WO2004092802A1 - Planapochromatisches mikroskopobjektiv - Google Patents

Planapochromatisches mikroskopobjektiv Download PDF

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WO2004092802A1
WO2004092802A1 PCT/EP2004/002431 EP2004002431W WO2004092802A1 WO 2004092802 A1 WO2004092802 A1 WO 2004092802A1 EP 2004002431 W EP2004002431 W EP 2004002431W WO 2004092802 A1 WO2004092802 A1 WO 2004092802A1
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lens
focal length
microscope objective
positive
lenses
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French (fr)
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Renhu Shi
Ingo Fahlbusch
Werner Kleinschmidt
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Jenoptik AG
Carl Zeiss Jena GmbH
Original Assignee
VEB Carl Zeiss Jena GmbH
Carl Zeiss Jena GmbH
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/02—Objectives

Definitions

  • Microscope objectives that are used in such examinations must, on the one hand, ensure good image contrast and, on the other hand, have as little self-fluorescence as possible.
  • good transmission in the near ultraviolet spectral range is necessary, since the excitation wavelength for fluorescence is approximately 365 nm.
  • the number of types of glass that are transmissive in this region of short wavelengths is limited.
  • the number of lenses must not be too large so that the manufacturing costs remain low and a sufficient amount of ultraviolet light is transmitted.
  • No. 5,798,870 describes a microscope objective with a magnification of 20 ⁇ and a numerical aperture of 0.5.
  • This microscope objective consists of eight lenses, two of which are made of fluorspar.
  • the image generated by this lens is flat, but only half-apochromatically corrected, ie the color errors of the secondary spectrum or the color differences resulting from the Dependency of the focus position on the wavelength are reduced, but not completely corrected.
  • the object of the invention is to improve a planapochromatic microscope objective which should be suitable for examining material surfaces with extremely weak structures and materials with fluorescence.
  • a planapochromatic microscope objective which comprises a first and a second lens in order from the object plane and then a first, second and third lens group.
  • the radii of curvature centers of the surfaces of the first lens are both on the object side.
  • the focal length of the first lens is positive and the ratio to the total focal length of the microscope objective is greater than 3.6 and less than 7.4.
  • the focal length of the second lens is also positive.
  • the surface of the second lens on the image side has a greater radius curvature than the surface on the object side.
  • One of the two lenses has a positive, the other a negative focal length.
  • the second lens group also has a positive overall focal length and consists of a fifth and a sixth lens, both of which are cemented together.
  • one of the two lenses has a positive, the other a negative focal length.
  • the third and last lens group has a negative overall focal length and consists of a seventh and an eighth lens, both of which are cemented together.
  • one of the two lenses has a positive, the other a negative focal length.
  • the ratio of the The total focal length of the third lens group to the total focal length of the microscope objective is greater than -1.5 and less than -1.2.
  • the fourth lens in the first lens group has a positive focal length. It is also advantageous if the fifth lens in the second lens group has a positive focal length; it is preferably biconvex. For the correction of image curvature and astigmatism, it is further advantageous that in the third lens group the seventh lens has a positive focal length and its radii of curvature centers are on the object side, and the eighth lens has a negative focal length, it preferably being biconcave.
  • the material fluorspar In order to be able to use the objective also in polarization microscopy, it is advantageous if as few lenses as possible are made from the material fluorspar: In polarization microscopy, one would like to resolve structures that arise exclusively or at least predominantly through polarization of the light from the surface of the structures , It is important that the lens used is free of tension, since tension leads to birefringence of the light and thus reduces the contrast of the image.
  • the fluorspar material inevitably has structural defects in the crystal structure, which also leads to birefringence of the light. In the present case, therefore, at most one of the third, fourth, fifth and sixth lenses has a refractive index less than 1.52 and an Abbe number greater than 89.
  • the fifth lens is made of a material that meets these conditions, namely fluorspar (CaF 2 ).
  • Advantageous configurations of the microscope objective result from the design data listed in subclaims 10 to 12.
  • the refractive indices relate to a wavelength of 546.07 nm.
  • n e is the refractive index at a wavelength of 546.07 nm
  • n C ' the refractive index at a wavelength of 643.85 nm
  • n F - the refractive index at a wavelength of 479.99 nm.
  • the ratio of the focal length of the first lens to the total focal length of the microscope objective is 3.7
  • the ratio of the focal length of the third lens group to the total focal length of the microscope objective is -1.5
  • the ratio is 4.5 and -1.5, respectively.
  • the ratio of the focal length of the first lens to the total focal length of the microscope objective is 7.4
  • the ratio of the focal length of the third lens group to the total focal length of the microscope objective is -1.2.
  • the microscope objective characterized in this way has a magnification of 20x. At 0.6, the numerical aperture is higher than the numerical aperture of the objective known from the prior art.
  • the field of view is 25 and the lens is designed for an optical working distance of 2.2 mm. This is at the UV wavelength of 365 nm, which is important for fluorescence analysis Pure transmittance more than 63%.
  • the microscope objective according to the invention also only needs one lens made of fluorspar, which is advantageous for polarization microscopy.
  • the microscope objective according to the invention all aberrations of the microscope objective are corrected. In this way, the contrast can be maximized across the entire field of view. A further improvement in the image contrast is achieved in that the residual reflection of the image plane is also minimized.
  • the microscope objective is therefore particularly well suited for use in incident light microscopy. While the microscope objective known from US Pat. No. 5,798,870 is corrected only semi-apochromatically with regard to the color errors, the correction in the microscope objective according to the invention is completely apochromatic.
  • Fig.3 further image errors for this lens.
  • Fig.l shows a sectional view of the lens according to the invention.
  • object plane 0 On the far left is object plane 0, at a distance of 2.2 mm is a meniscus-shaped first lens L1 with a positive focal length. The radius The centers of curvature of the two lens surfaces lie on the object side.
  • a second lens L2 is arranged at a distance of approximately 8.5 mm. The second lens L2 also has a positive focal length, and the surface on the image side also has a greater radius curvature than the surface on the object side. The latter can also be made flat, as is the case in Fig.l.
  • a first lens group Gl with a positive overall focal length follows at a very short distance of approximately 0.1 mm.
  • the third lens L3 has a negative focal length
  • the fourth lens L4 has a positive focal length.
  • a second lens group G2 follows, likewise with a positive overall focal length. It consists of a fifth and sixth lens L5 and L6, which are both cemented together.
  • the fifth lens L5 is biconvex from the material fluorspar and has a positive focal length
  • the sixth lens L6 has a negative focal length.
  • This is followed by a third lens group G3.
  • This has a negative overall focal length and consists of a seventh and eighth lens L7 and L8, both of which are cemented together.
  • the seventh lens L7 has a positive focal length
  • the eighth lens L8 is biconcave and has a negative focal length.
  • the radii of curvature centers of the seventh lens L7 are also both located on the object side.
  • the light emerging from the eighth lens L8 can now be imaged through a tube lens.
  • Fig.2 is an image error of this lens, namely
  • the aberrations at a wavelength of 546.07 nm are shown with a solid line, the aberrations at a wavelength of 643.85 nm with a dashed line and the aberrations at a wavelength of 479.99 nm with a dotted line.
  • a graduation on the y-axis corresponds to 0.02 mm. The values are below the visibility limit over the entire image field.
  • FIG. 3 further image errors of the lens according to the invention are shown.
  • the image height is shown in mm on the vertical axis.
  • One division corresponds to 6.25 mm.
  • 3 (b) shows the distortion of the microscope objective in percent. In any case, it is less than 0.6%.
  • FIG. 3 (c) shows the astigmatism of the objective in Rayleigh units (RE). The Petzval's sum characterizing the field curvature is less than 0.004.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein planapochromatisches Mikroskopobjektiv. Ein solches Mikroskopobjektiv besteht aus insgesamt acht Linsen. Die - von der Objektebene her gesehen - erste Linse mit objektseitig gelegenen Radienkrümmungsmittelpunkten weist eine positive Brennweite auf, deren Verhältnis zur Gesamtbrennweite des Mikroskopobjektivs grösser als 3,6 und kleiner als 7,4 ist. Daran an schliesst sich eine zweite Linse mit positiver Brennweite, deren bildseitig gelegene Oberfläche eine stärkere Radienkrümmung als die objektseitig gelegene Oberfläche aufweist. Daran an schliessen sich drei Linsengruppen aus je zwei miteinander verkitteten Linsen. In jeder der drei Gruppen weist eine der Linsen eine positive, die andere eine negative Brennweite auf. Die Gesamtbrennweiten der ersten und zweiten Gruppe sind positiv, die Gesamtbrennweite der dritten Gruppe, die am weitesten von der Objektebene entfernt ist, ist negativ. Das Verhältnis der Gesamtbrennweite der dritten Linsengruppe zur Gesamtbrennweite des Mikroskopobjektivs ist dabei grösser als -1,5 und kleiner als -1,2.

Description

Planapochromatisch.es Mikroskopobjektiv
Bei der Anwendung in der Mikroskopie mit Auflichtbeleuch- tung hat in letzter Zeit die Untersuchung von Werkstoffoberflächen mit extrem schwachen Strukturen, beispielsweise Wafern, und von Materialien mit Fluoreszenz zunehmend an Bedeutung gewonnen. Mikroskopobjektive, die bei solchen Untersuchungen eingesetzt werden, müssen einerseits einen guten Bildkontrast gewährleisten, andererseits möglichst wenig Eigenfluoreszenz aufweisen. Notwendig ist insbesondere eine gute Durchlässigkeit im nahen ultravioletten Spektral- bereich, da die Anregungswellenlänge für Fluoreszenz etwa bei 365 nm liegt. Die Anzahl der Glassorten, die in diesen Bereich kurzer Wellenlängen durchlässig sind, ist jedoch beschränkt . Außerdem darf die Anzahl der Linsen nicht zu groß sein, damit die Herstellungskosten niedrig bleiben und ein genügender Anteil an ultraviolettem Licht durchgelassen wird. Aus diesem Grund ist es schwierig, für solche Mikroskopobjektive die Abbildungsfehler wie sphärische Aberration, Koma, Astigmatismus, Verzeichnung, Bildfeldwölbung, Farblängs- sowie Farbquerfehler auszukorrigieren. Außerdem sollte ein möglichst ebenes Bild erzeugt werden, insbesondere wenn der Abbildungsmaßstab nicht allzu groß, bei- spielsweise 20x, ist.
In der Schrift US 5,798,870 wird ein Mikroskopobjektiv mit dem Abbildungsmaßstab 20x und einer numerischen Apertur von 0,5 beschrieben. Dieses Mikroskopobjektiv besteht aus acht Linsen, wobei zwei Linsen aus Flußspat sind. Das von diesem Objektiv erzeugte Bild ist zwar flach, jedoch nur halb- apochromatisch korrigiert, d. h. die Farbfehler des sekundären Spektrums bzw. die Farbunterschiede, die sich aus der Abhängigkeit der Fokuslage von der Wellenlänge ergeben, sind zwar reduziert, jedoch nicht vollständig korrigiert.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein planapochromatisch.es Mikroskopobjektiv, welches zur Untersuchung von WerkstoffOberflächen mit extrem schwachen Strukturen und von Materialien mit Fluoreszenz geeignet sein soll, zu verbessern.
Diese Aufgabe wird durch ein planapochromatisches Mikroskopobjektiv gelöst, welches von der Objektebene her geordnet eine erste und eine zweite Linse und daran anschließend eine erste, zweite und dritte Linsengruppe umfaßt. Die Radienkrümmungsmittelpunkte der Oberflächen der ersten Linse liegen dabei beide objektseitig. Die Brennweite der ersten Linse ist positiv und das Verhältnis zur Gesamtbrennweite des Mikroskopobjektivs ist größer als 3,6 und kleiner als 7,4. Auch die Brennweite der zweiten Linse ist positiv. Die bildseitig gelegene Oberfläche der zweiten Linse weist dabei eine stärkere Radienkrümmung als die objektseitig gelegene Oberfläche auf. Daran an schließt sich eine erste Linsengruppe mit positiver Gesamtbrennweite aus einer dritten und einer vierten Linse. Beide Linsen sind miteinander verkittet. Eine der beiden Linsen weist eine positive, die andere eine negative Brennweite auf. Die zweite Linsengruppe hat ebenfalls eine positive Gesamtbrennweite und besteht aus einer fünften und einer sechsten Linse, die beide miteinander verkittet sind. Auch hier weist eine der beiden Linsen eine positive, die andere eine negative Brennweite auf. Die dritte und letzte Linsengruppe hat eine negative Gesamtbrennweite und besteht aus einer siebten und einer achten Linse, die beide miteinander verkittet sind. Hier weist ebenfalls eine der beiden Linsen eine positive, die andere eine negative Brennweite auf. Das Verhältnis der Ge- samtbrennweite der dritten Linsengruppe zur Gesamtbrennweite des Mikroskopobjektivs ist dabei größer als -1,5 und kleiner als -1,2.
Dabei ist es für die Korrektur der Bildfehler vorteilhaft, wenn in der ersten Linsengruppe die vierte Linse eine positive Brennweite aufweist. Ebenso ist es vorteilhaft, wenn in der zweiten Linsengruppe die fünfte Linse eine positive Brennweite aufweist, sie ist bevorzugt bikonvex gestaltet. Für die Korrektur von Bildwölbung und Astigmatismus ist es weiterhin vorteilhaft, daß in der dritten Linsengruppe die siebte Linse eine positive Brennweite aufweist und ihre Radienkrümmungsmittelpunkte objektseitig liegen, sowie die achte Linse eine negative Brennweite aufweist, wobei sie bevorzugt bikonkav gestaltet ist .
Um das Objektiv auch in der Polarisationsmikroskopie verwenden zu können, ist es vorteilhaft, wenn möglichst wenig Linsen aus dem Material Flußspat gefertigt werden: In der Polarisationsmikroskopie möchte man solche Strukturen auflösen, die ausschließlich oder zumindest überwiegend durch Polarisation des Lichtes von der Oberfläche der Strukturen entstehen. Dabei ist es wichtig, daß das verwendete Objektiv frei von Spannung ist, da Spannung zu einer Doppelbrechung des Lichts führt und somit den Kontrast der Abbildung vermindert. Das Material Flußspat hat unvermeidlich Baufehler in der Kristallstruktur, was ebenfalls zu einer Doppelbrechung des Lichts führt. Im vorliegenden Fall weist daher höchstens eine der dritten, vierten, fünften und sechsten Linse eine Brechzahl kleiner als 1,52 und eine Abbezahl größer als 89 auf. Bevorzugt wird nur die fünfte Linse aus einem Material, das diese Bedingungen erfüllt, nämlich Flußspat (CaF2) gefertigt. Vorteilhafte Ausgestaltungen des Mikroskopobjektivs ergeben sich mit den in den Unteransprüchen 10 bis 12 aufgeführten Konstruktionsdaten. Die Brechzahlen beziehen sich dabei auf eine Wellenlänge von 546,07 nm. Die Abbezahlen ve wurden aus der Gleichung ne ~\ v = —
.r berechnet. Dabei ist ne die Brechzahl bei einer Wellenlänge von 546,07 nm, nC' die Brechzahl bei einer Wellenlänge von 643,85 nm und nF- die Brechzahl bei einer Wellenlänge von 479,99 nm.
Für den ersten Satz von Konstruktionsdaten im zehnten Unteranspruch ist das Verhältnis der Brennweite der ersten Linse zur Gesamtbrennweite des Mikroskopobjektivs 3,7, das Verhältnis der Brennweite der dritten Linsengruppe zur Gesamtbrennweite des Mikroskopobjektivs -1,5. Für den zweiten Satz von Konstruktionsdaten ist das Verhältnis 4,5 bzw. -1,5. Für den dritten Satz von Konstruktionsdaten im zwölften Unteranspruch ist das Verhältnis der Brennweite der ersten Linse zur Gesamtbrennweite des Mikroskopobjektivs 7,4 und das Verhältnis der Brennweite der dritten Linsengruppe zur Gesamtbrennweite des Mikroskopobjektivs -1,2.
Das auf diese Weise charakterisierte Mikroskopobjektiv weist den Abbildungsmaßstab 20x auf. Die numerische Apertur ist mit 0,6 höher als die numerische Apertur des aus dem Stand der Technik bekannten Objektivs. Die Sehfeldzahl beträgt 25 und das Objektiv ist für einen optischen Arbeitsabstand von 2,2 mm ausgelegt. Bei der für Fluoreszenzuntersuchung wichtigen UV-Wellenlänge von 365 nm beträgt der Reintransmissionsgrad mehr als 63 %. Im Gegensatz zu dem aus dem Stand der Technik bekannten Objektiv kommt das erfindungsgemäße Mikroskopobjektiv auch nur mit einer Linse aus Flußspat aus, was für die Polarisationsmikroskopie von Vorteil ist.
Bei dem erfindungsgemäßen Mikroskopobjektiv sind sämtliche Abbildungsfehler des Mikroskopobjektivs auskorrigiert. Auf diese Weise kann der Kontrast über das ganze Sehfeld maxi- miert werden. Eine weitere Verbesserung des Bildkontrasts wird dadurch erreicht, daß auch die Restreflexion der Bildebene minimiert ist. Das Mikroskopobjektiv ist daher besonders gut für die Verwendung in der Auflichtmikroskopie geeignet. Während das aus der US 5,798,870 bekannte Mikroskopobjektiv in bezug auf die Farbfehler nur halbapochroma- tisch korrigiert wird, ist die Korrektur beim erfindungsgemäßen Mikroskopobjektiv vollständig apochromatisch.
Das Mikroskopobjektiv soll im folgenden an einem Ausführungsbeispiel erläutert werden. In den dazugehörigen Zeichnungen zeigt
Fig.l einen möglichen Objektivaufbau in Anlehnung an die Konstruktionsdaten des elften Unteranspruchs,
Fig.2 die Queraberrationen in tangentialen Schnitt für Bildmitte (a) , Bildzone (b) und Bildrand (c) für dieses Objektiv, sowie
Fig.3 weitere Bildfehler für dieses Objektiv.
Fig.l zeigt zunächst ein Schnittbild des Objektivs gemäß der Erfindung. Ganz links befindet sich die Objektebene 0, in einem Abstand von 2,2 mm befindet sich eine meniskusför- mige erste Linse Ll mit positiver Brennweite. Die Radien- krümmungsmittelpunkte der beiden Linsenflächen liegen dabei objektseitig. In einem Abstand von etwa 8,5 mm ist eine zweite Linse L2 angeordnet. Auch die zweite Linse L2 weist eine positive Brennweite auf, außerdem weist die bildseitig gelegene Oberfläche eine stärkere Radienkrümmung als die objektseitig gelegene Oberfläche auf. Letztere kann dabei auch plan ausgeführt sein, wie dies in Fig.l der Fall ist. In einem sehr geringem Abstand von etwa 0 , 1 mm folgt eine erste Linsengruppe Gl mit positiver Gesamtbrennweite. Sie besteht aus einer dritten und vierten Linse L3 bzw. L4, die beide miteinander verkittet sind. Die dritte Linse L3 weist eine negative Brennweite, die vierte Linse L4 eine positive Brennweite auf. Es folgt eine zweite Linsengruppe G2 , ebenfalls mit positiver Gesamtbrennweite. Sie besteht aus einer fünften und sechsten Linse L5 bzw. L6, die wiederum beide miteinander verkittet sind. Die fünfte Linse L5 ist bikonvex aus dem Material Flußspat geformt und hat eine positive Brennweite, die sechste Linse L6 weist eine negative Brennweite auf. Daran an schließt sich eine dritte Linsengruppe G3. Diese hat eine negative Gesamtbrennweite und besteht aus einer siebten und achten Linse L7 bzw. L8, die beide miteinander verkittet sind. Die siebte Linse L7 weist eine positive Brennweite auf, die achte Linse L8 ist bikonkav geformt und weist eine negative Brennweite auf . Die Radienkrümmungsmittelpunkte der siebten Linse L7 sind außerdem beide objektseitig gelegen. Das aus der achten Linse L8 austretende Licht kann nun durch eine Tubuslinse abgebildet werden.
In Fig.2 ist ein Bildfehler dieses Objektivs, nämlich die
Queraberration in Abhängigkeit von der Apertur im tangenti- alen Schnitt an drei Punkten im Bildfeld, in der Bildmitte
(a) , in der Bildzone (b) und am Bildrand (c) , für drei ver- schiedene Wellenlängen dargestellt. Die Aberrationen bei einer Wellenlänge von 546,07 nm sind mit einer durchgezogenen Linie, die Aberrationen bei einer Wellenlänge von 643,85 nm mit einer gestrichelten Linie und die Aberrationen bei einer Wellenlänge von 479,99 nm mit einer gepunkteten Linie dargestellt. Ein Teilstrich auf der y-Achse entspricht dabei 0,02 mm. Die Werte liegen über das gesamte Bildfeld unterhalb der Sichtbarkeitsgrenze.
In Fig.3 sind weiter Bildfehler des erfindungsgemäßen Objektivs dargestellt. In der senkrechten Achse ist dabei jeweils die Bildhöhe in mm dargestellt. Ein Teilstrich entspricht 6,25 mm. Fig.3(a) zeigt zunächst die auf die jeweilige Bildhδhe normierte chromatische Vergrößerungsdifferenz in Promille. Daraus ergibt sich eine chromatische Queraberration am Feldrand von weniger als 10 μm, wobei die beiden Wellenlängen λF< = 479,99 nm und λ- = 643,85 nm zugrunde gelegt wurden. In Fig.3(b) ist die Verzeichnung des Mikroskopobjektivs in Prozent dargestellt. Sie ist in jedem Falle kleiner als 0,6 %. In Fig.3(c) schließlich ist der Astigmatismus des Objektives in Rayleigh-Einheiten (R.E.) dargestellt. Die die Bildfeldwölbung charakterisierende Petzval'sche Summe ist kleiner als 0,004.
Bezugszeichenliste
Gl, ... , G3 Linsengruppen
Ll, ... , L8 Linsen
O Objektebene

Claims

Patentansprüche
Planapochromatisch.es Mikroskopobjektiv, umfassend von der Objektebene her geordnet eine erste Linse (Ll) mit positiver Brennweite (fi) und objektseitig gelegenen Radienkrümmungsmittelpunkten, wobei das Verhältnis von der Brennweite (fx) zur Gesamtbrennweite (f) des Mikroskopobjektivs größer als 3,6 und kleiner als 7,4 ist, eine zweite Linse (L2) mit positiver Brennweite (f) , deren bildseitig gelegene Oberfläche eine stärkere Radienkrümmung als ihre objektseitig gelegene Oberfläche aufweist, eine erste Linsengruppe (Gl) mit positiver Gesamtbrennweite (fßi) aus einer dritten Linse (L3) und einer vierten Linse (L4) , wobei die dritte und vierte Linse (L3) bzw. (L4) miteinander verkittet sind und die eine der beiden Linsen eine positive, die andere eine negative Brennweite aufweist, eine zweite Linsengruppe (G2) mit positiver Gesamt- brennweite (fβ2) aus einer fünften Linse (L5) und einer sechsten Linse (L6) , wobei die fünfte und sechste Linse (L5) bzw. (L6) miteinander verkittet sind und die eine der beiden Linsen eine positive, die andere eine negative Brennweite aufweist, sowie eine dritte Linsengruppe (G3) mit negativer Gesamt- brennweite (fG3) aus einer siebten Linse (L7) und einer achten Linse (L8) , wobei die siebte und achte Linse (L7) bzw. (L8) miteinander verkittet sind und die eine der beiden Linsen eine positive, die andere eine negative Brennweite aufweist, und das Verhältnis der Gesamtbrennweite (fo3) der dritten Linsengruppe zur Ge- samtbrennweite (f) des Mikroskopobjektivs größer als -1,5 und kleiner als -1,2 ist.
2. Plana-pochromatisches Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der ersten Linsengruppe (Gl) die vierte Linse (L4) eine positive Brennweite aufweist .
3. Planapochromatisches Mikroskopobjektiv nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß in der zweiten Linsengruppe (G2) die fünfte Linse (L5) eine positive Brennweite aufweist.
4. Planapochromatisches Mikroskopobjektiv nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die fünfte Linse (L5) bikonvexe Form aufweist .
5. Planapochromatisches Mikroskopobjektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß höchstens eine der vier Linsen (L3, L4, L5, L6) der ersten und zweiten Linsengruppe (Gl) bzw. (G2) eine Brechzahl ne < 1,52 und eine Abbezahl ve > 89 aufweist.
6.. Planapochromatisches Mikroskopobjektiv nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,' daß die fünfte Linse (L5) aus Flußspat (CaF2) gefertigt ist.
7. Planapochromatisches Mikroskopobjektiv nach einem der
• vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,- daß in' der dritten Linsengruppe (G3) die siebte Linse (L7) .eine positive Brennweite aufweist und ihre Radienkrümmungsmittelpunkte objektseitig gelegen sind.
8. Planapochromatisches Mikroskopobjektiv nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in der dritten Linsengruppe (G3) die achte Linse (L8) eine negative Brennweite aufweist.
9. Planapochromatisches Mikroskopobjektiv nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in der dritten Linsengruppe (G3) die achte Linse (L8) eine bikonkave Form aufweist.
10. Planapochromatisches Mikroskopobjektiv nach einem der vorgenannten Ansprüche 1 bis 9, gekennzeichnet durch folgende Konstruktionsdaten mit Radien r, Dicken d und Abständen a in mm, Brechzahlen ne bei einer Wellenlänge von 546.07 nm und Abbezahlen ve:
Figure imgf000013_0001
L7 5,940 1 , 723 29 , 3
11,6330 L8 1,100 1 , 617 44 , 3
8,5899
2 , 142
Tubus und Tubuslinse
11. Planapochromatisches Mikroskopobjektiv nach einem der vorgenannten Ansprüche 1 bis 9, gekennzeichnet durch folgende Konstruktionsdaten mit Radien r, Dicken d und Abständen a in mm, Brechzahlen ne bei einer Wellenlänge von 546.07 nm und Abbezahlen ve: r d a ne ve
Objektebene 00
2,199
-4,5290
Ll 5,000 1,886 40,8
-6,0424
8,595
00
L2 4,500 1,530 76,6
-14,3310
0,100
30,9464
L3 1,200 1,886 40,8
11,1410
L4 5,320 1,530 76,6
-36,5149
1,165
12,2304
L5 6,700 1,435 94,6
-12,2304
L6 3,500 1,617 44,3
-18,8360
0,102
-73,9179
L7 2,300 1,723 29,3
-12, 9580
L8 1,100 1,617 44,3
7,9440
6,719
Tubus und
Tubuslinse
2. Planapochromatisches Mikroskopobjektiv nach einem der vorgenannten Ansprüche 1 bis 9, gekennzeichnet durch folgende Konstruktionsdaten mit Radien r, Dicken d und Abständen a in mm, Brechzahlen ne bei einer Wellenlänge von 546.07 nm und Abbezahlen ve : r d a ne Ve
Objektebene 00
2,200
-4,8537
Ll 5,500 1,886 40,8
-6,8163
7,670
224,2200
L2 5,000 1,530 76,6
-15,5270
0,100
26,1380
L3 1,200 1,886 40,8
11,3870
L4 6,500 1,530 76,6
-28,6280
0,885
11,6270
L5 6,700 1,435 94,6
-10,9940
L6 1,380 1,617 44,3
-16,8070
0,100
-27,6670
L7 2,100 1,723 29,3
-10,2360
L8 1,100 1,617 44,3
7,7303
8,060
Tubus und
Tubuslinse
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