DE102014116595A1 - Vorrichtung und Verfahren zum Einsatz mehrerer Detektoren bei der dimensionellen Messung mit einer Computertomografiesensorik - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zum Einsatz mehrerer Detektoren bei der dimensionellen Messung mit einer Computertomografiesensorik Download PDF

Info

Publication number
DE102014116595A1
DE102014116595A1 DE102014116595.0A DE102014116595A DE102014116595A1 DE 102014116595 A1 DE102014116595 A1 DE 102014116595A1 DE 102014116595 A DE102014116595 A DE 102014116595A DE 102014116595 A1 DE102014116595 A1 DE 102014116595A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
detectors
rotation
sub
workpiece
detector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102014116595.0A
Other languages
English (en)
Inventor
Auf Nichtnennung Antrag
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Werth Messtechnik GmbH
Original Assignee
Werth Messtechnik GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Werth Messtechnik GmbH filed Critical Werth Messtechnik GmbH
Priority to DE102014116595.0A priority Critical patent/DE102014116595A1/de
Publication of DE102014116595A1 publication Critical patent/DE102014116595A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2433Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures for measuring outlines by shadow casting
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B15/00Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
    • G01B15/04Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring contours or curvatures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • G01N23/046Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using tomography, e.g. computed tomography [CT]
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T11/002D [Two Dimensional] image generation
    • G06T11/003Reconstruction from projections, e.g. tomography
    • G06T11/005Specific pre-processing for tomographic reconstruction, e.g. calibration, source positioning, rebinning, scatter correction, retrospective gating
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/30Accessories, mechanical or electrical features
    • G01N2223/33Accessories, mechanical or electrical features scanning, i.e. relative motion for measurement of successive object-parts
    • G01N2223/3303Accessories, mechanical or electrical features scanning, i.e. relative motion for measurement of successive object-parts object fixed; source and detector move
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2211/00Image generation
    • G06T2211/40Computed tomography
    • G06T2211/432Truncation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Pulmonology (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung von geometrischen Merkmalen an einem Werkstück mittels einer Computertomografiesensorik, zumindest bestehend aus Strahlungsquelle, flächig ausgedehntem Detektor und mechanischer Drehachse zur Drehung des Werkstücks oder zur Drehung von Strahlungsquelle und Detektor, wobei Durchstrahlungsinformationen in Form von Teildurchstrahlungsbildern, aufgenommen mit mehreren Teildetektoren, für die Rekonstruktion von Volumendaten (Voxelvolumen) verwendet werden. Um unabhängig von der Größe des Werkstücks präzise messen zu können, ist vorgesehen, dass je Drehstellung der mechanischen Drehachse in den Teildurchstrahlungsbildern unterschiedliche Bereiche, gegebenenfalls teilweise überlappende Bereiche des Werkstücks abgebildet sind.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und auf ein Verfahren zum Einsatz mehrere Detektoren bei der dimensionellen Messung mittels Computertomografie (CT).
  • Unter Computertomografie zur dimensionellen Messung von Werkstücken ist zu verstehen, dass aus der Menge der meist mittels eines flächigen Detektors in mehreren Drehstellungen eines Werkstücks aufgenommenen zweidimensionalen Durchstrahlungsbildern eine Rekonstruktion der Volumeninformationen (Voxeldaten bzw. Voxelamplituden in Form von Grauwerten) für das vom Detektor erfasste Volumen erfolgt. Vorzugsweise werden an Materialgrenzen durch Oberflächenextraktionsverfahren Messpunkte erzeugt. Aus diesen Oberflächenmesspunkten können Maße am Werkstück ermittelt werden, also dimensionelle Messungen erfolgen.
  • Eine erfindungsgemäße Computertomografiesensorik (CT-Sensorik) besteht im Allgemeinen aus einem flächig ausgeprägten Detektor, einer Strahlungsquelle, vorzugsweise Röntgenstrahlungsquelle, und einer mechanischen Drehachse zur Drehung des zu messenden Werkstücks im Strahlkegel der von der Strahlungsquelle abgegebenen Strahlung. In kinematischer Umkehr ist es jedoch auch möglich, das Werkstück fest anzuordnen und Detektor und Strahlungsquelle um das Werkstück rotieren zu lassen.
  • Zur Messung von Werkstücken, die nicht in allen Drehstellungen vollständig auf dem Detektor abgebildet werden können, existieren im Stand der Technik mehrere Verfahren. Bei der so genannten Halbseiten-CT wird das Messobjekt so angeordnet, dass nur etwas mehr als die Hälfte des Werkstücks senkrecht zur Richtung der Drehachse auf dem Detektor abgebildet wird. Durch die Drehung des Werkstücks werden die zunächst nicht abgebildeten Bereiche des Werkstücks in weiteren Drehstellungen auf dem Detektor abgebildet. Im Vergleich zu einer Computertomografie, bei der das Werkstück in allen Drehstellungen vollständig auf dem Detektor abgebildet wird, verringert sich die Anzahl der zur Rekonstruktion zur Verfügung stehenden Durchstrahlungsinformationen um etwa 50 %. Hierdurch verringert sich die Genauigkeit der Rekonstruktion und damit der Messung. Bei alternativen Verfahren wird die komplette Erfassung des Werkstücks dadurch erreicht, dass Durchstrahlungsbilder für alle Drehstellungen in mehreren Relativstellungen zwischen dem Werkstück und der Computertomografiesensorik aufgenommen werden, wie dies beispielsweise ebenfalls der WO 2005119174 A1 entnommen werden kann. Hierdurch verdoppelt sich jedoch in etwa die Messzeit und die Anforderungen an die anschließende Rekonstruktion erhöhen sich.
  • Die Größe der mittels Computertomografie messbaren Werkstücke wird also unter anderem durch die Größe des Detektors begrenzt. Große Werkstücke können dadurch nicht in allen Drehstellungen vollständig auf dem Detektor abgebildet werden. Sollen zur Vergrößerung der Detektorfläche mehrere Teildetektoren nebeneinander angeordnet werden, so ergibt sich das Problem, dass die Teildetektoren nicht beliebig eng beieinander angeordnet werden können, also Nahtstellen auftreten, bzw. die Detektoren zueinander verkippt sind.
  • Zur Erhöhung der Signalqualität oder um die Anzahl der notwendigen Drehstellungen bei gleicher Signalqualität zu verringern, ist beispielsweise in der WO 2005119174 A1 vorgesehen, mehrere Detektoren verkippt zueinander anzuordnen. Der zu messende Bereich des Werkstücks wird dabei auf alle Detektoren vollständig abgebildet, es erfassen also alle Detektoren den gleichen Bereich des Werkstücks, lediglich aus leicht unterschiedlichen Richtungen. Insbesondere liegt dabei kein erhöhter Messbereich vor und große Werkstücke können nicht gemessen werden.
  • Die unveröffentlichte PCT/EP2013/068585 offenbart ein Verfahren zur Korrektur der Verzeichnung eines Detektors. Auf diese wird hier vollumfänglich Bezug genommen.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, Werkstücke mit hoher Genauigkeit mittels Computertomografie (CT) zu messen, die in der jeweils vorliegenden Vergrößerung bzw. Abbildungsmaßstab, also der Lage des Werkstücks zwischen Strahlungsquelle und Detektor, nicht vollständig auf dem Detektor abgebildet werden können. Insbesondere sollen Werkstücke gemessen werden, deren Abmessungen senkrecht zur Achse, um die sich die mechanische Drehachse dreht, größer sind, als der vom Detektor erfasste Bereich. Ferner sollen auch Werkstücke gemessen werden, die zusätzlich in Richtung dieser Achse größerer Abmessungen aufweisen, als vom Detektor erfassbar.
  • Zumindest Aspekte dieser Aufgaben werden im Wesentlichen durch eine Vorrichtung und ein Verfahren unter Verwendung mehrerer Teildetektoren gelöst, die Durchstrahlungsinformationen in Form von Teildurchstrahlungsbildern für die Rekonstruktion zur Verfügung stellen, wobei in den Teildurchstrahlungsbildern unterschiedliche Bereiche des Werkstücks abgebildet sind. Gegebenenfalls können auf aneinandergrenzenden Teildetektoren gleiche Bereiche abgebildet werden. Dies ist dann der Fall, wenn die Strahlenquelle, d.h. der Brennfleck nicht im Wesentlichen punktförmig ausgebildet ist. Grundsätzlich werden jedoch in den Teildurchstrahlungsbildern unterschiedliche Bereiche des Werkstücks abgebildet.
  • Die Erfindung bezieht sich also auf ein Verfahren zur Bestimmung von geometrischen Merkmalen an einem Werkstück mittels einer Computertomografiesensorik, zumindest bestehend aus Strahlungsquelle, flächig ausgedehntem Detektor und mechanischer Drehachse zur Drehung des Werkstücks oder zur Drehung von Strahlungsquelle und Detektor, wobei Durchstrahlungsinformationen in Form von Teildurchstrahlungsbildern, aufgenommen mit mehreren Teildetektoren, für die Rekonstruktion von Volumendaten (Voxelvolumen) verwendet werden und vorzugsweise aus den Volumendaten Oberflächenmesspunkte ermittelt werden, wobei je Drehstellung der mechanischen Drehachse in den Teildurchstrahlungsbildern grundsätzlich unterschiedliche Bereiche des Werkstücks abgebildet sind.
  • Die Verwendung der Durchstrahlungsinformationen der mehreren Teildetektoren in der Rekonstruktion kann grundlegend auf zwei unterschiedliche Weisen erfolgen, entweder indem je Drehstellungen aus den Teildurchstrahlungsbildern ein vollständiges Gesamtdurchstrahlungsbild für einen sogenannten idealen virtuellen Detektor, der eben ist und senkrecht zur Hauptstrahlrichtung der Strahlungsquelle verläuft, ermittelt wird oder indem die fehlenden Durchstrahlungsinformationen für die Nahtstellen erst während der Rekonstruktion selbst, also der Berechnung der den einzelnen Voxeln des Voxelvolumens zugeordneten Grauwerten berücksichtigt werden. Grundlegend ist damit die Berücksichtigung unterschiedlicher Nahtstellenbreiten möglich. Die Breite der Nahtstellen wird vorab bestimmt, beispielsweise anhand eines oder mehrerer Durchstrahlungsbilder oder durch eine computertomografische Messung eines kalibrierten Werkstücks bekannter Abmaße.
  • Es werden folglich die Messergebnisse bei Verwendung von mehreren Detektoren aufgrund der Nahtstellen zwischen den Detektoren bzw. der Verkippung zwischen den Detektoren nicht verfälscht.
  • Beträgt der Versatz zwischen den Teildetektoren, also die Breite der Nahtstellen nur wenige Pixel eines Detektors bzw. Teildetektors, so können diese fehlenden Durchstrahlungsinformationen wie bei einer so genannten „Bad Pixel Korrektur“ behandelt werden. Hierbei werden die fehlenden Grauwerte der unempfindlichen Detektorpixel (Bad Pixel) aus den Grauwerten der benachbarten Pixel im Durchstrahlungsbilder ermittelt. Dieses Verfahren führt nur dann noch zu einer hohen Genauigkeit, wenn der Versatz möglichst gering ist, also eine Breite von maximal 10 Pixel, bevorzugt maximal 5 Pixel, besonders bevorzugt maximal 3 Pixel eines Teildetektors beträgt.
  • Es wird für unterschiedlich breite Nahtstellen zwischen den Detektoren eine genaue Messung möglich.
  • Beim Zusammensetzen der Teildurchstrahlungsbilder zu einem Gesamtdurchstrahlungsbild je Drehstellung kann zusätzlich die Verkippung der Teildetektoren zueinander berücksichtigt werden. Bei der Verkippungskorrektur werden jeweils Durchstrahlungsbilder berechnet, die einem idealen virtuellen Detektor entsprechen, der eben und senkrecht zur Hauptstrahlrichtung der Strahlungsquelle angeordnet ist. Die durch die Verkippung auftretenden Abweichungen können auch als Verzeichnung interpretiert werden und im Rahmen einer Verzeichnungskorrektur mit korrigiert werden. Wendet man dieses Verfahren auf jeden der Teildetektoren getrennt an, liegen die resultierenden virtuellen Teildetektoren in einer Ebene und können zusammengefasst behandelt werden. Die Verkippung wird dazu vorab bestimmt bzw. ist auf einen bekannten Wert eingestellt. Eine Verkippung der Teildetektoren wird in einer ersten erfindungsgemäßen Anordnung möglichst vermieden, indem die Teildetektoren seitlich nebeneinander angeordnet werden. Eine leichte Verkippung liegt dennoch immer vor. Nach einer zweite erfindungsgemäßen Anordnung werden die mehreren Teildetektoren bewusst um einen kleinen Winkel bezüglich der virtuellen Gesamtdetektorebene verkippt und in der Detektorebene seitlich versetzt zueinander angeordnet, um die Breite der Nahtstelle zu minimieren. Diese Verkippung wird erfindungsgemäß korrigiert.
  • In einer ersten bevorzugten Weiterbildung sieht die Erfindung vor, dass je Drehstellung der mechanischen Drehachse aus den Teildurchstrahlungsbildern ein zweidimensionales Gesamtdurchstrahlungsbild ermittelt wird, wobei der Versatz und/oder die Verkippung der Teildetektoren zueinander berücksichtigt wird.
  • Besonders hervorzuheben ist die Idee, dass die Durchstrahlungsinformationen für die durch den Versatz entstehenden Nahtstellen durch Interpolationsverfahren, insbesondere Resamplingverfahren, aus den Durchstrahlungsinformationen der benachbarten Bereiche der jeweils angrenzenden Teildetektoren ermittelt werden, wobei vorzugsweise der Versatz eine Breite von maximal 10 Pixel, bevorzugt maximal 5 Pixel, besonders bevorzugt maximal 3 Pixel eines Teildetektors beträgt.
  • Insbesondere sieht die Erfindung vor, dass die Berücksichtigung von Verkippungen und/oder die Berücksichtigung der Durchstrahlungsinformationen für die Nahtstellen bei der Korrektur der Verzeichnung des Detektors und/oder bei der Korrektur von sogenannten Bad Pixeln erfolgt.
  • Ist der Versatz zwischen den Teildetektoren größer und beträgt beispielsweise mehr als 10 Pixel, bevorzugt mehr als 1% der Detektorbreite, besonders bevorzugt mindestens 5% der Detektorbreite, erfolgt erfindungsgemäß die Korrektur, also Berücksichtigung der fehlenden Durchstrahlungsinformationen für die Nahtstellen erst während der Rekonstruktion. Hierbei muss berücksichtigt werden, dass die den einzelnen Voxeln zugeordneten Bereiche des Werkstücks in einer eingeschränkten Anzahl von Drehstellungen auf den Teildetektoren abgebildet werden, nämlich genau dann nicht, wenn der entsprechende Bereich auf eine Nahtstelle abgebildet wird. Bei der Rekonstruktion würden diese Voxel mit einem zu niedrigen Grauwert (Voxelamplitude) berechnet werden. Um diese Abweichungen zu korrigieren, erfolgt erfindungsgemäß eine höhere Gewichtung dieser Voxel bzw. Voxelamplituden. Um einen entsprechenden Gewichtungsfaktor zu berechnen, ist beispielsweise vorgesehen, das Verhältnis der Gesamtanzahl der Drehstellungen zu der Anzahl der Drehstellungen, in dem der dem entsprechenden Voxel zugeordnete Bereich des Werkstücks auf einem der Teildetektoren abgebildet wurde, zu berechnen. Zusätzlich ist auch vorgesehen, Nichtlinearitäten während der einzelnen Schritte der Rekonstruktion bei der Ermittlung des Gewichtungsfaktors zu berücksichtigen.
  • Die Berücksichtigung von Verkippungen kann gleichfalls erst während der Rekonstruktion erfolgen, indem bei dem Schritt der Rückprojektion, die Teil der Rekonstruktion ist, die aufgrund des verkippten Detektors vorliegenden Abweichungen für den zu berücksichtigenden Abstand der Pixel (Verzerrung) bzw. Pixelorte einbezogen werden.
  • In einer zweiten bevorzugten Weiterbildung sieht die Erfindung vor, dass die Berücksichtigung von Verkippungen und/oder die Berücksichtigung der Durchstrahlungsinformationen für die Nahtstellen, vorzugsweise für Nahtstellen einer Breite die mehr als 10 Pixel, bevorzugt mehr als 1% der Detektorbreite, besonders bevorzugt mindestens 5% der Detektorbreite beträgt, während der Rekonstruktion erfolgt, vorzugsweise indem die den Voxeln zugeordneten Grauwerte (Voxelamplituden) entsprechend der Anzahl der aufgrund der Nahtstellen fehlenden Durchstrahlungsinformationen höher gewichtet werden, vorzugsweise indem die jeweilige Voxelamplitude mit dem Faktor multipliziert wird, der sich ergibt aus dem Verhältnis der Gesamtanzahl der Drehstellungen und der Anzahl der Drehstellungen, in dem der dem entsprechenden Voxel zugeordnete Bereich des Werkstücks auf einem der Teildetektoren abgebildet wurde.
  • Damit die in einigen Drehstellungen auf den Nahtstellen abgebildeten Bereiche des Werkstücks rekonstruiert werden können, ist es notwendig, dass diese in zumindest einigen weiteren Drehstellungen nicht auch auf den Nahtstellen abgebildet werden, also zumindest für einige Drehstellungen Durchstrahlungsinformationen für diese Bereiche vorliegen. Dies ist Voraussetzung für eine vollständige und genaue Rekonstruktion und damit Messung des Werkstücks. Hierzu muss das Werkstück also entsprechend bezüglich der Teildetektoren angeordnet werden. Dies erfolgt erfindungsgemäß dadurch, dass die Achse, um die sich die mechanische Drehachse dreht, also die Drehachse, nicht auf eine Nahtstelle abgebildet wird, sondern auf einen der Teildetektoren. Eine erfindungsgemäße alternative Lösung besteht darin, dass sich die mechanische Drehachse während der Drehung auf einer Kreisbahn bewegt, deren Durchmesser etwas größer als die in die jeweilige Vergrößerung transformierte Breite der Nahtstelle ist und mittig um die Nahtstelle herum verläuft.
  • Kennzeichnend ist daher auch, dass Werkstück und mechanische Drehachse so angeordnet werden, dass die Bereiche des Werkstücks, die in einer oder mehreren Drehstellung auf den Nahtstellen abgebildet werden, in zumindest einer, bevorzugt mehreren weiteren Drehstellungen nicht auf den Nahtstellen abgebildet werden, vorzugsweise indem die Drehachse der mechanischen Drehachse außerhalb des auf die Nahtstellen abgebildeten Bereichs angeordnet wird – also die Achse der Drehachse nicht von dem Hauptstrahl der Strahlenquelle durchsetzt wird – oder indem die mechanische Drehachse in den unterschiedlichen Drehstellungen verschiedene Positionen relativ zum Detektor, senkrecht zur Richtung der Drehachse einnimmt, also beispielsweise auf einer Kreisbahn um eine raumfeste und zur Drehachse parallel verlaufenden virtuellen Drehachse bewegt wird, wobei beispielsweise die virtuelle Drehachse mittig auf eine Nahtstelle abgebildet wird und der Kreisbahndurchmesser mindestens der Breite der Nahtstelle entspricht.
  • Um eine weitere Vergrößerung des Messbereich zu erzielen, ist eine Kombination des erfindungsgemäßen Verfahrens mit der mehrfachen Messung des Werkstücks in mehreren Relativpositionen zur Computertomografiesensorik vorgesehen.
  • Bevorzugterweise ist also vorgesehen, dass die Teildetektoren als Einheit relativ zu dem Werkstück in mehreren Positionen angeordnet werden, die in zumindest einer Richtung versetzt zueinander und in einer Ebene parallel zur Detektorebene oder einem konstanten Abstand zur Strahlungsquelle liegen, wobei für jede Relativposition Durchstrahlungsbilder in den mehreren Drehstellungen ermittelt werden, und wobei je Drehstellung die Durchstrahlungsbilder aus den mehreren Relativpositionen zu einem Gesamtdurchstrahlungsbild zusammengesetzt werden oder die je Relativstellung berechneten Voxelvolumen zu einem Gesamtvoxelvolumen zusammengesetzt werden oder je Relativstellung Oberflächenmesspunkte berechnet und in einem gemeinsamen Koordinatensystem ausgewertet werden.
  • In Ausgestaltung sieht die Erfindung vor, dass die Computertomografiesensorik in ein Koordinatenmessgerät integriert betrieben wird, vorzugsweise in einem Multisensorkoordinatenmessgerät, welches zumindest eine taktile, optische und/oder taktil-optische Sensorik enthält.
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auch auf eine Vorrichtung zur Umsetzung des erfindungsgemäßen Verfahrens, wobei zur Bestimmung von geometrischen Merkmalen an einem Werkstück mittels einer Computertomografiesensorik, zumindest bestehend aus Strahlungsquelle, flächig ausgedehntem Detektor und mechanischer Drehachse zur Drehung des Werkstücks oder zur Drehung von Strahlungsquelle und Detektor, wobei mehrere Teildetektoren angeordnet sind, und je Drehstellung der mechanischen Drehachse Teildurchstrahlungsbilder mit den mehreren Teildetektoren aufnehmbar sind und dass die Teildetektoren derart zueinander angeordnet sind, dass ein Versatz und/oder eine Verkippung vorliegt und zumindest teilweise unterschiedliche Bereiche des Werkstücks auf die Teildetektoren abgebildet werden.
  • Um eine möglichst hohe Genauigkeit zu erreichen, werden vorzugsweise Messeachsen für die Verschiebung der einzelnen Komponenten der Computertomografiesensorik, insbesondere der Teildetektoren verwendet, wie sie beispielsweise in Koordinatenmessgeräten eingesetzt werden. Durch die Verschiebung der Teildetektoren zueinander wird die Breite der Nahtstellen bzw. die Verkippung der Teildetektoren eingestellt. Zudem werden die mehreren Teildetektoren gemeinsam und das Werkstück relativ zueinander verschiebbar angeordnet, um Messungen in mehreren Relativpositionen zu ermöglichen.
  • Des Weiteren zeichnet sich die Erfindung dadurch aus, dass die mehreren Teildetektoren, vorzugsweise mittels Messachsen, zueinander verschiebbar sind und/oder dass die mehreren Teildetektoren verkippbar sind.
  • Besonders hervorzuheben ist die Idee, dass die mehreren Teildetektoren als Einheit relativ zu dem Werkstück verschiebbar sind, vorzugsweise in zumindest einer Richtung parallel zur Detektorebene, vorzugsweise mittels Messachsen.
  • Erwähntermaßen sind erfindungsgemäß zwei unterschiedliche Anordnungen der Teildetektoren vorgesehen.
  • Nach einer ersten Ausführung ist vorgesehen, dass die mehreren Teildetektoren, vorzugsweise zwei oder drei Teildetektoren, in der Detektorebene seitlich nebeneinander, vorzugsweise in Richtung senkrecht zur Achse, um die sich die mechanische Drehachse dreht, angeordnet sind, wobei der Versatz zwischen den Detektoren einstellbar ist, vorzugsweise jeweils eine Nahtstelle zwischen den Detektoren vorliegt.
  • Eine alternative Ausgestaltung sieht vor, dass die mehreren Teildetektoren, vorzugsweise zwei oder drei Teildetektoren, um einen Winkel von maximal 20°, bevorzugt maximal 10°, besonders bevorzugt maximal 5°, zur Detektorebene verkippt und in der Detektorebene seitlich versetzt zueinander, vorzugsweise in Richtung senkrecht zur Achse, um die sich die mechanische Drehachse dreht, angeordnet sind, wobei der Versatz so einstellbar ist, dass die Breite der jeweiligen Nahtstelle minimiert wird.
  • In Ausgestaltung sieht die Erfindung vor, dass die Computertomografiesensorik in ein Koordinatenmessgerät integriert ist, vorzugsweise in einem Multisensorkoordinatenmessgerät, welches zumindest eine taktile, optische und/oder taktil-optische Sensorik enthält.
  • Weitere Einzelheiten, Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich nicht nur aus den Ansprüchen, den diesen zu entnehmenden Merkmale – für sich und/oder in Kombination – sondern auch aus der nachfolgenden Beschreibung der Figuren.
  • Es zeigt:
  • 1 eine Prinzipdarstellung der erfindungsgemäßen Vorrichtung in einer ersten Ausgestaltung,
  • 2 eine Prinzipdarstellung der erfindungsgemäßen Vorrichtung in einer zweiten Ausgestaltung und
  • 3 eine Prinzipdarstellung der erfindungsgemäßen Vorrichtung entsprechend der ersten Ausgestaltung mit einer bewegten mechanischen Drehachse.
  • 1 zeigt eine Draufsicht einer ersten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung, bestehend aus einer Strahlungsquelle 1, zwei Teildetektoren 2A und 2B und einer mechanischen Drehachse 3 sowie einem Werkstück 4. Das Werkstück 4 ist auf der mechanischen Drehachse 3 angeordnet und wird zusammen mit dieser in Richtung des Pfeiles 5 gedreht, wobei in zumeist mehreren hundert Drehschritten Durchstrahlungsbilder von den Teildetektoren 2A und 2B aufgenommen werden, wobei die Teildetektoren in der Detektorebene (in der Figur senkrecht zur Zeichenebene verlaufend) seitlich nebeneinander angeordnet sind und jeweils unterschiedliche Bereiche des Werkstücks erfassen. Der gesamte Messbereich wird durch äußere Randstrahlen 6 begrenzt. Aufgrund des Versatzes 7 zwischen den Teildetektoren 2A und 2B entsteht in dem Bereich zwischen inneren Randstrahlen 8 ein Teilbereich des Messbereichs, für den keine Durchstrahlungsinformationen aufgenommen werden können. Damit auch von den Teilbereichen des Werkstücks 4, die sich in der dargestellten Drehstellungen der mechanischen Drehachse 3 zwischen den Randstrahlen 8 befinden, Durchstrahlungsinformationen zumindest in einigen weiteren Drehstellungen ermittelt werden können, befindet sich die Achse 9 (Lot zur Zeichenebene, auch als Drehachse bezeichnet), um die sich die mechanische Drehachse 3 und das Werkstück 4 drehen, in einem von den Teildetektoren 2A bzw. 2B erfassten Bereich zwischen den Randstrahlen 6 und 8. Entgegen der Darstellung können die Teildetektoren 2A und 2B auch leicht außermittig zum Hauptstrahl 10 der Strahlungsquelle 1 angeordnet werden.
  • 2 zeigt eine zweite Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung in Draufsicht, in der die Teildetektoren 2A und 2B in der Detektorebene 2C seitlich nebeneinander, aber leicht zur Detektorebene 2C verkippt angeordnet werden. Die Darstellung zeigt eine Verkippung um eine Achse parallel zur Achse 9 (Lot zur Zeichenebene). Gleichfalls ist aber auch eine Verkippung senkrecht dazu und zur Detektorebene 2C vorgesehen. Die Teildetektoren 2A und 2B sind dabei so angeordnet, dass kein Versatz 7 vorliegt. Die mechanische Drehachse 3 kann dadurch bevorzugt entlang des Hauptstrahls 10 angeordnet werden.
  • Aus der 2 wird ersichtlich, dass die Detektorebene 2C von den Teildetektoren 2A, 2B aufgespannt wird und senkrecht zum Hauptstrahl 10 verläuft.
  • In der 3 ist eine erweiterte Vorrichtung entsprechend der 1 dargestellt, wobei die mechanische Drehachse 3 während der Drehung entlang des Pfeiles 5 auf der Kreisbahn 11 bewegt wird. Hierdurch ergibt sich die Möglichkeit, besonders große Werkstücke zu messen, insbesondere Werkstücke, die in der dargestellten Drehstellung der mechanischen Drehachse 3 und exzentrischen Anordnung des Werkstücks 4 bezüglich der mechanischen Drehachse 3 eine größere Ausdehnung in der Richtung oberhalb der Achse 9 aufweisen als der Abstand der Achse 9 zum in der Zeichnung unteren Randstrahl 6 beträgt.
  • Um ein Verstellen der Teildetektoren 2A, 2B zu ermöglichen, ist vorgesehen, dass diese mittels der Messachsen des Koordinatenmessgerätes, also in X- und/oder Y- und/oder Z-Achsenrichtung verstellt werden können.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • WO 2005119174 A1 [0004, 0006]
    • EP 2013/068585 [0007]

Claims (14)

  1. Verfahren zur Bestimmung von geometrischen Merkmalen an einem Werkstück mittels einer Computertomografiesensorik, zumindest bestehend aus Strahlungsquelle, flächig ausgedehntem Detektor und mechanischer Drehachse zur Drehung des Werkstücks oder zur Drehung von Strahlungsquelle und Detektor, wobei Durchstrahlungsinformationen in Form von Teildurchstrahlungsbildern, aufgenommen mit mehreren Teildetektoren, für die Rekonstruktion von Volumendaten (Voxelvolumen) verwendet werden und vorzugsweise aus den Volumendaten Oberflächenmesspunkte ermittelt werden, dadurch gekennzeichnet, dass je Drehstellung der mechanischen Drehachse in den Teildurchstrahlungsbildern unterschiedliche Bereiche, gegebenenfalls teilweise überlappende Bereiche des Werkstücks abgebildet sind.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass je Drehstellung der mechanischen Drehachse aus den Teildurchstrahlungsbildern ein zweidimensionales Gesamtdurchstrahlungsbild ermittelt wird, wobei der Versatz und/oder die Verkippung der Teildetektoren zueinander berücksichtigt wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Durchstrahlungsinformationen für die durch den Versatz entstehenden Nahtstellen durch Interpolationsverfahren, insbesondere Resamplingverfahren, aus den Durchstrahlungsinformationen der benachbarten Bereiche der jeweils angrenzenden Teildetektoren ermittelt werden, wobei vorzugsweise der Versatz eine Breite von maximal 10 Pixel, bevorzugt maximal 5 Pixel, besonders bevorzugt maximal 3 Pixel eines Teildetektors beträgt.
  4. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Berücksichtigung von Verkippungen und/oder die Berücksichtigung der Durchstrahlungsinformationen für die Nahtstellen bei der Korrektur der Verzeichnung des Detektors und/oder bei der Korrektur von sogenannten Bad Pixeln erfolgt.
  5. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Berücksichtigung von Verkippungen und/oder die Berücksichtigung der Durchstrahlungsinformationen für die Nahtstellen, vorzugsweise für Nahtstellen einer Breite die mehr als 10 Pixel, bevorzugt mehr als 1% der Detektorbreite, besonders bevorzugt mindestens 5% der Detektorbreite beträgt, während der Rekonstruktion erfolgt, vorzugsweise indem die den Voxeln zugeordneten Grauwerte (Voxelamplituden) entsprechend der Anzahl der aufgrund der Nahtstellen fehlenden Durchstrahlungsinformationen höher gewichtet werden, vorzugsweise indem die jeweilige Voxelamplitude mit dem Faktor multipliziert wird, der sich ergibt aus dem Verhältnis der Gesamtanzahl der Drehstellungen und der Anzahl der Drehstellungen, in dem der dem entsprechenden Voxel zugeordnete Bereich des Werkstücks auf einem der Teildetektoren abgebildet wurde.
  6. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Werkstück und mechanische Drehachse so angeordnet werden, dass die Bereiche des Werkstücks, die in einer oder mehreren Drehstellung auf den Nahtstellen abgebildet werden, in zumindest einer, bevorzugt mehreren weiteren Drehstellungen außerhalb der Nahtstellen abgebildet werden, vorzugsweise indem die Drehachse der mechanischen Drehachse außerhalb des auf die Nahtstellen abgebildeten Bereichs angeordnet wird oder indem die mechanische Drehachse in den unterschiedlichen Drehstellungen verschiedene Positionen relativ zum Detektor, senkrecht zur Richtung der Drehachse einnimmt, also beispielsweise auf einer Kreisbahn um eine raumfeste und zur Drehachse parallel verlaufenden virtuellen Drehachse bewegt wird, wobei beispielsweise die virtuelle Drehachse mittig auf eine Nahtstelle abgebildet wird und der Kreisbahndurchmesser mindestens der Breite der Nahtstelle entspricht.
  7. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Teildetektoren als Einheit und das Werkstück in mehreren Relativpositionen zueinander angeordnet werden, die in zumindest einer Richtung versetzt zueinander und in einer Ebene parallel zur Detektorebene oder einem konstanten Abstand zur Strahlungsquelle liegen, wobei für jede Relativposition Durchstrahlungsbilder in den mehreren Drehstellungen ermittelt werden, und wobei je Drehstellung die Durchstrahlungsbilder aus den mehreren Relativpositionen zu einem Gesamtdurchstrahlungsbild zusammengesetzt werden oder die je Relativstellung berechneten Voxelvolumen zu einem Gesamtvoxelvolumen zusammengesetzt werden oder je Relativstellung Oberflächenmesspunkte berechnet und in einem gemeinsamen Koordinatensystem ausgewertet werden.
  8. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Computertomografiesensorik in ein Koordinatenmessgerät integriert betrieben wird, vorzugsweise in einem Multisensorkoordinatenmessgerät, welches zumindest eine taktile, optische und/oder taktil-optische Sensorik enthält.
  9. Vorrichtung zur Bestimmung von geometrischen Merkmalen an einem Werkstück (4) mittels einer Computertomografiesensorik, zumindest bestehend aus Strahlungsquelle (1), flächig ausgedehntem Detektor (2A, 2B) und mechanischer Drehachse (3) zur Drehung des Werkstücks oder zur Drehung von Strahlungsquelle und Detektor, wobei mehrere Teildetektoren angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass je Drehstellung der mechanischen Drehachse (3) Teildurchstrahlungsbilder mit den mehreren Teildetektoren (2A, 2B) aufnehmbar sind und dass die Teildetektoren derart zueinander angeordnet sind, dass ein Versatz und/oder eine Verkippung vorliegt und zumindest teilweise unterschiedliche Bereiche des Werkstücks (4) auf die Teildetektoren abgebildet werden.
  10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die mehreren Teildetektoren (2A, 2B), vorzugsweise mittels Messachsen, zueinander verschiebbar sind und/oder dass die mehreren Teildetektoren verkippbar sind.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die mehreren Teildetektoren (2A, 2B) als Einheit und das Werkstück (4) relativ zueinander verschiebbar sind, vorzugsweise in zumindest einer Richtung parallel zur Detektorebene (2C), vorzugsweise mittels Messachsen.
  12. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die mehreren Teildetektoren (2A, 2B), vorzugsweise zwei oder drei Teildetektoren, in der Detektorebene (2C) seitlich nebeneinander, vorzugsweise in Richtung senkrecht zur Achse (9), um die sich die mechanische Drehachse (3) dreht, angeordnet sind, wobei der Versatz (7) zwischen den Detektoren einstellbar ist, vorzugsweise jeweils eine Nahtstelle zwischen den Detektoren vorliegt.
  13. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die mehreren Teildetektoren, vorzugsweise zwei oder drei Teildetektoren, um einen Winkel von maximal 20°, bevorzugt maximal 10°, besonders bevorzugt maximal 5°, zur Detektorebene verkippt und in der Detektorebene seitlich versetzt zueinander, vorzugsweise in Richtung senkrecht zur Achse, um die sich die mechanische Drehachse dreht, angeordnet sind, wobei der Versatz so einstellbar ist, dass die Breite der jeweiligen Nahtstelle minimiert wird.
  14. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Computertomografiesensorik in ein Koordinatenmessgerät integriert ist, vorzugsweise in einem Multisensorkoordinatenmessgerät, welches zumindest eine taktile, optische und/oder taktil-optische Sensorik enthält.
DE102014116595.0A 2013-11-15 2014-11-13 Vorrichtung und Verfahren zum Einsatz mehrerer Detektoren bei der dimensionellen Messung mit einer Computertomografiesensorik Withdrawn DE102014116595A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014116595.0A DE102014116595A1 (de) 2013-11-15 2014-11-13 Vorrichtung und Verfahren zum Einsatz mehrerer Detektoren bei der dimensionellen Messung mit einer Computertomografiesensorik

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102013112642.1 2013-11-15
DE102013112642 2013-11-15
DE102014116595.0A DE102014116595A1 (de) 2013-11-15 2014-11-13 Vorrichtung und Verfahren zum Einsatz mehrerer Detektoren bei der dimensionellen Messung mit einer Computertomografiesensorik

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102014116595A1 true DE102014116595A1 (de) 2015-05-21

Family

ID=53184508

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102014116595.0A Withdrawn DE102014116595A1 (de) 2013-11-15 2014-11-13 Vorrichtung und Verfahren zum Einsatz mehrerer Detektoren bei der dimensionellen Messung mit einer Computertomografiesensorik

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102014116595A1 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3208607A1 (de) * 2016-02-19 2017-08-23 Morpho Detection, LLC Detektoranordnungen und verfahren zur spiralförmigen ct-abtastung
EP3239698A1 (de) * 2016-04-26 2017-11-01 Danmarks Tekniske Universitet Hochpräzise computertomografie für metrologie
CN109343037A (zh) * 2018-11-27 2019-02-15 森思泰克河北科技有限公司 光探测器安装误差检测装置、方法和终端设备
CN110081832A (zh) * 2019-04-12 2019-08-02 佛山科学技术学院 逻辑投影成像测量非透明物体结构参数的方法及装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005119174A1 (de) 2004-05-26 2005-12-15 Werth Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät und verfahren zum messen eines objektes

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005119174A1 (de) 2004-05-26 2005-12-15 Werth Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät und verfahren zum messen eines objektes

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3208607A1 (de) * 2016-02-19 2017-08-23 Morpho Detection, LLC Detektoranordnungen und verfahren zur spiralförmigen ct-abtastung
US10058293B2 (en) 2016-02-19 2018-08-28 Morpho Detection, Llc Detector assemblies and methods for helical CT scanning
EP3239698A1 (de) * 2016-04-26 2017-11-01 Danmarks Tekniske Universitet Hochpräzise computertomografie für metrologie
WO2017186804A1 (en) * 2016-04-26 2017-11-02 Danmarks Tekniske Universitet High precision computed tomography for metrology
CN109343037A (zh) * 2018-11-27 2019-02-15 森思泰克河北科技有限公司 光探测器安装误差检测装置、方法和终端设备
CN110081832A (zh) * 2019-04-12 2019-08-02 佛山科学技术学院 逻辑投影成像测量非透明物体结构参数的方法及装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1749190B1 (de) Verfahren zum Messen eines Objekts mit einem Koordinatenmessgerät, das einen Computer-Tomographen enthält
DE102010000473A1 (de) Verfahren zum Messen eines Objektes
DE102013109843A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur von Computertomographiemessungen mit einem Koordinatenmessgerät
DE112006003039T5 (de) Verfahren und Anordnung zur Röntgenbildgebung
DE10252662A1 (de) Computertomographie-Verfahren mit kohärenten Streustrahlen und Computertomograph
WO2008119555A1 (de) Verfahren und eine messanordnung zum erzeugen von dreidimensionalen bildern von messobjekten mittels invasiver strahlung
DE102005009817B4 (de) Lochmaske für einen Röntgenstrahlendetektor, Computertomographiegerät, aufweisend eine Lochmaske und Verfahren zur Justierung einer Lochmaske
DE102014116595A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Einsatz mehrerer Detektoren bei der dimensionellen Messung mit einer Computertomografiesensorik
DE102013108367A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Aufnahme von Durchstrahlungsbildern bei einer Computertomografie
DE102006022103B4 (de) Verfahren zum Vermessen eines Festkörpers
DE102013200329B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Dejustagekorrektur für Bildgebungsverfahren
DE102006022104B4 (de) Vorrichtung zur dreidimensionalen Vermessung eines Festkörpers
DE102015111621A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur computertomografischen Messung eines Werkstücks
DE102012103984A1 (de) Verfahren zum Bestimmen von Merkmalen eines Messobjekts
WO2008141825A2 (de) Verfahren, vorrichtung und anordnung zur kompensation der auswirkungen von brennfleckwanderungen bei der aufnahme von röntgenprojektionsbildern
EP2644095A1 (de) Computertomographiesystem und Verfahren zur Datenermittelung für eine Störeinfluss-korrigierte Computertomographieaufnahme eines Untersuchungsobjekts
DE102014113977A1 (de) Verfahren zur Bestimmung zumindest eines Parameters bei der dimensionellen Messung mit einer Computertomografiesensorik
DE102019202452A1 (de) Röntgenuntersuchungsanordnung und Verfahren zum Betreiben einer Röntgenuntersuchungsanordnung
DE102021204628B3 (de) Verfahren zum Betreiben eines Computertomographen beim Vermessen einer Interessensregion eines Objekts und Computertomograph
DE69334176T2 (de) Rechnergesteuertes Schrägspurtomographiegerät mit einer zweidimensionalen Detektoranordnung
DE102017102254A1 (de) Verfahren zum dimensionellen röntgenographischen Messen, insbesondere mittels Computertomographie, und Röntgen-Computertomograph
DE602005004413T2 (de) Computertomografieverfahren zur rekonstruktion von objektbildern aus echten und fiktiven messwerten
EP3061068B1 (de) Verfahren zur bestimmung des gefährdungsbereichs zwischen einem prüfobjekt und einem röntgenprüfsystem
WO2015063232A2 (de) Blendensystem für eine strahlenquelle sowie vorrichtung und verfahren zum aufnehmen eines projektionsbilds und zum bestimmen einer relativposition zwischen einer strahlenquelle und einem strahlendetektor
DE102013219652A1 (de) CT-Verfahren und CT-Prüfeinrichtung zur Prüfung eines Prüfobjekts

Legal Events

Date Code Title Description
R005 Application deemed withdrawn due to failure to request examination