WO2002012910A1 - Kalibrierverfahren und kalibriervorrichtung - Google Patents

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WO2002012910A1
WO2002012910A1 PCT/DE2001/002698 DE0102698W WO0212910A1 WO 2002012910 A1 WO2002012910 A1 WO 2002012910A1 DE 0102698 W DE0102698 W DE 0102698W WO 0212910 A1 WO0212910 A1 WO 0212910A1
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analog signal
calibrated
signal
data
generating
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PCT/DE2001/002698
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English (en)
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Inventor
Helmut Pflaum
Original Assignee
Sz Testsysteme Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Sz Testsysteme Ag filed Critical Sz Testsysteme Ag
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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2832Specific tests of electronic circuits not provided for elsewhere
    • G01R31/2836Fault-finding or characterising
    • G01R31/2839Fault-finding or characterising using signal generators, power supplies or circuit analysers
    • G01R31/2841Signal generators

Definitions

  • the invention relates to a method for generating a calibrated, periodic analog signal according to the preamble of claim 1, a method for determining calibration data for a signal path, a method for measuring the response of an electronic test object to a periodic analog signal and corresponding devices.
  • electronic test object is to be understood to mean any kind of electronic components and electronic systems, in particular integrated electronic circuits and systems (also called ICs) and electronic components. These are often summarized in the professional world by using the English generic term “device under test” ("DUT" for short).
  • DUT device under test
  • test signals can be any signals, but periodic signals in particular are single-tone or multi-tone signals.
  • the invention has for its object to provide a method for generating a calibrated, periodic analog signal, a method for determining calibration data for a signal path, a method for measuring the response of an electronic device under test to a periodic analog signal and corresponding devices that the interference components reduced to a minimum, or which make it possible to reduce the effects of the interference components to a minimum.
  • relevant frequency components of an analog, periodic output signal of a signal generator which generates the output signal on the basis of predetermined digital data are measured by means of a suitable measuring device.
  • a correction is determined for the digital data on which the analog signal is based, which are then changed.
  • the digital data changed via the correction values are converted again into an analog test signal in the signal generator and, in turn, examined via the measuring device with regard to any remaining interference components.
  • This calibration process is repeated until the signal generator generates an output signal in which the interference components at all frequencies in question are reduced to below a predetermined limit value, for example to the area of the noise.
  • the measures according to the invention thus make it possible to adapt an output signal of a generator which is originally faulty in such a way that a test object can be supplied with a periodic analog signal which is practically free of interference components.
  • the hardware expenditure for measuring the interference components of the output signal is low if the amplitudes of the interference components occurring at the relevant frequencies are recorded using a frequency-selective voltmeter or a similar measuring device.
  • the phase of the interference components occurring at the relevant frequencies cannot be determined using a frequency-selective voltmeter, it is possible to determine the respective phase by iteration.
  • This iteration includes, for example, that a correction phase is first selected and that the digital data are changed as if the output signal were superimposed in phase opposition with the selected correction phase and the correction amplitude determined via the voltmeter.
  • the phase of the interference components can be determined more precisely from the output signal modified by the change in the digital data.
  • the correction phase is specifically changed until the interference components are below the predetermined limit value - for example the noise limit.
  • a preferred procedure for determining the phase of the interference components at a specific frequency is the so-called binary search. Sections of the semicircle of the possible 180 ° hidden phase shift are halved until the applicable phase has been determined with sufficient accuracy. For example, first a correction phase of + 90 ° accepted and applied to the signal as described above. From the resulting signal it can be seen whether the phase of the interference components lies in the quadrant from 0 ° to + 90 ° or in the quadrant from 0 ° to -90 °. The quadrant in question is again halved, ie one of two possible correction phases is selected and applied, namely + 45 ° or -45 °.
  • one of the four correction phases ⁇ 22.5 ° and + 67.5 ° is selected and applied. In this way, the process continues until the correct correction phase has been determined with sufficient accuracy.
  • Such an iterative method also has the advantage that it can possibly track possible subsequent changes in the interference components due to the change in the input data or the signal applied.
  • Signal normally does not cause any significant changes in the interference components outside the local frequency range, but it is possible to carry out a frequency-local calibration of the respective frequency components of the signal in parallel, in part in parallel or in sequence.
  • the test signal emitted by the generator can be calibrated using the procedure described above. Since an A / D converter for processing the signal emitted by the device under test can also cause corruption, it is also advantageous in the case of a test signal optimized in the sense described above if calibration data relating to the A / D converter and the other signal path are determined, the further processing of a transmitted or converted signal can be used to compensate for the falsifications caused.
  • the ideal analog signal free of interference components and whose frequency spectrum is known, is applied to the input of the A / D converter.
  • the relevant frequency components of the resulting, faulty digital signal are calculated and compared with the known frequency component values for the purpose of determining calibration data.
  • the determined calibration data are preferably stored in a memory.
  • the digitized response signals obtained during the test of the device under test are then corrected with these stored calibration values, so that the interference from the A / D converter (digitizer) and the other signal path are also reduced to a predetermined level, for example to the level of noise.
  • FIG. 1 shows a block diagram of a measuring arrangement according to the invention for measuring the reaction of an electronic test object to a periodic analog signal
  • FIG. 2 shows a flow diagram of a calibration method for a generator of the measuring arrangement from FIG. 1;
  • FIG. 3 shows a flow diagram of a calibration method for a digitizer of the measuring arrangement from FIG. 1;
  • Figure 4 shows the frequency spectrum of a signal with interference components and
  • Figure 5 shows the frequency spectrum of a signal calibrated according to the inventive method.
  • FIG. 1 shows a block diagram of a measuring arrangement 1 according to the invention for measuring the reaction of an electronic device under test 12, for example an xDSL (digital subscriber line) from telecommunications, to a periodic analog signal.
  • the measuring arrangement 1 has a signal generator 2 (arbitrary wave generator), indicated by dash-dotted lines, via which digital data connected to its input 4 can be converted into an analog test signal which is used for testing the test object 12.
  • the signal generator 2 essentially consists of a D / A converter to which additional components 8 for signal processing, such as amplifiers and filters, are assigned. Furthermore, the reference number 10 denotes components, such as, for example, plug sockets, line lengths, parasitic capacitors, etc.
  • the quality of the test signal depends on the components of the D / A converter, the quality of the components 8 and the components 10. In particular due to the last-mentioned components 8, 10, the signal, for example given digitally as a multi-tone signal, after its digital-to-analog conversion and transmission contains, in addition to the multi-tone frequencies, further interference components which can lead to a falsification of the measurement result when testing the test object 12.
  • the digitizer 14 indicated in FIG. 1 essentially consists of an A / D converter 18 and other components 20 for signal processing, such as dividers or filters, and the aforementioned parasitic and, if appropriate, external components 22, which can influence the signal quality.
  • an ideal, periodic analog signal which is not subject to interference components, is first generated at the output of the signal generator 2, the frequency spectrum of which must be known at least for the frequencies in question.
  • This ideal analog signal is - as indicated by dashed lines in FIG. 1 - applied directly to the input of the digitizer 14 and converted into a digital signal via the A / D converter 18, the relevant frequency components of which are calculated, for example, using a Fast Fourier transformation.
  • calibration values are determined, by means of which the influence of measurement hardware-related interference components on measurements subsequently carried out via the measurement arrangement 1 can be greatly reduced.
  • FIG. 2 shows a flowchart of a method for calibrating the signal generator 2 designated by 2 in FIG.
  • a desired signal is calculated or specified via an input unit 23 and in one via the signal path S1, S2 indicated in FIG.
  • Signal memory 24 (signal RAM) as so-called digital Waveform data stored.
  • This digital data which ideally corresponds to the waveform of the desired signal, is converted according to the signal sequence S3, S4, S5, S6 into an analog output signal which is made available at the output 26 of the signal generator 2.
  • the conversion of the desired signal data stored in the signal memory 24 takes place via the D / A converter 6.
  • the processing of the analog signal resulting from the conversion takes place via the filter and amplifier designated with the reference number 8.
  • the other components of the signal generator 2 which influence the signal quality are summarized by the block 10.
  • the output signal appearing at the output 26 of the signal generator does not correspond to the ideal of a signal which precisely has the waveform predetermined by the digital data, but is overlaid with inevitable noise and interference components which can be compensated for by the calibration method described below.
  • the target signal programmed via the input unit 23 is a two-tone signal with two frequency components F1 and F2, the target signal being characterized by the phase and amplitude of the two frequency components F1 and F2.
  • the desired signal characterized by the frequency components F1, F2 is superimposed by noise 30 and further interference components.
  • These interference components can have a considerably larger amplitude than the noise, so that the output signal at the output of the signal generator 2 does not have the required quality in the case of high quality requirements.
  • the faulty output signal appearing at the output 26 of the signal generator 2 is measured at certain frequencies using a frequency-selective voltmeter 32 or a similar suitable measuring device.
  • the aim of this measurement is to determine the amplitude and phase of the interference components of the relevant frequency components of the output signal. Only the amplitudes of the interference components shown in FIG. 4 can be detected via the frequency-selective voltmeter 32, so that iterative methods have to be used to determine the phase of the interference component.
  • the measurement signal S8 detected for each relevant frequency component via the frequency-selective voltmeter 32 is transmitted via a
  • Calibration unit 34 processes, which on the basis of this measurement signal S8 generates a so-called frequency bin, which for the respective frequency comprises the correction amplitude detected by the selective voltmeter 32 and a selected cocculture phase.
  • the content of these frequency bins generated by the calibration unit 34 for each relevant frequency component serves as the basis for the calculation of correction data which, in the step denoted by reference numeral 36, corresponds as digital signal data S9 "in opposite phase" to the current waveform data present at the input of the signal generator 2 added and stored in the signal memory 24.
  • This new, corrected waveform data is then transmitted in the manner described above via the signal paths S3, S4, S5, S6 are converted into an analog signal appearing at the output 26, which in turn is measured via the frequency-selective voltmeter 32.
  • the measured values supplied by the frequency-selective voltmeter 32 are then used by the calibration unit 34 to update the frequency bins with a new correction phase and, if necessary, a new correction amplitude. This loop is run through until a suitable correction phase and correction amplitude have been determined for each frequency component, which allow the interference component to be canceled out below a predetermined limit level.
  • the waveform data stored in the signal memory 24 are changed by means of the correction amplitudes and correction phases measured or iteratively determined via the voltmeter 32 until the interference components in question of the analog signal generated by the signal generator 2 on the basis of the waveform data are below a predetermined limit value, for example below the level of noise are reduced.
  • This calibration process must be carried out separately for each frequency component.
  • the calibration process can be described as sequential, partly parallel or entirely parallel.
  • the measurement of the frequency components and determination of the frequency bins can be determined in parallel, partially in parallel or successively for all frequency components in each iteration. This results in a lot of freedom when implementing the device according to the invention with regard to the opposing design criteria of speed and hardware expenditure.
  • the interference components at the frequencies 2 ⁇ Fl-F2; 2 X F2 - Fl; 2 X F2; 2 x F2 + Fl and 2 X Fl + F2 are compensated up to the noise limit.
  • the interference components occurring at the frequency 2 ⁇ Fl were not calibrated out. Accordingly, a frequency bin comprising a correction amplitude and a correction phase was neither determined for these interference components, nor were changes made to the waveform data which would have led to a reduction in the interference components occurring at the frequency 2 ⁇ Fl in the output signal resulting from the waveform data.
  • the calibrated analog signal according to FIG. 3 occurring at the output 26 is applied to the input of the digitizer 14 via the signal path S10.
  • This ideal, analog signal is then converted via the signal path Sll, S12, S13, ie by means of the A / D converter 18, the additional signal processing components 20 (filter, divider, etc.) and the external and parasitic components 22 into a digital signal and im State memory 38 of digitizer 14 is stored.
  • This digital signal is passed to a signal processing processor 40, which uses the digital signal to calculate the frequency spectrum of the digital signal, which in turn contains interference components, for example by means of a Fast Fourier transform.
  • the frequency spectrum of the digital signal is displayed via a large number of frequency bins (amplitude, phase), which reflect the individual frequency components.
  • This non-calibrated data represented by block 42 is tapped via signal path S16 and compared in the comparison step identified by reference numeral 44 for each frequency component in question with the known frequency spectrum of the desired signal, also represented in the form of frequency bins.
  • the difference between the corresponding contents of the corresponding frequency bins of the known frequency spectrum of the desired signal and the non-calibrated data 42 is stored in a calibration memory 46 for each frequency component.
  • These calibration data (phases, amplitude) stored in the calibration memory 46 are fed to a calibration software 48 which is able to later correct frequency bins determined by the signal processing processor 40, for example by means of FFT analysis, in such a way that the interference components are reduced to a tolerable size.
  • the calibrated test signal generated by the signal generator 2 is then applied to it and the resulting response signal is converted into a digital signal via the digitizer 14.
  • the frequency signal of the digital signal superimposed with interference components is broken down by the signal processing processor 40, which in turn is revised by the calibration software 48 on the basis of the calibration data stored in the calibration memory 46 in such a way that all interference components detected during the calibration and caused by the digitizing signal path, for example harmonic components Harmonics can be largely distinguished from the true signal components and eliminated
  • a method and a device for generating a calibrated periodic analog signal with predetermined frequency components are disclosed. According to the invention, uncalibrated digital data are calculated using the predetermined frequency display, this data is converted into an analog signal, parameter values of the output signal are recorded and, if the parameter value exceeds a limit value, a correction value for the digital data is determined.

Abstract

Offenbart sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erzeugung eines kalibrierten periodischen Analogsignals mit vorgegebenen Frequenzanteilen. Erfindungsgemäß werden anhand der vorgegebenen Frequenzanteile unkalibrierte digitale Daten berechnet, diese Daten in ein analoges Signal umgewandelt, Parameterwerte des Ausgangssignals erfasst und, falls der Parameterwert einen Grenzwert überschreitet, ein Korrekturwert der digitalen Daten ermittelt.

Description

Kalibrierverfahren und Kalibriervorrichtung
Kalibrierverfahren
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, ein Verfahren zur Ermittlung von Kalibrierungsdaten für einen Signalpfad, ein Verfahren zum Messen der Reaktion eines elektronischen Prüflings auf ein periodisches Analogsignal sowie korrespondierende Vorrichtungen.
Unter dem Begriff "elektronischer Prüfling" sind jegliche Art elektronischer Komponenten und elektronischer Systeme zu verstehen, insbesondere integrierte elektronische Schaltkreise und Systeme (auch ICs genannt) sowie elektronische Bauteile. Diese werden in der Fachwelt häufig durch Verwendung des englischen Oberbegriffs "device under test" (kurz "DUT") zusammengefaßt .
Im Zuge der zunehmenden Automatisierung von Abläufen werden die verwendeten integrierten elektronischen Schaltkreise und Systeme immer komplexer. Die Integrationsdichte und die Arbeitsgeschwindigkeit dieser ICs vervielfachen sich in immer kürzer werdenden Zeitabschnitten. Dabei werden digitale und schnellste analoge Funktionen auf ICs mit integrierten Speichern und Signalsprozessoren verbunden, so daß man nicht mehr von integrierten Schaltungen sondern von ganzen "Systems on Silicon" spricht. Für die Prüfung dieser komplexen Prüflinge ist eine adäquate Testerumgebung von größter Bedeutung, um auf der einen Seite die Lieferung fehlerfreier Produkte zu gewährleisten und auf der ande- ren Seite die Entwicklungszyklen für die Produkte auf ein Minimum zu reduzieren.
Bei herkömmlichen Testsystemen derartiger Prüflinge, wie beispielsweise der Einspritzelektronik, des Zündmoduls, des Motormanagments oder des Antiblockiersystems in der Automobilelektronik, sowie beispielsweise in der Telekommunikationstechnik eingesetzte ICs, Filter, etc. wird eine Meßanordnung verwendet, bei der über einen Signalgenerator ein Prüfsignal erzeugt und der Prüfling mit dem Prüfsignal beaufschlagt wird. Das von dem Prüfling abgegebene Antwortsignal wird über einen A/D-Konverter in ein digitales Signal umgewandelt und dann ausgewertet. Bei den PrüfSignalen kann es sich um beliebige Signale, bei periodischen Signalen jedoch insbesondere um Einton- oder Mehrtonsignale, handeln.
Nachteilig bei diesen Lösungen ist, daß die Hardware der Meßanordnung selbst ein Verfälschung der Signale dadurch verursachen, daß sie entlang dem Signalpfad der Prüf- und AntwortSignale ein von dem Ideal abweichendes Verhalten aufweisen, das zu einer Überlagerung der über den Signalpfad übertragenen Signale mit Störkomponenten führt. Als Störkomponenten versteht der Fachmann beispielsweise harmonische OberSchwingungen, Quanitiserungsfehler und sonstige hardwarebedingte Fehlerprodukte. Desweiteren hat jedes über die Meßanordnung verarbeitete Signal ein Grundrauschen, das die vorgenannten Signale und die Störkomponenten überlagert.
Bei der Auswertung der vom Prüfling abgegebenen AntwortSignale ist es oftmals äußerst schwierig, diejenigen Signalkomponenten, die auf Fehlern im Verhalten des Prüflings zurückzuführen sind, von den vorbeschriebenen Störkomponenten zu unterscheiden. Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals, ein Verfahren zur Ermittlung von Kalibrierungsdaten für einen Signalpfad, ein Verfahren zum Messen der Reaktion eines elektronischen Prüflings auf ein periodisches Analogsignal sowie korrespondierende Vorrichtungen zu schaffen, die die Störkomponenten auf ein Minimum reduzieren, bzw. die es ermöglichen, die Auswirkungen der Störkomponenten auf ein Minimum zu reduzieren.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmalskombination der jeweiligen Patentansprüche 1, 8, 12, 14, 21 und 25 gelöst.
Erfindungsgemäß werden relevante Frequenzanteile eines analogen, periodischen Ausgangsignals eines Signalgenerators, der das Ausgangssignal anhand vorgegebenen Digitaldaten generiert, mittels einer geeigneten Meßeinrichtung vermessen. In Abhängigkeit von diesen für einen oder mehreren Frequenzanteile des fehlerbehafteten Prüfsignals vorliegenden Meßwerten wird eine Korrektur für die dem Analogsignal zugrundeliegenden Digitaldaten ermittelt, die daraufhin verändert werden.
Die über die Korrekturwerte veränderte Digitaldaten werden im Signalgenerator erneut in ein analoges Prüfsignal umgewandelt und über die Meßeinrichtung wiederum im Hinblick auf evtl. verbleibende Störkomponenten untersucht . Dieser Kalibriervorgang wird solange wiederholt, bis der Signalgenerator ein Ausgangssignal generiert, bei dem die Störkomponenten bei sämtlichen in Frage kommenden Frequenzen auf unter einen vorgegebenen Grenzwert, beispielsweise auf den Bereich des Rauschens, reduziert sind. Die erfindungsgemäßen Maßnahmen ermöglichen es somit, ein ursprünglich fehlerbehaftetes Ausgangssignal eines Generators derart anzupassen, daß ein Prüfling mit einem periodischen Analogsignal beaufschlagt werden kann, das praktisch frei von Störkomponenten ist.
Der Hardwareaufwand zur Vermessung der Störkomponenten des Ausgangssignals ist gering, wenn die Amplituden der bei den jeweiligen relevanten Frequenzen auftretenden Störkomponenten über ein frequenzselektives Voltmeter oder ein ähnliches Meßgerät erfaßt werden. Obwohl die Phase der bei den jeweiligen relevanten Frequenzen auftretenden Störkomponenten sich über ein frequentselektives Voltmeter nicht bestimmen läßt, ist es möglich, die jeweilige Phase durch Iteration zu ermitteln. Diese Iteration beinhaltet beispielsweise, daß zunächst eine Korrekturphase gewählt wird, und daß die Digitaldaten derart geändert werden, als würde das Ausgangssignal gegenphasig mit der gewählten Korrekturphase und der über das Voltmeter ermittelten Korrekturamplitude überlagert werden. Aus dem durch die Änderung der Digitaldaten modifizertes Ausgangssignal läßt sich die Phase der Störkomponenten genauer ermitteln. In den darauffolgenden Iterationsschritten wird die Korrekturphase gezielt solange abgeändert, bis die Störkomponenten unterhalb des vorbestimmten Grenzwertes - beispielsweise der Rauschgrenze liegt.
Eine bevorzugte Vorgehensweise zur Ermittlung der Phase der Störkomponenten bei einer bestimmten Frequenz ist der sogenannte Binary Search. Dabei werden Abschitte des Halbkreises der möglichen 180° verborgener Phasenverschiebung immer weiter halbiert, bis die zutreffende Phase ausreichend genau bestimmt worden ist. Beispielsweise wird zuerst eine Korrekturphase von +90° angenommen und dem Signal wie oben beschrieben beaufschlagt. Aus dem resultierenden Signal läßt sich erkennen, ob die Phase der Störkomponenten in dem Quadrant von 0° bis +90° oder dem Quadrant von 0° bis -90° liegt. Der betreffende Quadrant wird wiederum halbiert, d.h. es wird eine von zwei möglichen Korrekturphasen gewählt und beaufschlagt, nämlich +45° oder -45°. Aus den weiteren Erkenntissen wird eine der vier Korrekturphasen ±22,5° und +67,5° gewählt und beaufschlagt. Auf diese Weise wird weiterverfahren, bis die richtige Korrekturphase mit ausreichender Genauigkeit feststeht. Ein solches, iteratives Verfahren hat auch den Vorteil, daß es eventuelle FolgeVeränderungen der Störkomponenten aufgrund der Änderung der Eingangsdaten bzw. des beaufschlagten Signals möglicherweise mitverfolgen kann.
Aus den obigen Erläuterungen ist ersichtlich, daß beispielsweise die Phasenbestimmung der Störkomponenten bei einer bestimmten Frequenz zeitintensiv sein kann. Da eine frequenzlokale Veränderung des zu kalibrierenden
Signals normalerweise keine wesentlichen Änderungen der Störkomponenten außerhalb des lokalen Frequenzbereichs hervorruft, ist es jedoch möglich, eine frequenzlokale Kalibrierung der jeweiligen Frequenzanteile des Signals parallel, teils parallel oder sequentiell vorzunehmen.
Mit der vorbeschriebenen Vorgehensweise läßt sich das vom Generator abgegebene Prüfsignal kalibrieren. Da ein A/D-Wandler zur Verarbeitung des vom Prüfling abgegebenen Signales ebenfalls eine Verfälschung verursachen kann, ist es auch bei einem im vorbeschriebenen Sinne optimierten Prüfsignal vorteilhaft, wenn Kalibrierdaten bezüglich des A/D-Wandlers und des sonstigen Signalpfads ermittelt werden, die bei der weiteren Bearbeitung eines übertragenen bzw. umgewandelten Signals zur Kompensation der verursachten Verfälschungen angewandt werden können. Bei der Ermittlung von Kalibrierungsdaten für den A/D-Wandlers wird das ideale, von Störkomponenten freie Analogsignal, dessen Frequenzspektrum bekannt ist, an den Eingang des A/D-Wandlers gelegt. Die relevanten Frequenzanteile des daraus resultierenden, fehlerbehafteten Digitalsignals werden berechnet und mit den bekannten Frequentanteilwerten zwecks der Ermittlung von Kalibrierungsdaten verglichen. Bevorzugt basierter Vergleich auf eine individuelle Differenzbildung zwischen den berechneten und den bekannten Frequenzanteilen. Die ermittelten Kalibrierungsdaten werden vorzugsweise in einem Speicher abgelegt. Die beim Test des Prüflings erhaltenen, digitalisierten AntwortSignale werden dann mit diesen abgespeicherten Kalibrierwerten korrigiert, so daß auch die Störeinflüsse des A/D-Wandlers (Digitizer) und des sonstigen Signalpfades auf ein vorbestimmtes Niveau, beispielsweise auf den Niveau des Rauschens abgesenkt sind.
Sonstige vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der weiteren Unteransprüche.
Im folgenden wird ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand schematischer Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Figur 1 ein Blockschaubild einer erfindungsgemäßen Meßanordnung zum Messen der Reaktion eines elektronischen Prüflings auf ein periodisches Analogsignal;
Figur 2 ein Ablaufschema eines Kalibrierverfahrens für einen Generator der Meßanordnung aus Figur 1;
Figur 3 ein Ablaufschema eines Kalibrierverfahrens für einen Digitizer der Meßanordnung aus Figur 1; Figur 4 das Frequenzspektrum eines mit Störkomponenten behafteten Signals und Figur 5 das FrequenzSpektrum eines nach dem erfindungsgemäßen Verfahren kalibrierten Signals.
Figur 1 zeigt ein Blockschaubild einer erfindungsgemäßen Meßanordnung 1 zum Messen der Reaktion eines elektronischen Prüflings 12, beispielsweise ein xDSL (digital subscriber line) aus der Fernmeldetechnik, auf ein periodisches Analogsignal. Die Meßanordnung 1 hat einen strichpunktiert angedeuteten Signalgenerator 2 (arbitrary wave generator) , über den an seinem Eingang 4 gelegte digitale Daten in ein analoges Prüfsignal umwandelbar sind, das zum Testen des Prüflings 12 verwendet wird.
Der Signalgenerator 2 besteht im wesentlichen aus einem D/A-Wandler, dem zusätzliche Bauelemente 8 zur Signalverarbeitung, wie beispielsweise Verstärker und Filter zugeordnet sind. Desweiteren sind mit dem Bezugszeichen 10 Komponenten, wie beispielsweise Steckerbuchsen, Leitungslängen, parasitäre Kondensatoren etc. bezeichnet. Die Qualität des PrüfSignals hängt von den Bauelementen des D/A-Wandlers, der Qualität der Bauelemente 8 sowie den Komponenten 10 ab. Insbesondere aufgrund der letztgenannten Komponenten 8, 10 enthält das beispielsweise als Mehrtonsignal digital vorgegebene Signal nach seiner Digital-Analog-Umwandlung und Übertragung neben den Mehrtonfrequenzen weitere Störkomponenten, die zu einer Verfälschung des Meßergebnisses beim Testen des Prüflinges 12 führen können. Der in Figur 1 angedeutete Prüfling 12 wird mit dem am Ausgang des Signalgenerators 2 abgegriffenen, analogen Prüfsignal beaufschlagt, und ein resultierendes Antwortsignal wird an einen Eingang eines zweifach gepunktet angedeuteten Digitizers 14 gelegt. Über diesen wird das analoge Antwortsignal in ein digitales Signal umgewandelt, das am Ausgang 16 des Digitizers 14 abgegriffen und ausgewertet wird.
Der in Figur 1 angedeutete Digitizer 14 besteht im wesentlichen aus einem A/D-Wandler 18 sowie sonstigen Bauelementen 20 zur Signalverarbeitung, wie beispielsweise Dividierern oder Filtern sowie den vorgenannten parasitären und ggfs . externen Komponenten 22, die die Signalqualität beeinflussen können.
Zu der im folgenden noch detailliert beschriebenen Kalibrierung der Meßanordnung 1 wird zunächst am Ausgang des Signalgenerators 2 ein ideales, nicht mit Störkomponenten behaftetes, periodisches Analogsignal erzeugt, dessen Frequenzspektrum zumindest für die in Frage kommenden Frequenzen bekannt sein muß. Dieses ideale Analogsignal wird - wie in Figur 1 gestrichelt angedeutet - direkt an den Eingang des Digitizers 14 gelegt und über den A/D-Wandler 18 in ein digitales Signal umgewandelt, dessen relevanten Frequenzanteile beispielsweise über eine Fast-Fourier-Transformation berechnet werden. Durch Vergleich der berechneten Frequenzanteile mit den als vorausgesetzt bekannten Werten des idealen Analogsignals werden Kalibrierwerte ermittelt, über die der Einfluß von meßhardwarebedingten Störkomponenten auf später über die Meßanordnung 1 vorgenommene Messungen stark reduziert werden kann.
In Figur 2 ist ein Ablaufschema eines Verfahrens zum Kalibrieren des in Figur 1 mit 2 bezeichneten Signalgenerators 2 dargestellt.
Zu Beginn der Kalibrierung wird ein Sollsignal über eine Eingabeeinheit 23 berechnet bzw. vorgegeben und über den in Figur 2 angedeuteten Signalpfad Sl, S2 in einem
Signalspeicher 24 (signal RAM) als sogenannte digitale Waveformdaten abgelegt. Dieses digitale Daten, die im Idealfall der Wellenform des Sollsignals entsprechen, werden gemäß der Signalfolge S3, S4, S5, S6 in ein analoges Ausgangssignal umgewandelt, das am Ausgang 26 des Signalgenerators 2 zur Verfügung gestellt wird. Die Umwandlung der im Signalspeicher 24 abgelegten Sollsignaldaten erfolgt über den D/A-Wandler 6. Die Aufbereitung des aus der Umwandlung resultierenden Analogsignals erfolgt über die mit dem Bezugszeichen 8 bezeichneten Filter und Verstärker. Die sonstigen, die Signalqualität beeinflussenden Bauelemente des Signalgenerators 2 sind durch den Block 10 zusammengefaßt .
Das am Ausgang 26 des Signalgenerators erscheinende Ausgangssignal entspricht nicht dem Ideal eines präzis die durch die digitalen Daten vorgegebene Wellenform aufweisenden Signals, sondern ist von einem unvermeidlichen Rauschen sowie von Stδrkomponenten überlagert, die nach dem im folgenden beschriebenen Kalibrierverfahren kompensiert werden können.
Bei dem im folgenden beschriebenen Ausführungsbeispiel sei angenommen, daß das über die Eingabeeinheit 23 programmierte Sollsignal ein Zweitonsignal mit zwei Frequenzkomponenten Fl und F2 ist, wobei das Sollsignal durch Phase und Amplitude der beiden Frequenzkomponenten Fl und F2 gekennzeichnet ist .
Gemäß der Darstellung in Figur 4 ist das durch die Frequenzkomponenten Fl, F2 gekennzeichnete Sollsignal durch ein Rauschen 30 und weitere Störkomponenten überlagert. In der Figur sind die Frequenzanteile einiger in der Fernmelde- und Meßtechnik häufig auftretenden harmonischen Störkomponenten bei den Frequenzen 2 x Fl - F2; 2 x F2 - Fl; 2 x Fl; Fl + F2 ; 2 x Fl + F2 ; und 2 F2 + Fl besonders gekennzeichnet . Diese Störkomponenten können eine erheblich größere Amplitude als das Rauschen aufweisen, so daß das Ausgangssignal am Ausgang des Signalgenerators 2 bei hohen Qualitätsanforderungen nicht die erforderliche Qualität aufweist.
Zur Beseitigung dieser Störkomponenten wird das am Ausgang 26 des Signalgenerators 2 erscheinende, fehlerbehaftete Ausgangssignal (siehe Figur 4) über ein frequenzselektives Voltmeter 32 oder eine ähnliche geeignete Meßeinrichtung bei bestimmten Frequenzen vermessen. Ziel dieser Messung ist, Amplitude und Phase der Störkomponenten der relevanten Frequenzanteile des Ausgangssignals zu ermitteln. Über das frequenzselektives Voltmeter 32 können lediglich die Amplituden der in Figur 4 dargestellten Störkomponenten erfaßt werden, so daß zur Ermittlung der Phase der Störkomponente auf iterative Verfahren zurückgegriffen werden muß. Das über das frequenzselektive Voltmeter 32 zu jedem relevanten Frequenzanteil erfaßte Meßsignal S8 wird über eine
Kalibriereinheit 34 verarbeitet, die auf der Basis dieses Meßsignals S8 ein sogenannter Frequenzbin generiert, der für die jeweilige Frequenz die über das selektive Voltmeter 32 erfaßte Korrekturamplitude und eine gewählte Kokkekturphase umfaßt. Der Inhalt diese von der Kalibriereinheit 34 für jeden relevanten Frequenzanteil erzeugten Frequenzbins dient als Grundlage für die Berechnung von Korrekturdaten, die in dem mit dem Bezugszeichen 36 bezeichneten Schritt als digitale Signaldaten S9 "gegenphasig" zu den aktuellen, am Eingang des Signalgenerators 2 anliegenden Waveformdaten entsprechend hinzu addiert und im Signalspeicher 24 abgelegt werden.
Diese neuen, korrigierten Waveformdaten werden dann in der vorbeschriebenen Weise über die Signalpfade S3 , S4, S5, S6 in ein am Ausgang 26 erscheinendes Analogsignal umgewandelt, das wiederum über das frequenzselektive Voltmeter 32 vermessen wird. Die von dem frequenzselektiven Voltmeter 32 gelieferten Meßwerte werden dann von der Kalibriereinheit 34 zur Aktualisierung der Frequenzbins mit einer neuen Korrekturphase und ggfs. einer neuen Korrekturamplitude. Diese Loop wird- solange durchlaufen, bis für jeden Frequenzanteil eine geeignete Korrekturphase sowie Korrekturamplitude ermittelt worden ist, die eine Auslöschung der Stδrkomponent bis unter ein vorgegebenes Grenzniveau ermöglichen. D.h., die im Signalspeicher 24 abgelegten Waveformdaten werden mittels der über das Voltmeter 32 gemessenen bzw. iterativ bestimmten Korrekturamplituden und Korrekturphasen geändert, bis die in Frage kommenden Störkomponenten des durch den Signalgenerator 2 anhand der Waveformdaten erzeugten Analogsignals unterhalb einen vorbestimmten Grenzwert, beispielsweise unter den Niveau des Rauschens reduziert sind.
Dieser Kalibriervorgang muß für jeden Frequenzanteil getrennt durchgeführt werden. Je nach dem, ob die beschriebene iterative Korrekturschleife die iterative Kalibrierung eines, mehrerer oder aller relevanten Frequenzanteile des erzeugten Ausgangssignal vornimmt, ist der Kalibriervorgang als sequentiell, teils parallel oder gänzlich parallel zu bezeichnen. Zudem kann die Messung der Frequenzanteile und Ermittlung der Frequenz- bins (Korrekturphase, Korrekturamplitude) bei jeder Iteration parallel, teils parallel oder sukzessiv für alle Frequenzanteile ermittelt werden. Somit ergibt sich viel Freiraum bei der Implementierung der erfindungsgemäße Vorrichtung bezüglich der gegenläufigen Entwurfskriterien Schnelligkeit und Hardwareaufwand. Am Ende des Kalibriervorganges erscheint am Ausgang 26 des Signalgenerators ein Analogsignal gemäß Figur 5, bei dem die Störkomponenten bei den Frequenzen 2 x Fl - F2; 2 X F2 - Fl ; 2 X F2 ; 2 x F2 + Fl und 2 X Fl + F2 bis zur Rauschgrenze kompensiert sind. Bei dem in Figur 5 dargestellten Ausführungsbeispiel wurden die bei der Frequenz 2 x Fl auftretende Störkomponenten nicht auskalibriert. Dementsprechend wurde für diese Störkomponenten weder ein eine Korrekturamplitude und eine Korrekturphase umfassender Frequenzbin ermittelt noch wurden Änderungen an den Waveformdaten vorgenommen, die zu einer Reduzierung der bei der Frequenz 2 x Fl auftretenden Störkomponenten in dem aus den Waveformdaten resultierenden Ausgangssignal geführt hätten.
Zur Beseitigung dieser Störkomponenten müßte der vorbeschriebene Kalibriervorgang nochmals für den Frequenzanteil 2 x Fl wiederholt werden.
Nach dieser Kalibrierung des Signalgenerators 2 wird das am Ausgang 26 auftretende, kalibrierte Analogsignal gemäß Figur 3 über den Signalpfad S10 an den Eingang des Digitizers 14 gelegt. Dieses ideale, Analogsignal wird dann über den Signalpfad Sll, S12, S13, d.h. mittels des A/D-Wandlers 18, der zusätzlichen Signalverarbeitungsbauelemente 20 (Filter, Dividierer etc.) sowie die externen und parasitären Komponenten 22 in ein digitales Signal umgewandelt und im Signalspeicher 38 des Digitizers 14 gespeichert. Dieses digitale Signal wird zu einem Signalverarbeitungsprozessor 40 geleitet, der aus dem digitalen Signal das wiederum mit Störkomponenten behaftete FrequenzSpektrum des digitalen Signals beispielsweise per Fast-Fourier-Transformation berechnet . Die Darstellung des FrequenzSpektrums des digitalen Signals erfolgt über eine Vielzahl von Frequenzbins (Amplitude, Phase) , die die einzelnen Frequenzanteile wiederspiegeln. Diese durch den Block 42 repräsentierten, nicht kalibrierten Daten werden über den Signalpfad S16 abgegriffen und in dem mit dem Bezugszeichen 44 gekennzeichneten Vergleichsschritt für jeden in Frage kommenden Frequenzanteil mit dem ebenfalls in Form von Frequenzbins dargestellten, bekannten Frequenzspektrum des erwünschten Signals verglichen. Die Differenz zwischen den korrespondierenden Inhalten der jeweils korrespondierenden Frequenzbins des bekannten FrequenzSpektrums des erwünschten Signals und der nicht kalibrierten Daten 42 wird für jeden Frequenzanteil in eine Kalibrierspeicher 46 abgelegt. Diese im Kalibrierspeicher 46 abgelegte Kalibrierdaten (Phasen, Amplitude) werden einer Kalibriersoftware 48 zugeführt, die in der Lage ist, später durch den Signalverarbeitungsprozessor 40 beispielsweise mittels FFT-Analyse ermittelte Frequenzbins derart zu korrigieren, daß die Störkomponenten auf eine tolerierbare Größe verringert sind.
Beim Testen eines Prüflings 12 wird dieser dann mit dem durch den Signalgenerator 2 erzeugten, kalibrierten Prüfsignal beaufschlagt und das resultierende Antwortsignal über den Digitizer 14 in ein Digitalsignal umgewandelt. Das mit Störkomponenten überlagerte Digitalsignal wird durch den Signalverarbeitungsprozessor 40 in seinen Frequenzanteilen zerlegt, die wiederum durch die Kalibriersoftware 48 anhand der im Kalibrierspeicher 46 abgelegten Kalibrierdaten derart überarbeitet werden, daß sämtliche während der Kalibrierung erfaßten, durch den digitalisierenden Signalpfad hervorgerufenen Störkomponenten, beispielsweise harmonische Oberschwingungen, von den wahren Signalkomponenten weitgehend unterschieden und beseitigt werden
Offenbart sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erzeugung eines kalibrierten periodischen Analogsignals mit vorgegebenen Frequenzanteilen. Erfindungsgemäß werden anhand der vorgegebenen Frequenzanzeile unkalibrierte digitale Daten berechnet, diese Daten in ein analoges Signal umgewandelt, Parameterwerte des Ausgangssignals erfasst und, falls der Parameterwert einen Grenzwert überschreitet, ein Korrekturwert der digitalen Daten ermittelt.
Bezugszeichenliste
1 Meßanordnung 2 Signalgenerator
4 Eingang
6 D/A-Wandler
8 Bauelemente
10 parasitäre Komponenten 12 Prüfling
14 Digitizer
16 Ausgang
18 A/D-Wandler
20 Baulemente 22 parasitäre Komponenten
23 Eingabeeinheit
24 SignalRAM 26 Ausgang 28 Eingabe 30 Rauschen
32 frequenzselektives Voltmeter
34 Kalibriereinheit
36 Addierschritt
38 Signalspeicher 40 Signalverarbeitungsprozessor
42 Nicht kalibrierte Daten
44 Vergleichsschritt
46 Kalibrierspeicher
48 Kalibriersoftware

Claims

Ansprüche
1. Verfahren zur Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals mit vorgegebenen Frequenzanteilen, mit den Schritten: a) Berechnung von unkalibrierten digitalen Daten anhand der vorgegebenen Frequenzanteile; b) Umwandlung der digitalen Daten in ein analoges Ausgangssignal ; c) Messung mindestens eines Parameterwerts des Ausgangssignals bei mindestens einer Frequenz; d) falls der Parameterwert einen vorgegebenen Grenzwert überschreitet, dl) Ermittlung einer Korrektur der digitalen Daten anhand des gemessenen Parameterwerts , d2) Durchführung der Korrektur, und d3) Wiederholung ab Schritt b) .
2. Verfahren zur Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals nach Patentanspruch 1, wobei die Amplitude als Parameterwert gemessen wird.
3. Verfahren zur Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals nach Patentanspruch 2, wobei der zur gemessenen Amplitude zugehörige Phasenwert anhand der durch die Wiederholung der Schritte b) bis d) auftretenden Änderungen des AusgangsSignals geschätzt wird.
4. Verfahren zur Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals nach einem der vorhergehenden Patentansprüche, wobei das Ausgangssignal bezüglich mehrerer relevanten Frequenzen sequentiell kalibriert werden soll, mit dem weiteren Schritt: e) falls noch nicht bei allen relevanten Frequenzen gemessen worden sind, Änderung der in Schritt c) gemessener Frequenz bzw.
Frequenzen und Wiederholung ab Schritt b) .
5. Verfahren zur Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals nach einem der Patentansprüche 1 bis 3, wobei, um das Ausgangssignal bezüglich mehrerer relevanten Frequenzen im Parallelverfahren zu kalibrieren, Schritt c) eine Messung der jeweiligen Parameterwerte des Ausgangssignals bei allen relevanten Frequenzen umfaßt, und die Ermittlung der Korrektur alle gemessenen Parameterwerte berücksichtigt .
6. Verfahren zur Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals nach einem der vorhergehenden Patentansprüche, wobei die korrigierten digitalen Daten gespeichert werden.
7. Verfahren zur Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals nach einem der vorhergehenden Patentansprüche, wobei der zu einem Parameterwert korrespondierende Grenzwert die Rauschgrenze der jeweiligen Frequenz ist, bei der der Parameterwert gemessen worden ist.
8. Verfahren zur Ermittlung von Kalibrierungsdaten für einen Signalpfad, der ein periodisches Analogsignal in digitale Daten umwandelt, mit den Schritten: a) Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals mit bekannten
Frequenzanteilwerten; b) Umwandlung des kalibrierten Analogsignals über den Signalpfad in digitale Ausgangsdaten; c) Berechnung von Frequenzanteilen des umgewandeltes Analogsignal anhand der digitalen Ausgangsdaten; d) Ermittlung der Kalibrierungsdaten anhand eines Vergleichs der berechneten Frequenzanteilen mit den bekannten Frequenzanteilen.
9. Verfahren zur Ermittlung von Kalibrierungsdaten für einen Signalpfad nach Patentanspruch 8, wobei der Vergleich durch jeweilige Differenzbildung zwischen den berechneten Frequenzanteilen und den bekannten Frequenzanteilen erfolgt.
10. Verfahren zur Ermittlung von Kalibrierungsdaten für einen Signalpfad nach Patentanspruch 8 oder 9, wobei die Kalibrierungsdaten gespeichert werden.
11. Verfahren zur Ermittlung von Kalibrierungsdaten für einen Signalpfad nach einem der Patentansprüche 8 bis 10, wobei das kalibrierte, periodische Analogsignal gemäß dem Verfahren zur Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals nach einem der Patentansprüche 1 bis 6 erzeugt wird.
12. Verfahren zum Messen der Reaktion eines elektronischen Prüflings auf ein periodisches
Analogsignal, mit den Schritten: - Erzeugung eines kalibrierten, periodischen
Analogsignals gemäß dem Verfahren nach einem der Patentansprüche 1 bis 6;
Beaufschlagung des erzeugten Analogsignals auf den Prüfling; und - Erfassung von Meßdaten gemäß der Reaktion des Prüflings .
13. Verfahren zum Messen der Reaktion eines elektronischen Prüflings nach Patentanspruch 12, wobei die Erfassung der Meßdaten über einen Signalpfad erfolgt, für das Kalibrierungsdaten gemäß dem Verfahren zur Ermittlung von Kalibrierungsdatennach einem der Patentansprüche 8 bis 11 ermittelt worden sind, und die Meßdaten anhand der Kalibrierungsdaten korrigiert werden.
14. Vorrichtung zur Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals mit vorgegebenen Frequenzanteilen, die: unkalibrierte digitalen Daten anhand der vorgegebenen Frequenzanteile berechnet; die digitalen Daten in ein analoges Ausgangssignal umwandelt; mindestens einen Parameterwert des AusgangsSignals bei mindestens einer Frequenz mißt; und
- . falls der Parameterwert einen vorgegebenen Grenzwert überschreitet, eine Korrektur der digitalen Daten anhand des gemessenen Parameterwerts ermittelt, - die Korrektur durchführt, und die Umwandlung, die Messung und die eventuellen Korrekturschritten wiederholt.
15. Vorrichtung zur Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals nach Patentanspruch 14, die die Amplitude als Parameterwert mißt.
16. Vorrichtung zur Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals nach Patentanspruch 15, die der zur gemessenen Amplitude zugehörige Phasenwert anhand der durch die nach der Korrektur ausgeführte Wiederholung auftretenden Änderungen des AusgangsSignals schätzt.
17. Vorrichtung zur Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals nach einem der Patentansprüche 14 bis 16, die, falls der Parameterwert einen vorgegebenen Grenzwert nicht überschreitet, um das Ausgangssignal bezüglich mehrerer relevanten Frequenzen im Seriellverfahren zu kalibrieren, bei eventuell noch nicht gemessenen, relevanten Frequenzen mißt, ggf. korrigiert und die angegebenen Wiederholungsschritte ggf. wiederholt.
18. Vorrichtung zur Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals nach einem der Patentansprüche 14 bis 16, die, um das Ausgangssignal bezüglich mehrerer relevanten Frequenzen im Parallelverfahren zu kalibrieren, die jeweiligen Parameterwerte des AusgangsSignals bei allen relevanten Frequenzen in einem Schritt mißt und die digitalen Daten unter Berücksichtigung aller gemessenen Parameterwerte korrigiert.
19. Vorrichtung zur Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals nach einem der
Patentansprüche 14 bis 18, die die korrigierten digitalen Daten speichert .
20. Vorrichtung zur Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals nach einem der
Patentansprüche 14 bis 19, die einen arbitrary wave generator (2) umfaßt.
21. Vorrichtung zur Ermittlung von Kalibrierungsdaten für einen Signalpfad, der ein periodisches Analogsignal in digitale Daten umwandelt, die: ein kalibriertes, periodisches Analogsignal mit bekannten Frequenzanteilwerten erzeugt; das kalibrierte Analogsignal über den Signalpfad in digitale Ausgangsdaten umwandelt; Frequenzanteile des umgewandeltes Analogsignal anhand der digitalen Ausgangsdaten berechnet; - die Kalibrierungsdaten anhand eines Vergleichs der berechneten Frequenzanteilen mit den bekannten Frequenzanteilen ermittelt.
22. Vorrichtung zur Ermittlung von Kalibrierungsdaten für einen Signalpfad nach Patentanspruch 21, die den
Vergleich durch jeweilige Differenzbildung zwischen den berechneten Frequenzanteilen und den bekannten Frequenzanteilen durchführt.
23. Vorrichtung zur Ermittlung von Kalibrierungsdaten für einen Signalpfad nach Patentanspruch 21 oder 22, die die Kalibrierungsdaten speichert .
24. Vorrichtung zur Ermittlung von Kalibrierungsdaten für einen Signalpfad nach einem der Patentansprüche 21 bis 23, die: das kalibrierte, periodische Analogsignal gemäß dem Verfahren zur Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals nach einem der Patentansprüche 1 bis 6 erzeugt; und/oder eine Vorrichtung nach einem der Patentansprüche 14 bis 20 zur Erzeugung des kalibrierten, periodischen Analogsignals umfaßt.
25. Meßvorrichtung zum Messen der Reaktion eines elektronischen Prüflings auf ein periodisches Analogsignal, die: ein kalibriertes, periodisches Analogsignal gemäß dem Verfahren nach einem der
Patentansprüche 1 bis 6 erzeugt; und/oder eine Vorrichtung nach einem der Patentansprüche 14 bis 20 zur Erzeugung eines kalibrierten, periodischen Analogsignals umfaßt, die dieses erzeugt; das erzeugte Analogsignal auf den Prüfling beaufschlagt; und
Meßdaten gemäß der Reaktion des Prüflings erfaßt .
26. Meßvorrichtung zum Messen der Reaktion eines elektronischen Prüflings nach Patentanspruch 25, die: die Meßdaten über einen Signalpfad erfaßt, für das Kalibrierungsdaten ermittelt worden sind; und die Meßdaten anhand der Kalibrierungsdaten korrigiert, wobei die Kalibrierungsdaten gemäß dem Verfahren nach einem der Patentansprüche 8 bis 11 ermittelt worden sind und/oder die Meßvorrichtung eine Vorrichtung nach einem der Patentansprüche 21 bis 24 umfaßt, die die Kalibrierungsdaten ermittelt.
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