WO2001098710A1 - Verfahren zur energieerzeugung - Google Patents

Verfahren zur energieerzeugung Download PDF

Info

Publication number
WO2001098710A1
WO2001098710A1 PCT/DE2001/002231 DE0102231W WO0198710A1 WO 2001098710 A1 WO2001098710 A1 WO 2001098710A1 DE 0102231 W DE0102231 W DE 0102231W WO 0198710 A1 WO0198710 A1 WO 0198710A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
energy
burned
generating energy
synthesis
müller
Prior art date
Application number
PCT/DE2001/002231
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Norbert Auner
Original Assignee
Kunkel, Klaus
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kunkel, Klaus filed Critical Kunkel, Klaus
Priority to AU2002215490A priority Critical patent/AU2002215490A1/en
Priority to DE10192546T priority patent/DE10192546D2/de
Priority to EP01984038A priority patent/EP1295066A1/de
Priority to US10/311,425 priority patent/US20040020414A1/en
Publication of WO2001098710A1 publication Critical patent/WO2001098710A1/de

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23GCREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G7/00Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
    • F23G7/06Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23GCREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G2209/00Specific waste
    • F23G2209/14Gaseous waste or fumes
    • F23G2209/142Halogen gases, e.g. silane
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E20/00Combustion technologies with mitigation potential
    • Y02E20/12Heat utilisation in combustion or incineration of waste

Definitions

  • the present invention relates to a method for generating energy.
  • Silicon dioxide is converted into crystalline silicon by reduction (with coal, in the electric arc process), which (i) after after-treatment to high-purity silicon has certain high-tech uses, such as semiconductors , which are used especially in transistors and integrated circuits, and (ii) "direct synthesis” (Müller-Rochow synthesis).
  • the present invention is based on the object of specifying a method for generating energy which can be carried out simply and economically and in which no hydrocarbon compounds are burned.
  • This object is achieved according to the invention by a method for generating energy by burning silicon.
  • tetramethylsilane has a boiling point of 25-30 ° C and thus corresponds to that of LPG under pressure.
  • tetramethylsilane has a boiling point of 25-30 ° C and thus corresponds to that of LPG under pressure.
  • the method according to the invention also includes a variant in which by-products obtained in the manufacture of silicones in the upstream Müller-Rochow synthesis are further processed to suitable silicon compounds with the bonds Si-C, Si-O, Si-Si and / or Si-H that serve as an energy source.
  • silanes in particular carbosilanes
  • Suitable silanes are, for example, the following compounds, where R represents an organo radical: SiR 4 , (R 2 Si) n , (H 2 Si) n , [R (H) Si] n , H 3 Si (SiR 2 ) n SiH2 and R 3 Si (SiH 2 ) n SiR 3 .
  • R represents an organo radical: SiR 4 , (R 2 Si) n , (H 2 Si) n , [R (H) Si] n , H 3 Si (SiR 2 ) n SiH2 and R 3 Si (SiH 2 ) n SiR 3 .
  • the C0 2 / Si0 2 ratio achieved by the combustion can be varied as desired by suitable selection.
  • silanes in particular carbosilanes
  • a drive motor as well as for a heating system, in short for everything that can be achieved with hydrocarbons.
  • the tetramethylsilane (Si (CH 3 ) 4 ) obtained in the "direct synthesis” (Müller-Rochow synthesis) was burned. The resulting heat of combustion was measured, and a value was determined that was 95% of the energy density of decane corresponded.
  • the carbosilane used thus had an energy density comparable to that of hydrocarbons.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

Es wird ein Verfahren zur Energieerzeugung durch Verbrennung von Siliciumverbindungen, die die Bindungen Si-C, Si-O, Si-Si und/oder Si-H aufweisen, beschrieben. Derartige Verbindungen stellen geeignete Energieträger als Alternative zu Kohlenwasserstoffen dar.

Description

Verfahren zur Energieerzeugung
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Energieerzeugung .
Das aktuelle Konzept zur Energieerzeugung basiert im wesentlichen auf Kohlenstoff (Erdöl, Erdgas) als Rohstoffquelle. Nicht nur die in der Vergangenheit erlebten Zeiten der "Ölkrisen" belegen, daß dieser Rohstoff zukünftig nur noch in zunehmend reduziertem Maß zur Verfügung stehen wird, auch wissenschaftliche Berechnungen zeigen, daß sich unsere natürlichen Kohlenstoff-Ressourcen zumehmend erschöpfen. Berücksichtigt man auch die mahnend geführten Diskussionen einer dringend erforderlichen C02-Reduzierung in der Erdatmosphäre, so wird deutlich, daß die Suche und Erforschung alternativer Energiequellen zwingend notwendig werden.
Keines der weltweit diskutierten Konzepte alternativer Energieformen und -erzeugung geht dabei von "Quarzsand" aus, einem ungiftigen Naturstoff, der in unbegrenztem Maße zur Verfügung steht. Rund 75 % der zugänglichen Erdkruste, einschließlich der verschiedenen Arten von "Biomasse" in Form von Pflanzen, Steinen, Diatomeen (im Meerwasser) und vielem mehr, bestehen aus Siliciumdioxid (Si02(Si: 26,3 %, 02: 48,9 %)) . Das Si ist damit so häufig wie alle anderen Elemente zusammen, oder vier von fünf Atomen der Erdkruste sind Si bzw. 0. Siliciumdioxid wird durch Reduktion (mit Kohle, im elektrischen Lichtbogenverfahren) in kristallines Silicium überführt, das (i) nach Nachbehandlung zum Reinst- silicium bestimmten hochtechnischen Verwendungen, wie z.B. Halbleitern, die speziell in Transistoren und integrierten Schaltkreisen Anwendung finden, und (ii) der "Direkten Synthese" (Müller-Rochow-Synthese) zugeführt wird. Bei dieser Synthese wird elementares Silicium mit Methylchlorid am Kupferkatalysator (T = 280-320 °C, Wirbelschicht- oder Fließbettreaktor) zum Dimethyldichlorsilan (ca. 95 %, Me2SiCl2, Siedepunkt 70 °C) umgesetzt. Dieses dient als Ausgangsprodukt zur Erzeugung der Silikone, Kunststoffe auf Si-0-Basis, die heute weltweit im Megatonnenmaßstab produ- ziert und vielfältig genutzt werden. Nebenprodukte der "Direkten Synthese" sind neben verschiedenen Chlor- und H-hal- tigen Silanen auch Tetramethylsilan (Si (CH3) 4 (TMS) ) und Di- und Trisilane, Verbindungen mit Si-Si-Bindung. Die "Direkte Synthese" hat in der heute durchgeführten Technologie drei erhebliche Nachteile: Sie ist (a) relativ kostenintensiv, da die Reduktion des Si02 zum Si erheblicher Energiemengen bedarf,- und (b) es wird bei der Methylierung wieder Energie frei, die bisher nur unzureichend genutzt wird. Ferner (c) reduzieren die Nebenprodukte die Effizienz, da diese syn- thetisch aufwendig in Chlorsilane überführt oder zu pyroge- ner Kieselsäure verbrannt werden. Di- und Trisilane müssen darüber hinaus kostenintensiv entsorgt werden.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Energieerzeugung anzugeben, das sich einfach und wirtschaftlich durchführen läßt und bei dem keine KohlenwasserstoffVerbindungen verbrannt werden.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren zur Energieerzeugung durch Verbrennung von Siliciu verbindun-
Figure imgf000004_0001
O w Φ CXI 3 LQ P P P H N ö C S P O Cd Φ Φ m <; Φ P cn er P. Hi α 3 LQ
P- H- H- ^ H- LQ μ- φ O: Φ Φ P m μ- PJ μ- P Φ P H. μ Ω o μ- PJ Φ PJ μ- φ P Φ φ
Φ P P rr Hl ra rr P* t ω 3 to φ t ct P g; Φ H 3 p- P P P4 P P φ ra H μ- P
H. P. Φ * • Φ φ J O μ- LQ μ- H Φ μ- Φ Φ - rr rr Ω m *•
- 3 0 P- <! M M "— ' <! o P. CQ P LQ μ- rr μ- ö PJ LQ tr φ w Φ ü J rr Φ μ- - Φ P Φ 3 P μ- Ω er φ Φ < C ra 0 Φ P P.
Φ J •3 Φ H co P. Ü P H CQ 3 o P φ 4 Φ tΛ Ω Φ o μ- μ- ra ar >*] μ-
Hl er P s Ω H- H- Φ J er ra P. tr TJ rr P φ H1 H J Hj 3 φ P rr o Φ rr Φ P. c Φ >< H- H l P ) . H H p- o LQ μ- P rr μ- P er 3 b co Φ H LQ
Φ P φ J H Ω φ H- Φ (T - Φ o μ- H φ «• Ω ι-i rr P. μ- ra φ p.
•3 CQ H P Hl M H Ω π co P t i • P N φ Φ Hi P" er Φ . Φ H Ω H μ-
TJ 0 Φ -? H- Φ Φ H- μ- P - P Φ ι-i P o φ σ C Φ P π Φ O rr p- 0= φ
Hl P i P P P P P P P tΛ P H φ μ- o rr P ta l_l. X - P ra
H- $ m P. • . 3 Φ μ- P P- μ- P - < J fi Φ μ- ι-i P Φ φ μ- - P rt öd
P H- p 0 4 ra LQ μ- Ω LQ Φ co m P J PJ= P μ- P cn Cb LQ . μ-
Cb Φ ra Φ P σ Φ J rr cn Φ P4 P. ι-i rr Φ rr fi N CO LQ LQ m μ- rr o J ra P
H TJ H LQ PJ ü TJ ΓT Hl • ^ H μ- φ rr P μ- rr CD. TJ LQ μ- μ- cΛ PJ P.
H- 00 φ LQ CD cn er rr H co rr 0= P- φ PJ N P μ- . 3 μ- Φ φ H 0
Ω H- H- LQ H- P. O μ- 0 tr • P 4 Φ LQ φ P)= Φ P *-i O Φ er P
P" o rr Φ φ LQ P μ- Φ i H Cb H P Φ Φ rr P co H rr - μ- Φ LQ t i 3 Φ P- Ul ΓΛ P O μ- rr φ φ rt φ μ- £ P φ 3 m <! - P μ- Φ
- H- co PJ: er 0 et rr ra μ- rr P P C J P- M φ Z O 00 Φ rr P
<H P PJ tΛ H- P - O rr ω Ω N P Φ H LQ LQ μ- er Φ P S μ- Φ
Φ P rr P φ LQ μ- P- P φ P tr μ- φ -J CO m LQ μ- φ <J P 00
H- Φ p. P p. φ P. 3 « P Φ μ- Φ cn μ- UT μ- rr φ m ι-5 μj 00 μ- μ-
P Ω H φ P Φ Φ O P. P o g rx) P φ Ω 3 φ Φ Ω μ- Φ 0
PJ * Φ <! rr CD. t P- P μ- 3 Φ φ P rr μ- o\» M Hi Φ μ- P O
Ω rr ΓΛ 1 Φ Φ M rr ti P CO cn LQ P N P 0= CQ s: P φ tsi P-
P" ra o H PJ: O Φ LQ P μ- Φ H P. rr 3 P< W H CQ P Φ 0 PJ rr PJ P Hl co t ) o a φ er Ω rt μ- <! μ- μ- φ H P φ P P1 Pi 00 ω O P CD P) μ- rr 3 μ- P. P Kl μ- N H) ?d P ^ φ φ P Φ P Cb μ- Cb 0 μ-
Φ X rr rt P" O φ O μ- rt P P Hi PJ P φ H P. μ- φ « P H
Cb H- H H t cn " to p φ J 3 P ? rr H er ≤ P P O Φ O <i Ω O J ra H- P Φ H- ι-i X P P P. LQ = Φ f-i Cb μ- φ P Cb Hi P* Cb o & ^ i-S Ω cn H- P t-1 Ω , — . μ- et tsi μ- < rr μ- φ P H LQ n μ- P= <1 Φ P LQ
Hl P' Φ J: 1 n ω -. P" Φ o 3 CD φ φ P Cb rr φ ^ φ fi CD φ H Φ 00
- .. H f-1 LΛ o PJ J P X μ- H P er •- P Φ P Ω P H cn Hl μ-
0 Φ PJ: rt P- NJ P . — . H • μ- rt tr rr ra P o >^ s: er 00 μ- 0=
0 OT 00 P tΛ PJ . P; π rr P. i H φ er LQ Hi Φ o OT Φ PJ H μ- r-1 1 00
P. φ H- rr cn cn o Φ « φ μ- P Φ Φ P= P m rr ra Φ μ- 1-5 μ-
H- α t P o J P φ φ μ- P H rr μ- o\o H ra P w Ω rr
> er P- CD Ω O P ^ *-* 3 o P P t f-s ra - Bl Φ P μ- Φ 0 p ar Φ H- P" O μ- 3 μ- Φ c S LQ TJ W σ PJ= PJ Cb 3 H. 0 CD P P
•*•; rr * Ω t Ω n J Hl Φ O ii P Φ μ- μ- o-- Φ M P φ φ ra P μ- 3 S Pi
CD Φ p- w ^, 4 P- P PJ: P to ra LQ H Φ φ P Ω rr ι-5 rt rr LQ P < Φ \
P P H PJ J co . H rt ? H P J ~ "3* O ra - Φ ra 0
P< rr <! 0 CD [3 μ- α φ O φ ,-. ra Φ P Cb M • ; Hi £ P π Q P.
0 N φ Ω o •3 o Φ H cn φ P Hl μ- P μ- ^ P g J P Hi pj: P er 0 φ
P ρ= H P* 3 φ t cn N ro P Hi KJ P Φ ^-^ p ra Φ Cß Φ LQ μ- P ii Q P er H- μ- Φ P) er P. - rr φ μ- Cb o 1-5 t-i μ- P 2 φ p LQ
Cb P- P rr P <J LQ P P" μ- Γ <; ß J I-1 0^ PJ LQ H φ P P- Φ 00 h-> P P φ P LQ 0= cn P 21 LQ Φ Ω Φ φ P4 o Φ P μ- PJ ra P P μ- pj: H- P. rr φ P H rr p- a J φ μ- • fi Φ ffi P ra φ P Φ J PJ P t/ Ω P Φ H- P 4 LQ ^ Φ ^ P co 3 P er INI H to Cb p- 0 P LQ 3 K rt p- P H P p. PJ= Φ φ P cn φ • H P to s: μ- ^^ Hi Hl Φ 0
LQ μ< Φ μ- Q Φ μ- O Φ H PJ - — Φ o s; LQ P 1-5 PJ
Φ rr μ- φ C rr Φ H P X P f P- rs Φ Φ Cb 0
P LQ Φ Φ P rr μ- o rr rr 00 μ- Φ Hi ι-1 Φ Φ 1
sich eine Verbindung mit definiertem Siedepunkt oder -bereich einsetzen. So hat beispielsweise Tetramethylsilan einen Siedepunkt von 25-30 °C und entspricht damit demjenigen von Flüssiggas unter Druck. Als Folge resultiert eine - bei Bedarf - leichte Verdampfbarkeit und damit gezielte Dosierungsmöglichkeit (beispielsweise in Einspritzdüsen oder Einspritzpumpen) .
Bei einer Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens werden bei der Herstellung von Silikonen in der vorgeschalteten
Mül1er-Rochow-Synthese anfallende Nebenprodukte verbrannt. Bei dieser Variante werden somit die bisher kostenintensiv zu weiteren Produkten umgesetzten oder kostenintensiv entsorgten Nebenprodukte eines Verfahrens gezielt zur Energie- erzeugung durch Verbrennung eingesetzt . Dabei umfaßt das erfindungsgemäße Verfahren auch eine Variante, bei der bei der Herstellung von Silikonen in der vorgeschalteten Müller-Rochow-Synthese anfallende Nebenprodukte zu geeigneten Siliciumverbindungen mit den Bindungen Si-C, Si-O, Si-Si und/oder Si-H weiterverarbeitet werden, die als Energieträger dienen.
Vorzugsweise werden erfindungsgemäß Silane, insbesondere Carbosilane, verbrannt. Geeignete Silane sind beispiels- weise die folgenden Verbindungen, wobei R einen Organo- rest darstellt: SiR4, (R2Si)n, (H2Si)n, [R(H)Si]n, H3Si (SiR2)nSiH2 und R3Si (SiH2) nSiR3. Durch geeignete Auswahl läßt sich das durch die Verbrennung erzielte C02/Si02- Verhältnis beliebig variieren.
Was die Carbosilane anbetrifft, so läßt sich allgemein folgendes sagen: Je größer die CH-Kette am Si-Zentru ist, um so mehr nähert man sich den Energieinhalten entsprechender Kohlenwasserstoffe. Je länger die Si-Kette (in Polysilanen (R2Si)n) ist, desto mehr nähert man sich dem 75%-Wert (Ver- brennungswär e) des reinen Polysilans.
Die Verwendung von Silanen, insbesondere Carbosilanen, als Energiequelle ist somit für einen Antriebsmotor genauso möglich wie für ein Heizsystem, kurzum für alles, was mit Kohlenwasserstoffen erreicht werden kann.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispieles erläutert.
Das bei der "Direkten Synthese" (Müller-Rochow-Synthese) angefallene Tetramethylsilan (Si(CH3)4) wurde verbrannt. Die entstandene Verbrennungswärme wurde gemessen, wobei ein Wert ermittelt wurde, der 95 % der Energiedichte von Decan
Figure imgf000006_0001
entsprach. Das verwendete Carbosilan hatte somit eine mit Kohlenwasserstoffen vergleichbare Energiedichte.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Energieerzeugung durch Verbrennung von Siliciumverbindungen, die die Bindungen Si-C, Si-O, Si-Si und/oder Si-H aufweisen.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Herstellung von Silikonen in einer vorgeschalteten Müller-Rochow-Synthese anfallende Nebenprodukte verbrannt werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Herstellung von Silikonen in einer vorgeschalteten Müller-Rochow-Synthese anfallende Nebenprodukte zu geeigneten Siliciumverbindungen mit den Bindungen Si-C, Si-O, Si-Si und/oder Si-H weiterverarbeitet werden.
4. Verfahren nach einemd er vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Silane, insbesondere Carbo- silane, verbrannt werden.
5. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Tetramethylsilan verbrannt wird.
PCT/DE2001/002231 2000-06-17 2001-06-15 Verfahren zur energieerzeugung WO2001098710A1 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AU2002215490A AU2002215490A1 (en) 2000-06-17 2001-06-15 Method for generating energy
DE10192546T DE10192546D2 (de) 2000-06-17 2001-06-15 Verfahren zur Energieerzeugung
EP01984038A EP1295066A1 (de) 2000-06-17 2001-06-15 Verfahren zur energieerzeugung
US10/311,425 US20040020414A1 (en) 2000-06-17 2001-06-15 Method for generating energy

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10029912A DE10029912A1 (de) 2000-06-17 2000-06-17 Verfahren zur Energieerzeugung
DE10029912.1 2000-06-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2001098710A1 true WO2001098710A1 (de) 2001-12-27

Family

ID=7646111

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE2001/002231 WO2001098710A1 (de) 2000-06-17 2001-06-15 Verfahren zur energieerzeugung

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20040020414A1 (de)
EP (1) EP1295066A1 (de)
AU (1) AU2002215490A1 (de)
DE (2) DE10029912A1 (de)
WO (1) WO2001098710A1 (de)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3131732A1 (de) * 1981-08-11 1983-02-24 Bayer Ag, 5090 Leverkusen Verfahren zur aufarbeitung von bei der rochow-synthese anfallenden gemischen aus siliciumhaltigen feststoffen und polysilanhaltigen fluessigkeiten
US4801437A (en) * 1985-12-04 1989-01-31 Japan Oxygen Co., Ltd. Process for treating combustible exhaust gases containing silane and the like
DE4207299A1 (de) * 1992-03-07 1993-11-25 Solvay Deutschland Katalysator zur Disproportionierung von Aryl- oder Alkylhalogendisilanen zur Aryl- oder Alkylhalogenmono- und Aryl- oder Alkylhalogenpolysilanen

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2950402A1 (de) * 1979-12-14 1981-06-19 Bayer Ag, 5090 Leverkusen Verfahren zur umwandlung niedrigsiedender anteile aus der alkylchlorsilan-synthese
JP4066107B2 (ja) * 1997-11-21 2008-03-26 株式会社荏原製作所 排ガス処理用燃焼器
US6517341B1 (en) * 1999-02-26 2003-02-11 General Electric Company Method to prevent recession loss of silica and silicon-containing materials in combustion gas environments
US6384258B1 (en) * 2001-05-09 2002-05-07 General Electric Company Method for making organylorganooxysilanes

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3131732A1 (de) * 1981-08-11 1983-02-24 Bayer Ag, 5090 Leverkusen Verfahren zur aufarbeitung von bei der rochow-synthese anfallenden gemischen aus siliciumhaltigen feststoffen und polysilanhaltigen fluessigkeiten
US4801437A (en) * 1985-12-04 1989-01-31 Japan Oxygen Co., Ltd. Process for treating combustible exhaust gases containing silane and the like
DE4207299A1 (de) * 1992-03-07 1993-11-25 Solvay Deutschland Katalysator zur Disproportionierung von Aryl- oder Alkylhalogendisilanen zur Aryl- oder Alkylhalogenmono- und Aryl- oder Alkylhalogenpolysilanen

Also Published As

Publication number Publication date
AU2002215490A1 (en) 2002-01-02
US20040020414A1 (en) 2004-02-05
DE10192546D2 (de) 2003-06-18
DE10029912A1 (de) 2001-12-20
EP1295066A1 (de) 2003-03-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2294006B1 (de) Verfahren zur entfernung von bor enthaltenden verunreinigungen aus halogensilanen sowie anlage zur durchführung des verfahrens
KR100981813B1 (ko) 삼염화실란 및 사염화규소의 정제를 위한 방법 및 설비
Corriu et al. Mechanism of pyrolysis of polycarbosilanes: poly (silylethylene) and poly (dimethylsilylethylene)
DE2909815C2 (de) Verfahren zur Herstellung von hochdispersem Siliciumdioxid
US9139702B2 (en) Method for producing halogenated polysilanes
EP2121522A2 (de) Verfahren zur herstellung höherer silane
KR101037641B1 (ko) 통합 클로로실란 시스템 내에서 고비점 화합물의 재순환
DE60201354D1 (de) Verfahren zur herstellung von polykristallinem silizium
US9745200B2 (en) Process for preparing higher halosilanes and hydridosilanes
AU2011347501B9 (en) Process for preparing hydridosilanes
RU2006134502A (ru) Способ получения кремния
Jones Ab initio cluster calculations of defects in solids
DE102015210762A1 (de) Verfahren zur Aufarbeitung von mit Kohlenstoffverbindungen verunreinigten Chlorsilanen oder Chlorsilangemischen
CN101378991B (zh) 在综合氯硅烷厂中回收利用高沸点化合物的方法
WO2008059706A1 (fr) Procédé de production de silicium polycristallin et installation de production de silicium polycristallin
DE102015009129B4 (de) Verfahren zur Spaltung von Silicium-Silicium-Bindungen und/oder von Silicium-Chlor-Bindungen in Mono-, Poly- und/oder Oligosilanen
CN102674368B (zh) 三氯氢硅生产方法和系统
WO2001098710A1 (de) Verfahren zur energieerzeugung
Becerra et al. Experimental and theoretical evidence in support of an intermediate complex in the insertion reaction of silylene into silane
JP4518284B2 (ja) ポリシラン修飾シリコン細線の製造方法およびシリコン膜の形成方法
EP2142557A1 (de) Plasmaunterstützte organofunktionalisierung von siliciumtetrahalogeniden oder von organohalogensilanen
EP2697164A1 (de) Verfahren zur herstellung von chlorsilanen mittels hochsiedender chlorsilane oder chlorsilanhaltiger gemische
JPH057326B2 (de)
EP2895425A1 (de) Verfahren zur herstellung von chlorsilanen mittels hochsiedender chlorsilane oder chlorsilanhaltiger gemische
CN101693765B (zh) 一种有机硅灌注树脂及其制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BY BZ CA CH CN CR CU CZ DE DK DM DZ EE ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NO NZ PL PT RO RU SD SE SG SI SK SL TJ TM TR TT TZ UA UG US UZ VN YU ZA ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GW ML MR NE SN TD TG

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2001984038

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 10311425

Country of ref document: US

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2001984038

Country of ref document: EP

REF Corresponds to

Ref document number: 10192546

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20030618

Kind code of ref document: P

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 10192546

Country of ref document: DE

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Ref document number: 2001984038

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP