WO1999049362A1 - Verfahren und vorrichtung zur resonanzverstärkung, insbesondere zur abstimmbaren frequenzkonversion von laserstrahlung - Google Patents

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WO1999049362A1
WO1999049362A1 PCT/EP1999/001990 EP9901990W WO9949362A1 WO 1999049362 A1 WO1999049362 A1 WO 1999049362A1 EP 9901990 W EP9901990 W EP 9901990W WO 9949362 A1 WO9949362 A1 WO 9949362A1
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mirror
resonator
refractive element
crystal
angle
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PCT/EP1999/001990
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Eckhard Zanger
Ralf MÜLLER
Wolfgang Gries
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Las - Laser Analytical Systems Gmbh
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/35—Non-linear optics
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
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    • G02F1/35—Non-linear optics
    • G02F1/353—Frequency conversion, i.e. wherein a light beam is generated with frequency components different from those of the incident light beams
    • G02F1/3542—Multipass arrangements, i.e. arrangements to make light pass multiple times through the same element, e.g. using an enhancement cavity

Definitions

  • Devices which describe a frequency conversion of continuous laser radiation by means of nonlinear crystals, in particular the generation of the 2nd harmonic, with the aim of increasing the conversion efficiency.
  • p 89 consists of a resonator in the form of a double Z, which is formed from four mirrors, at least two of which have a radius of curvature, and a non-linear crystal
  • the part of the incident wave reflected by a third mirror is registered with a detector, which can be used to convert a control signal to the active R using conventional methods (Hänsch-Couillaud, Pound-Drever) esonator stabilization can be obtained.
  • the resonator is tuned by translating a mirror, there are some disadvantages: the maximum permissible translation is limited by the increasing de-adjustment of the resonator due to the changed beam path. An additional misalignment takes place due to the tilting that occurs with conventional piezo elements, which is superimposed on the translation movement.
  • the resonator can therefore only follow a continuous variation of the irradiated light frequency in a limited frequency interval (fast, continuous frequency tuning is required, for example, in the case of laser cooling of atoms).
  • Angle-tuned crystals are mostly used for tunable frequency conversion systems, since they can cover the largest wavelength ranges.
  • the crystal When the incident wavelength changes, the crystal must be rotated in order to continue to meet the condition for phase matching. During this rotation, the laser beam experiences a parallel offset in the resonator, which necessitates readjustment of the resonator.
  • the beam position of the harmonics generated is noticeably changed during this readjustment. For applications that require a constant beam position, this must then be corrected again with the aid of a downstream deflection system, such as a periscope consisting of two adjustable mirrors.
  • a downstream deflection system such as a periscope consisting of two adjustable mirrors.
  • Resonators are not possible. In the event of partial damage, individual parts cannot be replaced or only with great effort. Furthermore, the production of the crystals that form the monolithic or semi-monolithic resonator is very complex (spherically ground surfaces, special coatings, etc.). These crystals are not traded on the market and can only be manufactured in special laboratories. In some cases, these arrangements also use properties of crystals which only fulfill a few materials, such as the high coefficient for the electro-optical effect in the lithium niobate crystal material, which is used to match the resonator with an electrical voltage. The restriction to such crystals then leads to a severe limitation of the wavelength range, which can be doubled.
  • a prism is used to use two different wavelengths simultaneously amplify resonantly.
  • the dispersing property of prisms is used to combine two laser beams of different wavelengths.
  • the two laser beams are amplified in two independent resonators, in the common branch of which there is a nonlinear crystal which generates a sum frequency from the two laser beams.
  • DD 145 588 describes methods for pulse shortening or selection of CO 2 lasers in which the incoming laser pulse is divided into a switching beam and a beam to be switched by a beam splitter.
  • the switching beam is directed via a deflecting mirror and a lens onto a unit for generating the second Harmonics of the fundamental wave focused.
  • the second harmonic is then passed to a switching crystal which is anti-reflective for the second harmonic and mirrored for the fundamental wave.
  • the beam to be switched is directed onto a lens with a short focal length, which bundles it into the focus volume of the switching beam.
  • the path length of a beam path is changed by shifting a retro reflection prism without the beam path changing outside the arrangement.
  • a resonator By adding suitable mirrors, a resonator can be formed from it, which can be tuned by shifting the retro reflection prism.
  • the retro reflection prism does not enable high conversion efficiency, since additional interfaces have to be introduced into the beam path, which generate losses and reduce efficiency.
  • the deflection angles of 180 ° also reduce efficiency, which lead to large angles of incidence in the resonator mirrors, which have to be designed as curved mirrors in order to obtain optically stable resonators.
  • the high angles of incidence with curved mirrors lead to strong astigmatism, which reduces efficiency.
  • prisms can be used to build an optically stable, astigmatically compensated and tunable resonator, it can because of the large number of interfaces however, no efficient frequency conversion or resonance amplification with a usable " boost factor " can be achieved.
  • the object of the invention is to develop a generic method and a device with which the frequency conversion of in particular continuous laser radiation, in particular avoiding the disadvantages described, with high efficiency and with which an improved tunability with respect to the incident wavelengths is ensured over the largest possible wavelength range.
  • the tunability is improved, in particular the continuous tuning range should be increased, the process of adjusting components is simplified, and the number of components to be replaced is reduced and the exchange is simplified.
  • Case 1 The incident wavelength is continuously changed by small amounts so that the phase adjustment for the crystal is retained, i.e. only the resonator length has to be adjusted, while the crystal does not have to be rotated.
  • the wavelength changes in this case are typically less than lnm.
  • Case 2 The incident wavelength is changed by amounts that require readjustment of the crystal or other components, but not an exchange of optical components. These are changes in the order of 50nm.
  • Case 3 The incident wavelength is changed by amounts that require a component exchange (mirror, crystal). This is about Changes that are larger than 50nm and can be up to 100nm.
  • the desired improvement in the tunability of such a frequency conversion system relates to all three cases.
  • the continuous tuning range should be increased, i.e. the resonator should be tuned to the continuously changing wavelength of the laser beam at all times, and mode jumps of the resonator are not permitted.
  • the process of adjusting components is to be simplified, which creates the possibility of automated (motorized) tuning.
  • the number of components to be replaced should be reduced and the exchange in handling should be simplified as much as possible.
  • Fig. 3 shows the schematic representation of the
  • Fig. 6 shows the diagram to illustrate the vertical deflection angle
  • Fig. 7 shows the diagram showing the horizontal deflection angle
  • Fig. 8 is a schematic representation of the
  • Fig. 9 shows the schematic representation of the arrangement with coupling via a prism.
  • Wavelength range When coordinating the irradiated wavelengths, a distinction must be made between several cases, as described in the task.
  • a resonator is formed from mirrors M1 and M2 and from a refractive element P in the basic arrangement.
  • the refractive element P has the function of a prism, but is designed in a trapezoidal shape for easier assembly and because of the lower mass (nevertheless called prism in the following for the sake of simplicity). Since none of the mirrors Ml, M2 are used for resonator tuning, both can be made in readily available standard sizes regardless of their inertia.
  • the mirror holders can be optimized with regard to easy interchangeability of the mirrors M1, M2.
  • the prism made of highly transparent material for example high-purity quartz glass, has no coating.
  • the angle of the refractive surfaces to one another is chosen such that the beam enters and exits at a Brewster angle or near a Brewster angle.
  • an apex angle of 69 ° in the wavelength range 400nm to lOOOnm results in reflection losses of less than 0.01%.
  • the prism is attached directly to a PZ piezo element without a holder, since it is not necessary to change the prism when the wavelength range changes. To the moving
  • the prism is preferably attached by gluing.
  • the beam path in the resonator does not change when the prism is in 12
  • the optical path length is decisive for the resonator tuning. If the prism is moved in the direction of its axis of symmetry by the amount ⁇ y, the optical path length changes
  • ⁇ L 2 ⁇ y (n sin2 ⁇ - l) «0.7 ⁇ y. (n: refractive index prism, ⁇ : angle of incidence)
  • the mirror M1 serves as a coupling mirror.
  • the mirror M2 serves as a coupling-out mirror and is therefore highly reflective on the fundamental wavelength and highly transmissive on the wavelength of the harmonics generated.
  • the frequency conversion is carried out with a Brewster-cut, angle-matched non-linear crystal NK, which is located between the prism P and the coupling mirror M2.
  • the crystal is rotated about an axis D1, which lies in the ring plane and is perpendicular to the beam path within the crystal.
  • the resulting beam offset when the crystal is rotated can be compensated for by rotating the prism in opposite directions at small angles.
  • the prism is about his 13
  • ⁇ is the angle of rotation of the crystal
  • n k and n p are the refractive indices of the crystal or prism
  • d k and d p are the path lengths in the crystal or in the prism.
  • the curved mirrors Ml and M2 contains four elements which cause astigmatic distortions: the curved mirrors Ml and M2, the prism P and the nonlinear crystal NK.
  • the astigmatisms caused by the mirrors differ in sign from those of the prism and the crystal. This opposite sign is used in the classic arrangement according to FIG. 1 to determine the astigmatism of the beam waist of the resonator to which the 14
  • the injected beam is ideally imaged under mode-matching conditions. This is necessary in order to be able to couple the entire power of a laser beam with a diffraction-limited, round Gaussian profile (TEM 00 mode) into the basic mode of the resonator.
  • TEM 00 mode diffraction-limited, round Gaussian profile
  • complete astigmatism compensation is not possible because of the reduced number of degrees of freedom.
  • the astigmatism is therefore partially compensated for outside the resonator via a spherically curved mirror M3 (see FIG. 4).
  • an adjustable deflection system such as a periscope consisting of two mirrors, is needed anyway for the exact imaging of the coupled laser beam.
  • one of the periscope mirrors is designed as a concave mirror instead of the plane mirror otherwise used.
  • a cubically cut, nonlinear crystal with perpendicular incidence of light can also be used in the arrangement described, the entry and exit surfaces of which correspond with corresponding ones
  • Anti-reflective coatings are provided. In this case, somewhat higher conversion efficiencies are possible, since the losses of the harmonics generated on the exit side of the crystal are lower. Whether with it
  • an additional plane-parallel plate K is made of highly transparent
  • Beam displacement due to the non-linear crystal NK is compensated in this arrangement by rotating the plane-parallel plate in opposite directions, whereas the deflection prism P is not moved. Otherwise, the arrangement corresponds to that of FIG. 4. Since the plane-parallel plate K, like the non-linear crystal NK, does not cause any angular deflection of the beam when rotated about the axis D2 or Dl, the beam offset of the crystal can be exactly compensated for with a suitable angle of rotation and direction of rotation.
  • the usable wavelength range for tuning according to case 2 is only limited by the increased losses if the angle deviates from the Brewster angle. However, the increase in the tuning range according to case 2 compared to the arrangement in FIG.
  • the fundamental wave beam is not coupled via the mirror Ml, but via one of the (uncoated) prism surfaces.
  • the apex angle of the prism is chosen so that the angle of incidence on the coupling surface of the prism is smaller 16
  • the exact value for the apex angle is determined from the condition for impedance matching:
  • the usable wavelength range of a mirror set is essentially determined by the partially reflecting coupling-in layer, the wavelength range of which is fundamentally smaller than in the case of highly reflecting layers, the usable wavelength range of a mirror set can be enlarged with the arrangement described here.
  • the resonator tuning is expediently carried out here by translation of the mirror Ml, since the simultaneous use as a coupling element and as a tuning element causes space problems.
  • the advantages of prism translation are no longer fully available here. Otherwise, this arrangement corresponds to that of FIG. 8.
  • a disadvantage of the arrangement of FIG. 9 compared to the arrangement in FIG. 8 is the more difficult adjustment. In this case, the prism must be held in an adjustable manner, since it influences both the beam path in the resonator and the beam position of the injected beam.

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Abstract

Die Erfindug bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Resonanzverstärkung, insbesondere zur abstimmbaren Frequenzkonversion von insbesondere kontinuierlicher Laserstrahlung mit einem Resonator aus Spiegeln und mindestens einem brechenden Element. Die Aufgabe der Erfindung, ein gattungsgemäßes Verfahren und eine Vorrichtung zu entwickeln, mit denen insbesondere die Frequenzkonversion von insbesondere kontinuierlicher Laserstahlung unter Vermeidung der beschriebenen Nachteile mit hoher Effizienz und mit denen über einen möglichst großen Wellenlängenbereich eine verbesserte Abstimmbarkeit bezüglich der eingestrahlten Wellenlängen gewährleistet werden, wird dadurch gelöst, daß eine Resonatorlängenabstimmung durch Translation mindestens eines brechenden Elementes (P) vorgenommen wird. Der Resonator wird aus einem ersten Spiegel (M1), aus einem zweiten Spiegel (M2) und aus einem in Trapezform ausgeführten brechenden Element (P), welches die Funktion eines Prismas ausübt, gebildet.

Description

„Verfahren und Vorrichtung zur Resonanzverstärkung, insbesondere zur abstimmbaren Frequenzkonversion von Laserstrahlung"
Beschreibung
Es sind bereits eine Vielzahl von Verfahren und
Vorrichtungen bekannt, die eine Frequenzkonversion von kontinuierlicher Laserstrahlung mittels nichtlinearer Kristalle, insbesondere die Erzeugung der 2. Harmonischen, mit dem Ziel einer Erhöhung der Konversionseffizienz beschreiben.
Die „klassische Anordnung" zur Frequenzkonversion von Laserstrahlung, wie sie u.a. beschrieben ist in den Veröffentlichungen von M.Brieger et al . : "Enhancement of Single Frequency SHG in a Passive Ring Resonator" Opt . Commun. 38 (1981) p. 423; C.S.Adams et al . "Tunable narrow linewidth ultra-violet light generation... " , Opt. Commun. 90 (1992) p 89 ;S.Bourzeix et al . : "Efficient frequency doubling of a continous wave ...", Opt. Commun. 99 (1993) p 89, besteht aus einem Resonator in Form eines Doppel-Z, der aus vier Spiegeln gebildet wird, von denen mindestens zwei einen Krümmungsradius besitzen, und einem nichtlinearen Kristall . Ein erster Spiegel ist auf einem Piezoelement montiert und dient der Abstimmung der Resonatorlänge auf Resonanz mit der einfallenden Lichtwelle. Der von einem dritten Spiegel reflektierte Teil der eingestrahlten Welle wird mit einem Detektor registriert. Mit üblichen Verfahren (Hänsch-Couillaud, Pound-Drever) kann daraus ein Regelsignal zur aktiven Resonatorstabilisierung gewonnen werden. Die Spiegelabstände, Krümmungsradien, Beschichtungen sowie der Kristall sind so gestaltet, daß a) der Resonator optisch stabil ist, b) sich zwischen den gekrümmten zwei Spiegeln am Ort des nichtlinearen Kristalls eine Strahltaille ausbildet, deren Größe optimal für eine effiziente Konversion ist, c) der durch die gekrümmten Spiegel hervorgerufene Astigmatismus der zweiten Strahltaille zwischen weiteren zwei Spiegeln (dritter und vierter Spiegel) , durch den brewstergeschnittenen Kristall kompensiert wird, d) drei der Spiegel eine möglichst hohe Reflektivität für die Grundwelle besitzen, e) einer der Spiegel für die erzeugte Harmonische eine möglichst hohe Transmission besitzt, f) der Reflexionsgrad des Einkoppelspiegels so bemessen ist, daß die Resonanzüberhöhung der Grundwelle möglichst hoch ist, was bei Impedanzanpassung R=l-V
(R: Reflexionsgrad, V: passive Resonatorverluste) der
Fall ist, g) für den nichtlinearen Kristall die Bedingung für Phasenanpassung erfüllt ist.
Mit solchen Anordnungen werden typischerweise Konversionseffizienzen zwischen 10% und 30% erreicht. Da in dieser Anordnung vier justierbare Spiegelhalter benötigt werden, ist der mechanische Aufwand relativ hoch. Da hochreflektierende Spiegel immer eine Resttransmission aufweisen, können die passiven Verluste dieser Anordnung nicht beliebig reduziert werden, wodurch dem Verstärkungsfaktor des Resonators eine Obergrenze gesetzt ist.
Wird die Resonatorabstimmung wie in dieser Anordnung durch Translation eines Spiegels vorgenommen, so ergeben sich einige Nachteile: Die maximal zulässige Translation wird durch die zunehmende DeJustierung des Resonators durch den geänderten Strahlengang begrenzt . Eine zusätzliche Dejustierung erfolgt durch die bei üblichen Piezoelementen auftrende Verkippung, die sich der Translationsbewegung überlagert. Einer kontinuierlicher Variation der eingestrahlten Lichtfrequenz kann der Resonator deshalb nur in einem begrenzten Frequenzintervall folgen (schnelle, kontinuierliche Frequenzdurchstimmung ist z.B. bei Laserkühlung von Atomen erforderlich) .
Ein weiterer Nachteil der Spiegeltranslation tritt auf, wenn die Spiegel des Resonators zwecks Umrüstung auf einen anderen Wellenlängenbereich ausgetauscht werden sollen. Um dies ohne größeren Aufwand durchführen zu können, muß der Spiegel mittels einer Wechselfassung auf dem Piezoelement montiert werden, deren zusätzliche Masse die Regeldynamik für die Resonatorstabilisierung verschlechtert .
Für abstimmbare Frequenzkonversionssysteme werden meistens winkelabgestimmte Kristalle verwendet, da sich mit diesen die größten Wellenlängenbereiche abdecken lassen. Bei Änderung der eingestrahlten Wellenlänge muß der Kristall gedreht werden, um weiterhin die Bedingung für Phasenanpassung zu erfüllen. Bei dieser Drehung erfährt der Laserstrahl im Resonator einen Parallelversatz, der ein Nachjustieren des Resonators erforderlich macht. Die Strahllage der erzeugten Harmonischen wird bei dieser Nachjustierung merklich geändert. Bei Anwendungen, die eine konstante Strahllage erfordern, muß diese mit Hilfe eines nachgeschalteten Ablenksystems, wie z.B. einem Periskop aus zwei justierbaren Spiegeln, anschließend wieder korrigiert werden. In anderen Veröffentlichungen, so in der US 5,007,065, werden monolithische oder, wie in den US 5,027,361, 5,227,911, 4,731,787, 4,797,896 beschrieben, werden halbmonolithische Anordnungen benutzt.
Gegenüber den diskret aufgebauten Resonatoren haben diese Anordnungen verschiedene Vorteile : a) Sie sind mechanisch wesentlich stabiler und haben damit eine geringere Anfälligkeit gegen Störungen von außen. b) Sie haben weniger Verluste durch eine geringere Anzahl von Grenzflächen im Resonator. c) Teure präzisionsoptische Teile können entfallen.
Mit diesen Anordnungen werden Verdopplungseffizienzen bis zu 80% erreicht. Allerdings sind diese Anordnungen nur in sehr kleinen Wellenlängenintervallen abstimmbar und daher in der Anwendung auf Festfrequenzlaser, wie z.B. diodengepumpte Nd:YAG-Laser beschränkt. Eine nachträgliche Justierung oder Modifikation eines solchen
Resonators ist nicht möglich. Bei einer teilweisen Beschädigung können einzelne Teile nicht oder nur unter hohem Aufwand ersetzt werden. Weiterhin ist die Herstellung der Kristalle, die den monolithischen bzw. halbmonolithischen Resonator bilden, sehr aufwendig (sphärisch geschliffene Oberflächen, spezielle Beschichtungen usw.). Diese Kristalle werden nicht auf dem Markt gehandelt und können nur in speziellen Labors hergestellt werden. Teilweise werden bei diesen Anordnungen auch Eigenschaften von Kristallen benutzt, die nur wenige Materialien erfüllen, wie zum Beispiel der hohe Koeffizient für den elektrooptischen Effekt beim Kristallmaterial Lithiumniobat , der zum Abstimmen des Resonators mit einer elektrischen Spannung benutzt wird. Die Beschränkung auf solche Kristalle führt dann zu einer starken Einschränkung des Wellenlängenbereiches, der damit verdoppelt werden kann.
In den US 5,052,815 und 5,357,537 werden diodengepumpte Ringlaser beschrieben, deren Resonator aus nur zwei Spiegeln und einem oder mehreren brechenden Elementen bestehen. Sie nutzen die Flexibilität eines diskreten Aufbaus, der auch nach der Assemblierung die Justierung von Einzelelementen oder eine Modifikation durch Einbringen zusätzlicher optischer Elemente erlaubt. Die Resonatorverluste fallen durch die geringere Anzahl von Elementen gegenüber klassischen Ringlasern geringer aus. Diese Vorteile werden genutzt, um Ringlaser mit besserer Effizienz und günstigerer Herstellung zu realisieren. Alle dies Anordnungen enthalten ein aktives Lasermedium und werden explizit als Laseranordnung verwendet.
In einer weiteren bekannten Anordnung (M. Watanabe et al . : "Continous-wave sum-frequency generation near 194nm...", Opt. Commun. 97 (1993) p. 225 ) wird ein Prisma verwendet, um zwei verschiedene Wellenlängen gleichzeitig resonant zu verstärken. In diesem Fall wird die dispergierende Eigenschaft von Prismen genutzt, um zwei Laserstrahlen unterschiedlicher Wellenlängen zu vereinigen. Die beiden Laserstrahlen werden in zwei unabhängigen Resonatoren verstärkt , in deren gemeinsamem Zweig sich ein nichtlinearer Kristall befindet, der eine Summenfrequenz aus den beiden Laserstrahlen erzeugt .
In der DD 145 588 werden Verfahren zur Impulsverkürzung bzw. -Selektion von C02-Lasern beschrieben, bei denen der einlaufende Laserimpuls durch einen Strahlteiler in einen schaltenden und einen zu schaltenden Strahl aufgeteilt wird. Der schaltende Strahl wird über einen Umlenkspiegel und eine Linse auf eine Einheit zur Erzeugung der zweiten Harmonischen der Grundwelle fokussiert . Die zweite Harmonische wird sodann auf einen Schaltkristall geführt, der für die zweite Harmonische entspiegelt und für die Grundwelle verspiegelt ist . Der zu schaltende Strahl wird verzögert auf eine Linse mit kurzer Brennweite gelenkt, die ihn in das Fokusvolumen des schaltenden Strahles bündelt. Bei dieser Anordnung zur Impulsverkürzung wird die Weglänge eines Strahlenganges durch Verschiebung eines Retro-Reflexionsprismas geändert, ohne daß sich der Strahlengang außerhalb der Anordnung ändert. Durch Ergänzung geeigneter Spiegel kann daraus ein Resonator gebildet werden, der sich durch Verschiebung des Retro- Reflexionsprismas abstimmen läßt. Das Retro- Reflexionsprisma ermöglicht jedoch keine hohe Konversionseffizienz, da zusätzliche Grenzflächen in den Strahlengang eingebracht werden müssen, die Verluste erzeugen und die Effizienz mindern. Ebenso effizienzmindernd wirken sich die Ablenkwinkel von 180° aus, die zu großen Einfallswinkeln bei den Resonatorspiegeln führen, die als gekrümmte Spiegel ausgeführt werden müssen, um optisch stabile Resonatoren zu erhalten. Die hohen Einfallswinkel bei gekrümmten Spiegeln führen zu starkem Astigmatismus, der effizienzmindernd wirkt .
In der NL-Zeitschrif „Optics Communikations", Vol. 53, No.l, 1985, S.43-47, wird eine spiegelfreie Konfiguration für einen cw-Ring-Farblaser beschrieben, bei der ein spezielles Prisma dazu verwendet wird, den Resonator aufzubauen.
Mit den beschriebenen Fokussierprismen und Littrow-
Prismen kann zwar ein optisch stabiler, astigmatisch kompensierter und abstimmbarer Resonator aufgebaut werden, es kann aufgrund der Vielzahl von Grenzflächen jedoch keine effiziente Frequenzkonversion bzw. eine Resonanzverstärkung mit brauchbarem "Überhöhungsfaktor erreicht werden.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein gattungsgemäßes Verfahren und eine Vorrichtung zu entwickeln, mit denen die insbesondere Frequenzkonversion von insbesondere kontinuierlicher Laserstrahlung unter Vermeidung der beschriebenen Nachteile mit hoher Effizienz und mit denen über einen möglichst großen Wellenlängenbereich eine verbesserte Abstimmbarkeit bezüglich der eingestrahlten Wellenlängen gewährleistet werden. Bei der Verbesserung der Abstimmbarkeit sollen insbesondere -der kontinuierliche Abstimmbereich vergrößert werden, -der Vorgang des Nachstellens von Komponenten vereinfacht -und die Zahl der auszutauschenden Komponenten verringert und der Austausch vereinfacht werden.
Bei der verbesserten Abstimmbarkeit der eingestrahlten Wellenlängen sind dabei folgende Fälle zu unterscheiden:
Fall 1: Die eingestrahlte Wellenlänge wird kontinuierlich um so kleine Beträge geändert, daß die Phasenanpassung für den Kristall erhalten bleibt, d.h. lediglich die Resonatorlänge muß nachgestellt werden, während der Kristall nicht gedreht werden muß. Die Wellenlängenänderungen sind in diesem Fall typischerweise kleiner als lnm.
Fall 2 : Die eingestrahlte Wellenlänge wird um Beträge geändert, die ein Nachstellen des Kristalls oder anderer Komponenten erforderlich machen, nicht jedoch einen Austausch von optischen Komponenten. Hier handelt es sich um Änderungen in der Größenordnung 50nm.
Fall 3 : Die eingestrahlte Wellenlänge wird um Beträge geändert, die einen Komponentenaustausch (Spiegel, Kristall) erforderlich machen. Hierbei geht es um Änderungen, die größer als 50nm sind und bis zu lOOOnm betragen können.
Die angestrebte Verbesserung der Abstimmbarkeit eines solchen Frequenzkonversionssystems bezieht sich auf alle drei Fälle . Im Fall 1 soll der kontinuierliche Abstimmbereich vergrößert werden, d.h. der Resonator soll zu jedem Zeitpunkt auf die sich kontinuierlich ändernde Wellenlänge des Laserstrahls abgestimmt sein, wobei Modensprünge des Resonators nicht zulässig sind. Im Fall 2 soll der Vorgang des Nachstellens von Komponenten vereinfacht werden, wodurch die Möglichkeit einer automatisierten (motorischen) Abstimmung geschaffen wird. Im Fall 3 soll die Zahl der auszutauschenden Komponenten verringert werden und der Austausch in der Handhabung möglichst vereinfacht werden.
Die Lösung der Aufgabe ergibt sich aus den Merkmalen der Ansprüche 1 und 7. In den Unteransprüchen sind zweckmäßige Ausführungsformen angegeben.
Aus der Anwendung der Erfindung ergeben sich gegenüber den bekannten Anordnungen insbesondere die folgenden
Vorteile : 1. Gegenüber dem klassischem 4 -Spiegel-Aufbau besteht der
Resonator aus weniger Elementen, wodurch die passiven
Verluste verringert werden und die
Konversionseffizienz erhöht wird.
2. Gegenüber dem klassischem 4 -Spiegel-Aufbau ist eine wesentlich kompaktere Bauform realisierbar.
3. Durch den kompakteren Aufbau wird der Resonator unempfindlicher gegen äußere Störeinflüsse.
4. Kostenersparnis : Es werden nur 2 Präzisionsspiegelhalter gegenüber 4 beim klassischen Resonator benötigt. 5. Durch die geringere Resonatorlänge gegenüber dem klassischen Aufbau wird der Freie Spektralbereich des Resonators deutlich größer und damit erhöht sich auch die Akzeptanzbreite des Resonators (bei gleichbleibender Resonatorgüte) bezüglich der Frequenzbandbreite der einfallenden Strahlung. Daher können auch Laserstrahlquellen schlechterer Qualität mit dieser Anordnung konvertiert werden.
6. Gegenüber monolithischen und halbmonolithischen Anordnungen: Es werden nur Elemente verwendet, die auf dem Markt problemlos erhältlich und kostengünstig sind (bei Prisma und Kristall nur plane und unbeschichtete Flächen, Spiegel in Standard-Substratgrößen und Standard-Schichten) . 7. Die Resonatorlängenabstimmung durch Translation des Prismas ermöglicht einen größeren Frequenzhub als bei Translation eines Spiegels. 8. Die Strahlversatzkompensation durch gegensinnige Drehung des Prismas vergrößert den Wellenlängenbereich, der ohne Nachjustierung des Resonators überdeckt werden kann. 9. Bei Abstimmung durch Komponentenaustausch müssen lediglich zwei Spiegel und der Kristall ausgetauscht werden. Die Halterungen können für diesen Zweck optimiert werden, ohne daß dafür Nachteile wie z.B. die Verschlechterung der Regeldynamik in Kauf genommen werden müssen.
Die Erfindung wird nachfolgend in mehreren Ausführungsbeispielen von Resonatoren-Anordnungen näher beschrieben. In der dazugehörigen Zeichnung zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung der „klassischen Anordnung" nach dem Stand der Technik, 10
Fig. 2 die schematische Darstellung einer Grundanordnung,
Fig. 3 die schematische Darstellung des
Strahlengangs im Prisma,
Fig. 4 die schematische Darstellung einer ersten Ausführungsform nach der Erfindung,
Fig. 5 das Diagramm zur Darstellung des vertikalen Strahlversatzes bei einer durchstrahlten Prismenlänge von 10mm,
Fig. 6 das Diagramm zur Darstellung des vertikalen Ablenkwinkels durch
Drehung des Prismas,
Fig. 7 das Diagramm zur Darstellung des horizontalen Ablenkwinkels durch
Drehung des Prismas,
Fig. 8 die schematische Darstellung der
Anordnung mit exakter Kompensation und
Fig. 9 die schematische Darstellung der Anordnung mit Einkopplung über ein Prisma.
Besonderer Wert wird bei der Frequenzkonversion von kontinuierlicher Laserstrahlung nach der Erfindung auf die Abstimmbarkeit über einen möglichst großen 11
Wellenlängenbereich gelegt. Bei der Abstimmung bezüglich der eingestrahlten Wellenlängen sind mehrere Fälle zu unterscheiden, wie sie in der Aufgabenstellung dargestellt wurden.
Entsprechend der Darstellung in der Fig. 2 wird in der Grundanordnung ein Resonator aus Spiegeln Ml und M2 und aus einem brechenden Element P gebildet.
Das brechende Element P hat die Funktion eines Prismas, wird aber zur einfacheren Montage und wegen der geringeren Masse in Trapezform ausgeführt (im folgenden der Einfachheit halber trotzdem Prisma genannt) . Da keiner der Spiegel Ml, M2 zur Resonatorabstimmung benutzt wird, können beide ohne Rücksicht auf ihre Massenträgheit in leicht erhältlichen Standardgrößen ausgeführt werden. Die Spiegelhalter können in Hinblick auf einfache Austauschbarkeit der Spiegel Ml, M2 optimiert werden.
Das Prisma aus hochtransparentem Material, zum Beispiel hochreines Quarzglas, erhält keine Beschichtung. Der Winkel der brechenden Flächen zueinander wird so gewählt, daß Ein- und Austritt des Strahls unter Brewsterwinkel bzw. nahe Brewsterwinkel erfolgt. Bei hochreinem Quarzglas ergeben sich für einen Scheitelwinkel von 69° im Wellenlängenbereich 400nm bis lOOOnm Reflexionsverluste kleiner als 0.01%. Das Prisma wird ohne Fassung direkt auf ein Piezoelement PZ angebracht, da ein Austausch des Prismas bei Wechsel des Wellenlängenbereiches nicht notwendig ist. Um die bewegte
Masse möglichst gering zu halten, erfolgt die Befestigung des Prismas vorzugsweise durch Klebung.
Wie aus der Fig. 3 hervorgeht, ändert sich der Strahlengang im Resonator nicht, wenn das Prisma in 12
Richtung seiner Symmetrieachse translatiert wird. Maßgeblich für die Resonatorabstimmung ist die optische Weglänge. Wird das Prisma um den Betrag Δy in Richtung seiner Symmetrieachse bewegt, ändert sich die optische Weglänge um
ΔL=2Δy(n sin2α - l)«0.7Δy. (n: Brechungsindex Prisma, α: Einfallswinkel )
Wegen des symmetrischen Strahlenganges im Prisma liegt hier das Minimum der Ablenkung vor. Daher wirken sich Verkippungen des Prismas erst in zweiter Näherung auf den Strahlengang im Resonator aus. Diese beiden Eigenschaften der Anordnung ermöglichen einen wesentlich größeren Abstimmbereich nach Fall 1, da hiermit größere Translationswege realisierbar sind, ohne den Resonator zu dejustieren.
Bei der bevorzugten Ausführungsform nach Fig. 4 dient der Spiegel Ml als Einkoppelspiegel. Die Reflektivität bei der Grundwellenlänge wird so gewählt, daß Impedanzanpassung (R=l-V , V: passive Verluste) vorliegt. Der Spiegel M2 dient als Auskoppelspiegel und wird daher auf der Grundwellenlänge hochreflektierend, und auf der Wellenlänge der erzeugten Harmonischen hochtransmit- tierend ausgeführt . Die Frequenzkonversion wird mit einem brewstergeschnittenen, winkelabgestimmten nichtlinearen Kristall NK vorgenommen, der sich zwischen dem Prisma P und dem Auskoppelspiegel M2 befindet. Zur Winkelab- Stimmung wird der Kristall um eine Achse Dl gedreht, die in der Ringebene liegt und senkrecht zum Strahlengang innerhalb des Kristalls steht. Der entstehende Strahlversatz bei Drehung des Kristalls kann bei kleinen Winkeln durch eine gegensinnige Drehung des Prismas kompensiert werden. Das Prisma wird dabei um seine 13
Symmetrieachse D2 gedreht. Da bei dem gewählten Strahlengang das Minimum der Ablenkung vorliegt, bewirkt eine Drehung des Prismas in erster Näherung lediglich einen Strahlversatz, jedoch keine Richtungsablenkung. Die Ergebnisse numerischer Berechnungen des Strahlversatzes und der Ablenkwinkel , die durch die Drehung des Prismas hervorgerufen werden, sind in den Fig. 5, 6 und 7 graphisch dargestellt. Um Kompensation zu erreichen, muß der Drehwinkels ψ für das Prisma der Beziehung
Ψ = {dk np(nk-l)/dp nk(np-l)} φ
genügen, wobei φ der Drehwinkel des Kristalls, nk und np die Brechungsindizes von Kristall bzw. Prisma, dk und dp die Weglängen im Kristall bzw. im Prisma bedeuten. Eine einfache mechanische Kopplung der Kristalldrehung mit der Prismendrehung gemäß der angegebenen Beziehung ermöglicht daher eine Winkelabstimmung des Kristalls ohne gleichzeitig den Resonator zu dejustieren. Da die Prismendrehung in zweiter Näherung eine Strahlablenkung bewirkt, ist dies nur für einen beschränkten Winkelbereich möglich. In der weiter unten beschriebenen Anordnung mit einem zusätzlichen Kompensatorelement kann dagegen exakte Kompensation erreicht werden, die jedoch mit erhöhten Resonatorverlusten erkauft werden muß.
Die Resonatoranordnung nach Fig. 4 enthält vier Elemente, die astigmatische Verzerrungen hervorrufen: Die gekrümmten Spiegel Ml und M2 , das Prisma P sowie der nichtlineare Kristall NK. Die von den Spiegeln hervorgerufenen Astigmatismen unterscheiden sich dabei im Vorzeichen von denen des Prismas und des Kristalls. Dieses gegensätzliche Vorzeichen wird in der klassischen Anordnung nach Fig. 1 benutzt, um den Astigmatismus derjenigen Strahltaille des Resonators, auf die der 14
eingekoppelte Strahl idealerweise unter mode-matching- Bedingungen abgebildet wird, zu kompensieren. Das ist erforderlich, um die gesamte Leistung eines Laserstrahls mit beugungsbegrenztem, rundem Gaussprofil (TEM00-Mode) in die Grundmode des Resonators einkoppeln zu können. Im Fall des hier beschriebenen Resonators ist eine vollständige Astigmatismuskompensation wegen der verringerten Anzahl von Freiheitsgraden nicht möglich. Die Kompensation des Astigmatismus erfolgt daher teilweise außerhalb des Resonators über einen sphärisch gekrümmten Spiegel M3 (siehe Fig. 4) . Dies bedeutet keinen höheren Aufwand als sonst, da zur exakten Abbildung des eingekoppelten Laserstrahls ohnehin ein justierbares Ablenksystem, wie z.B. ein aus zwei Spiegeln bestehendes Periskop, benötigt wird. Anstelle der sonst verwendeten Planspiegel wird in diesem Fall einer der Periskopspiegel als Hohlspiegel ausgeführt.
Grundsätzlich kann in der beschriebenen Anordnung auch ein kubisch geschnittener, nichtlinearer Kristall unter senkrechtem Lichteinfall verwendet werden, dessen Ein- und Austrittsflächen mit entsprechenden
Antireflexbeschichtungen versehen sind. In diesem Fall sind etwas höhere Konversionseffizienzen möglich, da die Verluste der erzeugten Harmonischen an der Austrittsseite des Kristalls geringer ausfallen. Ob damit ein
Effizienzgewinn erreicht wird, ist jedoch stark von der
Qualität der verwendeten Antireflexschichten abhängig.
Zudem entstehen durch die notwendigen Antireflexbeschichtungen zusätzliche Kosten.
In einer weiteren Ausführungsform nach Fig. 8 wird eine zusätzliche planparallele Platte K aus hochtransparentem
Material (vorzugsweise hochreines Quarzglas) unter Brewsterwinkel in den Strahlengang gebracht. Der 15
Strahlversatz durch den nichtlinearen Kristall NK wird in dieser Anordnung durch gegensinnige Drehung der planparallelen Platte kompensiert, wogegen das Umlenkprisma P nicht bewegt wird. Ansonsten entspricht die Anordnung der nach Fig. 4. Da die planparallele Platte K ebenso wie der nichtlineare Kristall NK bei Drehung um die Achse D2 bzw. Dl keinerlei Winkelablenkung des Strahls bewirkt, kann der Strahlversatz des Kristalls bei geeignetem Drehwinkel und Drehsinn exakt kompensiert werden. Der nutzbare Wellenlängenbereich bei Abstimmung nach Fall 2 (s.o.) ist dadurch nur noch durch die erhöhten Verluste bei Abweichung vom Brewsterwinkel begrenzt . Die Vergrößerung des Abstimmbereiches nach Fall 2 gegenüber der Anordnung in Fig. 4 hat allerdings den Nachteil etwas höherer Verluste, die durch das zusätzliche Element hervorgerufen werden. Wie in der vorher beschriebenen Anordnung kann auch hier ein kubisch geschnittener Kristall mit Antireflexbeschichtungen verwendet werden, um die Auskoppelverluste der erzeugten Harmonischen zu verringern. In diesem Fall empfiehlt es sich, die Kompensatorplatte ebenfalls unter senkrechtem Einfall und mit Antireflexbeschichtungen zu verwenden, um eine exakte Kompensation zu gewährleisten. Eine weitere mögliche Variante ist die Kompensation durch einen zweiten, spiegelsymmetrisch angeordneten Kristall vorzunehmen. Diese Anordnung hat den Vorteil daß der effizienzmindernde walk-off-Winkel des Kristalls ebenfalls kompensiert wird.
Bei der Ausführungsform nach Fig. 9 wird der
Grundwellenstrahl nicht über den Spiegel Ml, sondern über eine der (unbeschichteten) Prismenflächen eingekoppelt. Im Unterschied zu den Anordnungen nach Fig. 4 und 8 wird hier der Scheitelwinkel des Prismas so gewählt, daß der Einfallswinkel an der Einkoppelfläche des Prismas kleiner 16
als der Brewsterwinkel und der Einfallswinkel an der anderen Prismenfläche gleich dem Brewsterwinkel ist . Der genaue Wert für den Scheitelwinkel bestimmt sich aus der Bedingung für Impedanzanpassung: Der durch die Fresnellbeziehungen bestimmte Reflexionsgrad R der Einkoppelfläche für den eingekoppelten Strahl soll den passiven Verlusten V des Resonators entsprechen ( R=V) Verwendet man ein handelsübliches, gleichseitiges Prisma aus Quarz (Scheitelwinkel 60°) , so ergibt sich ein Reflexionsgrad von etwa 1.3%. Dies entspricht in etwa dem Wert für die passiven Verluste, die üblicherweise bei diesen Resonatoren erreicht werden. Durch die Verwendung von unbeschichteten Standardprismen kann daher das Einkoppelelement äußerst kostengünstig realisiert werden. Zudem ist dieses Einkoppelelement nahezu achromatisch, da sich der Reflexionsgrad über große Wellenlängenbereiche kaum ändert. Da der nutzbare Wellenlängenbereich eines Spiegelsatzes im wesentlichen durch die teilreflektierende Einkoppelschicht bestimmt wird, deren Wellenlängenbereich grundsätzlich kleiner ist als bei hochreflektierenden Schichten, kann mit der hier beschriebenen Anordnung der nutzbare Wellenlängenbereich eines Spiegelsatzes vergrößert werden. Die Resonatorabstimmung erfolgt hier zweckmäßigerweise durch Translation des Spiegels Ml, da die gleichzeitige Verwendung als Einkoppelelement und als Abstimmelement Platzprobleme verursacht . Außerdem sind die Vorteile der Prismentranslation hier nicht mehr in vollem Umfang vorhanden. Ansonsten entspricht diese Anordnung der nach Fig. 8. Nachteilig bei der Anordnung nach Fig. 9 gegenüber der Anordnung in Fig. 8 ist die schwierigere Justierung. Das Prisma muß in diesem Fall justierbar gehaltert werden, da es sowohl den Strahlengang im Resonator als auch die Strahllage des eingekoppelten Strahls beeinflußt. Eine iterationsfreie und unabhängige 17
Justierung von eingekoppeltem Strahl und Resonator, wie sie bei den Anordnungen nach Fig. 4 und 8 vorliegt, ist in dieser Anordnung nicht möglich.
Die genaue Form von Kristall und Kompensator kann hier natürlich ebenso wie bei der zuvor beschriebenen Anordnung variiert werden (kubischer Kristall, zwei Kristalle) .
Die Erfindung ist nicht auf die hier beschriebenen Ausführungsformen beschränkt. Vielmehr ist es möglich, durch Kombination der Merkmale weitere Ausführungsbeispiele zu realisieren, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen.
18
Bezugszeichenliste
D 1 Achse
D 2 Achse
K Platte
M 1 Spiegel
M 2 Spiegel
M 3 Spiegel
NK nichtlinearer Kristall
P brechendes Element

Claims

19Patentansprüche
1. Verfahren zur Resonanzverstärkung, insbesondere zur abstimmbaren Frequenzkonversion von insbesondere kontinuierlicher Laserstrahlung, mit einem Ringresonator aus Spiegeln und mindestens einem brechenden Element,
dadurch gekennzeichnet, daß
eine Resonatorlängenabstimmung durch Translation mindestens eines rein brechenden Elements (P) vorgenommen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
das brechende Element (P) in der Funktion eines Prismas in den Strahlengang eingebracht wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
eine Resonatorlängenabstimmung durch Translation eines in Trapezform ausgeführten brechenden Elements (P) vorgenommen wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Frequenzkonversion mit einem winkelabgestimmten nichtlinearen Kristall (NK) vorgenommen wird, der sich zwischen dem brechenden Element (P) und einem Auskoppelspiegel (M2) befindet, und der zur
Phasenanpassung um eine Achse (Dl) gedreht wird, die in der Ringebene liegt und eine senkrechte Komponente zum Strahlengang innerhalb des Kristalls (NK) besitzt, und dessen Strahlversatz durch eine zur Drehung des 20
Kristalls (NK) gegensinnige Drehung des brechenden Elementes (P) um seine Symmetrieachse (D2) , kompensiert wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
eine zusätzliche planparallele Platte (K) aus hochtransparentem Material unter Brewsterwinkel in den Strahlengang gebracht wird, und daß der Strahlversatz durch den nichtlinearen Kristall (NK) durch gegensinnige Drehung der Platte (K) um eine Achse (D2) , die in Ringebene liegt, kompensiert wird, wobei das brechende Element (P) nicht bewegt wird.
6. Verfahren zur Resonanzverstärkung, insbesondere zur abstimmbaren Frequenzkonversion von insbesondere kontinuierlicher Laserstrahlung, mit einem Ringresonator aus Spiegeln und mindestens einem brechenden Element,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Grundwellenstrahl über eine der unbeschichteten Flächen des brechenden Elements (P) eingekoppelt wird und daß die Resonatorabstimmung durch Translation eines der Spiegel (Ml) vorgenommen wird.
7. Vorrichtung zur Resonanzverstärkung, insbesondere zur abstimmbaren Frequenzkonversion von insbesondere kontinuierlicher Laserstrahlung, unter Verwendung von Spiegeln und mindestens einem brechenden Element,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Resonator aus einem ersten Spiegel (Ml) , aus einem zweiten Spiegel (M2) und aus einem in Trapezform ausgeführten rein brechenden Element (P) , welches die Funktion eines Prismas ausübt, gebildet ist. 21
8. Vorrichtung nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Krümmungsradien der Spiegel (Ml, M2) und die
Abstände der Resonatorelemente so gewählt sind, daß der hierdurch gebildete Resonator optisch stabil ist, und daß der Reflexionsgrad des Einkoppelspiegels (Ml) so bemessen ist, daß Impedanzanpassung vorliegt und daß der Auskoppelspiegel (M2 ) auf der Grundwellenlänge hochreflektierend und auf der konvertierten Wellenlänge transparent ist .
9. Vorrichtung nach den Ansprüchen 7 und 8,
dadurch gekennzeichnet, daß
das brechende Element (P) ohne Fassung direkt auf ein Piezoelement (PZ) aufgebracht, insbesondere aufgeklebt ist .
10.Vorrichtung nach den Ansprüchen 7 bis 9,
dadurch gekennzeichnet , daß
das brechende Element (P) aus hochtransparentem Material ohne Beschichtung besteht, wobei der Winkel der brechenden Flächen zueinander so gewählt ist, daß der Ein- und Austritt des Strahls nahe Brewsterwinkel erfolgt .
11.Vorrichtung nach den Ansprüchen 7 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, daß
der erste Spiegel (Ml) als Einkoppelspiegel und der zweite Spiegel (M2) als Auskoppelspiegel beschichtet ist, und daß zwischen dem brechenden Element (P) und dem Auskoppelspiegel (M2) ein brewstergeschnittener, winkelabgestimmter nichtlinearer Kristall (NK) angeordnet ist. 22
12.Vorrichtung nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet, daß
zur Kompensation des Astigmatismus ein sphärisch gekrümmter Spiegel (M3) außerhalb des Resonators angeordnet ist .
13.Vorrichtung nach Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet, daß
der sphärisch gekrümmte Spiegel (M3) aus einem vorhandenen als Hohlspiegel ausgebildeten
Periskopspiegel eines Ablenksystems gebildet ist .
14.Vorrichtung nach den Ansprüchen 7 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, daß
ein kubisch geschnittener, nichtlinearer Kristall unter senkrechtem Lichteinfall angeordnet ist, dessen Ein- und Austrittsflächen mit Antireflexbeschichtungen versehen sind.
15. Vorrichtung nach den Ansprüchen 7 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, daß
eine planparallele Platte (K) aus hochtransparentem Material unter Brewsterwinkel in den Strahlengang gebracht ist.
16. Vorrichtung nach den Ansprüchen 7 bis 11 und 15,
dadurch gekennzeichnet, daß
die planparallele Platte (K) unter senkrechtem Lichteinfall angeordnet und mit Antireflexbeschichtungen versehen ist. 23
17. Vorrichtung nach den Ansprüchen 7 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, daß
ein zum ersten Kristall (NK) spiegelsymmetrisch angeordneter zweiter Kristall vorgesehen ist .
18. Vorrichtung nach den Ansprüchen 7 und 15,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Scheitelwinkel des brechenden Elementes (P) so gewählt ist, daß der Einfallswinkel an der Einkoppelfläche kleiner als der Brewsterwinkel und der Einfallswinkel an der anderen Fläche gleich dem Brewsterwinkel ist, wobei das Piezoelement (PZ) an dem ersten Spiegel (Ml) angeordnet ist.
19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 18,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Kristalle (NK) , das brechende Element (P) und die planparallele Platte (K) drehbar angeordnet sind.
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