WO2005119174A1 - Koordinatenmessgerät und verfahren zum messen eines objektes - Google Patents

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Ralf Christoph
Wolfgang Rauh
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Definitions

  • the invention relates to a coordinate measuring machine for measuring an object with an X-ray sensor system as the first sensor system comprising an X-ray source, at least one X-ray sensor that detects the X-rays, and a shield against X-radiation and a second sensor system such as tactile and / or optical sensor system, which are in x, y - and / or the z-direction of the coordinate measuring machine can be positioned relative to the object. Furthermore, the invention relates to a method for measuring an object comprising a coordinate measuring machine with at least one X-ray sensor system and to a method for calibrating the X-ray sensor system.
  • Coordinate measuring devices with various sensors are known for measuring the geometry of workpieces. Optical and tactile sensors are described as such sensors (DE.Z .: The Library of Technology, Vol. 248). The use of computer tomographs for determining workpiece geometries, in particular defects, is also known. A combination of both devices is described in DE-A-103 31 419. A computer tomograph is firmly attached to the basic structure of the coordinate measuring machine. The position of the measurement object is determined by means of classic coordinate measuring technology sensors and subsequently positioned in the measurement area of the computer tomograph.
  • the problem remains that the measurement objects can have a larger extent than the measurement range of the computer tomograph. Since this is rigidly attached to the basic structure of the coordinate measuring machine, it is not possible to assemble several computed tomography images.
  • computer tomographs usually have a relatively large measurement uncertainty in the order of magnitude of 10 ⁇ m or more.
  • the sole measurement of the measurement object with the computer tomograph - as described in DE-A-103 31 419 - is therefore not sufficient to completely solve the geometric measurement tasks on conventional drawing parts.
  • Another problem is the geometric calibration of the computer tomograph. Since the properties of the tomographic measurement strongly depend on the properties of the measurement object itself, this is difficult to perform globally on measurement standards.
  • a method for determining the thickness of workpieces is known from DE-A-100 44 169.
  • the X-ray radiation passing through a component to be measured strikes a detector.
  • the component can be turned, raised and lowered using a manipulator.
  • a computer of a computer tomograph delivers a stack of gray-scale sectional images which are combined to obtain a three-dimensional voxel data set.
  • the wall thickness of the component is then calculated from this.
  • DE-C-38 06 686 discloses a coordinate measuring machine with a multisensor probe system which comprises a tactile sensor, a laser sensor and a video sensor, one of the sensors being used in accordance with the measuring tasks.
  • EP-A-1 389 263 provides for the replacement of one of these sensors by a computer tomograph.
  • a radiation protection housing is arranged around the measuring arrangement, that is to say independently of the latter.
  • B consists of lead or lead layers having composite material.
  • the radiation protection housing has the exclusive task of absorbing the X-rays generated in the computer tomograph. beers.
  • the overall housing is bulky due to the additional housing. An undesirable increase in weight and high costs are further consequences.
  • a further disadvantage of known computer tomographs is that the measuring speed lags behind that which can be achieved in coordinate measuring technology with optical sensors. It is also disadvantageous that the computer tomograph is firmly attached to the basic structure of the coordinate measuring machine, so that the measuring application is restricted.
  • An inspection system for aircraft fuselages is known from US-A-2003/0043964, which comprises an X-ray source emanating from a crane inside the fuselage and a sensor also emanating from the crane outside the fuselage.
  • a triangulation method is used to determine the position of the sensor.
  • a measuring device In addition to a position detector, a measuring device according to DE-A-100 01 239 provides a non-optical measuring system such as an AFM (Atomic Force Microscope), which are rigidly connected to one another via a supporting element.
  • AFM Acoustic Force Microscope
  • a multi-sensor measuring head according to DE-A-44 45 331 comprises a vertical axis on which several sensors can be mounted.
  • joint milling heads are used in addition to measuring heads.
  • An X-ray test arrangement according to US-A-5, 038.378 provides the possibility of adjusting an X-ray detector independently of one another along three axes.
  • the present invention is based on the object of a method and a coordinate measuring device for measuring an object with at least one X-ray sensor system as the first sensor system and a second sensor system in the form of e.g. B. a tactile and / or an optical sensor system in such a way that even measuring objects of greater extent can be measured without problems. Furthermore, compared to the prior art higher measurement reliability can be achieved. Furthermore, geometric calibration of the x-ray sensors (computer tomographs) is to be made possible in a simple manner. The device should be of compact construction, at the same time ensuring adequate shielding against X-rays. High measuring densities through simple measures and high measuring speeds should be possible. Furthermore, an improvement in the resolution and a reduction in the signal / noise ratio should be made possible. The measurement of objects that produce only a low contrast in relation to X-rays should be able to be carried out with sufficient accuracy.
  • a coordinate measuring device for measuring an object with at least one X-ray sensor system as the first sensor system and a second sensor system
  • a coordinate measuring device for measuring an object with an x-ray sensor system comprising an x-ray source and at least one x-ray sensor that detects the x-rays, and a second sensor system such as tactile and / or optical sensors that are in x, y and / or z-direction of the coordinate measuring machine can be positioned relative to the object, which is characterized in that the X-ray sensor system can be positioned in the coordinate measuring machine in accordance with the second sensor system.
  • the X-ray sensor system is arranged equivalent to the second sensor system in the coordinate measuring machine, the same components or hardware and software that can in principle also be used for the further sensor system being used for positioning the X-ray sensor system and evaluating its measurement data ,
  • the second sensor system itself can in turn comprise more than one sensor.
  • the x-ray sensor system (computer tomograph) is not permanently attached to the coordinate measuring machine, but rather is completely integrated into the coordinate measuring machine as sensor system.
  • the transmitter and receiver of the computer tomograph are arranged in the coordinate measuring machine in the way that is usually realized with transmitted light illumination and image processing sensor.
  • the X-ray receiver and image processing sensor or also mechanical buttons can be arranged to be movable on a common mechanical axis. It is also possible to use separate axes for each sensor.
  • the respective Radiation sources for light and X-rays are arranged opposite the respective sensor.
  • the construction according to the invention makes it possible to acquire several sections of the measurement object one after the other by the known methods of tomography (rotating the part and taking a plurality of radiographic images).
  • the SD construction can then be carried out for the entire set of the transmitted radiographic images. It is therefore possible to measure larger objects than those caused by the field of view of the tomograph.
  • a plurality of tomographic images are strung together, including the coordinate measuring machine or the coordinate system of the measuring machine.
  • the multisensor coordinate measuring machine e.g. tactile-optical
  • the X-ray sensor and image processing sensor and tactile sensor measure in a common coordinate system, as is usual with multi-sensor coordinate measuring machines, so that the measurement results can be directly related to one another.
  • the invention provides u. ⁇ . that the shield or at least a portion of this as a functional component for the required metrological structure of the Coordinate measuring device is formed.
  • This can be e.g. B. to recordings of mechanical axis or this itself, base plates, bearings, etc., without thereby limiting the invention.
  • the shielding required for radiation protection is taken over in whole or in part by functional components of the metrological structure of the coordinate measuring machine.
  • the base plate and at least the rear wall of the housing of the coordinate measuring machine are dimensioned or made from a material such that the required shielding is achieved at the same time.
  • the base plate or a side wall can also be designed accordingly.
  • the components relevant for the shielding consist of hard rock such as granite.
  • other materials, in particular artificial stones, which may have been mixed with a corresponding radiation-absorbing material, can also be used.
  • the shielding or components of the coordinate measuring machine such as the wall, that form the wall are the installation site for functional components of the coordinate measuring machine. Consequently, the shielding components can be used simultaneously for the assembly of functional components of the coordinate measuring machine, in particular of the computer tomograph used, the functional components being mechanical axes or traversing axes and / or sensors and / or radiation or light sources.
  • the components used for the shielding can be dimensioned stronger than is necessary from a measurement or static point of view.
  • the x-ray source is assigned a plurality of sensors whose radiation angles penetrating the object differ from one another, with n-sensors of the x-ray source simultaneously exposed to x-rays in particular for measuring the object are assigned, the X-ray source is adjustable between successive measurements relative to the object by a base angle ⁇ and successive sensors are each rotated by an angle ⁇ / n to the adjacent sensor.
  • the arrangement according to the invention comprises n detectors for the X-rays, which are arranged such that a radiation image with a different radiation angle is recorded with each detector or sensor, so that a reduction in the angular position required to generate a tomogram is necessary.
  • the X-ray sensors are adjusted to one another by an angle difference, which results as follows.
  • a base angle is used which results as an integral multiple of the angular step used between the radiation source and the sensor on the one hand and the object to be measured on the other, the object in particular being located on a turntable which can be rotated with respect to the x-ray sensor system.
  • the angle of the second sensor is increased by a value l / (number of sensors)
  • the angle of the third sensor is increased by a value 2 / (number of sensors).
  • the x-ray sensors are adjusted to one another by integer multiples of the angular step of the turntable, it being possible to shorten the irradiation time in the respective angular position. Regardless, the multiple amount of X-rays is picked up by the multiple number of sensors, thereby reducing the signal-to-noise ratio.
  • the existing 2D image can, for. B. by averaging from neighboring pixels into a lower resolution image with less pixel information.
  • a 3D reconstruction is then carried out from these low-resolution images to calculate a three-dimensional voxel image from the various 2-D radiographic images. After determining this voxel image, the voxel image is converted back into an image of the original resolution by interpolation between several voxels. It is even possible to use additional algorithms to calculate additional voxels by using the same procedure and thus to achieve a higher resolution of the voxel image.
  • the object is rotated continuously during the measurement.
  • a mechanical or electronic lock or equivalent measures such as high-frequency modulation is only opened briefly several times to avoid motion blur. Regardless of this, the measurement time is shortened in this way.
  • the object can be generated using different spectral ranges of the X-rays.
  • the spectral range of the X-rays is determined by the cathode voltage of the X-ray emitter.
  • Typical - but purely exemplary - can e.g.
  • the measurement object is tomographed with a cathode voltage of 50 kV and 90 kV and 130 kV, in order to then determine the differences in the measurement results for the different cathode voltages.
  • the angle between the axis of rotation of the rotary table receiving the object and X-ray Radiation source and associated sensors can be varied at different angles with the aid of mechanical swivel axes or by using several detectors, the sensors in particular extending along a straight line which runs parallel to the axis of rotation of the turntable.
  • the invention provides that the object is penetrated by X-rays running parallel to one another.
  • the X-rays are parallelized using suitable devices.
  • the invention provides that the object is surrounded by a material that has a higher absorption than the object itself. So with a measurement object z. B. from a substance with a small mass number such. B. Lithium, the contrast of the tomographically determined 2-D radiographic images can be improved by pouring out the measurement object with a heavier material. Sufficiently high-contrast images are thus obtained from the negative shape of the measurement object, which in turn enable the measurement object to be displayed.
  • sensors can be used to optimize the measurement.
  • further sensors for measuring the object such as. B. mechanical buttons, laser buttons, image processing sensors are provided in the arrangement, which are optionally arranged on separate travel axes.
  • the axis of rotation required to record a tomogram for the rotation of the object can also be arranged on a traversing axis, as a result of which the measuring range is expanded in the direction of the axis of rotation. In other words, the object can be adjusted in the direction of the axis of rotation.
  • a proprietary proposal for calibrating the X-ray sensor system in the coordinate measuring machine provides that excellent points of the object to be measured are measured with tactile and / or optical sensors and from this geometry characteristics such as diameters or distances are determined, which are determined with the X-ray sensor system for calibration after determining the same geometry features the X-ray sensors can be used.
  • the measurement results determined by the tactile and / or optical sensors for excellent points such as edge areas of the measurement volume can be used to correct the measurement point cloud generated from the 3D voxel data using threshold value methods.
  • the threshold value operation used after the tomography leads to the extraction of 3D point clouds, which can be represented in the ASCI format or STL format.
  • This point cloud is corrected between the tactile or optically determined measurement point so that the deviations between tactile and / or optical measurement and the tomographic measurement become a minimum.
  • An interpolation is carried out between the tactile and / or optical measuring points to determine the deviation.
  • the positions of the voxels are changed by the correction value determined using tactile or optical countermeasures, which are located at the material limits (edges of the measurement volume) of the tomographed object.
  • Voxel positions lying between support points are then corrected by interpolation between the measured correction positions.
  • This voxel image is then advantageously resampled into a regular grid. This can be done by specifying a target grid for the voxel image and calculating a new voxel amplitude for each point of the target grid from the voxel amplitudes located in the area by inteolation.
  • the invention proposes that the position for the x-ray source and x-ray detector be stored with the associated calibration data after a single measurement for specific magnification and measurement range arrangements and can then be called up for subsequent measurements under software control without further recalibration.
  • magnification and measurement range settings which have been measured beforehand to be called up automatically by the measurement program of the coordinate measuring machine and for the corresponding hardware components of the device to be positioned.
  • the x-ray source and x-ray detector are moved synchronously in order only to change the magnification and / or measuring range or that the x-ray source and x-ray detector are moved independently of one another in order to change the magnification and / or measuring range.
  • the center of rotation adjustment can be implemented in the software by a measuring process and / or a corresponding correction of the center of rotation offset.
  • a further development provides that the determination of the magnification for the tomography and / or the center of rotation position in relation to the X-ray source and the X-ray detector is determined by means of a standard which consists of at least two spheres. In particular, it is provided that the standard consists of four balls.
  • a method for determining the position of the center of rotation in the coordinate measuring machine is characterized in particular by the method steps of a four-ball standard consisting of four balls arranged in the corners of a rectangle such as a square, in which the distances between the balls are known or calibrated, is positioned on the axis of rotation , the four-sphere standard is rotated so that the spanned plane is parallel to the detector, measurement of the four-sphere position in the measuring field of the detector, calculation of the mean magnification Ml from the four measured spherical distances, the nominal spherical distances and the nominal pixel size of the detector, rotation of the axis of rotation by 180 °, measurement of the four spherical positions in the picture, Calculation of the mean magnification M2 from the four measured spherical distances, the nominal spherical distances and the nominal pixel size of the detector.
  • an object to be measured with a coordinate measuring device which, in addition to the X-ray sensors (computer tomographs), has further sensors, so that measurements can be carried out using tactile and / or optical sensors, in particular tactile-optical measurements are to be mentioned.
  • a coordinate measuring device which, in addition to the X-ray sensors (computer tomographs), has further sensors, so that measurements can be carried out using tactile and / or optical sensors, in particular tactile-optical measurements are to be mentioned.
  • Another proposal provides that a sample part of the type of measurement object is first scanned using X-rays (tomographic) and tactile and / or optically, a correction network for the correction of the tomographic measurement values is calculated from the difference between the two measurements, and the tomographic measurements are also included when measuring series parts the correction values determined once are corrected.
  • the procedure in this regard is to be understood in such a way that in a first measurement process, many measurement points for a typical representative of the measurement object are measured tomographically and tactilely or optically by means of X-rays.
  • tactile and / or optical measurement a large number of measuring points are used in order to achieve a sufficiently dense correction network.
  • Corresponding correction values are then determined from this for each surface location of the object to be tomographed, which result from the comparison of the tactile and / or optical measured values with the tomographic measured values. When later tomography of other parts, these correction values are applied directly. Another tactile or optical countermeasure is not necessary.
  • a calibrated part of a measurement object is tomographed and a correction network for the correction of the tomographic measurement values is calculated from the measurement deviation during the measurement, and that the tomographic measurements are coordinated with the previously coordinated correction values when measuring series parts.
  • the tactile and / or optical measuring points can be set graphically for correction by an operator on the point cloud determined by tomography and can then be measured automatically by the coordinate measuring device.
  • a further development provides that the tactile and / or optical measurement points for correction by an operator are defined graphically on the CAD model on which the part to be measured is based and are then measured automatically by the coordinate measuring machine.
  • the tactile and / or optical measuring points can be measured automatically by the coordinate measuring machine for correction by an automatic algorithm on the surface of the CAD model on which the part to be measured is based, approximately evenly or evenly distributed.
  • the tactile and / or optical measuring points can also be corrected by an operator graphically defined on the CAD model and automatically measured by the coordinate measuring machine after loading the CAD model.
  • the invention further teaches that in the tomography process a calibration body, in particular an arrangement of balls, is fundamentally tomographed and from this the relative position of the axis of rotation to the coordinate measuring machine and / or to the x-ray source and / or to the x-ray sensor is determined and then mathematically corrected.
  • the position of the calibration body on the axis of rotation can be determined with optical and / or tactile sensors and used to correct the position of the axis of rotation.
  • the calibration body like the at least two calibration balls, in the holder, i. H. the turntable of the object to be measured are embedded in a material that has a low absorption to X-rays.
  • the measurement object can thus be positioned on the turntable by detecting the calibration body, since the position of the pivot point, that is to say the axis of rotation of the turntable, can be determined by means of the calibration body.
  • the spatial position of the axis of rotation in relation to the x-ray source and x-ray detector can be determined according to the invention with the x-ray sensor system and / or with the tactile sensor system and / or with the optical sensor system, and this positional deviation when tomographing measurement objects can be corrected mathematically.
  • the position of the axis of rotation deviating from the nominal position is corrected by rotation and / or translation and / or distortion of the 2D individual images.
  • the position of the axis of rotation deviating from the nominal position can be taken into account in the reconstruction algorithm.
  • Another proposal of the invention provides that the measurement object is determined by using tactile and / or optical sensors and / or tomography in its position on the rotary table of the measuring device and thus in the machine coordinate system and then measured in 2D transmission mode at the calibrated position of the X-ray sensor by means of methods using image processing.
  • the x-ray detector can be automatically controlled by the device software so that the detector is positioned in the beam cone of the x-ray source during the actual tomography process and is brought into the parking position outside of the radiation cone outside of these times.
  • image processing sensors and X-ray sensors of a multi-sensor coordinate measuring device are equipped with the same image processing hardware and the same image processing software or parts thereof.
  • the image processing methods known from image processing sensors can also be used for X-ray sensors.
  • the invention provides that the 2D x-ray images before reconstruction of a distortion corrector and / or a bright signal correction and / or a dark signal correction and / or a mathematical translation and / or a mathematic table rotation and / or a resampling method and / or a linearity characteristic correction and / or an image processing filtering.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of a multi-sensor coordinate measuring machine
  • FIG. 4 shows a basic illustration of a first arrangement of X-ray source and associated sensors
  • FIG. 5 shows a schematic diagram of a second arrangement of an X-ray source and associated sensors
  • FIG. 7 shows a schematic diagram to explain a method for increasing the resolution of a tomogram
  • Fig. 10 is a block diagram
  • Fig. 11 schematic diagrams for explaining a correction method.
  • FIG. 1 shows, in principle, a coordinate measuring machine for the combined use of X-ray sensors and optical and tactile sensors, although the teaching according to the invention is also suitable for a coordinate measuring machine in essential features which, in addition to the computer tomograph, does not include any additional sensors.
  • a rotary table 2 is arranged on an axis 18 running parallel to the X axis of the coordinate measuring machine.
  • a measurement object 3 is located on this and can thus be rotated about the axis of rotation 18 and displaced in the X direction by the axis 18 (double arrow).
  • a sensor 7 for X-rays and an image processing sensor 8 is located on the mechanical axis 5.
  • a tactile sensor 9 is also located on the mechanical axis 6.
  • An X-ray source 10 is arranged opposite the X-ray sensor 7, which can be moved or fixed in the Y direction can be.
  • a transmitted light source 11 is located opposite the image processing sensor system 8.
  • the mechanical axes or slides, which run along the X, Y or Z axis of the coordinate measuring machine, are designed such that the sensors installed in or on the coordinate measuring machine are respectively can cover the entire measuring range on the rotary
  • CT computer tomography
  • the X-ray sensor system sensor, radiation source
  • the second sensor system e.g. image processing sensor, transmitted or reflected light beam
  • lenource or tactile sensor with an associated image processing sensor can be positioned in the coordinate measuring machine, that is, the X-ray sensor system is arranged equivalent to the second sensor system.
  • the x-ray sensor system with at least the tactile sensor system and / or the optical sensor system can be arranged on a common mechanical axis or can be arranged on a separate mechanical axis that works in an analogous manner to the mechanical axes for the tactile and / or optical sensor system.
  • the workpiece 3 is placed on a turntable 2 and X-rayed.
  • the sensor 7 z. B. in the form of an area detector converts the x-ray image into a digital 2D image for further processing.
  • Object 3 is rotated through 360 ° and X-ray images are taken in several rotational positions. Then, on the basis of the 2D images, a 3D reconstruction of measuring points is carried out, which describes the entire workpiece geometry to be measured.
  • the area of application of the computer tomograph can be expanded by integrating one or more of the further sensors 8, 9. With the image processing sensor 8, the fully automatic measurement of complicated, extremely low-contrast workpieces in transmitted and incident light is possible. Touching touch probes enable highly precise measurements of optically inaccessible features.
  • the sensor 7 and the x-ray source 10 are adjusted synchronously, that is to say at a constant distance from the object 3. In this way there is the possibility of adjusting the measuring range, which can be done automatically if necessary.
  • the object 3 can also be adjusted to the sensor 7 in order to enable adaptation to the workpiece size and the accuracy requirements. If the object 3 is adjusted towards the sensor 7, the magnification is lower, whereas when the object 3 is adjusted a high magnification can be achieved towards the X-ray source 10. The sensor can also be adjusted to the object 3 when the x-ray source 10 is stationary.
  • the squares represent the pixels of a 2D image.
  • the existing 2D image is e.g. B. converted by averaging from neighboring pixels into a lower resolution image with less pixel information (pixels shown as crosses).
  • a 3D reconstruction for calculating the three-dimensional voxel image is then carried out from corresponding 2D transmission images of low resolution.
  • the voxel image which is likewise simulated by crosses in the 2D representation shown in FIG. 6, is converted into an image of the original image. Solution calculated back by interpolation between several voxel images, so that - again in 2D - there is again an image with squares. It is also possible to calculate additional voxels by using the same procedure in order to achieve a higher resolution of the voxel image. This is symbolized by the circles.
  • a further method according to the invention is to be illustrated with reference to FIG. 7, by means of which the resolution in the tomogram can be increased.
  • several images are taken, between which the sensor is moved to the object or the object to the sensor by a distance that is less than the edge length of a sensitive element of the sensor.
  • the X-ray detector (sensor) used is characterized in its resolution by the pixels drawn as squares.
  • an image is recorded in each rotational position in the position of the x-ray detector drawn as squares, as well as an image in the position of the x-ray detector marked with circles as well as in the position of the x-ray detector marked with circles as well as in the as Circles marked with Z position of the X-ray detector recorded. All images are combined into one image and taken into account as a whole in the tomography reconstruction process. A higher resolution is thus achieved than is physically given by the detector.
  • a standard can be used, which is identified by 50 in the exemplary embodiment in FIG. 8.
  • a base 54 is based on a support 54 made of a material which has a low absorption to X-rays.
  • At least two balls 56, 58 made of highly absorbent material such as steel are arranged in the carrier 54.
  • the standard 50 is then turned to a table 60, which corresponds to the rotary table 2 of FIG. 1, a tomograph.
  • the turntable 60 is rotatable about an axis 62 which can coincide with the X axis of the coordinate measuring machine.
  • the measuring processes for determining the position of the axis of rotation 62 of the tomograph within the coordinate measuring machine are now determined by measuring the positions of the balls 56, 58 relative to the x-ray sensor 7 in different positions of the ball normal 50.
  • magnification is to be determined, measurements at two different distances from the sensor 7 are necessary.
  • the standard 50 can have two further balls 64, 66.
  • the distance between the X-ray source 10 and the sensor 7 is determined by means of a standard, which in the exemplary embodiment consists of a four-sphere standard which comprises four spheres arranged on the corners of a square.
  • the distances between the balls are known (calibrated) •
  • the four-ball standard is arranged on the axis of rotation •
  • the four-ball standard is screwed in so that the spanned plane is parallel to the detector •
  • AQD dZ * Ml * M2 / (M2 - M2) in it is: AQD: distance source detector M 1: enlargement at position Z 1 M2: enlargement at position Z2 dZ: distance between positions ZI and Z2
  • a method for determining the Y position of the center of rotation axis, also based on a four-ball normal with balls arranged at the corners of a square, is as follows:
  • the distances between the balls are known (calibrated) •
  • the four-ball standard is arranged on the axis of rotation •
  • the four-ball standard is screwed in so that the spanned plane is parallel to the detector •
  • Measurement of the four ball positions in the image • Calculation of the mean magnification Ml from the four measured ball distances, • the nominal spherical distances and the nominal pixel size of the detector • rotation of the axis of rotation by 180 ° • measurement of the four spherical positions in the image • calculation of the mean magnification M2 from the four measured spherical distances, • the nominal spherical distances and the nominal pixel size of the detector, • calculation of the Y Position of the center of rotation based on the four ball positions before and after the rotation according to the following equation:
  • Pdyn (Pkynl * M2 + Pkyn2 * Ml) / (Ml * M2) where: Pdyn: Y position of the axis of rotation on the detector for ball n Pkynl: Y position of the ball n at angle of rotation 0 ° Pkyn2: Y position of the ball n at rotation angle 180 ° Ml: medium magnification at rotation angle 0 ° M2: medium magnification at rotation angle 180 °.
  • a coordinate measuring machine 110 with a housing 112 is also shown in principle, which comprises a base plate 114, rear wall 116, side walls 118, 120 and a head wall 122, which can also be referred to as a cover plate.
  • the x-axis, y-axis and z-axis of the coordinate measuring machine are identified in the drawing by reference numerals 124, 126 and 128.
  • a guide runs in the x-direction, along which, in the x-direction 124, a holder 132 for a turntable 134 is adjustable, on which an object 136 to be measured is arranged.
  • the rotary table 134 is arranged on the x-axis 124.
  • Guides run along the y-axis 126, along which a receptacle 138 can be displaced.
  • a holder 140 extends from the receptacle 138 and is displaceable along the z-axis 128.
  • An x-ray source 142 also emanates from the base plate 114 and its x-ray radiation penetrates the object 136 arranged on the turntable 134. The x-ray radiation is in turn detected by suitable sensors such as CCD sensors which are sensitive to x-ray radiation.
  • sensors 144 can be sensors that are common for coordinate measuring machines, e.g. B. tactile or optical sensors.
  • tomography can be carried out as well as tactile or optical measurements such as with image processing sensors, laser distance sensors, etc.
  • the use of X-rays makes it necessary for the coordinate measuring machine 110 to be adequately shielded from the outside.
  • the load-bearing components have a shielding function. So z. B. the base plate 114 and / or the rear wall 1 16 can be dimensioned or designed such that the required shielding function is ensured.
  • the corresponding walls 1 14, 1 16 simultaneously exercise the function that is required for the metrological structure, namely in the gamemensbei guidance for the x and y axes.
  • the housing 112 of the coordinate measuring machine 110 or parts of it performs a double function, namely that of the necessary shielding and that of functional components of the metrological structure. This results in a compact construction.
  • the base plate 114 starts with the turntable 134 on which an object, not shown, is arranged, which is irradiated by X-ray radiation 150 originating from an X-ray source 148.
  • the radiation is detected by a total of three x-ray sensors 152, 154, 156, so that three tomograms result for different directions of radiation in a measurement position of the object.
  • the sensors 152, 154, 156 are read out and projection images for the tomogram are obtained in each measuring position, that is to say in each angular position of the turntable 34.
  • the angular position of the sensors 152, 154, 156 is designed such that the angles between the sensors 152, 154, 156 each differ by integer multiples of the angular step of the turntable 136 used when operating the computer tomograph, the second and the third sensors 154, 156 are arranged rotated by one third of the angular step relative to the preceding first sensor 152 and second sensor 154.
  • the angle between the axis of rotation 158 of the turntable 154 and X-ray radiation 150 apparently being changed, in the exemplary embodiment in FIG. 5, three sensors 160, 162, 164 are at different angles to the main radiation direction of the X-ray radiation source 148 arranged, whereby the apparent pivoting of the X-ray source to the axis of rotation 158 is simulated.
  • the double arrow 166 shown in FIG. 5 is intended to symbolize that the turntable 134 can be adjusted along the axis of rotation 158 parallel to the X-axis.
  • a calibration body in the form of balls 300, 302 can in principle also be tomographed during tomography, which results in the relative position of the axis of rotation 158 of the rotary table 134 on which the object 136 to be measured is arranged.
  • the balls 300, 302 can be arranged in a receptacle 304, which shows a low absorption to X-rays, whereas the balls 300, 302 are highly absorbent and e.g. B. consist of steel.
  • the position of the axis of rotation 158 relative to the coordinate measuring machine or to the X-ray source 10 or to the sensor 7 can be determined without problems during tomography and then corrected mathematically.
  • measurement points on the measurement object are recorded in the coordinate measuring device by means of tactile and / or optical sensors and used to correct the measurement points determined with the X-ray sensors.
  • FIG. 11 a The principle of a corresponding correction method can be found in this.
  • a measurement object 400 is shown in FIG. 11 a, which is measured tactile and / or optically at selected points.
  • Corresponding measuring points are identified by way of example with the reference numbers 402, 404, 406.
  • the shape changed in the tomographed point cloud 408 due to typical errors in tomography is obtained.
  • B Tomography-typical artifacts.
  • the position of the tomographed measuring points is corrected on the basis of the measuring points available, which are measured more precisely with optical and / or tactile sensors, and which are shown again in FIG. 1 lb.
  • An interpolation may have taken place between the tactile and optically measured measuring points.
  • the result is then a geometrically corrected tomographically measured point cloud 410, which corresponds better to the shape of the measurement object 400 than the original data of the tomogram.
  • FIGS. 1 lb and 1 lc shows a comparison of FIGS. 1 lb and 1 lc.
  • FIG. 10 an image processing sensor system 500 and an X-ray sensor system 502 are connected to the same image processing board 504 in order to be able to work in the manner described above.

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Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein Koordinatenmessgerät (110) zum Messen eines Objektes (3) mit einer Röntgensensorik als erste Sensorik umfassend eine Röntgenstrahlenquelle (10) und zumindest einen die Röntgenstrahlen erfassenden Röntgenstrahlensensor (7) sowie eine zweite Sensorik wie taktile und/oder optische Sensorik (8, 11; 9), die in x-, y- und/oder z-Richtung des Koordinatenmessgerätes relativ zu dem Objekt positionierbar ist. Um auch Messobjekte größerer Ausdehnung problemlos messen zu können, wird vorgeschlagen, dass die Röntgensensorik (7, 10) entsprechend der zweiten Sensorik (8, 11; 9) in dem Koordinatenmessgerät (10) positionierbar ist.

Description

KOORDINATENMESSGERAT UND VERFAHREN ZUM MESSEN EINES OBJEKTES
Die Erfindung bezieht sich auf ein Koordinatenmessgerat zum Messen eines Objektes mit einer Röntgensensorik als erste Sensorik umfassend eine Röntgenstrahlenquelle, zumindest einen die Röntgenstrahlen erfassenden Rontgenstrahlensensor sowie eine Abschirmung gegenüber Röntgenstrahlung und einer zweiten Sensorik wie taktile und/oder optische Sensorik, die in x-, y- und/oder z-Richtung des Koordinatenmessgerä- tes relativ zu dem Objekt positionierbar ist. Ferner bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren zum Messen eines Objektes umfassend ein Koordinatenmessgerat mit zumindest einer Röntgensensorik sowie auf ein Verfahren zum Kalibrieren der Röntgensensorik.
Zum Messen der Geometrie von Werkstücken sind Koordinatenmessgeräte mit verschiedenen Sensoren bekannt. Als solche Sensoren werden optische und taktile Sensoren beschrieben (DE.Z.: Die Bibliothek der Technik, Bd. 248). Ebenfalls ist der Einsatz von Computer-Tomographen zur Bestimmung von Werkstückgeometrien insbesondere von Fehlstellen bekannt. So wird in der DE-A- 103 31 419 eine Kombination beider Geräte beschrieben. Hierbei ist ein Computer-Tomograph fest am Grundaufbau des Ko- ordinatenmessgerätes befestigt. Dabei wird mittels klassischer Koordinatenmesstechnik- Sensorik die Position des Messobjektes bestimmt und hierauf folgend in den Messbereich des Computer-Tomographen positioniert.
Beim beschriebenen Stand der Technik finden verschiedene Aufgabenstellungen keine Beachtung. Ungelöst bleibt zum Beispiel das Problem, dass die Messobjekte eine größere Ausdehnung aufweisen können als der Messbereich des Computer-Tomographen. Da dieser starr am Grundaufbau des Koordinatenmessgerätes befestigt ist, ist ein Zusammensetzen mehrerer Computertomographie-Aufnahmen nicht möglich. Darüber hinaus weisen Computer-Tomographen üblicherweise eine relativ grobe Messunsicherheit in der Größenordnung von 10 μm oder mehr auf. Die alleinige Messung des Messobjektes mit dem Computer-Tomographen - wie in der DE-A- 103 31 419 beschrieben - ist somit zur vollständigen Lösung der geometrischen Messaufgaben an üblichen Zeichnungsteilen nicht ausreichend. Ein weiteres Problem besteht darin, die geometrische Kalibrierung der Computer-Tomographen vorzunehmen. Da die Eigenschaften der tomographischen Messung stark von den Eigenschaften des Messobjektes selbst abhängen, ist dies nur schwer global an Messnormalen durchzuführen.
Aus der DE-A-100 44 169 ist ein Verfahren zur Bestimmung der Dicke von Werkstücken bekannt. Dabei trifft die ein zu messendes Bauteil durchsetzende Röntgenstrahlung auf einen Detektor. Das Bauteil kann mittels eines Manipulators gedreht sowie angehoben und abgesenkt werden. Nach vollständiger Durchleuchtung des Bauteils liefert ein Rechner eines Computer-Tomographen einen Stapel von Grauwertschnittbildern, die zusammengefügt werden, um einen dreidimensionalen Voxel-Datensatz zu erhalten. Aus diesem wird sodann die Wandstärke des Bauteils berechnet.
Aus der DE-C-38 06 686 ist ein Koordinatenmessgerat mit einem Multisensortastsys- tem bekannt, das einen taktil arbeitenden Sensor, einen Lasersensor und einen Videosensor υmfasst, wobei entsprechend den Messaufgaben ein Einsatz einer der Sensoren erfolgt. Einen dieser Sensoren durch einen Computer-Tomographen zu ersetzen, sieht die EP-A-1 389 263 vor.
Bei der Verwendung einer Röntgensensorik sind umfangreiche Schutzmaßnahmen zur Abschirmung der Röntgenstrahlen erforderlich, um Strahlenschutzvorschriften zu genügen. Dabei muss sichergestellt sein, dass die Strahlenbelastung außerhalb der Messanordnung vorgegebene Grenzwerte nicht überschreitet. Um diesen Anforderungen zu genügen, ist es bekannt, dass um die Messanordnung, also unabhängig von dieser ein Strahlenschutzgehäuse angeordnet wird, das z. B. aus Blei oder Bleischichten aufweisendem Verbundmaterial besteht. Das Strahlenschutzgehäuse hat dabei die ausschließliche Aufgabe, die im Computer-Tomographen entstehende Röntgenstrahlung zu absor- bieren. Durch das zusätzliche Gehäuse wird die Gesamtmessanordnung voluminös. Eine unerwünschte Gewichtserhöhung sowie hohe Kosten sind weitere Folgen.
Nachteil bekannter Computer-Tomographen ist es des Weiteren, dass die Messgeschwindigkeit hinter der zurückbleibt, die in der Koordinatenmesstechnik mit optischen Sensoren erzielbar ist. Nachteilig es auch, dass der Computer-Tomograph fest am Grundaufbau des Koordinatenmessgerätes befestigt sind, so dass die Mess- Einsatzmöglichkeit eingeschränkt ist.
Aus der US-A-2003/0043964 ist ein Inspektionssystem für Flugzeugrümpfe bekannt, das eine innerhalb des Rumpfes von einem Kran ausgehende Röntgenquelle und einen außerhalb des Rumpfes ebenfalls von einem Kran ausgehenden Sensor umfasst. Um die Position des Sensors zu bestimmen, wird ein Triangulationsverfahren benutzt.
Ein Messgerät nach der DE-A-100 01 239 sieht neben einem Positionsdetektor ein nicht optisches Messsystem wie ein AFM (Atomic Force Microscope) vor, die über ein Tragelement starr miteinander verbunden sind.
Ein Multisensormesskopf nach der DE-A-44 45 331 umfasst eine Vertikalachse, auf der mehrere Sensoren montiert sein können.
In einem Koordinatenmessgerat nach der EP-A-0 504 609 werden neben Messköpfen auch Gelenkfräsköpfe eingesetzt.
Eine Röntgenprüfanordnung nach der US-A-5, 038,378 sieht die Möglichkeit vor, einen Röntgenstrahldetektor unabhängig voneinander entlang von drei Achsen zu verstellen.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, ein Verfahren und ein Koordinatenmessgerat zum Messen eines Objektes mit zumindest einer Röntgensensorik als erste Sensorik sowie einer zweiten Sensorik in Form z. B. einer taktilen und/oder einer optischen Sensorik derart weiterztfbildέn, dass auch Messobjekte größerer Ausdehnung problemlos gemessen werden können. Ferner soll im Vergleich zum Stand der Technik eine höhere Messsicherheit erzielbar sein. Des Weiteren soll auf einfache Weisung eine geometrische Kalibrierung der Röntgensensorik (Computer-Tomographen) ermöglicht werden. Die Vorrichtung soll kompakt aufgebaut sein, wobei gleichzeitig eine hinrechende Abschirmung gegen Röntgenstrahlung sichergestellt sein soll. Hohe Messdichten durch einfache Maßnahmen und hohe Messgeschwindigkeiten sollen realisierbar sein. Ferner soll eine Verbesserung der Auflösung sowie eine Reduzierung des Signal- /Rauschverhältnisses ermöglicht werden. Das Messen von Objekten, die in Bezug auf Röntgenstrahlung nur einen geringen Kontrast erzeugen, soll mit hinreichender Genauigkeit durchführbar sein.
Zur Lösung eines Aspekts der Erfindung wird ein Koordinatenmessgerat zum Messen eines Objektes mit einer Röntgensensorik als erste Sensorik umfassend eine Röntgen- strahlenquelle und zumindest einen die Röntgenstrahlen erfassenden Rontgenstrahlensensor sowie eine zweite Sensorik wie taktile und/oder optische Sensorik die in x-, y- und/oder z-Richtung des Koordinatenmessgerätes relativ zu dem Objekt positionierbar ist, vorgeschlagen, das sich dadurch auszeichnet, dass die Röntgensensorik entsprechend der zweiten Sensorik in dem Koordinatenmessgerat positionierbar ist. Mit anderen Worten ist die Röntgensensorik gleichwertig zu der zweiten Sensorik im Koordinatenmessgerat angeordnet, wobei zum Positionieren der Röntgensensorik und Auswerten deren Messdaten prinzipiell die gleichen Komponenten bzw. Hard- und Software verwendet werden können, die auch für die weitere Sensorik vom Prinzip her zum Einsatz gelangen. Die zweite Sensorik selbst kann wiederum mehr als einen Sensor umfassen.
Erfindungsgemäß ist somit u. a. vorgesehen, dass die Röntgensensorik (Computer- Tomograph) nicht fest am Koordinatenmessgerat angebaut wird, sondern als Sensorik vollständig in das Koordinatenmessgerat integriert wird. Hierzu werden Sender und Empfänger des Computer-Tomographen so im Koordinatenmessgerat angeordnet, wie dies üblicherweise bei Durchlichtbeleuchtung und Bildverarbeitungssensor realisiert wird. Röntgenempfänger und Bildverarbeitungssensor oder auch mechanischer Taster können auf einer gemeinsamen mechanischen Achse beweglich angeordnet sein. Gleichfalls ist es möglich für jeden Sensor separate Achsen einzusetzen. Die jeweiligen Strahlenquellen für Licht- und Röntgenstrahlung sind dem jeweiligen Sensor gegenüber angeordnet.
Durch den erfindungsgemäßen Aufbau ist es möglich, mehrere Ausschnitte des Messobjektes nacheinander durch die bekannten Verfahren der Tomographie (Drehen des Teiles und Aufnehmen von mehreren Durchstrahlungsbildern) zu erfassen. Anschließend kann für die gesamte Menge der zusammengesetzten Durchstrahlungsbilder die SD- Konstruktion erfolgen. Es ist somit möglich größere Messobjekte als durch das Sehfeld des Tomographen bedingt zu messen.
Es werden erfindungsgemäß mehrere tomographische Bilder unter Einbeziehung des Koordinatenmessgerätes bzw. des Koordinatensystems des Messgerätes aneinander gereiht.
Darüber hinaus ist es möglich, genauer zu messende Merkmale des Messobjektes in traditioneller Weise mit den Sensoren des Multisensor-Koordinatenmessgerätes (z. B. taktil -optisch) zu messen. Röntgensensor und Bildverarbeitungssensor und taktiler Sensor messen wie bei Multisensor-Koordinatenmessgeräten üblich in einem gemeinsamen Koordinatensystem, sodass die Messergebnisse direkt zueinander in Bezug gesetzt werden können.
Bei dem gegebenen Aufbau ist es nun möglich, die Kalibrierung der Messungen mit der Röntgensensorik nach dem Tomographie-Prinzip direkt an den Messobjekten selbst durchzuführen. Hierdurch werden ausgezeichnete Punkte des Messobjektes mit der tak- tilen oder optischen Sensorik des Koordinatenmessgerätes in bekannter Genauigkeit gemessen. Diese Punkte werden bei der Auswertung der Berechnung der SD- Rekonstruktion des Computer-Tomographen berücksichtigt, um die geometrische Kalibrierung dieses Rekonstruktionsprozesses durchzuführen.
Um bei kompaktem Aufbau eine hinreichende Abschirmung gegen Röntgenstrahlung sicherzustellen, sieht die Erfindung u. ä. vor, dass die Abschirmung oder zumindest ein Bereich dieser als Funktionsbauteil für den erforderlichen messtechnischen Aufbau des Koordinatenmessgerätes ausgebildet ist. Hierbei kann es sich z. B. um Aufnahmen von mechanischer Achse oder diese selbst, Grundplatten, Lagerungen etc. handeln, ohne dass hierdurch eine Beschränkung der Erfindung erfolgt. Mit anderen Worten wird die für den Strahlenschutz benötigte Abschirmung ganz oder teilweise von Funktionsbauteilen des messtechnischen Aufbaus des Koordinatenmessgeräts übernommen.
Insbesondere besteht die Möglichkeit, dass Grundplatte und zumindest Rückwand des Gehäuses des Koordinatenmessgerätes derart dimensioniert bzw. aus einem Material hergestellt sind, dass gleichzeitig die erforderliche Abschirmung erzielt ist. Auch kann Grundplatte oder eine Seitenwandung entsprechend ausgebildet sein. Hierzu ist insbesondere vorgesehen, dass die für die Abschirmung relevanten Bauteile aus Hartgestein wie Granit bestehen. Aber auch andere Materialien, insbesondere Kunststeine, die ggf. mit einem entsprechenden strahlenabsorbierenden Material versetzt sind, können zum Einsatz gelangen.
In hervorzuhebender Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Abschirmung bzw. diese bildende Bauteile des Koordinatenmessgerätes wie Wandung Montageort für Funktionskomponenten des Koordinatenmessgerätes sind. Folglich sind die abschirmenden Bauteile gleichzeitig zur Montage von Funktionskomponenten des Koordinatenmessgerätes, insbesondere des zum Einsatz gelangenden Computer- Tomographen verwendbar, wobei die Funktionskomponenten mechanische Achsen bzw. Verfahrachsen und/oder Sensoren und/oder Strahlen- bzw. Lichtquellen sein können.
Um eine hinreichende Abschirmung sicherzustellen, können die für die Abschirmung verwendeten Bauelemente stärker dimensioniert sein als dies aus messtechnischer oder statischer Sicht notwendig ist.
Nach einem eigenerfinderischen Vorschlag ist vorgesehen, dass der Röntgenstrahlen- quelle mehrere Sensoren zugeordnet sind, deren das Objekt durchsetzende Bestrahlungswinkel voneinander abweichen, 'wobei insbesondere zum Messen des Objekts gleichzeitig mit Röntgenstrahlen beaufschlagte n-Sensoren der Röntgenstrahlenquelle zugeordnet sind, die Röntgenstrahlenquelle zwischen aufeinander folgenden Messungen relativ zum Objekt um einen Basiswinkel α verstellbar ist und aufeinander folgende Sensoren jeweils um einen Winkel α/n zum benachbarten Sensor verdreht angeordnet sind.
Die erfindungsgemäße Anordnung umfasst n Detektoren für die Röntgenstrahlung, die so angeordnet sind, dass mit jedem Detektor bzw. Sensor jeweils ein Durchstrahlungsbild mit einem unterschiedlichen Durchstrahlungswinkel aufgenommen wird, wodurch eine Verringerung der benötigten Winkelstellung zur Erzeugung eines Tomogramms notwendig ist.
Erfindungsgemäß werden die Röntgensensoren um eine Winkeldifferenz zueinander justiert, die sich wie folgt ergibt. Es wird ein Basiswinkel verwendet, der sich als ganz- teiliges Vielfaches des verwendeten Winkelschritts zwischen Strahlungsquelle und Sensor einerseits und zu messendem Objekt andererseits ergibt, wobei insbesondere das Objekt sich auf einem Drehtisch befindet, der zu der Röntgenstrahlensensorik drehbar ist. Der Winkel des zweiten Sensors wird um einen Wert l/(Anzahl der Sensoren) erhöht, der Winkel des dritten Sensors wird um einen Wert 2/ (Anzahl der Sensoren) erhöht. Folglich wird der n-te Sensor um (n-1) / (Anzahl der Sensoren) erhöht. Somit ist die Möglichkeit gegeben, bei einmaliger Umdrehung die u-fache Anzahl von Winkelstellungen auszuwerten, wobei u = das Produkt aus n = Anzahl der Sensoren und m = Anzahl der Positionierungen des Objekts zu der Röntgensensorik ist.
Erfindungsgemäß werden die Röntgensensoren um ganzzahlige Vielfache des Winkelschritts des Drehtischs zueinander justiert, wobei die Durchstrahlungszeit in der jeweiligen Winkelposition verkürzt werden kann. Ungeachtet dessen wird die mehrfache Menge von Röntgenstrahlen durch die mehrfache Anzahl von Sensoren aufgenommen, wodurch das Signal-Rauschverhältnis reduziert wird.
In eigenerfinderischer Weiterbildung ist vorgesehen, dass bei der Bildaufnahme bzw. Bildübertragung oder Bildauswertung jeweils mehrere Pixelelemente des Sensors zu einem Pixel zusammengefasst werden und die ursprüngliche Auflösung in dem Volu- menbild, das aus den Bildern mit entsprechend reduzierter Pixelzahl berechnet wurde, durch rechnerische Interpolation erreicht bzw. übertroffen wird.
So kann nach Aufnahme der 2D-Bilder mittels der Tomographie das vorhandene 2D- Bild z. B. durch Mittelwertbildung aus benachbarten Pixeln in ein geringer aufgelöstes Bild mit weniger Pixel information umgerechnet werden. Aus diesen Bildern geringer Auflösung erfolgt sodann eine 3D-Rekonstruktion zur Errechnung eines dreidimensionalen Voxel-Bildes aus den verschiedenen 2-D-Durchstrahlungsbildern. Nach Bestimmung dieses Voxel-Bildes wird das Voxel-Bild in ein Bild der ursprünglichen Auflösung durch Interpolation zwischen mehreren Voxeln zurückgerechnet. Dabei ist es sogar möglich, durch weitere Anwendung der gleichen Vorgehensweise unter Einsatz bestimmter Algorithmen zusätzliche Voxel zu berechnen und somit eine höhere Auflösung des Voxel-Bildes zu erreichen.
Eigenerfinderisch ist auch der Gedanke, dass das Objekt während der Messung kontinuierlich gedreht wird, wobei die Röntgenstrahlenquelle mit Hilfe z. B. eines mechanischen oder elektronischen Verschlusses oder gleichwirkenden Maßnahmen wie hochfrequente Modulierung nur mehrfach kurzzeitig geöffnet wird, um eine Bewegung- sunschärfe zu vermeiden. Ungeachtet dessen wird auf diese Weise eine Messzeitverkürzung erzielt.
In Weiterbildung ist auch vorgesehen, dass von dem Objekt mehrere Tomogramme unter Ausnutzung verschiedener Spektralbereiche der Röntgenstrahlung erzeugt werden können. So wird der Spektralbereich der Röntgenstrahlung durch die Kathodenspannung des Röntgenstrahlers bestimmt. Typisch - jedoch rein beispielhaft - kann z. B. sein, dass das Messobjekt mit einer Kathodenspannung von 50 kV und 90 kV und 130 kV tomographiert wird, um sodann aus den Unterschieden der Messergebnisse bei den verschiedenen Kathodenspannυngen, d. h. Röntgenlichtfarbe bzw. Röntgenstrahlungsfrequenz auf die Größe von systematischen Messabweichungen wie z. B. Artefakten zu schließen und diese sodann zu korrigieren.
Es können auch mehrere Tomogramme vom Objekt aufgenommen werden, wobei der Winkel zwischen Drehachse des das Objekt aufnehmenden Drehtisches und Röntgen- Strahlenquelle und zugeordneten Sensoren mit Hilfe mechanischer Dreh- Schwenkachsen oder durch den Einsatz mehrerer Detektoren unter verschiedenen Winkeln variiert werden kann, wobei sich die Sensoren insbesondere entlang einer Geraden erstrecken, die parallel zur Drehachse des Drehtisches verläuft.
Zur Erhöhung der Auflösung im Tomogramm können mehrere Aufnahmen aufgenommen werden, zwischen denen der Sensor bzw. das Objekt um einen Abstand verschoben wird, der kleiner als Kantenlänge eines empfindlichen Elements des Sensors ist.
Des Weiteren sieht die Erfindung vor, dass das Objekt von parallel zueinander verlaufenden Röntgenstrahlen durchsetzt wird. Hierzu wird die Röntgenstrahlung mit Hilfe geeigneter Einrichtungen parallelisiert.
Ferner bzw. alternativ besteht die Möglichkeit, dass mit Hilfe translatorischer Relativbewegungen zwischen dem zu messenden Objekt und Röntgenstrahlenquelle/Sensor ein Bereich aufgenommen wird, der größer als Fläche des Sensors ist.
Um auch Werkstücke aufzunehmen, die in Bezug auf Röntgenstrahlung nur einen geringen Kontrast zeigen, sieht die Erfindung vor, dass das Objekt von einem Material umgeben ist, das eine höhere Absorption als das Objekt selbst aufweist. So kann bei einem Messobjekt z. B. aus einem Stoff mit geringer Massenzahl wie z. B. Lithium der Kontrast der tomographisch ermittelten 2-D-Durchstrahlungsbilder dadurch verbessert werden, dass ein Ausgießen des Messobjekts mit einem schwereren Material erfolgt. Somit werden von der Negativform des Messobjekts hinreichend kontrastreiche Bilder gewonnen, die wiederum eine Darstellung des Messobjekts ermöglichen.
Um eine Messoptimierung zu erreichen, kann mit verschiedenen Sensoren gemessen werden. Hierzu ist vorgesehen, dass neben der Röntgenstrahlenquelle und den diesen zugeordneten Sensoren weitere Sensoren für die messtechnische Erfassung des Objekts wie z. B. mechanische Taster, Lasertaster, Bildverarbeitungssensoren in der Anordnung vorgesehen sind, die gegebenenfalls auf separaten Verfahrachsen angeordnet sind. Auch kann die zur Aufnahme eines Tomogramms benötigte Drehachse für die Drehung des Objekts auf einer Verfahrachse angeordnet sein, wodurch der Messbereich in Richtung der Drehachse erweitert wird. Mit anderen Worten kann das Objekt in Richtung der Drehachse verstellt werden.
Ein eigenerfinderischer Vorschlag zum Kalibrieren der Röntgensensorik in dem Koordinatenmessgerat sieht vor, dass ausgezeichnete Punkte des zu messenden Objekts mit taktiler und/oder optischer Sensorik gemessen werden und hieraus Geometriemerkmale wie Durchmesser oder Abstände ermittelt werden, die nach Bestimmung der gleichen Geometriemerkmale mit der Röntgensensorik zur Kalibrierung der Röntgensensorik herangezogen werden.
Somit können die durch die taktile und/oder optische Sensorik ermittelten Messergebnisse zu ausgezeichneten Punkten wie Randbereiche des Messvolumens werden zur Korrektur der über Schwellwertverfahren aus den 3D-Voxel-Daten generierten Messpunktwolke herangezogen werden.
Die nach dem Tomographieren eingesetzte Schwellwertoperation f hrt zur Gewinnung von 3D-Punktewolken, die im ASCI-Format oder STL-Format dargestellt sein können. Diese Punktewolke wird zwischen dem taktil oder optisch ermittelten Messpunkt so korrigiert, dass die Abweichungen zwischen taktiler und/oder optischer Messung und der tomographischen Messung ein Minimum werden. Zwischen den taktilen und/oder optischen Messpunkten wird hierbei eine Interpolation zur Bestimmung der Abweichung vorgenommen.
Bei der Berechnung der Voxel mittels 3D-Rekontruktion werden die Positionen der Voxel um den mit taktiler bzw. optischer Gegenmessung ermittelten Korrekturwert verändert, die sich an den Materialgrenzen (Ränder des Messvolumens) des tomographier- ten Objekts befinden. Zwischen Stützpunkten liegende Voxel-Positionen werden anschließend durch Interpolation zwischen den gemessenen Korrekturpositionen korrigiert. Hierdurch entsteht ein nicht regelmäßiges Voxel-Raster im dreidimensionalen Raum, wobei die Voxel-Orte besser der wirklichen Objektgeometrie als dem Original Voxel-Bild entsprechen. Vorteilhafterweise wird dieses Voxel-Bild sodann in ein regelmäßiges Raster resampelt. Dies kann dadurch geschehen, dass ein Sollraster für das Voxel-Bild vorgegeben wird und für jeden Punkt des Sollrasters aus den in der Umgebung befindlichen Voxel-Amplituden eine neue Voxel-Amplitude durch Inteφolation errechnet wird.
Um eine hohe Messsicherheit zu erzielen und auf einfache Weise eine geometrische Kalibrierung der Röntgensensorik (Computer-Tomographen) zu ermöglichen, schlägt die Erfindung vor, dass die Position für Röntgenquelle und Röntgendetektor nach einem einmaligen Einmessen für bestimmte Vergrößerungs- und Messereichsanordnungen mit den zugehörigen Kalibrierdaten gespeichert werden und dann softwaregesteuert beliebig ohne weitere Nachkalibrierung für nachfolgende Messungen abrufbar sind.
Mit anderen Worten ist erfindungsgemäß vorgesehen, dass alle Einstellparameter, die für das Tomographieren mit einer bestimmten Vergrößerung oder einem bestimmten Messbereich notwendig sind - hierzu gehört die Position der verschiedenen Achsen des Tomographie- bzw. Koordinatenmessgerätes -, sowie die diesen Positionen zugeordneten Vergrößerungswerte und andere Kalibrierdaten inklusive Korrekturwerte zur Position der Achsen bezüglich des durch die zugeordneten Wegmesssysteme gelieferten Positionsmesswertes in einem einmaligen Einmessvorgang des Koordinatenmessgerätes messtechnisch erfasst und abgespeichert werden. Diese abgespeicherten Werte werden sodann bei normalem Betrieb des Koordinatenmessgerätes durch Knopfdruck des Bedieners bzw. durch Aufruf aus einem CNC-Programm abgerufen, die Maschinen in die entsprechenden Positionen verfahren und die zugehörigen Kalibrierdaten beim nachfolgenden Messprozess benutzt.
Insbesondere ist vorgesehen, dass vorab eingemessene Vergrößerungs- und Messbe- reichseinstellungen durch das Messprogramm des Koordinatenmessgerätes automatisch aufgerufen und die entsprechenden Flardware-Komponenten des Gerätes positioniert werden. Ferner besteht die Möglichkeit, dass Röntgenquelle und Röntgendetektor synchron verfahren werden, um lediglich die Vergrößerung und/oder Messbereich zu verändern bzw. dass Röntgenquelle und Röntgendetektor unabhängig voneinander verfahren werden, um Vergrößerung und/oder Messbereich zu verändern.
Es besteht auch die Möglichkeit, dass alle für das Röntgenmessen (Tomographieren) notwendigen Einstellungen im Vorhinein eingemessen und abgespeichert werden und beim jeweiligen Röntgenmessvorgang wie Tomographiervorgang keinerlei Einmessvorgänge mehr notwendig sind.
Die Drehmittelpunkfjustage kann durch einen Einmessvorgang und/oder eine entsprechende Korrektur des Drehmittelpunktversatzes in der Software realisiert werden.
Eine Weiterbildung sieht vor, dass die Bestimmung der Vergrößerung für die Tomographie und/oder der Drehmittelpunktlage in Bezug auf Röntgenquelle und Röntgendetektor mittels eines Normals bestimmt wird, das aus mindestens zwei Kugeln besteht. Insbesondere ist vorgesehen, dass das Normal aus vier Kugeln besteht.
Ein Verfahren zur Bestimmung der Position des Drehmittclpunkts im Koordinatenmessgerat zeichnet sich insbesondere durch die Verfahrensschritte aus ein Vierkugelnormal bestehend aus vier in den Ecken eines Rechtecks wie Quadrats angeordneten Kugeln, bei dem die Abstände der Kugeln zueinander bekannt bzw. kalibriert sind, wird auf der Drehachse positioniert, das Vierkugelnormal wird so verdreht, dass die aufgespannte Ebene parallel zum Detektor steht, Messung der Vierkugelposition im Messfeld des Detektors, Berechnung der mittleren Vergrößerung Ml aus den vier gemessenen Kugeldistanzen, den nominalen Kugeldistanzen und der nominalen Pixelgröße des Detektors, Drehung der Drehachse um 180°, Messung der vier Kugelposition'cn im Bild, Berechnung der mittleren Vergrößerung M2 aus den vier gemessenen Kugeldistanzen, den nominalen Kugeldistanzen und der nominalen Pixelgröße des Detektors.
Die Berechnung der Y-Position des Drehmittelpunktes anhand der vier Kugelpositionen vor und nach der Drehung erfolgt nach folgender Gleichung: Pdyn = (Pkynl * M2 + Pkyn2 * Ml) / (Ml + M2) mit Pdyn: Y-Position der Drehachse auf dem Detektor für Kugel n, Pkyl : Y-Position der Kugel n ei Drehwinkel 0°, Pkyn2: Y-Position der Kugel n bei Drehwinkel 180°, Ml : mittlere Vergrößerung bei Drehwinkel 0°, M2: mittlere Vergrößerung bei Drehwinkel 180°.
Es besteht auch die Möglichkeit, dass das Messen eines Objektes mit einem Koordinatenmessgerat erfolgt, das neben der Röntgensensorik (Computer-Tomographen) weitere Sensoren aufweist, so dass Messungen mittels einer taktilen und/oder optischen Sensorik durchgeführt werden können, wobei insbesondere taktil-optische Messungen zu erwähnen sind. Somit besteht die Möglichkeit, dass eine Korrektur der mit der Röntgensensorik bzw. Tomographie gemessenen Messpunktewolke des Messobjektes oder der hieraus errechneten triangulierten Flächenelemente durch taktil oder optisch gewonnene Messpunkte erfolgt, wobei zwischen den taktil und/oder optisch gemessenen Korrekturpunkten inteφoliert werden kann.
Auch kann zwischen den mit taktiler und/oder optischer Sensorik gewonnenen Korrek- tuφunkten unter Berücksichtigung des Funktionsverlaufs der durch Röntgenmessung wie Tomographie gewonnenen Punktewolke inteφoliert werden und/oder durch Berücksichtigung des Nominal-CAD-Models inteφoliert werden.
Ein weiterer Vorschlag sieht vor, dass zuerst ein Musterteil des Messobjekttyps mittels Röntgenstrahlen (tomographisch) und taktil und/oder optisch abgetastet wird, aus der Differenz beider Messungen ein Korrekturnetzwerk für die Korrektur der tomographischen Messwerte errechnet wird und beim Messen von Serienteilen die tomographischen Messungen mit den einmalig bestimmten Korrekturwerten korrigiert werden. Die diesbezügliche Vorgehensweise ist so zu verstehen, dass in einem ersten Messvorgang viele Messpunkte zu einem typischen Vertreter des Messobjektes mittels Röntgenstrahlen tomographisch und taktil oder optisch gemessen werden. Hierbei wird auch beim taktilen und/oder optischen Messen mit sehr vielen Messpunkten gearbeitet, um ein ausreichend dichtes Korrekturnetzwerk zu erzielen. Hieraus werden sodann für jeden Oberflächenort des zu tomographierenden Objektes entsprechende Korrekturwerte ermittelt, die sich aus dem Vergleich der taktilen und/oder optischen Messwerte mit den tomographischen Messwerten ergeben. Beim späteren Tomographieren von weiteren Teilen werden diese Korrekturwerte direkt zum Ansatz gebracht. Ein nochmaliges taktiles oder optisches Gegenmessen ist nicht erforderlich.
Folglich ist vorgesehen, dass ein kalibriertes Teil eines Messobjektes tomographiert wird und aus der Messabweichung bei der Messung ein Korrekturnetzwerk für die Korrektur der tomographischen Messwerte errechnet wird und beim Messen von Serienteilen die tomographischen Messungen mit den vorher abgestimmten Korrekturwerten abgestimmt werden.
Bei der Messung von Serienteilen können zusätzlich einzelne optisch und/oder taktil gemessene Korrektuφunkte berücksichtigt werden.
Die taktilen und/oder optischen Messpunkte können zur Korrektur durch einen Bediener grafisch an der durch Tomographie bestimmten Punktwolke festgelegt werden und durch das Koordinatenmessgerat dann automatisch gemessen werden.
Eine Weiterbildung sieht vor, dass die taktilen und/oder optischen Messpυnkte zur Korrektur durch einen Bediener grafisch an dem dem zu messenden Teil zugrunde liegenden CAD-Modell festgelegt werden und durch das Koordinatenmessgerat dann automatisch gemessen werden. Dabei können die taktilen und/oder optischen Messpunkte zur Korrektur durch einen automatischen Algorithmus auf der Oberfläche des dem zu messenden Teil zugrunde liegenden CAD-Modells annähernd gleichmäßig oder gleichmäßig verteilt durch das Koordinatenmessgerat automatisch gemessen werden. Auch können die taktilen und/oder optischen Messpunkte zur Korrektur durch einen Bediener grafisch am CAD-Modell festgelegt und nach dem Laden des CAD-Modells durch das Koordinatenmessgerat automatisch gemessen werden.
Die Erfindung lehrt des Weiteren, dass beim Tomographiervorgang grundsätzlich ein Kalibrierköφer, insbesondere eine Anordnung von Kugeln mit tomographiert wird und hieraus die Relativlage der Drehachse zum Koordinatenmessgerat und/oder zur Röntgenquelle und/oder zum Röntgensensor bestimmt und anschließend mathematisch korrigiert wird. Dabei kann die Lage der Kalibrierköφer auf der Drehachse mit optischen und/oder taktilen Sensoren bestimmt und zur Korrektur der Lage der Drehachse herangezogen werden.
Insbesondere ist jedoch vorgesehen, dass der Kalibrierköφer wie die zumindest zwei Kalibrierkugeln in der Halterung, d. h. dem Drehtisch des zu messenden Objektes in einem Material eingelagert sind, das eine geringe Absoφtion gegenüber Röntgenstrahlung aufweist. Somit kann durch die Erfassung des Kalibrierköφers das Messobjekt auf dem Drehtisch positioniert werden, da mittels des Kalibrierköφers die Drehpunktlage, also die Drehachse des Drehtisches ermittelt werden kann.
Die Raumlage der Rotationsachse in Bezug zur Röntgenquelle und Röntgendetektor kann erfindungsgemäß mit der Röntgensensorik und/oder mit der taktilen Sensorik und/oder mit der optischen Sensorik messtechnisch bestimmt und diese Lageabweichung beim Tomographieren von Messobjekten mathematisch korrigiert werden.
Insbesondere wird die von der Nominallage abweichende Lage der Drehachse durch Rotation und/oder Translation und/oder Verzerrung der 2D-Einzelbilder korrigiert.
Des Weiteren kann die von der Nominallage abweichende Lage der Drehachse im Rekonstruktionsalgorithmus berücksichtigt werden.
Ein weiterer Vorschlag der Erfindung sieht vor, dass das Messobjekt durch Einsatz von taktilen und/oder optischen Sensoren ünd/oder Tomographie in seiner Lage auf dem Drehtisch des Messgerätes und somit im Maschinenkoordinatensystem bestimmt wird und anschließend im 2D-Durchstrahlungsmodus an eingemessener Position des Rönt- gensensors durch Maße mit Methoden der Bildverarbeitung gemessen werden.
Durch diese Maßnahmen wird ein weiteres Nutzungsprinzip des erfindungsgemäßen Koordinatenmessgerätes, in dem eine Röntgensensorik integriert ist, verdeutlicht. So wird die Möglichkeit geschaffen, in 2D-Durchstrahlungsbildern zu messen. Üblicherweise ist dies nicht möglich, da die aktuelle Vergrößerung am Messobjekt nicht bekannt ist; denn die Position des Messobjekts im Röntgenstrahlengang ist unbekannt, die Position jedoch die Vergrößerung nach dem Strahlensatz wesentlich bestimmt. Wird nun die Position des Messobjekts im Koordinatenmessgerat mit einer optischen und/oder taktilen Sensorik genau bestimmt, ist aus dieser Position heraus die Vergrößerung des aktuellen durchstrahlten Messobjekts bekannt und der Einsatz der Röntgensensorik zur zweidimensionalen Messung mit Methoden der Bildverarbeitung möglich.
Der Röntgendetektor kann automatisch durch die Geräte-Software so gesteuert werden, dass der Detektor während dem eigentlichen Tomographievorgang in den Strahlkegel der Röntgenquelle positioniert und außerhalb dieser Zeiten außerhalb des Strahlungskegels in Parkstellung gebracht wird.
Durch diese Maßnahmen wird die Bestrahlungsbelastung des Röntgensensors minimiert und somit dessen Lebensdauer verlängert.
Eigenerfinderisch ist vorgesehen, dass Bildverarbeitungssensorik und Röntgensensorik eines Multisensorkoordinatenmessgerätes mit der gleichen Bildverarbeitungs-Hardware und der gleichen Bildverarbeitungs-Software bzw. Teilen davon ausgestattet sind. Dabei sind die von der Bildverarbeitungssensorik bekannten Bildbearbeitungsverfahren ebenfalls für die Röntgensensorik anwendbar.
Des Weiteren sieht die Erfindung vor, dass die 2D-Röntgenbilder vor Rekonstruktion einer Verzeichnungskorrektor und/oder einer Hellsignalkorrektur und/oder einer Dunkelsignalkorrektur und/oder einer mathematischen Translation und/oder einer mathema- tische Rotation und/oder einem Resamplingverfahren und/oder einer Linearitätskennli- nienkorrektur und/oder einer Bildverarbeitungsfilterung unterzogen werden.
Bevorzugte Weiterbildungen der Erfindung sind sowohl den unabhängigen als auch den abhängigen Ansprüchen zu entnehmen.
Weitere Einzelheiten, Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich nicht nur aus den Ansprüchen, den diesen zu entnehmenden Merkmalen -für sich und/oder in Kombination-, sondern auch aus der nachfolgenden Beschreibung von der Zeichnung zu entnehmenden bevorzugten Ausführungsbeispielen.
Es zeigen:
Fig. 1 eine Prinzipdarstellung eines Multisensorkoordinatenmessgerätes,
Fig. 2 ein Funktionsprinzip eines 3D-Computer-Tomographen,
Fig. 3 eine weitere Prinzipdarstellung eines Koordinatenmessgerätes,
Fig. 4 eine Prinzipdarstellung einer ersten Anordnung von Röntgenstrahlenquelle und zugeordneten Sensoren,
Fig. 5 eine Prinzipdarstellung einer zweiten Anordnung einer Röntgenstrahlenquelle und zugeordnete Sensoren,
Fig. 6. eine Prinzipdarstellung zur Bildauswertung,
Fig. 7 eine Prinzipdarstellung zur Erläuterung eines Verfahrens zur Erhöhung der Auflösung eines Tomogramms,
Fig. 8 eine Prinzipdarstellung eines Kalibrierköφers, Fig. 9 eine Prinzipdarstellung eines Drehtisches mit einem Kalibrierköφer,
Fig. 10 ein Blockschaltbild und
Fig. 11 Prinzipdarstellungen zur Erläuterung eines Korrekturverfahrens.
In der Fig. 1 ist prinzipiell ein Koordinatenmessgerat für den kombinierten Einsatz von Röntgensensorik und optischer und taktiler Sensorik dargestellt, gleichwenn die erfindungsgemäße Lehre in Wesentlichen Merkmalen auch für ein Koordinatenmessgerat geeignet ist, das neben dem Computer-Tomographen keine zusätzliche Sensorik umfasst.
Auf einer parallel zur X-Achse des Koordinatenmessgeräts verlaufenden Achse 18 ist ein Drehtisch 2 angeordnet. Auf diesem befindet sich ein Messobjekt 3 und kann somit um die Drehachse 18 rotiert werden und in X-Richtung durch die Achse 18 verschoben werden (Doppelpfeil). Auf einem parallel zu Y-Achse verlaufenden Schieber 4 sind zwei parallel zur Z-Achse verlaufende Achsen 5, 6 angeordnet. Auf der mechanischen Achse 5 befindet sich ein Sensor 7 für Röntgenstrahlung und ein Bildverarbeitungssensor 8. Auf der mechanischen Achse 6 befindet sich zusätzlich ein taktiler Sensor 9. Gegenüber dem Röntgensensor 7 ist eine Röntgenquelle 10 angeordnet, die wahlweise in Y-Richtung bewegbar oder fest angebracht sein kann. Gegenüber der Bildverarbeitungssensorik 8 befindet sich eine Durchlichtquelle 1 1. Die mechanischen Achsen bzw. Schieber, die entlang der X-, Y- bzw. Z-Achse des Koordinatenmessgerätes verlaufen, sind so ausgelegt, dass die in bzw. auf dem Koordinatenmessgerat installierten Sensoren jeweils den gesamten Messbereich auf dem Drehtisch 2 überdecken können.
Durch die Integration der Computer-Tomographie (CT) in ein Multisensor- Koordinatenmessgerät werden völlig neue Möglichkeiten geschaffen. Eine schnelle, zerstörungsfreie Komplettmessung mit der Tomographie wird mit hochgenauen Messungen von Funktionsmaßen mit taktiler oder optischer Sensorik vereint. Dabei ist erfindungsgemäß vorgesehen, dass die Röntgensensorik (Sensor, Strahlenquelle) entsprechend der zweiten Sensorik (z. B. Bildverarbeitungssensor, Durch- oder Auflichtstrah- lenquelle oder taktiler Sensor gegebenenfalls mit zugeordnetem Bildverarbeitungssensor) in dem Koordinatenmessgerat positionierbar ist, dass also gleichwertig zur zweiten Sensorik die Röntgensensorik angeordnet ist. Dabei kann die Röntgensensorik mit zumindest der taktilen Sensorik und/oder der optischen Sensorik auf einer gemeinsamen mechanischen Achse angeordnet bzw. auf einer separaten mechanischen Achse angeordnet sein, die in analoger Weise wie die mechanischen Achsen für die taktile und/oder optische Sensorik arbeitet.
Das Funktionsprinzip der 3D-Computer-Tomographie soll anhand der Fig. 2 noch einmal erläutert werden. Dabei werden für der Fig. 1 zu entnehmenden Elemente gleiche Bezugszeichen verwendet.
Das Werkstück 3 wird auf einem Drehtisch 2 aufgelegt und mit Röntgenstrahlen durchleuchtet. Der Sensor 7 z. B. in Form eines Flächendetektors wandelt das Röntgenbild in ein digitales 2D-Bild zur weiteren Verarbeitung um. Das Objekt 3 wird um 360° gedreht und Röntgcnbilder in mehreren Drehlagen aufgenommen. Anschließend erfolgt auf der Basis der 2D-Bilder eine 3D-Rekonstruktion von Messpunkten, die die gesamte zu messende Werkstückgeometrie beschreibt. Durch Integration eines oder mehrerer der weiteren Sensoren 8, 9 kann der Einsatzbereich des Computer-Tomographen erweitert werden. Mit dem Bildverarbeitungssensor 8 ist die vollautomatische Messung von komplizierten, extrem kontrastarmen Werkstücken im Durch- und Auflicht möglich. Berührende Tastsysteme ermöglichen hochgenaue Messungen von optisch nicht zugänglichen Merkmalen.
Es besteht die Möglichkeit, dass der Sensor 7 und die Röntgenstrahlenquelle 10 synchron, also bei gleich bleibendem Abstand zueinander zu dem Objekt 3 verstellt werden. Flierdurch besteht die Möglichkeit einer Messbereichsanpassung, wobei diese gegebenenfalls automatisch erfolgen kann. Alternativ kann auch das Objekt 3 zu dem Sensor 7 verstellt werden, um so eine Anpassung an die Werkstückgröße und an die Genauigkeitsanforderungen zu ermöglichen. Wird das Objekt 3 zum Sensor 7 hin verstellt, so ergibt sich eine niedrigere Vergrößerung, wohingegen beim Verstellen des Objektes 3 zu der Röntgenstrahlenquelle 10 hin eine hohe Vergrößerung erzielbar ist. Auch kann der Sensor bei stationärer Röntgenstrahlenquelle 10 zu dem Objekt 3 verstellt werden.
Die erfindungsgemäße Lehre bietet insbesondere nachstehende Vorteile:
• Vollständige Erfassung aller Regel- und Freiformgeometrien am Werkstück in einem Messvorgang, Messen von Innengeometrien und nicht zugänglichen Merkmalen (z.B. verdeckte Kanten, Hinterschneidungen),
• hochgenaue Messung von Funktionsmaßen mit taktiler oder optischer Sensorik, Rückführung der tomographischen Messergebnisse durch Multisensorik, kombiniertes Messen mit Tomographie und anderen Sensoren in einem Messablauf 2D- und 3D-Messung von Form, Maß und Lage, umfangreiche Funktionen zur 2D-Messung im Röntgenbild,
• 3D-Soll-Ist- Vergleich als 3D-Abweichungsdarstellung im Vergleich zum SD- CAD-Modell, Generierung von 3D-CAD-Daten aus gewonnenen CT-Daten.
Anhand der Fig. 6 sei ein weiteres die Erfindung kennzeichnendes Verfahren erläutert, mittels dem eine Datenkompression möglich ist, ohne bezüglich der Auflösung Nachteile in Kauf nehmen zu müssen. Vielmehr besteht aufgrund der entsprechenden Lehre sogar die Möglichkeit, die Ursprungsauflösung zu übertreffen. Dies sei anhand eines 2D-Bildes erläutert.
In Fig. 6 stellen die Quadrate die Pixel eines 2D-Bildes dar. Das vorhandene 2D-Bild wird z. B. durch Mittelwertbildung aus benachbarten Pixeln in ein geringer aufgelöstes Bild mit weniger Pixelinformation (Pixel als Kreuze dargestellt) umgerechnet. Aus entsprechenden 2D-Durchstrahlungsbildern geringer Auflösung erfolgt sodann eine 3D- Rekonstruktion zur Berechnung des dreidimensionalen Voxel-Bildes. Nach Bestimmung dieses Voxel-Bildes wird das Vöxel-Bild, das in der der Fig. 6 zu entnehmenden 2D-Darstellung ebenfalls durch Kreuze simuliert ist, in ein Bild der ursprünglichen Auf- lösung durch Inteφolation zwischen mehreren Voxel-Bilden zurückgerechnet, so dass sich - ebenfalls in 2D-Darstellung - wieder ein Bild mit Quadraten ergibt. Darüber hinaus besteht die Möglichkeit, durch weitere Anwendung der gleichen Vorgehensweise zusätzliche Voxel zu berechnen, um eine höhere Auflösung des Voxel-Bildes zu erreichen. Dies wird durch die Kreise symbolisiert.
Auf diese Weise kann schneller gerechnet werden, da eine geringere Auflösung zunächst zu Grunde gelegt werden kann, ohne im Endeffekt Einbußen in der Auflösung hinnehmen zu müssen, diese sogar übertreffen kann.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 7 soll ein weiteres erfindungsgemäßes Verfahren veranschaulicht werden, durch das die Auflösung im Tomogramm erhöht werden kann. Hierzu werden mehrere Aufnahmen aufgenommen, zwischen denen der Sensor zu dem Objekt bzw. das Objekt zu dem Sensor um eine Strecke verschoben wird, die kleiner als Kantenlänge eines empfindlichen Elements des Sensors ist. So ist in Fig. 7 der verwendete Röntgendetektor (Sensor) in seiner Auflösung durch die als Quadrate gezeichneten Pixel gekennzeichnet. Beim Tomographieren wird in jeder Drehstellung sowohl ein Bild in der als Quadrate gezeichneten Position des Röntgendetektors aufgenommen, als auch als Bild in der als Kreise mit X gekennzeichneten Position des Röntgendetektors als auch in der als Kreise mit Y gekennzeichneten Position des Röntgendetektors als auch in der als Kreise mit Z gekennzeichneten Position des Röntgendetektors aufgenommen. Alle Bilder werden zu einem Bild zusammengefügt und als Ganzes beim To- mographie-Rekonstruktionsprozess berücksichtigt. Es wird somit eine höhere Auflösung erreicht, als durch den Detektor physikalisch gegeben ist.
Um die Vergrößerung für die Tomographie und/oder den Drehmittelpunkt des Drehtisches 2 in Fig. 1 in Bezug auf die Röntgenquelle 10 bzw. den Sensor 7 zu bestimmen, kann ein Normal benutzt werden, das im Ausführungsbeispiel der Fig. 8 mit 50 gekennzeichnet ist. In der Prinzipdarstellung geht von einem Standfuß 52 ein Träger 54 aus einem Material aus, das eine geringe Absoφtion gegenüber Röntgenstrahlen aufweist. In dem Träger 54 sind zumindest zwei' Kugeln 56, 58 aus Röntgenstrahlen stark absorbierendem Material wie Stahl angeordnet. Das Normal 50 wird sodann auf einen Dreh- tisch 60, der dem Drehtisch 2 der Fig. 1 entspricht, eines Tomographen angeordnet. Der Drehtisch 60 ist um eine Achse 62 drehbar, die mit der X-Achse des Koordinatenmessgerätes zusammenfallen kann. Die Einmessvorgänge zur Bestimmung der Lage der Drehachse 62 des Tomographen innerhalb des Koordinatenmessgerätes werden nun durch Messungen der Lagen der Kugeln 56, 58 relativ zum Röntgensensor 7 in verschiedenen Drehlagen des Kugelnormals 50 bestimmt.
Soll die Vergrößerung ermittelt werden, so sind Messungen in zwei verschiedenen Abständen zu dem Sensor 7 notwendig.
Um eine höhere Genauigkeit zu erzielen, kann das Normal 50 zwei weitere Kugeln 64, 66 aufweisen.
Nachstehend soll beschrieben werden, wie der Abstand zwischen Röntgenquelle 10 und dem Sensor 7 mittels eines Normals bestimmt wird, das im Ausführungsbeispiel aus einem Vierkugelnormal besteht, das vier auf den Ecken eines Quadrates angeordnete Kugeln umfasst.
• Die Abstände der Kugeln sind bekannt (kalibriert) • Das Vierkugelnormal wird auf der Drehachse angeordnet • Das Vierkugelnormal wird so eingedreht, dass die aufgespannte Ebene parallel zum Detektor steht • Messung der vier Kugelpositionen im Bild an der Position ZI • Berechnung der mittleren Vergrößerung Ml aus den vier gemessenen Kugeldistanzen • den nominalen Kugeldistanzen und der nominalen Pixelgröße des Detektors • Verfahren der Drehachse in Richtung der Quelle (oder Quelle und Detektor senkrecht zur Drehachse) • Messung der vier Kugelpositionen im Bild an der Position Z2 • Berechnung der mittleren Vergrößerung M2 aus den vier gemessenen Kugeldistanzen • den nominalen Kugeldistanzen und der nominalen Pixelgröße des Detektors • Berechnung des Abstands Quelle Detektor nach folgender Gleichung:
AQD = dZ * Ml * M2 / ( M2 - M2 ) darin ist: AQD: Abstand Quelle Detektor M 1 : Vergrößerung an der Position Z 1 M2: Vergrößerung an der Position Z2 dZ: Distanz zwischen den Position ZI und Z2
Berechnung der Distanz Quelle zu ZI aus folgender Gleichung: Dl = dZ * M2 / ( Ml - M2 )
Berechnung der Distanz Quelle zu Z2 aus folgender Gleichung: D2 = Dl + dZ = dZ * Ml / ( Ml + M2 )
Berechnung der Position der Kegelachse auf dem Detektor nach folgender Gleichung Pd = (Pknl *Dl - Pkn2*D2) / dZ darin ist: Pd: Abweichungsvektor der Kegelachs-Position von der Detektormitte Pknl : Positionsvektor der Kugel n auf dem Detektor an der Position ZI Pkn2: Positionsvektor der Kugel n auf dem Detektor an der Position Z2
Berechnung des mittleren Abweichungsvektors aus den vier Abweichungsvektoren für jede Kugelposition
Ein Verfahren zur Bestimmung der Y-Position des Drehachsenmittelpunktes unter Zugrundelegung ebenfalls eines Vierkugel-Normals mit an den Ecken eines Quadrates angeordneten Kugeln erfolgt wie nachstehend:
• Die Abstände der Kugeln sind bekannt (kalibriert) • Das Vierkugelnormal wird auf der Drehachse angeordnet • Das Vierkugelnormal wird so eingedreht, dass die aufgespannte Ebene parallel zum Detektor steht • Messung der vier Kugelpositionen im Bild • Berechnung der mittleren Vergrößerung Ml aus den vier gemessenen Kugeldistanzen, • den nominalen Kugeldistanzen und der nominalen Pixelgröße des Detektors • Drehung der Drehachse um 180° • Messung der vier Kugelpositionen im Bild • Berechnung der mittleren Vergrößerung M2 aus den vier gemessenen Kugeldistanzen, • den nominalen Kugeldistanzen und der nominalen Pixelgröße des Detektors, • Berechnung der Y Position des Drehmittelpunktes anhand der vier Kugelpositionen vor und nach der Drehung nach folgender Gleichung:
Pdyn = (Pkynl * M2 + Pkyn2 * Ml) / (Ml *M2) darin ist: Pdyn: Y Position der Drehachse auf dem Detektor für Kugel n Pkynl : Y Position der Kugel n bei Drehwinkel 0° Pkyn2: Y Position der Kugel n bei Drehwinkel 180° Ml : mittlere Vergrößerung bei Drehwinkel 0° M2: mittlere Vergrößerung bei Drehwinkel 180° .
Den Fig. 3 bis 5 sind weitere eigenerfinderische Merkmale der erfindungsgemäßen Lehre zu entnehmen. Dabei ist in Fig. 3 ebenfalls rein prinzipiell ein Koordinatenmessgerat 1 10 mit einem Gehäuse 1 12 dargestellt, das eine Grundplatte 1 14, Rückwandung 1 16, Seitenwandungen 1 18, 120 sowie eine Kopfwandung 122 umfasst, die auch als Deckplatte zu bezeichnen ist.
Die x-Achse, y-Achse und z-Achse des Koordinatenmessgerätes sind in der Zeichnung mit dem Bezugszeichen 124, 126 und 128 gekennzeichnet. An der Innenseite 130 der Rückwandung 1 16 des Gehäuses 1 12 verläuft in x-Richtung einer Führung, entlang der, also in x-Richtung 124, eine Halterung 132 für einen Drehtisch 134 verstellbar ist, auf dem ein zu messendes Objekt 136 angeordnet ist. Mit anderen Worten ist auf der x- Achse 124 der Drehtisch 134 angeordnet.
Entlang der y-Achse 126 verlaufen Führungen, entlang der eine Aufnahme 138 verschiebbar ist. Von der Aufnahme 138 geht entlang der z-Achse 128 verschiebbar eine Halterung 140 aus. Von der Grundplatte 114 geht des Weiteren eine Röntgenquelle 142 aus, deren Röntgenstrahlung das auf dem Drehtisch 134 angeordnete Objekt 136 durchsetzen. Die Röntgenstrahlung wird ihrerseits von entsprechend geeigneten Sensoren wie CCD- Sensoren erfasst, die für Röntgenstrahlung empfindlich sind.
Des Weiteren können von der z-Achse 128, d. h. im Ausführungsbeispiel von der Halterung 140 Sensoren 144 ausgehen. Hierbei kann es sich um Sensoren handeln, die für Koordinatenmessgeräte üblich sind, also z. B. taktile oder optische Sensoren. Somit kann sowohl tomographiert werden als auch taktil oder optisch wie mit Bildverarbeitungssensoren, Laserabstandssensoren etc. gemessen werden.
Durch den Einsatz von Röntgenstrahlen ist es erforderlich, dass das Koordinatenmessgerat 1 10 im hinreichenden Umfang nach außen hin abgeschirmt ist. Hierzu ist erfindungsgemäß vorgesehen, dass zumindest einige der tragenden Bauelemente Abschirmfunktion ausüben. So kann z. B. die Grundplatte 114 und/oder die Rückwand 1 16 derart dimensioniert bzw. ausgebildet sein, dass die erforderliche Abschirmfunktion sichergestellt ist.
Die entsprechenden Wandungen 1 14, 1 16 üben dabei gleichzeitig die Funktion aus, die für den messtechnischen Aufbau erforderlich ist, nämlich im Ausführungsbei spiel Führung für die x- und y-Achse.
Zusätzlich besteht die Möglichkeit, Wandungen, die nicht die hinreichende Abschirm- wirkung aufweisen, mit strahlungsdämmenden Schichten 146 innen- und/oder außenflä- chenseitig zu versehen. Hierbei handelt es sich insbesondere um Bleiblech.
Bezüglich der tragenden Wandungen, insbesondere derjenigen, die Abschirmfunktion ausüben, sollten bevorzugterweise Hartgestein wie Granit oder entsprechende Materialien zum Einsatz gelangen. Auch ist ein künstliches Hartgestein wie Polymerbeton denkbar, das im erforderlichen Umfang mit Röntgenstrahlen absorbierendem Material wie Magneteisenstein oder ähnliches versetzt sein kann. Erfindungsgemäß übt das Gehäuse 112 des Koordinatenmessgerätes 110 bzw. Teile dieses eine Doppelfunktion aus, nämlich die der erforderlichen Abschirmung sowie die von Funktionsbauteilen des messtechnischen Aufbaus. Somit ergibt sich eine kompakte Konstruktion.
Um eine hohe Messdichte zu erreichen bzw. in jeweiliger Messposition nur geringe Bestrahlungszeiten in Kauf nehmen zu müssen, ohne dass Einbußen hinsichtlich der Messgenauigkeit erfolgen, ist entsprechend der Darstellung der Fig. 4 vorgesehen, dass gleichzeitig - also in jeder Messposition des Objekts 136 - mehrere Tomogramme unter unterschiedlichen Durchstrahlungswinkeln aufgenommen wird. So geht in Fig. 4 entsprechend den Ausführungen gemäß Fig. 3 von der Grundplatte 114 der Drehtisch 134 aus, auf dem ein nicht dargestelltes zu messendes Objekt angeordnet ist, das von von einem Röntgenstrahier 148 stammender Röntgenstrahlung 150 durchstrahlt wird. Die Strahlung wird im Ausführungsbeispiel von insgesamt drei Röntgensensoren 152, 154, 156 erfasst, so dass sich drei Tomogramme für unterschiedliche Durchstrahlungsrichtungen in einer Messposition des Objektes ergeben. In jeder Messposition, also jeder Winkelstellung des Drehtisches 34 werden die Sensoren 152, 154, 156 ausgelesen und Projektionsbilder für das Tomogramm gewonnen. Dabei ist die Winkel Stellung der Sensoren 152, 154, 156 derart ausgelegt, dass sich die Winkel zwischen den Sensoren 152, 154, 156 jeweils um ganzzahlige Vielfache des beim Betreiben des Computer- Tomographen verwendeten Winkelschritts des Drehtisches 136 unterscheiden, wobei der zweite und der dritte Sensor 154, 156 zum vorausgehenden ersten Sensor 152 bzw. zweiten Sensor 154 um ein Drittel des Winkelschritts verdreht angeordnet sind.
Um mehrere Tomogramme des zu messenden Objekts 136 aufzunehmen, wobei der Winkel zwischen Drehachse 158 des Drehtisches 154 und Röntgenstrahlung 150 scheinbar verändert wird, sind im Ausführungsbeispiel der Fig. 5 beispielhaft drei Sensoren 160, 162, 164 in unterschiedlichen Winkeln zu der Hauptstrahlungsrichtung der Röntgenstrahlungsquelle 148 angeordnet, wodurch das scheinbare Verschwenken der Röntgenstrahlungsquelle zur Drehachse 158 simuliert wird. Der in Fig. 5 eingezeichnete Doppelpfeil 166 soll symbolisieren, dass der Drehtisch 134 entlang der Drehachse 158 parallel zur X-Achse verstellbar ist.
Wie anhand der Fig. 9 prinzipiell verdeutlicht wird, kann beim Tomographieren grundsätzlich ein Kalibrierköφer vorzugsweise in Form von Kugeln 300, 302 mit tomographiert werden, wodurch sich die Relativlage der Drehachse 158 des Drehtisches 134 ergibt, auf dem das zu messende Objekt 136 angeordnet ist. Die Kugeln 300, 302 können in einer Aufnahme 304 angeordnet sein, die gegenüber Röntgenstrahlen eine geringe Absoφtion zeigt, wohingegen die Kugeln 300, 302 stark absorbierend sind und z. B. aus Stahl bestehen. Hierdurch kann problemlos während des Tomographierens die Position der Drehachse 158 zum Koordinatenmessgerat bzw. zur Röntgenquelle 10 bzw. zum Sensor 7 bestimmt und anschließend mathematisch korrigiert werden.
Erfindungsgemäß werden in dem Koordinatenmessgerat mittels taktiler und/oder optischer Sensorik Messpunkte am Messobjekt aufgenommen und zur Korrektur der mit der Röntgensensorik ermittelten Messpunkte herangezogen. Dies soll auch anhand der Fig. 11 verdeutlicht werden. Dieser ist das Prinzip eines entsprechenden Korrekturverfahrens zu entnehmen. So ist in Fig. 11a ein Messobjekt 400 dargestellt, das an ausgewählten Punkten taktil und/oder optisch gemessen wird. Entsprechende Messpunkte sind beispielhaft mit den Bezugzahlen 402, 404, 406 gekennzeichnet. Beim Tomographieren, das anschließend im selben Koordinatenmessgerat stattfindet, erhält man die durch typische Fehler der Tomographie veränderte Gestalt in der tomographierten Punktwolke 408. Dies können z. B. tomographietypische Artefakte sein. Die tomographierten Messpunkte werden auf der Basis der zur Verfügung stehenden mit optischer und/oder taktiler Sensorik genauer gemessenen Messpunkte, die in Fig. 1 lb noch einmal eingezeichnet sind, in ihrer Lage korrigiert. Dabei kann zwischen den taktilen und optisch gemessenen Messpunkten eine Inteφolation erfolgt sein. Als Ergebnis erhält man sodann eine geometrisch korrigierte tomographisch gemessene Punktwolke 410, die besser der Gestalt des Messobjekts 400 entspricht als die Originaldaten des Tomogramms. Dies zeigt ein Vergleich der Fig. 1 lb und 1 lc. Bei der Durchführung der Messungen und der Auswertung der Messergebnisse kann die Bildverarbeitungssensorik für das Messen mit sichtbarem Licht im Durchlichtverfahren - gegebenenfalls auch im Auflichtverfahren - mit der gleichen Bildverarbeitungsaus- werteeinheit bzw. dem gleichen Bildverarbeitungsboard wie die Röntgensensorik gekoppelt werden. Softwaregesteuert kann sodann zwischen den beiden Sensoren umgeschaltet und in der gleichen Hardware digitalisiert und gerechnet werden. Dies wird prinzipiell durch die Fig. 10 verdeutlicht, in der eine Bildverarbeitungssensorik 500 und eine Röntgensensorik 502 mit dem gleichen Bildverarbeitungsboard 504 verbunden sind, um in zuvor beschriebener Weise arbeiten zu können.

Claims

Patentansprüche Koordinatenmessgerat und Verfahren zum Messen eines Objektes
1. Koordinatenmessgerat (110) zum Messen eines Objektes (3, 136) mit einer Röntgensensorik als erste Sensorik umfassend eine Röntgenstrahlenquelle (10) und zumindest einen die Röntgenstrahlen erfassenden Rontgenstrahlensensor (7) sowie eine zweite Sensorik wie taktile und/oder optische Sensorik (8, 11; 9), die in x-, y- und/oder z-Richtung des Koordinatenmessgerätes relativ zu dem Objekt positionierbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgensensorik (7, 10) entsprechend der zweiten Sensorik (8, 11; 9) in dem Koordinatenmessgerat (10) positionierbar ist.
2. Koordinatenmessgerat nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , dass gleichwertig zur zweiten Sensorik (8, 11; 9) die Röntgensensorik (7, 10) angeordnet ist.
3. Koordinatenmessgerat nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgensensorik (7, 10) mit zumindest der taktilen Sensorik und/oder der optischen Sensorik (8, 11) auf einer gemeinsamen mechanischen Achse (5, 6) angeordnet ist.
4. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgensensorik (7, 10) auf einer separaten mechanischen Achse angeordnet ist, die in analoger Weise arbeitet wie die mechanischen Achsen (5, 6) für die taktile und/oder optische Sensorik (8, 11; 9).
5. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl Röntgensensorik (7, 10) als auch zweite Sensorik (8, 11; 9) ein gemeinsames Messvolumen des Objekts (3, 136) abdecken.
6. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Koordinatenmessgerat (110) mindestens mit einer zur Arbeitsrichtung (y- und/oder z- Achsenrichtung) der Röntgensensorik (7, 10) und/oder der optischen Sensorik wie Bildverarbeitungssensorik (8, 11) und/oder der taktilen Sensorik (9) senkrechten Drehachse (18; x-Achsenrichtung) ausgestattet ist.
7. Koordinatenmessgerat nach zumindest Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse (18, 158) um eine vertikal verlaufende Achse (x -Achse) rotiert.
8. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die optische Achse für den optischen Sensor (9) und/oder die Strahlenachse für den Röntgensensor (8) horizontal und/oder senkrecht zur Drehachse (18, 138; x-Achse) ausgerichtet ist.
9. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Strahlungs- bzw. Lichtquelle (10, 11) für die Röntgensensorik und/oder Bildverarbeitungssensorik synchron mit dem zugeordneten Sensor (7, 8) bewegbar sind.
10. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquelle (10) für die Röntgensensorik im Koordinatensystem des Koordinatenmessgerätes (110) fest angeordnet ist.
11. Koordinatenmessgerat nach zumindest Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass sowohl Röntgensensorik (7, 10) als auch die zweite Sensorik (8, 10; 9) in mindestens einer Achse zum Objekt (3, 136) verstellbar angeordnet sind.
12. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl Röntgensensorik (7, 10) als auch die zweite Sensorik (8, 10; 9) in mindestens zwei Achsen zum Objekt (3, 136) verstellbar angeordnet sind.
13. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl die Röntgensensorik (7, 10) als auch die zweite Sensorik (8, 10; 9) in mindestens drei Achsen zum Werkstück (3, 136) verstellbar angeordnet sind.
14. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein weiterer Sensor (8) mit der Röntgensensorik (7, 10) gemeinsam verstellbar angeordnet ist.
15. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Messbereichsanpassung durch Verstellen des Abstandes zwischen Röntgensensor (7) und Strahlungsquelle (10) und/oder durch relatives Verstellen der Röntgensensorik (7, 10) zu dem Objekt (3) vorzugsweise automatisch erfolgt.
6. Koordinatenmessgerat nach vorzugsweise Anspruch 1 mit einer Abschirmung (114, 116) gegenüber Röntgenstrahlung, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschirmung (114, 116, 118) oder zumindest ein Bereich dieser als Funktionsbauteil für erforderlichen messtechnischen Aufbau des Koordinatenmessgerätes (110) ausgebildet ist.
17. Koordinatenmessgerat nach zumindest Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass Grundplatte (114) und/oder zumindest eine Seiten- oder Rückwandung (116, 118) des Koordinatenmessgerätes (110) als Abschirmung ausgebildet ist.
18. Koordinatenmessgerat nach zumindest Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass für die Abschirmung erforderliche Bauteile (114, 116) aus Stein wie Granit ausgebildet sind.
19. Koordinatenmessgerat nach zumindest Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschirmung bzw. diese bildende Bauteile wie Grundplatte (114) oder Rück- oder Seitenwandung (116, 118) Montageort für eine oder mehrere Funktionskomponenten wie z. B. mechanische Achse des Koordinatenmessgerätes (110) ist.
20. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschirmung (114, 116) Montageort bzw. -bereich für zumindest eine mechanische Achse bzw. Verfahrachse und/oder Befestigung und/oder Führung für ein Element wie einen Sensor (144) und/oder Befestigung oder Führung einer Strahlen- oder Lichtquelle (142) als die Funktionskomponente ist.
21. Koordinatenmessgerat nach vorzugsweise einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Röntgenstrahlenquelle (142, 148) mehrere Sensoren (152, 154, 156) zugeordnet sind, wobei das Objekt durchsetzende Durchstrahlungswinkel der Sensoren voneinander abweichen.
22. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Messung des Objekts gleichzeitig mit Röntgenstrahlung beaufschlagte n-Sensoren (152, 154, 156) der Röntgenstrahlenquelle (148) zugeordnet sind, dass die Röntgenstrahlenquelle zwischen aufeinander folgenden Messungen relativ zu dem Objekt um einen Basiswinkel α verstellbar ist und dass aufeinander folgende Sensoren jeweils um einen Winkel α/n zueinander verdreht oder verkippt ausgerichtet sind.
23. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Anordnung mehrere die Röntgenstrahlung (150) erfassende Sensoren (152, 154, 156, 160, 162, 164) aufweist, die derart angeordnet sind, dass mit jedem Sensor jeweils ein Durchstrahlungsbild des Objekts (136) unter einem unterschiedlichen Bestrahlungswinkel aufnehmbar ist.
24. Koordinatenmessgerat nach vorzugsweise zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Tomogramme des Objekts (136) unter Ausnutzung verschiedener Spektralbereiche der Röntgenstrahlung (150) ermittelbar sind.
25. Koordinatenmessgerat nach vorzugsweise zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Bildaufnahme bzw. Bildübertragung und Bildauswertung jeweils mehrere Pixelelemente des Sensors zu einem Pixel zusammenfassbar sind und die ursprüngliche Auflösung in dem Volumenbild, das aus den Bildern mit entsprechend reduzierter Pixelzahl berechnet wurde, durch rechnerische Inteφolation erreicht oder übertroffen wird.
26. Koordinatenmessgerat nach vorzugsweise zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Objekt (136) während der Messung kontinuierlich drehbar und von den Röntgenstrahlen diskontinuierlich beaufschlagbar ist.
27. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Austrittsöffnung der Röntgenstrahlenquelle (148) ein mechanischer und/oder elektronischer Verschluss zugeordnet ist.
28. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgenstrahlung (150) hochfrequent modulierbar ist.
29. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Sensoren (160, 162, 164) entlang einer parallel zur Drehachse (58) des Objekts (36) verlaufenden Geraden angeordnet sind, die unter voneinander abweichendem Winkel zu der Austrittsachse der Röntgenstrahlenquelle (48) angeordnet sind.
30. Koordinatenmessgerat nach vorzugsweise einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein gegenüber Röntgenstrahlung (150) einen geringen Kontrast aufweisendes Objekt von einem Material umgeben bzw. umschlossen ist, dessen Röntgen- strahlenabsoφtion größer als die des Objekts ist.
31. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Anordnung neben dem bzw. den die Röntgenstrahlung (150) erfassenden Sensoren (152, 154, 156, 160, 162, 164) weitere Sensoren zur messtechnischen Erfassung des Objekts (136) wie mechanischer Taster, Lasertaster, Bildverarbeitungssensor angeordnet sind.
32. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass einige der Sensoren auf separaten Verfahrachsen bzw. mechanischen Achsen angeordnet sind.
33. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Drehachse (18) des Objekts (3) auf einer Verfahrachse (1) zur Erweiterung des Messbereichs entlang der Drehachse angeordnet ist.
34. Koordinatenmessger t nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Objekt (136) auf einem um die Drehachse (158) drehbaren Drehtisch (134) angeordnet ist, dass in dem Drehtisch oder ein unmittelbar mit diesem verbundenen Element ein Kalibrierköφer vorzugsweise in Form von zumindest zwei Kalibrierkugeln (300, 302) angeordnet ist, der in einem Material angeordnet ist, das gegenüber Röntgenstrahlung eine geringere Absoφtion als der Kalibrierköφer aufweist.
35. Koordinatenmessgerat nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bildverarbeitungssensorik (500) für das Messen mit sichtbarem Licht mit der gleichen Bildverarbeitungsauswerteeinheit bzw. dem gleichen Bildverarbeitungsboard (504) wie die Röntgensensorik (502) verbunden ist.
36. Verfahren zum Kalibrieren der Röntgensensorik in einem Koordinatenmessgerat, insbesondere nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ausgezeichnete Punkte des zu messenden Objekts selbst mit taktiler und/oder optischer Sensorik gemessen werden und hieraus Geometriemerkmale wie Durchmesser oder Abstände ermittelt werden, die nach Bestimmung der gleichen Geometriemerkmale mit der Röntgensensorik zur Kalibrierung der Röntgensensorik herangezogen werden.
37. Verfahren nach Anspruch 36, dadurch gekennzeichnet, dass durch die taktile und/oder optische Sensorik ermittelte Messergebnisse zu ausgezeichneten Punkten zur Korrektur der über Schwcllwertverfahren aus 3D- Voxel-Daten generierten Messpunktwolke herangezogen werden, die sich beim Messen mit der Röntgensensorik (Tomographie) ergeben.
38. Verfahren nach vorzugsweise einem der Ansprüche 36 oder 37, dadurch gekennzeichnet, dass durch die taktile und/oder optische Sensorik ermittelte Messergebnisse zu den ausgezeichneten Punkten bereits bei der Berechnung der 3D-Rekonstruktion des Röntgen- (Tomographie-) Verfahrens berücksichtigt werden.
39. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 36 bis 38, dadurch gekennzeichnet, dass Messpunkte alternativ mit taktiler Sensorik, optischer Sensorik oder Röntgensensorik erfasst in einem gemeinsamen Koordinatensystem ausgewertet werden.
40. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 36 bis 39, dadurch gekennzeichnet, dass Geometriemerkmale wie Durchmesser und Abstand aus kombiniert mit Röntgensensorik, optischer Sensorik oder taktiler Sensorik gemessenen Punkten berechnet werden.
41. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 36 bis 40, dadurch gekennzeichnet, dass aus denen mit der Röntgensensorik ermittelten Messpunkten, und/oder den taktil ermittelten Messpunkten und / oder den optisch ermittelten Messpunkten eine gemeinsame Punktwolke zur weiteren Auswertung erzeugt wird.
42. Verfahren zum Messen eines Objektes mittels eines Koordinatenmessgerätes umfassend eine Röntgensensorik mit einer Röntgenstrahlenquelle, zumindest einem Röntgenstrahlen erfassenden Rontgenstrahlensensor sowie eine Abschirmung gegenüber Röntgenstrahlung als erste Sensorik und eine zweite Sensorik wie taktile und/oder optische Sensorik, die in x-, y- und/oder z-Richtung des Koordinatenmessgerätes relativ zu dem Objekt positioniert werden, dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgensensorik entsprechend der zweiten Sensorik in dem Koordinatenmessgerat positioniert wird.
43. Verfahren nach Anspruch 42, dadurch gekennzeichnet, dass gleichwertig zu der zweiten Sensorik die Röntgensensorik angeordnet wird.
44. Verfahren nach Anspruch 42 oder 43, dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgensensorik bzw. deren Sensor mit zumindest der taktilen Sensorik bzw. dessen Sensors und/oder der optischen Sensorik bzw. dessen Sensors auf einer gemeinsamen mechanischen Achse angeordnet wird.
45. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 42 bis 44, dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgensensorik auf einer separaten mechanischen Achse angeordnet wird, die entsprechend der mechanischen Achsen für die taktile Sensorik und/oder die optische Sensorik arbeitet.
46. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 42 bis 45, dadurch gekennzeichnet, dass durch die Röntgensensorik und die taktile Sensorik und/oder die optische Sensorik ein gemeinsames Messvolumen abgedeckt wird.
47. Verfahren nach zumindest einem Ansprüche 42 bis 46, dadurch gekennzeichnet, dass das Koordinatenmessgerat mindestens mit einer zur Arbeitsrichtung (x- und/oder y-Richtung) der Röntgensensorik und/oder der optischen Sensorik wie Bildverarbeitungssensorik und/oder der taktilen Sensorik senkrechten Achse (Z- Achse) ausgestattet wird.
48. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 42 bis 47, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse um eine vertikal verlaufende Achse gedreht wird.
49. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 42 bis 48, dadurch gekennzeichnet, dass Wirkungsachse bzw. mechanische Achse für die optische Sensorik bzw. deren Sensor und/oder die Röntgensensorik bzw. deren Sensor horizontal und/oder senkrecht zur Rotationsachse ausgerichtet wird.
50. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 42 bis 49, dadurch gekennzeichnet, dass Strahlungsquelle für die Röntgensensorik und/oder die Bildverarbeitungssensorik synchron mit dem zugeordneten Sensor bewegt werden.
51. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 42 bis 50, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquelle für die Röntgensensorik im Koordinatensystem des Koordinatenmessgerätes fest angeordnet wird.
52. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 42 bis 51 , dadurch gekennzeichnet, dass sowohl der Röntgensensor bzw. die Röntgensensorik als auch der optische Sensor bzw. die optische Sensorik und/oder der taktile Sensor bzw. die taktile Sensorik in mindestens einer Achse zum Objekt verstellbar angeordnet werden.
53. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 42 bis 52, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl Röntgensensor als auch optischer Sensor und/oder taktiler Sensor in mindestens zwei Achsen zum Objekt verstellbar angeordnet werden.
54. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 42 bis 53, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl Röntgensensor als auch optischer Sensor und/oder taktiler Sensor in mindestens drei Achsen zum Werkstück verstellbar angeordnet werden.
55. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 42 bis 54, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein weiterer Sensor mit dem Röntgensensor gemeinsam verstellbar angeordnet wird.
56. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 42 bis 55, dadurch gekennzeichnet, dass eine Messbereichsanpassung durch Verstellen des Abstandes zwischen Röntgensensor und Strahlungsquelle und/oder durch relatives Verstellen von Objekt und Röntgensensorik zueinander erfolgt.
57. Verfahren zum Messen von Strukturen und/oder Geometrien eines Objektes wie Werkstücks mittels eines Koordinatenmessgerätes unter Verwendung einer Röntgensensorik (Computer-Tomograph) umfassend eine Röntgenstrahlenquel- len, zumindest einen die Röntgenstrahlung erfassenden Sensor sowie eine Abschirmung gegenüber Röntgenstrahlung, wobei während des Messens die Röntgensensorik relativ zu dem Objekt, insbesondere das Objekt zu der Röntgensensorik gedreht wird, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Funktionsbauteil des Koordinatenmessgerätes als die Abschirmung ausgebildet wird.
58. Verfahren nach zumindest Anspruch 57, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschirmung als Montageort für Funktionskomponenten des Koordinatenmessgerätes wie Verfahrachse und/oder Sensor und/oder Strahlen- bzw. Lichtquelle ausgebildet wird.
59. Verfahren nach zumindest Anspruch 57, dadurch gekennzeichnet, dass als Abschirmung Grundplatte des Koordinatenmessgerätes und/oder Seitenwandung und/oder Rückwandung ausgebildet wird.
60. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 57 bis 59, dadurch gekennzeichnet, dass zur Abschirmung verwendete Funktionsbauelemente stärker dimensioniert werden als aus messtechnischer oder statischer Sicht erforderlich.
61. Verfahren nach vorzugsweise einem der Ansprüche 57 bis 60, dadurch gekennzeichnet, dass der Röntgenstrahlenquelle mehrere Sensoren derart zugeordnet werden, dass mit jedem Sensor jeweils ein Durchstrahlungsbild unter einem voneinander abweichenden Durchstrahlungswinkel aufgenommen wird.
62. Verfahren nach vorzugsweise einem der Ansprüche 57 bis 61 , dadurch gekennzeichnet, dass von dem Objekt Tomogramme unter Ausnutzung verschiedener Spektralbereiche der Röntgenstrahlung aufgenommen werden.
63. Verfahren nach vorzugsweise einem der Ansprüche 57 bis 62, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Bildaufnahme bzw. Bildübertragung oder Bildauswertung jeweils mehrere Pixelelemente des Wandlers zu jeweils einem Pixel zusammengefasst werden und die ursprüngliche Auflösung in dem Volumenbild, das aus den Bildern mit entsprechend reduzierter Pixelzahl berechnet wurde, durch rechnerische Inteφolation erreicht oder übertroffen wird.
64. Verfahren nach vorzugsweise einem der Ansprüche 57 bis 63, dadurch gekennzeichnet, dass das Objekt während der Messungen (Datenaufnahme) kontinuierlich gedreht wird, wobei die Röntgenstrahlenquelle mit Hilfe eines mechanischen oder elektrischen Verschlusses nur kurzzeitig geöffnet wird.
65. Verfahren nach einem der Ansprüche 57 bis 64, dadurch gekennzeichnet, dass das Objekt während der Messung kontinuierlich gedreht wird und diskontinuierlich von Röntgenstrahlen beaufschlagt wird.
66. Verfahren nach vorzugsweise einem der Ansprüche 57 bis 65, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Bilder (Tomogramme) des Objekts gleichzeitig aufgenommen werden, wobei Winkel zwischen Drehachse des Objekts und Röntgenstrahlung mit Hilfe mechanischer Drehschwenkachsen oder Verwendung mehrerer Detektoren unter verschiedenen Winkeln variiert wird.
67. Verfahren nach vorzugsweise einem der Ansprüche 57 bis 66, dadurch gekennzeichnet, dass zur Erhöhung der Auflösung im Tomogramm mehrere Aufnahmen aufgenommen werden, zwischen denen der Sensor bzw. das Objekt um eine Strecke verschoben wird, die kleiner als Kantenlänge eines empfindlichen Elements des Sensors ist.
68. Verfahren nach vorzugsweise einem der Ansprüche 57 bis 67, dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgenstrahlung parallelisiert wird.
69. Verfahren nach vorzugsweise einem der Ansprüche 57 bis 68, dadurch gekennzeichnet, dass mittels translatorischer Relativbewegung zwischen Objekt und Röntgenstrahlungsquelle bzw. Röntgensensor ein Bereich aufgenommen wird, der größer als Sensorfläche ist.
70. Verfahren nach vorzugsweise einem der Ansprüche 57 bis 69, dadurch gekennzeichnet, dass das Objekt aus Materialien geringen Kontrasts gegenüber Röntgenstrahlen dadurch gemessen wird, dass das Objekt von einem Material umgeben wird, dessen Röntgenstrahlenabsorption größer als die des Objekts ist.
71. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 57 bis 70, dadurch gekennzeichnet, dass neben dem bzw. den Sensoren zum Erfassen der Röntgenstrahlung weitere Sensoren für messtechnische Erfassung des Objekts wie z. B. mechanischer Taster, Lastertaster, Bildverarbeitungssensor verwendet werden.
72. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 57 bis 71 , dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einige der Sensoren auf separaten Verfahrachsen angeordnet werden.
73. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 57 bis 72, dadurch gekennzeichnet, dass zur Aufnahme eines Tomogramms benötigte Drehachse zum Drehen des Objekts auf einer Verfahrachse zur Vergrößening des Messbereichs in Richtung der Drehachse angeordnet wird.
74. Verfahren zum Messen eines Objekts mit einem Koordinatenmessgerat enthaltend zumindest eine Röntgensensorik mit Röntgenquelle und Röntgendetektor, dadurch gekennzeichnet, dass die Position für Röntgenquelle und Röntgendetektor nach einem einmaligen Einmessen für bestimmte Vergrößerungs- und Messbereichsanordnungen mit den zugehörigen Kalibrierdaten gespeichert werden und so gespeicherte Daten ohne weitere Nachkalibrierung bei nachfolgenden Messungen mit der Röntgensensorik berücksichtigt werden.
75. Verfahren nach Anspruch 74, dadurch gekennzeichnet, dass vorab eingemessene Vergrößerungs- und Messbereichseinstellungen durch das Messprogramm des Koordinatenmessgerätes automatisch aufgerufen und die entsprechenden Hardware-Komponenten des Gerätes positioniert werden.
76. Verfahren nach Anspruch 74 oder 75, dadurch gekennzeichnet, dass Röntgenquelle und Röntgendetektor synchron verfahren werden, um lediglich die Vergrößerung und/oder Messbereich zu verändern.
77. Verfahren nach einem zumindest einem der Ansprüche 74 bis 76, dadurch gekennzeichnet, dass Röntgenquelle und Röntgendetektor unabhängig voneinander verfahren werden, um Vergrößerung und/oder Messbereich zu verändern.
78. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 77, dadurch gekennzeichnet, dass alle für das Röntgenmessen (Tomographieren) notwendigen Einstellungen im Vorhinein eingemessen und abgespeichert werden und beim jeweiligen Röntgenmessvorgang wie Tomographiervorgang keinerlei Einmessvorgänge mehr notwendig sind.
79. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 78, dadurch gekennzeichnet, dass die Justage für den Drehmittelpunkt des Objekts durch einen Einmessvorgang und/oder eine entsprechende Korrektur des Drehmittelpunktversatzes in der Software realisiert wird.
80. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 79, dadurch gekennzeichnet, dass die Bestimmung der Vergrößerung für die Tomographie und/oder der Drehmittelpunktlage in Bezug auf Röntgenquelle und Röntgendetektor mittels eines Normals bestimmt wird, das aus mindestens zwei Kugeln besteht.
81. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 80, dadurch gekennzeichnet, dass die Bestimmung der Vergrößerung für die Röntgenmessung (Tomographie) und/oder der Drehmittelpunktlage in Bezug auf Röntgenquelle und Röntgendetektor mittels eines Normals bestimmt wird, das aus vier Kugeln besteht.
82. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 81, gekennzeichnet durch die Verfahrensschritte zur Bestimmung der Position des Drehachsmittelpunktes im Koordinatenmessgerat: ein Vierkugelnormal bestehend aus vier in den Ecken eines Rechtecks wie Quadrats angeordneten Kugeln, bei dem die Abstände der Kugeln zueinander bekannt bzw. kalibriert sind, wird auf der Drehachse positioniert, das Vierkugelnormal wird so verdreht, dass die aufgespannte Ebene parallel zum Detektor steht, Messung der Vierkugelposition im Messfeld des Detektors, Berechnung der mittleren Vergrößerung Ml aus den vier gemessenen Kugeldistanzen, den nominalen Kugeldistanzen und der nominalen Pixelgröße des Detektors, Drehung der Drehachse um 180°, Messung der vier Kugelpositionen im Bild, Berechnung der mittleren Vergrößerung M2 aus den vier gemessenen Kugeldistanzen, den nominalen Kυgeldistanzen und der nominalen Pixelgröße des Detektors.
83. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 82, dadurch gekennzeichnet, dass die Berechnung der Y-Position des Drehmittelpunktes anhand der vier Kugelpositionen vor und nach der Drehung erfolgt nach folgender Gleichung: Pdyn = (Pkynl * M2 + Pkyn2 + Ml)7 (Ml *M2) mit Pdyn: Y-Position der Drehachse auf dem Detektor für Kugel n, Pkynl: Y-Position der Kugel n bei Drehwinkel 0°, Pkyn2: Y-Position der Kugel n bei Drehwinkel 180, Ml: mittlere Vergrößerung bei Drehwinkel 0°, M2: mittlere Vergrößerung bei Drehwinkel 180°.
84. Verfahren nach vorzugsweise einem der Ansprüche 74 bis 83, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Koordinatenmessgerat mittels taktiler und/oder optischer Sensorik am Messobjekt gemessene Messpunkte zur Korrektur der mit der Röntgensensorik ermittelten Messpunkte berücksichtigt werden.
85. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 84, dadurch gekennzeichnet, dass eine Korrektur der mit der Röntgensensorik bzw. Tomographie gemessenen Messpunktewolke des Messobjektes oder der hieraus errechneten triangulierten Flächenelemente durch taktil und/oder optisch gewonnene Messpunkte erfolgt.
86. Verfahren nach zumindest Anspruch 85, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den taktil und / oder optisch gemessenen Korrekturpunkten interpoliert wird.
87. Verfahren nach zumindest Ansprüche 86, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den mit taktil und / oder optischer Sensorik gewonnenen Korrek- tuφunkten unter Berücksichtigung des Funktionsverlaufes der durch Röntgenmessung bzw. Tomographie gemessenen Punktwolke inteφoliert wird und / o- der durch Berücksichtigung des Nominal-CAD-Modells inteφoliert wird.
88. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 78 bis 87, dadurch gekennzeichnet, dass zuerst ein Musterteil eines Messobjekttyps mittels Röntgenstrahlen (tomographisch) und taktil und / 'oder optisch abgetastet wird, aus der Differenz beider Messungen ein Korrekturnetzwerk für die Korrektur der tomographischen Messwerte errechnet wird und beim Messen von Serienteilen die tomographischen Messungen mit den einmalig bestimmten Korrekturwerten korrigiert werden.
89. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 88, dadurch gekennzeichnet, dass ein kalibriertes Teil eines Messobjekttyps tomographiert wird und aus der Messabweichung bei der Messung ein Korrekturnetzwerk für die Korrektur der tomographischen Messwerte errechnet wird und beim Messen von Serienteilen die tomographischen Messungen mit den vorher abgestimmten Korrekturwerten abgestimmt werden.
90. Verfahren nach zumindest Anspruch 88, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Messung von Serienteilen zusätzlich einzelne optisch und/oder taktil gemessene Korrekturpunkte berücksichtigt werden.
91. Verfahren nach zumindest Anspruch 88 oder 90, dadurch gekennzeichnet, dass die taktilen und/oder optischen Messpunkte zur Korrektur durch einen Bediener grafisch an der durch Tomographie bestimmten Punktwolke festgelegt werden und durch das Koordinatenmessgerat dann automatisch gemessen werden.
92. Verfahren nach zumindest Anspruch 88 oder 91 , dadurch gekennzeichnet, dass die taktilen und/oder optischen Messpunkte zur Korrektur durch einen Bediener grafisch an dem CAD-Modell des zu messenden Teiles festgelegt werden und durch das Koordinatenmessgerat dann automatisch gemessen werden.
93. Verfahren nach zumindest Anspruch 88 oder 91 , dadurch gekennzeichnet dass die taktilen und/oder optischen Messpunkte zur Korrektur durch einen automatischen Algorithmus auf der Oberfläche des CAD-Modells annähernd gleichmäßig oder gleichmäßig verteilt und durch das Koordinatenmessgerat automatisch gemessen werden.
94. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 93, dadurch gekennzeichnet, dass die taktilen und/oder optischen Messpunkte zur Korrektur durch einen Bediener am CAD-Modell im Vornhinein festgelegt werden und nach dem Laden des CAD-Modells durch das Koordinatenmessgerat automatisch gemessen werden.
95. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 94, dadurch gekennzeichnet, dass beim Tomographiervorgang grundsätzlich ein Kalibrierköφer, insbesondere eine Anordnung von Kugeln, mit tomographiert wird und hieraus die Relativlage der Drehachse zum Koordinatenmessgerat und / oder zur Röntgenquelle und / oder zum Röntgensensor bestimmt und/oder die wirksame Vergrößerung und anschließend mathematisch korrigiert wird.
96. Verfahren nach zumindest Anspruch 95, dadurch gekennzeichnet, dass der Kalibrierkörper, insbesondere die Kalibrierkugeln, in einen Träger mit geringeren Röntgenabsoφtionseigenschaften als der Kalibrierköφer untergebracht wird und unter Berücksichtigung des Kalibrierköφers das Messobjekt auf einem Drehtisch positioniert wird.
97. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 96, dadurch gekennzeichnet, dass die Lage der Kalibrierköφer auf der Drehachse mit optischen und/oder taktilen Sensoren bestimmt und zur Korrektur der Lage der Drehachse herangezogen werden.
98. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 97, dadurch gekennzeichnet, dass die Raumlage der Rotationsachse in Bezug zu Röntgenquelle und Röntgendetektor mit der Röntgensensorik und/oder mit der taktilen Sensorik und/oder mit der optischen Sensorik messtechnisch bestimmt wird und diese Lageabweichung beim Tomographieren von Messobjekten mathematisch korrigiert wird.
99. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 98, dadurch gekennzeichnet, dass die von der Nominallage abweichende Lage der Drehachse durch Rotation und/oder Translation und/oder Verzerrung der 2D-Einzelbilder korrigiert wird.
100. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 99, dadurch gekennzeichnet, dass die von der Nominallage abweichende Lage der Drehachse im Rekonstruktionsalgorithmus berücksichtigt wird.
101. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 100, dadurch gekennzeichnet, dass das Messobjekt durch Einsatz von taktilen und/oder optischen Sensoren und/oder Tomographie in seiner Lage auf dem Drehtisch des Messgerätes und somit im Gerätekoordinatensystem bestimmt wird und anschließend im 2D- Durchstrahlungsmodus an eingemessener Position des Röntgensensors durch Maße mit Methoden der Bildverarbeitung gemessen werden.
102. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 101, dadurch gekennzeichnet, dass der Röntgensensor bzw. die Röntgensensorik automatisch durch die Geräte- Software gesteuert wird, wobei der Röntgensensor während der eigentlichen Messung (Tomographievorgang) in den Strahlkegel der Röntgenquelle positioniert wird und außerhalb dieser Zeiten außerhalb des Strahlungskegels in Parkstellung gebracht wird.
103. Verfahren nach vorzugsweise einem der Ansprüche 74 bis 102, dadurch gekennzeichnet, dass Bildverarbeitungssensorik und Röntgensensorik eines Multisensorkoordina- tenmessgerätes mit der gleichen Bild Verarbeitungshardware und der gleichen Bildverarbeitungssoftware bzw. Teilen davon ausgestattet sind.
104. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 103, dadurch gekennzeichnet, dass die von der Bildverarbeitungssensorik bekannten Bildbearbeitungsverfahren ebenfalls für die Röntgensensorik anwendbar sind.
105. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 74 bis 104, dadurch gekennzeichnet, dass die 2D-Röntgenbilder vor Rekonstruktion einer Verzeichnungskorrektur und/ oder einer Hellsignalkorrektur und/oder einer Dunkelsignalkorrektur und/oder einer mathematische Translation und/oder einer mathematischen Rotation und/oder einem Resamplingverfahren und/oder einer Linearitätskennlinien- korrektur und/oder einer Bildverarbeitungsfilterung unterzogen werden.
PCT/EP2005/005598 2004-05-26 2005-05-24 Koordinatenmessgerät und verfahren zum messen eines objektes WO2005119174A1 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP05750966.3A EP1749190B1 (de) 2004-05-26 2005-05-24 Verfahren zum Messen eines Objekts mit einem Koordinatenmessgerät, das einen Computer-Tomographen enthält
US11/597,625 US8804905B2 (en) 2004-05-26 2005-05-24 Coordinate measuring apparatus and method for measuring an object
JP2007513786A JP5408873B2 (ja) 2004-05-26 2005-05-24 座標測定装置におけるｘ線感知装置の校正方法
US14/323,522 US9625257B2 (en) 2004-05-26 2014-07-03 Coordinate measuring apparatus and method for measuring an object

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DE200410050257 DE102004050257A1 (de) 2004-10-14 2004-10-14 Anordnung und Verfahren zum Messen von Strukturen von Objekten
DE102004050257.9 2004-10-14
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US11/597,625 A-371-Of-International US8804905B2 (en) 2004-05-26 2005-05-24 Coordinate measuring apparatus and method for measuring an object
US14/323,522 Division US9625257B2 (en) 2004-05-26 2014-07-03 Coordinate measuring apparatus and method for measuring an object

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WO (1) WO2005119174A1 (de)

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007131724A1 (de) * 2006-05-11 2007-11-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zur dreidimensionalen vermessung eines festkörpers
WO2007131723A1 (de) * 2006-05-11 2007-11-22 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren zum vermessen eines festkörpers
DE102007021809A1 (de) 2007-04-20 2008-10-23 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum dimensionellen Messen mit Koordinatenmessgeräten
WO2008157434A1 (en) * 2007-06-15 2008-12-24 The Boeing Company System and method for assembling substantially distortion-free images
DE102009043823A1 (de) 2008-08-28 2010-07-29 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und Anordnung zum Bestimmen von Strukturen oder Geometrien eines Messobjektes
WO2010094774A2 (de) 2009-02-20 2010-08-26 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren zum messen eines objekts
NL2003840C2 (nl) * 2009-11-20 2011-05-23 Dirk Peter Leenheer Werkwijze voor het maken van een numeriek drie-dimensionaal model van een structuur uit zachte en harde delen, drie-dimensionaal model en drager.
NL2005040C2 (nl) * 2009-11-20 2011-05-24 Dirk Peter Leenheer Werkwijze voor het maken van een numeriek drie-dimensionaal model van een structuur uit zachte en harde delen, drie-dimensionaal model en drager.
DE102014113977A1 (de) 2013-10-22 2015-04-23 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren zur Bestimmung zumindest eines Parameters bei der dimensionellen Messung mit einer Computertomografiesensorik
DE102014116595A1 (de) 2013-11-15 2015-05-21 Werth Messtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Einsatz mehrerer Detektoren bei der dimensionellen Messung mit einer Computertomografiesensorik
DE102015101378A1 (de) 2014-01-30 2015-07-30 Werth Messtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Charakteristika an bzw. von Werkstücken mit Computertomografie
FR3019651A1 (fr) * 2014-04-08 2015-10-09 Univ Joseph Fourier Dispositif de mesure pour la correction de deplacements parasites dans un tomographe a rayons x
WO2016055167A1 (de) 2014-10-10 2016-04-14 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und vorrichtung zur computertomografie eines werkstücks
DE102015121127A1 (de) 2014-12-19 2016-06-23 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Computertomografie eines Werkstücks
DE102017100594A1 (de) 2016-01-14 2017-07-20 Werth Messtechnik Gmbh CT-Parameter-Automat
DE102018105709A1 (de) 2017-03-15 2018-09-20 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren zur computertomografischen Messungen von Werkstücken
US20220042930A1 (en) * 2020-08-05 2022-02-10 Faro Technologies, Inc. Part inspection method using computed tomography
DE102023103165A1 (de) 2022-02-14 2023-08-17 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Computertomografie oder Laminografie

Families Citing this family (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004003941A1 (de) * 2004-01-26 2005-08-11 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Bestimmung von Koordinaten eines Werkstücks
JP5408873B2 (ja) * 2004-05-26 2014-02-05 ベルス・メステヒニーク・ゲーエムベーハー 座標測定装置におけるｘ線感知装置の校正方法
US20090213984A1 (en) * 2008-02-26 2009-08-27 United Technologies Corp. Computed Tomography Systems and Related Methods Involving Post-Target Collimation
US7639777B2 (en) * 2008-02-26 2009-12-29 United Technologies Corp. Computed tomography systems and related methods involving forward collimation
US8238521B2 (en) * 2008-03-06 2012-08-07 United Technologies Corp. X-ray collimators, and related systems and methods involving such collimators
US20090225954A1 (en) * 2008-03-06 2009-09-10 United Technologies Corp. X-Ray Collimators, and Related Systems and Methods Involving Such Collimators
US7876875B2 (en) * 2008-04-09 2011-01-25 United Technologies Corp. Computed tomography systems and related methods involving multi-target inspection
US20090274264A1 (en) * 2008-04-30 2009-11-05 United Technologies Corp. Computed Tomography Systems and Related Methods Involving Localized Bias
US7888647B2 (en) * 2008-04-30 2011-02-15 United Technologies Corp. X-ray detector assemblies and related computed tomography systems
US7775715B2 (en) * 2008-08-28 2010-08-17 United Technologies Corporation Method of calibration for computed tomography scanners utilized in quality control applications
US8179132B2 (en) * 2009-02-18 2012-05-15 General Electric Company Method and system for integrating eddy current inspection with a coordinate measuring device
DE102009019215A1 (de) * 2009-04-30 2010-11-11 Wenzel Volumetrik Gmbh Computertomographische Werkstückmessvorrichtung
US8020308B2 (en) * 2009-05-29 2011-09-20 General Electric Company Non-destructive inspection system having self-aligning probe assembly
US8655033B2 (en) * 2009-10-28 2014-02-18 General Electric Company Iterative reconstruction
WO2011064339A2 (de) * 2009-11-26 2011-06-03 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und anordnung zur taktil-optischen bestimmung der geometrie eines messobjektes
FR2978566B1 (fr) 2011-07-25 2016-10-28 Commissariat Energie Atomique Systeme d'imagerie pour l'imagerie d'objets a mouvement rapide
EP2737426B1 (de) * 2011-07-29 2019-04-03 Hexagon Metrology, Inc Datenreduktion für ein koordinatenmesssystem
DE102011113611B3 (de) * 2011-09-16 2012-10-04 PTW-Freiburg Physikalisch-Technische Werkstätten Dr. Pychlau GmbH Wasserphantom und Messsystem
FR2981450B1 (fr) * 2011-10-17 2014-06-06 Eads Europ Aeronautic Defence Systeme et procede de controle de la qualite d'un objet
DE202012101669U1 (de) 2012-05-07 2013-08-08 Werth Messtechnik Gmbh Computertomograf
JP2014009976A (ja) * 2012-06-28 2014-01-20 Hitachi Ltd ３次元形状計測用ｘ線ｃｔ装置およびｘ線ｃｔ装置による３次元形状計測方法
WO2014015128A2 (en) * 2012-07-18 2014-01-23 The Trustees Of Princeton University Multiscale spectral nanoscopy
KR20140087246A (ko) * 2012-12-28 2014-07-09 삼성전자주식회사 엑스선 영상 장치 및 그 제어 방법
DE102013104490A1 (de) * 2013-01-25 2014-07-31 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Geometrie von Strukturen mittels Computertomografie
US9410905B2 (en) * 2013-03-27 2016-08-09 United Technologies Corporation Non-destructive inspection of an article using cross-sections through internal feature
CN105264360B (zh) * 2013-04-04 2019-04-26 伊利诺斯工具制品有限公司 螺旋计算机断层成像
WO2014181478A1 (ja) * 2013-05-10 2014-11-13 株式会社ニコン Ｘ線装置及び構造物の製造方法
EP3004796B1 (de) 2013-05-27 2017-03-22 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH Vorrichtung und verfahren zur kalibrierung eines koordinatenmessgeräts
JP6266937B2 (ja) 2013-09-30 2018-01-24 株式会社トプコン 回転レーザ出射装置およびレーザ測量システム
JP6210841B2 (ja) * 2013-10-29 2017-10-11 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター Ｘ線三次元測定装置及びｘ線三次元測定方法
US20150286384A1 (en) * 2014-04-08 2015-10-08 Quality Vision International, Inc. Method Of Establishing Multi-Sensor Measuring Machine Routines
US9750479B2 (en) * 2014-06-27 2017-09-05 Hexagon Metrology, Inc. Three-dimensional x-ray CT calibration and verification apparatus and method
US10571412B2 (en) 2014-08-07 2020-02-25 Nikon Corporation X-ray apparatus and structure production method
DE102014225111B4 (de) * 2014-12-08 2021-04-15 Siemens Healthcare Gmbh Verfahren zum Vorbereiten eines Behandlungsraumes füreine Strahlentherapie
EP3104118B1 (de) 2015-06-12 2019-02-27 Hexagon Technology Center GmbH Verfahren zur steuerung eines antriebsmechanismus einer automatisierten maschine mit einer kamera
WO2017007535A1 (en) 2015-07-07 2017-01-12 Quality Vision International, Inc. Method and apparatus for scanning object
US10222492B2 (en) 2015-10-23 2019-03-05 Hexagon Metrology, Inc. Three-dimensional computed tomography gauge
US10585051B2 (en) 2016-05-24 2020-03-10 Hexagon Metrology, Inc. X-ray computed tomography gauge
JP6767045B2 (ja) 2016-11-02 2020-10-14 株式会社ミツトヨ 計測用ｘ線ｃｔ装置と座標測定機の座標合せ治具
JP6805918B2 (ja) * 2017-03-23 2020-12-23 コニカミノルタ株式会社 放射線画像処理装置及び放射線画像撮影システム
US11291425B2 (en) * 2017-04-21 2022-04-05 Shimadzu Corporation Utensil for evaluating length measurement error in X-ray CT device for three-dimensional shape measurement
JP2019128163A (ja) * 2018-01-19 2019-08-01 株式会社ミツトヨ 計測用ｘ線ｃｔ装置、及び、その校正方法
JP7082492B2 (ja) 2018-01-19 2022-06-08 株式会社ミツトヨ 計測用ｘ線ｃｔ装置、及び、その干渉防止方法
US10354374B1 (en) * 2018-02-27 2019-07-16 James Edward Prindiville Method of representing the internal conditions in computed tomography
CN109602428B (zh) * 2018-11-05 2022-07-22 上海逸动医学科技有限公司 一种移动式双平面x光系统的立体动态定位系统
TWI715899B (zh) * 2018-12-20 2021-01-11 財團法人工業技術研究院 量測程式編譯裝置與量測程式編譯方法
US11733181B1 (en) 2019-06-04 2023-08-22 Saec/Kinetic Vision, Inc. Imaging environment testing fixture and methods thereof
JP7257924B2 (ja) * 2019-09-09 2023-04-14 株式会社ミツトヨ Ｘ線計測装置の校正方法
JP7257925B2 (ja) * 2019-09-10 2023-04-14 株式会社ミツトヨ Ｘ線計測装置の校正方法
EP4052025A4 (de) * 2019-10-31 2023-11-29 Smiths Detection Inc. System und verfahren zur unterirdischen computertomographie-frachtinspektion
JP7257942B2 (ja) * 2019-11-29 2023-04-14 日立Astemo株式会社 表面検査装置および形状矯正装置、並びに表面検査方法および形状矯正方法
CN112731864B (zh) * 2020-12-21 2022-01-21 北京理工大学 一种机床加工误差补偿方法、装置及零件加工机床
US20230010730A1 (en) * 2021-07-08 2023-01-12 Illinois Tool Works Inc. Customizable axes of rotation for industrial radiography systems
CN113310422B (zh) * 2021-07-29 2021-10-22 成都信息工程大学 一种工件特征间距的测量装置及测量方法
CN114280083B (zh) * 2021-12-16 2023-11-07 重庆日联科技有限公司 一种基于线阵相机自动cnc编程实现工业x光无损检测大尺寸平整铸件的检测方法
US11480533B1 (en) 2022-04-14 2022-10-25 Honeywell Federal Manufacturing & Technologies, Llc Multi-scan computed tomography defect detectability
US11669959B1 (en) 2022-04-14 2023-06-06 Honeywell Federal Manufacturing & Technologies, Llc Automated analysis of lattice structures using computed tomography

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0343600A1 (de) * 1988-05-24 1989-11-29 GENERAL MEDICAL MERATE S.p.A. Verfahren und Vorrichtung zur digitalen Eichung einer Röntgenanlage
JPH06249641A (ja) * 1993-03-01 1994-09-09 Tokyo Seimitsu Co Ltd 座標測定機用ロータリテーブルの校正方法
FR2721497A1 (fr) * 1994-06-22 1995-12-29 Ge Medical Syst Sa Dispositif lumineux de localisation et de pointage tridimensionel pour applications médicales.
JP2002055062A (ja) * 2000-08-11 2002-02-20 Shimadzu Corp Ｘ線ｃｔ装置
EP1313065A1 (de) * 2001-11-16 2003-05-21 Philips Intellectual Property & Standards GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung von und zur Bilderzeugung mit einer schwerkraftempfindlichen Röntgenaufnahmeeinrichtung
EP1380263A1 (de) * 2002-07-12 2004-01-14 MYCRONA Gesellschaft für innovative Messtechnik mbH Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Ist-Position einer Struktur eines Untersuchungsobjektes
US20050151963A1 (en) * 2004-01-14 2005-07-14 Sandeep Pulla Transprojection of geometry data

Family Cites Families (61)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5015A (en) * 1847-03-13 Mode of producing reciprocating and latkral motions
BE519407A (de) 1952-06-03 1900-01-01
CH386133A (de) * 1961-02-24 1964-12-31 Forschungsanstalt Fuer Strahle Verfahren und Einrichtung zur Materialprüfung
US4422177A (en) * 1982-06-16 1983-12-20 American Science And Engineering, Inc. CT Slice proximity rotary table and elevator for examining large objects
JPS6064235A (ja) * 1983-09-20 1985-04-12 Toshiba Corp Ｃｔスキヤナ
JPS60181641A (ja) * 1984-02-29 1985-09-17 Toshiba Ceramics Co Ltd 産業用ｘ線断層撮影装置
US5038378A (en) 1985-04-26 1991-08-06 Schlumberger Technology Corporation Method and apparatus for smoothing measurements and detecting boundaries of features
DE3806686A1 (de) 1988-03-02 1989-09-14 Wegu Messtechnik Mehrkoordinatenmess- und -pruefeinrichtung
NL8800614A (nl) 1988-03-14 1989-10-02 Philips Nv Roentgenonderzoek apparaat met drie rotatie assen.
JPH0692885B2 (ja) * 1990-01-10 1994-11-16 新日本製鐵株式会社 Ｘ線ｃｔ装置
JP3112025B2 (ja) * 1990-10-26 2000-11-27 株式会社日立製作所 生体計測装置
JP2729542B2 (ja) 1991-02-22 1998-03-18 富士写真フイルム株式会社 ハロゲン化銀カラー写真感光材料用の処理液及びそれを用いた処理方法
DE9103229U1 (de) 1991-03-16 1992-07-16 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 78727 Oberndorf Meß- und Verarbeitungsstation für große Werkstücke
FR2700909B1 (fr) * 1993-01-27 1995-03-17 Gen Electric Cgr Dispositif et procédé automatique de calibration géométrique d'un système d'imagerie par rayons X.
JP3449561B2 (ja) * 1993-04-19 2003-09-22 東芝医用システムエンジニアリング株式会社 Ｘ線ｃｔ装置
DE4415947C2 (de) 1994-03-25 1999-04-22 Thermoselect Ag Verfahren zur Aufbereitung und Verwertung metallhaltiger Abscheidungen aus der Gasreinigung bei der thermischen Abfallbehandlung
DE4445331C5 (de) 1994-12-19 2006-07-27 Mycrona Gesellschaft für innovative Messtechnik mbH Automatischer Multisensormeßkopf für Koordinatenmeßgeräte
US5615244A (en) * 1995-05-25 1997-03-25 Morton International, Inc. Real time radiographic inspection system
WO1997018462A1 (en) * 1995-11-13 1997-05-22 The United States Of America As Represented By The Apparatus and method for automatic recognition of concealed objects using multiple energy computed tomography
US5912938A (en) * 1996-10-07 1999-06-15 Analogic Corporation Tomography system having detectors optimized for parallel beam image reconstruction
US5764721A (en) * 1997-01-08 1998-06-09 Southwest Research Institute Method for obtaining optimized computed tomography images from a body of high length-to-width ratio using computer aided design information for the body
US5848115A (en) * 1997-05-02 1998-12-08 General Electric Company Computed tomography metrology
US5963612A (en) * 1997-12-31 1999-10-05 Siemens Corporation Research, Inc. Apparatus for C-arm calibration for 3D reconstruction in an imaging system utilizing planar transformation
US6289235B1 (en) * 1998-03-05 2001-09-11 Wake Forest University Method and system for creating three-dimensional images using tomosynthetic computed tomography
DE29808320U1 (de) * 1998-05-12 1998-10-15 Wegu-Messtechnik GmbH, 66787 Wadgassen Mehrkoordinatenmeß- und -prüfeinrichtung
JP2000121580A (ja) * 1998-08-11 2000-04-28 Hitachi Ltd Ｘ線缶巻締部測定装置及び測定開始点検出方法
JP2000140137A (ja) * 1998-08-31 2000-05-23 Sumitomo Heavy Ind Ltd 放射線治療の患者位置決め方法及び装置
US6148058A (en) * 1998-10-23 2000-11-14 Analogic Corporation System and method for real time measurement of detector offset in rotating-patient CT scanner
JP2001041728A (ja) * 1999-07-30 2001-02-16 Canon Inc 断面寸法測定方法および装置
DE10001239A1 (de) 2000-01-14 2001-07-26 Leica Microsystems Messgerät und Verfahren zum Vermessen von Strukturen auf einem Substrat
US6947038B1 (en) * 2000-04-27 2005-09-20 Align Technology, Inc. Systems and methods for generating an appliance with tie points
DE10021219A1 (de) * 2000-04-29 2001-10-31 Philips Corp Intellectual Pty Computertomographie-Verfahren
JP3427046B2 (ja) * 2000-08-29 2003-07-14 株式会社日立製作所 ３次元寸法計測装置及びその計測方法
DE10044169A1 (de) * 2000-09-07 2002-03-21 Daimler Chrysler Ag Verfahren zur zerstörungsfreien Wandstärkenprüfung
FI109653B (fi) * 2000-10-11 2002-09-30 Instrumentarium Corp Menetelmä ja laitteisto potilaan pään alueen kuvaamiseksi
DE10051370A1 (de) * 2000-10-17 2002-05-02 Brainlab Ag Verfahren und Vorrichtung zur exakten Patientenpositionierung in der Strahlentherapie und Radiochirurgie
US6470068B2 (en) * 2001-01-19 2002-10-22 Cheng Chin-An X-ray computer tomography scanning system
FR2822273B1 (fr) * 2001-03-13 2003-07-11 Ge Med Sys Global Tech Co Llc Procede d'etalonnage pour la reconstruction de modelisations tri-dimensionnelles a partir d'images obtenues par tomographie
DK174493B1 (da) 2001-05-22 2003-04-22 Maersk Olie & Gas Fremgangsmåde til styring af injektionsfrakturers udbredelsesretning i permeable formationer
US6611575B1 (en) * 2001-07-27 2003-08-26 General Electric Company Method and system for high resolution 3D visualization of mammography images
DE10140867B4 (de) * 2001-08-21 2005-08-18 Siemens Ag Kalibrierphantom für projektive Röntgensysteme
US6636581B2 (en) 2001-08-31 2003-10-21 Michael R. Sorenson Inspection system and method
US6751285B2 (en) * 2001-11-21 2004-06-15 General Electric Company Dose management system for mammographic tomosynthesis
FR2834197B1 (fr) * 2001-12-28 2004-02-27 Optimage Procede et dispositif d'evaluation des forces d'equilibrage du squelette
JP3431022B1 (ja) * 2002-02-15 2003-07-28 株式会社日立製作所 ３次元寸法計測装置及び３次元寸法計測方法
US7269243B2 (en) * 2002-02-25 2007-09-11 Ge Medical Systems Global Technology Company, Llc Method and apparatus for controlling electron beam motion based on calibration information
JP4172201B2 (ja) * 2002-04-30 2008-10-29 コニカミノルタホールディングス株式会社 放射線撮影装置及び放射線画像形成装置
JP2004012407A (ja) * 2002-06-11 2004-01-15 Hitachi Ltd 透過画像提供システムおよびｘ線ｃｔ・ｄｒ撮影サービスシステム
CA2391133C (en) * 2002-06-21 2011-02-15 Jiwei Yang Method and apparatus for measuring the thickness of compressed objects
US7356115B2 (en) * 2002-12-04 2008-04-08 Varian Medical Systems Technology, Inc. Radiation scanning units including a movable platform
US7198404B2 (en) * 2003-04-03 2007-04-03 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. Real-time acquisition of co-registered X-ray and optical images
US7186023B2 (en) * 2003-06-10 2007-03-06 Shimadzu Corporation Slice image and/or dimensional image creating method
US7170966B2 (en) * 2003-08-05 2007-01-30 Gioietta Kuo-Petravic Practical implementation of a CT cone beam algorithm for 3-D image reconstruction as applied to nondestructive inspection of baggage, live laboratory animal and any solid materials
US7147373B2 (en) * 2003-08-08 2006-12-12 University Health Network Method and system for calibrating a source and detector instrument
US7016456B2 (en) * 2003-10-31 2006-03-21 General Electric Company Method and apparatus for calibrating volumetric computed tomography systems
JP5408873B2 (ja) * 2004-05-26 2014-02-05 ベルス・メステヒニーク・ゲーエムベーハー 座標測定装置におけるｘ線感知装置の校正方法
US7003070B1 (en) * 2004-08-03 2006-02-21 William Barry Chen Upright CT scanner
US7344307B2 (en) * 2004-11-12 2008-03-18 General Electric Company System and method for integration of a calibration target into a C-arm
US20060239398A1 (en) * 2005-03-07 2006-10-26 Fused Multimodality Imaging, Ltd. Breast diagnostic apparatus for fused SPECT, PET, x-ray CT, and optical surface imaging of breast cancer
US8777485B2 (en) * 2010-09-24 2014-07-15 Varian Medical Systems, Inc. Method and apparatus pertaining to computed tomography scanning using a calibration phantom
EP2809234B1 (de) * 2012-01-30 2018-04-25 Hexagon Metrology, Inc Vorrichtung zur kalibrierung und prüfung einer röntgencomputertomographievorrichtung

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0343600A1 (de) * 1988-05-24 1989-11-29 GENERAL MEDICAL MERATE S.p.A. Verfahren und Vorrichtung zur digitalen Eichung einer Röntgenanlage
JPH06249641A (ja) * 1993-03-01 1994-09-09 Tokyo Seimitsu Co Ltd 座標測定機用ロータリテーブルの校正方法
FR2721497A1 (fr) * 1994-06-22 1995-12-29 Ge Medical Syst Sa Dispositif lumineux de localisation et de pointage tridimensionel pour applications médicales.
JP2002055062A (ja) * 2000-08-11 2002-02-20 Shimadzu Corp Ｘ線ｃｔ装置
EP1313065A1 (de) * 2001-11-16 2003-05-21 Philips Intellectual Property & Standards GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung von und zur Bilderzeugung mit einer schwerkraftempfindlichen Röntgenaufnahmeeinrichtung
EP1380263A1 (de) * 2002-07-12 2004-01-14 MYCRONA Gesellschaft für innovative Messtechnik mbH Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Ist-Position einer Struktur eines Untersuchungsobjektes
US20050151963A1 (en) * 2004-01-14 2005-07-14 Sandeep Pulla Transprojection of geometry data

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
BAUER WALTER ET AL: "Computer tomography for non-destructive testing in the automotive industry", PROC SPIE INT SOC OPT ENG; PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING; DEVELOPMENTS IN X-RAY TOMOGRAPHY IV 2004, vol. 5535, 2004, pages 464 - 472, XP002340338 *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 018, no. 638 (P - 1837) 5 December 1994 (1994-12-05) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 2002, no. 06 4 June 2002 (2002-06-04) *

Cited By (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007131723A1 (de) * 2006-05-11 2007-11-22 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren zum vermessen eines festkörpers
DE102006022103A1 (de) * 2006-05-11 2007-11-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Vermessen eines Festkörpers
WO2007131724A1 (de) * 2006-05-11 2007-11-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zur dreidimensionalen vermessung eines festkörpers
DE102006022103B4 (de) * 2006-05-11 2013-05-29 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren zum Vermessen eines Festkörpers
DE102006022104B4 (de) * 2006-05-11 2012-09-06 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zur dreidimensionalen Vermessung eines Festkörpers
DE102007021809A1 (de) 2007-04-20 2008-10-23 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum dimensionellen Messen mit Koordinatenmessgeräten
WO2008128978A3 (de) * 2007-04-20 2008-12-18 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und vorrichtung zum dimensionellen messen mit koordinatenmessgeräten
US8224121B2 (en) 2007-06-15 2012-07-17 The Boeing Company System and method for assembling substantially distortion-free images
WO2008157434A1 (en) * 2007-06-15 2008-12-24 The Boeing Company System and method for assembling substantially distortion-free images
DE102009043823A1 (de) 2008-08-28 2010-07-29 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und Anordnung zum Bestimmen von Strukturen oder Geometrien eines Messobjektes
EP2654017A2 (de) 2009-02-20 2013-10-23 Werth Messtechnik GmbH Verfahren zum Messen eines Objekts
EP2665035A2 (de) 2009-02-20 2013-11-20 Werth Messtechnik GmbH Verfahren zum Messen eines Objekts
EP2665034A3 (de) * 2009-02-20 2017-03-15 Werth Messtechnik GmbH Verfahren zum Messen eines Objekts
US9025855B1 (en) * 2009-02-20 2015-05-05 Werth Messtechnik Gmbh Method for measuring an object
DE102010000473A1 (de) 2009-02-20 2010-08-26 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren zum Messen eines Objektes
EP2654016A2 (de) 2009-02-20 2013-10-23 Werth Messtechnik GmbH Verfahren zum Messen eines Objekts
WO2010094774A2 (de) 2009-02-20 2010-08-26 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren zum messen eines objekts
EP2654017A3 (de) * 2009-02-20 2016-12-07 Werth Messtechnik GmbH Verfahren zum Messen eines Objekts
EP2665034A2 (de) 2009-02-20 2013-11-20 Werth Messtechnik GmbH Verfahren zum Messen eines Objekts
NL2003840C2 (nl) * 2009-11-20 2011-05-23 Dirk Peter Leenheer Werkwijze voor het maken van een numeriek drie-dimensionaal model van een structuur uit zachte en harde delen, drie-dimensionaal model en drager.
WO2011062494A1 (en) 2009-11-20 2011-05-26 Dirk Peter Leenheer Method for making a numerical three-dimensional model of a structure of soft and hard parts, three-dimensional model and carrier
US10240919B2 (en) 2009-11-20 2019-03-26 Dirk Peter Leenheer Method for making a numerical three-dimensional model of a structure of soft and hard parts, three-dimensional model and carrier
NL2005040C2 (nl) * 2009-11-20 2011-05-24 Dirk Peter Leenheer Werkwijze voor het maken van een numeriek drie-dimensionaal model van een structuur uit zachte en harde delen, drie-dimensionaal model en drager.
DE102014113977A1 (de) 2013-10-22 2015-04-23 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren zur Bestimmung zumindest eines Parameters bei der dimensionellen Messung mit einer Computertomografiesensorik
DE102014116595A1 (de) 2013-11-15 2015-05-21 Werth Messtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Einsatz mehrerer Detektoren bei der dimensionellen Messung mit einer Computertomografiesensorik
DE102015101378A1 (de) 2014-01-30 2015-07-30 Werth Messtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Charakteristika an bzw. von Werkstücken mit Computertomografie
FR3019651A1 (fr) * 2014-04-08 2015-10-09 Univ Joseph Fourier Dispositif de mesure pour la correction de deplacements parasites dans un tomographe a rayons x
WO2015155466A1 (fr) * 2014-04-08 2015-10-15 Universite Joseph Fourier Dispositif de mesure pour la correction de deplacements parasites dans un tomographe a rayons x
WO2016055167A1 (de) 2014-10-10 2016-04-14 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und vorrichtung zur computertomografie eines werkstücks
DE102015121127A1 (de) 2014-12-19 2016-06-23 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Computertomografie eines Werkstücks
DE102017100594A1 (de) 2016-01-14 2017-07-20 Werth Messtechnik Gmbh CT-Parameter-Automat
DE102018105709A1 (de) 2017-03-15 2018-09-20 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren zur computertomografischen Messungen von Werkstücken
US20220042930A1 (en) * 2020-08-05 2022-02-10 Faro Technologies, Inc. Part inspection method using computed tomography
US11719651B2 (en) * 2020-08-05 2023-08-08 Faro Technologies, Inc. Part inspection method using computed tomography
DE102023103165A1 (de) 2022-02-14 2023-08-17 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Computertomografie oder Laminografie

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