 und 2 dargestellt, die eine positive Dioptrienzahl aufweisen und in die kreisförmig begrenzten Einsatzöffnungen 3 und 4 eines Kammerteils 5 eingesetzt sind, das aus einem Oberteil 5a und einem Unterteil 5b besteht. Ober- und Unterteil stoßen an einer Trennfuge 6 aneinander, so daß die Teilkammer 5 zu Reinigungszwecken geöffnet wer­ den kann. Die Brillengläser 1 und 2 und das Kammerteil 5 bilden zusammen eine Plasmakammer 7, die einen Raum 8 umschließt, in dem beim Betrieb das Plasma mit den schichtbildenden Stoffen aufrechterhalten wird. Die schichtbildenden Stoffe werden der Plasmakammer 7 durch eine radial ein­ mündende Gasleitung 9 zugeführt, die mit zwei Gasquellen 10 und 11 über Regelventile 10a und 11a verbindbar ist.

An einer diametral gegenüberliegenden Stelle ist die Plasmakammer 7 mit einer radial angesetzten Abgasleitung 12 versehen, in der sich eine einstell­ bare Drosselstelle 13 befindet. Jenseits der Drosselstelle 13 mündet die Ab­ gasleitung 12 in eine Saugleitung 14, die eine Hochvakuumpumpe 15 und einen Vorvakuum-Pumpsatz 16 miteinander verbindet, die beide hier nur schematisch angedeutet sind. In dem Raum 8 läßt sich ein Gasgleichgewicht entsprechender Zusammensetzung mit einem Druck zwischen 10^-3 und 10 mbar einstellen. Der Strömungsverlauf innerhalb des Raumes 8 wird in etwa durch die eingezeichneten Strömungspfeile angedeutet: Die Strö­ mung verläuft im wesentlichen parallel zu den in diesem Arbeitsgang zu be­ schichtenden inneren Oberfläche 1b und 2a.

Es ist zu erkennen, daß die beiden Brillengläser 1 und 2 mit gleicher Krüm­ mungsrichtung in den ringförmigen Kammerteil 5 eingesetzt sind. Auf eine Abdichtung zwischen den Brillengläsern und dem Kammerteil braucht kein besonderer Wert gelegt zu werden, da die bisher beschriebene Anordnung von einer Vakuumkammer 17 umgeben ist, in der mittels der Vakuumpumpe 15 über einen Saugstutzen 18 ein Hochvakuum von beispielsweise 10^-3 mbar einstellbar ist. Etwa aus der Plasmakammer 7 austretende Reaktions­ gase werden mithin über den Saugstutzen 18 abgesaugt.

Nach Beschichtung der inneren Oberflächen 1b und 2a der Brillengläser 1 und 2 in einem ersten Arbeitsgang werden die beiden Brillengläser unter Beibehaltung ihrer relativen Raumlage gegeneinander vertauscht in den ringförmigen Kammerteil 5 eingesetzt, worauf die jeweils anderen Ober­ flächen 1a und 2b beschichtet werden können. Um den Austausch vor­ nehmen zu können, wird der Kammerteil 5 an der Trennfuge 6 geöffnet.

Durch einander gegenüberliegende Wandungen 17a und 17b der Vakuum­ kammer 17 sind stromleitende Haltestangen 19 und 20 für zwei planparallel zueinander ausgerichtete Elektroden 21 und 22 hindurchgeführt, zwischen denen in koaxialer Anordnung die Plasmakammer 7 angeordnet ist. Die An­ ordnung ist dabei so getroffen, daß die durch die kreisförmigen Ränder der Brillengläser definierten Ebenen im wesentlichen parallel zu den Elektroden 21 und 22 verlaufen. Die Elektroden sind an die entgegengesetzten Pole 23a und 23b eines Wechselspannungsgenerators 23 gelegt der beispiels­ weise in einem Frequenzbereich zwischen 100 kHz und 100 MHz einstellbar ist. Vorzugsweise wird eine Frequenz von 13,56 MHz verwendet. Das Ver­ fahren ist allerdings keineswegs auf die Verwendung einer Frequenz in dem oben angegebenen Frequenzbereich beschränkt; vielmehr kann das Ver­ fahren auch bei Anwendung von Mittelfrequenz und Mikrowellenenergie durchgeführt werden.

Bei einigen Schichtmaterialien, insbesondere bei der Abscheidung von Schichten aus SiO₂ ist es vorteilhaft, im Plasma-Impulsbetrieb zu arbeiten, um die Ausbildung von Schichtdickenunterschieden durch zu hohe Reak­ tionsgeschwindigkeit zu unterdrücken. Tastverhältnisse mit einer Energie­ dauer von 10 bis 100 Mikrosekunden und einer Pausendauer von 1 bis 10 Millisekunden sind hierbei besonders vorteilhaft.

Auch die Zahl der Gasquellen ist nicht kritisch; es kann eine ganze Batterie von Gasquellen vorgesehen werden, beispielsweise auch zu dem Zweck, um zwischen den Brillengläsern und der ersten optisch wirksamen Schicht eine Haftschicht vorzusehen. Der Figur ist jedenfalls zu entnehmen, daß der vom Plasma erfüllte Raum 8 äußerst geringe Abmessungen hat, so daß die von den Elektroden 21 und 22 eingebrachte Anregungsenergie für das Plasma auf dieses äußerst wirksam konzentriert werden kann. Die Ent­ stehung von Partikeln in Form von "Schnee" und "Glasruß" unterbleibt auf­ grund des geringen Kammervolumens, und ein Umschalten von einer Gasart auf eine andere Gasart ist in kürzester Zeit möglich. Oberteil 5a und Un­ terteil 5b des Kammerteils 5 lassen sich - nach Trennung - einem äußerst wirksamen Reinigungsprozeß zuführen und dann erneut wieder verwenden. Es ist vorteilhaft, für die serienmäßige Beschichtung von Brillengläsern eine ganze Anzahl derartiger Kammerteile 5 vorrätig zu halten, die dann im Innern der Vakuumkammer 7 lediglich über hier nicht gezeigte Schnellver­ bindungen mit den Gasleitungen 9 und 12 verbunden werden können. Selbstverständlich besitzt auch die Vakuumkammer 7 eine hier gleichfalls nicht näher dargestellte Öffnung, um den Austausch der Plasmakammer 7 bzw. eine Vertauschung der Brillengläser 1 und 2 gegeneinander und gegen neue Brillengläser vornehmen zu können.

Zwischen den äußeren Oberflächen 1a und 2b der Brillengläser 1 und 2 und den Elektroden 21 und 22 entsteht wegen des niedrigen Drucks in der Va­ kuumkammer 17 kein Plasma.

Claims (15)

1. Vorrichtung zum Beschichten von Brillengläsern (1, 2) aus Kunststoff oder Mineralglas mit mindestens einer haft- und kratzfesten reflexmindernden Schicht in der Gasphase eines Niederdruckplasmas in Gegenwart mindestens eines schichtbildenden Stoffes, mit einer Vakuumkammer (17) mit einem Anschluß an mindestens eine Gasquelle (10, 11) zur Versorgung der Vorrichtung mit einem durch ein Nieder­ druck-Plasma zersetzbaren Gas, dessen Zersetzungsprodukte auf den Brillengläsern (1, 2) als reflexmindernde Schichtstoffe kondensationsfähig sind, und mit einer Ein­ richtung zur Versorgung der Vorrichtung mit Anregungs­ energie für die Unterhaltung des Plasmas, dadurch gekenn­ zeichnet, daß in der Vakuumkammer (17) ein ringförmiger Kammerteil (5) angeordnet ist, der in Richtung seiner Achse (A-A) auf gegenüberliegenden Seiten mit Einsatz­ öffnungen (3, 4) für je ein Brillenglas (1, 2) versehen ist und auf gegenüberliegenden Seiten je eine Einlaß­ öffnung (9) für das zersetzbare Gas und eine Auslaßöff­ nung (12) für das Restgas besitzt.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dem Kammerteil (5) auf in Richtung seiner Achse (A-A) gegenüberliegenden Seiten Elektroden (21, 22) für die Einbringung der Anregungsenergie für das Plasma in der weiteren Kammer (7) durch die Brillengläser (1, 2) hindurch zugeordnet sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine aus den beiden Brillengläsern (1, 2) und dem ring­ förmigen Kammerteil (5) gebildete Plasma-Kammer (7) derart zwischen den zwei plattenförmigen Elektroden (21, 22) angeordnet ist, daß die durch die Ränder der Brillengläser definierten Ebenen im wesentlichen parallel zu den Elektroden verlaufen, und daß die Elektroden an die entgegengesetzten Pole (23a, 23b) eines Wechselspan­ nungsgenerators (23) angeschlossen sind.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der ringförmige Kammerteil (5) aus zwei Teilkammern (5a, 5b) besteht, die an einer Trennfuge (6) aneinanderstoßen.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zwei Brillengläser (1, 2) mit gleicher Krümmungsrich­ tung im Kammerteil (5) angeordnet sind.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einsatzöffnungen (3, 4) im Kammerteil (5) so angeord­ net sind, daß der Abstand zwischen den eingesetzten Brillengläsern (1, 2) zwischen 30 mm und 50 mm beträgt.

7. Betriebsverfahren für die Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man den schichtbildenden Stoff zumindest im wesentlichen parallel zur jeweiligen Beschichtungsoberfläche (1b, 2a bzw. 1a, 2b) in den plasmaerfüllten Raum (8) einleitet und das Restgas an der gegenüberliegenden Seite des Raumes abführt.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß man die beiden Brillengläser (1, 2) nach Beschichtung ihrer einander zuerst zugekehrten Oberflächen (1b, 2a) unter Beibehaltung ihrer relativen Raumlage gegeneinander vertauscht und in den ringförmigen Kammerteil (5) ein­ setzt und danach die jeweils anderen Oberflächen (1a, 2b) der beiden Brillengläser (1, 2) beschichtet.

9. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß man in der Vakuumkammer (17) außerhalb des plasmaerfüllten Raums (8) einen niedrigeren Druck einstellt als in dem plasmaerfüllten Raum (8).

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß man den Druck außerhalb des plasmaerfüllten Raums (8) so niedrig einstellt, daß außerhalb kein Plasma entsteht.

11. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Plasma mit einem elektromagnetischen Wechselfeld angeregt wird.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenz des Wechselfeldes zwischen 100 kHz und 100 MHz gewählt wird.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß man die Energiedauer der Impulse zwischen 10 und 100 Mikrosekunden und die Pausendauer zwischen den Impulsen zwischen 1 und 10 Millisekunden wählt.

14. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß man durch einen raschen Wechsel der Gase in dem plasma­ erfüllten Raum (8) abwechselnd hoch- und niedrigbrechen­ de Schichten auf den Brillengläsern erzeugt.

15. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß man durch einen allmählichen Wechsel der Gase in dem plasmaerfüllten Raum (8) Schichten mit einem Gradienten zwischen den hoch- und niedrigbrechenden Schichten erzeugt.