WO2006001434A1 - フィルム光導波路及びその製造方法並びに電子機器装置 - Google Patents

フィルム光導波路及びその製造方法並びに電子機器装置 Download PDF

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film optical
cladding layer
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Yoshihisa Ishida
Akira Enami
Tamio Fujisaki
Hayami Hosokawa
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Definitions

  • the present invention relates to a film optical waveguide and a method for manufacturing the same.
  • the present invention also relates to an electronic apparatus apparatus using the film optical waveguide.
  • Optical communication technology is also used for long-distance communication that crosses the country and medium-distance communication within a region. However, at short communication distances, it can also be used for optical signal transmission between devices and between devices. Used.
  • Elastomer is a general term for polymer materials having rubber-like elasticity at room temperature, and generally refers to materials having a low bending elastic modulus such as rubbers.
  • the reason why the bending elastic modulus of the elastomer is low will be described.
  • the polymer molecules undergo a Brownian motion at room temperature where the glass transition temperature is low. In other words, the elastomer is fluid.
  • the polymer molecules constituting the elastomer have fluidity because the molecular chains are chemically cross-linked, but the fluidity is partial. Therefore, the elastomer has a rubber-like property that it can be bent easily even though it is solid.
  • Elastomers are obtained by irradiating the precursor monomers and oligomers by energy irradiation. Obtained by curing.
  • monomers and oligomers are crosslinked by hydrogen bonds between hydrophilic groups, and many precursors also contain hydrophilic groups in the molecule.
  • the mixture of precursors has a low viscosity due to hydrogen bonding between the hydrophilic groups, and exhibits a property of high viscosity. When this precursor mixture is cured by irradiation with energy, it becomes a rubber-like elastomer having a small bending elasticity.
  • FIG. 1 (a) to 1 (g) are schematic cross-sectional views for explaining a conventionally proposed method for manufacturing a film optical waveguide.
  • a clad material 12 is dropped on a substrate 11 as shown in FIG.
  • the clad material 12 is a monomer or oligomer that is a precursor of a low refractive index elastomer.
  • FIG. 1B the clad material 12 on the substrate 11 is thinly stretched by a spin coater, and the clad material 12 is cured by energy irradiation to obtain the lower clad layer 13.
  • the surface of the lower cladding layer 13 is patterned to form the concave groove 14, and then, as shown in FIG. A core material 15 having a refractive index higher than that of the cladding layer 13 is filled.
  • the core material 15 is a monomer or oligomer that is a polymer precursor having a higher refractive index than that of the lower cladding layer 13.
  • this core material 15 is irradiated with energy, the core material 15 is cured and a core 16 having a refractive index higher than that of the lower cladding layer 13 is formed in the concave groove 14 as shown in FIG.
  • FIG. 1 (c) the surface of the lower cladding layer 13 is patterned to form the concave groove 14, and then, as shown in FIG.
  • a core material 15 having a refractive index higher than that of the cladding layer 13 is filled.
  • the core material 15 is a monomer or oligomer that is a polymer precursor having a higher refractive index than that of the lower cla
  • the same cladding material 12 (elastomer precursor) as the lower cladding layer 13 is dropped and spread thinly by spin coating. After that, the clad material 12 is cured by irradiating energy, and an upper clad layer 17 made of the clad material 12 is formed as shown in FIG.
  • the thickness of the cladding layer obtained by spin coating can be reduced.
  • the viscosity of the elastomer precursor is reduced, the flexural modulus of the cured elastomer (cladding layer) increases, and eventually it is difficult to obtain a film optical waveguide that can be bent with a small radius of curvature. there were.
  • a thin film optical waveguide 18 is intentionally obtained by such a manufacturing method, after the lower cladding layer 13 is cured and the upper cladding layer 17 is cured, the lower cladding layer 13 and the upper cladding layer 17 are formed. Many processes were required to obtain a thin film optical waveguide 18 that could only be thinned by polishing or the like, and there was a problem in productivity.
  • Patent Document 1 discloses a force using a urethane-based ultraviolet curable resin as a core material.
  • the thickness of only one clad substrate is 1.5 mm, and the radius of curvature is small. I can't expect to bend it.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 10-90532
  • the present invention has been made in view of the technical problems as described above, and an object of the present invention is to provide a film optical waveguide that can be bent with a small radius of curvature and a method for manufacturing the same. is there.
  • a film optical waveguide according to the present invention has at least one of a lower clad layer and an upper clad layer formed of an elastomer having a flexural modulus of l, OOOMPa or less, and the upper clad layer and the lower clad layer.
  • the total film thickness is 300 m or less.
  • the film optical waveguide of the present invention at least one of the upper cladding layer and the lower cladding layer is formed by an elastomer having a flexural modulus of 1,000 MPa or less, and the upper and lower cladding layers Since the sum of the film thicknesses is as thin as 300 m or less, the film optical waveguide can be bent with a small radius of curvature (for example, several mm or less). Therefore, in a portable small device or the like, the film optical waveguide can be wired along the surface of the component or by sewing the gap between the components.
  • a core may be formed. If the core is made of an elastomer with a flexural modulus of l, OOOMPa or less, the core will bend easily, and the film optical waveguide can be bent with a smaller radius of curvature.
  • the bending elastic modulus of the core is larger than the bending elastic modulus of the upper cladding layer and the lower cladding layer.
  • the deformation of the core can be kept small even when the film optical waveguide is stretched or twisted. And loss of light propagating through the core can be reduced.
  • a first method for producing a film optical waveguide of the present invention includes a step of supplying a precursor having a monomer or oligomer power of an elastomer having a flexural modulus after curing of ⁇ , ⁇ Pa or less to the substrate,
  • the stamper is pressed against the elastomer precursor, and the stamper applies pressure to the elastomer precursor to reduce the thickness of the elastomer precursor, and the elastomer precursor is cured to lower the cladding layer.
  • the substrate is not limited to a glass substrate or the like for forming the lower cladding layer, but may be a surface plate of an apparatus for forming the lower cladding layer. This substrate is preferably finally removed from the film light guide.
  • a lower cladding layer having a bending elastic modulus of less than or equal to 1,000 MPa and a small thickness can be obtained, and a film optical waveguide that can be bent with a small radius of curvature can be manufactured.
  • the second film optical waveguide manufacturing method of the present invention includes a step of forming a lower cladding layer, a step of forming a core on the lower cladding layer, and a bending elastic modulus after curing of l, OOOMPa.
  • the elastomer precursor is pressed and thinned with a stamper while using an elastomer having a flexural modulus of ⁇ , ⁇ Pa or less.
  • an upper cladding layer having a thin film thickness (for example, a film thickness of 150 m or less) can be obtained. Therefore, according to the present invention, it is possible to obtain a thin upper cladding layer having a flexural modulus of 1,000 MPa or less and a film optical waveguide that can be bent with a small radius of curvature. .
  • a precursor having a monomer or oligomer power of an elastomer having a flexural modulus after curing of ⁇ , ⁇ Pa or less is supplied to the first substrate.
  • a step of pressing a stamper against the precursor of the elastomer and applying a pressure to the precursor of the elastomer with the stamper to reduce a thickness of the precursor of the elastomer, and a precursor of the elastomer A step of forming a lower cladding layer by curing the body, a step of supplying a precursor made of a monomer or oligomer of an elastomer having a flexural modulus of less than l000 MPa to the second substrate after curing, A step of pressing a stamper against the precursor of the elastomer supplied to the substrate of 2 and reducing the film thickness of the precursor of the elastomer by applying pressure to the precursor of the elastomer with the stamper; Forming an upper clad layer by curing the precursor of the E elastomer supplied to the plate, said lower cladding layer also Comprises a step of bonding the lower clad layer and the upper clad layer so as to sandwich the core formed in
  • the substrate is not limited to the glass substrate for forming the upper cladding layer or the lower cladding layer, but may be a surface plate of an apparatus for forming the upper cladding layer or the lower cladding layer. This substrate should also finally remove the film optical waveguide forces.
  • the elastomer precursor is pressed and thinned with a stamper while using an elastomer having a flexural modulus of ⁇ , ⁇ Pa or less.
  • an upper cladding layer and a lower cladding layer having a thin film thickness (for example, a film thickness of 150 m or less) can be obtained. Therefore, according to the present invention, it is possible to obtain an upper cladding layer and a lower cladding layer having a flexural modulus of l, OOOMPa or less and having a small thickness, and manufacturing a film optical waveguide that can be bent with a small radius of curvature. be able to.
  • the force that causes the upper cladding layer and the lower cladding layer to warp due to the internal stress generated by the pressure from the stamper is formed by pressing with a stamper, and then the upper cladding layer is turned upside down and bonded onto the lower cladding layer.
  • the warpage of the lower cladding layer can be offset and the occurrence of warpage in the film optical waveguide can be suppressed.
  • a precursor having a monomer or oligomer power of an elastomer having a flexural modulus after curing of ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ , ⁇ Pa or less is supplied to the first substrate.
  • a step of pressing a stamper against the precursor of the elastomer and applying a pressure to the precursor of the elastomer with the stamper to reduce a thickness of the precursor of the elastomer, and a precursor of the elastomer A step of forming a lower cladding layer by curing the body, a step of supplying a precursor made of a monomer or oligomer of an elastomer having a flexural modulus of l, OOOMPa or less after curing to the second substrate, A step of pressing a stamper against the precursor of the elastomer supplied to the substrate of 2 and reducing the film thickness of the precursor of the elastomer by applying pressure to the precursor of the elastomer with the stamper; Forming an upper clad layer by curing the precursor of the E elastomer supplied to the plate, and the upper cladding layer and the lower cladding layer bonded together in the core material, the upper cladding and the lower cladding layer And
  • the elastomer precursor is pressed and thinned with a stamper while using an elastomer having a flexural modulus of ⁇ , ⁇ Pa or less.
  • an upper cladding layer and a lower cladding layer having a thin film thickness (for example, a film thickness of 150 m or less) can be obtained. Therefore, according to the present invention, it is possible to obtain an upper cladding layer and a lower cladding layer having a flexural modulus of 1,000 MPa or less and having a small thickness, and manufacturing a film optical waveguide that can be bent with a small radius of curvature. be able to.
  • the core is formed of the core material at the same time by bonding the lower cladding layer and the upper cladding layer with the core material.
  • the molding of the core with the material and the joining work of the upper and lower cladding layers with the core material can be performed at a time, and the manufacturing process of the film optical waveguide can be reduced and the manufacturing process can be rationalized.
  • a film optical waveguide module according to the present invention is characterized in that the film optical waveguide according to the present invention and a light projecting element or a light receiving element are arranged and integrated so as to be optically coupled. .
  • the film optical waveguide module of the present invention a film optical waveguide module having a thin optical waveguide portion and excellent bending performance can be obtained.
  • the optical waveguide portion is not easily damaged even if the rotating portion is repeatedly rotated, and the durability of the device can be improved.
  • a first electronic device is a foldable electronic device device in which one member and the other member are rotatably connected by a rotating part, and pass through the rotating part.
  • the film optical waveguide according to the present invention is wired between one member and the other member.
  • the optical waveguide device of the present invention a film optical waveguide having a thin thickness and excellent bending performance can be obtained. Therefore, the optical waveguide device has a rotating portion such as a hinge portion. When used in an electronic device, the film optical waveguide is less likely to be damaged even if the rotating portion is repeatedly rotated, and the durability of the electronic device can be improved.
  • the second optical waveguide device according to the present invention is an electronic device apparatus having a moving part in an apparatus main body, wherein the moving part and the apparatus main body are formed by the film optical waveguide according to claim 1 or 2. It is characterized by optical coupling.
  • the film optical waveguide according to the present invention a film optical waveguide having a thin thickness and excellent bending performance can be obtained. Therefore, the optical waveguide device can be used as an electronic device having a moving part. When used, even if the film optical waveguide is repeatedly deformed along with the movement of the moving part, the film optical waveguide is damaged ⁇ and the durability of the electronic device can be improved.
  • FIG. 1 (a) to FIG. 1 (g) are schematic cross-sectional views for explaining a film optical waveguide manufacturing method according to a conventional example.
  • FIGS. 2 (a) to 2 (d) are schematic cross-sectional views sequentially illustrating the production steps of a film optical waveguide according to Example 1 of the present invention.
  • FIG. 3 (a) to FIG. 3 (e) are schematic cross-sectional views for explaining the steps following FIG. 2 (a) to FIG. 2 (d).
  • FIG. 4 is a chemical formula showing a part of a group contained in a monomer and an oligomer of an elastomer precursor used in a clad material.
  • FIG. 5 (a) to FIG. 5 (d) are schematic cross-sectional views showing the manufacturing process of the upper cladding layer in Example 2 of the present invention.
  • FIGS. 6 (a) to 6 (e) show a lower cladding layer formed on a substrate and an upper cladding layer formed on another substrate in Example 2 of the present invention.
  • FIG. 6 is a schematic cross-sectional view for explaining a process of manufacturing a film optical waveguide by laminating and.
  • FIGS. 7 (a) to 7 (e) show a lower cladding layer formed on a substrate and an upper cladding layer formed on another substrate in Example 3 of the present invention.
  • FIG. 6 is a schematic cross-sectional view for explaining a process of manufacturing a film optical waveguide by laminating and.
  • FIG. 8 is a schematic cross-sectional view illustrating a modification of the present invention.
  • FIG. 9 shows a film optical waveguide module for one-way communication according to Example 4 of the present invention.
  • FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing a part of the film optical waveguide module shown in FIG. 9 in an enlarged manner.
  • Fig. 11 (a) schematically shows a film optical waveguide in which the core is deformed by a tensile force
  • Fig. 11 (b) is a film optical waveguide in which the deformation of the core due to the tensile force is reduced. It is the figure which represented the path typically.
  • FIG. 12 is a plan view showing a film optical waveguide module for two-way communication according to Example 4 of the present invention.
  • FIG. 13 is a perspective view of a mobile phone that is Embodiment 5 of the present invention.
  • FIG. 14 is a schematic diagram showing a circuit configuration of the mobile phone according to the embodiment.
  • FIG. 15 is a perspective view schematically showing a state in which the display unit side and the operation unit side of the mobile phone are connected by a film optical waveguide.
  • FIG. 16 is a schematic view showing the structure of another mobile phone according to the fifth embodiment of the present invention.
  • FIG. 17 (a) shows a state in which the film optical waveguide in the mobile phone is twisted.
  • FIG. 17 (b) is an enlarged view showing a cross section taken along line XX of FIG. 17 (a).
  • FIG. 18 is an explanatory view showing the length a W of the twisted region of the film optical waveguide.
  • FIG. 19 is a diagram showing the relationship between the ratio ⁇ of the length of the twisted region to the width of the film optical waveguide and the required limit value of the elastic modulus.
  • FIG. 20 (a) and FIG. 20 (b) are schematic views showing the structure of still another mobile phone according to Embodiment 5 of the present invention, and FIG. 20 (a) is folded in two.
  • FIG. 20 (b) is a diagram showing the state, and FIG.
  • FIG. 21 is a perspective view of a printer that is Embodiment 6 of the present invention.
  • FIG. 22 is a schematic diagram showing a circuit configuration of the printer of the above.
  • FIG. 23 (a) and FIG. 23 (b) are perspective views showing how the film optical waveguide is deformed when the print head of the printer is moved.
  • FIG. 24 is a perspective view of a hard disk device that is Embodiment 7 of the present invention.
  • FIG. 25 is a diagram showing an example of a connection form of a film optical waveguide to an electronic circuit board. is there.
  • FIG. 26 is a view showing another example of the connection form of the film optical waveguide to the electronic circuit board.
  • FIG. 27 is a view showing still another example of the connection form of the film optical waveguide to the electronic circuit board.
  • FIG. 28 is a perspective view showing another method of using the film optical waveguide according to the present invention.
  • FIG. 29 is a side view showing a flexible composite transmission line in which a film optical waveguide and a flexible printed wiring board according to the present invention are overlapped.
  • FIGS. 2 and 3 are schematic cross-sectional views for explaining a method for manufacturing a film optical waveguide according to the first embodiment of the present invention.
  • a flat substrate 21 having translucency such as a glass substrate is prepared.
  • a clad material 22 is applied on the substrate 21 as shown in FIG.
  • the cladding material 22 used in Example 1 is a mixture of a urethane monomer and urethane oligomer containing a group as shown in FIG. 4 and a polymerization initiator, and the flexural modulus after curing is l, OOOMPa or less. It is the precursor of elastomer.
  • the cladding material 22 is an ultraviolet curable type.
  • the stamper (molding die) 23 is pressed against the cladding material 22 and the stamper 23 is pressed between the substrate 21 and the stamper 23.
  • the clad material 22 is thinly spread and the clad material 22 is made thin. Since a convex pattern 24 for forming a concave groove in the lower cladding layer is formed on the lower surface of the stamper 23, a concave groove 25 is formed on the upper surface of the cladding material 22 pressed by the stamper 23. .
  • the cladding material 22 is also cured by irradiating the cladding material 22 with ultraviolet energy through the substrate 21.
  • the stamper 23 is separated from the lower clad layer 26 as shown in FIG. 2 (d).
  • a concave groove 25 is formed on the upper surface of the lower cladding layer 26 by the convex pattern 24.
  • the core material 27 is filled into the concave grooves 25 of the lower cladding layer 26.
  • the core material 27 is a monomer or oligomer that is a polymer precursor having a higher refractive index than that of the lower cladding layer 26, and is an ultraviolet curable polymer precursor.
  • an elastomeric precursor having a refractive index higher than that of the lower clad layer 26 and having a flexural modulus after curing of 1, OOOMPa or less V may be used.
  • the core material 27 is irradiated with ultraviolet energy as shown in FIG. Harden,
  • the core 28 is formed in the concave groove 25 by the core material 27.
  • the same cladding material 22 as that used in the case of the lower cladding layer 26 is applied on the lower cladding layer 26 and the core 28, and FIG.
  • the upper force stamper 29 is pressed against the cladding material 22 to apply pressure to reduce the thickness of the cladding material 22.
  • the cladding material 22 is cured by irradiating the cladding material 22 with ultraviolet energy to form the upper cladding layer 30.
  • the stamper 29 is separated from the upper clad layer 30, and the substrate 21 is peeled off from the lower clad layer 26 to form a film, whereby a film optical waveguide 31 as shown in FIG. 3 (e) is obtained.
  • the viscosity of the cladding material 22 is low.
  • the bending modulus of the lower clad layer 26 and the upper clad layer 30 is as small as l and OOOMPa, so that the viscosity of the precursor of the elastomer becomes high.
  • the film thickness of the clad material 22 can be forcibly thinned and the film thickness can be increased even if the viscosity is about 30, OOcP. Can be reduced to 150 m or less. Therefore, the thickness of the film optical waveguide 31 is 300 ⁇ m or less, and the film optical waveguide 31 can be bent with a small radius of curvature.
  • the film optical waveguide 31 of Example 1 using an elastomer having a bending elastic modulus of l and OOOMPa even when an elastomer having a precursor viscosity of 30, OOcP or less is used, the film light guide is used.
  • the thickness of the waveguide 31 could be reduced to about 250 mm.
  • the minimum radius of curvature when the film optical waveguide 31 was bent in the thickness direction was about 3 mm. Note that if the film is bent to have a smaller radius of curvature, the film optical waveguide will be bent.
  • the obtained film optical waveguide could be bent until the radius of curvature was about 2 mm. Furthermore, when an elastomer having a flexural modulus of 200 MPa or less was used, the obtained film optical waveguide could be bent until the radius of curvature was about lmm.
  • Example 1 the cladding material 22 supplied on the substrate 21 and the cladding material 22 supplied on the lower cladding layer 26 were immediately pressed by the stampers 23 and 29.
  • the clad material 22 is thinned by a spin coater and then pressed by stampers 23 and 29. You may leave. If the spin coater is used in combination, the upper and lower cladding layers 30 and 26 can be made thinner, so that the minimum bending curvature of the film optical waveguide can be made smaller.
  • both the upper cladding layer 30 and the lower cladding layer 26 are formed by an elastomer having a flexural modulus of 1 and OOOMPa or less. Only one of them may be formed by an elastomer having a flexural modulus of l and OOOMPa or less. In that case, the modified clathrate having a flexural modulus of force Sl, 000 MPa or less can be used for the clad layer on the side not using the elastomer.
  • FIG. 5 and FIG. 6 are diagrams for explaining a method of manufacturing a film optical waveguide according to the second embodiment of the present invention.
  • the lower clad layer 26 shown in FIG. 6 (a) is a lower clad layer 26 manufactured on the substrate 21 by the same process as in FIGS. 2 (a) to 3 (b) of the first embodiment.
  • a core 28 is formed on the upper surface.
  • the upper clad layer 30 shown in FIG. 6 (b) is manufactured on the substrate 32 by the steps shown in FIGS. 5 (a) to 5 (d). That is, the clad material 22 is applied on a flat substrate 32 having a light transmitting property such as a glass substrate as shown in FIG.
  • This clad material 22 is a mixture of a urethane monomer and urethane oligomer containing a group as shown in FIG. 4 and a polymerization initiator, and is an elastomer having a flexural modulus of 1, which is less than OOOMPa after curing. It is a precursor.
  • a flat stamper 33 is pressed against the cladding material 22, and pressure is applied to the stamper 33 so that the cladding material 22 is thinly spread between the substrate 32 and the stamper 33 to form a film. Reduce the thickness.
  • the cladding material 22 is cured by irradiating the cladding material 22 with ultraviolet energy through the substrate 32.
  • the stamper 33 is separated from the upper clad layer 30 as shown in FIG.
  • the stamper 33 is separated, the upper clad layer 30 having a flat upper surface is formed on the substrate 32.
  • an ultraviolet curable type monomer or oligomer that is a precursor of a polymer having a refractive index lower than that of the core material 27 is used on the lower cladding layer 26 and the core 28.
  • the upper surface of the upper cladding layer 30 is turned upside down with the substrate 32, and the upper surface of the upper surface of the upper surface of the upper surface of the upper surface of the upper surface of the upper surface of the upper surface of the adhesive resin 34 is sandwiched between the lower cladding layer 26 and the upper cladding layer 30. Thin Push out.
  • the adhesive resin 34 is irradiated with ultraviolet energy through the substrate 21 or 32, and the adhesive resin 34 is cured.
  • the lower cladding layer 26 is bonded.
  • the front and back substrates 32 and 21 are peeled off from the upper cladding layer 30 and the lower cladding layer 26, respectively, to form a film, and a film optical waveguide 35 as shown in FIG. 6 (e) is obtained.
  • FIG. 7 is a view for explaining a method of manufacturing a film optical waveguide according to Embodiment 3 of the present invention.
  • the lower cladding layer 26 shown in FIG. 7 (a) is the lower cladding layer 26 manufactured on the substrate 21 by the same process as in FIGS. 2 (a) to 2 (d) of the first embodiment.
  • a concave groove 25 is formed on the upper surface.
  • the upper cladding layer 30 shown in FIG. 7 (b) is the upper cladding layer 30 manufactured on the substrate 32 by the same process as in FIGS. 5 (a) to 5 (d) of the second embodiment.
  • Example 3 as shown in FIG. 7C, the core material 27 is applied to the region of the groove 25 on the upper surface of the lower cladding layer 26 in FIG. 7A.
  • the core material 27 is a monomer or oligomer that is a polymer precursor having a higher refractive index than the lower cladding layer 26 and the upper cladding layer 30, and is an ultraviolet curable resin.
  • the upper clad layer 30 is turned upside down together with the substrate 32 and overlapped on the core material 27.
  • the core material 27 is sandwiched between the lower clad layer 26 and the upper clad layer 30, and the core material 27 is placed in the groove 25.
  • core material 27 is thinly spread over the entire upper and lower cladding layers 30 and 26.
  • FIG. 7 (d) ultraviolet energy is applied to the core material 27 through the substrate 21 or 32.
  • the core material 27 is cured, and the core 28 is formed in the concave groove 25 by the core material 27 and the upper cladding layer 30 and the lower cladding layer 26 are bonded.
  • the front and back substrates 32 and 21 are peeled off from the upper cladding layer 30 and the lower cladding layer 26, respectively, to form a film, thereby obtaining a film optical waveguide 36 as shown in FIG. 7 (e).
  • the molding of the core 28 with the core material 27 and the joining operation of the upper cladding layer 30 and the lower cladding layer 26 with the core material 27 can be performed at one time. 36 manufacturing processes can be reduced. Therefore, according to Example 3, the manufacturing process of the film optical waveguide 36 can be rationalized.
  • a recess 37 for allowing the core material 27 to escape may be provided on at least one side of the groove 25 provided in the lower cladding layer 26. Good.
  • the core material 27 is supplied into the concave groove 25 of the lower cladding layer 26 and then the core material 27 is pressed by the stamper 38 or the upper cladding layer 30 to form the core 28 in the concave groove 25, the excess in the concave groove 25 The core material 27 is extruded from the groove 25.
  • the extruded core material 27 becomes a thick resin film between the upper surface of the lower cladding layer 26 and the stamper 38, the optical signal in the core 28 leaks through this resin film, and the film optical waveguide Reliability decreases.
  • the excess core material 27 can be quickly pushed out of the concave groove 25 and escape to the depression 37.
  • the resin film between the upper surface of the layer 26 and the stamper 38 can be sufficiently thinned by pressing for a short time, and the reliability of the film optical waveguide can be improved.
  • the location where the recess for allowing the core material to escape is not limited to the upper surface of the lower cladding layer 26, but may be the stamper 38 or the upper cladding layer.
  • the hydroxy group, carboxyl group, carboxyl group, amino group, imino group are formed on the upper clad layer 30 or the core 28 that is in contact with the lower clad layer 26 made of elastomer. If a modified acrylate resin containing a hydrogen bonding group such as this is used, the adhesion of the interface contacting the lower cladding layer 26 can be improved. Similarly, a hydrogen bonding group such as a hydroxy group, a carboxyl group, a carboxylic group, an amino group, or an imino group is formed on the lower cladding layer 26 or the core 28 that is in contact with the upper cladding layer 30 made of elastomer. If the resin containing it is used, the adhesion of the interface in contact with the upper cladding layer 30 can be improved. Can do.
  • FIG. 9 is a plan view showing a film optical waveguide module for one-way communication according to Embodiment 4 of the present invention
  • FIG. 10 is a schematic sectional view showing a part thereof enlarged.
  • the film optical waveguide module 91 includes a light projecting element 93 mounted on one wiring substrate 92 and a light receiving element 95 mounted on the other wiring substrate 94, with both ends of the film optical waveguide 96 according to the present invention. By connecting, the film optical waveguide 96 connects the wiring boards 92 and 94 together.
  • a driving IC 97 and a surface light emitting type light emitting element 93 such as VCSEL are mounted on the wiring substrate 92 on the transmission side.
  • the light emitting direction of the light projecting element 93 is substantially perpendicular to the upper surface of the wiring board 92.
  • one end of the film light guide 96 is cut at an angle of 45 °, the end of the film light guide 96 is parallel to the wiring board 92, and 45 °
  • the surface 100 is fixed on the support base 98 so that the surface 100 cut in an oblique direction faces upward.
  • the surface 100 of the core 28 cut at 45 ° is located on the optical axis of the light beam emitted from the light projecting element 93.
  • an amplification IC 99 and a light receiving element 95 are mounted on the reception-side wiring board 94.
  • the other end of the film light guide 96 is also cut at an angle of 45 °, the end of the film light guide 96 is parallel to the wiring board 94, and the surface cut at 45 ° is diagonal. It is fixed on a support base (not shown) so as to face upward.
  • the light receiving element 95 is located directly below the surface of the core 28 cut at 45 °.
  • the electric signal input to the driving IC 97 is converted into an optical signal (modulated light) and the optical signal is emitted from the light projecting element 93
  • the light emitted from the light projecting element 93 is converted into a film optical waveguide.
  • the optical signal entering the core 28 is totally reflected by the surface cut at 45 ° of the core 28, so that the traveling direction is bent in a direction substantially parallel to the length direction of the core 28, and is combined with the core 28. .
  • the optical signal coupled to one end of the film optical waveguide 96 propagates through the core 28 and reaches the other end of the film optical waveguide 96.
  • the light reaching the other end of the film light guide 96 is totally reflected by the 45 ° cut surface of the core 28 and directed downward from the other end of the film light guide 96.
  • the light is received by the light receiving element 95.
  • the optical signal received by the light receiving element 95 is converted into an electric signal.
  • the electric signal is amplified by the amplifying IC 99 and then output from the wiring board 94 to the outside.
  • the wiring board 92 and the wiring board 94 are not necessarily installed on the same plane, but the film light guide is provided even if the wiring boards 92 and 94 are installed on an arbitrary plane.
  • an optical signal can be transmitted from the wiring board 92 side to the wiring board 94 side.
  • the film optical waveguide module 91 of the present invention the bending elastic moduli of the upper and lower cladding layers 30 and 26 are as small as 1 / OOOMPa or less, so that the number of bows I is small as shown in FIG. 11 (a).
  • the film optical waveguide module 91 is extended only by applying a tension, and the width of the film optical waveguide module 91 is reduced.
  • the core 28 is also stretched and its core diameter is reduced, or the core cross section is deformed.
  • the mode of the propagating optical signal changes and the optical signal transmission characteristics deteriorate.
  • the bending elastic modulus of the core 28 is made larger than the bending elastic modulus of the upper and lower cladding layers 30 and 26. That is, the bending elastic modulus of the upper and lower cladding layers 30 and 26 is set to 1, OOOMPa or less, and the bending elastic modulus of the core 28 is made larger than the bending elastic modulus of the upper and lower cladding layers 30 and 26. As a result, the rigidity of the upper and lower cladding layers 30 and 26 is lower than that of the core 28, and the force of the core 28 is not directly fixed to the wiring boards 92 and 94.
  • the film optical waveguide module 91 for one-way communication has been described.
  • a film optical waveguide module for two-way communication may be used.
  • both wiring boards 92 and 94 both have a driving and amplification IC 102 having functions of a driving IC and an amplification IC, and a light emitting element. 93 and a light receiving element 95 are mounted.
  • one core 28 connects the light projecting element 93 of the wiring board 92 and the light receiving element 95 of the wiring board 94, and the other core connects the wiring board 94.
  • the light emitting element 93 and the light receiving element 95 of the wiring board 92 are connected. Therefore, according to the film optical waveguide module 101, an electric signal input to one of the wiring substrates 92 or 94 is propagated as an optical signal through the film optical waveguide module 101, and the other wiring substrate 94 or It is restored to an electrical signal from 92 and output.
  • the light-emitting element and the light-receiving element are connected by the film optical waveguide! /
  • the film optical waveguide module has been described, but both ends are connected to the optical connector mounted on the circuit board.
  • the circuit boards may be connected to each other.
  • FIG. 13 is a perspective view showing a foldable mobile phone 41 that can be folded in half
  • FIG. 14 is a schematic configuration diagram thereof.
  • a display unit 44 including a liquid crystal display panel 42 and a digital camera 43, and an operation unit 47 including a key panel 45 such as a numeric keypad and an antenna 46 are rotatably connected by a hinge unit 48. It has a structure.
  • the digital camera 43 is provided on the back side of the liquid crystal display panel 42.
  • an external memory 49 is mounted in the display unit 44, and an integrated circuit (LSI) 50 for receiving communication functions and inputs from the key panel 45 and executing the respective functions in the operation unit 47. Is installed.
  • LSI integrated circuit
  • Example 5 In the cellular phone 41 shown in FIG. 14, the film optical waveguide 51 according to the present invention is used to connect the operation unit 47 side and the display unit 44 side, as shown in FIG. That is, the integrated circuit 50 in the operation unit 47, the liquid crystal display panel 42 in the display unit 44, the digital camera 43, and the external memory 49 are connected by the film optical waveguide 51 so that transmission / reception can be performed with an optical signal. .
  • the film optical waveguide 51 needs to pass through the hinge portion 48.
  • the hinge portion 48 is formed by bending a film optical waveguide 51 in a spiral shape as shown in FIG.
  • the flat film optical waveguide 51 may be wound around an indicator rod or the like and attached with a curl. Since the film optical waveguide 51 according to the present invention can be bent so as to have a small radius of curvature, there is no possibility that the film optical waveguide 51 will be damaged even if it is formed in a spiral shape in this way.
  • the film optical waveguide 51 of the present invention has a high bending performance, there is little risk of the film optical waveguide 51 being damaged even when the cellular phone 41 is repeatedly opened and closed. Furthermore, since the film optical waveguide 51 is formed in a spiral shape at the hinge portion 48, the film optical waveguide 51 is difficult to apply a large load to the film optical waveguide 51 at the hinge portion 48 even when the cellular phone 41 is opened and closed. Durability is further improved.
  • the mobile phone 41 is not limited to the display unit 44 and the operation unit 47 folded in two, and the display unit 44 can be folded in a plane parallel to the operation unit 47 and folded. It may be.
  • FIG. 16 is a schematic diagram showing a different example of the mobile phone 111.
  • This mobile phone 111 is a two-axis rotary type mobile phone.
  • the display unit 44 and the operation unit 47 can be folded and expanded in half by the hinge unit 48.
  • the display section 44 can be rotated around the axial direction orthogonal to the axial direction of the hinge section 48 by the hinge section 112.
  • an optical connector 114 is provided on the wiring board 113 accommodated in the operation unit 47, and the optical connector 116 is provided on the wiring board 115 accommodated in the display unit 44. Is provided.
  • the optical connector 117 provided at one end of the film optical waveguide 51 is coupled to the optical connector 114, and the optical connector 118 provided at the other end of the film optical waveguide 51 is coupled to the optical connector 116.
  • the wiring board 11 3 of the operation unit 47 and the wiring board 115 of the display unit 44 are connected via 51. When the display unit 44 and the operation unit 47 are opened, the film optical waveguide 51 connects the wiring substrate 113 and the wiring substrate 115 almost straight.
  • the film optical waveguide 51 is bent and bent, and when the display unit 44 is rotated by the hinge unit 112, a film is formed.
  • the optical waveguide 51 is twisted.
  • the flexural modulus of the upper and lower clad layers 30 and 26 of the film optical waveguide 51 is l, OOOMPa or less! / Therefore, the film optical waveguide 51 is easily bent or twisted with a small external force.
  • the core diameter can be adjusted even if the film optical waveguide 51 is pulled or twisted.
  • the transmission characteristics of the film optical waveguide 51 whose shape is difficult to change, are unlikely to deteriorate. That is, when the film optical waveguide 51 is twisted as shown in FIG. 17 (a), the film optical waveguide 51 is deformed as shown in FIG. 17 (b), and the core 28 is also deformed. There is a risk that the transmission characteristics of the will deteriorate.
  • the core shape will change even if the film optical waveguide 51 is twisted. (The film transmission characteristics deteriorate due to deformation of the core shape when the film optical waveguide 51 is pulled are as described above.)
  • the width of the film optical waveguide 51 is W
  • the length of the twisted portion of the total length of the film optical waveguide 51 is a XW.
  • the value of a is preferably as small as possible.
  • the value of a is smaller than about 1, the shape of the twisted film optical waveguide 51 is distorted, and the transmission characteristics are deteriorated. Therefore, it is desirable to reduce the wiring space occupied by the film optical waveguide 51 so that the value of a is as close to 1 as possible. There is a relationship as shown in FIG.
  • the bending elastic modulus of the upper and lower cladding layers 30 and 26 should be approximately 250 MPa or less in order to make the value of ⁇ close to 1.
  • the bending and elasticity of the upper and lower cladding layers 30 and 26 of the film optical waveguide 51 are set to 250 MPa or less, so that the value of a approaches 1 without causing poor connection of the optical connectors 117 and 118. Can be small.
  • the hinge portion 48 can be made smaller.
  • the film light guide 51 has a natural length with no slack.
  • the film optical waveguide 51 is wound around the hinge portion 48, whereby a tensile force is applied to the film optical waveguide 51.
  • the bending elastic modulus of the core 28 is made smaller than the bending elastic modulus of the upper and lower cladding layers 30 and 26, as described in the part of FIGS. 11 (a) and 11 (b).
  • the deformation of the core 28 can be reduced, and the deterioration of the transmission characteristics of the film optical waveguide 51 can be reduced.
  • FIG. 21 is a perspective view of a printer 61 that is Embodiment 6 of the present invention.
  • the print head 62 is fixed on a support portion 65, and the support portion 65 travels left and right along a guide bar 63. Also, print information is sent from the printer main body 64 to the print head 62.
  • the control unit 66 and the print head 62 in the printer main body 64 are connected to the film light guide according to the present invention. Connected by waveguide 51.
  • the dot density (dpi) is increased, and the printing speed is increased, the amount of signal transmitted from the printer main body 64 to the print head 62 is increased rapidly. As a result, a large-capacity signal can be transmitted to the print head 62 at high speed.
  • FIG. 24 is a perspective view of a hard disk device 71, which is Embodiment 7 of the present invention.
  • a data reading head driving device 73 is installed in the vicinity of the hard disk 72, and the tip of the reading head 74 extended from the data reading head driving device 73 faces the surface of the hard disk 72.
  • one end of the film light guide 51 is connected to the circuit board 75 on which the control circuit is mounted, and the other end of the film light guide 51 passes through the base of the read head 74 to the optical element at the tip of the read head 74. It is connected.
  • the film light guide 51 has a function of transmitting data (optical signal) between the circuit board 75 and the read head 74 when reading or writing data stored in the hard disk 72.
  • the data stored in the hard disk device 71 has a large capacity.
  • the flexible printed circuit board that has been used as a conventional data transmission line has a limited transmission density, and the number of flexible printed circuit boards is increased for use in the data transmission line of a hard disk drive that has a large capacity.
  • There is a problem in bending performance and size because there is only a means to increase the force and the force to increase the size.
  • the film optical waveguide 51 it is possible to realize a data transmission path having flexibility and a small force and a large capacity.
  • FIG. 25 to FIG. 27 show an embodiment showing the connection form of the film optical waveguide 51 to the electronic circuit board. That is, in the form shown in FIG. 25, the film optical waveguide 51 is bent to connect the separate electronic circuit boards 82 and 83 in the device 81. In the form shown in FIG. 26, the front and back of the electronic circuit board 82 are connected by the film optical waveguide 51. In the form shown in FIG. 27, the electronic circuit board 82 and the connector 84 are connected by the film optical waveguide 51. In any of these connection forms, high-speed and large-capacity communication can be realized between electronic circuit boards located in a limited space.
  • FIG. 28 is an example showing another method of using the film optical waveguide 51 according to the present invention.
  • Example 9 in the electronic circuit board 86 having the concavo-convex part 85 on the film optical waveguide 51, for example, in the electronic circuit board 86 having the concavo-convex part 85 formed by mounting an electronic component or the like, A film optical waveguide 51 is installed along the line. According to the embodiment, it can be used for a transmission line connecting the electronic circuit boards on which the electronic components are mounted, and high-speed and large-capacity communication within the electronic circuit board can be realized.
  • FIG. 29 is an example showing still another method of using the film optical waveguide 51 according to the present invention.
  • the film optical waveguide 51 is overlaid on the flexible electronic circuit board 86. According to such a form, it is overlaid on the flexible electronic circuit board 86. According to such a configuration, it is possible to realize a flexible composite transmission line that has power transmission and calculation functions by the flexible electronic circuit board 86 and also has a high-speed, large-capacity communication function.

Abstract

 図4に示すような基を含むウレタンモノマー及びウレタンオリゴマーと重合開始剤との混合物であって、硬化後の曲げ弾性率が1,000MPa以下となるエラストマーの前駆体をクラッド材料として用いる。基板の上にこのクラッド材料を塗布し、上からスタンパで押えてクラッド材料を薄く押し広げる。このクラッド材料が硬化して下クラッド層が形成された後、下クラッド層の上にコアを形成する。ついで、下クラッド層の上に上記クラッド材料を塗布し、上からスタンパで押えてクラッド材料を薄く押し広げ、このクラッド材料を硬化させて上クラッド層を得る。最後に、基板を除去して小さな曲率半径でまげることのできるフィルム光導波路を得る。

Description

明 細 書
フィルム光導波路及びその製造方法並びに電子機器装置
技術分野
[0001] 本発明は、フィルム光導波路及びその製造方法に関する。また、本発明は、前記フ イルム光導波路を用いた電子機器装置に関する。
背景技術
[0002] 近年においては、高速で大容量のデータ通信が可能な光通信技術の進歩が著しく 、その光通信網も拡大を続けている。光通信技術は、国土を横断するような長距離通 信や地域内での中距離通信にも用いられるが、通信距離の短いところでは、機器内 部や機器間での光信号伝送などにも用いられて 、る。
[0003] 携帯用機器や小型機器などにおいては、各種部品が密に配置されているので、部 品間の狭い隙間を縫うようにして配線しなければならない。そのため、電気配線として はフレキシブルプリント配線基板が広く用いられている。同様に、機器内部や機器間 などの短距離で光信号を伝送するためには、フレキシブルなフィルム光導波路が望 まれている。特に、携帯用小型機器の内部に光導波路を配線する場合には、省スぺ ース化のために部品表面を這わせるようにして配線する場合も多ぐ小さな曲率半径 で屈曲可能な、ポリマーフィルム光導波路が求められて 、る。
[0004] 一方、高 、屈曲性能を持ち、変形が容易な材料としては、エラストマ一(elastomer) が挙げられる。エラストマ一とは、常温でゴム状弾性を持つ高分子材料の総称であつ て、一般に、ゴム類のように曲げ弾性率が低いものをいう。ここで、エラストマ一の曲 げ弾性率が低い理由について述べる。エラストマ一は、ガラス転移温度が低ぐ室温 では、そのポリマー分子はブラウン運動を起こしている。つまり、エラストマ一は、流動 性を呈している。一方、エラストマ一を構成するポリマー分子は、その分子鎖どうしが 化学的に架橋されているので、流動性を呈するもののその流動性は部分的である。 よって、エラストマ一は、固体でありながら容易に屈曲可能というゴム状の性質を有し ている。
[0005] エラストマ一は、その前駆体であるモノマーやオリゴマーを、エネルギー照射によつ て硬化させることにより得られる。エラストマ一は、モノマーやオリゴマーが親水基どう しの水素結合で結ばれて架橋しているものが多ぐその前駆体も分子中に親水基を 含むものが多い。前駆体の混合物は、その親水基どうしが水素結合するため流動性 が低くなり、高粘度という性質を呈する。そして、この前駆体の混合物が、エネルギー 照射されて硬化すると、曲げ弾性の小さなゴム状のエラストマ一となるのである。
[0006] よって、エラストマ一を用いれば、小さな曲率半径で屈曲可能なフィルム光導波路 を製造できると考えられる。図 1 (a)〜図 1 (g)は、従来提案されているフィルム光導波 路の製造方法を説明する概略断面図である。この製造方法では、まず図 1 (a)に示 すように、基板 11の上にクラッド材料 12を滴下する。このクラッド材料 12は、低屈折 率のエラストマ一の前駆体であるモノマーやオリゴマーである。ついで、図 1 (b)に示 すように、基板 11の上のクラッド材料 12をスピンコータにより薄く伸ばし、エネルギー 照射によりクラッド材料 12を硬化させて下クラッド層 13を得る。この後、図 1 (c)に示 すように、下クラッド層 13の表面をパターユングして凹溝 14を形成し、ついで、図 l (d )に示すように、凹溝 14内に下クラッド層 13より屈折率の高いコア材料 15を充填させ る。このコア材料 15は、下クラッド層 13よりも屈折率の高いポリマーの前駆体であるモ ノマーやオリゴマーである。このコア材料 15にエネルギーを照射すると、図 1 (e)に示 すように、コア材料 15が硬化して凹溝 14内に下クラッド層 13よりも屈折率の高いコア 16が形成される。ついで、図 1 (f)に示すように、下クラッド層 13及びコア 16の上に、 下クラッド層 13と同じクラッド材料 12 (エラストマ一の前駆体)を滴下し、これをスピン コートにより薄く広げた後、クラッド材料 12にエネルギーを照射することによって硬化 させ、図 1 (g)に示すようにクラッド材料 12からなる上クラッド層 17を形成してフィルム 光導波路 18を製造する。
[0007] 小さな曲率半径で曲げることのできるフィルム光導波路としては、曲げ弾性率が 1,0 OOMPa以下のエラストマ一を用いることが望ましい。し力し、このようなエラストマ一の 前駆体では、粘度が1,000じ?(= 10?& ' 3)程度と高くなるため、かかるエラストマ一 を上クラッド層 17ゃ下クラッド層 13に用 、た場合には、スピンコートによって得られる クラッド層の膜厚はせいぜい 600 μ m程度までしか薄くすることができず、厚みが 1,2 00 m以下の薄いフィルム光導波路を得ることは困難であった。そのため、曲げ弹 性率が l,000MPa以下のエラストマ一を用いたとしても、その厚みのために小さな曲 率半径で曲げることはできな力つた。
[0008] 一方、エラストマ一の前駆体の粘度を小さくすれば、スピンコートによって得られるク ラッド層の膜厚を薄くすることができる。しかし、エラストマ一の前駆体の粘度を小さく すると、硬化後のエラストマ一 (クラッド層)の曲げ弾性率が大きくなり、結局、小さな曲 率半径で曲げることのできるフィルム光導波路を得ることは困難であった。
[0009] よって、スピンコート法を用いる従来のフィルム光導波路の製造方法では、前駆体 の粘度が大きなエラストマ一を用いると、クラッド層の膜厚を薄くすることができず、逆 に、前駆体の粘度が小さなエラストマ一を用いると、クラッド層の曲げ弾性率が大きく なる。そのため、いずれにしても曲率半径が数 mm程度の小さな曲率半径で曲げるこ とのできるフィルム光導波路を製作することはできな力つた。
[0010] このような製造方法で、あえて薄いフィルム光導波路 18を得ようとすれば、下クラッ ド層 13の硬化後ゃ上クラッド層 17の硬化後に、下クラッド層 13ゃ上クラッド層 17を研 磨などで薄片化するしか方法がなぐ薄いフィルム光導波路 18を得るために多くのェ 程が必要となり、生産性に問題があった。
[0011] なお、特許文献 1には、コア材料としてウレタン系紫外線硬化榭脂を用いたものが 開示されている力 この光導波路では一方のクラッド基板の厚みだけでも 1.5mmあり 、小さな曲率半径で曲げることは期待できな 、。
[0012] 特許文献 1 :特開平 10— 90532号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0013] 本発明は上記のような技術的課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするとこ ろは、小さな曲率半径で曲げることのできるフィルム光導波路とその製造方法を提供 することにある。
課題を解決するための手段
[0014] 本発明に力かるフィルム光導波路は、曲げ弾性率が l,OOOMPa以下のエラストマ 一により下クラッド層と上クラッド層のうち少なくとも一方の層が形成され、上クラッド層 と下クラッド層の膜厚の和が 300 m以下であることを特徴としている。 [0015] 本発明のフィルム光導波路にあっては、上クラッド層又は下クラッド層の少なくとも 一方が、曲げ弾性率 l,000MPa以下のエラストマ一によつて形成されており、し力も 、上下クラッド層の膜厚の和が 300 m以下に薄くなつているので、フィルム光導波 路を小さな曲率半径 (例えば、数 mm以下)で曲げることが可能になる。よって、携帯 用小型機器内などにおいて、フィルム光導波路を部品の表面に沿って、あるいは、 部品の隙間を縫って配線することが可能になる。
[0016] 本発明のフィルム光導波路のある実施態様においては、前記下クラッド層と前記上 クラッド層の間に、両クラッド層よりも屈折率が高ぐ曲げ弾性率が l,OOOMPa以下の エラストマ一によりコアが形成されていてもよい。コアの曲げ弾性率が l,OOOMPa以 下のエラストマ一によつて形成されていると、コアも曲がり易くなるので、フィルム光導 波路をより小さな曲率半径で曲げることが可能になる。
[0017] 本発明のフィルム光導波路の別な実施態様においては、前記コアの曲げ弾性率が 前記上クラッド層及び前記下クラッド層の曲げ弾性率よりも大きくなつている。かかる 実施態様では、コアの曲げ弾性率が上クラッド層及び下クラッド層の曲げ弾性率より も大きくなつているので、フィルム光導波路が伸びたり捻れたりしたときでも、コアの変 形を小さく抑えることができ、コアを伝搬する光の損失を小さくすることができる。
[0018] 本発明の第 1のフィルム光導波路の製造方法は、硬化後の曲げ弾性率が Ι,ΟΟΟΜ Pa以下のエラストマ一の、モノマー又はオリゴマー力もなる前駆体を基板に供給する 工程と、前記エラストマ一の前駆体にスタンパを押し当て、スタンパによってエラストマ 一の前駆体に圧力を加えてエラストマ一の前駆体の膜厚を薄くする工程と、前記エラ ストマーの前駆体を硬化させて下クラッド層を形成する工程と、前記下クラッド層の上 にコアを形成する工程と、前記下クラッド層及びコアの上に上クラッド層を形成するェ 程とを備えたことを特徴としている。なお、基板は下クラッド層を成形するためのガラス 基板等に限らず、下クラッド層を成形するための装置の定盤などでもよい。この基板 は最後にフィルム光導波路から除去するのが望ましい。
[0019] 曲げ弾性率 l,OOOMPa以下のエラストマ一を用いると、エラストマ一の前駆体の粘 度が比較的大きくなり、エラストマ一によつて形成されたクラッド層の厚みを薄くするこ とが困難になる。しかし、本発明の第 1のフィルム光導波路の製造方法においては、 曲げ弾性率が l,000MPa以下のエラストマ一を用いながらも、エラストマ一の前駆体 をスタンパで押圧して薄くすることで、薄い膜厚 (例えば、 150 m以下の膜厚)の下 クラッド層を得ることができる。従って、本発明によれば、曲げ弾性率が l,000MPa以 下で、かつ、厚みの薄い下クラッド層を得ることができ、小さな曲率半径で曲げること のできるフィルム光導波路を製造することができる。
[0020] 本発明の第 2のフィルム光導波路の製造方法は、下クラッド層を形成する工程と、 前記下クラッド層の上にコアを形成する工程と、硬化後の曲げ弾性率が l,OOOMPa 以下のエラストマ一の、モノマー又はオリゴマー力 なる前駆体を前記下クラッド層及 び前記コアの上に供給する工程と、前記エラストマ一の前駆体にスタンパを押し当て 、スタンパによってエラストマ一の前駆体に圧力をカ卩えてエラストマ一の前駆体の膜 厚を薄くする工程と、前記エラストマ一の前駆体を硬化させて上クラッド層を形成する 工程とを備えたことを特徴として ヽる。
[0021] 本発明の第 2のフィルム光導波路の製造方法においては、曲げ弾性率が Ι,ΟΟΟΜ Pa以下のエラストマ一を用いながらも、エラストマ一の前駆体をスタンパで押圧して薄 くすることで、薄い膜厚 (例えば、 150 m以下の膜厚)の上クラッド層を得ることがで きる。従って、本発明によれば、曲げ弾性率が l,000MPa以下で、かつ、厚みの薄 ぃ上クラッド層を得ることができ、小さな曲率半径で曲げることのできるフィルム光導 波路を製造することができる。
[0022] 本発明の第 3のフィルム光導波路の製造方法は、硬化後の曲げ弾性率が Ι,ΟΟΟΜ Pa以下のエラストマ一の、モノマー又はオリゴマー力もなる前駆体を第 1の基板に供 給する工程と、前記エラストマ一の前駆体にスタンパを押し当て、前記スタンパによつ てエラストマ一の前駆体に圧力を加えてエラストマ一の前駆体の膜厚を薄くする工程 と、前記エラストマ一の前駆体を硬化させて下クラッド層を形成する工程と、硬化後の 曲げ弾性率が l,000MPa以下のエラストマ一の、モノマー又はオリゴマーからなる前 駆体を第 2の基板に供給する工程と、第 2の基板に供給された前記エラストマ一の前 駆体にスタンパを押し当て、前記スタンパによってエラストマ一の前駆体に圧力をカロ えてエラストマ一の前駆体の膜厚を薄くする工程と、第 2の基板に供給された前記ェ ラストマーの前駆体を硬化させて上クラッド層を形成する工程と、前記下クラッド層又 は前記上クラッド層に形成されたコアを挟みこむようにして、前記下クラッド層と前記 上クラッド層を貼り合わせる工程とを備えたことを特徴としている。なお、基板は上クラ ッド層ゃ下クラッド層を成形するためのガラス基板等に限らず、上クラッド層や下クラッ ド層を成形するための装置の定盤などでもよい。この基板は最後にフィルム光導波路 力も除去するのが望ましい。
[0023] 本発明の第 3のフィルム光導波路の製造方法においては、曲げ弾性率が Ι,ΟΟΟΜ Pa以下のエラストマ一を用いながらも、エラストマ一の前駆体をスタンパで押圧して薄 くすることで、薄い膜厚 (例えば、 150 m以下の膜厚)の上クラッド層及び下クラッド 層を得ることができる。従って、本発明によれば、曲げ弾性率が l,OOOMPa以下で、 かつ、厚みの薄い上クラッド層及び下クラッド層を得ることができ、小さな曲率半径で 曲げることのできるフィルム光導波路を製造することができる。
[0024] また、上クラッド層ゃ下クラッド層を成形する際には、スタンパからの圧力によって発 生する内部応力により上クラッド層ゃ下クラッド層に反りが発生する力 第 3のフィルム 光導波路の製造方法によれば、スタンパで押圧して上クラッド層と下クラッド層をそれ ぞれ成形した後、上クラッド層を上下反転させて下クラッド層の上に貼り合わせている ので、上クラッド層と下クラッド層の反りを相殺し、フィルム光導波路に反りが発生する のを抑制することができる。
[0025] 本発明の第 4のフィルム光導波路の製造方法は、硬化後の曲げ弾性率が Ι,ΟΟΟΜ Pa以下のエラストマ一の、モノマー又はオリゴマー力もなる前駆体を第 1の基板に供 給する工程と、前記エラストマ一の前駆体にスタンパを押し当て、前記スタンパによつ てエラストマ一の前駆体に圧力を加えてエラストマ一の前駆体の膜厚を薄くする工程 と、前記エラストマ一の前駆体を硬化させて下クラッド層を形成する工程と、硬化後の 曲げ弾性率が l,OOOMPa以下のエラストマ一の、モノマー又はオリゴマーからなる前 駆体を第 2の基板に供給する工程と、第 2の基板に供給された前記エラストマ一の前 駆体にスタンパを押し当て、前記スタンパによってエラストマ一の前駆体に圧力をカロ えてエラストマ一の前駆体の膜厚を薄くする工程と、第 2の基板に供給された前記ェ ラストマーの前駆体を硬化させて上クラッド層を形成する工程と、前記下クラッド層と 前記上クラッド層とをコア材料で貼り合わせると共に、前記下クラッド層と前記上クラッ ド層の間に前記コア材料によりコアを形成する工程とを備えたことを特徴としている。
[0026] 本発明の第 4のフィルム光導波路の製造方法においては、曲げ弾性率が Ι,ΟΟΟΜ Pa以下のエラストマ一を用いながらも、エラストマ一の前駆体をスタンパで押圧して薄 くすることで、薄い膜厚 (例えば、 150 m以下の膜厚)の上クラッド層及び下クラッド 層を得ることができる。従って、本発明によれば、曲げ弾性率が l,000MPa以下で、 かつ、厚みの薄い上クラッド層及び下クラッド層を得ることができ、小さな曲率半径で 曲げることのできるフィルム光導波路を製造することができる。
[0027] また、第 4のフィルム光導波路の製造方法によれば、下クラッド層と上クラッド層をコ ァ材料で貼り合わせることにより、同時に、コア材料によりコアを成形しているので、コ ァ材料によるコアの成形と、コア材料による上下クラッド層の接合作業とを一度に行な うことができ、フィルム光導波路の製造工程を減らし、製造工程を合理ィ匕することがで きる。
[0028] 本発明に力かるフィルム光導波路モジュールは、本発明に力かるフィルム光導波路 と投光素子又は受光素子とを光学的に結合するように配置して一体化させたことを 特徴としている。
[0029] 本発明にかかるフィルム光導波路モジュールによれば、光導波路部分の厚みが薄 くて屈曲性能に優れたフィルム光導波路モジュールを得ることができるので、かかる フィルム光導波路モジュールを、ヒンジ部のような回動部分を有する装置内に組み込 んだ場合、回動部分を繰り返し回動させても光導波路部分が破損しにくくなり、当該 装置の耐久性を向上させることができる。
[0030] 本発明にかかる第 1の電子機器装置は、回動部分によって一方の部材と他方の部 材とを回動自在に連結された折り畳み式の電子機器装置において、前記回動部分 を通過させて一方の部材と他方の部材との間に本発明にかかるフィルム光導波路を 配線したことを特徴として ヽる。
[0031] 本発明にかかる電子機器装置によれば、厚みが薄くて屈曲性能に優れたフィルム 光導波路を得ることができるので、かかる光導波路装置を、ヒンジ部のような回動部 分を有する電子機器装置に用いた場合、回動部分を繰り返し回動させてもフィルム 光導波路が破損しにくくなり、電子機器装置の耐久性を向上させることができる。 [0032] 本発明にかかる第 2の光導波路装置は、機器本体に移動部を備えた電子機器装 置において、前記移動部と前記機器本体とを請求項 1又は 2に記載のフィルム光導 波路により光学的に結合させたことを特徴としている。
[0033] 本発明に力かるフィルム光導波路によれば、厚みが薄くて屈曲性能に優れたフィル ム光導波路を得ることができるので、かかる光導波路装置を、移動部を有する電子機 器装置に用いた場合、移動部の動きに伴ってフィルム光導波路が繰り返し変形させ られても破損しに《なり、電子機器装置の耐久性を向上させることができる。
[0034] なお、本発明の以上説明した構成要素は、可能な限り任意に組み合わせることが できる。
図面の簡単な説明
[0035] [図 1]図 1 (a)〜図 1 (g)は、従来例によるフィルム光導波路の製造方法を説明する概 略断面図である。
[図 2]図 2 (a)〜図 2 (d)は、本発明の実施例 1によるフィルム光導波路の製造工程を 順次説明した概略断面図である。
[図 3]図 3 (a)〜図 3 (e)は、図 2 (a)〜図 2 (d)の後に続く工程を説明した概略断面図 である。
[図 4]図 4は、クラッド材料に用いられているエラストマ一の前駆体のモノマー及びオリ ゴマーに含まれる基の一部を示すィ匕学式である。
[図 5]図 5 (a)〜図 5 (d)は、本発明の実施例 2における上クラッド層の製造工程を示 す概略断面図である。
[図 6]図 6 (a)〜図 6 (e)は、本発明の実施例 2において、基板の上に形成された下ク ラッド層と、別な基板の上に形成された上クラッド層とを積層してフィルム光導波路を 製造する工程を説明する概略断面図である。
[図 7]図 7 (a)〜図 7 (e)は、本発明の実施例 3において、基板の上に形成された下ク ラッド層と、別な基板の上に形成された上クラッド層とを積層してフィルム光導波路を 製造する工程を説明する概略断面図である。
[図 8]図 8は、本発明の変形例を説明する概略断面図である。
[図 9]図 9は、本発明の実施例 4による片方向通信用のフィルム光導波路モジュール を示す平面図である。
[図 10]図 10は、図 9に示したフィルム光導波路モジュールの一部を拡大して示す概 略断面図である。
[図 11]図 11 (a)は引っ張り力によりコアが変形したフィルム光導波路を模式的に表わ した図であり、図 11 (b)は引っ張り力によるコアの変形が小さくなつたフィルム光導波 路を模式的に表わした図である。
[図 12]図 12は、本発明の実施例 4による双方向通信用のフィルム光導波路モジユー ルを示す平面図である。
[図 13]図 13は、本発明の実施例 5である携帯電話機の斜視図である。
[図 14]図 14は、同上の携帯電話機の回路構成を示す概略図である。
圆 15]図 15は、同上の携帯電話機の表示部側と操作部側とをフィルム光導波路で 結んで 、る様子を模式的に表わした斜視図である。
[図 16]図 16は、本発明の実施例 5による別な携帯電話機の構造を示す概略図である 圆 17]図 17 (a)は携帯電話機内のフィルム光導波路が捻れている様子を示す図、図 17 (b)は図 17 (a)の X—X線に沿った断面を拡大して示す図である。
[図 18]図 18は、フィルム光導波路の捻れた領域の長さ a Wを示す説明図である。
[図 19]図 19は、フィルム光導波路の幅に対する捻れた領域の長さの比 αと、要求さ れる弾性率の限界値との関係を示す図である。
圆 20]図 20 (a)及び図 20 (b)は本発明の実施例 5によるさらに別な携帯電話機の構 造を示す概略図であって、図 20 (a)は 2つに折り畳まれた状態を示す図、図 20 (b) は広げられた状態を示す図である。
[図 21]図 21は、本発明の実施例 6であるプリンタの斜視図である。
[図 22]図 22は、同上のプリンタの回路構成を示す概略図である。
[図 23]図 23 (a)及び図 23 (b)は、プリンタの印字ヘッドが移動したときのフィルム光導 波路の変形する様子を示す斜視図である。
[図 24]図 24は、本発明の実施例 7である、ハードディスク装置の斜視図である。
[図 25]図 25は、電子回路基板へのフィルム光導波路の接続形態の一例を示す図で ある。
[図 26]図 26は、電子回路基板へのフィルム光導波路の接続形態の他例を示す図で ある。
[図 27]図 27は、電子回路基板へのフィルム光導波路の接続形態のさらに他例を示 す図である。
[図 28]図 28は、本発明にかかるフィルム光導波路の別な使用方法を示す斜視図で ある。
[図 29]図 29は、本発明にカゝかるフィルム光導波路とフレキシブルプリント配線基板を 重ね合わせたフレキシブル複合伝送路を示す側面図である。
符号の説明
21 基板
22 クラッド材料
23 スタンパ
24 凸型パターン
25 凹溝
26 下クラッド層
27 コア材料
28 コア
29 スタンパ
30 上クラッド層
31 フィルム光導波路
32 基板
33 スタンパ
34 接着樹脂
35 フィルム光導波路
36 フィルム光導波路
37 スタンパ
51 フィルム光導波路 発明を実施するための最良の形態
[0037] 以下、本発明の実施例を図面に従って詳細に説明する。但し、本発明は、以下の 実施例に限定されるものでないことは勿論である。
実施例 1
[0038] 図 2及び図 3は本発明の実施例 1によるフィルム光導波路の製造方法を説明する概 略断面図である。本発明にかかかるフィルム光導波路の製造にあたっては、まずガラ ス基板等の透光性を有する平坦な基板 21を準備する。この基板 21の上には、図 2 ( a)に示すように、クラッド材料 22が塗布される。この実施例 1で用いるクラッド材料 22 は、図 4に示すような基を含むウレタンモノマー及びウレタンオリゴマーと、重合開始 剤との混合物であって、硬化後の曲げ弾性率が l,OOOMPa以下となるエラストマ一 の前駆体である。また、このクラッド材料 22は、紫外線硬化型となっている。
[0039] っ 、で、図 2 (b)に示すように、スタンパ (成形型) 23を上カもクラッド材料 22に押し 当て、スタンパ 23に圧力を掛けて基板 21とスタンパ 23との間にクラッド材料 22を薄く 押し広げ、クラッド材料 22の膜厚を薄くする。スタンパ 23の下面には、下クラッド層に 凹溝を形成するための凸型パターン 24が形成されているので、スタンパ 23により押 圧されているクラッド材料 22の上面には、凹溝 25ができる。そして、図 2 (c)に示すよ うに、基板 21を通して下面カもクラッド材料 22に紫外線エネルギーを照射してクラッ ド材料 22を硬化させる。
[0040] クラッド材料 22が硬化して下クラッド層 26が成形されたら、図 2 (d)に示すように、下 クラッド層 26からスタンパ 23を分離させる。スタンパ 23を分離すると、下クラッド層 26 の上面には、凸型パターン 24によって凹溝 25が成形されて 、る。
[0041] ついで、図 3 (a)に示すように、下クラッド層 26の凹溝 25内にコア材料 27を充填さ せる。このコア材料 27は、下クラッド層 26より屈折率の高いポリマーの前駆体である モノマーやオリゴマー力 なるものであって、紫外線硬化型のポリマーの前駆体であ る。もちろん、このコア材料としては、下クラッド層 26よりも屈折率が高ぐ硬化後の曲 げ弾性率が 1 ,OOOMPa以下となるエラストマ一の前駆体を用 V、てもよ 、。凹溝 25に コア材料 27を充填し、適宜方法によりコア材料 27の表面を平滑に均した後、図 3 (b) に示すように、コア材料 27に紫外線エネルギーを照射してコア材料 27を硬化させ、 コア材料 27によってコア 28を凹溝 25内に成形する。
[0042] この後、図 3 (c)に示すように、下クラッド層 26及びコア 28の上に、下クラッド層 26 の場合に用いたのと同じクラッド材料 22を塗布し、図 3 (d)に示すように、クラッド材料 22の上力 スタンパ 29を押し当てて圧力を加えてクラッド材料 22の膜厚を薄くする。 っ 、で、クラッド材料 22に紫外線エネルギーを照射することによってクラッド材料 22 を硬化させて上クラッド層 30を成形する。そして、スタンパ 29を上クラッド層 30から分 離すると共に、基板 21を下クラッド層 26から剥がしてフィルム化し、図 3 (e)のようなフ イルム光導波路 31を得る。
[0043] クラッド層の膜厚を薄くするためには、クラッド材料 22の粘度は低いほうが望ましい 。しかし、このフィルム光導波路 31では、下クラッド層 26ゃ上クラッド層 30の曲げ弹 性率が l,OOOMPaと小さいので、そのエラストマ一の前駆体の粘度が高くなる。しか し、実施例 1では、スタンパ 23でクラッド材料 22を押さえて加圧しているので、クラッド 材料 22の膜厚を強制的に薄く広げることができ、粘度が 30,OOOcP程度あっても膜 厚を 150 m以下にすることができる。よって、フィルム光導波路 31の厚みは、 300 μ m以下になり、フィルム光導波路 31を小さな曲率半径で曲げることが可能になる。
[0044] 実際、曲げ弾性率が l,OOOMPaのエラストマ一を用いた実施例 1のフィルム光導波 路 31では、前駆体の粘度が 30,OOOcP以下のエラストマ一を使用した場合でも、フィ ルム光導波路 31の厚みは 250mm程度に薄くすることができた。この結果、フィルム 光導波路 31をその厚み方向に曲げた場合の最小曲率半径は、 3mm程度となった。 なお、これよりも小さな曲率半径となるよう〖こ曲げると、フィルム光導波路は折れ曲が つた o
[0045] また、曲げ弾性率が 500MPa以下のエラストマ一を用いた場合には、得られたフィ ルム光導波路は、曲率半径が 2mm程度となるまで屈曲させることができた。さらに、 曲げ弾性率が 200MPa以下のエラストマ一を用いた場合には、得られたフィルム光 導波路は、曲率半径が lmm程度となるまで屈曲させることができた。
[0046] なお、上記実施例 1では、基板 21の上に供給されたクラッド材料 22ゃ下クラッド層 26の上に供給されたクラッド材料 22を、直ちにスタンパ 23、 29で押圧したが、供給さ れたクラッド材料 22をスピンコータによって薄くした後にスタンパ 23、 29で押さえて薄 くしてもよい。スピンコータを併用すれば、上下クラッド層 30、 26の厚みをより薄くでき るので、フィルム光導波路の最小曲げ曲率をより小さくすることができる。
[0047] また、上記実施例 1では、上クラッド層 30と下クラッド層 26の双方を曲げ弾性率が 1 ,OOOMPa以下のエラストマ一によつて形成した力 上クラッド層 30と下クラッド層 26 のうちいずれか一方だけを曲げ弾性率が l,OOOMPa以下のエラストマ一によつて形 成してもよい。その場合、エラストマ一を用いていない側のクラッド層は、曲げ弾性率 力 Sl,000MPa以下の変性アタリレート榭脂などを用いることができる。
実施例 2
[0048] 図 5及び図 6は本発明の実施例 2によるフィルム光導波路の製造方法を説明する図 である。図 6 (a)に示す下クラッド層 26は、実施例 1の図 2 (a)〜図 3 (b)と同一の工程 により、基板 21の上に製作された下クラッド層 26であって、その上面にはコア 28が形 成されている。
[0049] 図 6 (b)に示す上クラッド層 30は、図 5 (a)〜図 5 (d)に示す工程により、基板 32の 上に製作されたものである。即ち、ガラス基板等の透光性を有する平坦な基板 32の 上に、図 5 (a)に示すように、クラッド材料 22を塗布する。このクラッド材料 22は、図 4 に示すような基を含むウレタンモノマー及びウレタンオリゴマーと、重合開始剤との混 合物であって、硬化後の曲げ弾性率が 1 ,OOOMPa以下となるエラストマ一の前駆体 である。ついで、図 5 (b)に示すように、平板状のスタンパ 33をクラッド材料 22に押し 当て、スタンパ 33に圧力を掛けて基板 32とスタンパ 33との間にクラッド材料 22を薄く 押し広げて膜厚を薄くする。そして、図 5 (c)に示すように、基板 32を通してクラッド材 料 22に紫外線エネルギーを照射してクラッド材料 22を硬化させる。クラッド材料 22が 硬化して上クラッド層 30が成形されたら、図 2 (d)に示すように、上クラッド層 30からス タンパ 33を分離させる。スタンパ 33を分離すると、基板 32の上には、上面が平坦な 上クラッド層 30が成形される。
[0050] この後、図 6 (c)に示すように、下クラッド層 26及びコア 28の上に、コア材料 27よりも 屈折率の低いポリマーの前駆体であるモノマーやオリゴマー力 なる紫外線硬化型 の接着榭脂 34を塗布し、基板 32と共に上クラッド層 30を上下反転させて接着榭脂 3 4の上に重ね、下クラッド層 26と上クラッド層 30の間に接着榭脂 34を挟みこんで薄く 押し広げる。
[0051] ついで、図 6 (d)に示すように、基板 21又は 32を通して接着榭脂 34に紫外線エネ ルギーを照射し、接着榭脂 34を硬化させ、接着榭脂 34によって上クラッド層 30と下 クラッド層 26とを接合させる。最後に、表裏の基板 32、 21をそれぞれ上クラッド層 30 、下クラッド層 26から剥がしてフィルム化し、図 6 (e)のようなフィルム光導波路 35を得 る。
[0052] スタンパで加圧して膜厚を薄くした図 6 (a)のような下クラッド層 26や、図 6 (b)のよう な上クラッド層 30では、圧力が常に同一方向から働くため、それぞれ図 6 (a)及び図 6 (b)に矢印で示すような内部応力 (もしくは残留モーメント)が発生する。そのため、 下クラッド層 26及び上クラッド層 30には、図 6 (a)及び図 6 (b)の上面側で凹となる向 きに反りが発生する。この下クラッド層 26と上クラッド層 30を、図 6 (c)に示すように上 クラッド層 30を上下反転させて貼り合わせると、上クラッド層 30に発生している内部 応力と下クラッド層 26の内部応力とが互いに打ち消し合うので、貼合せ体であるフィ ルム光導波路 35に反りが発生しにくくなる。
実施例 3
[0053] 図 7は本発明の実施例 3によるフィルム光導波路の製造方法を説明する図である。
図 7 (a)に示す下クラッド層 26は、実施例 1の図 2 (a)〜図 2 (d)と同一の工程により、 基板 21の上に製作された下クラッド層 26であって、その上面には凹溝 25が形成され ている。図 7 (b)に示す上クラッド層 30は、実施例 2の図 5 (a)〜図 5 (d)と同一の工程 により、基板 32の上に製作された上クラッド層 30である。
[0054] 実施例 3においては、図 7 (c)に示すように、図 7 (a)の下クラッド層 26の上面の凹 溝 25の領域にコア材料 27を塗布する。このコア材料 27は、下クラッド層 26及び上ク ラッド層 30よりも屈折率の高いポリマーの前駆体であるモノマーやオリゴマーであつ て、紫外線硬化型榭脂となっている。ついで、基板 32と共に上クラッド層 30を上下反 転させてコア材料 27の上に重ね、下クラッド層 26と上クラッド層 30の間にコア材料 2 7を挟み込み、コア材料 27を凹溝 25内に充填させると共にコア材料 27を上下クラッ ド層 30、 26間の全体に薄く押し広げる。
[0055] ついで、図 7 (d)に示すように、基板 21又は 32を通してコア材料 27に紫外線エネ ルギーを照射し、コア材料 27を硬化させ、コア材料 27によって凹溝 25内にコア 28を 形成すると共に上クラッド層 30と下クラッド層 26とを接合させる。最後に、表裏の基板 32、 21をそれぞれ上クラッド層 30、下クラッド層 26から剥がしてフィルム化し、図 7 (e )のようなフィルム光導波路 36を得る。
[0056] 実施例 3によれば、コア材料 27によるコア 28の成形と、コア材料 27による上クラッド 層 30と下クラッド層 26の接合作業とを一度に行なうことができるので、フィルム光導波 路 36の製造工程を減らすことができる。よって、実施例 3によれば、フィルム光導波 路 36の製造工程を合理ィ匕することができる。
[0057] なお、実施例 1〜3の場合においては、図 8に示すように、下クラッド層 26に設けた 凹溝 25の少なくとも片側に、コア材料 27を逃がすための窪み 37を設けてもよい。下 クラッド層 26の凹溝 25内にコア材料 27を供給した後、コア材料 27をスタンパ 38又は 上クラッド層 30で押さえて凹溝 25内にコア 28を成形する場合、凹溝 25内の余剰の コア材料 27が凹溝 25から押し出される。このとき、押し出されたコア材料 27が下クラ ッド層 26の上面とスタンパ 38等の間で厚い榭脂膜となると、この榭脂膜を通じてコア 28内の光信号が漏れ、フィルム光導波路の信頼性が低下する。
[0058] 図 8に示すように、凹溝 25の近傍に窪み 37を設けていると、余剰のコア材料 27は 速やかに凹溝 25から押し出されて窪み 37へ逃げることができるので、下クラッド層 26 の上面とスタンパ 38との間の榭脂膜を短時間の加圧により十分に薄くすることができ 、フィルム光導波路の信頼性を向上させることができる。
[0059] なお、コア材料を逃がすための窪みを設ける箇所は、下クラッド層 26の上面に限ら ず、スタンパ 38ゃ上クラッド層であっても差し支えな 、。
[0060] また、上記各実施例において、エラストマ一により作製された下クラッド層 26と界面 を接する上クラッド層 30もしくはコア 28に、ヒドロキシ基、カルボキシル基、カルボ- ル基、アミノ基、イミノ基といった水素結合基を含む変性アタリレート榭脂を用いれば 、下クラッド層 26と接する界面の密着力を向上させることができる。同じように、エラス トマ一により作製された上クラッド層 30と界面を接する下クラッド層 26もしくはコア 28 に、ヒドロキシ基、カルボキシル基、カルボ-ル基、アミノ基、イミノ基といった水素結 合基を含む榭脂を用いれば、上クラッド層 30と接する界面の密着力を向上させること ができる。
実施例 4
[0061] 図 9は本発明の実施例 4による片方向通信用のフィルム光導波路モジュールを示 す平面図、図 10はその一部分を拡大して示す概略断面図である。このフィルム光導 波路モジュール 91は、一方の配線基板 92の上に実装された投光素子 93と他方の 配線基板 94の上に実装された受光素子 95に本発明にかかるフィルム光導波路 96 の両端を接続することにより、フィルム光導波路 96で両配線基板 92、 94どうしをつな いだものである。
[0062] 送信側の配線基板 92の上には駆動用 IC97と VCSELのような面発光型の投光素 子 93とが実装されている。投光素子 93の光出射方向は、配線基板 92の上面とほぼ 垂直な方向となっている。フィルム光導波路 96の一方端部は、図 10に示すように 45 ° の角度にカットされており、フィルム光導波路 96の当該端部が配線基板 92と平行 となるようにして、かつ、 45° にカットされた面 100が斜め上方を向くようにして支持 台 98の上に固定されている。し力も、コア 28の 45° にカットされた面 100は、投光素 子 93から出射される光線の光軸上に位置して 、る。
[0063] また、受信側の配線基板 94の上には増幅用 IC99と受光素子 95とが実装されてい る。フィルム光導波路 96の他方端部も 45° の角度にカットされており、フィルム光導 波路 96の当該端部が配線基板 94と平行となるようにして、かつ、 45° にカットされた 面が斜め上方を向くようにして支持台(図示せず)の上に固定されている。受光素子 95は、コア 28の 45° にカットされた面の真下に位置している。
[0064] 従って、駆動用 IC97に入力された電気信号が光信号 (変調光)に変換されて投光 素子 93から光信号が出射されると、投光素子 93から出た光はフィルム光導波路 96 の下面からコア 28内に進入する。コア 28に進入した光信号は、コア 28の 45° にカツ トされた面で全反射することによりコア 28の長さ方向とほぼ平行な方向に進行方向を 曲げられ、コア 28と結合させられる。
[0065] こうして、フィルム光導波路 96の一端に結合した光信号はコア 28内を伝搬し、フィ ルム光導波路 96の他端に達する。フィルム光導波路 96の他端に達した光は、コア 2 8の 45° にカットされた面で全反射され、フィルム光導波路 96の他端から下方へ向 けて出射され、受光素子 95で受光される。受光素子 95で受光された光信号は電気 信号に変換され、電気信号は増幅用 IC99で増幅された後、配線基板 94から外部へ 出力される。
[0066] このようなフィルム光導波路モジュール 91では、必ずしも配線基板 92と配線基板 9 4は同一平面に設置される訳ではないが、配線基板 92及び 94が任意の平面に設置 されてもフィルム光導波路 96が柔軟に曲がることにより配線基板 92側カゝら配線基板 94側へ光信号を伝達させることができる。
[0067] しかし、このようにフィルム光導波路 96を介して接続された配線基板 92と配線基板 94を別々に設置するときには、フィルム光導波路 96に機械的な引っ張り力が加わる ことがある。本発明のフィルム光導波路モジュール 91では、上下クラッド層 30、 26の 曲げ弾性率が 1 ,OOOMPa以下と!/、うように小さ 、ので、図 11 (a)に示すように少しの 弓 Iつ張り力が加わるだけでフィルム光導波路モジュール 91が伸びてフィルム光導波 路モジュール 91の幅が狭くなる。このときコア 28の曲げ弾性率と上下クラッド層 30、 26の曲げ弾性係数が等しいと、同じようにコア 28も伸びてそのコア径が細くなつたり 、コア断面が変形したりしてコア 28を伝搬する光信号のモードが変化し、光信号の伝 送特性が劣化する。
[0068] そのためこのフィルム光導波路モジュール 91では、コア 28の曲げ弾性率を上下ク ラッド層 30、 26の曲げ弾性率よりも大きくしている。すなわち、上下クラッド層 30、 26 の曲げ弾性率を 1 ,OOOMPa以下にすると共に、コア 28の曲げ弾性率を上下クラッド 層 30、 26の曲げ弾性率よりも大きくしている。この結果、上下クラッド層 30、 26の剛 性がコア 28よりも低くなり、し力も、コア 28は配線基板 92、 94に直接固定されていな いので、フィルム光導波路 96に機械的な引っ張り力などが加わっても、図 11 (b)に 示すように引っ張り力は上下クラッド層 30、 26で吸収される。よって、コア 28の変形 を小さくすることができ、フィルム光導波路 96の伝送特性の劣化を抑制することがで きる。
[0069] また、フィルム光導波路 96が捻れた場合にも、コア径ゃコア断面形状によりフィルム 光導波路 96の伝送特性の劣化を招くが、この点については携帯電話機との関連に おいて後述する。 [0070] なお、上記実施例では、片方向通信用のフィルム光導波路モジュール 91について 説明したが、双方向通信用のフィルム光導波路モジュールであってもよい。例えば、 図 12に示す双方向通信用のフィルム光導波路モジュール 101は、両配線基板 92、 94がいずれも、駆動用 IC及び増幅用 ICの機能を備えた駆動兼増幅用 IC102と、投 光素子 93と、受光素子 95とを実装している。そして、フィルム光導波路として 2芯のフ イルム光導波路 103を用いて、一方のコア 28で配線基板 92の投光素子 93と配線基 板 94の受光素子 95をつなぎ、他方のコアで配線基板 94の投光素子 93と配線基板 92の受光素子 95をつないでいる。よって、このフィルム光導波路モジュール 101に よれば、いずれか一方の配線基板 92又は 94に入力された電気信号は、フィルム光 導波路モジュール 101を介して光信号として伝搬され、他方の配線基板 94又は 92 から電気信号に復元されて出力される。
[0071] また、上記実施例では、発光素子と受光素子とをフィルム光導波路でつな!/、だフィ ルム光導波路モジュールについて説明したが、回路基板に実装した光コネクタに両 端を接続することによって回路基板どうしをつなぐようにしたものであってもよい。 実施例 5
[0072] 次に、本発明にかかるフィルム光導波路を用いた応用例(実施例 5)を説明する。以 下で用いられるフィルム光導波路 51は、これまでに図示したように 1本のコアを有す るものに限らず、複数本のコアを平行に配線したものや、コアが分岐したものであつ てもよい。図 13は 2つ折りに折り畳み可能となった折り畳み式の携帯電話機 41を示 す斜視図、図 14はその概略構成図である。携帯電話機 41は、液晶表示パネル 42と デジタルカメラ 43を備えた表示部 44と、テンキー等のキーパネル 45やアンテナ 46を 備えた操作部 47とを、ヒンジ部 48によって回動自在に連結させた構造となっている。 デジタルカメラ 43は、液晶表示パネル 42の裏面側に設けられている。また、表示部 4 4内には、外部メモリ 49が搭載されており、操作部 47内には通信機能やキーパネル 45からの入力を受け付けて各機能を実行させるための集積回路 (LSI) 50が搭載さ れている。
[0073] 従って、操作部 47内の集積回路 50と、表示部 44内の液晶表示パネル 42やデジタ ルカメラ 43、表示部 44との間で信号の送受信を行なわせる必要がある。本実施例 5 の携帯電話機 41では、図 14に示すように、操作部 47側と表示部 44側とを結ぶため に本発明にかかるフィルム光導波路 51を用いている。すなわち、操作部 47内の集積 回路 50と、表示部 44内の液晶表示パネル 42、デジタルカメラ 43、外部メモリ 49とを フィルム光導波路 51で接続し、光信号をもって送受信を行なわせるようにしている。
[0074] このような構造を実現するためには、フィルム光導波路 51がヒンジ部 48を通過する 必要がある。この実施例 5では、そのための構造として、図 15に示すように、ヒンジ部 48にお!/、てフィルム光導波路 51をスパイラル状に屈曲させたものを用いて!/、る。この ようなフィルム光導波路 51を製作するには、フラットなフィルム光導波路 51を製造し た後、フラットなフィルム光導波路 51を指示棒等に巻き付けて巻き癖を付けてやれば よい。本発明にかかるフィルム光導波路 51は、小さな曲率半径となるように曲げること ができるので、このようにしてスパイラル状に賦形してもフィルム光導波路 51が破損 する恐れがない。
[0075] しかして、このような実施例 5によれば、携帯電話機 41内の限られた空間で高速、 大容量通信を実現することができる。また、本発明のフィルム光導波路 51は屈曲性 能が高いので、繰り返し携帯電話機 41を開閉してもフィルム光導波路 51が破損する 恐れは小さい。さらに、フィルム光導波路 51をヒンジ部 48においてスパイラル状に形 成しているので、携帯電話機 41を開閉してもヒンジ部 48でフィルム光導波路 51に大 きな負荷が掛かりにくぐフィルム光導波路 51の耐久性がより一層向上する。
[0076] なお、携帯電話機 41は、表示部 44と操作部 47が二つ折りになったものに限らず、 操作部 47と平行な面内で表示部 44が回動するようになっていて折り畳まれるもので あってもよい。
[0077] 図 16に示すものは、携帯電話機 111の異なる例を示す概略図である。この携帯電 話機 111は 2軸回転型の携帯電話機となっている。すなわち、表示部 44と操作部 47 とは、ヒンジ部 48によって二つ折りに畳んだり広げたりできるようになつている。さらに 、表示部 44は、そのヒンジ部 112により、ヒンジ部 48の軸方向と直交する軸線方向の 回りでも回動できるようになって!/、る。
[0078] 携帯電話機 111の内部においては、操作部 47内に納められた配線基板 113に光 コネクタ 114が設けられ、表示部 44内に納められた配線基板 115に光コネクタ 116 が設けられている。フィルム光導波路 51の一端に設けられた光コネクタ 117は光コネ クタ 114に結合され、フィルム光導波路 51の他端に設けられた光コネクタ 118は光コ ネクタ 116に結合されており、フィルム光導波路 51を介して操作部 47の配線基板 11 3と表示部 44の配線基板 115が接続されている。そして、表示部 44と操作部 47を開 V、た状態では、フィルム光導波路 51は配線基板 113と配線基板 115の間をほぼ真 つ直ぐに結んでいる。
[0079] しかして、この携帯電話機 111では表示部 44と操作部 47を二つ折りに畳むとフィ ルム光導波路 51が湾曲して曲がり、また、ヒンジ部 112により表示部 44を回動させる とフィルム光導波路 51が捻れる。ここで、フィルム光導波路 51の上下クラッド層 30、 2 6の曲げ弾性率は l,OOOMPa以下となって!/、るので、フィルム光導波路 51は小さな 外力で容易に曲がったり、捻れたりする。
[0080] しかし、コア 28の曲げ弾性率は上下クラッド層 30、 26の曲げ弾性率よりも大きくな つているので、フィルム光導波路 51が引っ張られたり、捻られたりしても、コア径ゃコ ァ形状が変化しにくぐフィルム光導波路 51の伝送特性は劣化しにくい。すなわち、 フィルム光導波路 51が図 17 (a)のように捻られると、図 17 (b)に示すようにフィルム 光導波路 51に変形が生じ、コア 28も変形し、それによつてフィルム光導波路 51の伝 送特性が劣化する恐れがある。しかし、コア 28の曲げ弾性率が上下クラッド層 30、 2 6の曲げ弾性率よりも大きくなつていると、フィルム光導波路 51が捻れてもコア形状が 変化しに《なるので、フィルム光導波路 51の伝送特性が劣化しに《なる(フィルム 光導波路 51が引っ張られる場合のコア形状の変形等による伝送特性の劣化ついて は既に説明したとおりである。 ) o
[0081] 図 18に示すような捻れたフィルム光導波路 51を考え、フィルム光導波路 51の幅を W、フィルム光導波路 51の全長のうち捻れの生じている部分の長さを a X Wとする。 携帯電話機 111内における配線スペースを考えると、 aの値はできるだけ小さいこと が望ましい。しかし、 aの値がほぼ 1よりも小さくなると、捻れているフィルム光導波路 51の形状が歪み、その伝送特性が劣化することが分力つている。従って、できるだけ aの値が 1に近くなるようにしてフィルム光導波路 51の占める配線スペースを小さく することが望まれる。 [0082] αの値と上下クラッド層 30、 26に要求される曲げ弾性率の限界値との間には、図 1 9に示すような関係がある。従って、 αの値を 1に近くするためには、上下クラッド層 3 0、 26の曲げ弾性率をほぼ 250MPa以下にすればよいことが分かる。
[0083] 一方、 αの値を小さくすると捻りの反発力が大きくなり、これによつて両端のコネクタ 117、 118力 S引つ張られて配線基板 113の光コネクタ 114や配線基板 115の光コネ クタ 116から外れる恐れがある。通常光コネクタ等においては、 0.5kgf以上の負荷を 掛けな!/、ことが求められており、そのためにはフィルム光導波路 51の曲げ弾性率を 2 50MPa以下にしておけば充分である。よって、フィルム光導波路 51の上下クラッド 層 30、 26の曲げ、弾'性率を 250MPa以下にすることにより、光コネクタ 117、 118の接 続不良を発生させずに aの値を 1に近づけて小さくできる。
[0084] なお、光ケーブルの捻れによる応力を小さくするためには、光ケーブルに余長部を 設けておく方法もある。しかし、余長部を設けると、ヒンジ部に余長部を納めるための 空間が必要になるので、ヒンジ部が大きくなり、ひいては携帯電話機の小型化が妨げ られる問題がある。これに対し、この携帯電話機 111のような構造であれば、フィルム 光導波路 51がヒンジ部 112内で捻れるようにしても、ヒンジ部 112が太くならな 、。
[0085] また、フィルム光導波路 51がスパイラル状に巻かれておらず、し力も 2軸回転型で ない携帯電話機の場合では、図 20 (a)及び図 20 (b)に示すようにヒンジ部 48をより 小さくすることができる。このような携帯電話機では、図 20 (b)のように表示部 44と操 作部 47とを広げた状態のときには、フィルム光導波路 51は弛みのない自然な長さと なって 、るが、図 20 (a)のように表示部 44を畳んだときにはフィルム光導波路 51がヒ ンジ部 48に巻き付くことによってフィルム光導波路 51に引つ張り力が加わる。しかし、 この場合にも、コア 28の曲げ弾性率を上下クラッド層 30、 26の曲げ弾性率よりも小さ くしておけば、図 11 (a)及び図 11 (b)の箇所において説明したように、コア 28の変形 を小さくしてフィルム光導波路 51の伝送特性の劣化を小さくすることができる。
実施例 6
[0086] 図 21は本発明の実施例 6である、プリンタ 61の斜視図である。インクジェット方式の プリンタやドット ·インパクト方式のプリンタでは、印字ヘッド 62は支持部 65の上に固 定されており、支持部 65はガイドバー 63に沿って左右に走行するようになっている。 また、印字ヘッド 62にはプリンタ本体 64から印字情報が送られるようになつている。
[0087] この実施例 6では、プリンタ本体 64から印字ヘッド 62に印字情報を送信するため、 図 22に示すように、プリンタ本体 64内の制御部 66と印字ヘッド 62を本発明にかかる フィルム光導波路 51で結んでいる。プリンタの印字品質が向上してドット密度 (dpi)が 大きくなり、また印字速度が高速になると、プリンタ本体 64から印字ヘッド 62へ送信 する信号量も急送に増大する力 フィルム光導波路 51を用いることにより印字ヘッド 62へ高速で大容量の信号を送信することができる。
[0088] また、図 23 (a)及び図 23 (b)に示すように、印字ヘッド 62が左右に高速で走行する と、それに伴ってフィルム光導波路 51は折れ曲がつている箇所が移動し、大きな負 荷が加わる力 本発明のフィルム光導波路 51では屈曲性能が高 、ためにフィルム光 導波路 51の耐久性を高くすることができる。
実施例 7
[0089] 図 24は本発明の実施例 7である、ハードディスク装置 71の斜視図である。このハー ドディスク装置 71においては、ハードディスク 72の近傍にデータ読み取りヘッド駆動 装置 73が設置されており、データ読み取りヘッド駆動装置 73から延出された読取り ヘッド 74の先端がハードディスク 72の表面と対向している。また、制御回路を搭載さ れた回路基板 75にはフィルム光導波路 51の一端が接続され、フィルム光導波路 51 の他端部は読取りヘッド 74の基部を通って読取りヘッド 74の先端の光学素子に接 続されている。このフィルム光導波路 51には、ハードディスク 72に記憶されたデータ を読み取る際、あるいは書き込む際に、回路基板 75と読取りヘッド 74との間でその データ (光信号)を伝送する機能を有して ヽる。
[0090] ハードディスク装置 71に記憶されるデータは大容量ィ匕が進んでいる。その一方で、 従来データ伝送路として用いられて 、たフレキシブルプリント基板では、伝送密度に 限界があり、大容量ィ匕するハードディスク装置のデータ伝送路に用いるためにはフレ キシブルプリント基板の枚数を増やす力、大型化する力しか手段がなぐそのため屈 曲性能やサイズに問題があった。ところが、フィルム光導波路 51を用いれば、屈曲性 を有し、し力も小型で大容量のデータ伝送路を実現することが可能になる。
実施例 8 [0091] 図 25〜図 27に示すものは、電子回路基板へのフィルム光導波路 51の接続形態を 示す実施例である。すなわち、図 25に示す形態では、フィルム光導波路 51を屈曲さ せて機器 81内の別々の電子回路基板 82、 83間を結んでいる。また、図 26に示す形 態では、電子回路基板 82の表裏をフィルム光導波路 51で結んでいる。図 27に示す 形態では、電子回路基板 82とコネクタ 84とをフィルム光導波路 51で結んでいる。こ れらのいずれの接続形態においても、限られた空間内に位置する電子回路基板間 の高速、大容量通信を実現できる。
実施例 9
[0092] 図 28は本発明にかかるフィルム光導波路 51の別な使用方法を示す実施例である 。この実施例 9では、フィルム光導波路 51を凹凸部 85を有する電子回路基板 86、例 えば電子部品等を実装されて凹凸部 85を形成された電子回路基板 86において、凹 凸部 85の表面に沿わせてフィルム光導波路 51を設置している。力かる形態によれば 、電子部品が実装された電子回路基板内を結ぶ伝送路などに用いることができ、電 子回路基板内の高速、大容量通信を実現できる。
実施例 10
[0093] 図 29は本発明にかかるフィルム光導波路 51のさらに別な使用方法を示す実施例 である。この実施例 10では、フィルム光導波路 51をフレキシブルな電子回路基板 86 の上に重ね合わせている。このような形態によれば、フレキシブルな電子回路基板 8 6の上に重ね合わせている。このような形態によれば、フレキシブルな電子回路基板 86による電力伝送や演算機能を有し、かつ、高速、大容量通信機能を有するフレキ シブル複合伝送路を実現できる。

Claims

請求の範囲
[1] 曲げ弾性率が 1 ,OOOMPa以下のエラストマ一により下クラッド層と上クラッド層のう ち少なくとも一方の層が形成され、上クラッド層と下クラッド層の膜厚の和が 300 m 以下であることを特徴とするフィルム光導波路。
[2] 前記下クラッド層と前記上クラッド層の間に、両クラッド層よりも屈折率が高ぐ曲げ 弾性率が l,000MPa以下のエラストマ一によりコアが形成されていることを特徴とす る、請求項 1に記載のフィルム光導波路。
[3] 前記コアの曲げ弾性率が前記上クラッド層及び前記下クラッド層の曲げ弾性率より も大き 、ことを特徴とする、請求項 1に記載のフィルム光導波路。
[4] 硬化後の曲げ弾性率が l,000MPa以下のエラストマ一の、モノマー又はオリゴマ 一からなる前駆体を基板に供給する工程と、
前記エラストマ一の前駆体にスタンパを押し当て、スタンパによってエラストマ一の 前駆体に圧力を加えてエラストマ一の前駆体の膜厚を薄くする工程と、
前記エラストマ一の前駆体を硬化させて下クラッド層を形成する工程と、 前記下クラッド層の上にコアを形成する工程と、
前記下クラッド層及びコアの上に上クラッド層を形成する工程と、
を備えたフィルム光導波路の製造方法。
[5] 下クラッド層を形成する工程と、
前記下クラッド層の上にコアを形成する工程と、
硬化後の曲げ弾性率が 1 ,000MPa以下のエラストマ一の、モノマー又はオリゴマ 一からなる前駆体を前記下クラッド層及び前記コアの上に供給する工程と、 前記エラストマ一の前駆体にスタンパを押し当て、スタンパによってエラストマ一の 前駆体に圧力を加えてエラストマ一の前駆体の膜厚を薄くする工程と、
前記エラストマ一の前駆体を硬化させて上クラッド層を形成する工程と、 を備えたフィルム光導波路の製造方法。
[6] 硬化後の曲げ弾性率が l,000MPa以下のエラストマ一の、モノマー又はオリゴマ 一からなる前駆体を第 1の基板に供給する工程と、
前記エラストマ一の前駆体にスタンパを押し当て、前記スタンパによってエラストマ 一の前駆体に圧力を加えてエラストマ一の前駆体の膜厚を薄くする工程と、 前記エラストマ一の前駆体を硬化させて下クラッド層を形成する工程と、 硬化後の曲げ弾性率が 1 ,000MPa以下のエラストマ一の、モノマー又はオリゴマ 一からなる前駆体を第 2の基板に供給する工程と、
第 2の基板に供給された前記エラストマ一の前駆体にスタンパを押し当て、前記ス タンパによってエラストマ一の前駆体に圧力を加えてエラストマ一の前駆体の膜厚を 薄くする工程と、
第 2の基板に供給された前記エラストマ一の前駆体を硬化させて上クラッド層を形 成する工程と、
前記下クラッド層又は前記上クラッド層に形成されたコアを挟みこむようにして、前 記下クラッド層と前記上クラッド層を貼り合わせる工程と、
を備えたフィルム光導波路の製造方法。
[7] 硬化後の曲げ弾性率が l,000MPa以下のエラストマ一の、モノマー又はオリゴマ 一からなる前駆体を第 1の基板に供給する工程と、
前記エラストマ一の前駆体にスタンパを押し当て、前記スタンパによってエラストマ 一の前駆体に圧力を加えてエラストマ一の前駆体の膜厚を薄くする工程と、 前記エラストマ一の前駆体を硬化させて下クラッド層を形成する工程と、 硬化後の曲げ弾性率が 1 ,000MPa以下のエラストマ一の、モノマー又はオリゴマ 一からなる前駆体を第 2の基板に供給する工程と、
第 2の基板に供給された前記エラストマ一の前駆体にスタンパを押し当て、前記ス タンパによってエラストマ一の前駆体に圧力を加えてエラストマ一の前駆体の膜厚を 薄くする工程と、
第 2の基板に供給された前記エラストマ一の前駆体を硬化させて上クラッド層を形 成する工程と、
前記下クラッド層と前記上クラッド層とをコア材料で貼り合わせると共に、前記下クラ ッド層と前記上クラッド層の間に前記コア材料によりコアを形成する工程と、 を備えたフィルム光導波路の製造方法。
[8] 請求項 1、 2又は 3に記載したフィルム光導波路と投光素子又は受光素子とを光学 的に結合するように配置して一体ィ匕させたことを特徴とするフィルム光導波路モジュ 一ノレ。
[9] 回動部分によって一方の部材と他方の部材とを回動自在に連結された折り畳み式 の電子機器装置において、
前記回動部分を通過させて一方の部材と他方の部材との間に請求項 1、 2又は 3に 記載のフィルム光導波路を配線したことを特徴とする電子機器装置。
[10] 機器本体に移動部を備えた電子機器装置において、
前記移動部と前記機器本体とを請求項 1、 2又は 3に記載のフィルム光導波路によ り光学的に結合させたことを特徴とする電子機器装置。
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