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Die
Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Vermessung
kleiner Flüssigkeitsmengen
auf einer Festkörperoberfläche und
deren Bewegungen.
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Der
Begriff Flüssigkeit
umfaßt
im vorliegenden Text unter anderem reine Flüssigkeiten, Mischungen, Dispersionen
und Suspensionen, sowie Flüssigkeiten,
in denen sich feste Teilchen, z. B. biologisches Material, befinden.
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In
der Mikroanalytik kleiner Flüssigkeitsmengen
ist es notwendig, kleine Flüssigkeitsmengen
genau zu bestimmen. Bei der in jüngster
Zeit im Blickpunkt stehenden "Lab-on-a-chip"-Technologie werden
zum Beispiel kleine Flüssigkeitsmengen
an einen Analyse- oder Synthesepunkt auf einem Festkörperchip
gebracht, wo z.B. eine chemische oder physikalische Analyse der
Flüssigkeitsmenge
vorgenommen wird. Solche Verfahren werden unter anderem für anorganische
Reagenzien oder organisches Material, wie Zellen, Moleküle, Makromoleküle oder
genetische Materialien, gegebenenfalls in Pufferlösungen,
eingesetzt. Dabei wird die Bewegung und die Reaktion definierter
Volumina kleiner Flüssigkeitsmengen
mittels mikrostrukturierter Kanäle
realisiert (siehe z. B. O. Müller,
Laborwelt 1/2000, Seiten 36 bis 38). Bei anderen Methoden wird eine
definierte Flüssigkeitsmenge
auf den Analysepunkt gebracht, z. B. mit Hilfe einer Pipette.
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DE 196 28 928 A1 beschreibt
eine Vorrichtung zur Analyse kleiner Flüssigkeitsmengen auf Festkörperoberflächen, wobei
das Substrat eine Festkörperoberfläche und
Aufenthaltsbereiche auf der Festkörperoberfläche aufweist, deren Material derart
ausgewählt
ist, dass die Aufenthaltsbereiche andere Benetzungseigenschaften
aufweisen als die umgebende Festköperoberfläche, so dass sich die Flüssigkeit
bevorzugt auf den Aufenthaltsbereichen aufhält.
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DE 299 08 248 U1 beschreibt
eine Vorrichtung zur Analyse kleiner Flüssigkeitsmengen mit einem Substrat
und Aufenthaltsbereichen auf der Festköperoberfläche, deren Material derart
ausgewählt ist,
dass die Aufenthaltsbereiche andere Benetzungseigenschaften aufweisen
als die umgebende Festkörperoberfläche, so
dass sich die Flüssigkeit bevorzugt
auf den Aufenthaltsbereichen aufhält.
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Aus
der
DE 198 50 803
A1 ist eine Vorrichtung zur Ermittlung der Dichte und der
Viskosität
einer Flüssigkeit
bekannt, die eine Substratoberfläche mit
einem Aufenthaltsbereich für
die Flüssigkeit
und eine Messeinrichtung aufweist, die Oberflächenwellen verwendet, die mit
Interdigitaltransducern erzeugt werden.
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Wünschenswert
ist es, auf dem Chip Flüssigkeitsmengen
und oder deren Bewegung möglichst exakt
zu bestimmen.
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Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es, eine verbesserte Vorrichtung
und ein verbessertes Verfahren anzugeben, mit deren Hilfe eine kleine Flüssigkeitsmenge
und deren Bewegung exakt bestimmt werden kann. Diese Aufgabe wird
mit einer Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 bzw. einem
Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 20 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen
sind Gegenstand der jeweiligen Unteransprüche. Vorteilhafte Verwendungen
sind Gegenstand der Ansprüche
28 bis 30.
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Die
erfindungsgemäße Vorrichtung
weist einen Aufenthaltsbereich auf einer Festkörperoberfläche mit anderen Benetzungseigenschaften
als die umgebende Festkörperoberfläche auf,
und zwar derart, daß sich
die zu vermessende Flüssigkeit
bevorzugt auf diesem Aufenthaltsbereich aufhält. Der Aufenthaltsbereich
hat einen Messbereich, der sich lateral verjüngt. Schließlich weist die erfindungsgemäße Vorrichtung
eine Meßeinrichtung
zur Bestimmung der Ausdehnung einer Flüssigkeitsmenge entlang des
sich verjüngenden
Messbereiches auf.
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Selbstverständlich können sich
an dem bevorzugten Aufenthaltsbereich mehrere erfindungsgemäße lateral
sich verjüngende
Meßbereiche
mit entsprechenden Meßeinrichtungen
befinden.
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Die
erfindungsgemäße Vorrichtung
gestattet die Lokalisierung und Vermessung einer Flüssigkeitsmenge
auf einer Festkörperoberfläche, ohne dass
Gräben,
Ecken oder Kanten notwendig sind.
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Die
Modulation der Benetzungseigenschaften kann durch Definition hydrophiler
bzw. hydrophober Bereich erreicht werden. Zur Vermessung von z. B.
wässrigen
Lösungen
wird der bevorzugte Aufenthaltsbereich hydrophiler als die umgebende
Festkörperoberfläche gewählt. Dies
kann entweder durch eine hydrophile Beschichtung des bevorzugten
Aufenthaltsbereiches oder durch eine hydrophobe Umgebung erreicht
werden. Eine hydrophobe Umgebung kann z.B. bei einer bevorzugten
Ausgestaltung der Vorrichtung eine silanisierte Oberfläche aufweisen.
Zur Vermessung von nicht-wässrigen
Lösungen kann
es vorteilhaft sein, wenn der bevorzugte Aufenthaltsbereich lipophil
im Vergleich zur Umgebung ist.
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Die
Modulation der Benetzungseigenschaften der Oberfläche läßt sich
bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung auf einfache Weise z.B. durch lithographische
Verfahren mit nachfolgenden Beschichtungsschritten erreichen.
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Die
Benetzungseigenschaften können
weiterhin durch Mikrostrukturierung moduliert werden, wie es beim
so genannten Lotuseffekt der Fall ist, der auf unterschiedlichen
Rauhigkeiten der Oberflächen beruht.
Diese kann z. B. durch Mikrostrukturierung der entsprechenden Oberfächenbereiche
erhalten werden, z. B. chemische Behandlung oder Ionenbestrahlung.
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Die
Definition des bevorzugten Aufenthaltsbereichs kann auch durch eine Ätzung der
Oberfläche
erfolgen bzw. unterstützt
werden, wobei die Ätztiefe
klein gegen die Breite des Aufenthaltsbereiches ist, z. B. ein Hundertstel
der Breite. So lässt
sich z.B. im Falle einer wässrigen
Lösung
der bevorzugte Aufenthaltsbereich dadurch definieren, dass die den
bevorzugten Aufenthaltsbereich umgebende Oberfläche hydrophob beschichtet und
im Bereich des Aufenthaltsbereichs selbst einige Nanometer bis einige Mikrometer
in die Oberfläche
geätzt
wird. Auf diese Weise ist der Kontrast bezüglich des Benetzungswinkels
erhöht.
Dennoch ist die Oberfläche
makroskopisch im wesentlichen planar. Eine derartig flache Ätzung ist
fertigungstechnisch sehr einfach und definiert herstellbar, ohne
daß die
bekannten Probleme einer tiefen Ätzung
eines schmalen Kanals auftreten.
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Bei
der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann
die Flüssigkeit
den bevorzugten Aufenthaltsbereich ohne Einwirkung einer äußeren Kraft
nicht verlassen. Die Vorrichtung nutzt dazu aus, dass für einen
benetzten Bereich auf der Oberfläche
eines Festkörpers
die Oberfläche
des Flüssigkeitströpfchens
im Gleichgewicht überall
dieselbe Krümmung aufweist,
da eine unterschiedliche Krümmung
in unterschiedlichen Teilen der Flüssigkeitströpfchenoberfläche bei
gegebener Oberflächenspannung
einen unterschiedlichen Innendruck hervorrufen würde. Lokal unterschiedlicher
Innendruck in einem Tröpfchen führt aber
zu einem Fluss von Flüssigkeit
aus Bereichen hohen Drucks in Bereiche niedrigen Drucks. Dies geschieht
wiederum so lange, bis Druckausgleich herrscht, d.h. überall dieselbe
Krümmung
der Oberfläche
vorliegt.
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Für die Grenzlinie
zwischen flüssiger
und fester Materie, also zwischen den Flüssigkeitströpfchen und der Festkörperoberfläche, tritt
anstelle der Krümmung
bei dieser Betrachtung der Benetzungswinkel, der im Gleichgewicht
und in isotroper Umgebung nur von den beiden Materialien der Festkörperoberfläche bzw.
der Flüssigkeit
abhängt.
Bei lateral räumlich
eingeschränkter
Benetzung, die durch die Definition des bevorzugten Aufenthaltsbereiches gegeben
ist, wird die Krümmung
der Flüssigkeitsoberfläche durch
die Breite des bevorzugten Aufenthaltsbereiches und das Volumen
der Flüssigkeitsmenge
auf diesem Aufenthaltsbereich bestimmt. Ändert sich die Breite des Aufenthaltsbereiches,
so ist die Forderung nach einer konstanten Krümmung nicht zu erfüllen, da
sich auch die Höhe
des Tröpfchens,
also die „Füllhöhe" ändern würde.
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Enge
Benetzungsstrukturen lassen sich von weiten Benetzungsstrukturen
aus in der Regel nicht ohne äußere Krafteinwirkung
befüllen.
Eine sich verjüngende
Benetzungsstruktur, wie der Messbereich der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
wird bei gegebenem Füllstand
bzw. Innendruck eines angrenzenden Tröpfchens nur bis zu einer bestimmten
Länge hin
befüllt,
um der Forderung gleicher Oberflächenkrümmung gerecht
zu werden. Erhöht
sich der Füllgrad
des angrenzenden Tröpfchens,
so erhöht
sich auch der Innendruck (bzw. die Oberflächenkrümmung) und der sich lateral
verjüngende
Messbereich wird auf längerer
Strecke befüllt.
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Mit
der erfindungsgemäßen Vorrichtung
und dem erfindungsgemäßen Verfahren
wird die Ausdehnung einer Flüssigkeitsmenge
entlang des sich verjüngenden
Messbereiches bestimmt, der wie beschrieben direkt mit dem Innendruck
bzw. dem Füllstand
des Tröpfchens
zusammenhängt.
Dabei ist der sich verjüngende
Messbereich Teil eines Aufenthaltsbereiches, der derartige Benetzungseigenschaften aufweist,
dass sich die zu vermessende Flüssigkeit bevorzugt
auf dem Aufenthaltsbereich aufhält.
Vorteilhafterweise lässt
sich das erfindungsgemäße Verfahren
bzw. die erfindungsgemäße Vorrichtung
zur Messung des Innendruckes eines Flüssigkeitströpfchens auf dem bevorzugten
Aufenthaltsbereich einsetzen. Ebenso vorteilhaft kann damit die
Füllmenge des
gesamten Flüssigkeitströpfchens
aus der Ausbreitung der Flüssigkeitsmenge
auf dem lateral sich verjüngenden
Messbereich bestimmt werden.
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Um
eine genaue Auskunft über
die Menge einer Flüssigkeit
zu erhalten, ist es dabei von Vorteil, wenn der Aufenthaltsbereich
einen im wesentlichen konvexen Teilbereich umfasst, der eine definierte Fläche hat,
an den sich an einer Stelle der sich verjüngende Messbereich mit seiner
breitesten Ausdehnung anschließt.
So lässt
sich durch eine einfache Kalibrierung ein Zusammenhang zwischen
der Ausbreitung eines Flüssigkeitströpfchens
in den sich verjüngenden
Messbereich mit der Gesamtmenge der Flüssigkeit auf dem Aufenthaltsbereich
herstellen. Auf diese Weise wird ein „Normvolumen" realisiert. Um lineare
Bedingungen für
den Zusammenhang zwischen dem Innendruck bzw. dem Füllstand
in der Flüssigkeitsmenge
und der Ausbreitungslänge
auf dem sich verjüngenden
Messbereich leichter realisieren zu können, ist eine möglichst
runde Form des „Normvolumens" vorteilhaft.
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Bei
einer anderen vorteilhaften Ausführungsform
schließt
der sich lateral verjüngende
Messbereich seitlich an einen lang gestreckten Aufenthaltsbereich
an, auf dem sich eine Flüssigkeit
bewegen kann. Auch dieser Aufenthaltsbereich wird durch Modulation
der Benetzungseigenschaften erhalten und bildet eine Flüssigkeitsbahn
im Sinne einer „Leiterbahn". Fließt Flüssigkeit
entlang dieser „Leiterbahn" an einem Messbereich
vorbei, der sich seitlich an die „Leiterbahn" anschließt, so tritt
ein Teil der Flüssigkeit in
den lateral sich verjüngenden
Messbereich ein. Der hydrostatische Druck in einer fließenden Flüssigkeit
ist von deren Geschwindigkeit abhängig. Nach dem Bernoullischen
Gesetz herrscht bei höherer
Geschwindigkeit ein niedrigerer statischer Druck. Bei höherer Geschwindigkeit
wird also die Flüssigkeit weniger
weit in den sich lateral verjüngenden
Messbereich eintreten. Durch eine einfache Kalibrierung kann ein
Zusammenhang zwischen der Ausbreitungslänge in dem lateral sich verjüngenden
Messbereich und der Geschwindigkeit der Flüssigkeit auf der „Leiterbahn" bestimmt werden.
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Bei
einer Weiterbildung dieser Ausführungsform
enthält
der Aufenthaltsbereich zwei langgestreckte Teilbereiche, die aneinander
anschließen und
unterschiedliche Breite haben. Auf diese Weise sind „Leiterbahnen" unterschiedlicher
Breite definiert, wobei sich auf „Leiterbahnen" mit kleinerer Breite
die Flüssigkeit
schneller bewegt. An jeden der Teilbereiche schließt sich
ein eigener lateral sich verjüngender
Meßbereich
mit einer dazugehörigen
Meßeinrichtung
an. Nach dem Bernoullischen Gesetz ist die Summe aus hydrostatischem
Druck und dem Staudruck konstant. Durch zwei parallele Messungen
an Teilbereichen des Aufenthaltsbereiches unterschiedlicher Breite
kann auf diese Weise die Konstante eliminiert werden und die Geschwindigkeit
der Flüssigkeit
absolut bestimmt werden.
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Zur
Vermessung von Flüssigkeitsmengen
in der Größenordnung
von Pikolitern hat sich ein Messbereich als vorteilhaft erwiesen,
der eine Breite von einigen Mikrometern hat. Im Nanoliter- und Mikroliterbereich
wird die Breite entsprechend skaliert.
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Die
Oberflächenspannung
der Flüssigkeitsmenge
ist von den äußeren thermodynamischen
Parametern, wie z.B. Druck und Temperatur, abhängig. Durch Einstellung dieser
Parameter kann die erfindungsgemäße Vorrichtung
an die gewünschte
Messaufgabe angepasst werden. Z.B. ist bei höherer Temperatur die Oberflächenspannung
in der Regel geringer und die Flüssigkeitsmenge
tritt weiter in den Messbereich ein. So lassen sich auch geringere
Flüssigkeitsmengen
vermessen. Sollen größere Flüssigkeitsmengen
vermessen werden, kann die Temperatur niedriger gewählt werden.
Auch das Volumen der Flüssigkeitsmenge,
die auf einem gemäß der obigen Ausführungsform
gebildeten Normvolumen gespeichert werden kann, ist in der Regel
von den thermodynamischen Parametern abhängig und somit in einem gewissen
Bereich einstellbar.
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Bei
einer bevorzugten Ausführungsform
umfasst die Messeinrichtung zur Bestimmung der Ausdehnung der Flüssigkeitsmenge
entlang des sich verjüngenden
Messbereiches zumindest eine Oberflächenwellenerzeugungseinrichtung
auf der Festkörperoberfläche. Diese
Oberflächenwellenerzeugungseinrichtung
ist derart ausgerichtet, daß mit
ihrer Hilfe eine Oberflächenwelle
seitlich auf den sich verjüngenden
Messbereich geschickt werden kann. Auf der anderen Seite des sich
lateral verjüngenden Messbereiches
befindet sich eine Oberflächenwellendetektionseinrichtung.
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Mit
Hilfe einer solchen Anordnung kann die Dämpfung der Oberflächenwelle
durch die Anwesenheit der Flüssigkeit
gemessen werden. Je mehr Flüssigkeit
sich in dem von der Oberflächenwelle überstrichenen
Bereich befindet, desto größer ist
die Dämpfung.
Mit Hilfe einer Kalibrierung und/oder entsprechender Auswerteelektronik
läßt sich
so die Ausdehnung der Flüssigkeitsmenge
in dem sich verjüngenden
Messbereich und damit der Innendruck bzw. der Füllstand in dem angrenzenden
Tröpfchen
bestimmen.
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Eine
besonders einfache Ausgestaltung dieser Ausführungsform umfasst sowohl für die Oberflächenwellenerzeugungseinrichtung
als auch für
die Oberflächenwellendetektionseinrichtung
so genannte Interdigitaltransducer. Dies sind flächig aufgebrachte Elektroden
mit fingerartig ineinander greifenden Strukturen. Durch Anlegen
eines elektrischen Wechselfeldes lässt sich eine Oberflächenwelle
generieren, die senkrecht zu den ineinander greifenden Fingern entlang
der Oberfläche
abgestrahlt wird. Die Wellenlänge
dieser Oberflächenwelle
wird durch den Fingerabstand bestimmt. Die Resonanzfrequenz ergibt
sich in an sich bekannter Weise als Quotient der Oberflächenwellenschallgeschwindigkeit
und der Wellenlänge,
die durch den Fingerabstand bestimmt ist. Als vorteilhaft haben
sich Frequenzen im Bereich von einigen 10 MHz bis zu einigen 100
MHz erwiesen.
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Mit
solchen Interdigitaltransducern sowohl für die Oberflächenwellenerzeugungseinrichtung
als auch für
die Oberflächenwellendetektionseinrichtung lässt sich
die Ausdehnung der Flüssigkeitsmenge
auf den sich verjüngenden
Messbereich über
die Stärke der
Dämpfung
bestimmen, die von der Gesamtmenge der Flüssigkeit auf dem von der Oberflächenwelle überstrichenen
Bereich abhängt.
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Bei
einer anderen Ausgestaltung weisen die Interdigitaltransducer einen
nichtkonstanten Fingerabstand auf. Z.B. kann sich der Abstand der
ineinander greifenden Finger entlang der Achse des Interdigitaltransducers
linear erweitern. Hier wird die Resonanzbedingung abhängig vom
Fingerabstand bei einer bestimmten Frequenz nur an einem sehr definierten
Ort senkrecht zu der Achse des Interdigitaltransducers abgestrahlt.
Durch Verändern
der Frequenz des an den oberflächenwellenerzeugenden
Interdigitaltransducer angelegten Wechselfeldes kann also die Stelle
des lateral sich verjüngenden
Messbereiches ausgewählt
werden, die von der Oberflächenwelle
getroffen wird. Je nachdem, ob sich an dieser Stelle Flüssigkeit
befindet oder nicht, wird die Oberflächenwelle unterschiedlich gedämpft. Auf
diese Weise kann festgestellt werden, wie weit sich die Flüssigkeit
bereits in den sich verjüngenden
Messbereich ausgebreitet hat.
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Zur
Erzeugung von Oberflächenwellen
ist der Einsatz eines piezoelektrischen Substrates oder eines Substrates
mit einem piezoelektrischen Bereich vorteilhaft. Dabei kann der
piezoelektrische Bereich z.B. durch Beschichten mit einem piezoelektrischen
Material auf einem ansonsten nicht piezoelektrischen Substrat erzeugt
werden. Es ist dabei ausreichend, wenn das Substrat im Bereich der
Oberflächenwellenerzeugungseinrichtungen
piezoelektrisch ist. Die Oberflächenwelle
wird sich dann auch in dem nicht piezoelektrischen Bereich ausbreiten.
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Bei
einer anderen Ausgestaltung ist eine Kapazitätsmesseinrichtung vorgesehen,
die derart ausgestaltet ist, dass sie die Änderung der Kapazität durch
die Änderung der
Flüssigkeitsmenge
auf dem sich lateral verjüngenden
Messbereich bestimmen kann. Kapazitive Messungen lassen sich leicht durchführen und
bieten eine genaue Möglichkeit
zur Bestimmung der Flüssigkeitsmenge.
Bei einer vorteilhaften einfachen Ausgestaltung sind seitlich des sich
lateral verjüngenden
Messbereiches Elektroden vorgesehen, zwischen denen die Kapazität gemessen
wird, die sich durch die Anwesenheit von Flüssigkeit auf dem lateral sich
verjüngenden
Messbereich verändert.
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Bei
einer weiteren Ausführungsform
ist eine optische Messeinrichtung vorgesehen, um die Ausdehnung
der Flüssigkeitsmenge
auf dem sich verjüngenden
Messbereich zu bestimmen. Eine solche optische Messeinrichtung gestattet
eine direkte Beobachtung der Änderung
der Flüssigkeitsmenge.
Sie kann z.B. eine Kameraeinrichtung umfassen oder eine Lichtleitereinrichtung,
die zu einer Kameraeinrichtung, z.B. einer CCD-Kamera, geführt wird.
Eine solche Anlage ermöglicht
die direkte Beobachtung z.B. auf einem Bildschirm. Alternativ kann
die Ablenkung, Schwächung
oder Abblockung eines Lichtstrahles, z.B. eines Laserlichtstrahles,
durch das Vorhandensein der Flüssigkeitsmenge
in dem lateral sich verjüngenden
Messbereich festgestellt werden. Ebenso kann eine Leuchtdiodenreihe
oder ein Leuchtdiodenfeld vorgesehen sein, das derart angeordnet
ist, dass je nach Ausbreitungslänge
der Flüssigkeitsmenge
auf dem Messbereich das Licht einer unterschiedlichen Anzahl von
Leuchtdioden auf ein oder mehrere Messfelder gelangt. Aus der Anzahl der
Leuchtdioden, deren Licht nicht durch die Flüssigkeitsmenge abgeblockt oder
geschwächt
wird, kann auf die Ausbreitungslänge
geschlossen werden.
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Für eine besonders
genaue Messung kann bei allen Ausführungsformen eine gegebenenfalls durch
entsprechende Software programmierte Auswerteelektronik zur Erfassung
der einzelnen Messgrößen gemäß der bevorzugten
Ausführungsformen vorgesehen
sein, die aus den Messsignalen zunächst die Ausbreitungslänge der
Flüssigkeit
in dem sich verjüngenden
Messbereich bestimmt und daraus den Innendruck bzw. die Flüssigkeitsmenge
des gesamten auf dem Aufenthaltsbereich befindlichen Flüssigkeitströpfchens
oder ihre Geschwindigkeit errechnet.
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Einige
Ausführungsformen
der erfindungsgemäßen Vorrichtung
und das erfindungsgemäße Verfahren
werden im folgenden anhand der beiliegenden Figuren im Detail erläutert. Dabei
wird als Messeinrichtung zur Bestimmung der Ausdehnung der Flüssigkeitsmenge
beispielhaft eine Oberflächenwellenerzeugungseinrichtung
dargestellt. Es zeigen
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1 eine
schematische Draufsicht auf eine Ausführungsform der Festkörperoberfläche mit
einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,
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2a eine schematische Teildraufsicht auf eine
erfindungsgemäße Ausführungsform
mit einer Flüssigkeitsmenge,
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2b eine schematische Teildraufsicht einer
erfindungsgemäßen Vorrichtung
mit einer anderen Flüssigkeitsmenge,
und
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3 eine
schematische Draufsicht auf eine Festkörperoberfläche mit einer weiteren Ausführungsform
einer erfindungsgemäßen Vorrichtung.
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4 eine
schematische Draufsicht auf eine Festkörperoberfläche mit einer Weiterbildung
der Ausführungsform
der 3.
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In 1 ist
die Draufsicht auf eine Oberfläche
einer erfindungsgemäßen Vorrichtung
schematisch gezeigt. Die gesamte Anordnung befindet sich auf einem
Festkörpersubstrat,
wie es z.B. aus der Halbleitertechnologie bekannt ist. Die Bereiche 1, 3 bezeichnen
einen bevorzugten Aufenthaltsbereich der zu untersuchenden Flüssigkeit
auf der Festkörperoberfläche. Der
bevorzugte Aufenthaltsbereich 1, 3 hat andere
Benetzungseigenschaften als die umgebende Oberfläche des Festkörpers, die
so gewählt sind,
dass die zu vermessende Flüssigkeit
sich bevorzugt darauf aufhält.
Bei einer wässrigen
Lösung ist
die Oberfläche
des Aufenthaltsbereiches 1, 3 z.B. hydrophil im
Vergleich zu der Oberfläche
des restlichen Festkörpers.
Dies kann z.B. dadurch erreicht werden, dass die Festkörperoberfläche in den
umgebenden Bereichen silanisiert und dadurch hydrophob wird.
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Ein
typisches Maß für die maximale
Breite 4 des Teilbereiches 3, der als Messbereich
dient, sind einige Mikrometer bei der Behandlung von Pikolitermengen.
Bei größeren Mengen
können
die Abmessungen entsprechend skaliert werden.
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Benachbart
zu dem sich lateral verjüngenden
Messbereich 3 befinden sich Interdigitaltransducer 5 und 7.
Bei der gezeigten Ausgestaltung wird der Transducer 5 zur
Generierung einer Oberflächenwelle
eingesetzt, die in Richtung 21 abstrahlt und den Messbereich 3 durchläuft. Der
Transducer 7 dient zur Detektion der Oberflächenwelle.
Selbstverständlich kann
auch der Interdigitaltransducer 7 zur Generation der Oberflächenwelle
eingesetzt werden und der Transducer 5 zur Detektion.
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Der
Interdigitaltransducer 5 besteht aus Elektrodenstrukturen 9, 11,
die Fortsätze
haben, die fingerartig ineinander greifen. Die Transducer umfassen
eine große
Anzahl von Fingern, von denen nur einige schematisch und nicht maßstabsgetreu
dargestellt sind. Die ineinander greifenden Fingerstrukturen sind
mit 17 bezeichnet. Analog umfasst der Empfangstransducer 7 Elektroden 13 und 15 mit
fingerartigen Fortsätzen 19.
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Die
gesamte Struktur befindet sich auf der Oberfläche eines Festkörpersubstrats,
das z.B. piezoelektrisches LiNbO3 oder Quarz
umfasst. Alternativ kann auf einem nicht piezoelektrischen Substrat
eine piezoelektrische Schicht, etwa ZnO aufgebracht sein. Die Elektroden 9, 11, 13 und 15 werden
mit bekannten Verfahren kontaktiert, um zum einen ein elektrisches
Wechselfeld an die Elektroden 9 und 11 anzulegen
und an den Elektroden 13 und 15 die ankommende
Oberflächenwelle
detektieren zu können.
In nicht gezeigter Weise sind dazu die Elektroden 9 und 11 mit
einer Hochfrequenzquelle verdrahtet. Andererseits sind die Elektroden 13 und 15 in
nicht gezeigter Weise mit einem Messgerät zum Nachweis der Hochfrequenzspannung
verbunden.
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Abweichend
hiervon können
die jeweiligen Elektroden mit einer Antenneneinrichtung verbunden sein,
die eine drahtlose Ansteuerung durch Einstrahlen eines elek tromagnetischen
Wechselfeldes ermöglicht.
Analog kann der Empfangstransducer drahtlos ausgelesen werden.
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2 zeigt
einen Flüssigkeitstropfen 23 auf dem
Teilbereich 1 der Vorrichtung gemäß 1. Ein Teil 27 des
Flüssigkeitstropfens
breitet sich in den Messbereich 3 aus. Durch die beschriebene
Wirkung der Oberflächenspannung
des Flüssigkeitströpfchens
ist diese Ausbreitung begrenzt.
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In 2b ist der Zustand mit einer größeren Flüssigkeitsmenge 25 gezeigt.
Aufgrund des höheren
Innendruckes breitet sich der Teil 29 des Flüssigkeitströpfchens
weiter in den Messbereich 3 aus. Die größere Flüssigkeitsmenge lässt sich
z.B. über
einen hier nicht gezeigten bevorzugten Aufenthaltsbereich in Form
einer Leiterbahn, die mit dem Bereich definierter Fläche 1 verbunden
ist, aufbringen.
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Nicht
gezeigt ist jeweils eine mögliche
Ankopplung des bevorzugten Aufenthaltsbereichs 1 z.B. mittels
eines weiteren bevorzugten Aufenthaltsbereichs in Form von z.B.
einer Leiterbahn an ein mikrofluidisches System, in dem verschiedene
Funktionen ein „Lab-on-a-chip" realisiert sind
oder verschiedene Reaktionen stattfinden können. Über diesen weiteren bevorzugten
Aufenthaltsbereich lässt
sich der Bereich 1 auch befüllen. Dieser Bereich muss eng
genug sein, dass er aufgrund seiner Oberflächenspannung von der Flüssigkeit
im Normalfall nicht überwunden
wird. Durch äußere Impulseinwirkung,
z.B. durch eine Oberflächenwelle,
kann der Flüssigkeitstropfen
diese Engstelle überwinden
und auf die Fläche 1 gelangen.
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Jenseits
einer solchen Engstelle kann sich ein Reservoir befinden, das durch
eine größere Fläche mit
den gleichen Benetzungseigenschaften wie der Aufenthaltsbereich 1 gebildet
wird. Darauf kann eine größere Menge
der Flüssigkeit
gelagert werden. Durch äußere Impulseinwirkung
z.B. einer Oberflächenwelle
kann aus diesem Reservoir eine Flüssigkeitsmenge über die
beschriebene Engstelle in den Aufenthaltsbereich 1 getrieben
werden. Mit Hilfe der erfindungsgemäßen Messanordnung kann der
Füllstand
der Flüssigkeit
auf dem Aufenthaltsbereich 1 bestimmt werden. Ist ein gewünschter
Wert erreicht, kann die äußere Impulseinwirkung
be endet werden, so dass keine weitere Flüssigkeit auf den Aufenthaltsbereich 1 gelangen
kann. Auf diese Weise ist die Definition einer gewünschten
Flüssigkeitsmenge sehr
genau möglich.
Alternativ kann der Aufenthaltsbereich 1 auch z.B. mit
einer Pipette befüllt
werden. Eine genaue Vorgabe der Flüssigkeitsmenge ist nicht notwendig,
da mit zuvor bestimmten Eichwerten im Nachhinein mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung die
Flüssigkeitsmenge
genau bestimmt werden kann.
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Die
erfindungsgemäße Vorrichtung
bzw. das erfindungsgemäße Verfahren
kann wie folgt eingesetzt werden. Auf den Teilbereich 1 definierter
Fläche des
Aufenthaltsbereiches 1, 3 wird ein Flüssigkeitstropfen
der zu vermessenden Flüssigkeit
aufgebracht. Diese Flüssigkeit
kann z.B. eine Pufferlösung sein,
in der sich die später
zu analysierende Materie befindet. Es entsteht z.B. ein Zustand,
wie er in der 2a gezeigt ist. An den
Interdigitaltransducer 5 wird z.B. bei einem Fingerabstand
von einigen Mikrometern ein Hochfrequenzfeld einiger 100 MHz angelegt,
das zur Generierung einer Oberflächenwelle senkrecht
zu der Fingerstruktur 17 führt. Diese Oberflächenwelle
läuft durch
den Messbereich 3. Aufgrund des Vorhandenseins der Flüssigkeitsmenge 27 auf
dem Messbereich 3 wird die Oberflächenwelle teilweise gedämpft. Insofern
wird von dem Interdigitaltransducer 7 eine andere Oberflächenwellenstärke gemessen,
als wenn sich keine Flüssigkeitsmenge auf
dem Messbereich 3 befindet. Die Detektion der Oberflächenwelle
findet mit bekannten Verfahren der Hochfrequenzmesstechnik statt.
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Aus
dem Signal bzw. der Änderung
des Signals durch die Anwesenheit der Flüssigkeitsmenge 27 auf
dem Messbereich 3 kann bestimmt werden, wie weit sich die
Flüssigkeitsmenge 27 in
dem Messbereich 3 ausgebreitet hat. Je größer die
Ausbreitung ist, desto stärker
ist die Dämpfung.
Z.B. aufgrund vorher bestimmter Kalibrierungswerte, kann aus dem Wert
für die
Ausbreitungslänge
der Flüssigkeit
auf dem Messbereich 3 auf den Innendruck in dem Flüssigkeitströpfchen 23 bzw.
auf die Füllmenge
des Flüssigkeitströpfchens 23 geschlossen
werden. Z.B. ist bei der Darstellung der 2b ein
größeres Flüssigkeitströpfchen 25 aufgebracht.
Das Flüssigkeitströpfchen kann
den bevorzugten Aufenthaltsbereich 1, 3 nicht
verlassen, so dass seine Höhe
bei größerer Menge
zunehmen wird. Insofern erhöht
sich der Innendruck in dem Flüssigkeitströpfchen.
Eine größere Ausbreitung
in den Messbereich 3 ist die Folge, was sich in der größeren Flüssigkeitsmenge 29 widerspiegelt.
Wird durch diese größere Menge 29 eine Oberflächenwelle
geschickt, so wird diese Oberflächenwelle
stärker
gedämpft
und es kann wiederum auf die Menge der Flüssigkeit in dem Flüssigkeitströpfchen 25 geschlossen
werden.
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Werden
als Transducer so genannte getaperte Interdigitaltransducer mit
nicht konstantem Fingerabstand eingesetzt, so kann mit der Frequenz
genau der Ort der Abstrahlung der Oberflächenwelle senkrecht zur Richtung 21 bestimmt
werden. Durchfahren der Frequenz verschiebt Ort der Abstrahlung der
Oberflächenwelle
entlang der Achse des Interdigitaltransducers. Die Achse ist dabei
als zentrale Verbindungslinie zwischen den Kontaktpads der Elektroden
definiert. Die Oberflächenwelle
zeigt auf der hier relevanten Längenskala
von einigen Millimetern nur eine geringe Divergenz, so dass der
Ort der Abstrahlung der Oberflächenwelle
auch den Ort ihres Auftreffens auf dem Messbereich 3 bestimmt.
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Trifft
die Oberflächenwelle
auf einen Bereich des Messbereiches 3, auf dem sich keine
Flüssigkeit befindet,
so bleibt die Oberflächenwelle
im wesentlichen ungedämpft.
Bewegt sich die Ausbreitungsrichtung der Oberflächenwelle durch Änderung
der Frequenz an dem Interdigitaltransducer jedoch in einen Bereich
des Messbereiches, auf dem sich Flüssigkeit 27, 29 befindet,
so wird die Oberflächenwelle
dieser Frequenz gedämpft.
Durchfahren der Frequenz ermöglicht
es also direkt festzustellen, an welcher Stelle sich das Ende der
Flüssigkeitsmenge 27, 29 auf dem
Messbereich 3 befindet. Eine Auswertung kann wiederum mit
einer elektronischen Recheneinheit und/oder einer Kalibrierung erfolgen.
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3 zeigt
eine Ausführungsform
zur Messung der Geschwindigkeit einer Flüssigkeitsmenge. 100 bezeichnet
einen lang gestreckten Aufenthaltsbereich, der ebenfalls durch Modulation
der Benetzungseigenschaften definiert wird, wie der Aufenthaltsbereich 1, 3 in
den obigen Ausführungsformen. Seitlich
schließt
sich an diesen Aufenthaltsbereich 100 ein Messbereich 3 an,
wie er auch bei den Ausführungs formen
der 1 und 2 beschrieben wurde. Seitlich
des Messbereiches 3 befinden sich wieder Interdigitaltransducer 5 und 7.
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Fließt eine
Flüssigkeitsmenge
auf dem Aufenthaltsbereich 100 z.B. in Richtung 101,
ist der statische Druck um so geringer, je höher die Fließgeschwindigkeit
ist. Die Flüssigkeitsmenge
dringt um so weiter in den Messbereich 3 ein, je höher der
statische Druck ist. Die Messung der Ausbreitungslänge der
Flüssigkeit
in dem lateral sich verjüngenden Messbereich 3 gestattet
also einen Rückschluss
auf den in der Flüssigkeit
auf dem Aufenthaltsbereich 100 herrschenden hydrostatischen
Druck. Z.B. kann wiederum mit einer elektronischen Rechnereinheit zunächst aus
der Ausbreitungslänge
auf dem Messbereich 3 auf den hydrostatischen Druck geschlossen
werden und dann mit Hilfe einer durch Kalibrierung erhaltenen Zuordnung
auf die Geschwindigkeit der Flüssigkeit
in dem Bereich 100 geschlossen werden.
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In 4 ist
eine Weiterbildung gezeigt, mit der die Geschwindigkeit einer Flüssigkeitsmenge
bestimmt werden kann. Es bestehen zumindest zwei Teilbereiche 100, 200 unterschiedlicher
Dicke d1, d2. Eine
Flüssigkeitsmenge
bewegt sich auf dem Teilbereich 100 größerer Breite mit einer niedrigeren
Geschwindigkeit in Richtung 101, als in dem engeren Teilbereich 200 der
Breite d2. Die Geschwindigkeit in diesem
Bereich 200 in Richtung 102 ist nach dem Bernoullischen
Gesetz höher.
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An
jeden der Teilbereiche schließt
sich ein eigener lateral sich verjüngender Meßbereich 3, 300 an.
Jedem dieser Meßbereiche
sind jeweils zwei Interdigitaltransducer 5, 7 bzw. 50, 70 zugeordnet,
um die Ausbreitung einer Flüssigkeitsmenge
auf dem lateral sich verjüngenden
Meßbereich 3, 300 wie
oben beschrieben zu messen. Die Summe aus hydrostatischem Druck
und dem Staudruck, der von der Geschwindigkeit der Flüssigkeit
abhängig
ist, ist in beiden Teilbereichen nach dem Bernoullischen Gesetz gleich.
Durch die zwei parallelen Messungen kann durch Gleichsetzen der
Summen des hydrostatischen Druckes und des Staudruckes in dem jeweiligem
Teilbereich die Geschwindigkeit absolut abgeschätzt werden.
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Die
Bewegung der Flüssigkeit
auf dem Aufenthaltsbereich kann auf verschiedene Weisen erzeugt
werden, z. B. durch Mikropumpen, durch elektrokinetische Verfahren
oder auch durch Impulsübertrag
einer Oberflächenwelle.
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Selbstverständlich können auch
bei diesen Ausführungsformen
andere, z.B. kapazitive, resistive oder optische Einrichtungen zur
Vermessung der Ausbreitungslänge
der Flüssigkeit
auf dem lateral sich verjüngenden
Messbereich 3 vorgesehen sein. Auch die Vermessung der
Ausbreitungslänge
mit Hilfe getaperter Interdigitaltransducer ist möglich.
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In
allen beschriebenen Ausführungsformen sind
die Größenverhältnisse
nicht notwendigerweise maßstabsgetreu.
Auch die genaue Form der einzelnen Elemente muss nicht den beschriebenen
Ausführungsformen
entsprechen oder der Messbereich 3 z.B. nicht vollständig in
einer Spitze enden.
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Mit
der erfindungsgemäßen Vorrichtung
und dem erfindungsgemäßen Verfahren
ist es möglich, eine
Flüssigkeitsmenge
auf einer Festkörperoberfläche sehr
genau zu bestimmen. Dabei kann die Flüssigkeitsmenge selbst oder
auch der Innendruck in einem Flüssigkeitströpfchen bestimmt
werden. Bei einer nachfolgenden z.B. chemischen oder physikalischen
Analyse der Flüssigkeitsmenge
ist also das Volumen bzw. die Menge genau bekannt, so dass quantitative
Analysen problemlos möglich
sind.
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Mit
der erfindungsgemäßen Vorrichtung
und dem erfindungsgemäßen Verfahren
ist es auch möglich,
den hydrostatischen Druck und/oder die Geschwindigkeit einer kleinen
Flüssigkeitsmenge
auf der Festkörperoberfläche zu messen.
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Die
einzelnen Ausführungsformen
der Erfindung lassen sich selbstverständlich auch kombinieren, um
ein Gesamtsystem zu bilden. Ebenso können die einzelnen Elemente
Teil eines größeren Gesamtsystems
ggf. auf einem einzigen Chip sein, das neben den erfindungsgemäßen Ausführungsformen noch
andere Mess- und Analyse- oder Synthesestationen im Sinne eines „Lab-on-the-chip" aufweist. Gera de
zur Bewegung und Vermessung von kleinen Flüssigkeitsmengen auf derartigen
integrierten Systemen sind die erfindungsgemäßen Vorrichtungen und Verfahren
besonders vorteilhaft einsetzbar.