WO2002023119A1 - Feststellen einer scheiben-kerben/nocken-position (im transportpfad) mit reflektiertem kantenlicht - Google Patents

Feststellen einer scheiben-kerben/nocken-position (im transportpfad) mit reflektiertem kantenlicht Download PDF

Info

Publication number
WO2002023119A1
WO2002023119A1 PCT/DE2001/003185 DE0103185W WO0223119A1 WO 2002023119 A1 WO2002023119 A1 WO 2002023119A1 DE 0103185 W DE0103185 W DE 0103185W WO 0223119 A1 WO0223119 A1 WO 0223119A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
notch
cam
light
edge
disc
Prior art date
Application number
PCT/DE2001/003185
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
WO2002023119A8 (de
Inventor
Thomas Krause
Original Assignee
Infineon Technologies Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Infineon Technologies Ag filed Critical Infineon Technologies Ag
Publication of WO2002023119A1 publication Critical patent/WO2002023119A1/de
Publication of WO2002023119A8 publication Critical patent/WO2002023119A8/de
Priority to US10/388,026 priority Critical patent/US6710887B2/en

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/136—Associated with semiconductor wafer handling including wafer orienting means

Definitions

  • the present invention relates to a test device for determining a notch or cam position on wafers, such as wafers, and a method for determining this position on wafers.
  • the alignment is usually carried out in such a way that the notches or cams are at 12 o'clock, ie upwards, when the wafers are viewed from the side.
  • the provision of such aligned wafers is usually carried out in such a way that the notches or cams are at 12 o'clock, ie upwards, when the wafers are viewed from the side.
  • 25 saves the alignment process on the so-called Notchfinder, which saves time and time, and on the other hand, operators can immediately check lot numbers so that the risk of swapping lots is reduced.
  • the wafers are aligned using a notch finder. This is a device that is able to rotate the wafer until the notch or cam is in the predetermined position. However, it has not been possible until now
  • the invention is therefore based on the object of providing a test device with which disk-shaped workpieces, such as wafers, can be checked with respect to an alignment indicated by notches or cams.
  • test device An important requirement for a corresponding test device is that it must not interrupt the flow of transport of the disks and therefore must carry out the test quickly and without contact.
  • the invention is therefore based on the principle of being able to determine the presence of panes, or notches or cams, on a pane edge by means of light reflection.
  • the test device according to the invention can be used for any type of wafer, and is therefore not limited to wafers.
  • the invention is initially directed to a test device for determining a notch or cam position in the case of panes, which comprises: a test area for positioning at least one pane to be tested with an edge and a notch or cam attached to the edge; a light source arranged to illuminate the edge of the panes; a first light sensor arranged to receive light from the light source reflected from the edge of the disk; a second light sensor, which is arranged so that it reflects the light from the notch or cam of the disk
  • the test area here is a predetermined spatial area, for example a section of a transport device for wafers, in which the test takes place.
  • a notch is to be understood as a depression within the edge of the pane. The edge surface is therefore located closer to a center of the disk in the area of the notch than to the rest of the edge. The opposite is the case with the protruding cam, which is farther from the center of the disk than the rest of the edge.
  • the light sensors used can be light-sensitive semiconductor elements, as are used, for example, in conventional light barriers.
  • the light source can be any light source suitable for the desired purpose. Normal light sources such as lamps can be used, but also lasers, provided that they are able to illuminate the area around the edge, for example by using two laser beams, which illuminates both
  • Enable light sensors or infrared lamps, for example, if you want to work in a bright environment where normal photocells would be too badly affected by the ambient light.
  • An edge in the sense of the present invention is to be understood as the border of the pane, that is to say the areal connection between the two Main surfaces, which are arranged approximately parallel to each other in panes.
  • the specified position range is the range in which the notch or cam should primarily be for the intended purpose. This can be a narrowly defined area if the positioning of the disk, that is, its rotational orientation, must be followed very precisely; can be a larger area, however, if only an approximate alignment of the disc is necessary.
  • the evaluation unit of the test device can be a simple logic circuit which generates an output signal when two signals are received from the light sensors.
  • it can also be a more complex device, for example a microcontroller or another computer.
  • the realization of suitable evaluation units is familiar to the person skilled in the art.
  • test area is part of a transport route for transporting the panes. This preferred embodiment is most suitable for the quick contactless determination of the correct alignment of the disk.
  • a signaling device for signaling the placement of the notch or cam in a tested pane can be present in the testing device.
  • This signaling means can generate an acoustic, optical or other signal for an operator, who then takes the appropriate measures if necessary.
  • it can also be a means for generating a signal that is used by another device for an adequate response to the test result.
  • the test device can furthermore have a control unit which controls a transport flow of the checked disc depending on the position of the notch or cam controls.
  • the control unit can address a transport switch, for example, which guides panes that are correctly aligned to a first track and panes with incorrect alignment to a second track.
  • the test device can be integrated or additionally have a control unit which controls an alignment unit for aligning the notch or cam of the disc under test depending on the determined position of the notch or cam.
  • the alignment unit can either be integrated directly into the transport route or also into the test area, but can also be installed separately, for example, in a special track of the transport route.
  • the alignment unit contains a mechanism which is able to rotate the disk around its disk axis and thus to change its alignment. Control signals are received by the alignment unit from the test device, which gives the information that a particular disk is not correctly aligned.
  • the light source and one of the light sensors are combined in a common housing, which is arranged such that an axis of a light beam emitted by the light source is perpendicular to the edge of the pane or perpendicular to at least part of the notch or cam strikes and can be received by the light sensor in the common housing.
  • a common housing which is arranged such that an axis of a light beam emitted by the light source is perpendicular to the edge of the pane or perpendicular to at least part of the notch or cam strikes and can be received by the light sensor in the common housing.
  • vertical is to be understood here to mean that the beam is at most as much from perpendicular incidence to one the target surfaces may deviate so that enough reflected light can reach the light sensor arranged in the common housing.
  • either of the two light sensors can optionally be accommodated in this common housing. Accordingly, when the first light sensor is housed in the common housing, the light source must radiate substantially perpendicularly to the normal area of the pane, whereas when the second light sensor is housed in the common housing, the light source must essentially irradiate the notch.
  • a group of panes is understood here to mean a number of panes which have to be treated together in some way, be it that they are in a common transport container, be it that they belong to a common batch or the like.
  • the invention can either be expanded in such a way that all panes of a group can be checked at the same time by providing a corresponding number of light sensors and, if appropriate, light sources, a separate rating unit or a common rating unit for all panes being able to be provided for each disk, or that the panes of a group are successively checked by a single test device.
  • the evaluation unit can determine a proportion of panes from a group of panes to be checked successively, in which the notches or cams lie within a predetermined position range and in which the panes of the group can be transported together.
  • the evaluation unit must be able to determine from the incoming information about the individual disks the total proportion of disks in which the notches or cams lie within the predetermined position range.
  • the joint transportability of the group of disks can be ensured in that they are located in a common transport device. For example, this can be a holder with a number of holding positions for the disks. This is on a conveyor belt or
  • the invention can be applied to any disk-shaped workpieces, provided that they have an edge surface that is suitable for reflecting the incident light.
  • the panes can be circular, oval, square or polygonal, the test device possibly having to be adapted depending on the shape.
  • the invention can be applied to different technical fields.
  • a particularly preferred embodiment is that the wafers to be tested are wafers for semiconductor production, that is to say circular thin wafers.
  • the invention is further directed to a method for determining a notch or cam position in panes with an edge and a notch or cam attached to the edge, which comprises the following steps:
  • the method according to the invention can not only be used for a single pane, but can also be used to determine the presence and position for panes of a pane group.
  • the steps outlined above can either be carried out again for each pane, or all panes are simultaneously subjected to the method according to the invention with the aid of an appropriately designed device.
  • the method can have the further step: controlling an alignment unit in order to bring about the alignment of the notch or cam of the disc under test depending on the determined position of the notch or cam.
  • the measurement result of the method according to the invention is thus used in a further method step in order to have a corrective effect on the alignment of the disk or the group of disks.
  • the method can also have the further step: triggering a transport control to move the tested disk or a group of disks depending on the determined position of the notch or cam or a calculated size from the positions of the notches or cams of the group of disks to influence.
  • Groups of disks are particularly treated together if they are located in a common transport device, so that the transport can in any case only take place together.
  • the calculated size can be, for example, a proportion of slices in the total group in which the Notch or cam are not within the specified position range. In this way, it can be freely decided whether individual incorrectly aligned disks are nevertheless accepted for the further process flow and thus their alignment is omitted or whether all disks must be aligned directly.
  • the invention is directed to a transport system for disk-shaped workpieces, which is characterized in that a test device according to the invention is integrated into the transport path of the workpieces so that workpieces can be tested during transport.
  • Figure 1 shows an embodiment of the present invention in three-dimensional view to illustrate the principle of the invention.
  • FIG. 2 shows various arrangements of light source and light sensors with which the invention can be implemented.
  • FIG. 1 shows the light source and sensors of a test device according to the invention in relation to a pane to be tested.
  • the disc 1 contains a notch 2, which is also referred to specifically as a notch in semiconductor technology. This can optionally have two essentially flat walls that meet each other and are connected at an acute angle, or consist of a curved surface or a semicircular indentation.
  • the notch 2 should be within a predetermined position range 3 ( dashed line), for example for subsequent processing steps that require correct alignment of the pane.
  • One represented by a cylinder provided light source 4 emits a light cone on the edge la, to which the notch 2 also belongs, only the exemplary light beams 5 and 6 of the light cone being shown.
  • the incident light beam 5 is reflected at the edge la, so that a reflected light beam 7 strikes the first light sensor 8, which is housed here in a housing 9 of a construction similar to the light source housing.
  • the light beam 6 is reflected in the area of the notch which, owing to its different spatial angulation in relation to the light source, reflects the light beam in a completely different direction than the light beam 5 which is reflected by the edge la.
  • the incident light beam 6 is radiated as a reflected light beam 10 into the second light sensor 11, which is located in the same housing as the light source 4.
  • a bundled light source illuminates the pane at an angle of 45 degrees. If there is a notch in the detection area, light is reflected on the one hand by the edge of the wafer and on the other hand by the left side surface of the notch.
  • the two light receivers offset by 90 degrees evaluate the reflected light
  • FIG. 2 shows variations of the principle on which the invention is based with different arrangements of light source and light sensors with respect to the pane.
  • the light source is shown as a small circle and the light sensors as squares.
  • FIG. 2a again illustrates the embodiment shown in FIG. 1, but in a side view and not in a perspective view.
  • the light source 4 is separated from the second light sensor 11.
  • FIG. 2b shows a further embodiment of the present invention, in which the light sensors are positioned on both sides of the light source 4 which is arranged essentially directly above the notch. While light beam 5 as reflected light beam 7 in turn reaches the first light sensor 8, incident light beam 6 is reflected in the notch 2 and falls as a reflected light beam 10 on the second light sensor 11. With this arrangement, it must be taken into account that the other side the notch, but light incident on the edge, for example light beam 12, can also reach light sensor 11 as interference beam 13. In order not to falsify the measurement here, it is necessary to attach an aperture 14 to the second light sensor 11, which shields such interference rays 13. This ensures that only light reflected from the notch can enter the second light sensor 11. It goes without saying that the first light sensor 8 can also be accommodated on the same side as the second light sensor 11, as shown by the first light sensor 8 shown in broken lines, which can be fed by light consisting of the reflection beam 16 resulting from the input beam 15.
  • FIG. 2c shows an arrangement when using a cam 17 instead of a notch 2, which otherwise essentially corresponds to the embodiment in FIG. 2a.
  • FIG. 2d finally shows an embodiment of the test device according to the invention, in which the beam path of the light source 4 is coupled to the beam path of the reflected light beam 7, which leads to the first light sensor 8.
  • the second light sensor 11 decoupled from the light source, is the one that receives the light beam 10 reflected by the notch 2.
  • a light diaphragm 14 is provided. The use of such a light diaphragm depends on the specific positioning of the light sensors and their special design and can in principle be necessary in the most varied configurations of light source and light sensors.
  • the present invention provides a test device for wafers with the following features: detection of the presence of a wafer, for example a wafer, during or during its transport. Detection of the orientation of the wafer, for example a wafer during transport. High detection reliability, regardless of the position of the disc in a transport device.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

Die Erfindung ist gerichtet auf eine Prüfvorrichtung zum Feststellen einer Kerben- bzw. Nockenposition bei Scheiben; aufweisend einen Testbereich zum Positionieren zumindest einer zu prüfenden Scheibe (1) mit einer Kante (1a) und einer an der Kante angebrachten Kerbe (2) oder Nocke; eine Lichtquelle (4), die so angeordnet ist, daß sie die Kante der Scheibe (1) beleuchten kann; einen ersten Lichtsensor (8), der so angeordnet ist, daß er von der Kante der Scheibe (1) reflektiertes Licht (7) der Lichtquelle (4) empfangen kann; einen zweiten Lichtsensor (11), der so angeordnet ist, daß er von der Kerbe (2) oder Nocke der Scheibe (1) reflektiertes Licht (10) der Lichtquelle (4) empfangen kann, falls sich die Kerbe (2) oder Nocke innerhalb eines vorgegebenen Positionsbereichs befindet; und eine Bewertungseinheit, die anhand des auf den ersten Lichtsensor (8) einfallenden Lichts feststellen kann, ob eine Scheibe (1) im Testbereich positioniert ist und die anhand des auf den zweiten Lichtsensor (11) einfallenden Lichts feststellen kann, ob sich die Kerbe (2) oder Nocke innerhalb der vorgegebenen Position befindet.

Description

FESTSTELLEN EINER SCHEIBEN KERBEN/NOCKEN-POSITION ( IM TRANSPORTPFAD ) MIT
REFLEKTIERTEM KANTENLICHT
Prüfvorrichtung und Verfahren zum Feststellen einer Kerbenbeziehungsweise Nockenposition bei Scheiben 5
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Prüfvorrichtung zum Feststellen einer Kerben- beziehungsweise Nockenposition bei Scheiben, wie beispielsweise Wafern, und ein Verfahren zum Feststellen dieser Position bei Scheiben.
10
Bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen ist es zur Verkürzung der Durchlaufzeiten sowie zur Senkung Ausschusses an Wafern wünschenswert, den Bedienern (Operatoren) die Wafer durch das Transportsystem in einer bestimmten Weise ausge-
15 richtet an den Wafernliften zur Verfügung zu stellen. Hierzu wird an einer bestimmten Stelle des Wafers eine Kerbe (Notch) eingeschnitten. Denkbar ist hier jedoch auch die Anbringung einer vorstehenden Nocke. Kerbe beziehungsweise Nocke befinden sich stets in einer vorgegebenen und für alle Wafer iden-
20 tischen Positionierung relativ zu den integrierten Schaltkreisen. Die Ausrichtung erfolgt hierbei üblicherweise so, daß die Kerben beziehungsweise Nocken bei seitlicher Betrachtung der Wafer in einer Waferhalterung auf 12 Uhr, also nach oben, stehen. Die Bereitstellung solch ausgerichteter Wafer
25 erspart einerseits den Arbeitsgang des Ausrichtens am sogenannten Notchfinder, was zu einer Weg- und Zeiteinsparung führt, andererseits sind durch die Operatoren sofort Losnummerkontrollen möglich, so daß die Gefahr des Vertauschens von Losen gesenkt wird.
30
Das Ausrichten der Wafer erfolgt an einem Notchfinder. Dies ist ein Gerät, das in der Lage ist, den Wafer zu drehen, bis die Kerbe beziehungsweise Nocke sich in der vorgegebenen Position befindet. Es war bislang jedoch nicht möglich, während
35 des Transports der Wafer eine automatische Überprüfung der korrekten Ausrichtung von Kerbe beziehungsweise Nocke festzustellen, geschweige denn, diese Ausrichtung zu korrigieren. Der Erfindung liegt damit die Aufgabe zu Grunde, eine PrüfVorrichtung bereitzustellen, mit der scheibenförmige Werkstücke, wie beispielsweise Wafer, bezüglich einer durch Kerben oder Nocken indizierten Ausrichtung überprüft werden können.
Diese Aufgabe wird gelöst durch die Bereitstellung einer Prüfvorriehtung zum Feststellen einer Kerben- beziehungsweise Nockenposition bei Scheiben gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1, dem Verfahren zum Feststellen einer Kerben- beziehungsweise Nockenposition bei Scheiben gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 10 und dem Transportsystem für scheibenförmige Werkstücke gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 14. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen, Aspekte und Details der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Patentansprüchen, der Beschreibung und den beigefügten Zeichnungen.
Eine wichtige Anforderung an eine entsprechende Prüfvorrich- tung ist, daß sie den Transportfluß der Scheiben nicht unterbrechen darf und somit kontaktlos und schnell die Prüfung vornehmen muß. Der Erfindung liegt daher das Prinzip zu Grunde, mittels Lichtreflexion das Vorhandensein von Scheiben, beziehungsweise Kerben oder Nocken, auf einer Scheibenkante ermitteln zu können. Die erfindungsgemäße PrüfVorrichtung ist für beliebige Arten von Scheiben verwendbar, also nicht auf Wafer beschränkt.
Die Erfindung ist zunächst gerichtet auf eine Prüfvorrichtung zum Feststellen einer Kerben- beziehungsweise Nockenposition bei Scheiben, die aufweist: einen Testbereich zum Positionieren zumindest einer zu prüfenden Scheibe mit einer Kante und einer an der Kante angebrachten Kerbe oder Nocke; eine Lichtquelle, die so angeordnet ist, daß sie die Kante der Scheiben beleuchten kann; einen ersten Lichtsensor, der so angeordnet ist, daß er von der Kante der Scheibe reflektiertes Licht der Lichtquelle empfangen kann; einen zweiten Lichtsensor, der so angeordnet ist, daß er von der Kerbe oder Nocke der Scheibe reflektiertes Licht der
Lichtquelle empfangen kann, falls sich die Kerbe oder Nocke innerhalb eines vorgegebenen Positonsbereichs befindet; und eine Bewertungseinheit, die anhand des auf den ersten Lichtsensor einfallenden Lichts feststellen kann, ob eine Scheibe im Testbereich positioniert ist und die anhand des auf den zweiten Lichtsensor einfallenden Lichts feststellen kann, ob sich die Kerbe oder Nocke innerhalb der vorgegebenen Position befindet.
Der Testbereich ist hierbei ein vorgegebener räumlicher Bereich, beispielsweise ein Abschnitt einer Transportvorrichtung für Wafer, in dem die Prüfung erfolgt. Unter einer Kerbe ist eine Vertiefung innerhalb der Kante der Scheibe zu verstehen. Die Kantenoberfläche ist also im Bereich der Kerbe näher an einem Zentrum der Scheibe angesiedelt als am Rest der Kante. Umgekehrt ist es bei der vorstehenden Nocke, welche weiter vom Zentrum der Scheibe entfernt ist als der Rest der Kante. Die verwendeten Lichtsensoren können lichtempfindliche Halbleiterelemente sein, wie sie beispielsweise in kon- ventionellen Lichtschranken verwendet werden. Die Lichtquelle kann eine beliebige für den gewünschten Einsatzzweck geeignete Lichtquelle sein. So bieten sich normale Lichtquellen wie Lampen an, aber auch Laser, sofern diese in der Lage sind, beispielsweise durch Verwendung zweier Laserstrahlen, Berei- ehe der Kante auszuleuchten, die die Beleuchtung beider
Lichtsensoren ermöglichen, oder Infrarotlampen, falls beispielsweise in einer hellen Umgebung gearbeitet werden soll, bei der normale Photozellen vom Umgebungslicht zu stark beeinträchtigt würden. Unter einer Kante im Sinne der vorlie- genden Erfindung ist die Umrandung der Scheibe zu verstehen, das heißt, die flächenmäßige Verbindung zwischen den beiden Hauptoberflächen, die bei Scheiben in etwa parallel zueinander angeordnet sind.
Der vorgegebene Positionsbereich ist derjenige Bereich, in dem sich die Kerbe oder Nocke für den gewünschten Einsatzzweck vorrangig aufhalten soll. Dies kann ein eng umgrenzter Bereich sein, wenn die Positionierung der Scheibe, das heißt ihre Rotationsausrichtung, sehr exakt einzuhalten ist; kann jedoch ein größerer Bereich sein, wenn nur eine ungefähre Ausrichtung der Scheibe notwendig ist.
Die Bewertungseinheit der erfindungsgemäßen PrüfVorrichtung kann in einem einfachen Fall eine simple Logikschaltung sein, welche beim Eingehen zweier Signale von den Lichtsensoren ein Ausgabesignal generiert. Sie kann jedoch auch eine komplexere Einrichtung, beispielsweise ein MikroController oder ein sonstiger Computer sein. Die Realisierung geeigneter Bewertungs- einheiten ist dem Fachmann geläufig.
Es wird insbesondere bevorzugt, daß der Testbereich Teil einer Transportstrecke zum Transportieren der Scheiben ist. Diese bevorzugte Ausführungsform wird der schnellen kontaktlosen Feststellung der korrekten Ausrichtung der Scheibe am ehesten gerecht .
Des weiteren kann ein Ξignalmittel zur Signalisierung der Platzierung der Kerbe oder Nocke bei einer geprüften Scheibe in der PrüfVorrichtung vorhanden sein. Dieses Signalmittel kann ein akustisches, optisches oder sonstiges Signal für ei- nen Bediener erzeugen, welcher dann gegebenenfalls die geeigneten Maßnahmen ergreift. Es kann jedoch auch ein Mittel zur Erzeugung eines Signals sein, das von einer weiteren Vorrichtung für eine adäquate Reaktion auf das Prüfergebnis verwendet wird.
Die erfindungsgemäße PrüfVorrichtung kann weiterhin eine Steuereinheit aufweisen, welche einen Transportfluß der ge- prüften Scheibe in Abhängigkeit von der Position der Kerbe oder Nocke steuert. Hier kann die Steuerungseinheit beispielsweise eine Transportweiche ansprechen, welche Scheiben, die korrekt ausgerichtet sind, auf ein erstes Gleis und Scheiben mit einer falschen Ausrichtung auf ein zweites Gleis leitet.
Des weiteren kann die Prüfvorrichtung integriert oder zusätzlich eine Steuereinheit aufweisen, welche eine Ausrichtungs- einheit zur Ausrichtung der Kerbe oder Nocke der geprüften Scheibe in Abhängigkeit von der festgestellten Position der Kerbe oder Nocke steuert. Die Ausrichtungseinheit läßt sich entweder direkt in den Transportweg beziehungsweise auch in den Testbereich integrieren, kann aber beispielsweise auch davon getrennt in einem speziellen Gleis des Transportwegs installiert sein. Die Ausrichtungseinheit beinhaltet einen Mechanismus, welcher in der Lage ist, die Scheibe um ihre Scheibenachse zu rotieren und damit ihre Ausrichtung zu verändern. SteuerungsSignale empfängt die Ausrichtungseinheit von der PrüfVorrichtung, welche die Information gibt, daß eine bestimmte Scheibe nicht korrekt ausgerichtet ist.
In einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sind Lichtquelle und einer der Lichtsensoren in einem gemeinsamen Gehäuse vereint, wobei dieses so angeordnet ist, daß eine Achse eines von der Lichtquelle abgestrahlten Lichtstrahls senkrecht auf die Kante der Scheibe oder senkrecht auf zumindest einen Teil der Kerbe oder Nocke auftrifft und von dem Lichtsensor im gemeinsamen Gehäuse empfangen werden kann. Bei dieser bevorzugten Ausführungsform ist es also möglich, mit lediglich zwei Gehäusen für die drei Einrichtungen auszukommen. Da der Lichtstrahl im wesentlichen auf seinen Einfallsstrahlengang zurückgestrahlt werden muß, um zum selben Punkt, das heißt demselben Gehäuse zu kommen, muß die Einstrahlung senkrecht erfolgen. Unter senkrecht ist hierbei im Sinne der vorliegenden Erfindung zu verstehen, daß der Strahl höchstens um soviel vom senkrechten Einfall auf eine der Zieloberflächen abweichen darf, daß noch genügend reflektiertes Licht den im gemeinsamen Gehäuse angeordneten Lichtsensor erreichen kann. Wie beschrieben, kann wahlweise jeder der beiden Lichtsensoren in diesem gemeinsamen Gehäuse unter- gebracht sein. Dementsprechend muß dann, wenn der erste Lichtsensor im gemeinsamen Gehäuse untergebracht ist, die Lichtquelle im wesentlichen senkrecht auf den normalen Bereich der Scheibe strahlen, während bei Unterbringung des zweiten Lichtsensors im gemeinsamen Gehäuse die Lichtquelle im wesentlichen die Kerbe bestrahlen muß.
Bislang wurde die Erfindung im Hinblick auf die Prüfung einer einzelnen Scheibe beschrieben. Es ist jedoch genauso möglich, die Erfindung auf die Prüfung von Gruppen von Scheiben auszu- dehnen. Unter einer Gruppe von Scheiben ist hierbei eine Anzahl von Scheiben zu verstehen, welche in irgendeiner Weise gemeinsam behandelt werden müssen, sei es, daß sie sich in einem gemeinsamen Transportbehältnis befinden, sei es, daß sie zu einer gemeinsamen Charge oder ähnlichem gehören. Hier- bei kann die Erfindung entweder so erweitert werden, daß durch Bereitstellung einer entsprechenden Zahl von Lichtsensoren und gegebenenfalls Lichtquellen alle Scheiben einer Gruppe gleichzeitig geprüft werden können, wobei für jede Scheibe eine eigene Bewertungseinheit oder eine gemeinsame Bewertungseinheit für alle Scheiben vorgesehen werden kann, oder daß die Scheiben einer Gruppe sukzessive durch eine Einzelprüfvorrichtung geprüft werden. So kann beispielsweise die Bewertungseinheit einen Anteil von Scheiben aus einer Gruppe von sukzessive zu prüfenden Scheiben bestimmen, bei der die Kerben oder Nocken innerhalb eines vorgegebenen Positionsbereichs liegen und bei der die Scheiben der Gruppe gemeinsam transportierbar sind. Bei dieser bevorzugten Ausführungsform der Erfindung muß die Bewertungseinheit in der Lage sein, aus den eingehenden Informationen über die Einzelscheiben den Ge- samtanteil an Scheiben zu bestimmen, bei der die Kerben oder Nocken innerhalb des vorgegebenen Positionsbereichs liegen. Die gemeinsame Transportierbarkeit der Gruppe von Scheiben kann dadurch gewährleistet sein, daß sie sich in einer gemeinsamen Transportvorrichtung befinden. Dies kann beispielsweise ein Halter mit einer Anzahl von Haltepositionen für die Scheiben sein. Dieser wird auf einem Transportband oder
Transportschienensystem oder autonom durch Rollen etc. vorwärts bewegt. Die Erfindung kann auf beliebige scheibenförmige Werkstücke angewendet werden, sofern diese eine Kantenoberfläche aufweisen, die zur Reflexion des einfallenden Lichts geeignet ist. Die Scheiben können kreisförmig, oval, viereckig oder vieleckig sein, wobei in Abhängigkeit von der Form gegebenenfalls die PrüfVorrichtung speziell adaptiert werden muß.
Die Erfindung kann auf unterschiedliche technische Gebiete angewendet werden. Eine besonders bevorzugte Ausführungsform ist, daß die zu prüfenden Scheiben Wafer zur Halbleiterherstellung sind, also kreisförmige dünne Scheiben.
Die Erfindung ist weiterhin auf ein Verfahren zum Feststellen einer Kerben- beziehungsweise Nockenposition bei Scheiben mit einer Kante und einer an der Kante angebrachten Kerbe oder Nocke gerichtet, das folgende Schritte aufweist:
-Beleuchten eines Testbereichs mit einer Lichtquelle, die so angeordnet ist, daß sie die Kante der Scheibe beleuchten kann;
-Messen von Licht, das von der Kante reflektiert wird, falls sich eine Scheibe im Testbereich befindet; -Messen von Licht, das von der Kerbe oder Nocke reflektiert wird, falls sich die Kerbe oder Nocke einer Scheibe innerhalb einer vorgegebenen Position befindet; und -Feststellen anhand des gemessenen Lichts, ob sich eine Scheibe im Testbereich befindet und ob die Kerbe oder Nocke der Scheibe sich innerhalb der vorgegebenen Position befindet. Die hier aufgeführten Schritten müssen nicht notwendigerweise sukzessive durchgeführt werden, sondern erfolgen naturgemäß gleichzeitig, da praktisch sofort mit Beginn der Beleuchtung ein Meßwert den Sensoren zur Verfügung steht, und dieser Meß- wert sofort ausgewertet werden kann.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann nicht nur für eine Einzelscheibe verwendet werden, sondern ebenfalls zum Feststellen der Anwesenheit und der Position für Scheiben einer Scheiben-Gruppe durchgeführt werden. Hierbei können die oben skizzierten Schritte entweder für jede Scheibe erneut durchlaufen werden, oder alle Scheiben werden mit Hilfe einer entsprechend ausgelegten Vorrichtung gleichzeitig dem erfindungsgemäßen Verfahren unterworfen.
Das Verfahren kann den weiteren Schritt aufweisen: -Ansteuern einer Ausrichtungseinheit, um Ausrichtung der Kerbe oder Nocke der geprüften Scheibe in Abhängigkeit von der festgestellten Position der Kerbe oder Nocke zu bewirken.
Das Meßergebnis des e findungsgemäßen Verfahrens wird also hierbei in einem weiteren Verfahrensschritt genutzt, um korrektiv auf die Ausrichtung der Scheibe oder auch der Gruppe von Scheiben einzuwirken.
Das Verfahren kann zudem den weiteren Schritt aufweisen: -Ansteuern einer Transportsteuerung, um den Weg der geprüften Scheibe oder einer Gruppe von Scheiben in Abhängigkeit von der festgestellten Position der Kerbe oder Nocke oder einer berechneten Größe aus den Positionen der Kerben oder Nocken der Gruppe von Scheiben zu beeinflussen.
Gruppen von Scheiben werden insbesondere dann gemeinsam behandelt, wenn sie sich in einer gemeinsamen Transportvorrich- tung befinden, so daß der Transport ohnedies nur gemeinsam erfolgen kann. Die berechnete Größe kann beispielsweise ein Anteil an Scheiben der Gesamtgruppe sein, bei dem sich die Kerbe oder Nocke nicht innerhalb des vorgegebenen Positions- bereichs befinden. Auf diese Weise kann frei entschieden werden, ob einzelne nicht korrekt ausgerichtete Scheiben dennoch für den weiteren Prozeßablauf akzeptiert werden und somit de- ren Ausrichtung unterbleibt oder ob alle Scheiben direkt ausgerichtet sein müssen.
Schließlich ist die Erfindung gerichtet auf ein Transportsy- stem für scheibenförmige Werkstücke, das dadurch gekennzeich- net ist, daß in den Transportpfad der Werkstücke eine erfindungsgemäße PrüfVorrichtung so integriert ist, daß Werkstücke während des Transports geprüft werden können.
Im folgenden soll die Erfindung anhand konkreterer Ausfüh- rungsbeispiele erläutert werden, wobei auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen wird, in denen folgendes dargestellt ist:
Figur 1 zeigt eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in dreidimensionaler Ansicht zur Verdeutlichung des erfindungsgemäßen Prinzips; und
Figur 2 zeigt verschiedene Anordnungen von Lichtquelle und Lichtsensoren, mit denen die Erfindung realisiert werden kann.
Figur 1 zeigt Lichtquelle und Sensoren einer erfindungsgemäßen Prüfvorrichtung in Relation zu einer zu prüfenden Scheibe. Die Scheibe 1 enthält eine Kerbe 2, die speziell in der Halbleitertechnik auch als Notch bezeichnet wird. Diese kann wahlweise zwei im wesentlichen plane Wände aufweisen, die aufeinander zustoßen und in einem spitzen Winkel miteinander verbunden sind, oder aus einer gebogenen Oberfläche bestehen, beziehungsweise einer halbkreisförmigen Einbuchtung. Die Kerbe 2 soll sich, beispielsweise für anschließende Bearbei- tungsschritte, welche eine korrekte Ausrichtung der Scheibe erfordern, innerhalb eines vorgegebenen Positionsbereichs 3 (gestrichelte Linie) befinden. Eine durch einen Zylinder dar- gestellte Lichtquelle 4 strahlt einen Lichtkegel auf die Kante la, zu der auch die Kerbe 2 gehört, ab, wobei vom Lichtkegel lediglich die beispielhaften Lichtstrahlen 5 und 6 dargestellt sind. Der einfallende Lichtstrahl 5 wird an der Kante la reflektiert, so daß ein reflektierter Lichtstrahl 7 auf den ersten Lichtsensor 8 trifft, der hier in einem Gehäuse 9 bauähnlicher Art wie das Lichtquellengehäuse, untergebracht ist. Der Lichtstrahl 6 wird im Bereich der Kerbe reflektiert, die auf Grund ihrer anderen räumlichen Winkelung in Relation zur Lichtquelle den Lichtstrahl in eine vollständig andere Richtung reflektiert als den Lichtstrahl 5, der von der Kante la reflektiert wird. Der einfallende Lichtstrahl 6 wird als reflektierter Lichtstrahl 10 in den zweiten Lichtsensor 11, welcher sich im selben Gehäuse wie die Licht- quelle 4 befindet, eingestrahlt. In der konkreten Ausführungsform beleuchtet eine gebündelte Lichtquelle die Scheibe in einem Winkel von 45 Grad. Befindet sich eine Kerbe (Notch) im Erfassungsbereich, wird Licht einerseits durch die Kante des Wafers und andererseits durch die linke Seitenfläche des Notch reflektiert. Die zwei um 90 Grad zueinander versetzten Lichtempfänger werten das reflektierte Licht aus
Durch die im vorliegenden Fall um etwa 90 Grad abweichenden Reflexionswinkel in Abhängigkeit davon, ob ein Lichtstrahl auf die Kante oder auf die Kerbe trifft, ist es zuverlässig möglich, zwischen solchen Lichtstrahlen zu unterscheiden, die auf eine Kante treffen und solchen, die auf die Kerbe treffen. Wenn sich keine Scheibe 1 im Erkennungsbereich 3 befindet, wird keinerlei Licht reflektiert, so daß die Bewertungs- einheit zu dem Ergebnis kommt, daß keine Scheibe vorhanden ist.
Figur 2 zeigt Variationen des der Erfindung zugrundeliegenden Prinzips mit unterschiedlichen Anordnungen von Lichtquelle und Lichtsensoren in bezug auf die Scheibe. In Figur 2 sind die Lichtquelle als kleiner Kreis und die Lichtsensoren als Vierecke dargestellt. Figur 2a verdeutlicht nochmals die in Figur 1 gezeigte Aus- führungsform, allerdings in einer Seitenansicht und nicht in einer perspektivischen Darstellung. Die Lichtquelle 4 ist hierbei vom zweiten Lichtsensor 11 getrennt.
Figur 2b zeigt eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, bei der die Lichtsensoren zu beiden Seiten der im wesentlichen unmittelbar über der Kerbe angeordneten Licht- quelle 4 positioniert sind. Während Lichtstrahl 5 als reflektierter Lichtstrahl 7 wiederum den ersten Lichtsensor 8 erreicht, wird einfallender Lichtstrahl 6 in der Kerbe 2 reflektiert und fällt als reflektierter Lichtstrahl 10 auf den zweiten Lichtsensor 11. Bei dieser Anordnung muß berücksich- tigt werden, .daß auf die andere Seite der Kerbe, jedoch auf die Kante einfallendes Licht, beispielsweise Lichtstrahl 12, als Störstrahl 13 ebenfalls den Lichtsensor 11 erreichen kann. Um hier die Messung nicht zu verfälschen, ist es notwendig, eine Blende 14 am zweiten Lichtsensor 11 anzubringen, welcher solche Störstrahlen 13 abschirmt. Auf diese Weise wird gewährleistet, daß nur von der Kerbe reflektiertes Licht in den zweiten Lichtsensor 11 einfallen kann. Es versteht sich, daß der erste Lichtsensor 8 auch auf der gleichen Seite wie der zweite Lichtsensor 11 untergebracht werden kann, wie durch den gestrichelt dargestellten ersten Lichtsensor 8, der von aus Eingangsstrahl 15 resultierenden Reflexionsstrahl 16 bestehenden Licht gespeist werden kann, dargestellt ist.
Figur 2c zeigt eine Anordnung bei Verwendung einer Nocke 17 statt einer Kerbe 2, die ansonsten im wesentlichen der Aus- führungsform der Abbildung 2a entspricht.
Figur 2d schließlich zeigt eine Ausführungsform der erfindungsgemäße PrüfVorrichtung, bei der der Strahlengang der Lichtquelle 4 mit dem Strahlengang des reflektierten Lichtstrahls 7, der zum ersten Lichtsensor 8 führt, gekoppelt ist. Es handelt sich dabei um eine Umkehrung des Prinzips der Fi- gur 2a bezüglich der Vereinigung von Lichtquelle und einem Lichtsensor in einem Gehäuse. In diesem Fall ist somit der zweite, von der Lichtquelle entkoppelte Lichtsensor 11 derjenige, welcher den von der Kerbe 2 reflektierten Lichtstrahl 10 empfängt. Auch in diesem Fall ist eine Lichtblende 14 vorgesehen. Die Verwendung einer solchen Lichtblende hängt jeweils von der konkreten Positionierung der Lichtsensoren und ihrer speziellen Ausführung ab und kann grundsätzlich bei unterschiedlichsten Konfigurationen von Lichtquelle und Licht- sensoren notwendig werden.
Insgesamt wird mit der vorliegenden Erfindung eine Prüfvorrichtung für Scheiben mit folgenden Merkmalen zur Verfügung gestellt: Erkennung des Vorhandenseins einer Scheibe, beispielsweise eines Wafers während ihres beziehungsweise seines Transports. Erkennung der Ausrichtung der Scheibe, beispielsweise eines Wafers während des Transports . Hohe Erkennungssicherheit, unabhängig von der Position der Scheibe in einer Transportvorrichtung.
Hohe Erkennungssicherheit auch unter ungünstigen Transportbedingungen wie beispielsweise Rütteln, Klappern und ungleichmäßige Bewegungen.

Claims

Patentansprüche
1. Prüf orrichtung zum Feststellen einer Kerben- bzw. Nockenposition bei Scheiben; aufweisend
einen Testbereich zum Positionieren zumindest einer zu prüfenden Scheibe (1) mit einer Kante (la) und einer an der Kante angebrachten Kerbe (2) oder Nocke (17);
eine Lichtquelle (4), die so angeordnet ist, daß sie die Kante der Scheibe (1) beleuchten kann
einen ersten Lichtsensor (8) , der so angeordnet ist, daß er von der Kante der Scheibe (1) reflektiertes Licht (7) der Lichtquelle (4) empfangen kann;
einen zweiten Lichtsensor (11) , der so angeordnet ist, daß er von der Kerbe (2) oder Nocke (17) der Scheibe (1) reflektiertes Licht (10) der Lichtquelle (4) empfangen kann, falls sich die Kerbe (2) oder Nocke (17) innerhalb eines vorgegebenen Positionsbereichs befindet; und
eine Bewertungseinheit, die anhand des auf den ersten Lichtsensor (8) einfallenden Lichts feststellen kann, ob eine Scheibe (1) im Testbereich positioniert ist und die anhand des auf den zweiten Lichtsensor (11) einfallenden, Lichts feststellen kann, ob sich die Kerbe (2) oder Nocke (17) innerhalb der vorgegeben Position befindet.
2. PrüfVorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Testbereich Teil einer Transportstrecke zum Transportieren der Scheiben (1) ist.
3. PrüfVorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn- zeichnet, daß sie ein Signalmittel zur Signalisierung der
Platzierung der Kerbe (2) oder Nocke (17) bei einer geprüften Scheibe (1) aufweist.
4. PrüfVorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß sie weiterhin aufweist eine Steuerungseinheit, welche einen Transportfluß der geprüften Scheibe (1) in Abhängigkeit von der Position der Kerbe (2) oder Nocke (17) steuert.
5. PrüfVorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß sie weiterhin aufweist eine Steuerungs- einheit, welche eine Ausrichtungseinheit zur Ausrichtung der Kerbe (2) oder Nocke (17) der geprüften Scheibe (1) in Abhängigkeit von der festgestellten Position der Kerbe (2) oder Nocke (17) steuert.
6. Prüfvorriehtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (4) und einer der Lichtsensoren (8, 10) in einem gemeinsamen Gehäuse vereint sind und dieses so angeordnet ist, daß eine Achse eines von der Lichtquelle (4) abgestrahlten Lichtstrahls senkrecht auf die Kante der Scheibe (1) oder senkrecht auf zumindest einem Teil der Kerbe (2) oder der Nocke (17) auftrifft und von dem Lichtsensor (8, 10) im gemeinsamen Gehäuse empfangen werden kann.
7. Prüfvorriehtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewertungseinheit einen Anteil an Scheiben (1) aus einer Gruppe von sukzessive zu prüfenden Scheiben (1) bestimmen kann, bei der die Kerben (2) oder Nokken (17) innerhalb eines vorgegebenen Positionsbereichs lie- gen; und wobei die Scheiben (1) der Gruppe gemeinsam trans- portierbar sind.
8. PrüfVorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Gruppe von Scheiben (1) sich in einer gemeinsamen Transportvorrichtung befindet.
9. PrüfVorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die zu prüfenden Scheiben (1) Wafer zur Halbleiterherstellung sind.
10. Verfahren zum Feststellen einer Kerben- bzw. Nockenposition bei Scheiben (1) mit einer Kante und einer an der Kante angebrachten Kerbe (2) oder Nocke (17) ; mit folgenden Schritten:
-Beleuchten eines Testbereichs mit einer Lichtquelle (4) , die so angeordnet ist, daß sie die Kante der Scheibe (1) beleuchten kann;
-Messen von Licht, das von der Kante reflektiert wird, falls sich eine Scheibe (1) im Testbereich befindet;
-Messen von Licht; das von der Kerbe (2) oder Nocke (17) reflektiert wird, falls sich die Kerbe (2) oder Nocke (17) einer Scheibe (1) innerhalb einer vorgegebenen Position be- findet; und
-Feststellen anhand des gemessenen Lichts, ob sich eine Scheibe (1) im Testbereich befindet und ob sich die Kerbe (2) oder Nocke (17) der Scheibe (1) innerhalb der vorgegebenen Position befindet.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß es
das Feststellen der Anwesenheit und der Position für Scheiben (1) einer Gruppe von Scheiben (1) durchführt.
12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß es den weiteren Schritt aufweist:
-Ansteuern einer Ausrichtungseinheit, um die Ausrichtung der Kerbe (2) oder Nocke (17) der geprüften Scheibe (1) in Abhän- gigkeit von der festgestellten Position der Kerbe (2) oder Nocke (17) zu bewirken.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch ge- kennzeichnet, daß es den weiteren Schritt aufweist:
-Ansteuern einer Transportsteuerung, um den Weg der geprüften Scheibe (1) oder einer Gruppe von Scheiben (1) in Abhängigkeit von der festgestellten Position der Kerbe (2) oder Nocke (17) oder einer berechneten Größe aus den Positionen der Kerben (2) oder Nocken (17) der Gruppe von Scheiben (1) zu beeinflussen.
14. Transportsystem für Scheiben, dadurch gekennzeichnet, daß in den Transportpfad der Scheiben (1) eine PrüfVorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9 so integriert ist, daß Scheiben (1) während des Transports geprüft werden können.
PCT/DE2001/003185 2000-09-13 2001-08-21 Feststellen einer scheiben-kerben/nocken-position (im transportpfad) mit reflektiertem kantenlicht WO2002023119A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/388,026 US6710887B2 (en) 2000-09-13 2003-03-13 Testing device and method for establishing the position of a notch or bump on a disk

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10045203.5 2000-09-13
DE10045203A DE10045203C2 (de) 2000-09-13 2000-09-13 Prüfvorrichtung und Verfahren zum Feststellen einer Kerben- beziehungsweise Nockenposition bei Scheiben

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US10/388,026 Continuation US6710887B2 (en) 2000-09-13 2003-03-13 Testing device and method for establishing the position of a notch or bump on a disk

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2002023119A1 true WO2002023119A1 (de) 2002-03-21
WO2002023119A8 WO2002023119A8 (de) 2002-07-18

Family

ID=7656003

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE2001/003185 WO2002023119A1 (de) 2000-09-13 2001-08-21 Feststellen einer scheiben-kerben/nocken-position (im transportpfad) mit reflektiertem kantenlicht

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6710887B2 (de)
DE (1) DE10045203C2 (de)
TW (1) TW505777B (de)
WO (1) WO2002023119A1 (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102435608B (zh) * 2011-09-21 2013-09-11 艾康生物技术(杭州)有限公司 医用检测分析仪
CN107742613B (zh) * 2012-04-25 2021-03-09 应用材料公司 晶片边缘的测量和控制
US9091532B1 (en) 2013-04-01 2015-07-28 Gregory Jon Lyons Label edge detection using out-of-plane reflection
US9036161B1 (en) * 2013-04-01 2015-05-19 Gregory Jon Lyons Label edge detection using out-of-plane reflection

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5452078A (en) * 1993-06-17 1995-09-19 Ann F. Koo Method and apparatus for finding wafer index marks and centers
DE19728478A1 (de) * 1997-07-03 1999-02-04 Jenoptik Jena Gmbh Einrichtung und Verfahren zur Erkennung von scheibenförmigen Objekten und Fächern in einem Behälter
DE19814046C1 (de) * 1998-03-30 1999-11-18 Jenoptik Jena Gmbh Anordnung zur Detektion von scheibenförmigen Objekten in einer Kassette

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4786816A (en) * 1985-11-05 1988-11-22 Canon Kabushiki Kaisha Wafer detecting device wherein light receiver has an effective surface larger than the dimensional range covering all the wafers being detected
US5319216A (en) * 1991-07-26 1994-06-07 Tokyo Electron Limited Substrate detector with light emitting and receiving elements arranged in staggered fashion and a polarization filter
US5308993A (en) * 1993-03-28 1994-05-03 Avalon Engineering, Inc. Semiconductor wafer cassette mapper having dual vertical column of light emitting apertures and a single vertical column of light receiving apertures
US5418382A (en) * 1993-09-23 1995-05-23 Fsi International, Inc. Substrate location and detection apparatus
JP3035690B2 (ja) * 1994-01-27 2000-04-24 株式会社東京精密 ウェーハ直径・断面形状測定装置及びそれを組み込んだウェーハ面取り機
US5504345A (en) 1994-04-14 1996-04-02 Hama Laboratories, Inc. Dual beam sensor and edge detection system and method
JPH1089904A (ja) * 1996-09-17 1998-04-10 Hitachi Electron Eng Co Ltd Ｖノッチウェハ位置決め装置
US6130437A (en) * 1998-04-24 2000-10-10 Hama Sensors, Inc. Sensor and detection system having wide diverging beam optics
JP3456930B2 (ja) * 1999-07-16 2003-10-14 サンクス株式会社 板状部材検出装置
US6342705B1 (en) * 1999-09-10 2002-01-29 Chapman Instruments System for locating and measuring an index mark on an edge of a wafer
US6346987B1 (en) * 2000-09-27 2002-02-12 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Micro-optical position indicator

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5452078A (en) * 1993-06-17 1995-09-19 Ann F. Koo Method and apparatus for finding wafer index marks and centers
DE19728478A1 (de) * 1997-07-03 1999-02-04 Jenoptik Jena Gmbh Einrichtung und Verfahren zur Erkennung von scheibenförmigen Objekten und Fächern in einem Behälter
DE19814046C1 (de) * 1998-03-30 1999-11-18 Jenoptik Jena Gmbh Anordnung zur Detektion von scheibenförmigen Objekten in einer Kassette

Also Published As

Publication number Publication date
WO2002023119A8 (de) 2002-07-18
TW505777B (en) 2002-10-11
DE10045203C2 (de) 2002-08-01
US6710887B2 (en) 2004-03-23
DE10045203A1 (de) 2002-04-04
US20030160971A1 (en) 2003-08-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2266380B1 (de) Optische erfassungsvorrichtung und verfahren für die erfassung von oberflächen von bauteilen
DE69912577T2 (de) Vorrichtung und verfahren zur optischen inspektion
DE3515194C2 (de)
DE69922844T2 (de) Verfahren zum prüfen einer zu analysierenden oberfläche und scanner zur analyse von oberflächen
DE2361155C2 (de) Vorrichtung zum Positionieren eines ersten Gegenstandes in bezug auf einen zweiten Gegenstand
DE19618910B4 (de) Elektronischer Entfernungsmesser
EP2199999B1 (de) Verfahren zum Testen eines optischen Sensors und testbarer optischer Sensor
DE19713987A1 (de) Optischer Meßfühler
EP0249799A2 (de) Vorrichtung zum Prüfen von Bauteilen aud transparentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse
CH693468A5 (de) Verfahren und Vorrichtung für die Detektion oder Lagebestimmung von Kanten.
DE102005010657B4 (de) Objekterfassungsvorrichtung
EP1346205A2 (de) Verfahren und vorrichtung zur optischen inspektion von flaschen
DE60308471T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion von Oberflächen
WO2023198765A1 (de) Laserbearbeitungsvorrichtung
DE4101047A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur optischen messung eines winkels, den stellungen von bauteilen, insbesondere radstellungen an fahrzeugen in einer vertikalen ebene, zueinander bilden
WO2002023119A1 (de) Feststellen einer scheiben-kerben/nocken-position (im transportpfad) mit reflektiertem kantenlicht
EP1811427A1 (de) Vorrichtung zur Überwachung eines Schutzfeldes
DE10250353B4 (de) Einrichtung zur Detektion von übereinander mit einem bestimmten Abstand angeordneten Substraten
DE3822305A1 (de) Vorrichtung zur inspektion von verbindungsstellen
DE102004047312A1 (de) Laserstrahlmaschine bzw. -vorrichtung
EP0194487B1 (de) Verfahren zur Lagebestimmung eines Objekts in einem automatisierten Fertigungsverfahren und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE3822152A1 (de) Vorrichtung zur ueberpruefung einer verbindungsstelle
DE10033817B4 (de) Waferauflageplatte
EP3438525B1 (de) Beleuchtungsvorrichtung für simulationsanordnung für kraftfahrzeugunfälle
DE19823938C1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum linearen Positionieren und zur Lageerkennung eines Substrates

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): JP KR SG US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR

DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
AK Designated states

Kind code of ref document: C1

Designated state(s): JP KR SG US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: C1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR

CFP Corrected version of a pamphlet front page
CR1 Correction of entry in section i
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 10388026

Country of ref document: US

122 Ep: pct application non-entry in european phase
NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP