WO2006022180A1

WO2006022180A1 - ミスト生成装置

Info

Publication number: WO2006022180A1
Application number: PCT/JP2005/015036
Authority: WO
Inventors: Masaru Takigawa; Takashi Ohno; Minori Kawahara
Original assignee: Ebara Corporation; Ebara Ecomist Co., Ltd.
Priority date: 2004-08-26
Filing date: 2005-08-11
Publication date: 2006-03-02
Also published as: KR20070051918A; JP2006062024A; CN101010165A

Abstract

本発明のミスト生成装置は、工具交換に伴うオイルホール径の変化に対応してミスト吐出し圧力を安定して維持すると共に、サイズの大きい工具に適応してミスト吐出し量の追加増量ができ、小径ドリル等の最少量潤滑（ＭＱＬ）加工を可能にする。このミスト生成装置は、ガス供給源（２０）からのガスと容器（１）内の液体の供給を受けてミストを生成し容器（１）内に噴射する噴射器（１１）と、容器（１）内の該ミストを容器（１）から導出する導管（７）と、噴射器（１１）の下流側に設けられた補助ミスト発生部（４０）を有する。

Description

明細書ミスト生成装置技術分野

本発明は、ガスと液体を供給して容器内でミストを生成し、この生成したミストを、搬送流路を介して搬送し目的物に向けて噴霧するミスト生成装置に関し、特にマシニングセンタ、旋盤等の工作機械の工具や被加工物を冷却および潤滑するためのミストを生成するのに使用されるミスト生成装置に関する。背景技術

ミスト（ガス中に含まれる液体微粒子）は、例えば医学の分野における吸入器、日常生活の分野における力 []湿器、洗浄または塗装剤への適用等、種々の技術の分野において広く用いられている。ミストはまた、工作機械の工具や被加工物の冷却や潤滑のためにも用いられている。例えば、機械加工にあっては、加工の間、工具と被加工物との間に高い摩擦力が作用し、この摩擦力によって多量の熱が発生する。従って、これらの部材間の摩擦を冷却潤滑媒体（冷却潤滑剤）を用いて減少させることが必要であり、これによつて、これらの部材は同時に冷却される。

従来、この種の潤滑および冷却は、主の比較的多量の冷却潤滑剤を加工点に向けて噴射する方法を用いるのが一般的であった。しかしながら、この場合、一方では、過剰に供給された冷却潤滑剤が周囲に飛散し作業環境を悪化させる上に、冷却潤滑剤が多量に消費されるので、冷却および潤滑装置の稼動のコストが非常に高価なものとなり、他方では、環境上の理由から、使用済みの冷却潤滑剤を、複雑でコストのかかる方法で処分する必要があった。

このような問題に対処するため、近年、いわゆる最少量潤滑（MQ L)加工が実用化されており、工具や被加工物を冷却および潤滑するためのミストを生成するようにしたミスト生成装置が開発されている。

この種のミスト生成装置は、一般に、ガスと液体（冷却潤滑剤）の供給を受けて容器内でミストを生成する噴射器と、前記ミストを前記容器から導出する導管とを有し、前記ミストを、前記導管に接続されたミスト搬送流路を介して、ノズルもしくは工具のオイルホールから加工点に噴霧するようになっている。

図 7は、上述のミスト生成装置の特性曲線と搬送流路の抵抗曲線を併記した、いわゆるシステムカーブであり、ミスト生成装置が適正な運転条件で運転されている場合の一例を示す。

図 7において、実線の曲線は、噴射器へのガス供給圧力を？とした場合における、ミスト生成装置の吐出し風量（ミスト風量）と容器内圧力（吐出し圧力）の関係を示すミスト生成装置の特性曲線を示す。また、破線の曲線は、搬送流路の風量と圧力損失の関係を示すもので、流路とノズルまたは工具のオイルホールの抵抗を合成した抵抗曲線 R！を示す。

この場合、ミスト生成装置の運転点は、特性曲線と抵抗曲線のバランスポイントである交点（運転点となり、ミスト生成装置の容器内圧力（吐出し圧力）は P ₂、ミスト生成装置から吐出されるミスト風量および噴射器から容器内に噴射されるミスト風量は、共にとなる。発明の開示

上述のミスト生成装置を、例えばマシユングセンタ等の工作機械に使用する場合、工作機械は、ミストを工具のオイルホールを通して加工点に噴射すると共に、加工毎に工具を自動的に交換するようになっている。このため、工具のサイズが異なる毎に工具のオイルホール径も異なり、工具のオイルホールから加工点に噴射されるミストの吐出し圧力と噴射速度が変化する。

図 8は、図 7に示す適正な運転状態から、オイルホール径の大きい工具に交換してミスト生成装置を運転した場合、すなわち搬送流路の抵抗（抵抗曲線 R ₂) が適正な運転状態から小さくなつた場合を示す。噴射器へのガス供給圧力 P iおよび抵抗曲線は、図 7の場合と同一である。このとき、ミスト生成装置は、運転点 C ₂で運転され、ミスト生成装置の容器内圧力（吐出し圧力）は P ₃、ミスト生成装置から吐出されるミスト風量および噴射器から容器内に噴射されるミスト風量は、図 7の場合と同じく、共にとなる。

図 8を参照してわかるように、この場合、工具のオイルホールから加工点に噴射されるミストの吐出し圧力 P ₃が、適正な運転点における吐出し圧力 P ₂に比較して小さくなってしまう。そのため、工具のオイルホールから加工点に噴射されるミストの噴射速度が遅くなり、ミストの加工点への付着性と切粉等の排除能力が低下するという問題が発生する。また、特にサイズの大きい工具の場合に、ミスト吐出し量が工具サイズに対して不足し加工不良の原因となることがあるといった問題があった。

図 9は、図 7に示す適正な運転状態から、オイルホール径の小さい工具に交換してミスト生成装置を運転した場合、すなわち搬送流路の抵抗（抵抗曲線 R ₃) が適正な運転状態から大きくなった場合を示す。噴射器へのガス供給圧力 P iおよび抵抗曲線は、図 7の場合と同一である。このとき、ミスト生成装置は、運転点 C ₃で運転され、ミスト生成装置の容器内圧力（吐出し圧力）は P ₄、ミスト生成装置から吐出されるミスト風量および噴射器から容器内に噴射されるミスト風量は、共に Q ₂となる。

図 9を参照してわかるように、この場合、噴射器へのガス供給圧力 P _xに対して、容器内圧力 P ₄が高くなりすぎ（容器内圧力 P ₄のガス供給圧力 P！に対する比率 P ₄Z P iが大きくなりすぎ)、噴射器内部でミスト生成に必要な十分なガス流速が得られなくなってしまう。このため、噴射器で濃度の薄い不十分なミストしか生成されず、また、噴射器から容器内に噴射されるミスト風量 Q ₂も、適正な運転時におけるミスト風量に比較して少なくなつてしまう。

従って、ミスト生成装置からのミスト（液体微粒子）吐出し量（噴射器から容器内に噴射されるミスト風量と濃度の積）が非常に少なくなつてしまい、工具の冷却や潤滑に使用した場合に、冷却能力や潤滑能力が極端に低下するという問題が発生する。

このような場合、例えば、工具のオイルホール径を大きくして搬送流路の抵抗を減少させることができれば問題はないが、小径ドリル等のの細い工具の場合は、寸法の制約があるため、オイルホール径を大きくすることは一般に困難である。そのため、小径ドリル等に対しては、最少量潤滑（MQ L)加工が適用できない場合が多かった。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、工具交換に伴うオイルホール径の変化に対応してミスト吐出し圧力を安定して維持すると共に、サイズの大きい工具に適応してミスト吐出し量の追加増量ができ、小径ドリル等の最少量潤滑（MQ L ) 加工を可能にしたミスト生成装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明のミスト生成装置は、ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、前記容器 ^の前記ミストを前記容器から導出する導管と、前記噴射器の下流側に設けられた補助ミスト発生部を有する。

ミスト生成装置を上記のように構成することにより、補助ミスト発生部によって、必要に応じてミスト量を追加増量することで、サイズの大きい工具等に対してミスト不足による加工不良が発生するリスクを回避することができる。

前記補助ミスト発生部を前記導管に接続されてミストを搬送するミスト搬送流路内に設けることが好ましい。これにより、既設のミスト生成装置に補助ミスト発生部を必要に応じて追加的に設けることができ経済的である。

前記捕助ミスト発生部は、キヤリァガス/液混合部から送られたキヤリアガス Z 液混合流体を前記ミスト搬送流路内に噴霧する噴出口を有する連結器からなることが好ましい。このような簡単な構成であれば、安価かつ簡便に補助ミスト発生部 (連結器）をミスト搬送流路内に設けることができる。

前記キヤリァガス/液混合部は、前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率または差圧の圧力にキヤリァガスを減圧する定比減圧弁または定差減圧弁と、この減圧したキヤリァガスの流れの中に液体を注入する容積形ポンプを有することが好ましい。

キヤリァガス/液混合部をこのように構成することにより、噴射器へのガス供給圧力の変更に伴って、定比減圧弁または定差減圧弁を介して、前記補助ミスト発生部へのキャリアガスの圧力が自動的に適正な圧力になる。これによつて、キャリアガス供給圧力の煩雑な調整が不要となり、ミスト生成装置の使い勝手を向上させることができる。補助ミスト発生部へのキヤリァガス供給圧力と噴射器へのガス供給圧力との比率は、ミスト生成装置の特性により多少異なるが、 0 . 6〜0 . 8程度に設定することが好ましい。また、補助ミスト発生部へのキャリアガス供給圧力と噴射器へのガス供給圧力との差圧は、ミスト生成装置の特性により多少異なるが、 0 . 1 5〜0 . 2 5 M P a程度に設定することが好ましい。

前記補助ミスト発生部は、前記噴射器へのガス供給路から分岐して移送され、定比減圧弁または定差減圧弁を介し前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率または差圧の圧力に減圧されたキヤリァガスと前記容器内の液体の供給を受けて補助ミストを前記容器内に噴霧するように構成されていることが好ましい。このように構成することにより、噴射器へのガス供給圧力の変更に伴って、定比減圧弁または定差減圧弁を介して、前記補助ミスト発生部へのキャリアガスの圧力が自動的に適正な圧力になる。これによつて、キャリアガス供給圧力の煩雑な調整が不要となり、ミスト生成装置の使い勝手を向上させることができる。補助ミスト発生部へのキヤリァガス供給圧力と噴射器へのガス供給圧力との比率は、ミスト生成装置の特性により多少異なるが、 0 . 6〜0 . 8程度に設定することが好ましい。また、補助ミスト発生部へのキャリアガス供給圧力と噴射器へのガス供給圧力との差圧は、ミスト生成装置の特性により多少異なるが、 0 . 1 5〜 0 . 2 5 MP a程度に設定することが好ましい。

前記補助ミスト発生部は、前記容器内の液体を前記噴射器へ供給する液体供給路から分岐し、前記容器内の液体を吸引作用で吸込む補助液体供給路に接続され、前記補助液体供給路の内部、または出口側に弁装置またはチェック弁が設けられていることが好ましい。

このようなミスト生成装置によれば、前記噴射器と前記補助ミスト発生部への前記液体の供給量を連動して調整でき、ミスト生成装置を安価に製作することができる。また、前記容器内の圧力が前記補助ミスト発生部へのキャリアガス供給圧力より高くなった場合には、前記補助液体供給路の内部に設置した前記弁装置または出口側に設定したチェック弁を閉じることによって、前記捕助ミスト発生部から前記液体供給路への逆圧を遮断することができる。

本発明の他のミスト生成装置は、ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管と、前記噴射器の下流側に設けられたリリーフ流路と、前記リリ一フ流路内に設置され、前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率または差圧の圧力で作動する定比リリーフ弁または定差リリーフ弁を有する。

このようなミスト生成装置によれば、搬送流路の抵抗が大きすぎる場合でも、噴射器の下流側に設けたリリーフ流路内に設置した定比リリーフ弁または定差リリーフ弁により、容器内の圧力（吐出し圧力）力自動的に適正な圧力になり、これにより、濃度の濃い有効なミストが生成され、小径ドリル等の最少量潤滑（MQ L) 加工を良好に行うことができる。定比リリーフ弁の作動圧力と噴射器へのガス供給圧力との比率は、ミスト生成装置の特性により多少異なるが、 0 . 6〜'0 . 8程度に設定することが好ましい。また、定差リリーフ弁の作動圧力と噴射器へのガス供給圧力との差圧は、ミスト生成装置の特性により多少異なるが、 0 . 1 5 ~ 0 . 2 5 M P a程度に設定することが好ましい。

本発明の更に他のミスト生成装置は、ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管とを備え、前記噴射器は、液体導入ロをスロート直後に設けたラバ/レノズレからなる。

このように、噴射器を、液体導入ロをスロート（ノズルの最狭部）直後に設けたラノノレノズル（末広ノズル）で構成することで、噴射器（ラバルノズル）内部のミスト生成のためのガス流れを超音速流れとなし、噴射器の内部に供給された液体を超音速で分断し霧化して、粒子径の細かい高濃度のミストを生成することができる。前記噴射器の出口に対向した位置に、連続気泡で構成した発泡板を配置してもよい。これにより、前記噴射器から噴射されたミストのうち微細な粒子径のミストは、前記発泡板内を通過あるレヽは偏向して流れて前記容器内に浮遊し、比較的粒径の大きなものは、前記発泡板に吸収され凝縮して前記容器内に落下する。したがって、粒子径分布が非常に小さい径に高い密度で集中しているミストが生成される。なお、前記発泡板は、発泡体の骨の部分のみ（膜を除去）を利用した 3次元網目構造の平板状のスポンジとすることが好ましい。

本発明の更に他のミスト生成装置は、ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管とを備え、前記噴射器は、前記容器内の前記液体を、液体供給路を通して吸引作用により該噴射器の内部に吸込むように構成され、前記液体供給路中にはフロート式の流量計とフロートの浮上を検知するセンサが備えられている。

このようなミスト生成装置によれば、流量計のフロートの浮上をセンサで検知することによって、噴射器へ液体が吸、込まれていることを確認できる。さらに、嘖射器へ液体が吸い込まれているということは、噴射器の内部にミスト生成のためのガスが流れているということであり、これによつて、間接的に、噴射器で正常にミストが生成されてミスト生成装置外に吐出されていることを遠隔監視でき、ミスト生成装置の信頼性を向上させることができる。

本発明のミスト生成装置によれば、噴射器の下流側に捕助ミスト発生部を設けることで、オイルホール径の大きい（流路抵抗の小さい）ドリル等の工具に対して自動的に適正な吐出し圧力で運転することができ、これによつて、使い勝手が向上すると共に、必要に応じてミスト量を追加増量することができるので、サイズの大きい工具に対して最少量潤滑（MQ L) 加工の適用範囲が広がる。

また、本発明のミスト生成装置によれば、ミスト搬送流路から分岐したリリーフ流路に定比リリーフ弁または定差リリーフ弁を設けて、容器内の圧力（吐出し圧力）が自動的に適正な圧力となるようにすることで、オイルホール径の小さい（流路抵抗の大きい）ドリル等の工具に対して自動的に適正な吐出し圧力で運転して、高濃度のミストを生成することができる。その結果、小径ドリル等の流路抵抗が大きい工具に対しても、十分なミスト吐出し量が得られ、小径ドリル等への最少量潤滑 (M Q L) 加工の適用範囲が広がる。図面の簡単な説明

図 1は、本発明の第 1の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。

図 2は、図 1に示すミスト生成装置において、工具としてオイルホール径の大きいドリルを使用した場合のシステムカーブの一例を示す図である。

図 3は、本発明の第 2の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。図 4は、図 3に示すミスト生成装置において、工具としてオイノレホール径の小さいドリルを使用した場合のシステムカーブの一例を示す図である。

図 5は、本発明の第 3の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。図 6は、本発明の第 4の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。図 7は、ミスト生成装置が正常な運転状態で運転されている場合におけるシステムカーブを示す図である。

図 8は、ミスト生成装置が、搬送流路の抵抗が小さくなった状態で運転されている場合におけるシステムカーブを示す図である。

図 9は、ミスト生成装置が、搬送流路の抵抗が大きくなった状態で運転されている場合におけるシステムカーブを示す図である。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の実施の形態のミスト生成装置を図面に基づいて説明する。

図 1は、本発明の第 1の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。このミスト生成装置は、例えばオイルのような液体冷却潤滑剤を供給する液体供給源（オイル源） 2をその下部に収容する容器 1を有している。この容器 1は、カバ一 3によって覆われた圧力容器として構成されている。

オイル源 2の上方に形成された容器 1内の空間 4には、噴射器 1 1がカバー 3に固設して設けられており、加圧空気（ガス）とオイル（液体）の供給を受けて噴射器 1 1から噴射されたミストが該空間 4内に滞留するようになっている。この例では、噴射器 1 1として、液体導入口 1 4をスロート（最狭部） 1 2の直後に設けたラバルノズノレ（末広ノズル）が使用されている。つまり、噴射器 1 1への加圧空気 (ガス) の供給は、ガス供給路 5を介して行われる。そして、加圧空気が噴射器 1 1のスロート 1 2を通過した後、圧力は最小となり、その後、圧力は急上昇し、それから徐々に上昇して噴射器 1 1の出口 1 3に至る。その結果として、噴射器 1 1 のスロート 1 2の直後に設けた液体導入口 1 4に吸引力が発生し、この吸引力によつて、オイルが液体供給路 6を通してオイル源 2から噴射器 1 1の内部に吸引される。

このように、噴射器 1 1を、液体導入口 1 4をスロート 1 2の直後に設けたラバルノズノレ（末広ノズル）で構成することで、噴射器（ラバルノズル） 1 1内部のミスト生成のためのガス流れを超音速流れとなし、噴射器 1 1の内部に液体導入口 1 4から供給された液体を超音速で分断し霧化して、粒子径の細かい高濃度のミストを生成することができる。

噴射器 1 1は、その拡り管 1 5において加圧空気とオイルを混合してミストとして噴射する。噴射器 1 1の出口 1 3の下側には、例えば発泡体の骨の部分のみ（膜を除去）を利用した 3次元網目構造の連続気泡で構成した平板状のスポンジからなる発泡板 1 6が配置されている。発泡板 1 6は、吊下げ口ッド 1 7によりカバー 3 から吊り下げ保持されている。これにより、噴射器 1 1から噴射されたミストのうち微細な粒子径のミストは、発泡板 1 6内を通過あるいは偏向して流れて容器 1内に浮遊し、比較的粒径の大きなものは、発泡板 1 6に吸収され凝縮して容器 1内に落下する。したがって、粒子径分布が非常に小さい径に高い密度で集中しているミストが生成される。

カバー 3には、空間 4内のミストを容器 1から導出するための導管 7および容器内圧力（吐出し圧力）確認用の圧力計 6 0が設けられている。

オイル源 2から噴射器 1 1へ延びる液体供給路 6にはフロート式の流量計 8が設けられている。流量計 8には、流量指示部 8 aと逆流防止機構 8 bが備えられている。また、液体供給路 6には、噴射器 1 1 へ供給するオイルの流量を調整するための可変絞り弁 9と、流量計 8のフロート 8 cの浮上を検知するセンサ 1 0が設けられている。

このように、流量計 8に逆流防止機構 8 bを備えることで、ミスト生成装置が停止した時に液体供給路 6中のオイルがオイル源 2に戻ることを防止して、液体供給路 6を常にオイルで満たされた状態にすることができる。さらに、前述のように、噴射器 1 1は、容器 1内のオイルを、液体供給路 6を通して吸引作用により該噴射器 1 1の内部に吸込むよう構成されており、この液体供給路 6中にフロート式の流量計 8とフロート 8 cの浮上を検知するセンサ 1 0を備えることで、ミスト生成装置が正常にミストを生成していることを遠隔監視することができる。なお、センサ 1 0は、例えば近接スィツチや透過形の光電スィツチであり、周囲環境に応じて選択される。

噴射器 1 1へのガス（加圧空気）の供給は、ガス供給源（加圧空気供給源） 2 0 から延び、内部に、フィルタ 2 1、減圧弁 2 2、圧力計 2 3および 2ポート電磁弁 2 4を設置したガス供給路 5を介して行われる。なお、 2ポート電磁弁 2 4は、ミスト生成装置の運転および停止を操作するためのものであり、用途に応じて 2ポート手動弁としてもよい。

導管 7には、ミスト搬送流路 5 0の一端が接続され、ミスト搬送流路 5 0の他端は、工作機械のロータリジョイント 5 1に接続されている。これにより、ミスト搬送流路 5 0、工作機械のロータリジョイント 5 1及び中空主軸 5 2を通して、例えば、オイルホール径の大きな（流路抵抗の小さい）ドリノレ 5 3 a等の工具のオイルホーノレ 5 4 aからミスト 5 5 aを加工点に噴射できるようになつている。

ミスト搬送流路 5 0内には、補助ミスト発生部としての連結器 4 0が設置されている。この連結器（補助ミスト発生部） 4 0の嘖出口 4 1は、 2ポート電磁弁 2 4 の下流側のガス供給路 5から分岐し、キヤリァガス/液混合部 3 0の内部を延びるキャリアガス供給路 3 1に接続されており、この噴出口 4 1からミスト搬送流路 5 0内にキャリアガス（加圧空気）またはキャリアガス "液混合流体が噴射（噴霧）される。キャリアガス供給路 3 1の内部には、定比減圧弁 3 2およびチェック弁 3 3が設置されている。

ここで、前記減圧弁 2 2は、ガス供給源 2 0から噴射器 1 1へ供給するガス（カロ圧空気）の供給圧力を制御する役割を果たし、前記定比減圧弁 3 2は、ガス供給源 2 0から減圧弁 2 2を介して連結器（補助ミスト発生部） 4 0の噴出口 4 1へ供給するキャリアガス（加圧空気）の供給圧力を制御する役割を果たす。そして、この定比減圧弁 3 2は、減圧弁 2 2の 2次側圧力を一定の比率、例えば、 0 . 6〜 0 . 8程度に減圧した圧力に制御するように構成されている。

これにより、噴射器 1 1へのガス供給圧力の変更に伴って、連結器（補助ミスト発生部） 4 0の噴出口 4 1へのキャリアガス供給圧力が、自動的に適正な圧力（ガス供給圧力を一定の比率で減圧した圧力）となる。これにより、連結器（補助ミスト発生部） 4 0の噴出口 4 1へのキヤリァガス供給圧力の煩雑な調整が不要となり、ミスト生成装置の使い勝手を向上させることができる。

キヤリァガス/液混合部 3 0には、内部にチェック弁 3 5および容積形ポンプ 3 6を備え、オイタンク 3 7に接続されたオイノレ注入路 3 4が備えられている。このオイル注入路 3 4は、チェック弁 3 3と連結器（捕助ミスト発生部） 4 0の噴出口 4 1との間でキャリアガス供給路 3 1と合流している。これにより、容積形ボンプ 3 6を駆動することで、オイルタンク 3 7内に貯蔵されたオイル力キャリアガス供給路 3 1に沿って流れるキャリアガス（加圧空気）の中に注入される。

次に、上記構成のミスト生成装置において、大径ドリル（工具） 5 3 aを使用して加工を行う場合について説明する。

ここで、 2ポート電磁弁 2 4を開いてミスト生成装置を運転すると、減圧弁 2 2 で設定した圧力の加圧空気がガス供給路 5を介して噴射器 1 1に流入するとともに、定比減圧弁 3 2によつて減圧弁 2 2の 2次側圧力に対して所定の比率の圧力に減圧されたカロ圧空気（キヤリァガス）がキヤリァガス供給路 3 1を介して連結器 (補助ミスト発生部） 4 0の噴出口 4 1に供給される。

噴射器 1 1に流入した加圧空気がスロート 1 2を通過することによつて液体導入口 1 4に吸引力が発生し、この吸引力によって、容器 1内のオイルが、液体供給路 6を介してオイル源 2から噴射器 1 1に吸引される。噴射器 1 1は、その拡り管 1 5において、超音速でオイルを微細な粒子に分断し加圧空気とオイル粒子を混合してミストとして噴射する。噴射されたミストのうち ί敷細な粒子径のミストは、容器 1内の空間 4に浮遊し、比較的粒径の大きなものは、発泡板 1 6に吸収され凝縮して容器 1の下部のオイル源 2に落下する。したがって、粒子径分布が非常に小さぃ径に高い密度で集中しているミストが生成される。生成されるミスト（液体微粒子）の量は、流量計 8の指示値を見ながら可変絞り弁 9を調整して噴射器 1 1に流入するオイルの流量を制御することによって変更することができ、加工に必要な最少量で使用される。導管 7から吐出されたミストの移送は、容器 1の内圧を介して行われる。

連結器（補助ミスト発生部） 4 0の噴出口 4 1から噴出された加圧空気（キヤリァガス）は、容器 1の内圧を自動的に適正な圧力に調整し、空間 4内のミストを導管 7の導出方向に向かって加速させる。この場合のミスト生成装置の運転状態は、下記のように、図 2の運転点 C ₄となり、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、噴射器 1 1の能力を十分に発揮した濃度のミストが導管 7から吐出され、ミスト搬送流路 5 0、連結器 4 0、ロータリジョイント 5 1、中空主軸 5 2を経由して、大径ドリル 5 3 aのオイルホール 5 4 aからミスト 5 5 aが加工点に良好な噴射速度で噴射される。

なお、大径ドリル 5 3 aが特にサイズの大きいドリルで、ミスト吐出し量が不足する場合は、キャリアガス/液混合部 3 0の容積形ポンプ 3 6を駆動する。すると、オイルタンク 3 7内のオイルが容積形ポンプ 3 6によってキャリアガス供給路 3 1に注入され、連結器（補助ミスト発生部） 4 0の嘖出口 4 1から追加のミストがミスト搬送方向に噴射されて、大径ドリル 5 3 aのオイルホーノレ 5 4 aから噴射されるミスト 5 5 aの量が増加される。ここで、追加のミスト量の調整は、容積形ポンプ 3 6の吐出し量を、図示しない制御回路で制御することによって行う。

このように、連結器（補助ミスト発生部） 4 0によって、必要に応じてミスト量を追加増量することで、サイズの大きい工具等に対してミスト不足による加工不良が発生するリスクを回避することができる。

図 2は、図 1に示すミスト生成装置におけるシステムカーブの一例であり、工具としてオイルホール径の大きいドリノレ 53 aを使用した場合、すなわち、搬送流路の抵抗（抵抗曲線 R₂) が小さい場合を示す。図 2において、実線の曲線 A₂は、ミスト生成装置の特性曲線である。噴射器 11へのガス供給圧力および抵抗曲線 Rい R₂は、図 8の場合と同一である。ここで、定比減圧弁 32は、減圧弁 2 2の 2次側圧力を一定の比率、例えば、 0. 6 ~ 0. 8程度に減圧した圧力に制御するように構成されている。このため、容器内圧力 P₂のガス供給圧力 Piに対する比 P₂ZP^S—定（例えば、 0. 6〜0. 8) となり、噴射器 11へのガス供給圧力 Piの設定に伴って、容器内圧力 P₂は、自動的に最適な圧力となる。

このとき、ミスト生成装置は運転点 C₄で運転され、ミスト生成装置の容器内圧力（吐出し圧力） P₅は、容器内圧力 P₂とほぼ等しく（P₅^P₂) なる。すなわち、オイルホール径が変わった工具（ドリル）を使用しても、常に最適なミスト吐出し圧力 P₅が維持できる。

ここで、ミスト生成装置から吐出されるミスト風量は Q₃となる。また、噴射器 11から容器 1内に噴射されるミスト風量は、想像線の曲線（補助ミスト発生部 4 0へのキヤリァガス供給圧力が 0の場合の特性曲線）と容器内圧力 P ₂の交点の風量であるとなる。風量差 Q₃— は、補助ミスト発生部 40へのキャリアガスの供給によるミストの加速風量である。この力 [I速風量により、ドリル（工具） 53 aのオイノレホーノレ 54 aからのミスト 55 aの噴射速度を高めて、ミストの加工点への付着性を向上させると共に、切粉等の排除能力を増加させることができる。なお、図 1に示す例では、定比減圧弁 32を設けて、減圧弁 22の 2次側圧力を一定の比率に減圧した圧力に制御するようにした例を示している。この定比減圧弁 32を定差減圧弁に置き換え、この差圧減圧弁で、減圧弁 22の 27火側圧力を一定の HJ3E、例えば 0. 15〜0. 25MP a程度に減圧した圧力に制御するようにしてもよい。これによつても、容器内圧力 P₂のガス供給圧力 Piに対する差圧 P — P ₂が一定（例えば、 0. 15〜0. 25MP a) となるようにして、噴射器 11 へのガス供給圧力 P！の設定に伴って、容器内圧力 P ₂が自動的に最適な圧力となるようにすることができる。

図 3は、本発明の第 2の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。図 3において、図 1と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。この実施の形態のミスト生成装置は、例えばオイルのような液体冷却潤滑剤を供給する液体供給源（オイル源） 2をその下部に収容する容器 1を有している。この容器 1は、力バー 3によつて覆われた圧力容器として構成されている。

オイル源 2の上方に形成された容器 1内の空間 4には、噴射器 11がカバー 3に 5 015036

12 固設して設けられており、加圧空気（ガス）とオイル（液体）の供給を受けて噴射器 1 1から噴射されたミストが該空間 4内に滞留するようになっている。この例では、噴射器 1 1として、液体導入口 1 4をスロート（最狭部） 1 2の直後に設けたラノレノズル（末広ノズル）が使用されている。つまり、噴射器 1 1への加圧空気 (ガス）の供給は、ガス供給路 5を介して行われる。そして、加圧空気が噴射器 1 1のスロート 1 2を通過した後、圧力は最小となり、その後、圧力は急上昇し、それから徐々に上昇して噴射器 1 1の出口 1 3に至る。その結果として、噴射器 1 1 のスロート 1 2の直後に設けた液体導入口 1 4に吸引力が発生し、この吸引力によつて、オイルが液体供給路 6を通してオイル源 2から噴射器 1 1の内部に吸引される。

噴射器 1 1は、その拡り管 1 5において加圧空気とオイルを混合してミストとして噴射する。噴射器 1 1の出口 1 3の下側には、例えば宪泡体の骨の部分のみ（膜を除去）を利用した 3次元網目構造の連続気泡で構成した平板状のスポンジからなる発泡板 1 6が配置されている。発泡板 1 6は、吊下げ口ッド 1 7によりカバー 3 から吊り下げ保持されている。カバー 3には、空間 4内のミストを容器 1から導出するための導管 7および容器内圧力（吐出し圧力）確認用の圧力計 6 0が設けられている。

オイル源 2から噴射器 1 1へ延びる液体供給路 6には、フロート式の流量計 8が設けられている。流量計 8には、流量指示部 8 aと逆流防止機構 8 bが備えられている。また、液体供給路 6には、噴射器 1 1へ供給するオイルの流量を調整するための可変絞り弁 9と、流量計 8のフロート 8 cの浮上を検知するセンサ 1 0が設けられている。

このように、流量計 8に逆流防止機構 8 bを備えることで、ミスト生成装置が停止した時に液体供給路 6中のオイルがオイノレ源 2に戻ることを防止して、液体供給路 6を常にオイルで満たされた状態にすることができる。さらに、フロート 8 cの浮上を検知するセンサ 1 0を設けたことで、ミスト生成装置が正常にミストを生成していることを遠隔監視することができる。なお、センサ 1 0は、近接スィッチや透過形の光電スィツチであり、周囲環境に応じて選択される。

噴射器 1 1へのガス（加圧空気）の供給は、ガス供給源（加圧空気供給源） 2 0 から延ぴ、内部に、フィルタ 2 1、減圧弁 2 2、圧力計 2 3および 2ポート電磁弁 2 4を設置したガス供給路 5を介して行われる。なお、 2ポート電磁弁 2 4は、ミスト生成装置の運転および停止を操作するためのものであり、用途に応じて 2ポート手動弁としてもよい。導管 Ίには、ミスト搬送流路 5 0の一端が接続され、ミスト搬送流路 5 0の他端は、工作機械のロータリジョイント 5 1に接続されている。これにより、ミスト搬送流路 5 0、工作機械のロータリジョイント 5 1及び中空主軸 5 2を通して、例えば、オイルホール径の小さな（流路抵抗の大きい）ドリノレ 5 3 b等の工具のオイノレホーノレ 5 4 bからミスト 5 5 bを加工点に噴射できるようになつている。

ミスト搬送流路 5 0には、途中から分岐してリリーフ流路 6 1が接続されている。このリリーフ流路 6 1内には、噴射器 1 1へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力、例えば、 0 . 6〜0 . 8倍程度の圧力で作動する定比リリーフ弁 6 2、フィルタ 6 4およびドレンポット 6 5が設置されている。定比リリーフ弁 6 2のパイ口ット圧力は、ガス供給源 2◦力、ら噴射器 1 1へのガス供給路 5中の 2ポート電磁弁 2 4の下流側から分岐して定比リリーフ弁 6 2のパイロットポート 6 2 aに接続されたパイロット管路 6 3によって導かれるように構成されている。なお、前記リリーフ流路 6 1は、容器 1内の空間 4に接続するようにしてもよい。

次に、上記構成のミスト生成装置において、小径ドリル（工具） 5 3 bを使用して加工を行う場合について説明する。

ここで、 2ポート電磁弁 2 4を開いてミスト生成装置を運転すると、減圧弁 2 2 で設定した圧力の加圧空気がガス供給路 5を介して噴射器 1 1に流入しミストが生成される。このとき、容器 1の内圧が上昇し噴射器 1 1への加圧空気（ガス）供給圧力に対して所定の比率、例えば、 0 . 7倍程度の圧力に到達すると、自動的に定比リリーフ弁 6 2が作動して、ミスト搬送流路 5 0内を流れるミストの一部がリリーフ流路 6 1を通してリリーフされ、これによつて、容器 1内の圧力が適正な圧力に維持される。ここで、リリーフ流路 6 1を通してリリーフされたミストは、フィルタ 6 4で空気とオイルに分離され、分離された空気は排気口 6 4 aから放出される。また、フィルタ 6 4で分離されたオイルは、ドレンポット 6 5に回収され再利用される。

この場合のミスト生成装置の運転状態は、下記のように、図 4の運転点 C ₅となり、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、導管 7から小径ドリルに対して十分な風量と濃度のミストが吐出され、ミスト搬送流路 5 0、ロータリジョイント 5 1、中空主軸 5 2を経由して、小径ドリノレ 5 3 bのオイノレホーノレ 5 4 bからミスト 5 5 bが加工点に噴射され良好な加工が行える。

図 4は、図 3に示すミスト生成装置におけるシステムカーブの一例であり、工具としてオイルホール径の小さいドリノレ 5 3 bを使用した場合、すなわち、搬送流路の抵抗（抵抗曲線 R ₃) が大きすぎる場合に、上記の定比リリーフ弁 6 2により、容器内の圧力（吐出し圧力）を適正化した時のミスト生成装置の特性曲線 A iと搬送流路の抵抗曲線を併記したシステムカーブを示す。図 4において、噴射器へのガス供給圧力 P i、搬送流路の抵抗（抵抗曲線 R ₃) は、図 9に示す場合と同一である。また、図 4中の抵抗曲,線 R ₄は、前記定比リリーフ弁 6 2の抵抗と搬送流路の抵抗（抵抗曲線 R ₃) を合成した合成抵抗曲線である。

ここで、定比リリーフ弁 6 2は、噴射器 1 1へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力、例えば、 0 . 6 - 0 . 8倍程度の圧力で作動するように構成されている。このため、容器内圧力 P ₆のガス供給圧力 P _αに対する比 Ρ ₆ΖΡ が一定（例えば、 0 . 6〜0 . 8 ) となり、噴射器 1 1へのガス供給圧力 Ρ！の設定に伴つて容器内圧力 Ρ ₆は自動的に最適な圧力となる。

このとき、ミスト生成装置は運転点 c ₅で運転され、ミスト生成装置の容器内圧力（吐出し圧力） Ρ ₆は、常にほぼ一定となる。すなわち、オイルホール径が変わつた工具（ドリル）を使用しても、常に最適なミスト吐出し圧力 Ρ ₆が維持できる。これによつて、噴射器 1 1の内部でミスト生成に必要な十分なガス流速が得られ、噴射器 1 1で生成されるミストは濃度の濃い良好なものとなる。

ここで、噴射器 1 1から容器 1内に噴射されるミスト風量はとなる。また、ミスト生成装置から、ミスト搬送流路 5 0を通って、小径ドリル 5 3 b等の工具のオイルホール 5 4 bより噴射されるミスト 5 5 bの風量は、ミスト生成装置の容器内圧力 P ₆と抵抗曲線 R 3との交点の風量 Q ₄となる。風量差 Q i— Q ₄は、前記定比リリーフ弁 6 2から容器外に放出されるガスの風量である。

図 4と図 9を比較参照すると、図 4の場合、ミスト生成装置からミスト搬送流路 5 0を通って小径ドリル 5 3 b等の工具のオイルホール 5 4 bより噴射されるミスト 5 5 bの風量 Q ₄は、図 9の場合より若干減少する。しかし、噴射器 1 1から容器 1内に噴射されるミスト風量は大きくなり、噴射器 1 1の内部でミスト生成に必要な十分なガス流速が得られ、このため噴射器 1 1から濃度の濃い有効なミストが生成される。その結果、ミスト生成装置からミスト搬送流路 5 0を通って、例えば小径ドリノレ 5 3 b等の工具のオイルホール 5 4 bより噴射されるミスト（液体微粒子）吐出し量（ミスト生成装置から搬送流路を通って小径ドリル等の工具のオイルホールより噴射されるミスト風量と濃度の積）は増加する。これによつて、小径ドリル 5 3 b等の加工に対して十分なミスト吐出し量が得られる。

なお、図 3に示す例では、リリーフ流路 6 1に、噴射器 1 1へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力で作動する定比リリーフ弁 6 2を設けた例を示している。この定比リリーフ弁 6 2を、噴射器 1 1へのガス供給圧力に対して一定の差圧、例えば 0 . 1 5 ~ 0 . 2 5 M P a程度の差圧で作動する定差リリーフ弁に置き換えてもよレ、。これによつても、容器内圧力 P ₆のガス供給圧力に対する差圧 P — P ₆が一定（例えば、 0 . 1 5〜0 . 2 5 M P a ) となるようにして、噴射器 1 1 へのガス供給圧力 P の設定に伴って、容器内圧力 P ₆が自動的に最適な圧力となるようにすることができる。

図 5は、本発明の第 3の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。図 5において、図 1と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。この実施の形態のミスト生成装置は、例えばオイルのような液体冷却潤滑剤を供給する液体供給源 (オイル源） 2をその下部に収容する容器 1を有している。この容器 1は、カバー 3によって覆われた圧力容器として構成されている。

オイル源 2の上方に形成された容器 1内の空間 4には、噴射器 1 1がカバー 3に固設して設けられており、カロ圧空気（ガス）とオイル（液体）の供給を受けて噴射器 1 1から噴射されたミストが該空間 4内に滞留するようになっている。この例では、噴射器 1 1として、液体導入口 1 4をスロート（最狭部） 1 2の直後に設けたラバルノズル（末広ノズル）が使用されている。つまり、噴射器 1 1への加圧空気 (ガス）の供給は、ガス供給路 5を介して行われる。そして、加圧空気が噴射器 1 1のスロート 1 2を通過した後、圧力は最小となり、その後、圧力は急上昇し、それから徐々に上昇して噴射器 1 1の出口 1 3に至る。その結果として、噴射器 1 1 のスロート 1 2の直後に設けた液体導入口 1 4に吸引力が発生し、この吸引力によつて、オイルが液体供給路 6を通してオイル源 2から噴射器 1 1の内部に吸引される。

このように、噴射器 1 1を、液体導入口 1 4をスロート 1 2の直後に設けたラバルノス 'ノレ（末広ノズル）で構成することで、噴射器（ラバルノズル） 1 1内部のミスト生成のためのガス流れを超音速流れとなし、噴射器 1 1の内部に液体導入口 1 4から供給された液体を超音速で分断し霧ィ匕して、粒子径の細かい高濃度のミストを生成することができる。

噴射器 1 1は、その拡り管 1 5において加圧空気とオイルを混合してミストとして噴射する。噴射器 1 1の出口 1 3の下側には、例えば発泡体の骨の部分のみ（膜を除去）を利用した 3次元網目構造の連続気泡で構成した平板状のスポンジからなる発泡板 1 6が配置されている。発泡板 1 6は、吊下げ口ッド 1 7によりカバー 3 から吊り下げ保持されている。これにより、噴射器 1 1から噴射されたミストのうち微細な粒子径のミストは、発泡板 1 6内を通過あるいは偏向して流れて容器 1内に浮遊し、比較的粒径の大きなものは、発泡板 1 6に吸収され凝縮して容器 1内のオイル源 2に落下する。したがって、粒子径分布が非常に小さい径に高い密度で集中しているミストが生成される。

オイル源 2から噴射器 1 1へ延びる液体供給路 6にはフロート式の流量計 8が設けられている。流量計 8には、流量指示部 8 aと逆流防止機構 8 bが備えられてレ、る。また、液体供給路 6には、噴射器 1 1へ供給するオイルの流量を調整するための可変絞り弁 9と、流量計 8のフロート 8 cの浮上を検知するセンサ 1 0が設けられている。

このように、流量計 8に逆流防止機構 8 bを備えることで、ミスト生成装置が停止した時に液体供給路 6中のオイルがオイノレ源 2に戻ることを防止して、液体供給路 6を常にオイルで満たされた状態にすることができる。さらに、前述のように、噴射器 1 1は、容器 1内のオイルを、液体供給路 6を通して吸引作用により該噴射器 1 1の内部に吸込むよう構成されており、この液体供給路 6中にフロート式の流量計 8とフロート 8 cの浮上を検知するセンサ 1 0を備えることで、ミスト生成装置が正常にミストを生成していることを遠隔監視することができる。なお、センサ 1 0は、例えば近接スィツチや透過形の光電スィツチであり、周囲環境に応じて選択される。

噴射器 1 1へのガス（加圧空気）の供給は、ガス供給源（加圧空気供給源） 2 0 から延ぴ、内部に、フイノレタ 2 1、減圧弁 2 2、圧力計 2 3および 2ポート電磁弁 2 4を設置したガス供給路 5を介して行われる。なお、 2ポート電磁弁 2 4は、ミスト生成装置の運転および停止を操作するためのものであり、用途に応じて 2ポート手動弁としてもよレ、。

導管 7には、ミスト搬送流路 5 0の一端が接続され、ミスト搬送流路 5 0の他端は、工作機械のロータリジョイント 5 1に接続されている。これにより、ミスト搬送流路 5 0、工作機械のロータリジョイント 5 1及び中空主軸 5 2を通して、例えば、オイルホール径の大きな（流路抵抗の小さい）ドリノレ 5 3 a等の工具のオイルホール 5 4 aからミスト 5 5 aを加工点に噴射できるようになつている。

容器 1の内部には、ガス供給源 2 0から供給されるガス（加圧空気）をキャリアガスとして使用し、このキャリアガスと容器 1内のオイルの供給を受けて補助ミストを容器 1内に噴霧する補助ミスト発生部 7 1が設けられている。補助ミスト発生部 7 1へのキヤリァガスの供給は、 2ポート電磁弁 2 4の下流側のガス供給路 5から分岐し、内部に 2ポート電磁弁 8 1、定比減圧弁 8 2及びチェック弁 8 3を設置 5036

17 したキャリアガス供給路 8 0を通して行われる。そして、この補助ミスト発生部 7 1内に供給されたキャリアガスは、絞り部 7 2を通過した後、出口 7 3から噴霧される。

ここで、前記減圧弁 2 2は、ガス供給源 2 0から噴射器 1 1へ供給するガス（カロ圧空気）の供給圧力を制御する役割を果たし、前記定比減圧弁 8 2は、ガス供給源 2 0から減圧弁 2 2を介して補助ミスト発生部 7 1へ供給するキヤリァガス（加圧空気）の供給圧力を制御する役割を果たす。そして、この定比減圧弁 8 2は、減圧弁 2 2の 2次側圧力を一定の比率、例えば、 0 . 6〜0 . 8程度に減圧した圧力に制御するように構成されている。

なお、この定比減圧弁 8 2を定差減圧弁に置き換え、この差圧減圧弁で、減圧弁 2 2の 2次側圧力を一定の差圧、例えば 0 . 1 5〜 0 . 2 5 M P a程度に減圧した圧力に制御するようにしてもよいことは前述と同様である。

これにより、噴射器 1 1へのガス供給圧力の変更に伴って、補助ミスト発生部 7 1へのキャリアガス供給圧力が自動的に適正な圧力（ガス供給圧力を一定の比率で減圧した圧力）となる。これにより、補助ミスト発生部 7 1へのキャリアガス供給圧力の煩雑な調整が不要となり、ミスト生成装置の使い勝手を向上させることがでさる。

補助ミスト発生部 7 1への液体の供給は、可変絞り弁 9の下流側の液体供給路 6 から分岐し、絞り部 7 2の下流側で、補助ミスト発生部 7 1の液体導入口 7 4に接続された補助液体供給路 9 0を通して行われる。補助液体供給路 9 0中には、補助ミスト発生部 7 1へのキャリアガス供給圧力と容器 1内の圧力をパイロット圧として、補助ミスト発生部 7 1へのキャリアガス供給圧力が容器 1内の圧力より大きい場合のみ開くようにしたパイロット開閉弁 9 1が設けられている。これにより、容器 1内の圧力が補助ミスト発生部 7 1へのキヤリァガス供給圧力より高くなつた場合には、自動的に前記パイ口ット開閉弁 9 1が閉じて、補助ミスト発生部 7 1 から液体供給路 6への逆圧を遮断することができる。

なお、前記パイ口ット開閉弁 9 1の代用として、チェック弁や電磁弁等の弁手段を使用してもよい。

ここで、 2ポート電磁弁 2 4及び 8 1を開いてミスト生成装置を運転すると、減圧弁 2 2で設定した圧力の加圧空気がガス供給路 5を介して噴射器 1 1に流入するとともに、定比減圧弁 8 2によって減圧弁 2 2の 2次側圧力に対して所定の比率の圧力に減圧された加圧空気（キヤリァガス）がキヤリァガス供給路 8 0を介して補助ミスト発生部 7 1に供給される。

噴射器 1 1に流入した加圧空気がスロート 1 2を通過することによつて液体導入口 1 4に吸引力が発生し、この吸引力によって、容器 1内のオイルが、液体供給路 6を介してオイル源 2から噴射器 1 1に吸引される。噴射器 1 1は、その拡り管 1 5において、超音速でオイルを微細な粒子に分断し加圧空気とオイル粒子を混合してミストとして噴射する。嘖射されたミストのうち微細な粒子径のミストは、容器 1内の空間 4に浮遊し、比較的粒径の大きなものは、発泡板 1 6に吸収され凝縮して容器 1の下部のオイル源 2に落下する。したがって、粒子径分布が非常に小さぃ径に高い密度で集中しているミストが生成される。生成されるミスト（液体微粒子）の量は、流量計 8の指示値を見ながら可変絞り弁 9を調整して噴射器 1 1に流入するオイルの流量を制御することによって変更することができ、加工に必要な最少量で使用される。導管 7から吐出されたミストの移送は、容器 1の内圧を介して行われる。

補助ミスト発生部 7 1の出口 7 3から噴出された加圧空気（キャリアガス）は、容器 1の内圧を自動的に適正な圧力に調整し、空間 4内のミストを導管 7の導出方向に向かって加速させる。また、補助ミスト発生部 7 1に流入した加圧空気（キヤリアガス）が絞り部 7 2を通過したとき、断面積の拡大によって吸引力が発生し、この吸引力によってオイルが液体供給路 6から分岐した補助液体供給路 9 0を通つて補助ミスト発生部 7 1に吸引される。補助ミスト発生部 7 1は、その出口 7 3 において加圧空気（キャリアガス）とオイルを混合してミスト（補助ミスト）として噴射する。このことによって、増量されたミストが導管 7から適正な圧力で吐出され、ミスト搬送流路 5 0、ロータリジョイント 5 1、中空主軸 5 2を経由して、大径ドリノレ 5 3 aのオイルホール 5 4 aからミスト 5 5 aが加工点に良好な噴射速度で噴射される。

図 6は、本発明の第 4の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。図 6に示す例の図 5に示す例と異なる点は、図 5に示す例のミスト生成装置におけるパイ口ット開閉弁 9 1の代わりに、チェック弁 7 6を補助ミスト発生部 7 1の出口側に設けた点にある。その他の構成は、図 5に示す例と同様であるので、ここではその説明を省略する。

この例にあっては、容器 1内の圧力が補助ミスト発生部 7 1へのキャリアガス供給圧力より高くなつた場合に、チェック弁 7 6が自動的に閉じて、補助ミスト発生部 7 1から液体供給路 6への逆圧を遮断することができる。産業上の利用可能性

本発明のミスト生成装置は、マシニングセンタ、旋盤等の工作機械の工具や被加工物を冷却および潤滑するためのミストを生成するのに使用される。

Claims

請求の範囲

1 . ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、

前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管と、

前記噴射器の下流側に設けられた補助ミスト発生部を有することを特徴とするミスト生成装置。

2. 前記補助ミスト発生部は、前記導管に接続されてミストを搬送するミスト搬送流路内に設けられていることを特徴とする請求項 1に記載のミスト生成装置。

3 . 前記補助ミスト発生部は、キヤリァガス/液混合部から送られたキヤリァガス/液混合流体を前記ミスト搬送流路内に噴霧する噴出口を有する連結器からなることを特徴とする請求項 2に記載のミスト生成装置。

4 . 前記キヤリァガス/液混合部は、前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率または差圧の圧力にキヤリァガスを減圧する定比減圧弁または定差減圧弁と、この減圧したキヤリァガスの流れの中に液体を注入する容積形ポンプを有することを特徴とする請求項 3に記載のミスト生成装置。

5 . 前記補助ミスト発生部は、前記噴射器へのガス供給路から分岐して移送され、定比減圧弁または定差減圧弁を介し前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率または差圧の圧力に減圧されたキヤリァガスと前記容器内の液体の供給を受けて補助ミストを前記容器内に噴霧するように構成されていることを特徴とする請求項 1に記載のミスト生成装置。

6 . 前記補助ミスト発生部は、前記容器内の液体を前記噴射器へ供給する液体供給路から分岐し、前記容器内の液体を吸引作用で吸込む補助液体供給路に接続され、前記補助液体供給路の内部、または出口側に弁装置またはチェック弁が設けられていることを特徴とする請求項 5に記載のミスト生成装置。

7. ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、

前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管と、

前記噴射器の下流側に設けられたリリーフ流路と、

前記リリーフ流路内に設置され、前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率または差圧の圧力で作動する定比リリーフ弁または定差リリーフ弁を有することを特 ί敷とするミスト生成装置。

8 . ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、

前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管とを備え、

前記噴射器は、液体導入口をスロート直後に設けたラバルノズルからなることを特徴とするミスト生成装置。

9 . 前記噴射器の出口に対向する位置に、連続気泡で構成した発泡板を配置したことを特徴とする請求項 8に記載のミスト生成装置。

1 0 . ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、

前記噴射器は、前記容器内の前記液体を、液体供給路を通して吸引作用により該噴射器の内部に吸込むように構成され、前記液体供給路中にはフロート式の流量計とフロートの浮上を検知するセンサが備えられていることを特徴とするミスト生成装置。