WO2000026658A1 - Sensoranordnung und ein verfahren zur ermittlung der dichte und der viskosität einer flüssigkeit - Google Patents

Sensoranordnung und ein verfahren zur ermittlung der dichte und der viskosität einer flüssigkeit Download PDF

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Falk Herrmann
Dietmar Hahn
Gottfried Flik
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Robert Bosch Gmbh
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Definitions

  • the invention relates to a sensor arrangement for determining the density and viscosity of liquids and a method for carrying out this determination according to the preamble of the main claim.
  • the mass of a known liquid volume is determined with simple measuring arrangements in a density measurement.
  • the resonance detuning for determining the density in a tube through which the liquid under investigation flows can be determined and evaluated in an acoustic measuring arrangement.
  • the so-called rotary viscometry and falling ball viscometry can be used as well-known measurement methods. All of the methods mentioned have in common that the two measured variables, density and viscosity, must be determined using different devices, each of which requires a large amount of space, with high demands on the measuring accuracy. are very intensive and require relatively large volumes of liquid for measurement.
  • SA sensors surface acoustic wave sensors
  • sensors that work by exploiting an interaction between the propagation distance of a surface acoustic wave or a bulk wave and the liquid to be examined
  • sensors whose transducers consist of resonant vibrating microstructures .
  • the generic sensor arrangement is based on a known measuring principle, which is described, for example, in the article "A study of love-wave acoustic sensors", J.Du, GLHardling, PROgilvy and M.Lake in the specialist journal Sensors and Actuators A5 ⁇ (1996), pages 211 to 219.
  • a sensor is implemented in which horizontally polarized acoustic shear waves are used as surface waves, so-called leak waves (leaky waves) or Surface skimming bulk wave (SSBW waves) or love waves.
  • leak waves leaky waves
  • SSBW waves Surface skimming bulk wave
  • interdigital transducers which are also known per se from the prior art mentioned above, so that the desired sensor signal can be obtained from the propagation behavior on a propagation or measurement path.
  • This sensor arrangement according to the invention advantageously allows a separate measurement of the density and viscosity of a liquid in a measurement setup with a high measurement accuracy by utilizing the influence of additional disturbances in a propagation path for the acoustic waves, which are introduced specifically on the sensor surface of a sensor base element.
  • a density-viscosity product can be detected when measuring with Love wave modes.
  • a viscosity and density sensor with a so-called quartz microbalance for measuring with bulk waves, ie not with surface waves, is known, in which similar disturbances are arranged in the form of liquid traps.
  • QCM - quartz crystal microbalance quartz microbalance
  • similar disturbances are arranged in the form of liquid traps.
  • this is in the article "Measuring Liquid Properties with Smooth and Textured-Surface Resonators", SJMartin et al. From IEEE 1993 International Freguency Control Symposium, pages 603 to 608.
  • the surface of one transducer is provided with walls of metal, for example gold, oriented perpendicular to the direction of vibration. The pockets between the walls serve as liquid traps, the liquid therein carrying out the oscillatory movement regardless of its viscosity.
  • This known quartz microbalance is a Dickerscherschwinger, which is excited by flat electrodes using the inverse piezoelectric effect. Since there is no direct radiation of acoustic energy in a liquid phase due to the shear movement, because shear modes cannot propagate in liquids, the QCM is also suitable for liquid analysis. Here, a change in resonance frequency is frequently measured by mass accumulation, the QCM serving as the frequency-determining element in an oscillator circuit.
  • the effect is advantageously exploited that, in addition, in viscous liquids there is a frequency shift due to viscosity and density of the liquid due to viscous coupling.
  • This can be used to determine the density-viscosity product of the liquid, but in addition the density influence from the viscosity influence can also be separated with the structure proposed according to the invention, and so both variables can be measured independently of one another.
  • At least two basic sensor elements operated in parallel in their construction are advantageously used, and the advantages can be exploited when using surface waves, in particular SSB waves or Love waves. These are mainly ne high measurement sensitivity, the use of transducer electrodes protected against the liquid, an inert surface and a low cross sensitivity.
  • the arrangement according to the invention can dispense with the galvanic attachment of gold and the sensor arrangement as a whole can be produced in a semiconductor-compatible manufacturing process. Since the gold used in the known arrangement with QCMs has a very high density compared to the liquid, the structure according to the invention, the materials of which are closer to the density of the liquid, can also be used to increase the measuring sensitivity.
  • a measurement signal that is easy to process can be obtained in a simple manner by evaluating frequency shifts.
  • the frequency shifts of the basic sensor element with the liquid traps show a dependency that is only given by the density of the liquid and the effective volume of the liquid traps. If the frequency shifts of the two basic sensor elements are linked to each other, the density and viscosity of the measuring liquid can be determined separately.
  • the present invention proposes a microsensor with which the determination of density and viscosity of liquid volumes in the ml range is possible with high resolution and measuring accuracy.
  • This sensor can be produced inexpensively using batch processes suitable for mass production, using methods known from semiconductor production.
  • FIG. 1 shows a schematic view of a sensor arrangement for determining the density and the viscosity of a liquid flowing through the sensor arrangement
  • FIG. 2 shows a detailed view of an interdigital transducer for generating and detecting acoustic waves
  • FIGS. 3 to 5 arrangement variants of the interdigital transducers according to FIG. 2;
  • FIGS. 6 to 8 sections through a substrate of the sensor arrangement with different designs of the coating;
  • FIG. 9 shows a detailed top view of two propagation distances of the measuring liquid in the sensor arrangement
  • FIG. 10 shows a basic circuit diagram of an evaluation circuit coupled to the sensor arrangement
  • FIG. 11 shows an evaluation circuit that is expanded compared to FIG. 10.
  • the main component of the proposed sensor arrangement 1 is a substrate 5, polished on one side, made of a piezoelectric material, in which horizontally polarized acoustic shear modes of basic sensor elements can be excited and propagated.
  • Suitable substrate materials are Y-rotated quartz cuts, some lithium ni- obate and lithium tantalate cuts as well as appropriately polarized piezoelectric ceramics.
  • interdigital transducers 6 are located on the polished surface of the substrate 5 and is explained in more detail with reference to FIG. 2.
  • These interdigital transducers 6 are made, for example, of aluminum, titanium, chromium, gold or platinum. if on an adhesive layer made of titanium or silicon and serve to excite and detect the acoustic surface waves.
  • FIG. 2 shows one of the interdigital transducers 6 in detail, wherein transducer fingers 7 can generate acoustic waves with the wavelength 8 (center frequency) when excited by an electrical voltage at an input 9. This creates a surface acoustic wave, i.e. in particular a shear wave in the polarization direction of arrow 11, with the aperture according to arrow 12.
  • the transducer fingers 7 can also be divided into two single fingers or split fingers within the period, so that ⁇ / 8 fingers are formed. There is a factor of two between the electrical and the mechanical period, so that elimination or at least a reduction of internal reflections and the so-called trip transit echo (TTE) can be achieved.
  • TTE trip transit echo
  • the arrangement of the interdigital transducers 6 in the sensor arrangement 1 according to FIG. 1 can be carried out according to the exemplary embodiments in FIGS. 3 to 5.
  • FIG. 3 as a delay line with a transmit IDT 6a, a propagation path 13 and a receive IDT 6b or according to FIG. 4 as a two-port or according to FIG. 5 as a single-gate resonator with one or two IDT 6 and with reflector banks 14 his.
  • the sensor arrangement 1 according to FIG. 1 contains two basic elements arranged parallel to one another with the interdigital transducers 6, although a third parallel sensor basic element (not shown with the aid of this figure) can also be arranged for easier evaluation and improved temperature compensation of the measurement signals. Furthermore, in the embodiment 1, a meandering thin-film temperature resistor 15 is arranged next to or between the basic elements with the IDT 6 on the surface of the substrate 5, since in particular the viscosity is strongly temperature-dependent and the temperature therefore represents a further important measurement variable.
  • the material for the thin-film temperature resistor 15 is here advantageously the material as for the IDT 6, namely titanium / platinum or titanium / platinum / titanium, the adhesive layer being either titanium or silicon.
  • An acoustic waveguide layer 16 is arranged on the substrate 5 according to FIG. 1 above the basic elements with the IDT 6.
  • waveguide mode here a love wave.
  • mechanical disturbances in the form of liquid traps 17 are arranged above a base element with the IDT 6, within which the acoustic wave cannot propagate due to the mechanical inhomogeneity.
  • the area in front of, above and between the respective interdigital transducers 6 is provided with the ridges 18 oriented parallel to the direction of propagation of the acoustic wave, the geometrical arrangement possibilities of which are explained with reference to FIGS. 6 to 8 or in the top view according to FIG. 9.
  • These liquid traps 17 can be produced here as trenches 22 by appropriate structuring of a layer 20 located above the interdigital transducer 6, as shown in FIG. 6 or, as not shown, as pits or sponges. Between the layer 20 and the IDT 6 can a further intermediate layer 21 may be provided to improve the adhesion and / or to protect the IDT 6. In the arrangement according to FIG. 6, the so-called leaky waves or SSB waves are used.
  • the liquid traps according to FIG. 7 can also be produced directly by introducing trench-like etchings 22 into a waveguide layer 23 which otherwise corresponds to the waveguide layer 16 according to FIG. 1.
  • the thickness of the waveguide layer 23 above the second, parallel basic element with the IDT 6 without the liquid traps can be reduced to such an extent that the same sensitivity of both basic elements is achieved.
  • Another method of producing liquid traps 17 or trenches 22 for waves of the love mode type shown in FIG. 8 consists in the application and subsequent structuring of a further liquid trap layer 25 above the acoustic waveguide layer 23, possibly also using an additional intermediate layer 21 as an adhesion promoter and / or as an etch stop layer similar to the example according to FIG. 6. In this way, the reproducibility of the trench depth is improved.
  • liquid traps 17 can take place by arranging pits with a circular or polygonal cross section or a sponge-like surface structure, as mentioned above.
  • a thin metallic shielding layer 26 which can be a few nm to 100 nm thick, can be provided above the liquid traps to shield unwanted acoustoelectric interactions between the measuring liquid and the sensor arrangement 1.
  • the intermediate layer 21 can ßerde particularly advantageously be used simultaneously as an adhesion promoter and etch stop layer and as a shielding layer between the waveguide layer 23 and the liquid traps 22.
  • a viscous coupling occurs, ie a thin layer of liquid on the surface of the sensor base element is forced to participate in the shear vibrations.
  • the effective amount of vibrating layer of liquid depends directly on the viscosity and frequency.
  • the viscous coupling causes a decrease in the propagation speed of the acoustic wave and an increase in the wave attenuation proportional to the root of the density-viscosity product.
  • the speed of propagation is reduced by a second influence which is dependent on the liquid density and the liquid volume enclosed in the liquid traps 17.
  • the change in the propagation speed can be measured, for example, if a basic sensor element, e.g. is used with the delay line according to FIG. 3 or the reflectors 14 according to FIGS. 4 and 5 as a frequency-determining element in an oscillator circuit.
  • the change in the resonance frequency of such an oscillator is a measure of the change in speed of the shaft.
  • FIG. 10 shows a basic embodiment of a circuit structure for determining the density and the viscosity of a measuring liquid with two oscillator circuits 30 and 31.
  • the oscillator frequency f. of a basic element with the IDT 6 and liquid traps 17 in the first oscillator circuit 30 is with the oscillator frequency f 2 of the oscillator circuit 31 without Liquid traps mixed in a mixer 32, the mixing frequency ⁇ f at the output of a downstream low-pass filter 33 being a good approximation of the liquid density, since the viscous influence acting on both oscillator circuits 30 and 31 and any further disturbance variables are compensated for.
  • the prerequisite here is that the sensitivity to viscous coupling is identical for both basic sensor elements.
  • the viscosity of the measuring liquid can be determined using the circuit arrangement described, using the density determined from the shift in the frequency of the basic sensor element without liquid traps in the oscillator circuit 31 compared to the known frequency when the measuring arrangement is operating without a measuring liquid.
  • the change in damping can also be used as a measurement variable.
  • FIG. 11 A further, expanded exemplary embodiment of a circuit arrangement for recording the required measured variables is shown in FIG. 11.
  • this circuit arrangement there is also an oscillator circuit 34 with a measuring section without the passage of the measuring liquid, so that this measuring section serves as a non-wetted reference element.
  • This arrangement is particularly advantageous if, for technological reasons, the two sensor elements wetted with the measuring liquid do not have identical sensitivity to viscous interactions. In addition, possible component drifts are homogenized in this arrangement to improve long-term stability.
  • the liquid density and the user density can be determined using the structure according to FIG. tion of the thus known liquid density from ⁇ f 2, the viscosity can be determined in the manner described above. Alternatively, the change in damping can also be used here as a measurement variable.
  • a third embodiment not shown in the drawing, has two basic sensor elements, both of which are provided with liquid traps and one of which is in contact with the measuring liquid and one with air.
  • the mixing frequency obtained here in an analogous manner to the exemplary embodiments according to FIGS. 9 to 11 is dependent on the density and the root of the density-viscosity product.
  • the damping difference is also the measure of the root of the density-viscosity product, since a slight increase in mass due to the measuring liquid in the liquid traps causes a negligible change in damping.
  • a damping measurement is therefore absolutely necessary, but it is advantageous that only two completely identical basic sensor elements are necessary, with the same sensitivity, drift and mechanical cross sensitivity.

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Abstract

Es wird eine Sensoranordnung zur Ermittlung der Dichte und der Viskosität einer Flüssigkeit vorgeschlagen, mit einer Anordnung aus mindestens zwei Sensorgrundelementen, von denen mindestens eines mit der Flüssigkeit benetzbar ist und mit elektro-akustischen Wandlern (6) in den Sensorgrundelementen zur Erzeugung und Detektion akustischer Oberflächenwellen, aus deren Ausbreitungsverhalten entlang einer Messstrecke ein Mass für die Dichte und die Viskosität der Flüssigkeit ermittelbar ist. Im Bereich mindestens eines der Sensorgrundelemente sind parallel zur Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwelle in der jeweiligen Messstrecke verlaufende Flüssigkeitsfallen (17) für die Flüssigkeit angeordnet.

Description

Sensoranordnung und ein Verfahren zur Ermittlung der Dichte und der Viskosität einer Flüssigkeit
Stand der Technik
Die Erfindung betrifft eine Sensoranordnung zur Ermittlung der Dichte und Viskosität von Flüssigkeiten und ein Verfahren zur Durchführung dieser Ermittlung nach dem Oberbegriff des Hauptanspruchs .
Allgemein wird bei einer Dichtemessung die Masse eines bekannten Flüssigkeitsvolumens mit einfachen Messanordnungen ermittelt . Außerdem kann auch die Resonanzverstimmung zur Bestimmung der Dichte in einem von der untersuchten Flüssigkeit durchströmten Rohr in einer akustischen Messanordnung ermittelt und ausgewertet werden. Zur Viskositätsmessung der Flüssigkeit sind die sogenannte Rotationsviskosimetrie und die Fallkugeiviskosimetrie als hinlänglich bekannte Messmethoden anwendbar. Allen genannten Methoden ist gemeinsam, daß die beiden Meßgrößen Dichte und Viskosität mit unterschiedlichen Geräten ermittelt werden müssen, die jeweils einen hohen Raumbedarf haben, bei hohen Anforderungen an die Meßgenauigkeit ko- stenintensiv sind und zur Messung relativ große Flüssigkeitsvolumina benötigen.
Aufgrund einer immer häufiger werdenden Notwendigkeit der Miniaturisierung und Systemintegration besteht ein Bedarf an kompakten und kostengünstigen Geräten zur hochgenauen online-Dichte- und Viskositätsmessung in kleinen Flüssigkeitsvolumina, der jedoch mit den heute verfügbaren Meßgeräten nicht gedeckt werden kann. Beispiele für eine Anwendung sind die Dichte- und Viskositätsmessung bei der Zumessung von Dieselkraftstoffen in Kraftfahrzeugen, die online-Überwachung des Zustandes von Motorölen oder die Entwicklung mikrofluidischer Analysesysteme in der Chemie oder Medizin, beispielsweise zur Untersuchung physiologischer Medien wie Blut oder Urin oder zur Herstellung pharmazeutischer Produkte.
Mikrosensoren zur Dichte- und Viskositätsmessung von Flüssigkeiten lassen sich aufgrund der zugrunde liegenden Funktionsprinzipien in zwei Kategorien einteilen. Zum einen gibt es sogenannte Surface Acoustic Wave Sensoren (SA -Sensoren) , die unter der Ausnutzung einer Wechselwirkung zwischen der Ausbreitungsstrecke einer akustischen Oberflächenwelle oder einer Bulkwelle und der zu untersuchenden Flüssigkeit arbeiten und zum anderen gibt es Sensoren, deren Messwandler aus resonant schwingenden MikroStrukturen bestehen.
Bei der gattungsgemäßen Sensoranordnung wird von einem bekannten Messprinzip ausgegangen, das beispielsweise in dem Aufsatz „ A study of Love-wave acoustic Sensors", J.Du, G.L.Hardling, P.R.Ogilvy und M.Lake in der Fachzeitschrift Sensors and Actuators A5β(1996), Seiten 211 bis 219 beschrieben ist. Mit dem hier beschriebenen Messaufbau ist ein Sensor realisiert, bei dem mit horizontal polarisierten akustischen Scherwellen als Oberflächenwellen gearbeitet wird, sog. Leckwellen (Leakywaves) bzw. Surface Skimming Bulk Wave (SSBW-Wellen) oder Love- Wellen. Diese akustischen Wellenmoden werden mit sogenannten, für sich auch aus dem zuvor erwähnten Stand der Technik bekannten, Interdigitaltransducern erzeugt und auch detektiert, so dass aus dem Ausbreitungsverhalten auf einer Ausbreitungs- oder Messstrecke das gewünschte Sensorsignal gewonnen werden kann.
Vorteile der Erfindung
Die eingangs erwähnte gattungsgemäße Sensoranordnung zur Ermittlung der Dichte und der Viskosität einer Flüssigkeit ist gemäß der Erfindung mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruchs und des nebengeordneten Verfahrensanspruches in vorteilhafter Weise weitergebildet.
Diese erfindungsgemäße Sensoranordnung erlaubt durch die Ausnutzung des Einflusses von zusätzlichen, gezielt auf der Sensoroberflache eines Sensorgrundelements eingebrachten Störungen in einer Ausbreitungsstrecke für die akustischen Wellen in vorteilhafter Weise eine getrennte Messung von Dichte und Viskosität einer Flüssigkeit in einem Messaufbau mit einer hohen Messgenauigkeit. Bei der eingangs genannten bekannten Anordnung ist dagegen bei einer Messung mit Love-Wellenmoden nur die Erfassung eines Dichte-Viskositäts-Produkts möglich.
Für sich gesehen ist ein Viskositäts- und Dichtesensor mit einer sogenannten Quarzmikrowaage (QCM - Quarz Cry- stal Microbalance) für die Messung mit Bulkwellen, also nicht mit Oberflächenwellen, bekannt, bei der ähnliche Störungen in Form von Flüssigkeitsfallen angeordnet sind. Beispielsweise ist dies in dem Aufsatz „ Measuring Liquid Properties with Smooth- and Textured-Surface Resonators", S.J.Martin et al . aus IEEE 1993 International Freguency Control Symposium, Seiten 603 bis 608, beschrieben. Hierbei ist beispielsweise die Oberfläche des einen Schwingers mit senkrecht zur Schwingrichtung ausgerichteten Wällen aus Metall, z.B. Gold, versehen ist. Die Taschen zwischen den Wällen dienen als Flüssigkeitsfallen, wobei die darin befindliche Flüssigkeit die Schwingungsbewegung unabhängig von ihrer Viskosität ausführt.
Bei dieser bekannten Quarzmikrowaage handelt es sich um einen Dickenscherschwinger, der unter Nutzung des inver- sen piezoelektrischen Effektes durch flächige Elektroden angeregt wird. Da es in einer Flüssigphase aufgrund der Scherbewegung zu keiner direkten Abstrahlung akustischer Energie kommt, denn Schermoden sind in Flüssigkeiten nicht ausbreitungsfähig, ist die QCM auch zur Flüssigkeitsuntersuchung geeignet. Hierbei wird häufig eine Resonanzfrequenzänderung durch Massenanlagerung gemessen, wobei die QCM als frequenzbestimmendes Element in einer Oszillatorschaltung dient.
Gemäß der Erfindung wird in vorteilhafter Weise der Effekt ausgenutzt, dass es zusätzlich in viskosen Flüssigkeiten durch viskose Kopplung zu einer von Viskosität und Dichte der Flüssigkeit bedingten Frequenzverschiebung kommt. Dies kann zur Ermittlung des Dichte-Viskositätsprodukts der Flüssigkeit herangezogen werden, wobei jedoch zusätzlich der Dichte- vom Viskositätseinfluss mit dem erfindungsgemäß vorgeschlagenen Aufbau auch trennbar ist und so beide Größen unabhängig voneinander zu messen sind.
Es werden somit in Weiterbildung der gattungsgemäßen Anordnung mindestens zwei in ihrem Aufbau parallel betriebene Sensorgrundelemente in vorteilhafter Weise verwendet, wobei die Vorteile bei der Verwendung der Oberflächenwellen, insbesondere der SSB-Wellen oder der Love- Wellen ausgenutzt werden können. Diese sind vor allem ei- ne hohe Messempfindlichkeit, die Verwendung von gegenüber der Flüssigkeit geschützten Wandler-Elektroden, eine inerte Oberfläche und eine geringe Querempfindlichkeit .
Gegenüber der Verwendung der bekannten QCM's, kann bei der erfindungsgemäßen Anordnung auf die galvanische Anbringung von Gold verzichtet und die Sensoranordnung insgesamt in einem halbleiterkompatiblen Fertigungsprozess hergestellt werden. Da das bei der bekannten Anordnung mit QCM's verwendete Gold eine sehr hohe Dichte gegenüber der Flüssigkeit aufweist, kann mit dem erfindungsgemäßen Aufbau, dessen Materialien näher an der Dichte der Flüssigkeit liegen, auch demgegenüber eine Erhöhung der Messempfindlichkeit erreicht werden.
Mit dem beanspruchten Messverfahren kann auf einfache Weise über die Auswertung von Frequenzverschiebungen ein leicht weiterzuverarbeitendes Messsignal gewonnen werden. Die Frequenzverschiebungen des Sensorgrundelements mit den Flüssigkeitsfallen weist zusätzlich zum Einfluss des Dichte-Viskositäts-Produkts eine nur durch die Dichte der Flüssigkeit und das effektive Volumen der Flüssigkeitsfallen gegebene Abhängigkeit auf. Werden nun die Frequenzverschiebungen beider Sensorgrundelemente miteinander verknüpft, können Dichte und Viskosität der Messflüssigkeit getrennt ermittelt werden.
Mit der vorliegenden Erfindung wird ein Mikrosensor vorgeschlagen, mit dem die Bestimmung von Dichte und Viskosität von Flüssigkeitsvolumina im ml-Bereich mit hoher Auflösung und Messgenauigkeit möglich ist. Dieser Sensor kann mit zur Massenfertigung geeigneten Batchprozessen kostengünstig hergestellt werden, wobei auf aus der Halbleiterfertigung bekannte Verfahren zurückgegriffen wird. Es wird somit eine Zusammenführung der Vorteile der Sensoren, die unter Ausnutzung der Wechselwirkung zwischen der Ausbreitungsstrecke einer akustischen Oberflächenwel- le und der zu untersuchenden Flüssigkeit ein Messsignal erzeugen und anderer Sensoren (z.B. Bulk-Mode-Sensoren = QCM) ermöglicht, wobei die jeweils spezifischen Nachteile vermieden sind.
Diese und weitere Merkmale von bevorzugten Weiterbildungen der Erfindung gehen außer aus den Ansprüchen, einschließlich der rückbezogenen Unteransprüche, auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehreren in Form von Unterkombinationen bei der Ausführungs- for der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausführungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird.
Zeichnung
Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Sensoranordnung werden anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen:
Figur 1 eine schematische Ansicht einer Sensoranordnung zur Ermittlung der Dichte und der Viskosität einer durch die Sensoranordnung strömenden Flüssigkeit;
Figur 2 eine Detailansicht eines Interdigitaltrans- ducers zur Erzeugung und Detektion akustischer Wellen;
Figuren 3 bis 5 Anordnungsvarianten der Interdigi- taltransducer nach der Figur 2; Figuren 6 bis 8 Schnitte durch ein Substrat der Sensoranordnung mit unterschiedlichen Ausführungen der Beschichtung;
Figur 9 eine detaillierte Draufsicht auf zwei Ausbreitungsstrecken der Messflüssigkeit in der Sensoranordnung;
Figur 10 ein Prinzipschaltbild einer mit der Sensoranordnung gekoppelten Auswerteschaltung und
Figur 11 eine gegenüber der Figur 10 erweiterte Aus- werteschaltung .
Beschreibung der Ausführungsbeispiele
Aus Figur 1 ist eine Sensoranordnung 1 in einer aufgeschnittenen Prinzipdarstellung gezeigt, durch die eine Messflüssigkeit zur Bestimmung ihrer Dichte und ihrer Viskosität von einem Eingang 2 zu einem Ausgang 3 gemäß Pfeil 4 fließt. Hauptbestandteil der vorgeschlagenen Sensoranordnung 1 ist ein einseitig poliertes Substrat 5 aus einem piezoelektrischen Werkstoff, in dem horizontal polarisierte akustische Schermoden von Sensorgrundelementen anregbar und ausbreitungsfähig sind. Als Substratwerkstoffe sind Y-rotierte Quarzschnitte, einige Lithiumni- obat- und Lithiumtantalatschnitte sowie entsprechend gepolte piezoelektrische Keramiken geeignet.
Auf der polierten Oberfläche des Substrats 5 befindet sich eine Anordnung aus metallischen Interdigitaltransdu- cern (IDT) 6, die anhand von Figur 2 näher erläutert werden. Diese Interdigitaltransducer 6 sind beispielsweise aus Aluminium, Titan, Chrom, Gold oder Platin, gegebenen- falls auf einer Haftschicht aus Titan oder Silizium und dienen zur Anregung und Detektion der akustischen Oberflächenwellen .
In der Figur 2 ist einer der Interdigitaltransducer 6 im Detail gezeigt, wobei Wandlerfinger 7 akustische Wellen mit der Wellenlänge 8 (Mittenfrequenz) bei einer Anregung durch eine elektrische Spannung an einem Eingang 9 erzeugen können. Hierdurch entsteht eine akustische Oberflächenwelle, d.h. insbesondere eine Scherwelle in der Polarisationsrichtung des Pfeiles 11, mit der Apertur gemäß Pfeil 12. Gemäß eines hier nicht dargestellten Ausführungsbeispiels können die Wandlerfinger 7 auch innerhalb der Periode in zwei Einzelfinger oder auch Splitfinger aufgeteilt sein, so dass λ/8 Finger entstehen. Zwischen der elektrischen und der mechanischen Periode liegt hier der Faktor zwei, so dass eine Beseitigung oder zumindest eine Verminderung innerer Reflexionen und des sog. Tri- ple-Transit-Echos (TTE) erreichbar ist.
Die Anordnung der Interdigitaltransducer 6 in der Sensoranordnung 1 gemäß der Figur 1 kann nach den Ausführungsbeispielen der Figur 3 bis 5 ausgeführt werden. Beispielsweise nach der Figur 3 als Verzögerungsleitung mit einem Sende-IDT 6a, einer Ausbreitungsstrecke 13 und einem Empfangs-IDT 6b bzw. nach der Figur 4 als Zwei- oder nach der Figur 5 als Eintorresonator mit einem oder zwei IDT 6 und mit Reflektorbänken 14 ausgebildet sein.
Die Sensoranordnung 1 nach der Figur 1 enthält zwei parallel zueinander angeordnete Grundelemente mit den Inter- digitaltransducern 6, wobei allerdings zur vereinf chten Auswertung und verbesserten Temperaturkompensation der Messsignale auch ein drittes paralleles, anhand dieser Figur nicht dargestelltes Sensorgrundelement angeordnet werden kann. Weiterhin ist beim Ausführungsbeispiel nach der Figur 1 neben oder zwischen den Grundelementen mit den IDT 6 auf der Oberfläche des Substrats 5 ein mäander- fömiger Dünnschicht-Temperaturwiderstand 15 angeordnet, da insbesondere die Viskosität stark temperaturabhängig ist und somit die Temperatur eine weitere wichtige Messgröße darstellt. Als Material für den Dünnschicht- Temperaturwiderstand 15 kommt hier in vorteilhafter Weise, das Material wie für die IDT 6 in Frage, nämlich Titan/Platin oder Titan/Platin/Titan, wobei die Haftschicht entweder Titan oder auch Silizium sein kann.
Auf dem Substrat 5 nach der Figur 1 ist oberhalb der Grundelemente mit den IDT 6 eine akustische Wellenleiterschicht 16 angeordnet, die z.B. aus einem Ormocer, aus einer Siliziumverbindung oder einem Polymer bestehen kann, so dass aus dem allgemeinen Schermode (Leckwelle oder SSBW) der akustischen Welle ein sog. Wellenleitermode (hier eine Love-Welle) wird. Zur Trennung des Dichteeinflusses vom Viskositätseinfluss bei der Messung werden oberhalb eines Grundelementes mit den IDT 6 gezielt mechanische Störungen in Form von Flüssigkeitsfallen 17 angeordnet, innerhalb derer die akustische Welle aufgrund der mechanischen Inhomogenität nicht ausbreitungsfähig ist .
Hierzu wird der Bereich vor, über und zwischen den jeweiligen Interdigitaltransducern 6 mit den parallel zur Aus- breitungsrichtung der akustischen Welle ausgerichteten Wällen 18 versehen, deren geometrische Anordnungsmöglichkeiten anhand von Figuren 6 bis 8 bzw. in der Draufsicht nach Figur 9 erläutert wird. Diese Flüssigkeitsfallen 17 können hier durch entsprechende Strukturierung einer oberhalb des Interdigitaltransducers 6 befindlichen Schicht 20 als Gräben 22 hergestellt werden, wie in der Figur 6 gezeigt oder auch, wie nicht gezeigt, als Gruben oder Schwämme. Zwischen der Schicht 20 und den IDT 6 kann zur Haftungsverbesserung und/oder zum Schutz der IDT 6 eine weitere Zwischenschicht 21 vorgesehen werden. Bei der Anordnung nach der Figur 6 werden die sog. Leckwellen oder SSB-Wellen benutzt.
Wenn es sich um ein sog. Love-Mode-Bauelement handelt, können die Flüssigkeitsfallen nach der Figur 7 auch durch Einbringung grabenartiger Ätzungen 22 direkt in eine Wellenleiterschicht 23 erzeugt werden, die ansonsten der Wellenleiterschicht 16 nach der Figur 1 entspricht . Die Dicke der Wellenleiterschicht 23 oberhalb des zweiten, parallelen Grundelementes mit den IDT 6 ohne die Flüssigkeitsfallen kann soweit verringert werden, dass dieselbe Empfindlichkeit beider Grundelemente erreicht wird.
Eine weitere in der Figur 8 gezeigte Methode der Erzeugung von Flüssigkeitsfallen 17, bzw. Gräben 22 für Wellen des Love-Moden-Typs besteht in der Aufbringung und anschließenden Strukturierung einer weiteren Flüssigkeitsfallenschicht 25 oberhalb der akustischen Wellenleiterschicht 23, eventuell auch unter Verwendung einer zusätzlichen Zwischenschicht 21 als Haftvermittler und/oder als Ätzstopschicht ähnlich des Beispiels nach der Figur 6. Auf diese Weise wird die Reproduzierbarkeit der Grabentiefe verbessert.
Bei allen Ausführungen kann, die hier nicht dargestellte, Bildung von Flüssigkeitsfallen 17 durch Anordnung von Gruben mit kreisförmigem oder polygonalem Querschnitt oder einer schwammartigen Oberflächenstruktur, wie oben erwähnt, erfolgen. In allen beschriebenen Fällen kann oberhalb der Flüssigkeitsfallen eine dünne metallische Abschirmschicht 26, die wenige nm bis 100 nm dick sein kann, zur Abschirmung ungewollter akustoelektrischer Wechselwirkungen zwischen der Messflüssigkeit und der Sensoranordnung 1 vorgesehen werden. Bei dem Ausfühirungs- beispiel nach der Figur 8 kann die Zwischenschicht 21 au- ßerde besonders vorteilhaft gleichzeitig als Haftvermittler und Ätzstopschicht sowie als Abschirmschicht zwischen der Wellenleiterschicht 23 und den Flüssigkeitsfallen 22 genutzt werden.
Die grundsätzliche Funktionsweise der zuvor beschriebenen Sensoranordnung 1 wird im folgenden erläutert . Durch Anlegen einer Wechselspannung an die Elektroden, bzw. Wandlerfinger 7 eines der zuvor beschriebenen Interdigital- transducers 6 werden aufgrund des inversen piezoelektrischen Effekts wechselnde mechanische Spannungen im Substrat 5 erzeugt, die eine senkrecht zu den IDT 6 durch das Substrat 5 laufende akustische Scherwelle zur Folge haben .
Ist bei Verwendung von akustischen Wellenleiterschichten, z.B. bei einer Sensoranordnung für akustische Love-Mode- Wellen, die Scherwellengeschwindigkeit in der Wellenleiterschicht 16, 23 niedriger als im Substrat 5, kommt es zu einer Konzentration der akustischen Energie unterhalb und in dieser Schicht (sog. Wellenleitereffekt) . Der so entstehende Oberflächenwellentyp wird als Love-Welle bezeichnet. Diese akustischen Wellenleitermoden weisen eine vergrößerte Empfindlichkeit auf als die allgemeinen Schermoden, jedoch wird durch die Wellenleiterschicht 16, 23 auch die Ausbreitungsdämpfung der Welle beeinflusst . Bei einer Veränderung der Ausbreitungsbedingungen der akustischen Welle werden die Ausbreitungsgeschwindigkeit und die Dämpfung beeinflußt, so dass eine Messung dieser Wellenparameter Aussagen über die einwirkenden Größen liefern.
Befindet sich auf einem Sensorgrundelement mit den IDT 6 ein flüssiges Messmedium, so kommt es zu einer viskosen Kopplung, d.h. eine dünne Flüssigkeitsschicht an der Oberfläche des Sensorgrundelements wird zum Mitmachen der Scherschwingungen gezwungen. Die effektive Höhe der mit- schwingenden Flüssigkeitsschicht (Abklinglänge) hängt direkt von der Viskosität und der Frequenz ab. Die viskose Kopplung bewirkt eine Abnahme der Ausbreitungsgeschwindigkeit der akustischen Welle sowie eine Zunahme der Wellendämpfung proportional zur Wurzel aus dem Dichte- Viskositätsprodukt .
Befinden sich nun auf der Oberfläche eines der Sensorgrundelemente als Flüssigkeitsfallen 17 wirkende Inhomogenitäten, so wird die Ausbreitungsgeschwindigkeit durch einen zweiten, von der Flüssigkeitsdichte und dem in den Flüssigkeitsfallen 17 eingeschlossenen Flüssigkeitsvolumen abhängigen Einfluss reduziert. Die Änderung der Aus- breitungsgeschwindigkeit kann beispielsweise gemessen werden, wenn ein Sensorgrundelement, z.B. mit der Verzögerungsleitung nach der Figur 3 oder den Reflektoren 14 nach den Figuren 4 und 5 als frequenzbestimmendes Glied in einer Oszillatorschaltung eingesetzt wird. Die Veränderung der Resonanzfrequenz eines solchen Oszillators ist ein Maß für die Geschwindigkeitsänderung der Welle.
Steht nunmehr auch noch ein Sensorgrundelement mit den IDT 6 zur Verfügung, das nicht der Flüssigkeit als Messgröße ausgesetzt ist, zur Verfügung, können durch Mischen zweier Oszillatorfrequenzen Störgrößen wie z.B. Temperatureinflüsse kompensiert werden, außerdem steht als Ausgangsgröße direkt das niederfrequente Signal Δf zur Verfügung .
In Figur 10 ist ein prinzipielles Ausführungsbeispiel eines Schaltungsaufbaus zur Ermittlung der Dichte und der Viskosität einer Messflüssigkeit mit zwei Oszillatorschaltungen 30 und 31 dargestellt. Die Oszillatorfrequenz f. eines Grundelementes mit den IDT 6 und Flüssigkeits- fallen 17 in der ersten Oszillatorschaltung 30 wird mit der Oszillatorfrequenz f2 der Oszillatorschaltung 31 ohne Flüssigkeitsfallen in einem Mischer 32 gemischt, wobei die Mischfrequenz Δf am Ausgang eines nachgeschalteten Tiefpasses 33 in guter Näherung ein Maß für die Flüssigkeitsdichte ist, da der auf beide Oszillatorschaltungen 30 und 31 wirkende viskose Einfluss sowie eventuelle weitere Störgrößen kompensiert werden. Vorausgesetzt ist dabei, dass die Empfindlichkeit gegenüber viskoser Kopplung bei beiden Sensorgrundelemente identisch ist.
Die Viskosität der Messflüssigkeit kann mit der beschriebenen Schaltungsanordnung unter Benutzung der ermittelten Dichte aus der Verschiebung der Frequenz des Sensorgrundelements ohne Flüssigkeitsfallen in der Oszillatorschaltung 31 gegenüber der bekannten Frequenz bei einem Betrieb der Messanordnung ohne eine Messflüssigkeit ermittelt werden. Auf analoge Weise kann als Messgröße hier auch die Dämpfungsanderung herangezogen werden.
Ein weiteres, erweitertes Ausführungsbeispiel einer Schaltungsanordnung zur Erfassung der erforderlichen Messgrößen ist in Figur 11 gezeigt. In dieser Schaltungsanordnung ist zusätzlich noch eine Oszillatorschaltung 34 mit einer Messstrecke ohne die Durchleitung der Messflüssigkeit vorhanden, so dass diese Messstrecke als nicht benetztes Referenzelement dient. Diese Anordnung ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn die beiden mit der Mess- flüssigkeit benetzten Sensorelemente aus technologischen Gründen keine identische Empfindlichkeit gegenüber viskosen Wechselwirkungen aufweisen. Außerdem werden bei dieser Anordnung mögliche Bauelementedriften zur Verbesserung der Langzeitstabilität homogenisiert.
Aus den Resonanzfrequenzverschiebungen Δfx und Δf2 kann anhand des Aufbaus nach der Figur 11, bei bekannter Empfindlichkeit der Bauelemente gegenüber Dichte- und Viskositätsänderungen die Flüssigkeitsdichte und unter Benut- zung der somit bekannten Flüssigkeitsdichte aus Δf2 die Viskosität in der oben beschriebenen Weise ermittelt werden. Alternativ kann auch hier die Dämpfungsänderung als Messgröße genutzt werden.
Eine dritte, nicht in der Zeichnung dargestellte Ausführungsform weist zwei Sensorgrundelemente auf, die beide mit Flüssigkeitsfallen versehen sind und von denen eines mit der Messflüssigkeit und eines mit Luft in Kontakt ist. Die hier in analoger Weise zu den Ausführungsbei- spielen nach den Figuren 9 bis 11 gewonnene Mischfrequenz ist dabei von der Dichte und der Wurzel aus dem Dichte- Viskositäts-Produkt abhängig. Die Dämpfungsdifferenz ist dabei auch das Maß für die Wurzel aus dem Dichte- Viskositäts -Produkt, da eine geringfügige Massezunahme durch die Messflüssigkeit in den Flüssigkeitsfallen eine vernachlässigbare Dämpfungsänderung bewirkt.
Hierbei ist somit eine Dämpfungsmessung unbedingt notwendig, allerdings ist vorteilhaft, dass nur zwei völlig identische Sensorgrundelemente notwendig sind, bei gleicher Empfindlichkeit, Drift und mechanischer Querempfindlichkeit .

Claims

Patentansprüche
1) Sensoranordnung zur Ermittlung der Dichte und der Viskosität einer Flüssigkeit, mit
- einer Anordnung aus mindestens zwei Sensorgrundelementen, von denen mindestens eins mit der Flüssigkeit benetzbar ist und mit
- elektro-akustischen Wandlern (6) in den Sensorgrundelementen zur Erzeugung und Detektion akustischer Oberflächenwellen mit vorgegebenen Wellenmoden, aus deren Ausbreitungsverhalten entlang einer Messstrecke ein Maß für die Dichte und die Viskosität der Flüssigkeit ermittelbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich mindestens eines der Sensorgrundelemente parallel zur Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwelle, in der jeweiligen Messstrecke verlaufende Flüssigkeitsfallen (17) für die Flüssigkeit angeordnet sind. 2) Sensoranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
- die ausgewerteten akustischen Oberflächenwellen horizontal polarisierte akustische Scherwellen des Love- Moden-Typs sind.
3) Sensoranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
- die ausgewerteten akustischen Oberflächenwellen horizontal polarisierte akustische Scherwellen des SSBW- oder Leckwellen-Typs sind.
4) Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass
- die elektro-akustischen Wandler aus auf einem Substrat (5) angeordneten Interdigitaltransducern (6) gebildet sind, deren Wandlerfinger (7) so ausgebildet sind, dass sich die erforderlichen Wellenmoden mit einer geeigneten Oszillatorfrequenz erzeugen lassen.
5) Sensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
- jeweils ein Sensorgrundelement als Verzögerungsleitung mit zwei Interdigitaltransducern (6a, 6b) und einer dazwischenliegenden Ausbreitungs- oder Messstrecke (13) ausgebildet ist. 6) Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass
jeweils ein Sensorgrundelement als Zweitorresonator mit zwei nebeneinanderliegenden Interdigitaltransducern (6a, 6b) und jeweils außen liegenden Reflektoren (14) ausgebildet ist .
7) Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass
- jeweils ein Sensorgrundelement als Eintorresonator mit einem Interdigitaltransducer (6) und jeweils außen liegenden Resonatoren (14) ausgebildet ist.
8) Sensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
- die Flüssigkeitsfallen (17) durch Gräben oder Ätzungen (22) in einer entsprechend strukturierbaren Schicht (20) oberhalb der elektro-akustischen Wandler (6) , gegebenenfalls auf einer Zwischenschicht (21) , gebildet sind.
9) Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass
- die Flüssigkeitsfallen (22) durch Gräben oder Ätzungen in einer entsprechend strukturierbaren akustischen Wellenleiterschicht (23) oberhalb der elektro-akustischen Wandler (6) , gegebenenf lls mit einer äußeren metallischen Abschirmung (26), gebildet sind. 10) Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass
- die Flüssigkeitsfallen (17) durch Gräben oder Ätzungen in einer entsprechend strukturierbaren Schicht (20) oberhalb der elektro-akustischen Wandler (6) gebildet sind und dass
- eine darunterliegenden Zwischenschicht (21) und eine weitere zwischen der Zwischenschicht (21) und dem elektro-akustischen Wandler (6) liegende akustische Wellenleiterschicht (23) vorhanden ist.
11) Sensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
- die Flüssigkeitsfallen (17) durch parallel zur Ausbreitungsrichtung der akustischen Welle verlaufende Gräben (22) gebildet sind.
12) Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass
die Flüssigkeitsfallen (17) aus einer Anordnung von Gruben mit kreisförmigen oder polygonalem Querschnitt oder einer schwammartigen Oberflächenstruktur gebildet sind.
13) Verfahren zur Ermittlung der Dichte und Viskosität einer Flüssigkeit mit einer Sensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass - mit einer ersten Oszillatorschaltung (30) , die ein Sensorelement mit Flüssigkeitsfallen (17,22) aufweist, eine erste Oszillatorfrequenz f1 erzeugt wird,
- mit einer zweiten Oszillatorschaltung (31) , die ein Sensorelement ohne Flüssigkeitsfallen aufweist, eine zweite Oszillatorfrequenz f2 erzeugt wird, dass
- aus der Mischfrequenz Δf der beiden Oszillatorfrequenzen f1 und f2 die Dichte der Flüssigkeit ermittelt wird und dass
aus der Frequenzverschiebung der Oszillatorfrequenz f2 der Oszillatorschaltung (31) bei einer Messung ohne Flüssigkeit gegenüber der Messung mit Flüssigkeit die Viskosität der Flüssigkeit ermittelt wird.
14) Verfahren zur Ermittlung der Dichte und Viskosität einer Flüssigkeit mit einer Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass
- mit einer ersten Oszillatorschaltung (30) , die ein Sensorelement mit Flüssigkeitsfallen (17,22) aufweist, eine erste Oszillatorfrequenz fx erzeugt wird, dass
- mit einer zweiten Oszillatorschaltung (31) , die ein Sensorelement ohne Flüssigkeitsfallen aufweist, eine zweite Oszillatorfrequenz f2 erzeugt wird, dass
- mit einer dritten Oszillatorschaltung (34) , die ein Sensorelement ohne Flüssigkeitsfallen und ohne die zu messende Flüssigkeit aufweist, eine dritte Oszillatorfrequenz f3 erzeugt wird, dass
- aus der Mischfrequenz Δfx der beiden Oszillatorfrequenzen f1 und f3 und der Mischfrequenz Δf2 der beiden Oszil- latorfrequenzen f2 und f3 die Dichte der Flüssigkeit ermittelt wird und dass
aus der Mischfrequenz Δf2 die Viskosität der Flüssigkeit ermittelt wird.
15) Verfahren zur Ermittlung der Dichte und Viskosität einer Flüssigkeit mit einer Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass
- mit einer ersten Oszillatorschaltung, die ein Sensorelement mit Flüssigkeitsfallen aufweist, eine erste Oszillatorfrequenz f1 erzeugt wird, dass
- mit einer zweiten Oszillatorschaltung, die ein Sensorelement mit Flüssigkeitsfallen und ohne die zu messende Flüssigkeit aufweist, eine zweite Oszillatorfrequenz f3 erzeugt wird, dass
- aus der Mischfrequenz Δf der beiden Oszillatorfrequen- zen f-L und f2 ein Messsignal in Abhängigkeit von der Dichte und der Wurzel aus dem Dichte-Viskositäts-Produkt der Flüssigkeit ermittelt wird und dass
aus der Dämpfungsdifferenz der beiden Oszillatorfrequenzen f1 und f2 ein Maß für die Wurzel aus dem Dichte- Viskositäts-Produkt ermittelt wird.
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