DE68903237T2 - Variabler kompensator von sphaerischen aberrationen verschiedener ordnungen zur ueberpruefung der oberflaechenform eines asphaerischen spiegels und seine anwendung. - Google Patents

Variabler kompensator von sphaerischen aberrationen verschiedener ordnungen zur ueberpruefung der oberflaechenform eines asphaerischen spiegels und seine anwendung.

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DE68903237T2 DE1989603237 DE68903237T DE68903237T2 DE 68903237 T2 DE68903237 T2 DE 68903237T2 DE 1989603237 DE1989603237 DE 1989603237 DE 68903237 T DE68903237 T DE 68903237T DE 68903237 T2 DE68903237 T2 DE 68903237T2
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen variablen Kompensator von sphärischen Aberrationen verschiedener Ordnungen zur Überprüfung der Oberflächenform eines asphärischen Spiegels und seine Anwendung.
  • Die präzise Ausführung einer etwas großen optischen Oberfläche, zum Beispiel eines Teleskopspiegels, wird nie automatisch erreicht; es ist immer eine durch optische Prüfungen geleitete und kontrollierte Arbeit der lokalen Nachbesserung nötig, um die praktische Vermengung der Mediankrümmung mit der ihm durch die Berechnung aufgezwungenen Form herbeizuführen.
  • Eine klassische Technik zur Herstellung eines asphärischen Spiegels besteht darin, einen ungefähr sphärischen Spiegel herzustellen und davon Material abzunehmen, bis man die gewünschte asphärische Form erhält.
  • Es ist nötig zu prüfen, ob diese Materialabnahme keine Fehler, wie Astigmatismus, Krümmungsdeformation und Fehler im Bereich hoher Frequenzen, während der fortschreitenden Asphärisation erzeugt.
  • Diese Kontrolle ist möglich, indem man einen sphärischen Aberrations-Kompensator verwendet, der fähig ist, der Asphärisationsarbeit des Optikers in fortschreitender Weise zu folgen und das von der Form benachbart zu der Sphäre, von der die Asphärisation ausgeht, bis zu der erforderlichen asphärischen Form.
  • Der Kompensator ist ein, auf der Bahn der durch eine punktuelle Lichtquelle emittierten und durch den Spiegel refrektierten Strahlen, angeordnetes Linsensystem, um eine Aberration zu erzeugen, die derjenigen entgegengesetzt ist, welche die Berechnung für den Spiegel angibt, den man herstellen will.
  • Die Nachbesserung des Spiegels wird so ausgeführt, daß man eine stigmatisches Endbild erhält.
  • Das Prinzip der Kompensation ist seit langam bekannt und man kann zum Beispiel in dem Artikel "Prüfungsverfahren eines konkaven, nicht-sphärischen Spiegels" von A. COUDER (Revue d'optique théorique et instrumentale, Februar 1927) verweisen.
  • Es ist bekannt, daß man den Abstand der Linsen des Kompensators im Punkt der Quelle variieren lassen muß, um dem Fortschreiten der Asphärisation zu folgen.
  • Bis jetzt, und aus mehreren Gründen, konnten die variablen Kopensatoren (Kopensatoren von R. S. Hilbert und M. P. RIMMER, Kompensatoren von r. SHAFER) nicht mit Spiegeln von kleiner Ausdehnung und kleiner Öffnung verwendet werden, F/4 ist allgemein das Maximum.
  • Um das Fortschreiten der Aspherisation eines großen Spiegels, sei es typischerweise ein Spiegel, dessen Öffnungzahl in der Größenordnung von F/1,7 bis F/2 und dessen Durchmesser in der Größenordnung von 4 bis 8 m liegt, zu kontrollieren, ist es nötig, die höheren sphärischen Aberrationsordnungen, von der fünften bis zur siebten Ordnung, kontinuierlich kompensieren zu können.
  • Man weiß höhere Ordnungen mit Hilfe eines Kompensators mit zwei Linsen zu kompensieren (Artikel "A null Correctur for Paraboloid Mirrors" von Abe OFFNER in Applied Optics, fev. 1983, Vol. 2, Nr. 2), aber dieser Kompensator ist nicht variabel und erlaubt es folglich nicht, dem Fortschreiten der Asphärisation zu folgen.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen variablen Kompensator, der fähig ist, die höheren Ordnungen der sphärischen Aberration zu kompensieren und es erlaubt, dem Fortschreiten der Asphärisation eines asphärischen Spiegels großer Öffnung und großen Durchmessers, besonders der Herstellung eines Teleskop-Spiegels, zu folgen.
  • Der Kompensator der Erfindung, der eine verstellbare Linsengruppe umfaßt, wird dadurch gekennzeichnet, daß er auch eine feste Linsengruppe umfaßt, und die zwei Gruppen dieselbe optische Achse besitzen und in Distanz zueinander angeordnet sind, und die feste Gruppe eine erste Linse besitzt, die benachbart des Krümmungsmittelpunktes des Spiegels angeordnet ist, das heißt in der Brennfläche der sphärischen Aberration des Spiegels, und dazu bestimmt ist, die Korrektur der höheren Aberrationsordnungen zu erleichtern, wobei dieser Linse eine zweite Linse folgt, deren Form (leichte Krümmung) dazu bestimmt ist, die sphärische Aberration dritter Ordnung des Spiegels zu kompensieren und deren Brechkraft so gewählt ist, daß der Platzbedarf und das Reduktionsvermögen für höhere Ordnungen bestmöglich optimiert werden, und daß die bewegliche Gruppe von einem afokalen System aus drei Linsen gebildet wird, das so berechnet ist, daß die Aberration kompensiert wird, die von dem Spiegel erzeugt wird, wenn sein Asphärisationskoeffizient zwischen -0,5 und -1 und darüber variiert.
  • Im Betrieb ist die feste Gruppe zwischen der beweglichen Gruppe und dem Krümmungszentrum des Spiegels angeordnet, einer der Spiegel der festen Gruppe ist in unmittelbarer Nachbarschaft zu besagtem Krümmungszentrum angeordnet, und die bewegliche Gruppe wird der festen Gruppe in dem Umfang angenähert, wie die Asphärisation fortschreitet.
  • Die Form der Linsen wird unter anderem in Abhängigkeit vom Brechungsindex des verwendeten Materials in der bekannten Weise gewählt.
  • Um einen Kompensator gemäß der Erfindung zu berechnen kann man wie folgt vorgehen.
  • Man beginnt damit, einen Kompensator zu berechnen, der eine in der Brennfläche plazierte Linse und eine zweite Linse, deren Form, berechnet in der dritten Ordnung, die sphärische Aberration der dritten Ordnung des sphärischen Spiegel kompensiert, wobei vorrausgesetzt wird, daß sie einen Aberrationskoeffizienten von -0,5 hat, besitzt.
  • Nach der Optimierung dieser Kombination mit einem Asphärisationskoeffizienten des Spiegels von -0,5 fügt man die drei Linsen der beweglichen Gruppe hinzu, indem man sie benachbart zur zweiten Linse des festen Kompensators plaziert. Die Gruppe dieser drei Linsen muß eine afokale Kombination sein, damit die Umformung immer die Quelle und das davon gegebene Bild überlagern läßt. Indem man diese Bedingungen den Gegebenheiten der ausgehenden Optimierung aufzwängt, mit einem zusätzlichen Wert von -1 als Asphärisationskoeffizienten des Spiegels, wird das Endergebnis schnell erhalten.
  • Im folgenden werden zwei an die vorliegende Erfindung angepasste Kompensationsbeispiele beschrieben, bezogen auf zwei Figuren der angefügten Zeichnung, wobei jede drei optische Schemata des Kompensators entsprechend drei Asphärisationsabschnitten des Spiegels zeigt.
  • Der Kompensator der Figur 1 ist dazu bestimmt, im nicht sichtbaren Licht in einer Kontrollvorrichtung, die ein Interferometer benützt, dessen monochromatische Quelle S ein Infrarot-Laser bei 10 Mikrometern ist, zu dienen.
  • Der in der Figur 1 dargestellt Kompensator wird aus zwei festen Linsen F&sub1;, F&sub2; und einer Gruppe von drei zusammen verschiebbaren Linsen F&sub3;, F&sub4;, F&sub5; gebildet. Diese Linsen sind aus Zinksulfid mit dem Index 2,200.
  • Die Kennzeichen der Linsen des Kompensators, Krümmungsradius, Dicke, Luftintervalle, sind in der folgenden Tafel I angegeben, in der die Nummern der Oberflächen auf in der Figur 1A angegebene entsprechende Markierungen verweisen. TAFEL I Oberfläche Nr. Radius Dicke des folgenden Milieus Natur des folgenden Milieus nützlicher Halbmesser
  • In dieser Tafel, die in der Anordnung den in der Figur 1A für einen Asphärisationskoeffizienten des Spiegels gleich -,0547 dargestellten Linsen entspricht, ist die Distanz zwischen der Linse F&sub3; der verschiebbaren Gruppe und der Linse F&sub2; der festen Gruppe gleich 450 mm angegeben. Im Fall der Figur 1B, welche einem Asphärisationskoeffizienten gleich 0,7976 entspricht, ist diese Distanz gleich 300 mm, und in dem der Figur 1C, welcher einem Asphärisationskoeffizienten von -1 entspricht, ist diese Distanz gleich 250 mm. Man könnte diese Distanz noch verringern, wenn die Asphärisation anstiege.
  • Der für die Berechnung von diesem Beispiel der Ausführung der Erfindung in Betracht gezogene Spiegel ist ein Spiegel von 8 Metern Durchmesser, 27 200 mm Krümmungsradius, der eine Öffnung von F/1.7 hat und dessen Asphärisationskoeffizient am Ende des Polierens gleich -1 sein muß.
  • Für die verschiedenen Positionen der Gruppe der Linsen, welche den Zoomeffekt sichern, ist die mittlere quadratische Abweichung der erhaltenen direkten Welle L/150, wenn der Asphärisationskoeffizient gleich -1, und L/60, wenn dieser Koeffizient gleich -0,5 ist, wobei L= 10 Mikrometer. Die Qualität dieser Korrektur zeigt deutlich, daß das System durch die Brechung beschränkt ist, und ermöglicht schließlich die Abschätzung der Fehler der Wellenoberfläche von 1/10 Streifen auf dem Spiegel auf einen Fehler von 0,5 Mikrometer.
  • Die Linsen sind aus Zinksulfid ausgeführt, welches ein für die Wellenlänge von 10 µm, und ebenso für die Wellenlängen des sichtbaren Spektrums, durchsichtiges Material ist, was die Verwendung dieses Kompensators zur Kontrolle der asphärischen Formung im polierten Stadium, und ebenso zu Beginn des Polierens, ermöglicht.
  • Dieses Beispiel ist nicht beschränkend, dieser Kompensator kann natürlich auch aus anderen Materialien hergestellt werden, um im sichtbaren Spektrum verwendet zu werden.
  • Der Kompensator der Figur 2 bildet präzise ein Anwendungsbeispiel der Erfindung nach der Definition eines Kompensators für den sichtbaren Bereich (Wellenlänge 632,8 nm).
  • Die Linsen F'&sub1; bis F'&sub5; des Kompensators sind aus Barium-Chrom (abgekürzt BC) mit dem Index 1,618 und ihre Kennzeichen sind in der folgenden Tafel II angegeben, in der die Nummern der Oberflächen auf in der Figur 2B angegebene entsprechende Markierungen verweisen. TAFEL II Oberfläche Nr. Radius Dicke des folgenden Milieus Natur des folgenden Milieus nützlicher Halbmesser
  • Der Wert 391,9605 der Tafel ist derjenige der Distanz, welche die bewegliche Gruppe von der festen Gruppe trennt, wenn der Asphärisationsgrad -0,67586 ist (Figur 2B). Im Fall von Figur 1B ist dieser Wert 491,9605 für einen Asphärisationsgrad von -0,54567 und im Fall der Figur 1C ist dieser Wert 291,9605 für einen Asphärisationsgrad von -1.

Claims (3)

1. Variabler Kompensator für sphärische Aberration zum Prüfen der Oberflächenform eines asphärischen Spiegels, enthaltend eine verstellbare Linsengruppe, dadurch gekennzeichnet, daß er weiterhin eine feste Linsengruppe enthält, wobei die zwei Gruppen dieselbe optische Achse haben und in Distanz zueinander angeordnet sind, wobei die feste Gruppe eine erste Linse (F&sub1;, F'&sub1;) enthält, die benachbart des Krümmungsmittelpunktes des Spiegels ist, d.h. in der Brennfläche der sphärischen Aberration des Spiegels, und dazu bestimmt ist, die Korrektur höherer Aberrationsordnungen zu erleichtern, wobei dieser Linse eine zweite Linse (F&sub2;; F'&sub2;) folgt, deren Form (leichte Krümmung) so bestimmt ist, daß die sphärische Aberration dritter Ordnung des Spiegels kompensiert wird, und deren Brechkraft so gewählt ist, daß der Platzbedarf und das Reduktionsvermögen für höhere Ordnungen bestmöglich optimiert werden, und daß die bewegliche Gruppe von einem aphokalen System aus drei Linsen (F&sub3;, F&sub4;, F&sub5;); F'&sub3;, F'&sub4;, F'&sub5;) gebildet ist, das so berechnet ist, daß die Aberration kompensiert wird, die von dem Spiegel erzeugt wird, wenn sein Asphärisationskoeffizient zwischen -0,5 und -1 und darüber schwankt.
2. Anwendung eines Kompensators nach Anspruch 1 zur Prüfung der Oberflächenform eines asphärischen Spiegels bei der progressiven Realisierung der Asphärisation, dadurch gekennzeichnet, daß eine der Linsen der festen Gruppe unmittelbar benachbart dem Krümmungsmittelpunkt angeordnet ist, und daß die bewegliche Gruppe der festen Gruppe in dem Umfang angenähert wird, wie die Asphärisation fortschreitet.
3. Anwendung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel ein Spiegel ist, dessen Öffnungszahl in der Größenordnung von F/1,7 bis F/2 ist und dessen Durchmesser in der Größenordnung von 4 - 8 Metern liegt.
DE1989603237 1988-03-17 1989-03-17 Variabler kompensator von sphaerischen aberrationen verschiedener ordnungen zur ueberpruefung der oberflaechenform eines asphaerischen spiegels und seine anwendung. Expired - Fee Related DE68903237T2 (de)

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