DE2454994A1

DE2454994A1 - Mikroskop-objektiv

Info

Publication number: DE2454994A1
Application number: DE19742454994
Authority: DE
Inventors: Auf Nichtnennung Antrag
Original assignee: Societe dOptique Precision Electronique et Mecanique SOPELEM SA
Current assignee: Societe dOptique Precision Electronique et Mecanique SOPELEM SA
Priority date: 1973-11-27
Filing date: 1974-11-20
Publication date: 1975-05-28
Also published as: DE2454994C3; AT351286B; DE2454994B2; ATA941274A; CH584417A5; GB1480403A; JPS5159647A

Description

Patentanwalt· Dlpl.-»ng. R. B η E T Z «eiv DIpI-Ing. K. LAMPRECHT

• Μ α η ehe η 22, St.lrudorf.tr. 11

310-23.43ΟΡ(23·. 431H) 20. 11. 1974

SOCIETE D¹OPTIQUE, PRECISION ELECTRONIQUE ET MECANIQUE - SOPELEM

Paris (Frankreich)

Mikroskop-Objektiv

Die Erfindung betrifft ein Trocken-Mikroskop-Objektiv, bei dem der Gegenstand vom Objektiv durch eine Luftschicht getrennt ist.

Das Objektiv gemäß der Erfindung ist für ein Mikroskop bestimmt, das mit einer Aufnahmelinse versehen ist, um ein Bild in der Brennebene des Okulars zu erzeugen. Das erfindungsgemäße Objektiv ist insbesondere bei einem Durchlicht-Prüfmikroskop oder bei einem Metallographie-Mikroskop anwendbar.

310-(73/94)-Me-r (13)

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Bei einem Mikroskop ändert sich die Auflösungsgrenze gemäß l/(n · sinu), mit η = Brechzahl des den Gegenstand vom Objektiv trennenden Stoffs (nämlich Luft bei einem Trockenobjektiv, mit n»l, u = halber Öffnungswinkel des Objektivs vom Gegenstand aus. Die Mikroskop-Objektive werden durch eine numerische Apertur genannte Zahl charakterisiert, nämlich η · sin u, insbesondere sin u bei einem Trockenobjektiv. Die Aberrationen, d.h. die Fehler, die die Bildqualität verfälschen, nehmen zu, wenn die numerische Apertur erhöht wird, um das Auflösungsvermögen zu erhöhen. Ein Mikroskop-Objektiv großer numerischer Apertur muß wegen verschiedener Aberrationen korrigiert werden.

Ein Mikroskop-Objektiv muß also wegen der chromatischen Aberration korrigiert werden. Bekanntlich ändert sich die Brechzahl lichtbrechender Stoffe, die üblicherweise die Objektivlinsen bilden, mit der Wellenlänge. Da der Gegenstandspunkt eine Quelle weißen Lichts ist, d.h. eine Überlagerung unendlich vieler monochromatischer Strahlungen, erzeugt das Objektiv unendlich viele monochromatische Bilder, die entlang der (optischen) Achse verteilt sind. Bekanntlich ergeben ein einfaches konvergierendes oder sammelndes System und ein divergierendes oder zerstreuendes System inverse oder umgekehrte Verteilungen der monochromatischen Bilder. Es ist daher eine Korrektur der chromatischen Aberrationen durch eine geeignete Wahl von Linsengläsern erreichbar.

ⁿd - 1 Ein optisches Glas ist durch den Parameter V = — jj- charak-

terisiert, der Zerstreuungs- oder Dispersionsvermögen oder Abbe-Zahl genannt wird, mit

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n_, η = gemessene Brechzahl der Spektrallinien C und F (rot und blau) von Wasserstoff,

η = gemessene Brechzahl der Spektrallinie d von Helium, deren

Wellenlänge zwischen denen der Spektrallinien C und F liegt.

Die mittlere Brechzahl η kennzeichnet selbst ebenfalls das Glas. Es

ⁿd - ⁿC ist auch eine PartialdisperSion bestimmbar, nämlich V ⁼"np n"n~ ·

Eine Sammellinse ist bestimmt durch einen gewissen Abstand zwischen den durch die Spektrallinien C und F erhaltenen Bildern. In gleicher Weise ist eine Zerstreulinse bestimmt durch einen gewissen Abstand zwischen den durch die Strahlen C und F erhaltenen Bildern. Beim Korrigieren des Chromatismus wird Übereinstimmung der den Spektrallinien C und F entsprechenden Bildern durch Zusammenfügen einer Zerstreulinse und einer Sammellinse erreicht, deren Gläser geeignet gewählt sind. Wenn die Korrektur erreicht ist, sind die durch die Spektrallinien G und F erhaltenen Bilder überlagert, wobei die durch die anderen Strahlungen (Spektrallinien d beispielsweise) erhaltenen Bilder von den genannten Bildern getrennt bleiben. Dies wird Sekundärehromatismus genannt. Ein für den Sekundärchromatismus korrigiertes Objektiv wird Apochromat genannt. Um den Sekundärchromatismus einer durch eine mit einer Zerstreulinse verklebten Sammellinse gebildeten Doppel linse zu verringern, müssen die Partialdispersionen V der Gläser im wesentlichen gleich sein.

Ein Mikroskop-Objektiv muß auch wegen der (Bild-)Feldkrümmung oder (Bild-)Feldwölbung korrigiert werden. Ein Optiksystem besitzt eine Aberration der Feldwölbung, wenn bei einem Gegenstandspunkt, der eine zur Achse senkrechte Ebene beschreibt, die Bildorte

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oder -stellen eine Drehfläche beschreiben, die sich von der Idealbildebene unterscheidet. Die Feldwölbung einer Linsenanordnung wird durch die Petzval-Summe gebildet, die bei dünnen Linsen gleich der Summe aller für die verschiedenen Linsen der Anordnung berechneten Größen l/n * F ist, mit F = Brennweite, η = Brechzahl des Glases. Daraus folgt, daß mit höheren Brechzahlen sich die Petzval-Summe dem Wert Null nähert und die Feldwölbung gering wird, und umgekehrt. Übrigens besitzt eine negative Linse oder Zerstreulinse eine negative Petzval-Summe, die den Gesamtwert der Petzval-Summe verringert.

Ein Mikroskop-Objektiv muß auch wegen der sphärischen Aberration korrigiert werden. Diese rein geometrische Aberration, die bei monochromatischem Licht erzeugt wird, besteht darin, daß bei einem einfach zerstreuenden System die Randstrahlen gekrümmter sind als die Mittelstrahlen, wobei ein Sammelsystem eine entgegengesetzte (sphärische) Aberration ergibt.

Ein Mikroskop-Objektiv muß im allgemeinen auch wegen des Stigmatismus korrigiert werden, eine erreichbare Bedingung, wenn alle vom Gegenstandspunkt austretenden Strahlen durch den Bildpunkt treten.

Es gibt bereits Apochromat-Mikroskop-Objektive, d. h. Objektive mit verringertem Sekundärchrom atism us. Das wird meist erreicht durch die Verwendung wenig brechender Flußspatkristalle (Fluorit), um einzelne bestimmte Bauteile des Objektivs herzustellen. Derartige Objektive haben aber stets den Nachteil, daß sie relativ kostspielig sind.

Es gibt übrigens Mikroskop-Objektive mit Feldwölbungs-Korrek-

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turv Kb Objektiv dieser Art ist z... B. in der FE-PS 1 310 259 beschrieben-

Es ist Aufgabe der Erfindung,; ein Mikroskop-Objektiv zn schaffen,, dessen Brennweite zwischen 2,5 und 8mm schwankt,, das eine große EMOTierisehe Apertur von etwa 0,75· besitzt, das mit einem ebenen Feld versehen ist,., dessen Petzval-Summe gering gegenüber einem: Objektiv vergleichbarer Brennweite ist, das einen verringerten Sekundärchromatismus besitzt_t und das vollkommen korrigiert ist für sphärische Aberration, fur Koma, für Astigmatismus,, wobei der Qfojiektivatiiszugj,, d., h. der Abstand! zwischen Gegenstand und dem erstem Bauteil des Objektivs,, beim Einstellen wichtig ist,_; und wobei dareh die Verwendung^ von Ftaß'spat h&i der Herstellung bestimmter- Linsen eine insbesondere bessere Korrektur des Sekundärehromatismus erreichbar ist.

Die Aufgabe^ wird bei einem Mikroskop-Objektiv der Brennweite f mit einer ersten linse positiver Brechkraft, die am Vorderende· des Objektivs nahe dem Gegenstand angeordnet und meniskenförmig ist und deren konkave Fläche zum Gegenstand gerichtet ist, einer zweiten Linse negativer Breehkraft, die am Hinterende des; Objektivs, angeordnet ist und deren konvexe Fläche zum Gegenstand gerichtet ist, drei Zwischen-DcippelMnsen. positiver Breehkraft, die jeweils aus einer mit einer Zerstreulinse verklebten Sammellinse bestehen, erfindungsg,emäß dadurch gelöst, daß die am; Vorderende angeordnete ersie Meniskenlinse eine· Brennweite von f - 2f besitzt, die- zweite Linse negativer Breehkraft eine weitere Doppellinse aus einer mit eimer Zers;treulinse verklebten Sammellinse ist,, deren Brechzahlen nahezu gleich, sind! undi

deren Fartialdispersionen weit atiseinanderliegen, mit einer Brennweite der weiteren· Boppelliose von -2Of- -10 £, die erste Doppellinse neben der zweitem linse negativer BrecMxaft angeordnet und aus Gläsern sehr unterschiedlicher Brechzahlen gebildet ist, und eine Brennweite von 12 f - 2Of IUiBd einen Abstand zur zweiten Linse negativer Brechtkraft von 1,5 f — 3,5 f besitzt, die zweite Boppellinse unmittelbar vor der ersten DoppeMünse angeordnet and aus Gläsern sehr unterschiedlicher BrecWkraft gebildet ist, deren Partialdispersionen nahezu identi seil sind, wan. eine Brennweite von Sf- 8 f und einen Abstand zur ersten BappeUiBse vom 0 - 0,2 f besitzt,, and die dritte Doppellinse zwischen der zweiten Doppellinse und der am Vorderende angeordneten ersten Meniskenlinse angeordnet und aas Gläsern hoher Brechzahl gebildet Ist, und eine Brennweite von 3 f - 5 f, einen Abstand zur zweiten Doppellinse von 0 - 0,2 f und einen Abstand zur ersten Meniskenlinse von 0■ — ©,2 f besitzt.

Die Erfinduing wird anhand der in der Zeichnung dargestellten Aas— führungsbeispiele näher erläMert, Es zeigen::

Fig;» 1 das erfindiumgsgemäfie Irocken-Mifaroskop-Objektiv,

Fig. 2_T 3,, 4 Kennlinien, di& die geonaetxiscHien; land chromatischen Aberrationen h^i dem in der Tabelle I wiedergegebenen AusflihrHiagsbeispiel des erfindungsgeniiaßen ObjeMivs darstellen,;

Fig. 5,, 6, 7 Kennlinien, die die geometrischen und ehr omatischen Aberrationen bei dem in der tabelle 11 wiedergegebenen Ausfä&anaaig;slieispiel des erfindiangjsg;eraäß'e]a· ObjeMivs darstellen.

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Das in Fig. 1 wiedergegebene Objektiv der Brennweite f zeigt in Richtung vom Gegenstand ins Unendliche fünf optische Bauteile 1 bis 5.

Das erste optische Bauteil oder die erste Linse 1, die am Vorderende des Objektivs nahe dem Gegenstand angeordnet ist, hat eine positive Brechkraft (ist sammelnd) mit einer Brennweite von f - 2f. Diese erste Linse 1 besitzt eine höhere Brechkraft als die anderen Bauteile, wie das üblich ist. Der Meniskus ist mit einer mit dem Radius r konkaven Fläche versehen, die zum Gegenstand gerichtet ist. Dieses Merkmal dient vorzugsweise zur Korrektur der sphärischen Aberration. Die Brechzahl und die Dispersion des die erste linse 1 bildenden Glases sind so gewählt, daß eine minimale Feldwölbung erzeugt wird und die Korrektur des Sekundärchromatismus erleichtert wird.

Das fünfte optische Bauteil oder die zweite Linse 5, die am Hinterende des Objektivs angeordnet ist, besteht aus einer Dublette oder Doppellinse mit negativer Brechkraft, die durch eine Zerstreulinse 52 und eine Sammellinse 51 gebildet ist, deren Brechzahlen nahezu gleich sind, aber deren Partialdispersionen sehr auseinanderliegen. Die Brennweite der zweiten Linse 5 beträgt von -2Of- - 10 f.

Das dazwischenliegende vierte optische Bauteil 4, das nahe der zweiten Linse 5 liegt, besteht aus einer ersten Doppellinse positiver Brechkraft, die aus einer mit einer Sammellinse 41 verklebten Zerstreulinse 42 besteht. Die Sammellinse 41 ist auf der Gegenstands- . seite, die Zerstreulinse 42 auf der Seite der zweiten Linse 5 angeordnet. Die Brennweite beträgt 12 f bis 20 f. Der Zwischenraum oder Abstand d. zwischen dem vierten Bauteil 4 und der zweiten Linse 5 be-

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■!■

trägt: 1,5 f <d < 2,5 f. Die Brechzahlen der Gläser der Zerstreulinse 42 und der Sammellinse 41 sind sehr verschieden, was vorteilhaft für die Korrektur sphärischer Aberrationen ist. Das dazwischenliegende dritte Bauteil 3, das unmittelbar vor dem vierten Zwischen-Bauteil 4 liegt, besteht aus einer zweiten Doppellinse positiver Brechkraft, die durch eine Sammellinse 32 und eine Zerstreulinse 31 gebildet ist, die zusammengeklebt sind. Die Brechzahlen der die beiden Linsen 31, 32 bildenden Gläser sind sehr verschieden. Die Partialdispersionen der Gläser sind nahezu identisch, was eine Doppellinse mit verringertem Sekundärchromatismus ergibt, d. h. die Bilder der Strahlen C, d, F fallen nahezu zusammen. Die Brennweite des dritten Zwischen-Bauteils 3 beträgt von 5 f - 8 f. Der Abstand d zwischen dem dritten Zwischen-Bauteil 3 und dem vierten Zwischen-Bauteil 4 beträgt: 0 < d < 0,2 f. Bei dem dritten Zwischen-Bauteil 3 ist im Gegensatz zum vierten Zwischen-Bauteil 4 die Sammellinse 32 zum hinteren fünften Bauteil oder der zweiten Linse 5 gerichtet, während die Zerstreulinse 31 auf der Gegenstandsseite angeordnet ist.

Das zweite Zwischen-Bauteil 2, das nahe der ersten meniskus- oder sichelförmigen Linse 1 angeordnet ist, ist eine dritte Doppellinse positiver Brechkraft, die durch eine Sammellinse 22 und eine Zerstreulinse 21 gebildet ist. Die Brechzahlen der Linsen 21, 22 sind größer als 1,7, was eine gute Feldwölbungs-Korrektur erlaubt. Die Brennweite dieser Doppellinse beträgt von 3 f - 5 f. Der Abstand d „

Zu

zwischen dem zweiten Zwischen-Bauteil 2 und dem dritten Zwischen-Bauteil 3 beträgt: 0 < d <0,2 f. Der Abstand d zwischen der ersten Linse 1 und dem zweiten Zwischen-Bauteil 2 beträgt: 0<d <0,2 f.

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Die Tabellen I, II und III geben beispielhafte Kennwerte für Ausführungsbeispiele des erfindungs gem äßen Objektivs wieder. Jede der Tabellen gibt für jede Linse des Objektivs an: Krümmungsradien, die Dicke, die mittlere Brechzahl, das Zerstreuungs vermögen γ>, die Partialdispersion \? und gibt im übrigen die Luft-Zwischenräume oder -Abstände zwischen den Bauteilen an. Die Korrektur dieses Objektivs wird erreicht durch eine Gegenstands-Deckschicht 6, deren Kennwerte in den Tabellen angegeben sind. Die übliche optische Konvention ist, daß alle konkaven Flächen in Richtung auf das einfallende Licht negative Radien und alle konvexen Flächen in Richtung auf das einfallende Licht positive Radien besitzen.

Die Tabelle I zeigt die Kennwerte eines Objektivs für 40fache Vergrößerung, eine Brennweite von 5 mm und eine numerische Apertur sin u = 0,75.

Die Fig. 2, 3 und 4 zeigen Kennlinien, die die geometrischen und chromatischen Aberrationen des genannten Objektivs wiedergeben.

In der Fig. 2 gibt die Ordinate h die Höhe eines parallel zur optischen Achse einfallenden Strahls gegenüber der optischen Achse wieder , wobei das Feld also Null und der Gegenstand im Unendlichen angeordnet ist. Die Fig. 2 zeigt gleichzeitig Kurven I, II, III, die den Strahlen verlaufen der (Spektrallinien-) Strahlungen F (0,4861 A), d (0,5876 S) bzw. C (0,6563 S) entsprechen. Die Punkte d, F, C auf der Abszisse geben die Lagen der monochromatischen Bilder für die Strahlungen d, F, C auf der optischen Achse wieder (axialer Chromatismus). Durch Wählen des Punkts d oder F oder C als Ausgangs-

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punkt oder Ursprung ist der Abstand zwischen dem Fokussierpunkt eines Strahlenverlaufs der der Höhe h entsprechenden Strahlung bestimmbar, sowie der Fokussierpunkt eines Strahlenverlaufs des Paraxial-Bereichs der gleichen Strahlung, wobei der Abstand das wiedergibt, was mit sphärischer Aberration bezeichnet wird.

Die Fig. 3 zeigt für die Spektrallinie d, abhängig vom Feldwinkel θ in Grad, den Abstand t in um von der Brennpunktsbrennfläche. Die Trennung der Abstands-Kurven s und t gibt den Astigmatismus wieder. Die Kurven s und t, die sich von der Brennpunkts ebene entfernen, zeigen übrigens auch die Feldwölbung.

Die Fig. 4 a besitzt als Abszisse die Höhe h eines einfallenden monochromatischen Lichtbündels (Spektrallinie d) auf das erste Diopter oder die erste Sehspalte, gemessen gegenüber dem Mittelstrahl für ein Halbfeld von 3 60'. Die Ordinate zeigt einerseits die Meridian-Ausbreitung oder -Streuung (Kurve i), d. h. die Bahn entlang der Meridian-Ebene des an der Brennpunktsebene austretenden Bündels, gemessen gegenüber der Bahn des Mittelstrahls, und andererseits die Extrameridian-Ausbreitung (Kurve 2), d. h. die Bahn des Bündels entlang der Extrameridian-Ebene.

Die Fig. 4 b zeigt als Kurve I die Kurve der Meridian-Ausbreitung und als Kurve II die Kurve der Extrameridian-Ausbreitung für ein Halbfeld von 2 .

Die Tabelle II zeigt'die Kennwerte eines Objektivs mit 40facher Vergrößerung, einer Brennweite von 5 mm und einer numerischen

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Apertur sin u = 0,75. Die Sammellinse. 41 besteht aus Flußspat. Die Zerstreulinse 32, die neben der Sammellinse 41 angeordnet ist, besteht ebenfalls aus Flußspat.

Die Fig. 5, 6, 7 zeigen Kennlinien, die die geometrischen und chromatischen Aberrationen des durch die Tabelle II bestimmten Objektivs wiedergeben.

In der Fig. 5 ist entlang der Ordinate die Höhe h eines parallel zur optischen Achse einfallenden Strahls gegenüber der optischen Achse wiedergegeben, wobei das Feld also Null und der Gegenstand im Unendlichen angeordnet ist. Die Fig. 5 zeigt gleichzeitig Kurven oder Kennlinien I, II, III, die den Strahlenverläufen der Strahlungen F (0,4861 A), d (0,5876 £) bzw. C (0,6563 %) entsprechen. Die Punkte d, F, C auf der Abszisse entsprechen den Lagen der monochromatischen Bilder für die Strahlungen d, F, C auf der optischen Achse (axialer Chromatismus). Durch Wählen der Punkte d oder F oder C als Ursprung kann der Abstand zwischen dem Fokussierpunkt eines Strahlenverlaufs der der Höhe h entsprechenden Strahlung und der, Fokussierpunkt eines Strahlenverlaufs des Paraxial-Bereichs der gleichen Strahlung bestimmt werden, wobei der Abstand das wiedergibt, was mit sphärischer Aberration bezeichnet wird.

Die Fig. 6 zeigt für die Spektrallinie d, abhängig vom Feldwinkel in Grad,- den Abstand d in um von der Brennpunktebene zur Tangentialbrennfläche bzw. den Abstand s zur Sagitalbrennfläche.

Die Fig. 7 a zeigt als Abszisse die Höhe h eines einfallenden Licht -

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bündeis monochromatischen Lichts (Spektrallinie d) auf das erste Diopter, gemessen gegenüber dem Mittelstrahlenverlauf für ein Halbfeld von 2 867'. Die Ordinate zeigt einerseits die Meridian-Ausbreitung (Kurve i), d. h. die Bahn entlang der Meridian-Ebene des auf der Brennpunktsebene austretenden Strahlenbündels, gemessen gegenüber der Bahn des Mittelstrahls, und andererseits die Extrameridian-Ausbreitung (Kurve II), d. h. die Bahn des Bündels entlang der Extrameridian-Ebene.

Die Fig. 7b zeigt als Kurve I die Kurve der Meridian-Ausbreitung und als Kurve II die Kurve der Extrameridian-Ausbreitung für ein Halbfeld von 2 .

Die Tabelle III zeigt die Kennwerte eines erfindungsgemäßen Mikroskop-Objektivs mit einer Brennweite von 3,125 mm, einer numerischen Apertur von 0,8 und einer 63fachen Vergrößerung.

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Tabelle I

Bauteil oder Abstand Linse Krümmungsradien

Linsendicke Brechzahl oder Abstand H

Zerstreuungs vermögen γ

Partialdispersion

	Schicht	6	1	d	2
cn
O
to
OO	Abstand	d
ro	Bauteil
ο
to
(O	Abstand

	Bauteil

Abstand d
Bauteil. 3

23

21 22

31 32

= co

= CO

r = + 3,18 r₁₂ = + 2,611

T₂₁ = +200,2 r = - 82,28

^r22 ^{= + 12}'⁵⁷ e₆=O,17 d_6l - 0,70

e_{1 =} 3
d_l2 - 0,6

= 2
= 4

= 0,2

1,5265

1,58894

1,8051 1,73335

60,6

25,5 51,4

Abstand d

34

	= - 247,	5 , ·	^e31	= 2	,2	1	,69650	36	,4
ο 1 *^TW*	= - 10,	66	^e32	= 6	,2	1	,48043	81	,0
Oo ^r32	= + 10,	75	^d34	= 0

0,3002 ι

0,288 0,300

0,2970 0,3018

Bauteil oder Abstand

Linse

Krümmungsradien Linsendicke Brechzahl oder Abstand Ti

Zerstreuungsvermögen·

Partialdispersion

Bauteil

O Abstand

co Bauteil, ISJ

41 42	^r41 r 43 ^r42	= - 42,52 = + 13,98 = + 38,54
	^r51	=- 11,86
	^r53	= - 25
	^r52	= - 8,41

3	1,48043	81,0	0,3018	ro
1	1,7408	28,1	0,289	;549
9,8				co
2	1,58406	37,0	0,2928
1	1,58784	68,2	0,3081

Tabelle II

'.,'»,.,., τ· ν ·· j· Linsendicke Brechzahl Zerstreuungs- Partial-

Bauteil oder Abstand Linse Krümmungsradien ^ _Au_₄ , ^_ ^a

oder Abstand

vermögen

dispersion

Schicht 6

Abstand d Bauteil 1

61

Abstand d Bauteil 2

NJ CO OO

Abstand d Bauteil 3

23

Abstand d

34

Bauteil 4 Abstand d

21

22

31

32

41

42

^r61 - °° r,„ = oo

= 0,17

1,52278

^d6l ⁼ °'⁴⁰

45

	= +	2,999	^ei ⁼	3,	00	1,	61484	51	,1	0	,3000	*	ro
U	= +	2,668	^d12 ■	o,	56							m	cn
			21	2	,00	1,	8046	25	,5	0	,288		co
j ^r21	= +	110,700											co
^r23	= -	33,9820	^e22 ⁼	4	,00	1,	7337	51	,1	0	,300
\ ^r22	= +	11,955	^d23 =	0	,20		■
			^e31 =	2	,00	1,	69632	36	,4	0	,2970
^r31	= -	71,433
^Γ33	= -	10,897	^e32 ⁼	6	,20	1,	43388	95	,4	0	,2989
^Γ32	= +	10,431	^d34 ⁼	0	,20
			^e41 "	3	,00	i,	43388	95	,4	0	,2989
^r41	= -	37,250
^{1 Γ}43	= +	16,807	^e42 ⁼	1	,00	1,	74098	28	,1	0	,289
( ^r42	= +	41,400	^d45 =	9	,80

Bauteil oder Abstand Linse Krümmungsradien

• Linsendicke Brechzahl
oder Abstand Π

Zerstreuungs- Partial-

. vermögen
V

dispersion

Bauteil 5

CO OO NJ NJ

51

52

f ^Γ51 ⁼	- 11	,196	^e51	= 2	,00	1	,54765	42	,2	0	,2952
' Γ =	- 43	,550
^Γ52 ■	- 8	,000	^e52	= 1	,00	1	,55232	63	,4	0	,3069

cn

co co

Tabelle III

Bauteil oder Abstand Linse Krümmungsradien

Linsendicke oder Abstand

Brechzahl

Zerstreuungsvermögen V

Partialdispersion

Schicht 6

Abstand d Bauteil 1

Abstand c Bauteil 2

61

Abstand Bauteil 3

Abstand d Bauteil-4

34

21 22

31 32

41 42

61

62

= 2,453 = 1,946

= +698,9 = - 50,93 = + 7,815

= - 114,7 = - 7,442 = + 7,517

= - 21,618 = + 8,019 = + 23,792

=0,17

d = 0,3

^d12 ⁼ °'³⁸

^e21 ^{= 1t3} e₀₀ = 2,55

= 3,95

1,526

Abstand d

45

^e41 ^{= 1}^⁹

^e42 ⁼ °'⁶⁵ d₄₅ = 6,22

1,58894

1,8051
1,73350

1,69650
1,48043

1,48043
1,74080

60,6

25,5 51,4

36,4 81,43

81,43 28,09

0,3002

0,288 0,300

0,2970 0,3018

0,3081 0,289

-P-CD CD

Bauteil oder Abstand Linse Krümmungsradien

Linsendicke Brechzahl
oder Abstand γι

Zerstreuungs- Partial-

vermögen dispersion

y . ρ

Bauteil 5

cn ο co oo

O N> CD OO

	r =	- 9	,587
51	51
52	^r53 ⁼ )r =	- 5	50 ,564

= 0,65

1,58406
1,58784

37,04
68,25

0,2928 0,3081

Claims

Patentansprüche

einer ersten Linse positiver Brechkraft, die am Vorderende des Objektivs nahe dem Gegenstand angeordnet und meniskenförmig ist und deren konkave Fläche zum Gegenstand gerichtet ist,

einer zweiten Linse negativer Brechkraft, die am Hinterende des Objektivs angeordnet ist und deren konvexe Fläche zum Gegenstand gerichtet ist,

drei Zwischen-Doppellinsen positiver Brechkraft, die jeweils aus einer mit einer Zerstreulinse verklebten Sammellinse bestehen,

dadurch gekennzeichnet, daß

die am Vorderende angeordnete erste Meniskenlinse (l) eine Brennweite von f - 2f besitzt,

die zweite Linse (5) negativer Brechkraft eine weitere Doppellinse aus einer mit einer Zerstreulinse (52) verklebten Sammellinse (51) ist, deren Brechzahlen nahezu gleich sind und deren Partialdispersionen weit auseinanderliegen, mit einer Brennweite der weiteren Doppellinse (51 - 52) von - 20 f - - 10 f,

die erste Doppellinse (41 - 42) neben der zweiten Linse (5)

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negativer Brechkraft angeordnet und aus Gläsern sehr unterschiedlicher Brechzahlen gebildet ist und eine Brennweite von 12 f - 2Of und einen Abstand (d ) zur zweiten Linse (5) negativer Brechkraft von 1,5 f bis 3,5 f besitzt,

die zweite Doppellinse (31 - 32) unmittelbar vor der ersten Doppellinse (41 - 42) angeordnet und aus Gläsern sehr unterschiedlicher Brechkraft gebildet ist, deren Partialdispersionen nahezu identisch sind und eine Brennweite von 5 f - 8 f und einen Abstand (d ) zur ersten Doppellinse (41 - 42) von 0 - 0,2 f besitzt, und

die dritte Doppellinse (21 - 22) zwischen der zweiten Doppellinse (31 - 32) und der am Vorderende angeordneten ersten Meniskenlinse (l) angeordnet und aus Gläsern hoher Brechzahl gebildet ist und eine Brennweite von 3 f - 5 f, einen Abstand (d ) zur zweiten Doppellinse (31 - 32) von 0 - 0,2 f und einen Abstand (d ) zur

ersten Meniskenlinse (1) von 0 - 0,2 f besitzt.
2. Mikroskop-Objektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei der ersten Doppellinse (41, 42) die Sammellinse (41) und bei der zweiten Doppellinse (31, 32) die Zerstreuungslinse (32) auf der Gegenstandsseite angeordnet sind.
3. Mikroskop-Objektiv nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine der Sammellinsen (32, 41) der ersten Doppellinse (41 - 42) und der zweiten Doppellinse (31 - 32) aus Flußspat besteht.

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