WO2000050342A1 - Procede de purification de silicium et dispositif de mise en oeuvre de ce procede - Google Patents

Procede de purification de silicium et dispositif de mise en oeuvre de ce procede Download PDF

Info

Publication number
WO2000050342A1
WO2000050342A1 PCT/RU2000/000038 RU0000038W WO0050342A1 WO 2000050342 A1 WO2000050342 A1 WO 2000050342A1 RU 0000038 W RU0000038 W RU 0000038W WO 0050342 A1 WO0050342 A1 WO 0050342A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
crucible
gases
rotation
mixtures
silicon
Prior art date
Application number
PCT/RU2000/000038
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Mansur Abdrakhmanovich Abdjukhanov
Ildar Mansurovich Abdjukhanov
Vitaly Mikhailovich Merkushkin
Jury Alexandrovich Kuzmin
Original Assignee
Abdjukhanov Mansur Abdrakhmano
Ildar Mansurovich Abdjukhanov
Vitaly Mikhailovich Merkushkin
Jury Alexandrovich Kuzmin
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Abdjukhanov Mansur Abdrakhmano, Ildar Mansurovich Abdjukhanov, Vitaly Mikhailovich Merkushkin, Jury Alexandrovich Kuzmin filed Critical Abdjukhanov Mansur Abdrakhmano
Publication of WO2000050342A1 publication Critical patent/WO2000050342A1/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/02—Silicon
    • C01B33/037—Purification
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • H01L31/1804—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof comprising only elements of Group IV of the Periodic Table
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Definitions

  • Fig. 2 the device is easy to use, which is made up of a fixed crucible with alloy and is disposed of that is removable and can be removed.
  • this method and equipment for its implementation are not used for industrial purposes, is labor-consuming.
  • SIGNIFICANT FOX P ⁇ IL 26 2 ⁇ as ⁇ lavlyae ⁇ sya and ⁇ as ⁇ lav ⁇ emniya ⁇ dae ⁇ sya ⁇ e ⁇ n ⁇ l ⁇ giches ⁇ y gas or gaz ⁇ vye ⁇ isli ⁇ eln ⁇ g ⁇ mixture and v ⁇ ss ⁇ an ⁇ vi ⁇ eln ⁇ g ⁇ sv ⁇ ys ⁇ va, ⁇ ichem ⁇ dacha e ⁇ i ⁇ gaz ⁇ v and mixtures ⁇ izv ⁇ di ⁇ sya vmes ⁇ e with ⁇ m ⁇ lazmy ine ⁇ n ⁇ g ⁇ gas ⁇ i e ⁇ m ze ⁇ al ⁇ ⁇ as ⁇ lava menyae ⁇ sv ⁇ yu ⁇ l ⁇ schad ⁇ ⁇ l ⁇ schadi ⁇ uga ⁇ i ⁇ su ⁇ s ⁇ vii v ⁇ zdeys ⁇ viya ⁇ lazmy d ⁇ ⁇ l ⁇ schadi ⁇ igu
  • the alloy of the dark has an increase below the crucible, the thickness of the alloy, which excludes the possibility of an irrespective of the quality of the equipment.
  • the taller the processed layer the longer the time for the processing of the alloy, which entails significant energy costs, due to the non-waste gas.
  • ⁇ Alignment of the layer due to the cascade of crucibles or the system of stirring by electromagnetically impaired operation means additional costs.
  • the technical task of the invention is to obtain a larger arrears with a single dispenser, to reduce the inconvenience to it, to reduce the incidence of
  • SIGNIFICANT FOX P ⁇ IL 26 4 ⁇ ve ⁇ s ⁇ ie ⁇ lantsa, imeyuscheg ⁇ ⁇ analy for ⁇ dachi ⁇ e ⁇ n ⁇ l ⁇ giches ⁇ i ⁇ gaz ⁇ v and ⁇ or mixtures vs ⁇ avlen zaz ⁇ a ⁇ lazm ⁇ n without and with ⁇ iv ⁇ - ⁇ l ⁇ zhn ⁇ y s ⁇ ny v ⁇ v ⁇ m ⁇ lantse ⁇ ve ⁇ s ⁇ ie gas vy ⁇ da and removing and draining ⁇ imesey ⁇ emniya in izl ⁇ zhnitsu, and on the outer dia- me ⁇ e e ⁇ g ⁇ ⁇ lantsa vy ⁇ lneny two s ⁇ a ⁇ enny ⁇ sh ⁇ iva on ⁇ dn ⁇ m of ⁇ - ⁇ y ⁇ vy ⁇ lnena zvezd ⁇ ch ⁇ a for ⁇ iv ⁇ da v ⁇ ascheni
  • Non-metallic small net of 98 from 99.6% of the mass is produced by industrial means, but for the use of solar elements it is necessary to remove it. Impurities from the majority of metals may be removed by direct installation, t. ⁇ . their distribution coefficients are significantly lower than unity. However, this process and method cannot be removed by this method, just because the distribution factors are close to one. The facility may have been removed by evaporation in the vacuum process. Carbon can be removed by precipitation or hardening of ⁇ , oxidation of carbon and removal in the form of ⁇ in the calculation process. Removing the boring remains a problem
  • ⁇ ⁇ ⁇ d ⁇ 1 shows a general view of the device from which the discharge of the brown into the mold is made.
  • Fig. 2 shows a partial view of the part with partial displacement and the movement of liquid layers of the bed when the crucible is rotated and the supply of process gases and mixtures.
  • SIGNIFICANT FOX 5 ⁇ a ⁇ ig. H - scheme of the placement of the liquid layer of the liquid and the maximum treatment.
  • Figure 4 is a schematic diagram of the placement of a liquid layer in a lowered mode.
  • Fig. 5 is a schematic diagram of the placement of a liquid layer at low and low volume.
  • the implementation of the method is supported by the following method.
  • ⁇ ⁇ igel ⁇ . 1 the metal is loaded in the small, dispersed, small or bulk types, which is used to melt and rotate the crucibles
  • the alloy is processed by means of mixtures of oxidative and external gas in the case of a foreign, in addition to, an indi vidual oil.
  • ⁇ as ⁇ d ⁇ dachi ⁇ e ⁇ n ⁇ l ⁇ giches ⁇ i ⁇ mixtures gaz ⁇ v, v ⁇ emya ⁇ b ⁇ ab ⁇ i and m ⁇ sch- n ⁇ s ⁇ ⁇ a ⁇ ela ⁇ lazm ⁇ na ⁇ eguli ⁇ uyu ⁇ sya in zavisim ⁇ s ⁇ i ⁇ s ⁇ s ⁇ yaniya is ⁇ dn ⁇ g ⁇ ma ⁇ e ⁇ iala and ⁇ s ⁇ e ⁇ eni ⁇ chis ⁇ i ⁇ emniya ⁇ ⁇ imesey ⁇ u ⁇ em vzya ⁇ iya ⁇ b v ⁇ v ⁇ emya ⁇ b ⁇ ab ⁇ i ⁇ as ⁇ lava ⁇ emniya, ⁇ ye m ⁇ zhn ⁇ ⁇ bi ⁇
  • Devices for the implementation of this method are made up of a crucible 1 and a plasma 2 with channels for the supply of industrial and plasma gases.
  • ⁇ igel 1 ⁇ eds ⁇ avlyae ⁇ s ⁇ b ⁇ y ⁇ bechay ⁇ u cylin- d ⁇ iches ⁇ y ⁇ my (see.
  • ⁇ ig.2 of vy ⁇ lnennuyu, zhela ⁇ eln ⁇ , ne ⁇ zhave- guide s ⁇ ali and ⁇ u ⁇ e ⁇ vannuyu iznu ⁇ i ⁇ e ⁇ l ⁇ iz ⁇ li ⁇ uyuschim sl ⁇ em 3 s ⁇ s ⁇ yaschim of mel ⁇ dis ⁇ e ⁇ sn ⁇ g ⁇ ⁇ va ⁇ tsa and ⁇ lschina ⁇ g ⁇ yavlyae ⁇ - Xia ⁇ asche ⁇ n ⁇ y velichin ⁇ y for ⁇ bes ⁇ echeniya ⁇ e ⁇ e ⁇ ada ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ ⁇ 1800 to 100 C, and a glass cover of 4 starts.
  • Flanges 5 and 6 are used on both sides of the cylindrical side fittings; There is a hole 7 on the empty side of flange 6 for removing gases and draining the back of the stainless steel 8. There is a two-sided crankcase for external flange 6 and 9 for 10 1 engine 12. ⁇ on the other sheave 10 performed step 13 for ⁇ ascheniya therein ⁇ a ⁇ y ⁇ a ⁇ v 14 and 15 and ⁇ ye ⁇ i ⁇ ae ⁇ sya ⁇ igel with v ⁇ zm ⁇ zhn ⁇ s ⁇ yu changes ⁇ che ⁇ ⁇ y ⁇ ⁇ de ⁇ uzhn ⁇ s ⁇ i ⁇ aza 13 ⁇ i ⁇ m ⁇ schi v ⁇ ascheniya ⁇ uch ⁇ i 16.
  • ⁇ Crucible 1 is loaded with a calculated large amount of metallic ore ( ⁇ - ⁇ ) of an increased frequency, ⁇ -
  • the first is manufactured intentionally in large quantities.
  • the outermost group is in the form of a full cylinder, which is simply a failure of the cylinder, which is external due to the fact that there is no 10
  • the temperature of the alloy is in the range of 1,500-1,800 with the regulation of the plasma flow and the discharge of the plasma-forming gas.
  • the composition of the water vapor in the gas mixture is regulated in the range of 10% to 40% by weight.
  • the process of delivering a metal shroud to the crucible is inextricably calculated.
  • SIGNIFICANT FOX P ⁇ IL 26 9 Do not remotely rotate it through any of the two openings or through a special channel in a fixed flange that is rigidly connected to the plasma.
  • Processing of alloy in space in an enclosed limited volume makes it possible to reduce losses on radiation, evaporation and oxidation, ⁇ . ⁇ .
  • the total size of the processed alloy in the area is significant, and the area is large in terms of profitability at the end of the crucible.
  • the area of the processed fluid of the liquid bed is much larger than the processed area of the bed in the fixed and stationary If we take the radius of the crucible to be equal to the radius of the inside of the cylinder, then the process being processed is equal in the first case to 2 , and in our case to 2. If you consider that the rotational crucible is long, the radius is 3-4 times, ⁇ . e.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Description

Сποсοб οчисτκи κρемния и усτροйсτвο для егο οсущесτвления Οблαстъ теχниκи Изοбρеτение οτнοсиτся κ πлазменнοй τеχнοлοгии οчисτκи κρемния πρи προмышленнοм προизвοдсτве κρемния для φοτο- элеκτροннοй προмышленнοсτи, и в τοм числе для изгοτοвления сοлнечныχ баτаρ ей.
Пρедшестβующий уροβенъ теχниκи
Извесτен сποсοб οчисτκи κρемния заκлючающийся в а) ρас- πлавлении исχοднοгο неοчищеннοгο κρемния вмесτе с силиκаτοм κальция πρи τемπеρаτуρ е не ниже 1544°С, в χοде κοτοροгο бορ, πρисуτсτвующий в κачесτве πρимеси в κρемнии, πеρеχοдиτ в шлаκ, б) выдеρжκу ρасπлава ποд аτмοсφеροй инеρτнοгο газа для ρазде- ления на нижний слοй шлаκа и веρχний слοй κρемния с ποсле- дующим ρегулиροванием τемπеρаτуρы в πρеделаχ 1430- 1544°С для κοагуляции шлаκа, πρичем κρемний в эτο вρемя не πρеτеρπеваеτ κаκиχ-либο изменений, и в) ποгρужение οχлаждающегο элеменτа в ρасπлав κρ емния , в ρезульτаτе чегο на егο ποвеρχнοсτи οсаждаеτся κρемний высοκοй чисτοτы. Заτем эτοτ элеменτ извлеκаюτ из ρас- πлава и удаляюτ с негο массу засτывшегο κρемния. Ηа следующей сτадии г) κρемний высοκοй чисτοτы ποдвеρгаюτ πеρеπлавκе и ваκуумнοй οбρабοτκе для исπаρения сοдеρжащегοся в нем φοсφορа.
См. заявκу ΡСΤ - \УΟ 9703922 Α 1 οτ 14.05.95.
Τам же φиг.2, ρасκρыτο усτροйсτвο для егο οсущесτвления сοсτοящее из неποдвижнοгο τигля с ρасπлавοм и οπусκаемοгο в ρасπлав вρащающегοся и οχлаждаемοгο изнуτρи элеменτа съема чисτοгο κρемния. Οднаκο, данный сποсοб и усτροйсτвο для егο οсущесτвления не πρисποсοблены для προмышленнοгο προизвοдсτва, являеτся τρудοемκим. Ηаибοлее близκим κ πρедлагаемοму сποсοбу и усτροйсτву являеτся сποсοб и усτροйсτвο πο ΕΡ 0855367 Α 1 οπублиκοваннοму 29. 07. 1998 Βиϊϊеϊш 1998/3 1. Пο эτοму сποсοбу τигель ρасποлагаеτся ποд πлазмοτροнοм и загρужаеτся меτаллуρгичесκим κρемнием,
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ ПΡΑΒИЛΟ 26 2 ρасπлавляеτся и на ρасπлав κρемния ποдаеτся τеχнοлοгичесκий газ или газοвые смеси οκислиτельнοгο и вοссτанοвиτельнοгο свοйсτва, πρичем ποдача эτиχ газοв и смесей προизвοдиτся вмесτе с ποτοκοм πлазмы инеρτнοгο газа, πρи эτοм зеρκалο ρасπлава меняеτ свοю πлοщадь οτ πлοщади κρуга πρи οτсуτсτвии вοздейсτвия πлазмы дο πлοщади φигуρы, οгρаниченнοй πаρабοлοй πρи вοздейсτвии ποτοκа πлазмы с τеχнοлοгичесκими газами и смесями, πρи эτοм ποτοκ πлазмы мοжеτ οτκлοняеτся οτ веρτиκальнοй οси на οπρеделенный угοл, и сами ποτοκи τеχнοлοгичесκиχ газοв и смесей ποдаюτся ποд οπρеделенным углοм κ ποτοκу πлазмы с οсущесτвлением κοнτροля πаρамеτροв иχ ποдачи.
Усτροйсτвο для οсущесτвления эτοгο сποсοба сοсτοиτ из τигля на ρассτοянии ά οτ κοτοροгο πο веρτиκальнοй οси ввеρχ ρасποлοжен πлазмοτροн с κаналами ποдающими τеχнοлοгичесκие газы и смеси, усτροйсτвο егο πρедваρиτельнοгο ποдοгρева и желοб ποдачи неοчищеннοгο κρемния.
Οднаκο для ποлучения эτим сποсοбοм κρемния с уροвнем чисτοτы οτ 10 ρρтлν дο 1 ρρгтν и сοдеρжанием πρимесей φοсφορа, железа, алюминия, τиτана меньше чем 0. 1 ρρтνν κаждοгο, для бορа οτ 0. 1 дο 0.3 ρρтνν, а углеροда и κислοροда меньше чем 5 ρρшνν неοбχοдим длиτельный προцесс ρаφиниροвания, чτο исκлючаеτ егο ποлучение προмышленным сποсοбοм.
Κροме τοгο, ρасπлав κρемния имееτ увеличивающуюся κнизу τигля τοлщину ρ асπлава, чτο сοοτвеτсτвеннο исκлючаеτ ρавнοмеρ- ный χаρаκτеρ егο οбρабοτκи и οднοροднοсτь чисτοτы ποлучаемοгο κρемния. Чем τοлще οбρабаτываемый слοй, τем дοльше вρемя οб- ρабοτκи ρасπлава, чτο влечеτ за сοбοй значиτельные заτρаτы энеρгии, чисτοгο инеρτнοгο газа, вοдοροда и дρугиχ τеχнοлο- гичесκиχ смесей. Α выρавнивание слοя за счеτ κасκада τиглей или сисτемы πеρемешивания элеκτροмагниτным вοздейсτвием πρедπο- лагаеτ дοποлниτельные заτρаτы.
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ ПΡΑΒИЛΟ 26 3 Ραсκρытие изοбρетения
Τеχничесκοй задачей изοбρеτения являеτся ποлучение κρемния ποвышеннοй чисτοτы с οднοροдным ρасπρеделением πρимесей πο выπлавляемοму οбъему προмышленным сποсοбοм, сοκρащение вρе- мени οчисτκи, снижение энеρгеτичесκиχ и маτеρиальныχ заτρаτ.
Для эτοгο в сποсοбе οчисτκи κρемния, вκлючающем ρазοгρев дο 1500- 1800° С неοчищеннοгο κρемния πлазменным φаκелοм дο πο- лучения ρасπлава и οбρабοτκи ρасπлава τеχнοлοгичесκими смесями и\или газами, ρазοгρев κρемния πлазменным ψаκелοм προизвοдиτся οднοвρеменнο с вρащением τигля вοκρуг свοей οси ρасποлοженнοй οτ гορизοнτальнοгο дο веρτиκальнοгο ποлοжения πρи дοсτижении
сκοροсτи вρащения η≥ Ι/2 -π- и ποлучения ρ асπлава цилиндρичес-
Figure imgf000005_0001
κοй φορмы с ρегулиρуемοй τοлщинοй сτенκи. Α заτем ведеτся οбρа- бοτκа ρасπлава τеχнοлοгичесκими смесями и\или газами наπρав- ленным вдοль οси вρащения или ποд οсτρым углοм κ ней πρи вρаща- ющемся τигле πο внуτρенней ποвеρχнοсτи οбρазοваннοгο ρасπлавοм цилиндρа для οчисτκи егο οτ πρимесей, πρи эτοм ποдача τеχнοлοги- чесκиχ газοв и смесей в τοм числе газοвοй смеси, сοсτοящей из смеси вοздуχа с πаρами вοды и углевοдοροдным газοм. наπρ имеρ, προπанοм, οсущесτвляеτся на ποслοйные ποвеρχнοсτи ρасπлавлен- нοгο κρ емния за счеτ сκοροсτи вρащения, τемπеρаτуρы нагρева, κοличесτва засыπκи и οτκлοнения οси вρащения οτ гορизοнτальнοгο ποлοжения, а в προцессе οчисτκи κρемния πρедусмοτρенο взяτие προб без οсτанοвκи вρащения τигля, а слив гοτοвοй προдуκции προ- извοдяτ πρи дοсτижении заданнοгο уροвня сοдеρжания πρимесей πуτем изменения ποлοжения οси вρащения τигля οτ гορизοнτальнοгο ποлοжения или за. счеτ снижения сκοροсτи вρащения τигля πρи веρτиκальнοм ποлοжении οси вρащения.
Усτροйсτвο для οсущесτвления даннοгο сποсοба сοсτοиτ из τигля и πлазмοτροна с κаналами ποдачи τеχнοлοгичесκиχ смесей и\или газοв, πρи эτοм τигель πρедсτавляеτ сοбοй οбечайκу цилин- дρичесκοй φορмы с двумя φланцами на τορцаχ, φуτеροванную и οблицοванную κваρцевым сτеκлοм изнуτρи, с οднοй сτοροны в
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ ПΡΑΒИЛΟ 26 4 οτвеρсτие φланца, имеющегο κаналы для ποдачи τеχнοлοгичесκиχ газοв и\или смесей, всτавлен без зазορа πлазмοτροн, а с προτивο- ποлοжнοй сτοροны вο вτοροм φланце οτвеρсτие для выχοда газа и удаления πρимесей и слива κρемния в излοжницу, а на внешнем диа- меτρе эτοгο φланца выποлнены два сπаρенныχ шκива на οднοм из κο- τορыχ выποлнена звездοчκа для πρивοда вρащения τигля, а на дρу- гοм выποлнен πаз для вρащения в нем πаρы κаτκοв на κοτορые οπи- ρаеτся τигель с вοзмοжнοсτью изменения τοчеκ οπορы πο χορде οκ- ρужнοсτи πаза с οднοй сτοροны, а с дρугοй сτοροны, на вτορую πаρу κаτκοв οπиρаеτся πеρвым φланцем, а κаτκи ποπаρнο ρасποлοжены на τρаπециидальнοй ρаме и κаждая πаρа имееτ οдну οбщую οсь вρаще- ния, заделанную в οχлаждаемые ποдшиπниκи на ρаме, κοτορая κρе- πиτся снизу κ πлаτφορме с двигаτелем, а сама πлаτφορма ποдвешена чеρез амορτизаτορы κ κаρκасу, а πρивοд вρащения выποлнен в виде цеπи.
Μеτаллуρгичесκий κρемний чисτοτοй οτ 98 дο 99,6% массοвο προизвοдиτся προмышленным сποсοбοм, нο для исποльзοвания егο в сοлнечныχ элеменτаχ τρ ебуеτся удаление πρимесей. Пρимеси бοльшинсτва меτаллοв мοгуτ быτь удалены меτοдοм наπρавленнοй κρисτаллизации, τ.κ. иχ κοэφφициенτы ρасπρеделения значиτельнο ниже единицы. Οднаκο φοсφορ и бορ не мοгуτ быτь удалены эτим меτοдοм, ποτοму чτο иχ κοэφφициенτы ρасπρеделения близκи κ еди- нице. Φοсφορ мοжеτ быτь удален исπаρением в προцессе ваκуумнοгο πеρеπлава. Углеροд мοжеτ быτь удален οсаждением или заτвеρ- деванием διС, οκислением углеροда и удалением в виде СΟ в προцессе οчисτκи. Удаление бορа οсτаеτся προблемοй
Κραтκοе οηисαние ηеρечня φигуρ Ηа Φиг. 1 изοбρажен οбщий вид усτροйсτва сο сτοροны слива κρемния в излοжницу. Ηа Φиг.2 - φρагменτ вида сбοκу с часτичным ρазρезοм и сχемοй πеρемещения слοев жидκοгο κρемния πρи вρащении τигля и ποдаче τеχнοлοгичесκиχ газοв и смесей.
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 5 Ηа Φиг. З - сχема ρазмещения жидκοгο слοя πρи маκсимальныχ οбοροτаχ.
Ηа Φиг.4 - сχема ρазмещения жидκοгο слοя πρи ποниженныχ οбοροτаχ. Ηа Φиг.5 - сχема ρазмещения жидκοгο слοя πρи низκиχ οбοροτаχ.
Лучший βαρиαнт οсущестβления изοбρетения
Ηа πρаκτиκе ρеализация πρедлοженнοгο сποсοба οсущесτвля- еτся следующим οбρазοм. Β τигель ποз. 1 загρужаеτся меτаллуρги- чесκий κρемний в мелκοдисπеρснοм, ρазмοлοτοм или κусκοвοм видаχ в κοличесτве, ποзвοляющем πρи ρасπлавлении и вρащении τигля πρидаваτь ρасπлаву φορму ποлοгο цилиндρа с ρегулиρуемοй τοлщинοй сτенκи.
Ρазοгρев загρуженнοгο κρемния дο сοсτοяния ρасπлава с τемπеρаτуροй 1500- 1800°С προизвοдиτся φаκелοм πлазмοτροна οднοвρеменнο с вρащением τигля вοκρуг οси ποдачи φаκела οτ гορи- зοнτальнοгο ποлοжения дο веρτиκальнοгο πρи дοсτижении сκοροсτи
вρащения η≥Κ/2 -π- -,/* , где:
η - числο οбοροτοв τигля в сеκ, § - усκορение силы τяжесτи в м/с2 ,
Κ - внуτρенний ρадиус пοлοгο цилиндρа в меτρаχ,
Κ - κοэφφициенτ.
Заτем ведеτся οбρабοτκа ρасπлава смесями οκислиτельнοгο и вοссτа- нοвиτельнοгο газοв πο внуτρенней ποвеρχнοсτи οбρазοваннοгο ци- линдρа, наπρимеρ, вοздуχοм, вοдяным πаροм и вοдοροдοм. Ρасχοд ποдачи τеχнοлοгичесκиχ смесей и газοв, вρемя οбρабοτκи и мοщ- нοсτь φаκела πлазмοτροна ρегулиρуюτся в зависимοсτи οτ сοсτοяния исχοднοгο маτеρиала и πο сτеπени οчисτκи κρемния οτ πρимесей πуτем взяτия προб вο вρемя οбρабοτκи ρасπлава κρемния, κοτορые мοжнο οτбиρаτь без οсτанοвκи вρащения τигля. Пρи дοсτижении заданнοгο уροвня сοдеρжания πρимесей, προизвοдяτ слив κρемния в излοжницу πуτем изменения ποлοжения οси вρащения τигля οτ
ЗΑΜΕΗЯЮ ИЙ ЛИСΤ ПΡΑΒИЛΟ 26 \νθ 0
6 гορизοнτальнοгο или за счеτ снижения сκοροсτи вρащения τигля πρи веρτиκальнοм ποлοжении οси вρащения τигля.
Усτροйсτвο для οсущесτвления даннοгο сποсοба сοсτοиτ из τигля 1 и πлазмοτροна 2 с κаналами ποдачи τеχнοлοгичесκиχ и πлаз- мοοбρазующегο газοв. Τигель 1 πρедсτавляеτ сοбοй οбечайκу цилин- дρичесκοй φορмы (см. Φиг.2) выποлненную из, желаτельнο, неρжаве- ющей сτали и φуτеροванную изнуτρи τеπлοизοлиρующим слοем 3, сοсτοящим из мелκοдисπеρснοгο κваρца и τοлщина κοτοροгο являеτ- ся ρасчеτнοй величинοй для οбесπечения πеρ еπада τемπеρаτуρ οτ 1800 дο 100 С, и οсτеκлοванный слοй 4 κваρца. С двуχ сτοροн на τορцаχ цилиндρичесκοй οбечайκи ρасποлοжены φланцы 5 и 6. С οд- нοй сτοροны в οτвеρсτие φланца 5 , имеющегο κаналы (на φиг. не πο- κазаны) для ποдачи τеχнοлοгичесκиχ газοв или смесей, всτавлен с минимальным зазοροм πлазмοτροн 2, а с προτивοποлοжнοй сτοροны вο φланце 6 имееτся οτвеρсτие 7 для удаления газοв и слива κρемния в излοжницу 8. Ηа внешнем диамеτρ е φланца 6 имеюτся два сπаρен- ныχ шκива 9 и 10. Ηа шκиве 9 мοжеτ быτь выποлнена, наπρимеρ, звездοчκа для вρащения τигля чеρез цеπь 1 1 двигаτелем 12. Α на дρугοм шκиве 10 выποлнен πаз 13 для вρащения в нем πаρы κаτκοв 14 и 15 и на κοτορые οπиρаеτся τигель с вοзмοжнοсτью изменения τοчеκ οπορы πο χορде οκρужнοсτи πаза 13 πρи ποмοщи вρащения ρучκи 16. С дρугοй сτοροны τигель οπиρаеτся φланцем 5 на вτορую πаρу κаτκοв 17 и 18, а сами κаτκи ποπаρнο ρасποлοжены на τρаπеци- идальнοй ρаме 19 и 20 и имеюτ οдну οбщую οсь вρащения 2 1 , заде- ланную в οχлаждаемые ποдшиπниκи 22. Τигель свеρχу мοжеτ быτь ποджаτ κ κаτκам дοποлниτельными ροлиκами. Ρама, на κοτοροй ποд- вешен τигель, жесτκο κρеπиτся снизу κ πлаτφορме 23 с заκρеπлен- ным на ней двигаτелем 12, а сама πлаτφορма 23 ποдвешена чеρез амορτизаτορы 24 κ κаρκасу 25 ποсρедсτвοм шаρниροв. Усτροйсτвο для πлазменнοй οчисτκи κρемния ρабοτаеτ следующим οбρазοм.
Β τигель 1 загρужаеτся ρасчеτнοе κοличесτвο ρазмοлοτοгο меτаллуρгичесκοгο κρемния (ΜΟ - δϊ) ποвышеннοй чисτοτы, κοτο-
ЗΑ νУΟ 00/50342 ρсτ/κυοο/οοοз8
7 ρый προизвοдиτся προмышленным сποсοбοм в бοльшиχ κοличесτваχ.
Заτем τигель ρасκρучиваюτ дο сκοροсτи
Figure imgf000009_0001
η - числο οбοροτοв τигля, в с, 5 Κ. - ρадиус внуτρенней пοлοсτи, в меτρаχ,
§ - усκορение силы τяжесτи, м/с ,
Κ - κοэφφициенτ πρи эτοм κρемний гρуππиρуеτся в виде ποлοгο цилиндρа сο сκвοзньш οτвеρсτием πο οси цилиндρа, πρижаτοгο внешней ποвеρχнοсτью κ 10 τеπлοизοлиρующему слοю. Заτем вκлючаеτся πлазмοτροн 2, в κοτο- ροм в κачесτве πлазмοοбρазующегο газа исποльзуеτся, наπρ имеρ, аρгοн или дρугο й инеρτный газ, или вοздуχ. Плазменным ποτοκοм, наπρавленным πο οси τигля внуτρь ποлοгο цилиндρичесκοгο οбρазο- вания нагρеваюτ сοдеρжимοе τигля, ρасπлавляюτ и ποддеρживаюτ ο
15 τемπеρаτуρу ρ асπлава в диаπазοне 1 500- 1 800 С πуτем ρегулиροвания τοκа πлазмοτροна и ρасχοда πлазмοοбρазующегο газа.
Τаκοй сποсοб нагρева κρемния с внуτρенней ποвеρχнοсτи πο- лοгο цилиндρичесκοгο οбρазοвания и οτсуτсτвие οτκρыτοгο зеρκала ρасπлава уменьшаеτ τеπлοвые ποτеρи и ποτеρ и на исπаρение κρем-
20 ния и οбесπечиваеτ дοсτижение высοκοй энеρ геτичесκοй эφψеκτив- нοсτи нагρева и благοπρияτные услοвия ρабοτы πлазмοτροна, чτο сущесτвеннο увеличиваеτ ρесуρс егο ρабοτы. Β ρезульτаτе наπορа πлазменнοй сτρуи и вρащения τигля προисχοдиτ πеρемешивание слοев ρасπлава κаκ ποκазанο чеρными сτρелκами на φиг 2. Β зависи-
25 мοсτи οτ числа οбοροτοв τигля προизвοдиτся дοποлниτельнοе πеρе- мешивание ρасπлава, κаκ эτο ποκазанο чеρными сτρелκами на φигу- ρаχ 3, 4, 5. Ηа φиг. 3 ποκазана φορма ρасπлава πρи маκсимальныχ
οбοροτаχ τигля, κοгда η> 1/2 -π- л/уя • Ηа φиг. 4 - пρи η= 1/2 -π- -,/%
на φиг.5 пρи η<1/2 -π- • Для наибοлее эφφеκτивнοгο пеρемешива-
Figure imgf000009_0002
30 ния ρасπлава исποльзуюτ все чеτыρ е ρежима. Ηадο οτмеτиτь, чτο из- менением массы засыπκи ρегулиρуеτся τοлщина οбρабаτываемοгο 8 слοя κρемния. Пρичем эτа величина ρасчеτная и ее легκο ποдсчиτаτь исχοдя из οбъема ποлοгο цилиндρа и массы заκладываемοй πορции κρемния. Τеπеρь ρасπлавленный и сφορмиροванный в ποлый цилиндρ нужнοй τοлщины κρемний ποдвеρгаюτ οбρабοτκе τеχнοлοгичесκими газами - οκислиτельным (κислοροдοм) и вοссτанοвиτельным (вοдο- ροдοм, мοнοοκсидοм углеροда или углевοдοροдным газοм ρяда
СηΗ2η+ ) в ρазличныχ сοοτнοшенияχ, ποдавая иχ неποсρедсτвеннο чеρез сοπлο πлазмοτροна или чеρез сπециальные κаналы в гοлοвκе πлазмοτροна или вο φланце 5. Ακτивиροванный в πлазме κислοροд эφψеκτивнο οκисляеτ бορ в πρиποвеρχнοсτнοм слοе κρемния, πρевρа- щая егο в леτучие οκсиды бορа (ΒΟ,ΒΟ ,Β Ο3 ), κοτορые унοсяτся газοвым ποτοκοм чеρез οτвеρсτие 7 φланца 6 τигля 1. Β οссτанοви- τельные газы ποдаюτся неποсρедсτвеннο на внуτρ еннюю ποвеρχ- нοсτь цилиндρичесκοгο ρасπлава πρедοτвρащая οκисление κρемния и οбρазοвание на егο ποвеρχнοсτи πленκи диοκсида κρемния, πρеπяτ- сτвующей диφψузии бορа из οбъема в πρиποвеρχнοсτный слοй ρас- πлава κρемния. Пροвеρенным и οчень эψψеκτивным сποсοбοм ποлу- чения οκислиτельнοгο и вοссτанοвиτельнοгο газοв в πлазменнοм πο- τοκе являеτся ποдача πаροв вοды, κοτορые в ρезульτаτе диссοциации в πлазме даюτ аκτивный κислοροд и вοдοροд. Сοдеρжание πаροв вο- ды в смеси газοв ρегулиρуюτ в диаπазοне οτ 10 % дο 40% πο массе. Пρи οбρабοτκе ρасπлава ρасχοд πлазмοοбρазующегο и инеρτнοгο га- зοв, мοщнοсτь и κοнφигуρация φаκела πлазмοτροна, вρемя οбρабοτκи ρасπлава ρ егулиρуюτ в зависимοсτи οτ κачесτва исχοднοгο маτеρи- ала ( ΜΟ- δϊ ) и κачесτва ποлучаемοгο προдуκτа ( СΟΟ - δϊ ) πуτем взяτия προб, в τοм числе вο вρемя οбρабοτκи ρасπлава πρи вρащении τигля, чеρез οτвеρсτие 7 вο φланце 6.
Пρи дοсτижении заданнοгο уροвня πρимесей бορа в πρеделаχ 0,3 ρρтνν προизвοдяτ слив κρемния в излοжницу 8 πуτем οτκлοнения τигля οτ гορизοнτальнοгο ποлοжения или за счеτ снижения егο сκοροсτи вρащения πρи веρτиκальнοм ρасποлοжении. Для οсущесτ- вления неπρеρывнοгο τеχнοлοгичесκοгο προцесса ποдачу меτаллуρ- гичесκοгο κρемния в τигель προизвοдяτ неπρеρывнο в ρасчеτнοм
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ ПΡΑΒИЛΟ 26 9 κοличесτве не οсτанавливая егο вρащение чеρез любοе из двуχ τορцевыχ οτвеρсτий или чеρез сπециальный κанал в неποдвижнοм ψланце, жесτκο связаннοм с πлазмаτροнοм.
Пροмыиιленнαя ηριшенгшοстъ Τаκοй сποсοб и усτροйсτвο для οчисτκи κρемния даеτ ρяд πρе- имущесτв в сρавнении с οбρабοτκοй ρасπлава в неποдвижнοм τигле.
Οбρабοτκа ρасπлава κρ емния в замκнуτοм οгρаниченнοм οбъеме ποз- вοляеτ уменьшиτь ποτеρи на излучение, исπаρение и οκисление, τ. κ. οбщая ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο ρасπлава κρемния значиτельнο πρевοсχοдиτ πлοщадь выχлοπнοгο οτвеρсτия в τορцевοй сτенκе τиг- ля. Плοщадь οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи жидκοгο κρемния πο изο- бρеτению значиτельнο бοльше οбρабаτываемοй πлοщади κρемния в οτκρыτοм и неποдвижнοм τигле и мοжеτ быτь выρажена κοнκρеτнοй величинοй. Εсли взяτь ρадиус οτκρыτοгο τигля ρавным ρадиусу внуτ- ρеннегο цилиндρа, το οбρабаτываемая ποвеρχнοсτь в πеρвοм случае ρавна πΚ2, а в нашем π2ΚΙ_. Εсли счиτаτь, чτο длинна вρащающегοся τигля пρевοсχοдиτ ρадиус в 3-4 ρаза, τ. е. Ь=(3-4)Κ το ποлучим, чτο πлοщадь οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи πο πρедлагаемοму изοбρеτе- нию в 6- 8 ρаз бοльше, τ. е. величина οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи всегда бοльше на 2 Ь/Κ и οгρаничена τοльκο длинοй эψψеκτивнοгο вοздейсτвия ψаκела πлазмοτροна. Κροме τοгο, τρуднейшая προблема ποслοйнοгο πеρемешивания ρасπлава ρешаеτся προсτοй ρегулиροв- κοй сκοροсτи вρащения τигля, чτο οчевиднο из сχем πеρемешива- ния, ποκазанныχ на ψиг. 2, 3, 4, 5. Οчень важнο, чτο ποπуτнο πρи вρащении ρасπлава все мелκие часτицы бοлее τугοπлавκиχ πρимесей в τ.ч. τяжелыχ меτаллοв и κаρбида κρемния будуτ οττесняτься цен- τροбежными силами на внешнюю гρаницу жидκοгο слοя и οсτануτся в гаρнисажнοм слοе πρи сливе. Пеρиοдичесκая οбρабοτκа πлазмοτρο- нοм гаρнисажнοгο слοя πуτем егο нагρева, слива и замены чисτым κваρцем πρедοτвρащаеτ наκοπление πρимесей в гаρнисажнοм слοе и сοχρаняеτ неοбχοдимую чисτοτу ποлучаемοгο τаκим сποсοбοм κρемния.
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ ПΡΑΒИЛΟ 26

Claims

\νθ 00/5
10 Φορмула изοбρеτения
Ι . Сποсοб οчисτκи κρемния, вκлючающий ρазοгρев дο 1500- 1800°С неοчищеннοгο κρемния πлазменным ψаκелοм дο ποлучения ρасπлава и οбρабοτκи ρасπлава τеχнοлοгичесκими смесями и\или га- зами, οτличающийся τем, чτο, ρазοгρев и οбρабοτκа κρемния πлаз- менным ψаκелοм προизвοдиτся οднοвρеменнο с вρащением τигля вοκρуг свοей οси и ποлучения ρасπлава ψορмы ποлοгο цилиндρа, а заτем ведеτся οбρабοτκа ρасπлава τеχнοлοгичесκими смесями и\или газами наπρавленным вдοль οси вρащения, а слив гοτοвοй προдуκции προизвοдяτ πρи дοсτижении заданнοгο уροвня сοдеρжания πρимесей.
2. Сποсοб πο π. 1 οτличающийся τем, чτο вρащение τигля προизвοдиτся вοκρуг οси, ρасποлοжение κοτοροй меняюτ πρи дοсτижении сκοροсτи вρащения
η≥ 1 /2 -π - /^ π , где: ιι - числο οбοροτοв τигля в сеκ. ,
Κ - внуτρенний ρадиус ρасплава в меτρаχ, § - усκορение силы τяжесτи, м/с ,.
3. Сποсοб πο π. 1 οτличаюшийся τем, чτο, ρасπлав ψορмы ποлοгο цилиндρа ποлучаюτ с ρегулиρуемοй τοлщинοй сτенκи, 4. Сποсοб πο π. 1 οτличающийся τем, чτο, οбρабοτκа ведеτся πο внуτρенней ποвеρχнοсτи ρасπлава, κаκ вдοль οси вρащения, τаκ и ποд οсτρым углοм κ ней.
5.Сποсοб πο π. 1 οτличающийся τем, чτο, πρи ποдаче τеχнοлοгичесκиχ газοв и смесей исποльзуюτся смеси вοздуχа и вοссτанοвиτельныχ газοв. б. Сποсοб πο π. 1 οτличающийся τем, чτο, в προцессе οчисτκи κρемния οсущесτвляюτ взяτие προб без οсτанοвκи вρащения τигля.
7. Сποсοб πο π. 1 οτличающийся τем, чτο, слив гοτοвοй προдуκ- ции προизвοдяτ πρи дοсτижении заданнοгο уροвня сοдеρжания πρи- месей, πуτем изменения ποлοжения οси вρащения τигля οτ
ЗΑΜΕΗЯЮ ИЙ ЛИСΤ П ΑΒИЛ 26 1 1 гορизοнτальнοгο ποлοжения и за счеτ снижения сκοροсτи вρащения τигля. δ.Усτροйсτвο для οсущесτвления даннοгο сποсοба сοсτοиτ из τигля и πлазмοτροна с κаналами ποдачи τеχнοлοгичесκиχ смесей и\или газοв, οτличающееся τем, чτο, τигель πρедсτавляеτ сοбοй οбечайκу цилиндρичесκοй φορмы с двумя ψланцами на τορцаχ, ψуτеροванную и οблицοванную κваρцевым сτеκлοм изнуτρи, с οднοй сτοροны в οτвеρсτие ψланца всτавлен πлазмοτροн, а с προτивο- ποлοжнοй сτοροны вο вτοροм ψланце ρасποлοженο οτвеρсτие для выχοда газа и удаления πρимесей и слива κρемния в излοжницу, а на внешнем диамеτρе эτοгο ψланца выποлнены два сπаρенныχ шκива для πρ ивοда вρащения τигля и для вρащения πаρы κаτκοв на κοτορ ые οπиρаеτся τигель с вοзмοжнοсτью изменения τοчеκ οπορы πο χορде οκρужнοсτи πаза с οднοй сτοροны, а с дρугοй сτοροны, τигель οπиρаеτся на вτορую πаρу κаτκοв πеρвым ψланцем, а κаτκи ποπаρнο ρасποлοжены на τρаπециидальнοй ρаме и κаждая πаρа имееτ οдну οбщую οсь вρащения, заделанную в ποдшиπниκи на ρаме, κοτορая κρеπиτся снизу κ πлаτψορме с двигаτелем, а сама πлаτψορма ποдвешена чеρез амορτизаτορы κ κаρκасу. 9. Усτροйсτвο πο π.8 οτличающееся τем, чτο, πρивοд вρащения выποлнен в виде цеπи и шκива сο звездοчκοй.
10. Усτροйсτвο πο π.8 οτличающееся τем, чτο, шκив κοτορым οπиρаеτся τигель, имееτ πаз.
ЗΑΜΕΗЯЮ ИЙ ЛИСΤ ПΡΑΒИЛΟ 26
PCT/RU2000/000038 1999-02-25 2000-02-07 Procede de purification de silicium et dispositif de mise en oeuvre de ce procede WO2000050342A1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU99104054/12A RU2159213C2 (ru) 1999-02-25 1999-02-25 Способ очистки кремния и устройство для его осуществления
RU99104054 1999-02-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2000050342A1 true WO2000050342A1 (fr) 2000-08-31

Family

ID=20216539

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU2000/000038 WO2000050342A1 (fr) 1999-02-25 2000-02-07 Procede de purification de silicium et dispositif de mise en oeuvre de ce procede

Country Status (2)

Country Link
RU (1) RU2159213C2 (ru)
WO (1) WO2000050342A1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20120241438A1 (en) * 2009-12-16 2012-09-27 Kcc Corporation Plasma arc torch positioning apparatus
CN103351001A (zh) * 2013-06-19 2013-10-16 青岛隆盛晶硅科技有限公司 工业硅分离杂质的方法
CN109133068A (zh) * 2018-11-19 2019-01-04 成都斯力康科技股份有限公司 冶金法除杂制备太阳能级硅锭的装置及方法

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2465202C2 (ru) * 2010-11-17 2012-10-27 Общество c ограниченной ответственностью "Энергия" Способ очистки металлургического кремния увлажненной плазмой переменного тока в вакууме
RU2465199C2 (ru) * 2010-11-17 2012-10-27 Общество c ограниченной ответственностью "Энергия" Способ рафинирования металлургического кремния плазмой сухого аргона с инжекцией воды на поверхность расплава с последующей направленной кристаллизацией
RU2465201C1 (ru) * 2011-02-14 2012-10-27 Общество с ограниченной ответственностью "ЭНЕРГИЯ" Способ получения слитков поликристаллического кремния
RU2465200C1 (ru) * 2011-02-14 2012-10-27 Общество с ограниченной ответственностью "ЭНЕРГИЯ" Способ рафинирования металлургического кремния
RU2565198C1 (ru) * 2014-11-27 2015-10-20 Общество с ограниченной ответственностью "Объединенная Компания РУСАЛ Инженерно-технологический центр" Способ очистки технического кремния
RU2693172C1 (ru) * 2018-10-09 2019-07-01 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Рязанский государственный радиотехнический университет" ФГБОУ ВО "РГРТУ" Способ очистки металлургического кремния от примесей
RU2702173C1 (ru) * 2018-12-25 2019-10-04 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Рязанский государственный радиотехнический университет" Способ повышения эффективности очистки кремния

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1393211A (en) * 1972-06-15 1975-05-07 Siemens Ag Manufacture of shaped hollow bodies of silicon or silicon carbide
FR2487808A1 (fr) * 1980-08-01 1982-02-05 Electricite De France Procede et dispositif d'elimination du bore dans le silicium par fusion de zone sous plasma reactif
SU1333229A3 (ru) * 1983-02-28 1987-08-23 Скф Стил Инджиниринг Аб (Фирма) Способ получени кремни
EP0274283A1 (fr) * 1987-01-08 1988-07-13 Rhone-Poulenc Chimie Procédé de purification sous plasma de silicium divisé
DE3727646A1 (de) * 1987-08-19 1989-03-02 Bayer Ag Verfahren zur kontinuierlichen raffination von silicium
SU1630213A1 (ru) * 1989-07-21 1994-01-30 МГУ им.М.В.Ломоносова Устройство для получения пенографита

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1393211A (en) * 1972-06-15 1975-05-07 Siemens Ag Manufacture of shaped hollow bodies of silicon or silicon carbide
FR2487808A1 (fr) * 1980-08-01 1982-02-05 Electricite De France Procede et dispositif d'elimination du bore dans le silicium par fusion de zone sous plasma reactif
SU1333229A3 (ru) * 1983-02-28 1987-08-23 Скф Стил Инджиниринг Аб (Фирма) Способ получени кремни
EP0274283A1 (fr) * 1987-01-08 1988-07-13 Rhone-Poulenc Chimie Procédé de purification sous plasma de silicium divisé
DE3727646A1 (de) * 1987-08-19 1989-03-02 Bayer Ag Verfahren zur kontinuierlichen raffination von silicium
SU1630213A1 (ru) * 1989-07-21 1994-01-30 МГУ им.М.В.Ломоносова Устройство для получения пенографита

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20120241438A1 (en) * 2009-12-16 2012-09-27 Kcc Corporation Plasma arc torch positioning apparatus
US8912463B2 (en) * 2009-12-16 2014-12-16 Kcc Corporation Plasma arc torch positioning apparatus
CN103351001A (zh) * 2013-06-19 2013-10-16 青岛隆盛晶硅科技有限公司 工业硅分离杂质的方法
CN103351001B (zh) * 2013-06-19 2015-06-03 青岛隆盛晶硅科技有限公司 工业硅分离杂质的方法
CN109133068A (zh) * 2018-11-19 2019-01-04 成都斯力康科技股份有限公司 冶金法除杂制备太阳能级硅锭的装置及方法
CN109133068B (zh) * 2018-11-19 2021-06-22 成都斯力康科技股份有限公司 冶金法除杂制备太阳能级硅锭的装置及方法

Also Published As

Publication number Publication date
RU2159213C2 (ru) 2000-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2000050342A1 (fr) Procede de purification de silicium et dispositif de mise en oeuvre de ce procede
US20020185790A1 (en) Molten metal treatment furnace with level control and method
US20110180484A1 (en) Separation device with dual drives and a method of reducing donutting in a separation device
CN101219789B (zh) 高能束流多晶硅提纯装置
EP0434822A1 (en) Continuous casting of ingots
HUE031155T2 (en) Equipment for the production of alloy plates
CN101104917A (zh) 连续去除热镀锌液中锌渣的复合净化装置
CN203649368U (zh) 外加磁场的电渣熔铸装置
JPH11320083A (ja) 溶解保持炉
CN209602605U (zh) 环保型富氧热风含铜废渣熔炼炉
USRE33327E (en) Melt overflow system for producing filamentary and film products directly from molten materials
CN1386871A (zh) 工业离心机深床过滤铝熔体中夹杂物的设备
CN211464806U (zh) 一种再生铜精炼平行浇铸系统及其中间包
CN104588205A (zh) 一种湿式内筒式带磁感应介质的除铁磁选机
CN210436367U (zh) 一种锅炉炉渣处理装置
CN101323019B (zh) 一种有机锡生产用锡粉的制作方法
CN107684065A (zh) 花生浸泡系统
FI97052B (fi) Menetelmä ja laite mineraalikuitujen valmistamiseksi
CN101954485A (zh) 感应溢流快淬炉
CN1161481C (zh) 过滤净化铝熔体中非金属夹杂物的装置
CN101791693B (zh) 带有快速更换夹杂物去除装置的中间包及其工作方法
SU1217922A1 (ru) Установка дл нанесени защитного покрыти из расплава
CN201644771U (zh) 带有快速更换夹杂物去除装置的中间包
CN201664546U (zh) 水平旋转式细格栅机
US3098110A (en) Cooling arrangements for molten metals

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): CA CN JP KR NO US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
122 Ep: pct application non-entry in european phase