DE2803967B2 - Mikroskopobjektiv mit vier Linsengliedern - Google Patents

Mikroskopobjektiv mit vier Linsengliedern

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Mikroskopobjektiv mit vier Linsengliedern, dessen erstes Linsenglied positiv ist.
Als Objektive vom Plan-Typ für Mikroskope sind Objektive bekannt, die zwei Doppelglieder oder vier Einzelglieder usw. enthalten. Die meisten der bekannten Objektive dieser Art mit niedriger Vergrößerung für Mikroskope haben eine geringe numerische Apertur von ungefähr 0,1 und Arbeitsabstände von etwa 0,2, wenn diese Größen auf f = 1 bezogen sind. Weiter erweisen sich diese Mikroskopobjektive vom Standpunkt der Bildfehlerkorrektur nicht als zufriedenstellend, da Koma nicht gut korrigiert ist und relativ große Astigmatismusdifferenzen bei diesen Mikroskopobjektiven vorliegen.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Objektiv für Mikroskope anzugeben, das eine verhältnismäßig große numerische Apertur und einen langen Arbeitsabstand besitzt und bei dem die Aberrationen gut korrigiert sind.
Dies wird erfindungsgemäß erreicht durch die in den Ansprüchen gekennzeichneten Merkmale.
Die Erfindung wird nun mit Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert.
In den Zeichnungen zeigt
Fig. 1 eine schematische Schnittansicht von Objektiven 1 und 2 nach der vorliegenden Erfindung,
Fig. 2 Korrekturkurven des Objektivs 1,
Fig. 3 Korrekturkurven des Objektivs 2,
Fig. 4 eine schematische Schnittansicht der Objektive 3, 5 und 6,
Fig. 5 Korrekturkurven des Objektivs 3,
Fig. 6 eine schematische Schnittansicht des Aufbaus des Objektivs 4,
Fig. 7 Korrekturkurven des Objektivs 4,
Fig. 8 Korrekturkurven des Objektivs 5 und
Fig. 9 Korrekturkurven des Objektivs 6.
Der Objektivaufbau ist in Fig. 1, Fig. 4 oder Fig. 6 schematisch dargestellt. Daraus ist ersichtlich, daß die Objektive vier Linsenglieder aufweisen, und zwar ein erstes positives Linsenglied, ein zweites meniskusförmiges Einzel- oder Kittglied, ein drittes negatives Kittglied und ein viertes positives Linsenglied. Für die Lösung der der Erfindung zugrundeliegenden Aufgabe hat sich dabei die Einhaltung der folgenden Bedingungen aus den nachstehend im einzelnen angeführten Gründen als wesentlich erwiesen.
f/4 < d[tief]6 + d[tief]7 < f/1,5 (1)
0,1f < r[tief]5 < 0,35f (2)
0,1f < -r[tief]6 < 0,35f
kleines Ny[tief]2 > 40 (3)
kleines Ny[tief]5, kleines Ny[tief]6 > 55
kleines Ny[tief]4 < 40
Darin bezeichnen
d[tief]6 + d[tief]7 die Dicke des dritten Linsenglieds,
r[tief]5 und r[tief]6 die Krümmungsradien auf der bildseitigen Oberfläche des zweiten Linsenglieds und auf der gegenstandsseitigen Oberfläche des dritten Linsenglieds,
kleines Ny[tief]2, kleines Ny[tief]4,
kleines Ny[tief]5 und kleines Ny[tief]6 die Abbe-Zahlen des zweiten Linsenglieds (oder der gegenstandsseitigen Linse des zweiten Linsenglieds, wenn dies ein Kittglied ist), der beiden Linsen des dritten Linsenglieds und des vierten Linsenglieds,
f Brennweite des Objektivs.
Bei dem Entwurf eines solchen Objektivs für Mikroskope mit langem Arbeitsabstand und großer numerischer Apertur, wie es mit der vorliegenden Erfindung geschaffen ist, besteht die größte Schwierigkeit in der guten Korrektur chromatischer Aberration. Das heißt, es ist besonders wichtig, eine möglichst gute chromatische Aberration innerhalb eines praktisch zulässigen Bereiches zu erhalten, in dem die Linsen entsprechend gewählt, angeordnet, aus geeigneten Glassorten hergestellt und die Verteilung der Brechkräfte entsprechend vorgenommen wird.
Um chromatische Aberration gut zu korrigieren, ist es notwendig, die Dispersion der Strahlen auf der Gegenstandsseite in einem engen Bereich zu begrenzen. Aus diesem Grund muß ein dickes Linsenglied in einem Bereich nahe dem zu betrachtenden Gegenstand angeordnet werden, wo die Strahlen große Winkel relativ zur optischen Achse haben. Wenn jedoch ein dickes Linsenglied nahe dem Gegenstand angeordnet ist, widerspricht dies der der Erfindung zugrundeliegenden Aufgabe, den Arbeitsabstand zu vergrößern. Daher verwendet das Objektiv ein dickes Linsenglied (als drittes Linsenglied) in der hinteren Linsengruppe, welches als Kittglied zur Korrektur chromatischer Aberration ausgebildet ist. Die Dicke (d[tief]6 + d[tief]7) des dritten Linsenglieds ist so gewählt, daß sie in dem durch die Bedingung (1) gegebenen Rahmen liegt. Wenn d[tief]6 + d[tief]7 kleiner als f/4 ist, wird Koma extrem groß, d.h. die Symmetrie ist verschlechtert. Wenn d[tief]6 + d[tief]7 f/1,5 übersteigt, ist es andererseits schwierig, chromatische Aberration gut zu korrigieren.
Als Objektiv mit flacher Bildschale sind Objektive bekannt, bei denen ein Linsenglied in der hinteren Linsengruppe eine stark konkave Oberfläche bildseitig hat. Dieser Objektivtyp hat jedoch den Nachteil großer chromatischer Aberration. Weiter sind Objektive bekannt, die so ausgebildet sind, daß sie eine flache Bildschale dadurch gewährleisten, daß eine starke Meniskuslinse als Frontlinse vorgesehen ist und daß der gegenstandsseitigen konkaven Oberfläche des Frontlinsengliedes eine starke negative Brechkraft verliehen wird. Ein solches Objektiv hat jedoch den Nachteil eines kurzen wirksamen Arbeitsabstandes. Aus dem gleichen Grunde ist es weiter unzweckmäßig, die Dicke des Frontlinsengliedes groß zu machen.
Das Objektiv ist als ein Objektiv vom Gauß-Typ ausgebildet, um vorzugsweise eine Korrektur der Bildfeldkrümmung durch ein Frontlinsenglied zu bewirken und diese Korrektur durch andere Linsenglieder fortzuführen. Genauer gesagt, bei dem Objektiv sind die Krümmungsradien r[tief]5 und r[tief]6 auf den einander gegenüberliegenden Seiten des zweiten und dritten Linsenglieds in den durch die Bedingung (2) gegebenen Grenzen gewählt, um die Bildfeldkrümmung gut zu korrigieren. Wenn die oberen Grenzwerte der Bedingung (2) überschritten werden, wird die Petzval-Summe vergrößert, wodurch die Ebenheit des Bildfeldes verringert ist. Wenn die Krümmungsradien r[tief]5 und -r[tief]6 kleiner als die unteren Grenzwerte sind, ist Koma stark, wodurch es unmöglich wird, einen guten Ausgleich zwischen Petzval-Summe und Koma zu erzielen.
Schließlich wird die chromatische Aberration bei dem Objektiv gut korrigiert durch Wahl von großen Abbe-Zahlen für die Linsenglieder, wie es in der Bedingung (3) ausgedrückt ist und durch Verwendung einer Kombination von Materialien hoher und niedriger Dispersion für das dritte Linsenglied.
Es erscheint unmöglich, chromatische Aberration gut zu korrigieren, wenn der Bedingung (3) nicht genügt ist.
Im folgenden sind die numerischen Daten von Objektiven 1 bis 6 angegeben.
Tabelle 1
f = 1,0 N.A. = 0,13 W.D. = 0,3638
r[tief]1 = 1,0662
d[tief]1 = 0,0774 n[tief]1 = 1,77250 kleines Ny[tief]1 = 49,60
r[tief]2 = -0,5293
d[tief]2 = 0,0285
r[tief]3 = 0,2136
d[tief]3 = 0,0892 n[tief]2 = 1,75500 kleines Ny[tief]2 = 52,33
r[tief]4 = 0,8616
d[tief]4 = 0,0334 n[tief]3 = 1,73520 kleines Ny[tief]3 = 41,08
r[tief]5 = 0,1374
d[tief]5 = 0,1628
r[tief]6 = -0,1352
d[tief]6 = 0,2434 n[tief]4 = 1,59270 kleines Ny[tief]4 = 35,29
r[tief]7 = 0,8439
d[tief]7 = 0,0941 n[tief]5 = 1,49700 kleines Ny[tief]5 = 81,34
r[tief]8 = -0,2823
d[tief]8 = 0,0214
r[tief]9 = 8,8577
d[tief]9 = 0,1143 n[tief]6 = 1,62041 kleines Ny[tief]6 = 60,27
r[tief]10 = -0,6290
Tabelle 2
f = 1,0 N.A. = 0,13 W.D. = 0,3603
r[tief]1 = 0,9961
d[tief]1 = 0,0713 n[tief]1 = 1,79500 kleines Ny[tief]1 = 45,27
r[tief]2 = -0,6766
d[tief]2 = 0,0238
r[tief]3 = 0,2095
d[tief]3 = 0,0911 n[tief]2 = 1,75500 kleines Ny[tief]2 = 52,33
r[tief]4 = 0,7694
d[tief]4 = 0,0371 n[tief]3 = 1,73520 kleines Ny[tief]3 = 41,08
r[tief]5 = 0,1352
d[tief]5 = 0,1771
r[tief]6 = -0,1362
d[tief]6 = 0,2283 n[tief]4 = 1,59270 kleines Ny[tief]4 = 35,29
r[tief]7 = 0,8967
d[tief]7 = 0,0797 n[tief]5 = 1,49700 kleines Ny[tief]5 = 81,34
r[tief]8 = -0,2796
d[tief]8 = 0,0146
r[tief]9 = 6,5466
d[tief]9 = 0,1098 n[tief]6 = 1,62041 kleines Ny[tief]6 = 60,27
r[tief]10 = -0,5686
Tabelle 3
f = 1,0 N.A. = 0,13 W.D. = 0,4190
r[tief]1 = 3,3947
d[tief]1 = 0,0894 n[tief]1 = 1,80610 kleines Ny[tief]1 = 40,95
r[tief]2 = -0,6104
d[tief]2 = 0,0249
r[tief]3 = 0,2267
d[tief]3 = 0,0991 n[tief]2 = 1,77250 kleines Ny[tief]2 = 49,60
r[tief]4 = -0,3508
d[tief]4 = 0,0275 n[tief]3 = 1,72000 kleines Ny[tief]3 = 42,08
r[tief]5 = 0,1658
d[tief]5 = 0,1362
r[tief]6 = -0,1420
d[tief]6 = 0,2922 n[tief]4 = 1,59270 kleines Ny[tief]4 = 35,29
r[tief]7 = 0,7763
d[tief]7 = 0,1122 n[tief]5 = 1,49700 kleines Ny[tief]5 = 81,34
r[tief]8 = -0,3476
d[tief]8 = 0,0213
r[tief]9 = 3,2004
d[tief]9 = 0,1253 n[tief]6 = 1,62041 kleines Ny[tief]6 = 60,27
r[tief]10 = -0,7606
Tabelle 4
f = 1,0 N.A. = 0,13 W.D. = 0,3781
r[tief]1 = 1,5323
d[tief]1 = 0,0758 n[tief]1 = 1,75500 kleines Ny[tief]1 = 52,33
r[tief]2 = -0,5965
d[tief]2 = 0,0075
r[tief]3 = 0,1647
d[tief]3 = 0,0659 n[tief]2 = 1,77250 kleines Ny[tief]2 = 49,60
r[tief]5 = 0,1435
d[tief]5 = 0,2139
r[tief]6 = -0,1196
d[tief]6 = 0,2262 n[tief]4 = 1,59270 kleines Ny[tief]4 = 35,29
r[tief]7 = 0,7513
d[tief]7 = 0,1088 n[tief]5 = 1,49250 kleines Ny[tief]5 = 81,90
r[tief]8 = -0,2819
d[tief]8 = 0,0262
r[tief]9 = 10,9245
d[tief]9 = 0,1125 n[tief]6 = 1,62041 kleines Ny[tief]6 = 60,27
r[tief]10 = -0,6141
Tabelle 5
f = 1,0 N.A. = 0,13 W.D. = 0,4327
r[tief]1 = 0,4378
d[tief]1 = 0,0788 n[tief]1 = 1,75500 kleines Ny[tief]1 = 52,33
r[tief]2 = -1,5332
d[tief]2 = 0,0072
r[tief]3 = 0,2984
d[tief]3 = 0,0719 n[tief]2 = 1,76200 kleines Ny[tief]2 = 40,20
r[tief]4 = -0,6620
d[tief]4 = 0,0249 n[tief]3 = 1,61340 kleines Ny[tief]3 = 43,84
r[tief]5 = 0,1665
d[tief]5 = 0,1372
r[tief]6 = -0,1427
d[tief]6 = 0,3226 n[tief]4 = 1,66680 kleines Ny[tief]4 = 33,04
r[tief]7 = 1,3593
d[tief]7 = 0,1094 n[tief]5 = 1,49700 kleines Ny[tief]5 = 81,60
r[tief]8 = -0,3215
d[tief]8 = 0,0214
r[tief]9 = 2,1861
d[tief]9 = 0,0864 n[tief]6 = 1,62041 kleines Ny[tief]6 = 60,27
r[tief]10 = -0,9447
Tabelle 6
f = 1,0 N.A. = 0,13 W.D. = 0,4286
r[tief]1 = 0,4452
d[tief]1 = 0,0779 n[tief]1 = 1,80610 kleines Ny[tief]1 = 40,95
r[tief]2 = -2,3115
d[tief]2 = 0,0071
r[tief]3 = 0,2937
d[tief]3 = 0,0698 n[tief]2 = 1,77250 kleines Ny[tief]2 = 49,60
r[tief]4 = -0,9199
d[tief]4 = 0,0246 n[tief]3 = 1,61340 kleines Ny[tief]3 = 43,84
r[tief]5 = 0,1663
d[tief]5 = 0,1513
r[tief]6 = -0,1478
d[tief]6 = 0,3137 n[tief]4 = 1,64769 kleines Ny[tief]4 = 33,80
r[tief]7 = 1,2115
d[tief]7 = 0,1124 n[tief]5 = 1,49250 kleines Ny[tief]5 = 81,90
r[tief]8 = -0,3252
d[tief]8 = 0,0226
r[tief]9 = 2,1795
d[tief]9 = 0,0849 n[tief]6 = 1,62041 kleines Ny[tief]6 = 60,27
r[tief]10 = -0,9458
Darin bezeichnen
r[tief]1 bis r[tief]10 die Krümmungsradien der Linsen,
d[tief]1 bis d[tief]9 die Dicken der Linsen bzw. der Luftabstände zwischen diesen,
n[tief]1 bis n[tief]6 die Brechungsindizes der Linsen und
kleines Ny[tief]1 bis kleines Ny[tief]6 die Abbe-Zahlen der Linsen,
f die normierte Brennweite,
N.A. die numerische Apertur,
W.D. den Arbeitsabstand.
Die Objektive 1 und 2 haben den schematisch in Fig. 1 dargestellten Aufbau, während das Objektiv 3 den in Fig. 4 gezeigten Aufbau besitzt. Diese Objektive besitzen alle ein meniskusförmiges Kittglied als zweites Linsenglied. Das Objektiv 4 hat den in Fig. 6 schematisch dargestellten Aufbau, bei dem das zweite Linsenglied ein meniskusförmiges Einzelglied ist und daher fehlen Angaben für r[tief]4, d[tief]4, n[tief]3 oder kleines Ny[tief]3. Die Objektive 5 und 6 haben ebenfalls den schematisch in Fig. 4 dargestellten Aufbau.
Wie sich aus den Daten und Korrekturkurven ergibt, haben die erfindungsgemäßen Objektive größere numerische Apertur und größeren Arbeitsabstand als übliche Objektive ähnlichen Aufbaus. Weiterhin ist gegenüber üblichen Objektiven dieses Typs, welche beträchtliche sphärische Aberration für die g-Linie hervorrufen, bei den Objektiven nach der Erfindung sphärische Aberration auf ungefähr das halbe Niveau herabgesetzt und es sind Koma und Astigmatismusdifferenz besser korrigiert.

Claims (6)

1. Mikroskopobjektiv mit vier Linsengliedern, dessen erstes Linsenglied positiv ist, gekennzeichnet durch folgende Daten:
Tabelle 1
f = 1,0 N.A. = 0,13 W.D. = 0,3638
r[tief]1 = 1,0662
d[tief]1 = 0,0774 n[tief]1 = 1,77250 kleines Ny[tief]1 = 49,60
r[tief]2 = -0,5293
d[tief]2 = 0,0285
r[tief]3 = 0,2136
d[tief]3 = 0,0892 n[tief]2 = 1,75500 kleines Ny[tief]2 = 52,33
r[tief]4 = 0,8616
d[tief]4 = 0,0334 n[tief]3 = 1,73520 kleines Ny[tief]3 = 41,08
r[tief]5 = 0,1374
d[tief]5 = 0,1628
r[tief]6 = -0,1352
d[tief]6 = 0,2434 n[tief]4 = 1,59270 kleines Ny[tief]4 = 35,29
r[tief]7 = 0,8439
d[tief]7 = 0,0941 n[tief]5 = 1,49700 kleines Ny[tief]5 = 81,34
r[tief]8 = -0,2823
d[tief]8 = 0,0214
r[tief]9 = 8,8577
d[tief]9 = 0,1143 n[tief]6 = 1,62041 kleines Ny[tief]6 = 60,27
r[tief]10 = -0,6290
oder durch Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch eine Variation zunächst einer der folgenden Größen entstehen
f/4 < d[tief]6 + d[tief]7 < f/1,5 (1)
0,1f < r[tief]5 < 0,35f (2)
0,1f < -r[tief]6 < 0,35f
kleines Ny[tief]2 > 40 (3)
kleines Ny[tief]5, kleines Ny[tief]6 > 55
kleines Ny[tief]4 < 40
darin bezeichnen
r[tief]1 bis r[tief]10 die Krümmungsradien der Linsen,
d[tief]1 bis d[tief]9 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,
n[tief]1 bis n[tief]6 die Brechungsindizes der Linsen,
kleines Ny[tief]1 bis kleines Ny[tief]6 die Abbe-Zahlen der Linsen,
f die normierte Brennweite,
N.A. die numerische Apertur und
W.D. den Arbeitsabstand
wobei für die jeweils restlichen Daten des gesamten Datensatzes eine Variation innerhalb des lückenlos um diese Daten liegenden Bereiches erfolgt, in welchem sich ein Zerstreuungskreisdurchmesser von maximal dem 1,2fachen des Zerstreuungskreises beim Ausgangsdatensatz ergibt.
2. Mikroskopobjektiv mit vier Linsengliedern, dessen erstes Linsenglied positiv ist, gekennzeichnet durch folgende Daten:
Tabelle 2
f = 1,0 N.A. = 0,13 W.D. = 0,3603
r[tief]1 = 0,9961
d[tief]1 = 0,0713 n[tief]1 = 1,79500 kleines Ny[tief]1 = 45,27
r[tief]2 = -0,6766
d[tief]2 = 0,0238
r[tief]3 = 0,2095
d[tief]3 = 0,0911 n[tief]2 = 1,75500 kleines Ny[tief]2 = 52,33
r[tief]4 = 0,7694
d[tief]4 = 0,0371 n[tief]3 = 1,73520 kleines Ny[tief]3 = 41,08
r[tief]5 = 0,1352
d[tief]5 = 0,1771
r[tief]6 = -0,1362
d[tief]6 = 0,2283 n[tief]4 = 1,59270 kleines Ny[tief]4 = 35,29
r[tief]7 = 0,8967
d[tief]7 = 0,0797 n[tief]5 = 1,49700 kleines Ny[tief]5 = 81,34
r[tief]8 = -0,2796
d[tief]8 = 0,0146
r[tief]9 = 6,5466
d[tief]9 = 0,1098 n[tief]6 = 1,62041 kleines Ny[tief]6 = 60,27
r[tief]10 = -0,5686
oder durch Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch eine Variation zunächst einer der folgenden Größen entstehen
f/4 < d[tief]6 + d[tief]7 < f/1,5 (1)
0,1f < r[tief]5 < 0,35f (2)
0,1f < -r[tief]6 < 0,35f
kleines Ny[tief]2 > 40 (3)
kleines Ny[tief]5, kleines Ny[tief]6 > 55
kleines Ny[tief]4 < 40
darin bezeichnen
r[tief]1 bis r[tief]10 die Krümmungsradien der Linsen,
d[tief]1 bis d[tief]9 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,
n[tief]1 bis n[tief]6 die Brechungsindizes der Linsen,
kleines Ny[tief]1 bis kleines Ny[tief]6 die Abbe-Zahlen der Linsen,
f die normierte Brennweite,
N.A. die numerische Apertur und
W.D. den Arbeitsabstand
wobei für die jeweils restlichen Daten des gesamten Datensatzes eine Variation innerhalb des lückenlos um diese Daten liegenden Bereiches erfolgt, in welchem sich ein Zerstreuungskreisdurchmesser von maximal dem 1,2fachen des Zerstreuungskreises beim Ausgangsdatensatz ergibt.
3. Mikroskopobjektiv mit vier Linsengliedern, dessen erstes Linsenglied positiv ist, gekennzeichnet durch folgende Daten:
Tabelle 3
f = 1,0 N.A. = 0,13 W.D. = 0,4190
r[tief]1 = 3,3947
d[tief]1 = 0,0894 n[tief]1 = 1,80610 kleines Ny[tief]1 = 40,95
r[tief]2 = -0,6104
d[tief]2 = 0,0249
r[tief]3 = 0,2267
d[tief]3 = 0,0991 n[tief]2 = 1,77250 kleines Ny[tief]2 = 49,60
r[tief]4 = -0,3508
d[tief]4 = 0,0275 n[tief]3 = 1,72000 kleines Ny[tief]3 = 42,08
r[tief]5 = 0,1658
d[tief]5 = 0,1362
r[tief]6 = -0,1420
d[tief]6 = 0,2922 n[tief]4 = 1,59270 kleines Ny[tief]4 = 35,29
r[tief]7 = 0,7763
d[tief]7 = 0,1122 n[tief]5 = 1,49700 kleines Ny[tief]5 = 81,34
r[tief]8 = -0,3476
d[tief]8 = 0,0213
r[tief]9 = 3,2004
d[tief]9 = 0,1253 n[tief]6 = 1,62041 kleines Ny[tief]6 = 60,27
r[tief]10 = -0,7606
oder durch Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch eine Variation zunächst einer der folgenden Größen entstehen
f/4 < d[tief]6 + d[tief]7 < f/1,5 (1)
0,1f < r[tief]5 < 0,35f (2)
0,1f < -r[tief]6 < 0,35f
kleines Ny[tief]2 > 40 (3)
kleines Ny[tief]5, kleines Ny[tief]6 > 55
kleines Ny[tief]4 < 40
darin bezeichnen
r[tief]1 bis r[tief]10 die Krümmungsradien der Linsen,
d[tief]1 bis d[tief]9 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,
n[tief]1 bis n[tief]6 die Brechungsindizes der Linsen,
kleines Ny[tief]1 bis kleines Ny[tief]6 die Abbe-Zahlen der Linsen,
f die normierte Brennweite,
N.A. die numerische Apertur und
W.D. den Arbeitsabstand
wobei für die jeweils restlichen Daten des gesamten Datensatzes eine Variation innerhalb des lückenlos um diese Daten liegenden Bereiches erfolgt, in welchem sich ein Zerstreuungskreisdurchmesser von maximal dem 1,2fachen des Zerstreuungskreises beim Ausgangsdatensatz ergibt.
4. Mikroskopobjektiv mit vier Linsengliedern, dessen erstes Linsenglied positiv ist, gekennzeichnet durch folgende Daten:
Tabelle 4
f = 1,0 N.A. = 0,13 W.D. = 0,3781
r[tief]1 = 1,5323
d[tief]1 = 0,0758 n[tief]1 = 1,75500 kleines Ny[tief]1 = 52,33
r[tief]2 = -0,5965
d[tief]2 = 0,0075
r[tief]3 = 0,1647
d[tief]3 = 0,0659 n[tief]2 = 1,77250 kleines Ny[tief]2 = 49,60
r[tief]5 = 0,1435
d[tief]5 = 0,2139
r[tief]6 = -0,1196
d[tief]6 = 0,2262 n[tief]4 = 1,59270 kleines Ny[tief]4 = 35,29
r[tief]7 = 0,7513
d[tief]7 = 0,1088 n[tief]5 = 1,49250 kleines Ny[tief]5 = 81,90
r[tief]8 = -0,2819
d[tief]8 = 0,0262
r[tief]9 = 10,9245
d[tief]9 = 0,1125 n[tief]6 = 1,62041 kleines Ny[tief]6 = 60,27
r[tief]10 = -0,6141
oder durch Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch eine Variation zunächst einer der folgenden Größen entstehen
f/4 < d[tief]6 + d[tief]7 < f/1,5 (1)
0,1f < r[tief]5 < 0,35f (2)
0,1f < -r[tief]6 < 0,35f
kleines Ny[tief]2 > 40 (3)
kleines Ny[tief]5, kleines Ny[tief]6 > 55
kleines Ny[tief]4 < 40
darin bezeichnen
r[tief]1 bis r[tief]10 die Krümmungsradien der Linsen,
d[tief]1 bis d[tief]9 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,
n[tief]1 bis n[tief]6 die Brechungsindizes der Linsen,
kleines Ny[tief]1 bis kleines Ny[tief]6 die Abbe-Zahlen der Linsen,
f die normierte Brennweite,
N.A. die numerische Apertur und
W.D. den Arbeitsabstand
wobei für die jeweils restlichen Daten des gesamten Datensatzes eine Variation innerhalb des lückenlos um diese Daten liegenden Bereiches erfolgt, in welchem sich ein Zerstreuungskreisdurchmesser von maximal dem 1,2fachen des Zerstreuungskreises beim Ausgangsdatensatz ergibt.
5. Mikroskopobjektiv mit vier Linsengliedern, dessen erstes Linsenglied positiv ist, gekennzeichnet durch folgende Daten:
Tabelle 5
f = 1,0 N.A. = 0,13 W.D. = 0,4327
r[tief]1 = 0,4378
d[tief]1 = 0,0788 n[tief]1 = 1,75500 kleines Ny[tief]1 = 52,33
r[tief]2 = -1,5332
d[tief]2 = 0,0072
r[tief]3 = 0,2984
d[tief]3 = 0,0719 n[tief]2 = 1,76200 kleines Ny[tief]2 = 40,20
r[tief]4 = -0,6620
d[tief]4 = 0,0249 n[tief]3 = 1,61340 kleines Ny[tief]3 = 43,84
r[tief]5 = 0,1665
d[tief]5 = 0,1372
r[tief]6 = -0,1427
d[tief]6 = 0,3226 n[tief]4 = 1,66680 kleines Ny[tief]4 = 33,04
r[tief]7 = 1,3593
d[tief]7 = 0,1094 n[tief]5 = 1,49700 kleines Ny[tief]5 = 81,60
r[tief]8 = -0,3215
d[tief]8 = 0,0214
r[tief]9 = 2,1861
d[tief]9 = 0,0864 n[tief]6 = 1,62041 kleines Ny[tief]6 = 60,27
r[tief]10 = -0,9447
oder durch Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch eine Variation zunächst einer der folgenden Größen entstehen
f/4 < d[tief]6 + d[tief]7 < f/1,5 (1)
0,1f < r[tief]5 < 0,35f (2)
0,1f < -r[tief]6 < 0,35f
kleines Ny[tief]2 > 40 (3)
kleines Ny[tief]5, kleines Ny[tief]6 > 55
kleines Ny[tief]4 < 40
darin bezeichnen
r[tief]1 bis r[tief]10 die Krümmungsradien der Linsen,
d[tief]1 bis d[tief]9 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,
n[tief]1 bis n[tief]6 die Brechungsindizes der Linsen,
kleines Ny[tief]1 bis kleines Ny[tief]6 die Abbe-Zahlen der Linsen,
f die normierte Brennweite,
N.A. die numerische Apertur und
W.D. den Arbeitsabstand
wobei für die jeweils restlichen Daten des gesamten Datensatzes eine Variation innerhalb des lückenlos um diese Daten liegenden Bereiches erfolgt, in welchem sich ein Zerstreuungskreisdurchmesser von maximal dem 1,2fachen des Zerstreuungskreises beim Ausgangsdatensatz ergibt.
6. Mikroskopobjektiv mit vier Linsengliedern, dessen erstes Linsenglied positiv ist, gekennzeichnet durch folgende Daten:
Tabelle 6
f = 1,0 N.A. = 0,13 W.D. = 0,4286
r[tief]1 = 0,4452
d[tief]1 = 0,0779 n[tief]1 = 1,80610 kleines Ny[tief]1 = 40,95
r[tief]2 = -2,3115
d[tief]2 = 0,0071
r[tief]3 = 0,2937
d[tief]3 = 0,0698 n[tief]2 = 1,77250 kleines Ny[tief]2 = 49,60
r[tief]4 = -0,9199
d[tief]4 = 0,0246 n[tief]3 = 1,61340 kleines Ny[tief]3 = 43,84
r[tief]5 = 0,1663
d[tief]5 = 0,1513
r[tief]6 = -0,1478
d[tief]6 = 0,3137 n[tief]4 = 1,64769 kleines Ny[tief]4 = 33,80
r[tief]7 = 1,2115
d[tief]7 = 0,1124 n[tief]5 = 1,49250 kleines Ny[tief]5 = 81,90
r[tief]8 = -0,3252
d[tief]8 = 0,0226
r[tief]9 = 2,1795
d[tief]9 = 0,0849 n[tief]6 = 1,62041 kleines Ny[tief]6 = 60,27
r[tief]10 = -0,9458
oder durch Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch eine Variation zunächst einer der folgenden Größen entstehen
f/4 < d[tief]6 + d[tief]7 < f/1,5 (1)
0,1f < r[tief]5 < 0,35f (2)
0,1f < -r[tief]6 < 0,35f
kleines Ny[tief]2 > 40 (3)
kleines Ny[tief]5, kleines Ny[tief]6 > 55
kleines Ny[tief]4 < 40
darin bezeichnen
r[tief]1 bis r[tief]10 die Krümmungsradien der Linsen,
d[tief]1 bis d[tief]9 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,
n[tief]1 bis n[tief]6 die Brechungsindizes der Linsen,
kleines Ny[tief]1 bis kleines Ny[tief]6 die Abbe-Zahlen der Linsen,
f die normierte Brennweite,
N.A. die numerische Apertur und
W.D. den Arbeitsabstand
wobei für die jeweils restlichen Daten des gesamten Datensatzes eine Variation innerhalb des lückenlos um diese Daten liegenden Bereiches erfolgt, in welchem sich ein Zerstreuungskreisdurchmesser von maximal dem 1,2fachen des Zerstreuungskreises beim Ausgangsdatensatz ergibt.
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"Sov. J. Opt. Tech." Bd. 41, 1974, S. 463-466

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DE2803967A1 (de) 1978-08-03
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