WO2005085664A1 - 転動要素 - Google Patents

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WO2005085664A1
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rolling element
roller
rolling
oxygen
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Inventor
Kenji Sunahara
Michiaki Ikeda
Original Assignee
Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
    • F16C33/34—Rollers; Needles
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
    • F16C33/66—Special parts or details in view of lubrication
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/30—Parts of ball or roller bearings

Definitions

  • the present invention relates to a rolling element used for a solid lubricated rolling bearing used in a severe environment such as a vacuum, radiation, a high temperature, or a corrosive atmosphere. What is a rolling element?
  • Rollers balls, inner rings, outer rings, and other elements that compose two opposing surfaces that support rolling motion.
  • the rolling members have a variable load-bearing performance. It has been proposed for the purpose of forming a lubricating coating that has no sticking, has a long life, and improves reliability. It is formed by coating molybdenum disulfide on the rolling surface where the mating member comes into rolling contact.
  • the lubricating coating is formed of a molybdenum disulfide coating having a composition selected so that the molecular weight ratio S / Mo of sulfur to molybdenum is 1.7 or more and less than 2.0.
  • the technique described above is disclosed (for example, see Patent Document 1).
  • the prior art states that the solid lubricating film has a hill-like and dense structure, has an effect of improving load-bearing performance and extending the life of the film.
  • Patent Document 1 JP-A-6-272715
  • the present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a long-life rolling element that prevents a solid lubricating film from breaking and peeling from a root portion.
  • Means for solving the problem [0004] Generally, the adhesion between a metal and a sulfide is very weak. Strength The adhesion between metal and oxide is strong. Taking advantage of this difference, it was found that when oxygen was added to the sulfide in an appropriate amount range (atomic concentration 5-30%), the adhesion was improved.
  • the thickness of the boundary layer also has an optimum value. If the thickness is too small, the adhesion to the base becomes insufficient, and if the thickness is too large, the friction increases.
  • the optimum value of the thickness of the boundary layer differs depending on the constituent elements of the solid lubricant film, and there is a value determined for each material. In the case of molybdenum disulfide, it was found that 0.01-0.2 ⁇ m is the optimum value.
  • the invention according to claim 1 is a rolling element coated with a solid lubricating film made of a molybdenum disulfide sputtered film, wherein the solid lubricating film is made up of at least two layers and is included in a boundary layer close to the base.
  • the atomic concentration of oxygen is 5-30%, and the atomic concentration of oxygen contained in the upper layer is 3% or less.
  • the thickness of the boundary layer is set to 0.01-0.2 / im.
  • the solid lubricating film adheres firmly to the base via the boundary layer, so that the solid lubricating film is hardly broken and the life of the rolling element can be prolonged.
  • the solid lubricating film adheres firmly to the substrate while keeping the friction low, so that the life of the rolling elements can be extended.
  • FIG. 1 shows a rolling element 1 to which the present invention is applied, (a) is a front view thereof, and (b) is a side view thereof.
  • FIG. 2 is an enlarged view of a rolling element to which the present invention is applied.
  • FIG. 3 is a configuration diagram of a sputtering apparatus used in the present example.
  • FIG. 4 shows a roller rolling jig used in the present embodiment, wherein (a) is a top view thereof, and (b) is a side sectional view taken along line AA of (a).
  • Garden 5 This is a rolling test machine used in the present embodiment, where (a) is a side view and (b) is a plan view of (a).
  • FIG. 1 shows a rolling element applied to the present invention, in which (a) is a front view and (b) is a side view.
  • FIG. 2 is an enlarged view showing a cross section of the solid lubricating film portion.
  • a rolling element 1 has a configuration in which a roller 2 made of a steel material is coated with a solid lubricating film 3 having a thickness of about lxm and a sputtered molybdenum disulfide film.
  • the solid lubricating film 3 is divided into two layers, a boundary layer 3A corresponding to the interface with the roller 2 and an upper layer 3B.
  • the boundary layer 3A contains 5-30% of oxygen, and the upper layer 3B The point is that oxygen is contained in an atomic concentration of 3% or less.
  • “below” includes 0%, but in the sputtering method, even if care is taken that oxygen does not enter the film, at most about 1% is mixed.
  • the rolling element is a roller, but the same effect can be obtained if the solid lubricating film of the present invention is used. Therefore, it is clear that the rolling element may be a ball, an inner ring, or an outer ring.
  • the rolling elements are made of a steel base material, but also include stainless steel such as bearing steel SUS440C.
  • FIG. 3 is a configuration diagram of a sputtering apparatus used in the present embodiment
  • FIG. 4 is a roller rolling jig used in the present embodiment
  • (a) is a top view thereof
  • (b) is an A of (a).
  • a cross-sectional view along line A is shown.
  • 11 is a roller rolling jig
  • 12 is a rotating disk
  • 13 is a fixed disk
  • 15 is a fixed rod
  • 16 is a spacer ball
  • 21 is a force sword
  • 22 is a target
  • 26 is a vacuum chamber
  • 27 Is a substrate holder
  • 33 is a vacuum pump
  • 34 is an RF power supply
  • 35 is a vacuum gauge
  • 36 is an argon cylinder
  • 37 is an oxygen cylinder
  • 38 is a mass flow controller.
  • the rolling element of the present invention is formed by a sputter device shown in FIG. Roller (material: SUS440C) coated with a two-layer solid lubricating film mainly composed of molybdenum disulfide as a layered structural material.
  • a target 22 which is a plate material of molybdenum disulfide, is placed on a power source 21 of an RF power supply 34 inside a vacuum chamber 26 made of stainless steel for securing a vacuum state, and a roller is placed on an upper part of the substrate holder 27.
  • the rolling jig 11 is placed, the roller 2 is placed in the roller rolling jig 11, the roller 2 is rolled, and molybdenum disulfide as a target material is formed on the cylindrical surface of the roller 2 by sputtering.
  • the sputtering apparatus includes an argon cylinder 36 and an oxygen cylinder 37 for introducing gas into the vacuum chamber 26 outside the vacuum chamber 26 so that oxygen is contained in the boundary layer of the solid lubricating film of the roller 2. By introducing these gases into the film, the boundary layer of the solid lubricating film can contain oxygen.
  • the outside of the vacuum chamber 26 is provided with a vacuum gauge 35 for measuring the degree of vacuum in the vacuum chamber 26, and a vacuum pump 33 composed of a rotary vacuum pump and a cryopump for evacuating the vacuum chamber 26.
  • the roller rolling jig 11 was used as described below, so that the molybdenum disulfide film containing the constituent elements could be uniformly coated on the cylindrical surface of the roller 2.
  • the roller rolling jig 11 includes a rotating disk 12 and a fixed disk 13 as shown in FIG. 3, and the rotating disk 12 is coaxially connected to the substrate holder 27. Although it rotates, the fixed disk 13 is fixed to the vacuum chamber 26 by the fixed rod 15, so that even if the substrate holder 27 rotates, it does not rotate.
  • the roller 2 is placed on the slit of the rotating disc 12 and the Since the spacers 16 are alternately placed in the space defined by the surfaces, the roller 2 is pushed by the rotating disk 12 that is around it by rotating the substrate holder 27, and the predetermined rotation is performed. Revolves and revolves in number of turns.
  • a two-layer molybdenum disulfide film was uniformly formed on the cylindrical surface of the roller 2.
  • the composition of the film and the thickness of the boundary layer were measured by XPS.
  • a film having a total thickness of 1 ⁇ m was formed by changing the amount of oxygen contained in the boundary layer and the upper layer.
  • the thickness of the boundary layer is about 0.1 m.
  • the lifetimes of these samples were examined with a mouth-on-disk type membrane life tester shown in FIG. 5A and 5B show a rolling test machine used in this embodiment, wherein FIG. 5A is a side view and FIG. 5B is a plan view of FIG. 5A.
  • 50 is a disk
  • 51 is a ball
  • 53 is a honoreda
  • 54 is an arm
  • 55 is a dead weight
  • 56 is a load sensor
  • 57 is a motor.
  • the roller 2 as a rolling element is held in a roller holder 53 with four balls in contact with the corners of the roller 2, and a load is applied by a dead weight 55 above the roller holder 53.
  • the load cell 56 monitors the frictional force generated by the rotation of the contacting disk 50.
  • the test conditions were a rolling speed of about 8 m / min, a load of 1.5 N, and a humidity of about 10% RH.
  • the service life was evaluated by the mileage when the load cell output became 0.8N or more.
  • Table 1 shows the results of film composition analysis and the life of each sample. Regardless of the sample, the life of the sample whose oxygen concentration in the upper layer was set to 3% or less was less than 3000 m.
  • the solid lubricating film has at least two layers and is included in the boundary layer close to the base.
  • the atomic concentration of oxygen is specified in the range of 5-30%, and the atomic concentration of oxygen contained in the upper layer is specified to be 3% or less. Adhesion makes it hard to break, and can extend the life of the rolling element.
  • the thickness of the boundary layer is set at 0.01-0.2 ⁇ , and the solid lubricating film adheres firmly to the substrate while keeping the friction low, so that the life of the rolling elements is extended. Can be longer.
  • the solid lubricating film Longevity is achieved by making the solid lubricating film at least two layers, the atomic concentration of oxygen contained in the boundary layer is 5-30%, the upper layer is 3% or less, and the thickness of the boundary layer is 0.01-0.2 m Since the bearing life can be reduced, the bearing part can be completely sealed and replacement of the bearing is not allowed, or it can be applied to applications such as a completely maintenance-free device.

Landscapes

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Abstract

　固体潤滑膜が根本部分から折れて剥離することを防止し、長寿命な転動要素を提供する。 　二硫化モリブデンスパッタ膜からなる固体潤滑膜を被覆した転動要素において、固体潤滑膜（３）はローラ（２）との界面に相当する境界層（３Ａ）と上層（３Ｂ）の２層に分かれており、該境界層（３Ａ）には酸素が５～３０％含まれており、該上層（３Ｂ）には酸素が原子濃度で３％以下含まれている構成となっている。

Description

明 細 書
転動要素
技術分野
[0001] 本発明は、真空中、放射線下、高温、または腐食雰囲気などのような過酷な環境下 で使用される固体潤滑転がり軸受に用いる転動要素に関する。なお、転動要素とは
、ローラ、ボール、内輪、外輪など、転がり運動を支える相対する 2面を構成する要素 を指すものである。
背景技術
[0002] 従来、真空中、放射線下、高温、または腐食雰囲気などのような過酷な環境下で使 用される固体潤滑転がり軸受に用いる転動要素として、転動部材に耐荷重性能にば らつきがなく長寿命で且つ信頼性を向上させる潤滑被膜を形成することを目的として 提案されたものであって、相手部材が転動接触する転動面に二硫化モリブデンをコ 一ティングして形成した潤滑被膜を有する転動部材において、該潤滑被膜を、硫黄 とモリブデンの分子量比 S/Moが 1. 7以上 2. 0未満の範囲に選定された組成を有 する二硫化モリブデン被膜で形成するようにした技術が開示されている（例えば、特 許文献 1を参照）。
これにより、従来技術は固体潤滑膜を丘状で緻密なものとし、耐荷重性能が向上し 、被膜寿命が延びる効果を有するとしている。
特許文献 1 :特開平 6 - 272715号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0003] 一般に、転動により生じる摩擦力は固体潤滑膜の根本に最大剪断応力として作用 する。そのため、従来の転動要素は固体潤滑膜が根本部分から折れて剥離する場 合があった。その結果、比較的早期に寿命に至るという問題があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、固体潤滑膜が根本部分か ら折れて剥離することを防止し、長寿命な転動要素を提供することを目的とする。 課題を解決するための手段 [0004] 一般的に金属と硫化物の密着性は非常に弱い。し力 金属と酸化物の密着性は強 レ、。この違いを利用して、硫化物中に酸素を適量範囲（原子濃度 5— 30% )で入れる と密着力が向上することが分かった。硫化物中の酸素量が少ないと下地材との密着 力が不十分であり、酸素量が多すぎると硫化物が非晶質になり同様に密着力が低下 する。その結果、下地との境界部に酸素を適量だけ入れると寿命が向上する。また、 この境界層の厚さも最適値があり、薄すぎると下地との密着力が不十分となり、厚す ぎると摩擦が大きくなる。この境界層の厚さの最適値は固体潤滑膜の構成元素によ つて異なり、材質ごとに決まる値がある。二硫化モリブデンの場合であると 0. 01 - 0. 2 μ mが最適値となる事を見出した。
このような考え方で以下の手段を講じた。
請求項 1に記載の発明は、二硫化モリブデンスパッタ膜からなる固体潤滑膜を被覆 した転動要素において、前記固体潤滑膜が少なくとも 2層からなり、下地に近い境界 層に含まれてレ、る酸素の原子濃度を 5— 30%で、上層に含まれてレ、る酸素の原子 濃度を 3 %以下にするものである。
また、請求項 2に記載の発明は、前記境界層の厚さを 0. 01 - 0. 2 /i mとするもの である。
発明の効果
[0005] 請求項 1に記載の発明によると、固体潤滑膜が境界層を介して下地に強固に付着 するので折れにくくなり、転動要素の寿命を長くすることができる。
請求項 2に記載の発明によると、固体潤滑膜が摩擦を小さく保ちつつ、下地と強固 に付着するので、転動要素の寿命を長くすることができる。
図面の簡単な説明
[0006] [図 1]本発明を適用した転動要素 1を示し、 （a)はその正面図、（b)はその側面図であ る。
[図 2]本発明を適用した転動要素の拡大図である。
[図 3]本実施例において使用したスパッタ装置の構成図である。
[図 4]本実施例において使用したローラ転がし治具であって、（a)はその上面図、（b) は（a)の A— A線に沿う側断面図を示したものである。 園 5]本実施例において使用した転がり試験機であって、（a)はその側面図、（b)は ( a)の平面図である。
符号の説明
1 転動要素
2 ローラ
3 固体潤滑膜
3A 冒
3B 上層
11 ローラ転がし治具
12 回転円盤
13 固定円盤
15 固定ロッド
16 スぺーサボール
21 力ソード
22 ターゲット
26 真空チャンバ
27 基板ホルダ
33 真空ポンプ
34 RF電源
35 真空計
36 ァノレゴンボンべ
37 酸素ボンべ
38 マスフローコントローラ
50 ディスク
51 ボール
53 ホノレダ
54 アーム
55 デッドウェイト 56 ロードセノレ
57 モータ
発明を実施するための最良の形態
[0008] 図 1は本発明に適用した転動要素であって、（a)はその正面図、 （b)はその側面図 である。図 2は固体潤滑膜部の断面を示す拡大図である。
図において、転動要素 1は、鋼材からなるローラ 2の表面に厚さ約 l x mの二硫化 モリブデンスパッタ膜力 なる固体潤滑膜 3を被覆した構成とするものである。
本発明が従来技術と異なる点は以下のとおりである。
すなわち、固体潤滑膜 3はローラ 2との界面に相当する境界層 3Aと上層 3Bの 2層 に分かれており、該境界層 3Aには酸素が 5— 30%含まれており、該上層 3Bには酸 素が原子濃度で 3%以下含まれている点である。ここで前記「以下」とは 0%も含んで レ、るが、スパッタ法では酸素が膜中に入らなレ、ように注意しても最大で 1 %程度は混 入する。
なお、本形態では、転動要素をローラとしたが本発明の固体潤滑膜であれば同様 の効果が得られるので、転動要素はボール、内輪、外輪でもよいことは明らかである 。また転動要素の下地は鋼材としたが軸受鋼ゃ SUS440C等のステンレス鋼も含ん でいる。
以下、本発明の具体的な実施例を図に基づレ、て説明する。
実施例 1
[0009] 以下、本発明の第 1実施例を以下に述べる。
図 3は本実施例において使用したスパッタ装置の構成図、図 4は本実施例におい て使用したローラ転がし治具であって、（a)はその上面図、（b)は（a)の A— A線に沿 う断面図を示したものである。
図 3、 4において、 11はローラ転がし治具、 12は回転円盤、 13は固定円盤、 15は 固定ロッド、 16はスぺーサボール、 21は力ソード、 22はターゲット、 26は真空チャン バ、 27は基板ホルダ、 33は真空ポンプ、 34は RF電源、 35は真空計、 36はアルゴン ボンべ、 37は酸素ボンべ、 38はマスフローコントローラである。
本発明の転動要素は、図 3に示すスパッタ装置によってクロスローラベアリングの口 ーラ (材質： SUS440C)に層状構造材である二硫化モリブデンを主成分とする 2層か らなる固体潤滑膜を被覆したものである。
図 3において、真空状態を確保するためのステンレスからなる真空チャンバ 26の内 部に二硫化モリブデンの板材であるターゲット 22を RF電源 34の力ソード 21に設置し 、基板ホルダ 27の上部にはローラ転がし治具 11を置き、ローラ転がし治具 11の中に ローラ 2を載置し、ローラ 2を転がしてローラ 2の円筒面にターゲット材のニ硫化モリブ デンをスパッタリングによって成膜するものである。また、スパッタ装置は、ローラ 2の 固体潤滑膜の境界層に酸素を含有させるため、真空チャンバ 26内にガス導入させる アルゴンボンべ 36、酸素ボンべ 37を真空チャンバ 26の外部に備え、スパッタ成膜中 にこれらのガスを導入することによって固体潤滑膜の境界層に酸素を含有させること ができる。また、真空チャンバ 26の外部は、真空チャンバ 26内の真空度を測定する 真空計 35、また真空チャンバ 26内を真空にするためのロータリ真空ポンプおよびク ライォポンプからなる真空ポンプ 33を具備する。
以上のような構成のスパッタ装置によって、真空チャンバ 26内を 1 X 10— 7Paまで真 空引きし、この状態で真空チャンバ 26内に酸素ガスを所定量導入し、 7火にアルゴン ガスを真空チャンバ 26内が所定の圧力になるまでいれる。その状態で力ソード 21に RF電源を印加し、グロ一放電を発生させ、 Arイオンによってターゲットの表面をスパ ッタし、二硫化モリブデンからなるターゲットを構成する原子、すなわちモリブデンお よびィォゥを叩き出し、ローラの表面に酸素を含む二硫化モリブデンを 0· 1 μ ΐηだけ 堆積させる。続けて酸素ガスを所定量減量してスパッタを行レ、上層に若干の酸素を 含む二硫化モリブデン膜を形成する。
また、成膜中には以下に述べるように、ローラ転がし治具 11を用レ、、構成元素を含 有する二硫化モリブデン膜をローラ 2の円筒面に均一に被覆できるようにした。ローラ 転がし治具 11は図 3に示すように回転円盤 12と固定円盤 13で構成されており、回転 円盤 12は基板ホルダ 27に同軸状態で接続されているため、基板ホルダ 27の回転に 伴って回転するが、固定円盤 13は固定ロッド 15で真空チャンバ 26に固定されている ため、基板ホルダ 27が回転しても、回転しない構造になっている。
さらに詳細には図 4に示すようにローラ 2を回転円盤 12のスリットと固定円盤 13の上 面で構成される空間の中に、スぺーサボール 16と交互に載置しているので、基板ホ ルダ 27を回転させることで、ローラ 2はとも周りする回転円盤 12に押され、所定の回 転数で自転かつ公転する。成膜中に、ローラ 2をこのように転がすことで、ローラ 2の 円筒面に二層からなる二硫化モリブデン膜を均一に形成した。膜の組成と境界層の 膜厚は XPSで測定した。
[0010] 本実施例では、境界層と上層に含まれる酸素量を変えて全体の厚さが 1 μ mの膜 を形成した。境界層の厚さは約 0. l z mである。これらの試料の寿命を図 5に示す口 ーラオンディスク型の膜寿命試験機で調べた。図 5は本実施例にぉレ、て使用した転 力^試験機であって、（a)はその側面図、（b)は（a)の平面図である。
図 5において、 50はディスク、 51はボール、 53はホノレダ、 54はアーム、 55はデッド ウェイト、 56はロードセノレ、 57はモータである。この膜寿命試験機は、転動要素であ るローラ 2をローラホルダ 53内で、ボール 4個がローラ 2の角に接する形で保持し、口 ーラホルダ 53上部のデッドウェイト 55により荷重を負荷し、接したディスク 50の回転 により生じた摩擦力をロードセル 56でモニタするものである。試験条件は、転がり速 度を約 8m/min、荷重を 1 · 5N、湿度：約 10%RHとした。寿命は、ロードセル出力 が 0. 8N以上になった時点の走行距離を評価した。
表 1は、各試料における膜組成分析結果と寿命を示したものである。上層の酸素の 原子濃度を 3%以下にしたものは試料に関らず、 3000m以上でも寿命に達しないほ ど長寿命であった。
[0011] [表 1]
酸素の原子 ¾1 S, a t%
境界層 上層
1 0. 2 3000m打ち切り
2 5 1. 4 3000m打ち切り
3 2. 8 3000m打ち切り
4 0. 5 300 Om打ち切り 本発明 5 15 1. 3 300 Om打ち切り
6 3. 0 300 Om打ち切り
7 0. 4 300 Om打ち切り
8 30 1. 6 300 Om打ち切り
9 2. 9 3000m打ち切り
10 5 3. 3 1543m
11 15 3. 5 1732m
12 30 3. 2 1653m
13 0. 4 234m したがって、第 1実施例では二硫化モリブデンスパッタ膜力 なる固体潤滑膜を被 覆した転動要素において、固体潤滑膜が少なくとも 2層からなり、下地に近い境界層 に含まれている酸素の原子濃度を 5— 30%の範囲に規定し、上層に含まれている酸 素の原子濃度を 3%以下に規定したので、固体潤滑膜が境界層を介して下地に強 固に付着するため折れにくくなり、転動要素の寿命を長くすることができる。
実施例 2
[0012] 本実施例では、境界層の厚さの影響を調べた。境界層の酸素の原子濃度を 15% 、上層の酸素の原子濃度を 1%で一定にした。膜全体の厚さは約 1 / mである。評価 結果を表 2に示す。本発明の試料番号 2— 6は 3000m以上の長寿命であった。
[0013] [表 2]
Figure imgf000009_0001
したがって、第 2実施例では境界層の厚さを 0. 01-0. 2μπιに規定したので、固 体潤滑膜が摩擦を小さく保ちつつ、下地と強固に付着するため、転動要素の寿命を 長くすることができる。 産業上の利用可能性
固体潤滑膜を少なくとも 2層にし、含有させる酸素の原子濃度を境界層 5— 30%、 上層 3%以下にし、その境界層の厚さを 0. 01-0. 2 mにすることによって、長寿 命化が出来るので、軸受部が完全密封され軸受交換が許されなレ、、完全メンテナン スフリーの装置などの用途にも適用できる。

Claims

請求の範囲
[1] 二硫化モリブデンスパッタ膜からなる固体潤滑膜を被覆した転動要素において、前 記固体潤滑膜が少なくとも 2層からなり、下地に近い境界層に含まれている酸素の原 子濃度が 5 30%で、上層に含まれている酸素の原子濃度が 3%以下であることを 特徴とする転動要素。
[2] 前記境界層の厚さが 0. 01 -0. 2 x mであることを特徴とする請求項 1記載の転動 要素。
PCT/JP2005/002793 2004-03-04 2005-02-22 転動要素 WO2005085664A1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/514,269 US20060291762A1 (en) 2004-03-04 2006-09-01 Rolling element

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
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